CN1167907A - 倾斜传感器以及采用它的测量仪 - Google Patents

倾斜传感器以及采用它的测量仪 Download PDF

Info

Publication number
CN1167907A
CN1167907A CN97110370A CN97110370A CN1167907A CN 1167907 A CN1167907 A CN 1167907A CN 97110370 A CN97110370 A CN 97110370A CN 97110370 A CN97110370 A CN 97110370A CN 1167907 A CN1167907 A CN 1167907A
Authority
CN
China
Prior art keywords
striped
optical system
dialogues
told
play
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN97110370A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1093255C (zh
Inventor
熊谷薰
大友文夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Topcon Corp
Original Assignee
Topcon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=14769475&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN1167907(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Topcon Corp filed Critical Topcon Corp
Publication of CN1167907A publication Critical patent/CN1167907A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1093255C publication Critical patent/CN1093255C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/02—Details
    • G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/02—Details
    • G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
    • G01C2009/066—Electric or photoelectric indication or reading means optical

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种最适合测量仪，仅用一个线型传感器就可以检测二维方向倾角的倾斜传感器，本发明中，第一光学系统使光源出射光平行，暗场条纹让出射光通过，半透过反射镜使暗场条纹转向，第一液体部件使半透过反射镜转向的条纹反射，第二光学系统使第一液体部件所反射的条纹成像，感光装置对第二光学系统所成的像感光，运算处理装置根据感光信号运算倾角，暗场条纹由多个缝形成，条纹中心线等间距地配置，并且沿正交方向使条纹宽度变化地配置。

