JPH09280859A - 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 - Google Patents
傾斜センサ及びこれを使用した測量機Info
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- JPH09280859A JPH09280859A JP8119759A JP11975996A JPH09280859A JP H09280859 A JPH09280859 A JP H09280859A JP 8119759 A JP8119759 A JP 8119759A JP 11975996 A JP11975996 A JP 11975996A JP H09280859 A JPH09280859 A JP H09280859A
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ 本発明は、自由表面を有する液体部材を利用
した傾斜センサに係わり、特に、測量機の傾斜センサに
最適であり、１個のリニアセンサのみで、Ｘ軸及びＹ軸
の２軸方向の傾きを検出することのできる傾斜センサ等
を提供することを目的とする。 ［構成］ 本発明は、第１の光学系が、光源からの光を
平行にし、暗視野パターンが、第１の光学系からの光を
通過させ、ハーフミラーが暗視野パターンを転向させ、
第１の液体部材がハーフミラーにより転向されたパター
ンを反射させ、第２の光学系が、第１の液体部材で反射
されたパターンを結像させ、受光手段が、第２の光学系
で結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の
受光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗
視野パターンは、複数のスリットから形成されており、
一方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
した傾斜センサに係わり、特に、測量機の傾斜センサに
最適であり、１個のリニアセンサのみで、Ｘ軸及びＹ軸
の２軸方向の傾きを検出することのできる傾斜センサ等
を提供することを目的とする。 ［構成］ 本発明は、第１の光学系が、光源からの光を
平行にし、暗視野パターンが、第１の光学系からの光を
通過させ、ハーフミラーが暗視野パターンを転向させ、
第１の液体部材がハーフミラーにより転向されたパター
ンを反射させ、第２の光学系が、第１の液体部材で反射
されたパターンを結像させ、受光手段が、第２の光学系
で結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の
受光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗
視野パターンは、複数のスリットから形成されており、
一方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自由表面を有する
液体部材を利用した傾斜センサに係わり、特に、測量機
の傾斜センサに最適であり、１個のリニアセンサのみ
で、Ｘ軸及びＹ軸の２軸方向の傾きを検出することので
きる傾斜センサ及びこれを使用した測量機に関するもの
である。
液体部材を利用した傾斜センサに係わり、特に、測量機
の傾斜センサに最適であり、１個のリニアセンサのみ
で、Ｘ軸及びＹ軸の２軸方向の傾きを検出することので
きる傾斜センサ及びこれを使用した測量機に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来から測量機の傾きを検出する素子と
して、図９に示す気泡管１００００が使用されていた。
この気泡管１００００は、内部に気泡５０００を封入す
ると共に、電極６０００、７０００を形成し、静電容量
を電気的に計測することにより、傾きを測定することが
できる。
して、図９に示す気泡管１００００が使用されていた。
この気泡管１００００は、内部に気泡５０００を封入す
ると共に、電極６０００、７０００を形成し、静電容量
を電気的に計測することにより、傾きを測定することが
できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記気泡
管１００００は、外周部をガラスから構成しているた
め、衝撃に弱く、高い機械精度を要求されるので、コス
トが高いという問題点があった。
管１００００は、外周部をガラスから構成しているた
め、衝撃に弱く、高い機械精度を要求されるので、コス
トが高いという問題点があった。
【０００４】更に、Ｘ、Ｙ方向の傾きを計測するために
は、２軸方向に２個の気泡管１００００を必要とし、コ
スト高の原因となっていた。
は、２軸方向に２個の気泡管１００００を必要とし、コ
スト高の原因となっていた。
【０００５】また、気泡管１００００は、周囲の温度変
化にも影響を受け、温度変化に対する補正等を施さなけ
ればならないという問題点があった。
化にも影響を受け、温度変化に対する補正等を施さなけ
ればならないという問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
案出されたもので、光源と、この光源からの光を平行に
するための第１の光学系と、この第１の光学系からの光
を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを
転向させるためのハーフミラーと、このハーフミラーに
より転向されたパターンを反射させるための自由表面を
有する第１の液体部材と、この第１の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させるための第２の光学系と、この
第２の光学系で結像された像を受光するための受光手段
と、この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算する
ための演算処理手段とからなり、前記暗視野パターン
は、複数のスリットから形成されており、一方向にはパ
ターンの中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する
方向に沿ってはパターン幅が変化する様に配置されて構
成されている。
案出されたもので、光源と、この光源からの光を平行に
するための第１の光学系と、この第１の光学系からの光
を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを
転向させるためのハーフミラーと、このハーフミラーに
より転向されたパターンを反射させるための自由表面を
有する第１の液体部材と、この第１の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させるための第２の光学系と、この
第２の光学系で結像された像を受光するための受光手段
と、この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算する
ための演算処理手段とからなり、前記暗視野パターン
は、複数のスリットから形成されており、一方向にはパ
ターンの中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する
方向に沿ってはパターン幅が変化する様に配置されて構
成されている。
【０００７】また本発明は、光源と、この光源からの光
