JP2010230400A - 光学式変位計 - Google Patents
光学式変位計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010230400A JP2010230400A JP2009076627A JP2009076627A JP2010230400A JP 2010230400 A JP2010230400 A JP 2010230400A JP 2009076627 A JP2009076627 A JP 2009076627A JP 2009076627 A JP2009076627 A JP 2009076627A JP 2010230400 A JP2010230400 A JP 2010230400A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- point
- displacement meter
- receiving element
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
【課題】
装置構成がシンプルで安価に製造することができ、かつ測定対象物の変位を高精度に測定することができる光学式変位計を提供する。
【解決手段】
被検面における測定点Aからの反射光路上に中心O’が位置すると共に、距離AO’が曲率半径となるように凹面鏡を配置し、前記測定点Aと前記凹面鏡との間の前記反射光路上に中心Oが位置するようにハーフミラーを配置し、かつ前記ハーフミラーでの反射光を受光する受光素子を設けて光学系を構成する。
【選択図】図1
装置構成がシンプルで安価に製造することができ、かつ測定対象物の変位を高精度に測定することができる光学式変位計を提供する。
【解決手段】
被検面における測定点Aからの反射光路上に中心O’が位置すると共に、距離AO’が曲率半径となるように凹面鏡を配置し、前記測定点Aと前記凹面鏡との間の前記反射光路上に中心Oが位置するようにハーフミラーを配置し、かつ前記ハーフミラーでの反射光を受光する受光素子を設けて光学系を構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、測定対象物の変位を測定する光学式変位計に関し、さらに詳細には反射光学系を用いた光学式変位計に関する。
従来、例えば、樹脂、金属、ガラス等の種々の測定対象物の変位、例えば測定対象物の検出面における高さや距離等の変化を測定する場合に、光学式変位計が一般に用いられている。この光学式変位計は、その光学系に例えば特許文献1等に開示されているような三角測距法の原理を利用したものが多く用いられている。
図6は、その光学系の基本的な構成を例示したものである。図示するように、この光学式変位計100は、投光軸Qと受光軸Rのなす角を2θとし、光源101からの検出光を投光レンズ102を介して測定対象物103の被検面104における測定点のA点に照射し、その反射光を受光レンズ105を介して受光素子106のA’点に集光し、この集光スポットの位置を図示しない処理装置を介し、三角測距法の原理を利用して測定することにより、測定対象物までの距離あるいは変位を求めるものである。
ところで、この光学式変位計100においては、図示するように被検面104を距離Δだけ上下させ、すなわちA点の位置を基準位置から+Δ及び−Δだけ変位させ、A点に対応する変位点をそれぞれB点、C点として受光素子106上で検出光(反射光)を観察すると、B点、C点の像は、受光レンズ105の像面であるα面よりずれているため、夫々の結像位置すなわちB’点、C’点は受光素子108からずれて結像(デフォーカス)され、これにより高精度の計測ができないという問題がある。
かかる問題に対処するためには、光源101の測定波長や受光光学系を変更し、あるいは補正をかける等の構成の変更が必要となり、これにより多数のレンズを光学系に配置したり、受光素子106の構成を変更したりする等により製造コストが大幅にアップするという問題がある。また、また、光学レンズには屈折や色収差等に起因する問題があり、さらには被検面104の状態によっては乱反射による散乱光やその反射光に起因し測定精度が低下し、高精度の測定ができないという問題もあった。
本発明は上述したような実情に鑑みなされたもので、本発明の主たる課題すなわち目的は、装置構成がシンプルで安価に製造することができ、かつ測定対象物の変位を高精度に測定することができる光学式変位計を提供することにある。
