JPH09281142A - プローブカード検査システム - Google Patents
プローブカード検査システムInfo
- Publication number
- JPH09281142A JPH09281142A JP8813596A JP8813596A JPH09281142A JP H09281142 A JPH09281142 A JP H09281142A JP 8813596 A JP8813596 A JP 8813596A JP 8813596 A JP8813596 A JP 8813596A JP H09281142 A JPH09281142 A JP H09281142A
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- Japan
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- probe
- probe card
- liquid crystal
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プローブカードの誤接続、未接続、探針位置
ずれ等の製造上の欠陥を、短時間に簡易に検査できるプ
ローブカード検査システムを提案する。 【解決手段】 プローブカード１の探針１２を介して液
晶ディスプレイ２に電圧を印加し、これにより生じた液
晶ディスプレイの画像データを画像変換装置４により位
置データに変換する。この作業を外部接続端子１１の数
だけ繰り返すと、外部接続端子に対応した探針位置の座
標データを画像処理回路５により作成できる。この座標
データとプローブカードを作成するときに用いた探針座
標データとを判定回路６により照合すると、外部接続端
子と半導体チップのパッド位置との位置ずれ及び導通試
験が可能となる。
ずれ等の製造上の欠陥を、短時間に簡易に検査できるプ
ローブカード検査システムを提案する。 【解決手段】 プローブカード１の探針１２を介して液
晶ディスプレイ２に電圧を印加し、これにより生じた液
晶ディスプレイの画像データを画像変換装置４により位
置データに変換する。この作業を外部接続端子１１の数
だけ繰り返すと、外部接続端子に対応した探針位置の座
標データを画像処理回路５により作成できる。この座標
データとプローブカードを作成するときに用いた探針座
標データとを判定回路６により照合すると、外部接続端
子と半導体チップのパッド位置との位置ずれ及び導通試
験が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
ウェハの検査システムに関するものであり、特にプロー
ブカードの検査システムに関するものである。
ウェハの検査システムに関するものであり、特にプロー
ブカードの検査システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＬＳＩテスタでウェハ検査を
行なう場合に使用するプローブカードに関しては、プロ
ーブカードとウェハとの導通や、目合せに関する提案
は、数々なされているが、プローブカード自体の検査方
法については有効な提案はなされていない。
行なう場合に使用するプローブカードに関しては、プロ
ーブカードとウェハとの導通や、目合せに関する提案
は、数々なされているが、プローブカード自体の検査方
法については有効な提案はなされていない。
【０００３】しかも、近年の多ピン化と、ＬＳＩチップ
の微細化により、プローブカードも微細化しており、検
査は、非常に難しくなっている。
の微細化により、プローブカードも微細化しており、検
査は、非常に難しくなっている。
【０００４】また、開発期間の短縮を図る上からもプロ
ーブカードの事前チェックの重要性が高まっている。
ーブカードの事前チェックの重要性が高まっている。
【０００５】このような状況において、プローブカード
の検査には、現状あまり有効な方法がなく、よく使用さ
れる方法として、ハンドテスタによる導通試験、ＬＳＩ
テスタに装着して行なう導通試験がある。
の検査には、現状あまり有効な方法がなく、よく使用さ
れる方法として、ハンドテスタによる導通試験、ＬＳＩ
テスタに装着して行なう導通試験がある。
【０００６】なお、プローブカードの探針群を半導体ペ
レットの電極に接触させ、探針群を介して信号の授受を
行い、半導体ペレットの電気的特性を測定する装置にお
いて、半導体ペレットの対角線上に設けた導体パッドに
接触し、導体パッドを介して導通する対をなす線材から
なる針ズレ検出用針をプローブカードに設けた針ズレ検
出システムは、特開昭６３−２４６８３９号公報に記載
されている。
レットの電極に接触させ、探針群を介して信号の授受を
行い、半導体ペレットの電気的特性を測定する装置にお
いて、半導体ペレットの対角線上に設けた導体パッドに
接触し、導体パッドを介して導通する対をなす線材から
なる針ズレ検出用針をプローブカードに設けた針ズレ検
出システムは、特開昭６３−２４６８３９号公報に記載
されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の検査
方法によれば、例えばハンドテスタでは、探針と外部接
続端子（ＬＳＩテスタと接続するための端子）との導通
試験は、可能であるが、多ピン化によって構造的にも微
細化になるため、検査工数が増大し、且つ、検査の信頼
性は低下する。また、針先の位置が要求される座標位置