を平行にするための第１の光学系と、この第１の光学系
からの光を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パ
ターンを斜め方向から入射する様に配置され、自由表面
を有する第１の液体部材と、この第１の液体部材で反射
されたパターンを結像させるための第２の光学系と、こ
の第２の光学系で結像されたパターンを受光するための
受光手段と、この受光手段の受光信号に基づき、傾きを
演算するための演算処理手段とからなり、前記暗視野パ
ターンは、複数のスリットから形成されており、一方向
にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、かつ、直
交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に配置さ
れて構成されている。
を平行にするための第１の光学系と、この第１の光学系
からの光を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パ
ターンを斜め方向から入射する様に配置され、自由表面
を有する第１の液体部材と、この第１の液体部材で反射
されたパターンを結像させるための第２の光学系と、こ
の第２の光学系で結像されたパターンを受光するための
受光手段と、この受光手段の受光信号に基づき、傾きを
演算するための演算処理手段とからなり、前記暗視野パ
ターンは、複数のスリットから形成されており、一方向
にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、かつ、直
交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に配置さ
れて構成されている。
【０００８】次に本発明は、光源と、この光源からの光
を平行にするための第１の光学系と、この第１の光学系
からの光を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パ
ターンを鉛直方向から入射する様に配置され、自由表面
を有する第１の液体部材と、この第１の液体部材を透過
した光を結像させるための第２の光学系と、この第２の
光学系で結像された像を受光するための受光手段と、こ
の受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するための
演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複数
のスリットから形成されており、一方向にはパターンの
中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に沿
ってはパターン幅が変化する様に配置されて構成されて
いる。
を平行にするための第１の光学系と、この第１の光学系
からの光を通過させる暗視野パターンと、この暗視野パ
ターンを鉛直方向から入射する様に配置され、自由表面
を有する第１の液体部材と、この第１の液体部材を透過
した光を結像させるための第２の光学系と、この第２の
光学系で結像された像を受光するための受光手段と、こ
の受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するための
演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複数
のスリットから形成されており、一方向にはパターンの
中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に沿
ってはパターン幅が変化する様に配置されて構成されて
いる。
【０００９】更に本発明は、暗視野パターンを転向させ
るためのハーフミラーを透過した光を反射させ、第２の
光学系を経由し、同一の受光手段に入射させるための自
由表面を有する第２の液体部材とを備えており、２方向
使用可能に構成することもできる。
るためのハーフミラーを透過した光を反射させ、第２の
光学系を経由し、同一の受光手段に入射させるための自
由表面を有する第２の液体部材とを備えており、２方向
使用可能に構成することもできる。
【００１０】そして本発明の受光手段は、複数のスリッ
ト列の像と直交する方向（Ｘ方向）に配置されたリニア
センサであり、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔
以上の動きを、リニアセンサに対する移動量により求
め、パターンのピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換
によるパターンの位相を演算することにより求めること
により、Ｘ方向の傾きを求める様になっており、Ｙ方向
に変化するスリット像の幅を利用することにより、Ｙ方
向の傾きを求める様に構成することもできる。
ト列の像と直交する方向（Ｘ方向）に配置されたリニア
センサであり、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔
以上の動きを、リニアセンサに対する移動量により求
め、パターンのピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換
によるパターンの位相を演算することにより求めること
により、Ｘ方向の傾きを求める様になっており、Ｙ方向
に変化するスリット像の幅を利用することにより、Ｙ方
向の傾きを求める様に構成することもできる。
【００１１】また本発明は、自由表面を有する液体部材
に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもできる。
に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもできる。
【００１２】更に本発明の傾斜センサを使用した測量機
は、測量装置本体に取り付けられており、測量装置本体
のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する構成にすることも
できる。
は、測量装置本体に取り付けられており、測量装置本体
のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する構成にすることも
できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以上の様に構成された本発明は、
第１の光学系が、光源からの光を平行にし、暗視野パタ
ーンが、第１の光学系からの光を通過させ、ハーフミラ
ーが暗視野パターンを転向させ、自由表面を有する第１
の液体部材が、ハーフミラーにより転向されたパターン
を反射させ、第２の光学系が、第１の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させ、受光手段が、第２の光学系で
結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、一
方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
第１の光学系が、光源からの光を平行にし、暗視野パタ
ーンが、第１の光学系からの光を通過させ、ハーフミラ
ーが暗視野パターンを転向させ、自由表面を有する第１
の液体部材が、ハーフミラーにより転向されたパターン
を反射させ、第２の光学系が、第１の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させ、受光手段が、第２の光学系で