Description

倾斜传感器以及采用它的测量仪
本发明涉及利用具有自由表面的液体部件的倾斜传感器，尤其对测量仪的倾斜传感器最为适合，可以只由一个线性传感器检测X轴和Y轴两轴方向倾角的倾斜传感器以及采用它的测量仪。
以往，检测测量仪倾角的元件采用的是图9所示的气泡管10000。这种气泡管10000内部封入气泡5000，并且形成电极6000、7000，可通过电气测量静电电容，来测定倾角。
但上述气泡管10000其外周部分由玻璃构成，因而要求冲击较弱和较高的机械精度，因而具有成本较高这种问题。
此外，为了测量X、Y方向倾角，两轴方向需有要两个气泡管10000，因而成本高。
气泡管10000还有受环境温度变化的影响，必须对温度变化进行修正等这种问题。
本发明，第一光学系统使光源出射的光平行，暗场条纹让第一光学系统出射的光通过，半透过反射镜使暗场条纹转向，第一液体部件使半透过反射镜转向的条纹反射，第二光学系统使第一液体部件所反射的条纹成像，感光装置对第二光学系统所成的像感光，运算处理装置根据感光装置的感光信号运算倾角，暗场条纹由多个缝形成，在某一方向上条纹中心线等间距地配置，并且沿正交方向使条纹宽度变化地配置。
附图示出本发明实施例。
图1是示意本发明第一实施例倾斜传感器1000的光学构成图。
图2是本实施例暗场条纹300的说明图。
图3是第二实施例倾斜传感器2000的光学构成图。
图4是第三实施例倾斜传感器3000的光学构成图。
图5是第四实施例倾斜传感器4000的光学构成图。
图6是第一实施例第一流体部件600的说明图。
图7是运算处理装置900倾角运算处理的说明图。
图8是运算处理装置900倾角运算处理的说明图。
图9是现有技术的说明图。
图10是本实施例应用于电子式经纬仪20000的例子的说明图。
图11是本实施例应用于电子式经纬仪20000的例子的说明图。
根据附图说明本发明实施例。
(第一实施例)
图1示出第一实施例倾斜传感器100的光学构成，由光源100、聚光透镜200、暗场条纹300、第一图案中继透镜400、半透过反射镜500、具有自由表面的第一液体部件600、第二图案中继透镜700、感光装置800和运算处理装置900构成。
第一实施例光源100为LED，但可以使用任意光源。
聚光透镜200是使光源100出射的光平行用的装置，相当于第一光学系统。
暗场条纹300是在感光装置800上形成条纹像用的装置。
图2示出第一实施例暗场条纹300，由多个纵向缝隙310、310，……构成。这里，令与多个纵向缝隙310、310……相正交方向为X方向，缝隙310的纵向为Y方向。
多个这种纵向缝隙310、310……配置成各缝隙310的中心点按间距P等间隔分布，并且沿正交方向条纹宽度变化配置。
第一图案中继透镜400是将通过暗场条纹300的光导向半透过反射镜500的装置。
经半透过反射镜500转向的光朝向上方，入射至具有自由表面的第一液体部件600。接着，由具有自由表面的第一液体部件600反射的光便通过半透过反射镜500，朝向下方的感光装置800。
具有自由表面的第一液体部件600充填有硅油等具有合适粘性的液体。第一液体部件600具有自由表面，因而表面总是保持水平的状态。
第二图案中继透镜700是使具有自由表面的第一液体部件600反射、透过半透过反射镜500的光成像于感光装置800上所用的装置。具体来说，第二图案中继透镜700是在感光装置800上使暗场条纹300成像用的装置。
另外，第二图案中继透镜700相当于第二光学系统，配置于距感光装置800有第二图案中继透镜700焦距9距离的位置上。
感光装置800是对暗场条纹300的像感光，变换为电信号用的装置，第一实施例中可采用CCD(电荷耦合元件)线型传感器。
运算处理装置900是含CPU的运算处理装置，对全体加以控制，并算出暗场条纹300缝隙像的移动距离，运算相应倾角用的装置。
如上所述构成的第一实施例，倾斜传感器1000倾斜的话，由于第一液体部件600的自由表面保持水平，因而暗场条纹300在感光装置800上的像与倾斜角度成正比移动。
这里，倾斜传感器1000倾斜角度θ时，如图6所示，令第一液体部件600的折射率为n的话，自由表面的反射光便倾斜2nθ。令感光装置800即线型传感器上的距离为L的话，则有下式成立。
L＝f×tan(2nθ)          (式1)
因而，感光装置800检测出暗场条纹300缝隙310的移动量，运算处理装置900变换为倾角的话，便可以测定倾斜传感器1000的倾角θ。
(第二实施例)
图3示出第二实施例倾斜传感器2000的光学构成，由光源100、聚光透镜200、暗场条纹300、第一图案中继透镜400、具有自由表面的第一液体部件600、第二图案中继透镜700、感光装置800和运算处理装置900构成。
第二实施例倾斜传感器2000省略第一实施例倾斜传感器1000的半透反反射镜500，构成为由第一图案中继透镜400从斜向将光入射至具有自由表面的第一液体部件600，并且，由具有自由表面的第一液体部件600反射的光也斜向出射，由第二图案中继透镜700在感光装置800上成像。因而，感光装置800倾斜配置。
另外，其它构成与第一实施例相同，故省略说明。
