JPH09280859A - 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 - Google Patents
傾斜センサ及びこれを使用した測量機Info
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- JPH09280859A JPH09280859A JP8119759A JP11975996A JPH09280859A JP H09280859 A JPH09280859 A JP H09280859A JP 8119759 A JP8119759 A JP 8119759A JP 11975996 A JP11975996 A JP 11975996A JP H09280859 A JPH09280859 A JP H09280859A
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Abstract
した傾斜センサに係わり、特に、測量機の傾斜センサに
最適であり、1個のリニアセンサのみで、X軸及びY軸
の2軸方向の傾きを検出することのできる傾斜センサ等
を提供することを目的とする。 [構成] 本発明は、第1の光学系が、光源からの光を
平行にし、暗視野パターンが、第1の光学系からの光を
通過させ、ハーフミラーが暗視野パターンを転向させ、
第1の液体部材がハーフミラーにより転向されたパター
ンを反射させ、第2の光学系が、第1の液体部材で反射
されたパターンを結像させ、受光手段が、第2の光学系
で結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の
受光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗
視野パターンは、複数のスリットから形成されており、
一方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
Description
液体部材を利用した傾斜センサに係わり、特に、測量機
の傾斜センサに最適であり、1個のリニアセンサのみ
で、X軸及びY軸の2軸方向の傾きを検出することので
きる傾斜センサ及びこれを使用した測量機に関するもの
である。
して、図9に示す気泡管10000が使用されていた。
この気泡管10000は、内部に気泡5000を封入す
ると共に、電極6000、7000を形成し、静電容量
を電気的に計測することにより、傾きを測定することが
できる。
管10000は、外周部をガラスから構成しているた
め、衝撃に弱く、高い機械精度を要求されるので、コス
トが高いという問題点があった。
は、2軸方向に2個の気泡管10000を必要とし、コ
スト高の原因となっていた。
化にも影響を受け、温度変化に対する補正等を施さなけ
ればならないという問題点があった。
案出されたもので、光源と、この光源からの光を平行に
するための第1の光学系と、この第1の光学系からの光
を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを
転向させるためのハーフミラーと、このハーフミラーに
より転向されたパターンを反射させるための自由表面を
有する第1の液体部材と、この第1の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させるための第2の光学系と、この
第2の光学系で結像された像を受光するための受光手段
と、この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算する
ための演算処理手段とからなり、前記暗視野パターン
は、複数のスリットから形成されており、一方向にはパ
ターンの中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する
方向に沿ってはパターン幅が変化する様に配置されて構
成されている。
を平行にするための第1の光学系と、この第1の光学系
からの光を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パ
ターンを斜め方向から入射する様に配置され、自由表面
を有する第1の液体部材と、この第1の液体部材で反射
されたパターンを結像させるための第2の光学系と、こ
の第2の光学系で結像されたパターンを受光するための
受光手段と、この受光手段の受光信号に基づき、傾きを
演算するための演算処理手段とからなり、前記暗視野パ
ターンは、複数のスリットから形成されており、一方向
にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、かつ、直
交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に配置さ
れて構成されている。
を平行にするための第1の光学系と、この第1の光学系
からの光を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パ
ターンを鉛直方向から入射する様に配置され、自由表面
を有する第1の液体部材と、この第1の液体部材を透過
した光を結像させるための第2の光学系と、この第2の
光学系で結像された像を受光するための受光手段と、こ
の受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するための
演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複数
のスリットから形成されており、一方向にはパターンの
中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に沿
ってはパターン幅が変化する様に配置されて構成されて
いる。
るためのハーフミラーを透過した光を反射させ、第2の
光学系を経由し、同一の受光手段に入射させるための自