結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、一
方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
【００１４】また本発明は、第１の光学系が、光源から
の光を平行にし、暗視野パターンが、第１の光学系から
の光を通過させ、自由表面を有する第１の液体部材が、
暗視野パターンを斜め方向から入射する様に配置されて
おり、第２の光学系が、第１の液体部材で反射されたパ
ターンを結像させ、受光手段が、第２の光学系で結像さ
れたパターンを受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、一
方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
の光を平行にし、暗視野パターンが、第１の光学系から
の光を通過させ、自由表面を有する第１の液体部材が、
暗視野パターンを斜め方向から入射する様に配置されて
おり、第２の光学系が、第１の液体部材で反射されたパ
ターンを結像させ、受光手段が、第２の光学系で結像さ
れたパターンを受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、一
方向にはパターンの中心線が等ピッチに配置され、か
つ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変化する様に
配置されている。
【００１５】次に本発明は、第１の光学系が、光源から
の光を平行にし、暗視野パターンが第１の光学系からの
光を通過させ、自由表面を有する第１の液体部材が、暗
視野パターンを鉛直方向から入射する様に配置されてお
り、第２の光学系が、第１の液体部材を透過した光を結
像させ、受光手段が、第２の光学系で結像された像を受
光し、演算処理手段が、受光手段の受光信号に基づき、
傾きを演算する様になっており、暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている。
の光を平行にし、暗視野パターンが第１の光学系からの
光を通過させ、自由表面を有する第１の液体部材が、暗
視野パターンを鉛直方向から入射する様に配置されてお
り、第２の光学系が、第１の液体部材を透過した光を結
像させ、受光手段が、第２の光学系で結像された像を受
光し、演算処理手段が、受光手段の受光信号に基づき、
傾きを演算する様になっており、暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている。
【００１６】更に本発明は、自由表面を有する第２の液
体部材が、暗視野パターンを転向させるためのハーフミ
ラーを透過した光を反射させ、第２の光学系を経由し、
同一の受光手段に入射させる様になっており、２方向使
用可能にすることもできる。
体部材が、暗視野パターンを転向させるためのハーフミ
ラーを透過した光を反射させ、第２の光学系を経由し、
同一の受光手段に入射させる様になっており、２方向使
用可能にすることもできる。
【００１７】そして本発明の受光手段は、リニアセンサ
を、複数のスリット列の像と直交する方向（Ｘ方向）に
配置し、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔以上の
動きを、リニアセンサに対する移動量により求め、パタ
ーンのピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換によるパ
ターンの位相を演算することにより求めることにより、
Ｘ方向の傾きを求める様になっており、Ｙ方向に変化す
るスリット像の幅を利用することにより、Ｙ方向の傾き
を求める様になっている。
を、複数のスリット列の像と直交する方向（Ｘ方向）に
配置し、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔以上の
動きを、リニアセンサに対する移動量により求め、パタ
ーンのピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換によるパ
ターンの位相を演算することにより求めることにより、
Ｘ方向の傾きを求める様になっており、Ｙ方向に変化す
るスリット像の幅を利用することにより、Ｙ方向の傾き
を求める様になっている。
【００１８】また本発明は、自由表面を有する液体部材
に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもできる。
に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもできる。
【００１９】更に本発明の傾斜センサを使用した測量機
は、測量装置本体に取り付けられており、測量装置本体
のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する様にすることもで
きる。
は、測量装置本体に取り付けられており、測量装置本体
のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する様にすることもで
きる。
【００２０】
【００２１】本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
【００２２】「第１実施例」
【００２３】図１は、本第１実施例の傾斜センサ１００
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、ハーフミラー５００
と、自由表面を有する第１の液体部材６００と、第２の
パターンリレーレンズ７００と、受光手段８００と、演
算処理手段９００とから構成されている。
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、ハーフミラー５００
と、自由表面を有する第１の液体部材６００と、第２の
パターンリレーレンズ７００と、受光手段８００と、演
算処理手段９００とから構成されている。
【００２４】本第１実施例の光源１００はＬＥＤである
が、何れの光源を使用することができる。
が、何れの光源を使用することができる。
【００２５】コンデンサーレンズ２００は、光源１００
からの光を平行にするためのものであり、第１の光学系
に該当するものである。
からの光を平行にするためのものであり、第１の光学系
に該当するものである。
【００２６】暗視野パターン３００は、受光手段８００
にパターン像を形成するためのものである。
にパターン像を形成するためのものである。
【００２７】図２は、本第１実施例の暗視野パターン３
００を示すもので、複数のスリット列３１０、３１０・
・・・から構成されている。ここで、複数のスリット列
３１０、３１０・・・・と直交する方向をＸ方向とし、
スリット３１０の長手方向をＹ方向とする。
００を示すもので、複数のスリット列３１０、３１０・
・・・から構成されている。ここで、複数のスリット列
３１０、３１０・・・・と直交する方向をＸ方向とし、
スリット３１０の長手方向をＹ方向とする。
【００２８】この複数のスリット列３１０、３１０・・
・・は、各スリット３１０の中心点が間隔Ｐで等間隔に
配置されており、かつ、直交する方向に沿ってはパター
ン幅が変化する様に配置されている。
・・は、各スリット３１０の中心点が間隔Ｐで等間隔に
配置されており、かつ、直交する方向に沿ってはパター