(第三实施例)
图4示出第三实施例倾斜传感器3000的光学构成，由光源100、聚光透镜200、暗场条纹300、第一图案中继透镜400、具有自由表面的第一液体部件600、第二图案中继透镜700、感光装800、和运算处理装置900构成。
第三实施例的倾斜传感器3000省略第一实施例倾斜传感器1000的半透过反射镜500和第一图案中继透镜400，构成为使光从铅直上方入射至具有自由表面的第一液体部件600，透过具有自由表面的第一液体部件600的光便出射至铅直下方，由第二图案中继透镜700在感光装置800上成像。
另外，其它构成与第1实施例和第2实施例相同，故省略其说明。
以下详细说明运算处理装置900的倾角运算处理。
感光装置800即线型传感器配置在与多个纵向缝隙310、310……的像相正交方向(X方向)上。
因而，对于X方向的倾角，如图7所示，可以将缝隙310的特定条纹视作为起始条纹，测定距离预先设定的水平基准位置的距离dx。
对于小于间距距离，则通过对线型传感器输出进行傅里叶变换，来计算与同间距对应的水平基准位置的相位差φ，通过求出
φ×p/(2π)          (式2)可对小于间距距离作高精度测定。接下来，可以与由上述起始条纹距离求得的大于间距距离相结合，运算总体距离。
接着，运算处理装置900可以由总体移动量运算相应的X方向倾角。
接下来为Y方向倾角，但Y方向倾角是由宽度变化的三角形缝隙310b来运算的。
具体来说，线型传感器配置在X方向上，因而在Y方向上发生倾斜的话，三角形缝隙310b的感光宽度便变化。该变化量与Y方向的倾角成正比，因而运算处理装置900可算出在Y方向上的倾角。
Y方向宽度的测定，如图7所示，可通过对线型传感器的输出进行微分，测定其上升沿与下降沿的距离。而且，为了提高测定精度，对整个信号进行运算，求出平均宽度dyave，由傅里叶变换得到的间距宽度p和预定的比例关系k，可将线型传感器上的距离L表达如下。
L＝k×dyave/p                                 (式3)此外，还可以由式1计算Y方向的倾角。
另外，宽度变化的缝隙不限于三角形，宽度变化，只要是与倾角相对应设定的就行。
如上所述，只利用一个线型传感器，就可以检测X方向和Y方向两轴方向的倾角。
而且，不用线型传感器，用面型传感器，则可以通过采用等间隔形成的多个缝隙310、310……，检测出X方向和Y方向两轴的倾角。
此外，还可以采取晃动自如的悬垂部件来代替具有自由表面的第一液体部件600。
(第四实施例)
图5示出第四实施例倾斜传感器4000的光学构成，由电源100、聚光透镜200、暗场条纹300、第一图案中继透镜400、半透过反射镜500、具有自由表面的第一液体部件600、具有自由表面的第二液体部件610、第二图案中继透镜700、感光装置800和运算处理装置900构成。
按与上述第一实施例相同方法实施时，第一液体部件600形成自由表面，第二液体部件610从光路上撤出，因而与第一实施例具有相同构成。
如图5所示，第四实施例整体向左旋转90度的话，便变成第二液体部件610形成自由表面，第一液体部件600从光路上撤出的情形。也就是说，第二液体部件610配置成即便使第一实施例旋转90度也可以使用。
因而，倾斜传感器4000一旦倾斜，由于第二液体部件610的自由表面确保水平，因而感光装置800上暗场条纹300的像便与倾斜角度成正比移动。
透过半透过反射镜500的条纹像经第二液体部件610反射，再经由半透过反射镜500和第二图案中继透镜700，在感光装置800上成像。这时入射至第一液体部件600的光由于液体处于光路以外位置，因而没有反射。
也就是说，只要增加第二液体部件610，图5倾斜传感器4000便可以在两维方向上使用。
图10和图11所示的电子式经纬仪20000等装配倾斜传感器的话，可以检测出测量装置主体在X方向和Y方向上的倾角。
如上所述构成的本发明，第一光学系统使光源出射的光平行，暗场条纹让第一光学系统出射的光通过，半透过反射镜使暗场条纹转向，具有自由表面的第一液体部件使半透过反射镜转向的条纹反射，第二光学系统使第一液体部件所反射的条纹成像，感光装置对第二光学系统的成像感光，运算处理装置根据感光装置的感光信号运算倾角，暗场条纹由多个缝形成，在某一方向上条纹中心线等间距地配置，并且沿正交方向使条纹宽度变化地配置，因而具有可以提供高机械强度、高精度倾斜传感器这种效果。
而且，本发明的感光装置将线型传感器配置在与多个纵向缝隙的像相正交方向(X方向)上，运算处理装置由相对线型传感器的移动量求得条纹超过间距的动作，通过运算傅里叶变换产生的条纹相位，求得条纹低于间距的动作，从而可求出X方向倾角，通过利用Y方向变化的缝隙像宽度，从而可求出Y方向倾角，因而可以由一个线型传感器检测出X方向和Y方向两轴的倾角，具有结构简便、可靠性提高、成本也低这类优越效果。
此外，本发明对于缝隙像低于间距的移动量，是运算处理装置通过傅里叶变换运算缝隙条纹相位求出的，因而，不需将暗场条纹精度专门提高，便可以进行高精度的倾角测定。尤其是采用傅里叶变换，因而具有暗场条纹的缝隙形状误差和间距误差对于最后的倾角可减轻传递这种优越效果。