にあるかどうかチェックできない等の欠点がある。
方法によれば、例えばハンドテスタでは、探針と外部接
続端子（ＬＳＩテスタと接続するための端子）との導通
試験は、可能であるが、多ピン化によって構造的にも微
細化になるため、検査工数が増大し、且つ、検査の信頼
性は低下する。また、針先の位置が要求される座標位置
にあるかどうかチェックできない等の欠点がある。
【０００８】一方、ＬＳＩテスタでは、短時間で導通試
験を行えるが、外部接続端子と針先の座標位置との対応
及び探針間の誤接続については検査できないという欠点
がある。また、非常に高価なＬＳＩテスタをプローブカ
ードの検査のためだけに専有するという問題もある。
験を行えるが、外部接続端子と針先の座標位置との対応
及び探針間の誤接続については検査できないという欠点
がある。また、非常に高価なＬＳＩテスタをプローブカ
ードの検査のためだけに専有するという問題もある。
【０００９】そこで、本発明は、前記従来の技術の欠点
を改良し、プローブカードの誤接続、未接続、探針位置
ずれ等の製造上の欠陥を短時間に簡易に行えるプローブ
カード検査システムを提供しようとするものである。
を改良し、プローブカードの誤接続、未接続、探針位置
ずれ等の製造上の欠陥を短時間に簡易に行えるプローブ
カード検査システムを提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のプローブカード
の検査システムは、表示装置の第１の電極面に接触させ
たプローブカードの探針を介してプローブカードの外部
端子に印加した電圧を表示装置に供給する装置と、この
電圧印加によって生じた表示装置の画像の変化を電気信
号に変換する画像変換装置と、画像変換装置から得られ
た電気信号を座標データに変換する画像処理装置と、画
像処理されたデータをプローブカードの探針座標と照合
する判定装置を有しており、このうち表示装置には、液
晶ディスプレイを用い、且つ、この液晶ディスプレイ
は、探針が接触する第１の電極面には基準座標用の透明
電極のみを設け、対向する第２の電極面には全面に透明
電極を設けるように構成される。
の検査システムは、表示装置の第１の電極面に接触させ
たプローブカードの探針を介してプローブカードの外部
端子に印加した電圧を表示装置に供給する装置と、この
電圧印加によって生じた表示装置の画像の変化を電気信
号に変換する画像変換装置と、画像変換装置から得られ
た電気信号を座標データに変換する画像処理装置と、画
像処理されたデータをプローブカードの探針座標と照合
する判定装置を有しており、このうち表示装置には、液
晶ディスプレイを用い、且つ、この液晶ディスプレイ
は、探針が接触する第１の電極面には基準座標用の透明
電極のみを設け、対向する第２の電極面には全面に透明
電極を設けるように構成される。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１２】図１は、本発明による一実施の形態例の概
要図を示し、図２は、図１の一部を拡大した斜視図を示
し、図３は、一つの外部接続端子に電圧を印加したとき
の液晶ディスプレイの表示状態を示し、図４は、すべて
の外部接続端子に電圧を印加したときの液晶ディスプレ
イの表示状態を示す。
要図を示し、図２は、図１の一部を拡大した斜視図を示
し、図３は、一つの外部接続端子に電圧を印加したとき
の液晶ディスプレイの表示状態を示し、図４は、すべて
の外部接続端子に電圧を印加したときの液晶ディスプレ
イの表示状態を示す。
【００１３】図１〜４において、１は、プローブカー
ド、２は、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと称
す。）、３は、ＬＣＤを駆動するための電源、４は、Ｌ
ＣＤの表示状態を記憶し、電気信号に変換するためのＣ
ＣＤを使用した画像変換装置（以下、ＣＣＤと称
す。）、５は、ＣＣＤ４からの信号を処理する画像処理
回路、６は、探針の座標データと照合し判定するための
判定回路を示す。
ド、２は、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと称
す。）、３は、ＬＣＤを駆動するための電源、４は、Ｌ
ＣＤの表示状態を記憶し、電気信号に変換するためのＣ
ＣＤを使用した画像変換装置（以下、ＣＣＤと称
す。）、５は、ＣＣＤ４からの信号を処理する画像処理
回路、６は、探針の座標データと照合し判定するための
判定回路を示す。
【００１４】図１に示す通り、複数あるプローブカード
１の外部接続端子１１は、各々対応した探針１２に電気
的に接続しており、その探針１２は、ＬＣＤ２に接続し
ている。
１の外部接続端子１１は、各々対応した探針１２に電気
的に接続しており、その探針１２は、ＬＣＤ２に接続し
ている。
【００１５】このとき、探針１２は、図２に示す様にＬ
ＣＤ２の第１の電極面２１に接触している。
ＣＤ２の第１の電極面２１に接触している。
【００１６】一方、ＬＣＤ２の第１の電極面２１に対向
する第２の電極面２２の全面に設けられた透明電極２４
は、電源３の一方の端子に接続されており、この状態
で、電源３の他方の端子が外部端子の一つに接続される
と、ＬＣＤ２には探針１２および透明電極２４により電
圧が印加されることになる。
する第２の電極面２２の全面に設けられた透明電極２４
は、電源３の一方の端子に接続されており、この状態
で、電源３の他方の端子が外部端子の一つに接続される
と、ＬＣＤ２には探針１２および透明電極２４により電