ン幅が変化する様に配置されている。
【００２９】第１のパターンリレーレンズ４００は、暗
視野パターン３００を通過した光をハーフミラー５００
に導くものである。
視野パターン３００を通過した光をハーフミラー５００
に導くものである。
【００３０】ハーフミラー５００で転向された光は上方
に向かい、自由表面を有する第１の液体部材６００に入
射する。そして、自由表面を有する第１の液体部材６０
０で反射された光は、ハーフミラー５００を透過して、
下方の受光手段８００に向かう様になっている。
に向かい、自由表面を有する第１の液体部材６００に入
射する。そして、自由表面を有する第１の液体部材６０
０で反射された光は、ハーフミラー５００を透過して、
下方の受光手段８００に向かう様になっている。
【００３１】自由表面を有する第１の液体部材６００
は、シリコンオイル等の適度の粘性を有する液体が充填
されている。第１の液体部材６００は、自由表面を有す
るので、表面は必ず水平を保つ様になっている。
は、シリコンオイル等の適度の粘性を有する液体が充填
されている。第１の液体部材６００は、自由表面を有す
るので、表面は必ず水平を保つ様になっている。
【００３２】第２のパターンリレーレンズ７００は、自
由表面を有する第１の液体部材６００で反射され、ハー
フミラー５００を透過した光を、受光手段８００上に結
像するためのものである。即ち、第２のパターンリレー
レンズ７００は、暗視野パターン３００の像を受光手段
８００上に形成するためのものである。
由表面を有する第１の液体部材６００で反射され、ハー
フミラー５００を透過した光を、受光手段８００上に結
像するためのものである。即ち、第２のパターンリレー
レンズ７００は、暗視野パターン３００の像を受光手段
８００上に形成するためのものである。
【００３３】なお、第２のパターンリレーレンズ７００
は、第２の光学系に該当するものであり、受光手段８０
０から、第２のパターンリレーレンズ７００の焦点距離
ｆ離れた位置に配置されている。
は、第２の光学系に該当するものであり、受光手段８０
０から、第２のパターンリレーレンズ７００の焦点距離
ｆ離れた位置に配置されている。
【００３４】受光手段８００は、暗視野パターン３００
の像を受光し、電気信号に変換するためのものであり、
本第１実施例では、ＣＣＤ（電荷結合素子）リニアセン
サが採用されている。
の像を受光し、電気信号に変換するためのものであり、
本第１実施例では、ＣＣＤ（電荷結合素子）リニアセン
サが採用されている。
【００３５】演算処理手段９００は、ＣＰＵを含む演算
処理装置であり、全体の制御を司ると共に、暗視野パタ
ーン３００のスリット像の移動距離を算出し、対応する
傾き角を演算するためのものである。
処理装置であり、全体の制御を司ると共に、暗視野パタ
ーン３００のスリット像の移動距離を算出し、対応する
傾き角を演算するためのものである。
【００３６】以上の様に構成された本第１実施例では、
傾斜センサ１０００が傾けば、第１の液体部材６００の
自由表面は水平を保つので、傾斜角度に比例して、受光
手段８００上の暗視野パターン３００の像が移動するこ
とになる。
傾斜センサ１０００が傾けば、第１の液体部材６００の
自由表面は水平を保つので、傾斜角度に比例して、受光
手段８００上の暗視野パターン３００の像が移動するこ
とになる。
【００３７】ここで傾斜センサ１０００が角度θ傾いた
場合には、図６に示す様に、第１の液体部材６００の屈
折率をｎとすると、自由表面からの反射光は２ｎθ傾く
ことになる。受光手段８００であるリニアセンサ上の距
離をＬとすると、
場合には、図６に示す様に、第１の液体部材６００の屈
折率をｎとすると、自由表面からの反射光は２ｎθ傾く
ことになる。受光手段８００であるリニアセンサ上の距
離をＬとすると、
【００３８】 Ｌ＝ｆ＊ｔａｎ（２ｎθ） ・・・・・第１式
【００３９】となる。
【００４０】従って、暗視野パターン３００のスリット
３１０の移動量を受光手段８００が検出し、演算処理手
段９００が傾き角に変換すれば、傾斜センサ１０００の
傾きθを測定することができる。
３１０の移動量を受光手段８００が検出し、演算処理手
段９００が傾き角に変換すれば、傾斜センサ１０００の
傾きθを測定することができる。
【００４１】「第２実施例」
【００４２】図３は、本第２実施例の傾斜センサ２００
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、自由表面を有する第１
の液体部材６００と、第２のパターンリレーレンズ７０
０と、受光手段８００と、演算処理手段９００とから構
成されている。
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、自由表面を有する第１
の液体部材６００と、第２のパターンリレーレンズ７０
０と、受光手段８００と、演算処理手段９００とから構
成されている。
【００４３】本第２実施例の傾斜センサ２０００は、第
１実施例の傾斜センサ１０００のハーフミラー５００が
省略されており、第１のパターンリレーレンズ４００に
より、自由表面を有する第１の液体部材６００に対し
て、斜めの方向から光を入射させる構成となっており、
自由表面を有する第１の液体部材６００で反射した光
も、斜めの方向に出射し、第２のパターンリレーレンズ
７００により、受光手段８００上に結像する様になって
いる。従って受光手段８００は、傾けて配置されてい
る。
１実施例の傾斜センサ１０００のハーフミラー５００が
省略されており、第１のパターンリレーレンズ４００に
より、自由表面を有する第１の液体部材６００に対し
て、斜めの方向から光を入射させる構成となっており、
自由表面を有する第１の液体部材６００で反射した光
も、斜めの方向に出射し、第２のパターンリレーレンズ
７００により、受光手段８００上に結像する様になって
いる。従って受光手段８００は、傾けて配置されてい
る。
【００４４】なお、その他の構成は、第１実施例と同様
であるから、説明を省略する。
であるから、説明を省略する。
【００４５】「第３実施例」
【００４６】図４は、本第３実施例の傾斜センサ３００
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、自由表面を有する第１
の液体部材６００と、第２のパターンリレーレンズ７０
０と、受光手段８００と、演算処理手段９００とから構
成されている。
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、自由表面を有する第１
の液体部材６００と、第２のパターンリレーレンズ７０
０と、受光手段８００と、演算処理手段９００とから構
成されている。
【００４７】本第３実施例の傾斜センサ３０００は、第
１実施例の傾斜センサ１０００のハーフミラー５００と
第１のパターンリレーレンズ４００とが省略されてお
り、自由表面を有する第１の液体部材６００に対して、
鉛直上方の方向から光を入射させる構成となっており、
自由表面を有する第１の液体部材６００を透過した光
は、鉛直下方に出射し、第２のパターンリレーレンズ７
００により、受光手段８００上に結像する様になってい
る。
１実施例の傾斜センサ１０００のハーフミラー５００と
第１のパターンリレーレンズ４００とが省略されてお
り、自由表面を有する第１の液体部材６００に対して、
鉛直上方の方向から光を入射させる構成となっており、
自由表面を有する第１の液体部材６００を透過した光
は、鉛直下方に出射し、第２のパターンリレーレンズ７