由表面を有する第2の液体部材とを備えており、2方向
使用可能に構成することもできる。
ト列の像と直交する方向(X方向)に配置されたリニア
センサであり、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔
以上の動きを、リニアセンサに対する移動量により求
め、パターンのピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換
によるパターンの位相を演算することにより求めること
により、X方向の傾きを求める様になっており、Y方向
に変化するスリット像の幅を利用することにより、Y方
向の傾きを求める様に構成することもできる。
に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもできる。
は、測量装置本体に取り付けられており、測量装置本体
のX方向及びY方向の傾きを検出する構成にすることも
できる。
第1の光学系が、光源からの光を平行にし、暗視野パタ
ーンが、第1の光学系からの光を通過させ、ハーフミラ
ーが暗視野パターンを転向させ、自由表面を有する第1
の液体部材が、ハーフミラーにより転向されたパターン
を反射させ、第2の光学系が、第1の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させ、受光手段が、第2の光学系で
結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、一
方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
の光を平行にし、暗視野パターンが、第1の光学系から
の光を通過させ、自由表面を有する第1の液体部材が、
暗視野パターンを斜め方向から入射する様に配置されて
おり、第2の光学系が、第1の液体部材で反射されたパ
ターンを結像させ、受光手段が、第2の光学系で結像さ
れたパターンを受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、一
方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
の光を平行にし、暗視野パターンが第1の光学系からの
光を通過させ、自由表面を有する第1の液体部材が、暗
視野パターンを鉛直方向から入射する様に配置されてお
り、第2の光学系が、第1の液体部材を透過した光を結
像させ、受光手段が、第2の光学系で結像された像を受
光し、演算処理手段が、受光手段の受光信号に基づき、
傾きを演算する様になっており、暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている。
体部材が、暗視野パターンを転向させるためのハーフミ
ラーを透過した光を反射させ、第2の光学系を経由し、
同一の受光手段に入射させる様になっており、2方向使
用可能にすることもできる。
を、複数のスリット列の像と直交する方向(X方向)に
配置し、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔以上の
動きを、リニアセンサに対する移動量により求め、パタ
ーンのピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換によるパ
ターンの位相を演算することにより求めることにより、
X方向の傾きを求める様になっており、Y方向に変化す
るスリット像の幅を利用することにより、Y方向の傾き
を求める様になっている。
に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもできる。
は、測量装置本体に取り付けられており、測量装置本体
のX方向及びY方向の傾きを検出する様にすることもで
きる。
る。
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、ハーフミラー500
と、自由表面を有する第1の液体部材600と、第2の
パターンリレーレンズ700と、受光手段800と、演
算処理手段900とから構成されている。
が、何れの光源を使用することができる。
からの光を平行にするためのものであり、第1の光学系
に該当するものである。
にパターン像を形成するためのものである。
00を示すもので、複数のスリット列310、310・
・・・から構成されている。ここで、複数のスリット列
310、310・・・・と直交する方向をX方向とし、
スリット310の長手方向をY方向とする。
・・は、各スリット310の中心点が間隔Pで等間隔に
配置されており、かつ、直交する方向に沿ってはパター
ン幅が変化する様に配置されている。
視野パターン300を通過した光をハーフミラー500
に導くものである。
に向かい、自由表面を有する第1の液体部材600に入
射する。そして、自由表面を有する第1の液体部材60
0で反射された光は、ハーフミラー500を透過して、
下方の受光手段800に向かう様になっている。
は、シリコンオイル等の適度の粘性を有する液体が充填
されている。第1の液体部材600は、自由表面を有す
るので、表面は必ず水平を保つ様になっている。
由表面を有する第1の液体部材600で反射され、ハー
フミラー500を透過した光を、受光手段800上に結
像するためのものである。即ち、第2のパターンリレー
レンズ700は、暗視野パターン300の像を受光手段
800上に形成するためのものである。
は、第2の光学系に該当するものであり、受光手段80
0から、第2のパターンリレーレンズ700の焦点距離
f離れた位置に配置されている。
の像を受光し、電気信号に変換するためのものであり、
本第1実施例では、CCD(電荷結合素子)リニアセン
サが採用されている。
処理装置であり、全体の制御を司ると共に、暗視野パタ
ーン300のスリット像の移動距離を算出し、対応する
傾き角を演算するためのものである。