Claims (7)

1.一种倾斜传感器，其特征在于包括：光源；使该光源出射光平行用的第一光学系统；让该第一光学系统出射光通过的暗场条纹；使该暗场条纹转向用的半透过反射镜；具有自由表面用以反射由该半透过反射镜转向的条纹的第一液体部件；使该第一液体部件反射的条纹成像用的第二光学系统；对该第二光学系统所成的像感光用的感光装置；根据该感光装置的感光信号运算倾角用的运算处理装置，所述暗场条纹由多个缝隙形成，在一方向上条纹中心线等间距地配置，并且沿正交方向使条纹宽度变化地配置。
2.一种倾斜传感器，其特征在于包括：光源；使该光源出射光平行用的第一光学系统；让该第一光学系统出射光通过的暗场条纹；配置成使该暗场条纹斜向入射、具有自由表面的第一液体部件；使该第一液体部件反射的条纹成像用的第二光学系统；对该第二光学系统所成的像感光用的感光装置；根据该感光装置的感光信号运算倾角用的运算处理装置，所述暗场条纹由多个缝隙形成，在一方向上条纹中心线等间距地配置，并且沿正交方向使条纹宽度变化地配置。
3.一种倾斜传感器，其特征在于包括：光源；使该光源出射光平行用的第一光学系统；让该第一光学系统出射光通过的暗场条纹；配置成从铅直方向使该暗场条纹入射、具有自由表面的第一液体部件；使透过该第一液体部件的光成像用的第二光学系；对该第二光学系统所成的像感光用的感光装置；根据该感光装置的感光信号运算倾角用的运算处理装置，所述暗场条纹由多个缝隙形成，在一方向上条纹中心线等间距地配置，并且沿正交方向使条纹宽度变化地配置。
4.如权利要求1～3中任一项所述的倾斜传感器，其特征在于包括：具有自由表面，用以对使暗场条纹转向用的半透过反射镜所透过的光进行反射，经由第二光学系统，入射至同一感光装置的第二液体部件，构成为可在二维方向上使用。
5.如权利要求1～4中任一项所述的倾斜传感器，其特征在于，感光装置是配置在与多个纵向缝隙的像相正交方向(X方向)上的线型传感器，运算处理装置构成为由相对线型传感器的移动量求出条纹超过间距的移动，通过运算傅里叶变换得到的条纹相位求出条纹低于间距的移动，从而求出X方向倾角，通过利用Y方向变化的缝隙像的宽度，求出Y方向倾角。
6.如权利要求1～5中任一项所述的倾斜传感器，其特征在于，采用晃动自如的悬垂部件代替具有自由表面的液体部件。
7.一种采用如权利要求1～6中任一项所述的倾斜传感器的测量仪，其特征在于，将它装配在测量装置主体上，来检测测量装置主体X方向和Y方向的倾角。
CN97110370A 1996-04-17 1997-04-14 倾斜传感器以及采用它的测量仪 Expired - Lifetime CN1093255C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11975996A JP3673954B2 (ja) 1996-04-17 1996-04-17 傾斜センサ及びこれを使用した測量機
JP119759/96 1996-04-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1167907A true CN1167907A (zh) 1997-12-17
CN1093255C CN1093255C (zh) 2002-10-23