００により、受光手段８００上に結像する様になってい
る。
【００４８】なお、その他の構成は、第１実施例及び第
２の実施例と同様であるから、説明を省略する。
２の実施例と同様であるから、説明を省略する。
【００４９】次に、演算処理手段９００の傾き角の演算
処理を詳細に説明する。
処理を詳細に説明する。
【００５０】受光手段８００であるリニアセンサは、複
数のスリット列３１０、３１０・・・・・の像と直交す
る方向（Ｘ方向）に配置されている。
数のスリット列３１０、３１０・・・・・の像と直交す
る方向（Ｘ方向）に配置されている。
【００５１】従って、Ｘ方向の傾き角については、図７
に示す様に、スリット３１０・・・・・の特定のパター
ンをスタートパターンとして着目し、予め設定しておく
水平基準位置から距離ｄｘを測定すればよい。
に示す様に、スリット３１０・・・・・の特定のパター
ンをスタートパターンとして着目し、予め設定しておく
水平基準位置から距離ｄｘを測定すればよい。
【００５２】またピッチ間隔以下の距離に関しては、リ
ニアセンサの出力のフーリエ変換を行うことにより、ピ
ッチ間隔に対する水平基準位置との位相差φを計算し、
ニアセンサの出力のフーリエ変換を行うことにより、ピ
ッチ間隔に対する水平基準位置との位相差φを計算し、
【００５３】 φ＊ｐ／（２π） ・・・・・・第２式
【００５４】を求めることにより、ピッチ間隔以下の距
離を高精度に測定可能である。そして、上記スタートパ
ターンの距離から求めたピッチ間隔以上の距離と合わせ
ることにより、全体の距離を演算することができる。
離を高精度に測定可能である。そして、上記スタートパ
ターンの距離から求めたピッチ間隔以上の距離と合わせ
ることにより、全体の距離を演算することができる。
【００５５】そして演算処理手段９００は、全体の移動
量から、対応するＸ方向の傾き角を演算することができ
る。
量から、対応するＸ方向の傾き角を演算することができ
る。
【００５６】次にＹ方向の傾き角であるが、Ｙ方向の傾
き角は、幅が変化する３角形のスリット３１０ｂより演
算する。
き角は、幅が変化する３角形のスリット３１０ｂより演
算する。
【００５７】即ち、Ｘ方向にリニアセンサが配置されて
いるので、Ｙ方向に傾くと、３角形のスリット３１０ｂ
の受光幅が変化することになる。この変化量は、Ｙ方向
の傾き角と比例するため、演算処理手段９００はＹ方向
に傾き角を算出することができる。
いるので、Ｙ方向に傾くと、３角形のスリット３１０ｂ
の受光幅が変化することになる。この変化量は、Ｙ方向
の傾き角と比例するため、演算処理手段９００はＹ方向
に傾き角を算出することができる。
【００５８】Ｙ方向の幅の測定は、図７に示す様に、リ
ニアセンサの出力を微分することにより、その立ち上が
りと立ち下がりの距離を測定することができる。また、
測定精度を上げるために、全ての信号について演算を行
い、平均の幅ｄｙave を求め、フーリエ変換により得ら
れたピッチ幅ｐ及び予め決められた比例関係ｋより、リ
ニアセンサ上の距離Ｌを
ニアセンサの出力を微分することにより、その立ち上が
りと立ち下がりの距離を測定することができる。また、
測定精度を上げるために、全ての信号について演算を行
い、平均の幅ｄｙave を求め、フーリエ変換により得ら
れたピッチ幅ｐ及び予め決められた比例関係ｋより、リ
ニアセンサ上の距離Ｌを
【００５９】 Ｌ＝ｋ＊ｄｙave／ｐ ・・・・・第３式
【００６０】と表すことができる。更に、第１式よりＹ
方向の傾きを計算することができる。
方向の傾きを計算することができる。
【００６１】なお、幅が変化するスリットは、３角形に
限ることなく、幅が変化し、傾きとの対応が設定される
ものであればよい。
限ることなく、幅が変化し、傾きとの対応が設定される
ものであればよい。
【００６２】以上の様に、１つのリニアセンサを利用す
るだけで、Ｘ方向及びＹ方向の２軸方向の傾きを検出す
ることができる。
るだけで、Ｘ方向及びＹ方向の２軸方向の傾きを検出す
ることができる。
【００６３】また、リニアセンサでなく、エリアセンサ
を採用すれば、等間隔に形成された複数のスリット３１
０、３１０・・・を使用することで、Ｘ方向及びＹ方向
の２軸の傾きを検出することができる。
を採用すれば、等間隔に形成された複数のスリット３１
０、３１０・・・を使用することで、Ｘ方向及びＹ方向
の２軸の傾きを検出することができる。
【００６４】更に、自由表面を有する第１の液体部材６
００に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもでき
る。
００に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもでき
る。
【００６５】「第４実施例」
【００６６】図５は、本第４実施例の傾斜センサ４００
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、ハーフミラー５００
と、自由表面を有する第１の液体部材６００と、自由表
面を有する第２の液体部材６１０と、第２のパターンリ
レーレンズ７００と、受光手段８００と、演算処理手段
９００とから構成されている。
０の光学的構成を示すもので、光源１００と、コンデン
サーレンズ２００と、暗視野パターン３００と、第１の
パターンリレーレンズ４００と、ハーフミラー５００
と、自由表面を有する第１の液体部材６００と、自由表
面を有する第２の液体部材６１０と、第２のパターンリ
レーレンズ７００と、受光手段８００と、演算処理手段
９００とから構成されている。
【００６７】上記第１の実施例と同様な方法にて実施す
る場合には、第１の液体部材６００は自由表面を形成
し、第２の液体部材６１０は光路上より外れるため、第
１の実施例と同様な構成となる。
る場合には、第１の液体部材６００は自由表面を形成
し、第２の液体部材６１０は光路上より外れるため、第
１の実施例と同様な構成となる。
【００６８】図５に示す様に本第４実施例は、全体を左
に９０度回転させると、第２の液体部材６１０が自由表
面を形成し、第１の液体部材６００が光路から外れる様
になる。即ち、第１実施例を９０度回転させても使用可
能な様に、第２の液体部材６１０を配置したものであ
る。
に９０度回転させると、第２の液体部材６１０が自由表
面を形成し、第１の液体部材６００が光路から外れる様
になる。即ち、第１実施例を９０度回転させても使用可
能な様に、第２の液体部材６１０を配置したものであ
る。
【００６９】従って、傾斜センサ４０００が傾けば、第
２の液体部材６１０の自由表面は水平を保つため、傾斜
角度に比例して、受光手段８００上の暗視野パターン３
００の像が移動することになる。
２の液体部材６１０の自由表面は水平を保つため、傾斜
角度に比例して、受光手段８００上の暗視野パターン３
００の像が移動することになる。
【００７０】ハーフミラー５００を透過したパターン像
は、第２の液体部材６１０で反射し、更に、ハーフミラ
ー５００及び第２のパターンリレーレンズ７００を経由
して、受光手段８００上に結像される。この場合、第１
の液体部材６００に入射した光は、液体が光路上より外
れるため、反射されることはない。
は、第２の液体部材６１０で反射し、更に、ハーフミラ
ー５００及び第２のパターンリレーレンズ７００を経由
して、受光手段８００上に結像される。この場合、第１
の液体部材６００に入射した光は、液体が光路上より外
れるため、反射されることはない。
【００７１】即ち、第２の液体部材６１０を追加するだ