傾斜センサ1000が傾けば、第1の液体部材600の
自由表面は水平を保つので、傾斜角度に比例して、受光
手段800上の暗視野パターン300の像が移動するこ
とになる。
場合には、図6に示す様に、第1の液体部材600の屈
折率をnとすると、自由表面からの反射光は2nθ傾く
ことになる。受光手段800であるリニアセンサ上の距
離をLとすると、
310の移動量を受光手段800が検出し、演算処理手
段900が傾き角に変換すれば、傾斜センサ1000の
傾きθを測定することができる。
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、自由表面を有する第1
の液体部材600と、第2のパターンリレーレンズ70
0と、受光手段800と、演算処理手段900とから構
成されている。
1実施例の傾斜センサ1000のハーフミラー500が
省略されており、第1のパターンリレーレンズ400に
より、自由表面を有する第1の液体部材600に対し
て、斜めの方向から光を入射させる構成となっており、
自由表面を有する第1の液体部材600で反射した光
も、斜めの方向に出射し、第2のパターンリレーレンズ
700により、受光手段800上に結像する様になって
いる。従って受光手段800は、傾けて配置されてい
る。
であるから、説明を省略する。
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、自由表面を有する第1
の液体部材600と、第2のパターンリレーレンズ70
0と、受光手段800と、演算処理手段900とから構
成されている。
1実施例の傾斜センサ1000のハーフミラー500と
第1のパターンリレーレンズ400とが省略されてお
り、自由表面を有する第1の液体部材600に対して、
鉛直上方の方向から光を入射させる構成となっており、
自由表面を有する第1の液体部材600を透過した光
は、鉛直下方に出射し、第2のパターンリレーレンズ7
00により、受光手段800上に結像する様になってい
る。
2の実施例と同様であるから、説明を省略する。
処理を詳細に説明する。
数のスリット列310、310・・・・・の像と直交す
る方向(X方向)に配置されている。
に示す様に、スリット310・・・・・の特定のパター
ンをスタートパターンとして着目し、予め設定しておく
水平基準位置から距離dxを測定すればよい。
ニアセンサの出力のフーリエ変換を行うことにより、ピ
ッチ間隔に対する水平基準位置との位相差φを計算し、
離を高精度に測定可能である。そして、上記スタートパ
ターンの距離から求めたピッチ間隔以上の距離と合わせ
ることにより、全体の距離を演算することができる。
量から、対応するX方向の傾き角を演算することができ
る。
き角は、幅が変化する3角形のスリット310bより演
算する。
いるので、Y方向に傾くと、3角形のスリット310b
の受光幅が変化することになる。この変化量は、Y方向
の傾き角と比例するため、演算処理手段900はY方向
に傾き角を算出することができる。
ニアセンサの出力を微分することにより、その立ち上が
りと立ち下がりの距離を測定することができる。また、
測定精度を上げるために、全ての信号について演算を行
い、平均の幅dyave を求め、フーリエ変換により得ら
れたピッチ幅p及び予め決められた比例関係kより、リ
ニアセンサ上の距離Lを
方向の傾きを計算することができる。
限ることなく、幅が変化し、傾きとの対応が設定される
ものであればよい。
るだけで、X方向及びY方向の2軸方向の傾きを検出す
ることができる。
を採用すれば、等間隔に形成された複数のスリット31
0、310・・・を使用することで、X方向及びY方向
の2軸の傾きを検出することができる。
00に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもでき
る。
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、ハーフミラー500
と、自由表面を有する第1の液体部材600と、自由表
面を有する第2の液体部材610と、第2のパターンリ
レーレンズ700と、受光手段800と、演算処理手段
900とから構成されている。
る場合には、第1の液体部材600は自由表面を形成
し、第2の液体部材610は光路上より外れるため、第
1の実施例と同様な構成となる。
に90度回転させると、第2の液体部材610が自由表
面を形成し、第1の液体部材600が光路から外れる様
になる。即ち、第1実施例を90度回転させても使用可
能な様に、第2の液体部材610を配置したものであ
る。
2の液体部材610の自由表面は水平を保つため、傾斜
角度に比例して、受光手段800上の暗視野パターン3
00の像が移動することになる。
は、第2の液体部材610で反射し、更に、ハーフミラ
ー500及び第2のパターンリレーレンズ700を経由
して、受光手段800上に結像される。この場合、第1
の液体部材600に入射した光は、液体が光路上より外
れるため、反射されることはない。
けで、図5の傾斜センサ4000は2方向で使用可能と
なる。
セオドライト20000等に傾斜センサを取り付けれ
ば、測量装置本体のX方向及びY方向の傾きを検出する
ことができる。
光源からの光を平行にするための第1の光学系と、この
第1の光学系からの光を通過させる暗視野パターンと、
この暗視野パターンを転向させるためのハーフミラー
と、このハーフミラーにより転向されたパターンを反射
させるための自由表面を有する第1の液体部材と、この
第1の液体部材で反射されたパターンを結像させるため
の第2の光学系と、この第2の光学系で結像された像を
受光するための受光手段と、この受光手段の受光信号に
基づき、傾きを演算するための演算処理手段とからな
り、前記暗視野パターンは、複数のスリットから形成さ
れており、一方向にはパターンの中心線が等ピッチに配
置され、かつ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変