Family

ID=14769475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN97110370A Expired - Lifetime CN1093255C (zh) 1996-04-17 1997-04-14 倾斜传感器以及采用它的测量仪

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5893215A (zh)
EP (1) EP0802396B2 (zh)
JP (1) JP3673954B2 (zh)
CN (1) CN1093255C (zh)
DE (1) DE69726487T3 (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100395520C (zh) * 2004-12-23 2008-06-18 西安华腾光电有限责任公司 高精度光电三维倾角测量方法及其测量仪
CN101825461A (zh) * 2010-02-10 2010-09-08 浙江工业大学 基于圆柱形模型的平台调平装置
CN101900548A (zh) * 2010-02-11 2010-12-01 浙江工业大学 基于机器视觉的全方位倾斜传感器
CN1945208B (zh) * 2005-10-07 2011-10-26 株式会社拓普康 位置检测装置、测量机的倾斜传感器装置及位置测定方法
CN104669153A (zh) * 2013-12-02 2015-06-03 昌河飞机工业（集团）有限责任公司 桨叶扭角测量夹具及其方法
CN109073371A (zh) * 2016-04-19 2018-12-21 Abb瑞士股份有限公司 倾斜检测的设备及方法
CN110631552A (zh) * 2019-09-27 2019-12-31 西安华腾光电有限责任公司 一种光电式液体摆二维倾角传感器

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3787736B2 (ja) * 1997-10-08 2006-06-21 株式会社トプコン 傾斜センサ
AUPP561398A0 (en) * 1998-09-02 1998-09-24 Connolly, Michael Laser level assembly
US6473714B1 (en) * 1998-09-29 2002-10-29 Kabushiki Kaisha Topcon Inclination measuring apparatus
JP4653898B2 (ja) 2001-03-28 2011-03-16 株式会社トプコン 傾斜検出装置
DE202004010922U1 (de) * 2004-07-12 2005-11-24 Leica Geosystems Ag Neigungssensor
US7733506B2 (en) * 2007-03-29 2010-06-08 Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd. Optical tilt monitoring apparatus
JP6324270B2 (ja) * 2014-08-28 2018-05-16 株式会社トプコン 測定装置および傾斜センサ装置
JP2016109602A (ja) * 2014-12-09 2016-06-20 株式会社トプコン 傾斜検出装置
CN105004319A (zh) * 2015-06-01 2015-10-28 苏州一光仪器有限公司 倾斜传感器
CN109540102A (zh) * 2018-12-14 2019-03-29 中铁建设集团有限公司 一种基于ccd线阵的高精度倾角测量装置及方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3009255A (en) * 1957-04-25 1961-11-21 Motorola Inc Horizon indicating system
GB1550339A (en) * 1975-08-28 1979-08-15 Elliott Brothers London Ltd Optical angular position sensors
FR2564580B1 (fr) * 1984-05-16 1986-10-31 Dousset Robert Niveau a bulle quatre quadrants
CH673707A5 (zh) * 1987-07-24 1990-03-30 Kern & Co Ag
GB8719154D0 (en) † 1987-08-13 1987-09-23 Coal Industry Patents Ltd Optically measuring relative angular movement
CH677403A5 (en) * 1988-06-17 1991-05-15 Wild Leitz Ag Dual-axis inclination indicator - has imaged markings on rotatable disc split into measuring channel and reference channel for phase comparison
DE4110858A1 (de) † 1991-04-04 1992-10-08 Wild Heerbrugg Ag Zweiachsiger neigungsmesser
JP2913984B2 (ja) † 1992-03-11 1999-06-28 株式会社ニコン 傾斜角測定装置
US5513001A (en) * 1992-11-12 1996-04-30 Kabushiki Kaisha Topcon Tilt angle automatic compensator in all directions
JPH07208986A (ja) * 1994-01-17 1995-08-11 Nikon Corp 傾斜角測定装置
KR960001716A (ko) * 1994-06-17 1996-01-25 전성원 경사 감지센서
JPH0814903A (ja) * 1994-06-23 1996-01-19 Nikon Corp 測量機