圧が印加されることになる。
【００１７】また、この電源端子は、第１の電極面に設
けられた基準座標用透明電極２３にも接続されているた
め、探針１２と基準座標用透明電極２３の２つの部分の
直下には、縦方向に電界が発生し、この電界の影響を受
け、直下部分の液晶が偏向する。図２の偏向部２５は、
電界によって液晶が偏向したところを表している。
けられた基準座標用透明電極２３にも接続されているた
め、探針１２と基準座標用透明電極２３の２つの部分の
直下には、縦方向に電界が発生し、この電界の影響を受
け、直下部分の液晶が偏向する。図２の偏向部２５は、
電界によって液晶が偏向したところを表している。
【００１８】この状態で、例えば、液晶材料にツイスト
ネマチック系の材料を使用した場合について説明する。
また第１及び第２の電極面には、各々第１及び第２の偏
向フィルタが直交方向に具備されているものとする。
ネマチック系の材料を使用した場合について説明する。
また第１及び第２の電極面には、各々第１及び第２の偏
向フィルタが直交方向に具備されているものとする。
【００１９】図上部からＬＣＤ２に光を入射させると、
電界の加わっていない部分の液晶は、ＬＣＤ２の上下で
９０°にねじれるように配列されているため、第１の偏
向フィルタを通過した光は、液晶にそって９０°ねじ
れ、直交した第２の偏向フィルタの偏向方向と同じ方向
になり、ＬＣＤ２を通過してしまう。
電界の加わっていない部分の液晶は、ＬＣＤ２の上下で
９０°にねじれるように配列されているため、第１の偏
向フィルタを通過した光は、液晶にそって９０°ねじ
れ、直交した第２の偏向フィルタの偏向方向と同じ方向
になり、ＬＣＤ２を通過してしまう。
【００２０】一方、電界の加わっている部分は、電界の
影響を受けて、液晶の長軸が縦方向にねじれるため、Ｌ
ＣＤ２に入った光は、偏向せずにそのまま通過する。こ
のため第２の偏向フィルタの偏向方向と異なり、光は、
ＬＣＤ２を通過出来ない。
影響を受けて、液晶の長軸が縦方向にねじれるため、Ｌ
ＣＤ２に入った光は、偏向せずにそのまま通過する。こ
のため第２の偏向フィルタの偏向方向と異なり、光は、
ＬＣＤ２を通過出来ない。
【００２１】図３は、図１及び２の上部方向から入射し
た光の通過状態をＬＣＤ２の下部方向から眺めたもので
ある。このとき２６は、検査対象の探針の位置に対応し
た探針位置マーク、２７は、基準座標位置を示す基準マ
ークを示す。
た光の通過状態をＬＣＤ２の下部方向から眺めたもので
ある。このとき２６は、検査対象の探針の位置に対応し
た探針位置マーク、２７は、基準座標位置を示す基準マ
ークを示す。
【００２２】次に、これらの探針位置マーク２６と基準
位置マーク２７をＣＣＤ４で取り込み、画像データを位
置データに変換する。基準マークと探針位置の相対位置
から、探針の位置データを求める。
位置マーク２７をＣＣＤ４で取り込み、画像データを位
置データに変換する。基準マークと探針位置の相対位置
から、探針の位置データを求める。
【００２３】次に、この作業を外部接続端子１１の数だ
け繰り返せば、外部接続端子１１に対応した探針位置の
座標データまたは図面を画像処理回路５により作成でき
る。この座標データまたは図面とプローブカードを作成
するときに用いた探針座標データまたは半導体チップの
パッドを表示した図面とを判定回路６により照合すれ
ば、外部接続端子とパッド位置との位置ずれおよび導通
試験が可能となる。
け繰り返せば、外部接続端子１１に対応した探針位置の
座標データまたは図面を画像処理回路５により作成でき
る。この座標データまたは図面とプローブカードを作成
するときに用いた探針座標データまたは半導体チップの
パッドを表示した図面とを判定回路６により照合すれ
ば、外部接続端子とパッド位置との位置ずれおよび導通
試験が可能となる。
【００２４】図４は、すべての探針に電圧を印加した場
合にＬＣＤ２に表示される状態を示したものである。こ
のときの探針位置マーク２６が、半導体チップのパッド
位置を表している。
合にＬＣＤ２に表示される状態を示したものである。こ
のときの探針位置マーク２６が、半導体チップのパッド
位置を表している。
【００２５】上述した本発明では、ＤＣ電源を印加する
ようになっているが、ＬＣＤの寿命をのばすため、一般
的には、ＬＣＤにかかる電圧を反転させる方法を使用し
ている。
ようになっているが、ＬＣＤの寿命をのばすため、一般
的には、ＬＣＤにかかる電圧を反転させる方法を使用し
ている。
【００２６】また、外部接続端子の切り換えに関して
は、特に記述しないが、機械的、或いは電気的に切り換
える冶工具等を用いれば、より短時間で検査が実行でき
るのは、いうまでもない。
は、特に記述しないが、機械的、或いは電気的に切り換
える冶工具等を用いれば、より短時間で検査が実行でき
るのは、いうまでもない。
【００２７】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、プローブカードの探針を介して表示装置に電圧を印
加することにより、誤接続、未接続、探針位置ずれ等の
プローブカードに必要な項目を短時間に簡易に試験する
ことが可能になる。
ば、プローブカードの探針を介して表示装置に電圧を印
加することにより、誤接続、未接続、探針位置ずれ等の
プローブカードに必要な項目を短時間に簡易に試験する
ことが可能になる。
【図１】本発明の一実施の形態例の概要を示した断面図
である。
である。