化する様に配置されているので、機械的強度が高く、高
精度な傾斜センサを提供することができるという効果が
ある。
複数のスリット列の像と直交する方向(X方向)に配置
されたリニアセンサであり、演算処理手段が、パターン
のピッチ間隔以上の動きを、リニアセンサに対する移動
量により求め、パターンのピッチ間隔以下の動きを、フ
ーリエ変換によるパターンの位相を演算することにより
求めることにより、X方向の傾きを求める様に構成され
ており、Y方向に変化するスリット像の幅を利用するこ
とにより、Y方向の傾きを求める様に構成されているの
で、1つのリニアセンサで、X方向及びY方向の2軸の
傾きを検出することができ、構造が簡便となって信頼性
が向上し、コストも安価となるという卓越した効果があ
る。
下の移動量については、演算処理手段が、フーリエ変換
によりスリットパターンの位相を演算することにより算
出するので、暗視野パターンの精度を必要以上に高くす
る必要がなく、高精度な傾き角測定を行うことができ
る。特に、フーリエ変換を使用しているので、暗視野パ
ターンのスリットの形状誤差及びピッチ誤差が、最終的
な傾き角には軽減されて伝播するという卓越した効果が
ある。
成を示す図である。
である。
図である。
図である。
図である。
図である。
する図である。
する図である。
応用した例を説明する図である。
応用した例を説明する図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 光源と、この光源からの光を平行にする
ための第1の光学系と、この第1の光学系からの光を通
過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを転向
させるためのハーフミラーと、このハーフミラーにより
転向されたパターンを反射させるための自由表面を有す
る第1の液体部材と、この第1の液体部材で反射された
パターンを結像させるための第2の光学系と、この第2
の光学系で結像された像を受光するための受光手段と、
この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するため
の演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている傾斜
センサ。 - 【請求項2】 光源と、この光源からの光を平行にする
ための第1の光学系と、この第1の光学系からの光を通
過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを斜め
方向から入射する様に配置され、自由表面を有する第1
の液体部材と、この第1の液体部材で反射されたパター
ンを結像させるための第2の光学系と、この第2の光学
系で結像されたパターンを受光するための受光手段と、
この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するため
の演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている傾斜
センサ。 - 【請求項3】 光源と、この光源からの光を平行にする
ための第1の光学系と、この第1の光学系からの光を通
過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを鉛直
方向から入射する様に配置され、自由表面を有する第1
の液体部材と、この第1の液体部材を透過した光を結像
させるための第2の光学系と、この第2の光学系で結像
された像を受光するための受光手段と、この受光手段の
受光信号に基づき、傾きを演算するための演算処理手段
とからなり、前記暗視野パターンは、複数のスリットか
ら形成されており、一方向にはパターンの中心線が等ピ
ッチに配置され、かつ、直交する方向に沿ってはパター
ン幅が変化する様に配置されている傾斜センサ。 - 【請求項4】 暗視野パターンを転向させるためのハー
フミラーを透過した光を反射させ、第2の光学系を経由
し、同一の受光手段に入射させるための自由表面を有す
る第2の液体部材とを備えており、2方向使用可能に構
成されている請求項1〜3記載の傾斜センサ。 - 【請求項5】 受光手段は、複数のスリット列の像と直
交する方向(X方向)に配置されたリニアセンサであ
り、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔以上の動き
を、リニアセンサに対する移動量により求め、パターン
のピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換によるパター
ンの位相を演算することにより求めることにより、X方
向の傾きを求める様に構成されており、Y方向に変化す
るスリット像の幅を利用することにより、Y方向の傾き
を求める様に構成されている請求項1〜4記載の傾斜セ
ンサ。 - 【請求項6】 自由表面を有する液体部材に代えて、揺
動自在な懸垂部材となっている請求項1〜5記載の傾斜
センサ。 - 【請求項7】 測量装置本体に取り付けられており、測
量装置本体のX方向及びY方向の傾きを検出する請求項
1〜6記載の傾斜センサを使用した測量機。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP11975996A JP3673954B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 |
CN97110370A CN1093255C (zh) | 1996-04-17 | 1997-04-14 | 倾斜传感器以及采用它的测量仪 |
DE69726487T DE69726487T3 (de) | 1996-04-17 | 1997-04-15 | Neigungssensor und diesen verwendendes Vermessungsinstrument |