けで、図５の傾斜センサ４０００は２方向で使用可能と
なる。
けで、図５の傾斜センサ４０００は２方向で使用可能と
なる。
【００７２】また、図１０及び図１１に示す様な電子式
セオドライト２００００等に傾斜センサを取り付けれ
ば、測量装置本体のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する
ことができる。
セオドライト２００００等に傾斜センサを取り付けれ
ば、測量装置本体のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する
ことができる。
【００７３】
【効果】以上の様に構成された本発明は、光源と、この
光源からの光を平行にするための第１の光学系と、この
第１の光学系からの光を通過させる暗視野パターンと、
この暗視野パターンを転向させるためのハーフミラー
と、このハーフミラーにより転向されたパターンを反射
させるための自由表面を有する第１の液体部材と、この
第１の液体部材で反射されたパターンを結像させるため
の第２の光学系と、この第２の光学系で結像された像を
受光するための受光手段と、この受光手段の受光信号に
基づき、傾きを演算するための演算処理手段とからな
り、前記暗視野パターンは、複数のスリットから形成さ
れており、一方向にはパターンの中心線が等ピッチに配
置され、かつ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変
化する様に配置されているので、機械的強度が高く、高
精度な傾斜センサを提供することができるという効果が
ある。
光源からの光を平行にするための第１の光学系と、この
第１の光学系からの光を通過させる暗視野パターンと、
この暗視野パターンを転向させるためのハーフミラー
と、このハーフミラーにより転向されたパターンを反射
させるための自由表面を有する第１の液体部材と、この
第１の液体部材で反射されたパターンを結像させるため
の第２の光学系と、この第２の光学系で結像された像を
受光するための受光手段と、この受光手段の受光信号に
基づき、傾きを演算するための演算処理手段とからな
り、前記暗視野パターンは、複数のスリットから形成さ
れており、一方向にはパターンの中心線が等ピッチに配
置され、かつ、直交する方向に沿ってはパターン幅が変
化する様に配置されているので、機械的強度が高く、高
精度な傾斜センサを提供することができるという効果が
ある。
【００７４】そして本発明の受光手段は、受光手段は、
複数のスリット列の像と直交する方向（Ｘ方向）に配置
されたリニアセンサであり、演算処理手段が、パターン
のピッチ間隔以上の動きを、リニアセンサに対する移動
量により求め、パターンのピッチ間隔以下の動きを、フ
ーリエ変換によるパターンの位相を演算することにより
求めることにより、Ｘ方向の傾きを求める様に構成され
ており、Ｙ方向に変化するスリット像の幅を利用するこ
とにより、Ｙ方向の傾きを求める様に構成されているの
で、１つのリニアセンサで、Ｘ方向及びＹ方向の２軸の
傾きを検出することができ、構造が簡便となって信頼性
が向上し、コストも安価となるという卓越した効果があ
る。
複数のスリット列の像と直交する方向（Ｘ方向）に配置
されたリニアセンサであり、演算処理手段が、パターン
のピッチ間隔以上の動きを、リニアセンサに対する移動
量により求め、パターンのピッチ間隔以下の動きを、フ
ーリエ変換によるパターンの位相を演算することにより
求めることにより、Ｘ方向の傾きを求める様に構成され
ており、Ｙ方向に変化するスリット像の幅を利用するこ
とにより、Ｙ方向の傾きを求める様に構成されているの
で、１つのリニアセンサで、Ｘ方向及びＹ方向の２軸の
傾きを検出することができ、構造が簡便となって信頼性
が向上し、コストも安価となるという卓越した効果があ
る。
【００７５】更に本発明は、スリット像のピッチ間隔以
下の移動量については、演算処理手段が、フーリエ変換
によりスリットパターンの位相を演算することにより算
出するので、暗視野パターンの精度を必要以上に高くす
る必要がなく、高精度な傾き角測定を行うことができ
る。特に、フーリエ変換を使用しているので、暗視野パ
ターンのスリットの形状誤差及びピッチ誤差が、最終的
な傾き角には軽減されて伝播するという卓越した効果が
ある。
下の移動量については、演算処理手段が、フーリエ変換
によりスリットパターンの位相を演算することにより算
出するので、暗視野パターンの精度を必要以上に高くす
る必要がなく、高精度な傾き角測定を行うことができ
る。特に、フーリエ変換を使用しているので、暗視野パ
ターンのスリットの形状誤差及びピッチ誤差が、最終的
な傾き角には軽減されて伝播するという卓越した効果が
ある。
【００７６】
【図１】本発明の第１実施例の傾斜センサ１０００の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図２】本実施例の暗視野パターン３００を説明する図
である。
である。
【図３】第２実施例の傾斜センサ２０００の構成を示す
図である。
図である。
【図４】第３実施例の傾斜センサ３０００の構成を示す
図である。
図である。
【図５】第４実施例の傾斜センサ４０００の構成を示す
図である。
図である。
【図６】第１実施例の第１の流体部材６００を説明する
図である。
図である。
【図７】演算処理手段９００の傾き角の演算処理を説明
する図である。
する図である。
【図８】演算処理手段９００の傾き角の演算処理を説明
する図である。
する図である。
【図９】従来技術を説明する図である。
【図１０】本実施例を電子式セオドライト２００００に
応用した例を説明する図である。
応用した例を説明する図である。
【図１１】本実施例を電子式セオドライト２００００に
応用した例を説明する図である。
応用した例を説明する図である。
２００００ 電子式セオドライト １０００ 第１実施例の傾斜センサ ２０００ 第２実施例の傾斜センサ ３０００ 第３実施例の傾斜センサ ４０００ 第４実施例の傾斜センサ １００ 光源 ２００ コンデンサーレンズ ３００ 暗視野パターン ３１０ スリット ４００ 第１のパターンリレーレンズ ５００ ハーフミラー ６００ 自由表面を有する第１の液体部材 ６１０ 自由表面を有する第２の液体部材 ７００ 第２のパターンリレーレンズ ８００ 受光手段 ９００ 演算処理手段
Claims (7)
- 【請求項１】 光源と、この光源からの光を平行にする
ための第１の光学系と、この第１の光学系からの光を通
過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを転向
させるためのハーフミラーと、このハーフミラーにより
転向されたパターンを反射させるための自由表面を有す
る第１の液体部材と、この第１の液体部材で反射された
パターンを結像させるための第２の光学系と、この第２
の光学系で結像された像を受光するための受光手段と、
この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するため
の演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている傾斜
センサ。 - 【請求項２】 光源と、この光源からの光を平行にする
ための第１の光学系と、この第１の光学系からの光を通
過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを斜め