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100395520C (zh) * 2004-12-23 2008-06-18 西安华腾光电有限责任公司 高精度光电三维倾角测量方法及其测量仪
CN1945208B (zh) * 2005-10-07 2011-10-26 株式会社拓普康 位置检测装置、测量机的倾斜传感器装置及位置测定方法
CN101825461A (zh) * 2010-02-10 2010-09-08 浙江工业大学 基于圆柱形模型的平台调平装置
CN101900548A (zh) * 2010-02-11 2010-12-01 浙江工业大学 基于机器视觉的全方位倾斜传感器
CN104669153A (zh) * 2013-12-02 2015-06-03 昌河飞机工业（集团）有限责任公司 桨叶扭角测量夹具及其方法
CN109073371A (zh) * 2016-04-19 2018-12-21 Abb瑞士股份有限公司 倾斜检测的设备及方法
CN109073371B (zh) * 2016-04-19 2020-06-02 Abb瑞士股份有限公司 倾斜检测的设备及方法
US11493338B2 (en) 2016-04-19 2022-11-08 Abb Schweiz Ag Tilt detection apparatus and method thereof
CN110631552A (zh) * 2019-09-27 2019-12-31 西安华腾光电有限责任公司 一种光电式液体摆二维倾角传感器

Also Published As

Publication number Publication date
DE69726487D1 (de) 2004-01-15
EP0802396A2 (en) 1997-10-22
CN1093255C (zh) 2002-10-23
EP0802396B1 (en) 2003-12-03
DE69726487T2 (de) 2004-10-28
EP0802396A3 (en) 1998-11-25
EP0802396B2 (en) 2007-12-26
JP3673954B2 (ja) 2005-07-20
DE69726487T3 (de) 2008-05-21
US5893215A (en) 1999-04-13
JPH09280859A (ja) 1997-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1093255C (zh) 倾斜传感器以及采用它的测量仪
EP1772703B1 (en) Position detecting device and inclination sensor device of surveying apparatus using the same, and position measuring method
CN206160946U (zh) 一种激光三角位移传感器
CN102519510B (zh) 位置敏感传感器的标定装置和标定方法
JP3787736B2 (ja) 傾斜センサ
CN102072710B (zh) 角度光学测量装置及角度测量方法
CN101782419B (zh) 基于等腰直角三角棱镜的液位测量方法及测量装置
CN100342216C (zh) 一种单光栅位移传感器
JPS5899712A (ja) 傾斜角測定装置
CN1770604A (zh) 多角镜马达的测量装置
CN1912544A (zh) 一种高精度的倾角测量装置
JP4074971B2 (ja) 傾斜設定回転レーザー装置
RU97835U1 (ru) Цифровой автоколлиматор
CN112964671A (zh) 一种透明液体折射率的测量方法及其系统
CN111750909B (zh) 光编码器和光编码器的计算方法
CN115164839B (zh) 一种基于液体透镜的大量程双轴光电水平仪
CN104848841B (zh) 一种倾斜传感器及其工作方法
CN114894158B (zh) 基于干涉条纹解耦的高精度双轴激光水平仪及测量方法
JP2000105119A (ja) 位置測定装置及びこれを使用した測量機
JP2007225428A (ja) 傾斜角検出器
JP2004012203A (ja) 光学式傾斜角検出装置
SU711355A1 (ru) Жидкостной фотоэлектрический преобразователь угла наклона объекта
CN111750909A (zh) 光编码器和光编码器的计算方法
JP6005506B2 (ja) 光学的測定装置
JP2010230400A (ja) 光学式変位計

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20021023