EP97106197A EP0802396B2 (en) | 1996-04-17 | 1997-04-15 | Inclination sensor and surveying instrument using the same |
US08/843,586 US5893215A (en) | 1996-04-17 | 1997-04-16 | Inclination sensor and surveying instrument using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11975996A JP3673954B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09280859A true JPH09280859A (ja) | 1997-10-31 |
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Family
ID=14769475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11975996A Expired - Lifetime JP3673954B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 |
Country Status (5)
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US (1) | US5893215A (ja) |
EP (1) | EP0802396B2 (ja) |
JP (1) | JP3673954B2 (ja) |
CN (1) | CN1093255C (ja) |
DE (1) | DE69726487T3 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016109602A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | 株式会社トプコン | 傾斜検出装置 |
CN109540102A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 中铁建设集团有限公司 | 一种基于ccd线阵的高精度倾角测量装置及方法 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3787736B2 (ja) * | 1997-10-08 | 2006-06-21 | 株式会社トプコン | 傾斜センサ |
AUPP561398A0 (en) * | 1998-09-02 | 1998-09-24 | Connolly, Michael | Laser level assembly |
US6473714B1 (en) * | 1998-09-29 | 2002-10-29 | Kabushiki Kaisha Topcon | Inclination measuring apparatus |
JP4653898B2 (ja) | 2001-03-28 | 2011-03-16 | 株式会社トプコン | 傾斜検出装置 |
DE202004010922U1 (de) * | 2004-07-12 | 2005-11-24 | Leica Geosystems Ag | Neigungssensor |
CN100395520C (zh) * | 2004-12-23 | 2008-06-18 | 西安华腾光电有限责任公司 | 高精度光电三维倾角测量方法及其测量仪 |
JP2007127628A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-05-24 | Topcon Corp | 位置検出装置及びこれを使用した測量機の傾斜センサ装置 |
US7733506B2 (en) * | 2007-03-29 | 2010-06-08 | Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd. | Optical tilt monitoring apparatus |
CN101825461B (zh) * | 2010-02-10 | 2012-06-27 | 浙江工业大学 | 基于圆柱形模型的平台调平装置 |
CN101900548B (zh) * | 2010-02-11 | 2012-07-25 | 浙江工业大学 | 基于机器视觉的全方位倾斜传感器 |
CN104669153B (zh) * | 2013-12-02 | 2017-02-08 | 昌河飞机工业(集团)有限责任公司 | 桨叶扭角测量夹具及其方法 |
JP6324270B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2018-05-16 | 株式会社トプコン | 測定装置および傾斜センサ装置 |
CN105004319A (zh) * | 2015-06-01 | 2015-10-28 | 苏州一光仪器有限公司 | 倾斜传感器 |
EP3446066B1 (en) * | 2016-04-19 | 2024-07-03 | ABB Schweiz AG | Tilt detection apparatus and method thereof |
CN110631552A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-31 | 西安华腾光电有限责任公司 | 一种光电式液体摆二维倾角传感器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599666A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-04-23 | Leica Heerbrugg Ag | 2軸式傾斜測定装置 |