方向から入射する様に配置され、自由表面を有する第１
の液体部材と、この第１の液体部材で反射されたパター
ンを結像させるための第２の光学系と、この第２の光学
系で結像されたパターンを受光するための受光手段と、
この受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するため
の演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複
数のスリットから形成されており、一方向にはパターン
の中心線が等ピッチに配置され、かつ、直交する方向に
沿ってはパターン幅が変化する様に配置されている傾斜
センサ。 - 【請求項３】 光源と、この光源からの光を平行にする
ための第１の光学系と、この第１の光学系からの光を通
過させる暗視野パターンと、この暗視野パターンを鉛直
方向から入射する様に配置され、自由表面を有する第１
の液体部材と、この第１の液体部材を透過した光を結像
させるための第２の光学系と、この第２の光学系で結像
された像を受光するための受光手段と、この受光手段の
受光信号に基づき、傾きを演算するための演算処理手段
とからなり、前記暗視野パターンは、複数のスリットか
ら形成されており、一方向にはパターンの中心線が等ピ
ッチに配置され、かつ、直交する方向に沿ってはパター
ン幅が変化する様に配置されている傾斜センサ。 - 【請求項４】 暗視野パターンを転向させるためのハー
フミラーを透過した光を反射させ、第２の光学系を経由
し、同一の受光手段に入射させるための自由表面を有す
る第２の液体部材とを備えており、２方向使用可能に構
成されている請求項１〜３記載の傾斜センサ。 - 【請求項５】 受光手段は、複数のスリット列の像と直
交する方向（Ｘ方向）に配置されたリニアセンサであ
り、演算処理手段が、パターンのピッチ間隔以上の動き
を、リニアセンサに対する移動量により求め、パターン
のピッチ間隔以下の動きを、フーリエ変換によるパター
ンの位相を演算することにより求めることにより、Ｘ方
向の傾きを求める様に構成されており、Ｙ方向に変化す
るスリット像の幅を利用することにより、Ｙ方向の傾き
を求める様に構成されている請求項１〜４記載の傾斜セ
ンサ。 - 【請求項６】 自由表面を有する液体部材に代えて、揺
動自在な懸垂部材となっている請求項１〜５記載の傾斜
センサ。 - 【請求項７】 測量装置本体に取り付けられており、測
量装置本体のＸ方向及びＹ方向の傾きを検出する請求項
１〜６記載の傾斜センサを使用した測量機。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11975996A JP3673954B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 |
| CN97110370A CN1093255C (zh) | 1996-04-17 | 1997-04-14 | 倾斜传感器以及采用它的测量仪 |
| DE69726487T DE69726487T3 (de) | 1996-04-17 | 1997-04-15 | Neigungssensor und diesen verwendendes Vermessungsinstrument |
| EP97106197A EP0802396B2 (en) | 1996-04-17 | 1997-04-15 | Inclination sensor and surveying instrument using the same |
| US08/843,586 US5893215A (en) | 1996-04-17 | 1997-04-16 | Inclination sensor and surveying instrument using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11975996A JP3673954B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09280859A true JPH09280859A (ja) | 1997-10-31 |
| JP3673954B2 JP3673954B2 (ja) | 2005-07-20 |
Family
ID=14769475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11975996A Expired - Lifetime JP3673954B2 (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5893215A (ja) |
| EP (1) | EP0802396B2 (ja) |
| JP (1) | JP3673954B2 (ja) |
| CN (1) | CN1093255C (ja) |
| DE (1) | DE69726487T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016109602A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | 株式会社トプコン | 傾斜検出装置 |
| CN109540102A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 中铁建设集团有限公司 | 一种基于ccd线阵的高精度倾角测量装置及方法 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3787736B2 (ja) * | 1997-10-08 | 2006-06-21 | 株式会社トプコン | 傾斜センサ |
| AUPP561398A0 (en) * | 1998-09-02 | 1998-09-24 | Connolly, Michael | Laser level assembly |
| US6473714B1 (en) * | 1998-09-29 | 2002-10-29 | Kabushiki Kaisha Topcon | Inclination measuring apparatus |
| JP4653898B2 (ja) | 2001-03-28 | 2011-03-16 | 株式会社トプコン | 傾斜検出装置 |
| DE202004010922U1 (de) * | 2004-07-12 | 2005-11-24 | Leica Geosystems Ag | Neigungssensor |
| CN100395520C (zh) * | 2004-12-23 | 2008-06-18 | 西安华腾光电有限责任公司 | 高精度光电三维倾角测量方法及其测量仪 |
| JP2007127628A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-05-24 | Topcon Corp | 位置検出装置及びこれを使用した測量機の傾斜センサ装置 |
| US7733506B2 (en) * | 2007-03-29 | 2010-06-08 | Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd. | Optical tilt monitoring apparatus |
| CN101825461B (zh) * | 2010-02-10 | 2012-06-27 | 浙江工业大学 | 基于圆柱形模型的平台调平装置 |