【図２】図１の一部を拡大した斜視断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態例における一部の探針に
電圧が印加した場合のＬＣＤの表示状態を示す斜視図で
ある。
電圧が印加した場合のＬＣＤの表示状態を示す斜視図で
ある。
【図４】本発明の一実施の形態例における全部の探針に
電圧が印加した場合のＬＣＤの表示状態を示す斜視図で
ある。
電圧が印加した場合のＬＣＤの表示状態を示す斜視図で
ある。
１ プローブカード ２ 液晶ディスプレイ（ＬＣＤ） ３ 電源 ４ 画像変換装置（ＣＣＤ） ５ 画像処理回路 ６ 判定回路 １１ 外部接続端子 １２ 探針 ２１ 第１の電極面 ２２ 第２の電極面 ２３ 基準座標用透明電極 ２４ 透明電極 ２５ 偏向部 ２６ 探針位置マーク ２７ 基準マーク
Claims (3)
- 【請求項１】 表示装置の第１の電極面に接触させたプ
ローブカードの探針を介して、プローブカードの外部端
子に印加した電圧を表示装置に供給する装置と、電圧印
加によって生じた表示装置の画像を電気信号に変換する
画像変換装置と、画像変換装置から得られた電気信号を
座標データに変換する画像処理装置と、画像処理された
データをプローブカードの探針座標と照合する判定装置
からなるプローブカード検査システム。 - 【請求項２】 表示装置を液晶ディスプレイで構成した
請求項１記載のプローブカード検査システム。 - 【請求項３】 探針の接触する第１の電極面には、基準
座標用の透明電極のみを設け、対向する第２の電極面に
は、全面に透明電極を設けた液晶ディスプレイを使用し
た請求項２記載のプローブカード検査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8813596A JP2817782B2 (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | プローブカード検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8813596A JP2817782B2 (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | プローブカード検査システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281142A true JPH09281142A (ja) | 1997-10-31 |
| JP2817782B2 JP2817782B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=13934494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8813596A Expired - Fee Related JP2817782B2 (ja) | 1996-04-10 | 1996-04-10 | プローブカード検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817782B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010506196A (ja) * | 2007-04-17 | 2010-02-25 | オーキンス エレクトロニクス カンパニー，リミテッド | 電気光学的ディテクタ |
| JP2011203001A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Oki Semiconductor Co Ltd | プローブカード検査装置、検査方法及び検査システム |
| CN116559632A (zh) * | 2023-07-07 | 2023-08-08 | 西安交通大学城市学院 | 一种电气控制电路板触点自动化检测装置 |
-
1996
- 1996-04-10 JP JP8813596A patent/JP2817782B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010506196A (ja) * | 2007-04-17 | 2010-02-25 | オーキンス エレクトロニクス カンパニー，リミテッド | 電気光学的ディテクタ |
| JP2011203001A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Oki Semiconductor Co Ltd | プローブカード検査装置、検査方法及び検査システム |
| CN116559632A (zh) * | 2023-07-07 | 2023-08-08 | 西安交通大学城市学院 | 一种电气控制电路板触点自动化检测装置 |
| CN116559632B (zh) * | 2023-07-07 | 2023-11-14 | 西安交通大学城市学院 | 一种电气控制电路板触点自动化检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2817782B2 (ja) | 1998-10-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980722 |
|
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