JPH07208986A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-08-11 | Nikon Corp | 傾斜角測定装置 |
JPH0814903A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-19 | Nikon Corp | 測量機 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3009255A (en) * | 1957-04-25 | 1961-11-21 | Motorola Inc | Horizon indicating system |
GB1550339A (en) * | 1975-08-28 | 1979-08-15 | Elliott Brothers London Ltd | Optical angular position sensors |
FR2564580B1 (fr) * | 1984-05-16 | 1986-10-31 | Dousset Robert | Niveau a bulle quatre quadrants |
CH673707A5 (ja) * | 1987-07-24 | 1990-03-30 | Kern & Co Ag | |
GB8719154D0 (en) † | 1987-08-13 | 1987-09-23 | Coal Industry Patents Ltd | Optically measuring relative angular movement |
CH677403A5 (en) * | 1988-06-17 | 1991-05-15 | Wild Leitz Ag | Dual-axis inclination indicator - has imaged markings on rotatable disc split into measuring channel and reference channel for phase comparison |
JP2913984B2 (ja) † | 1992-03-11 | 1999-06-28 | 株式会社ニコン | 傾斜角測定装置 |
EP0626561B1 (en) * | 1992-11-12 | 1997-08-20 | Kabushiki Kaisha Topcon | Automatic inclination angle compensator |
KR960001716A (ko) * | 1994-06-17 | 1996-01-25 | 전성원 | 경사 감지센서 |
-
1996
- 1996-04-17 JP JP11975996A patent/JP3673954B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-04-14 CN CN97110370A patent/CN1093255C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-15 EP EP97106197A patent/EP0802396B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-15 DE DE69726487T patent/DE69726487T3/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-16 US US08/843,586 patent/US5893215A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0599666A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-04-23 | Leica Heerbrugg Ag | 2軸式傾斜測定装置 |
JPH07208986A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-08-11 | Nikon Corp | 傾斜角測定装置 |
JPH0814903A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-19 | Nikon Corp | 測量機 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016109602A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | 株式会社トプコン | 傾斜検出装置 |
CN109540102A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 中铁建设集团有限公司 | 一种基于ccd线阵的高精度倾角测量装置及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0802396A3 (en) | 1998-11-25 |
US5893215A (en) | 1999-04-13 |
JP3673954B2 (ja) | 2005-07-20 |
EP0802396B2 (en) | 2007-12-26 |
CN1093255C (zh) | 2002-10-23 |
DE69726487D1 (de) | 2004-01-15 |
EP0802396A2 (en) | 1997-10-22 |
DE69726487T3 (de) | 2008-05-21 |
DE69726487T2 (de) | 2004-10-28 |
CN1167907A (zh) | 1997-12-17 |
EP0802396B1 (en) | 2003-12-03 |
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