| CN101900548B (zh) * | 2010-02-11 | 2012-07-25 | 浙江工业大学 | 基于机器视觉的全方位倾斜传感器 |
| CN104669153B (zh) * | 2013-12-02 | 2017-02-08 | 昌河飞机工业（集团）有限责任公司 | 桨叶扭角测量夹具及其方法 |
| JP6324270B2 (ja) | 2014-08-28 | 2018-05-16 | 株式会社トプコン | 測定装置および傾斜センサ装置 |
| CN105004319A (zh) * | 2015-06-01 | 2015-10-28 | 苏州一光仪器有限公司 | 倾斜传感器 |
| CN109073371B (zh) * | 2016-04-19 | 2020-06-02 | Abb瑞士股份有限公司 | 倾斜检测的设备及方法 |
| CN110631552A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-31 | 西安华腾光电有限责任公司 | 一种光电式液体摆二维倾角传感器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0599666A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-04-23 | Leica Heerbrugg Ag | ２軸式傾斜測定装置 |
| JPH07208986A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-08-11 | Nikon Corp | 傾斜角測定装置 |
| JPH0814903A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-19 | Nikon Corp | 測量機 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3009255A (en) * | 1957-04-25 | 1961-11-21 | Motorola Inc | Horizon indicating system |
| GB1550339A (en) * | 1975-08-28 | 1979-08-15 | Elliott Brothers London Ltd | Optical angular position sensors |
| FR2564580B1 (fr) * | 1984-05-16 | 1986-10-31 | Dousset Robert | Niveau a bulle quatre quadrants |
| CH673707A5 (ja) * | 1987-07-24 | 1990-03-30 | Kern & Co Ag | |
| GB8719154D0 (en) † | 1987-08-13 | 1987-09-23 | Coal Industry Patents Ltd | Optically measuring relative angular movement |
| CH677403A5 (en) * | 1988-06-17 | 1991-05-15 | Wild Leitz Ag | Dual-axis inclination indicator - has imaged markings on rotatable disc split into measuring channel and reference channel for phase comparison |
| JP2913984B2 (ja) † | 1992-03-11 | 1999-06-28 | 株式会社ニコン | 傾斜角測定装置 |
| US5513001A (en) * | 1992-11-12 | 1996-04-30 | Kabushiki Kaisha Topcon | Tilt angle automatic compensator in all directions |
| KR960001716A (ko) * | 1994-06-17 | 1996-01-25 | 전성원 | 경사 감지센서 |
-
1996
- 1996-04-17 JP JP11975996A patent/JP3673954B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-04-14 CN CN97110370A patent/CN1093255C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-15 EP EP97106197A patent/EP0802396B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-15 DE DE69726487T patent/DE69726487T3/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-16 US US08/843,586 patent/US5893215A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0599666A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-04-23 | Leica Heerbrugg Ag | ２軸式傾斜測定装置 |
| JPH07208986A (ja) * | 1994-01-17 | 1995-08-11 | Nikon Corp | 傾斜角測定装置 |
| JPH0814903A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-19 | Nikon Corp | 測量機 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016109602A (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-20 | 株式会社トプコン | 傾斜検出装置 |
| CN109540102A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 中铁建设集团有限公司 | 一种基于ccd线阵的高精度倾角测量装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1093255C (zh) | 2002-10-23 |
| EP0802396A3 (en) | 1998-11-25 |
| DE69726487T3 (de) | 2008-05-21 |
| EP0802396A2 (en) | 1997-10-22 |
| DE69726487D1 (de) | 2004-01-15 |
| US5893215A (en) | 1999-04-13 |
| DE69726487T2 (de) | 2004-10-28 |
| EP0802396B1 (en) | 2003-12-03 |
| CN1167907A (zh) | 1997-12-17 |
| EP0802396B2 (en) | 2007-12-26 |
| JP3673954B2 (ja) | 2005-07-20 |
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