本発明の上記目的は、光源から照射した検出光を投光レンズを介し測定対象物の被検面に入射し、この反射光を受光素子で受光し、この受光信号を処理して前記測定対象物の変位を測定する光学式変位計において、前記被検面における測定点Aからの反射光路上に中心O’が位置すると共に、距離AO’が曲率半径となるように凹面鏡を配置し、前記測定点Aと前記凹面鏡との間の前記反射光路上に中心Oが位置するようにハーフミラーを配置し、かつ前記ハーフミラーでの反射光を受光する受光素子を有して成り、前記測定点Aからの反射光を前記ハーフミラーを透過させて前記凹面鏡に入射し、その反射光を前記ハーフミラーにより反射させて前記受光素子に入射するように構成したことを特徴とする光学式変位計を提供することによって達成される。
また、本発明の上記目的は、前記検出光の前記測定点Aの鉛直方向となす入射角及び反射角をθ1とするとき、10°<θ1<30°であることを特徴とする光学式変位計を提供することによって、効果的に達成される。
さらにまた、本発明の上記目的は、前記検出光は半導体レーザ光源又は発光ダイオードからのスリット光であり、前記受光素子は2次元イメージセンサであることを特徴とする光学式変位計を提供することによって、効果的に達成される。
本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、反射光路中にハーフミラー及び凹面鏡を配置して光学式変位計の光学系を構成することにより、下記のとおりの効果が得られることを見出し、本発明を想到するに至ったものである。
すなわち、本発明に係る光学式変位計よれば、従来のものに較べ光学レンズを多数必要とせずに光学系を構成することができ、これにより構造が極めてシンプルになることから安価に製造することができ、また、光学レンズ特有の屈折あるいは色収差等に起因する構成上あるいは精度上の問題がなくなることから高精度な測定ができる。
以下、本発明の内容を実施形態に基づき詳細に説明する。なお、本発明は必ずしも以下の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲を逸脱しない範囲において、その構成を種々に変更し得ることはいうまでもない。
図1は、本発明の一実施形態に係る光学式変位計1の装置構成を説明する図で、1倍光学系の場合を示したものである。
本光学式変位計1は、半導体レーザ光源2からレーザ光をスポット光またはスリット光として射出し、投光レンズ3を介して測定対象物4の被検面5のA点(測定点)に、被検面5の鉛直方向となす角度がθ1の入射角をもって入射し、A点で角度θ1をもって反射させ、その反射光をハーフミラー6を透過して凹面鏡7に入射し、さらに凹面鏡7からの反射光をハーフミラー6で反射させて受光素子8のA’点に結像するように構成されている。半導体レーザ光源2から射出するレーザ光は、測定対象物4の被検面5の形状ないし測定目的により、スポット光とスリット光とが使い分けられる。なお、光源は半導体レーザ光源2に限らず、例えば発光ダイオードとすることも可能である。同様に、受光素子8には、1次元ラインセンサ、2次元ラインセンサ、ポジションセンサ(PSD)等が使用される。
とくにレーザ変位センサを用いると、ほとんどの測定対象物の計測ができ、非接触で高速の計測ができる。また、PSD素子を使用することにより、CCDイメージセンサと異なり、画像処理をすることなく位置データが直接得られ、デジタル処理を必要としないのでレスポンスが非常に速いという利点がある。
凹面鏡7はその曲率半径rの中心が測定中心のA点となるように配設され、また、ハーフミラー6の中心をO点としたとき、距離AO=A’Oに設定され、受光素子8は図示するように光路A’Oに対して2θ1の傾きをもって配置されている。
本構成において、いま、被検面5が上方に距離Δだけ移動し、この被検面5’にレーザ光が当っている点をB点とし、曲率半径rが距離Δに対し十分に大きい、すなわちr>>Δであるとすると、上記と同様にB点からの反射光はハーフミラー6を透過して凹面鏡7に入射し、その反射光はハーフミラー6を透過してB”点に戻ると共に、ハーフミラー6で反射した光は受光素子8上のB’点に結像される。すなわち、測定対象物4のA点からB点への移動は、受光素子8上ではA’点からB’点となり、その移動距離は図示するようにΔ/cosθ1として表される。この値は信号処理部10において電気的に処理され、これによりAB間の距離あるいは高低差等の変位が測定される。なお、この信号処理部10については一般によく知られているもので、格別なものではないので、この詳細は省略する。
なお、上述の信号処理部10を含む光学系は筐体11内に収納されており、半導体レーザ光源2から照射されたレーザ光は筐体11の入射光窓11Aから被検面5に入射し、反射光が反射光窓11Bから出入するようになっている。本光学式変位計1は、測定対象物4の被検面5に向けて設置される。以上のとおり構成された本光学式変位計1は、測定目的に応じ、複数台設置され、部品や製品の測定あるいは検査に供せられる。
図2は、上記光学式変位計1における光学系の詳細な配置構成を示したものである。図示するように、半導体レーザ光源2から照射されるレーザ光のA点への光路と直交する方向の軸をYとするとき、光路AO’中に配置されるハーフミラー6はこのY軸に対しθ2の傾きをもって設置されている。したがって、凹面鏡7からの反射光はハーフミラー6のO点で4θ1−2θ2の反射角をもって反射し、受光素子8上のA’点に90°−2θ1の角度をもって結像される。この場合、もし被検面5上での光束がスリット形状であれば、受光素子8に2次元エリアセンサを用いることにより、被検面5表面の凹凸形状(横断面における断面形状)を測定することができる。
なお、上記光学系の配置構成は、受光素子8が半導体レーザ光源2と凹面鏡7との間に配置される構成となっているが、ハーフミラー6の設置角度θ2を大きく(90°を超える角度に)設定することにより、受光素子8を凹面鏡7の右方向に配置することも可能である。
本発明に係る光学系では、入射角を上述のようにθ1とするとき、0°<θ1<90°であれば理論上構成は可能であるが、10°<θ1<30°に設定されていることが好ましい。この角度θ1は小さくなる程遠方の物まで測定ができるが、装置が細長形状となり、逆に大きくなると、受光センサが大型化し、設置が困難となる問題がある。
図3は、本発明の上記光学式変位計1の変更例に係るN倍光学系の場合の説明図である。
図示するように、いま、図1の場合と同様に、A点にレーザ光が当っている被検面5が上方に距離Δだけ移動し、この被検面5’にレーザ光が当っている点をB点とし、凹面鏡7の焦点距離f=r/2(rは凹面鏡7の曲率半径)、A点及びB点の凹面鏡7による結像位置をそれぞれA”点及びB”点、凹面鏡7の中心をO’点、距離AO’=a、距離A’O’=aNとすると、測定対象物4のA点からB点への移動は、受光素子8上ではA’点からB’点となり、その移動量はNΔ/cosθ1として表される。このとき、結像法則1/f=1/a+1/aN、つまり2/r=(N+1)/aNが成り立つ。
このようなN倍光学系から成る光学式変位計1は、微小な変位、例えば被検面5表面の極めて小さい凹凸を測定するような場合に適用され、その位置を拡大して検出することにより高精度の測定をすることができる。
以上のとおり、本光学式変位計1は光学系に凹面鏡7を用いて測定対象物4の変位を測定する点に特徴を有している。
図4は、この凹面鏡7を用いて変位を測定する基本原理の説明図である。図示するように、いま、平面9上に点光源としてA点をとり、このA点を凹面鏡7の曲率半径rの中心に配置すると、A点より射出した光は凹面鏡7のD点に入射し、D点で反射して再びA点に戻る。同様に、平面9上に点光源としてB点をとり、距離ABが曲率半径rに較べ極めて小さい、すなわちr>>ABとすると、B点より射出した光は凹面鏡7のD点に入射し、D点で反射して平面9上のB’点に結像する。このとき、距離AB=AB’となる。なお、平面9上に点光源としてC点をとった場合も同様であり、D点で反射した光は平面9上のC’点に結像し、距離AC=AC’となる。
このように、水平面9上の点光源から射出した光は凹面鏡7のD点に限らず、E点、F点等の凹面のいかなる点に入射しても、平面9上には常に同じ結像が得られることが分かる。また、凹面鏡7は、光学レンズのような屈折あるいは色収差の問題がないことから、高精度の測定が可能である。
図5は、上述した基本原理を本発明に応用して変位を測定する場合の原理説明図である。
図示するように、平面9上の、凹面鏡7の曲率中心(曲率半径r)に点光源のA点を置き、凹面鏡7の中心O’とA点を結んだ直線O’Aを光軸とし、この光軸を平面9に対してθ1の角度を持たせて配置する。また、平面9の測定方向Zにおいて、A点の前後に点光源のB点及びC点を置き、A点と凹面鏡7の中心O’との光路内にハーフミラー6を配置して光学系を構成する。
上記構成において、A点より射出した光はハーフミラー6を透過し、凹面鏡7に入射後、反射して再びハーフミラー6に戻り、透過光がA点に戻る一方、反射光は受光素子8上のA’点に結像する。
一方、距離AB=ACとすると、B点より射出した光はハーフミラー6を透過し、凹面鏡7に入射後、反射して再びハーフミラー6に戻り、透過光がC点に結像し、反射光が受光素子8上の’点に結像する。同様に、C点より射出した光はB点及びB’点に結像する。
このとき、B’点、A’点、C’点を結んだ線、すなわち受光素子8の受光面は90°−θ1の傾きを有していることは図から容易に理解されるところである。
このとき、B’点、A’点、C’点を結んだ線、すなわち受光素子8の受光面は90°−θ1の傾きを有していることは図から容易に理解されるところである。
本発明に係る光学式変位計は、例えば、樹脂・ゴム・フィルム等の業界、機械・機器・金属等の業界、電機・電子・半導体等の業界、あるいは食品・薬品等の業界等において、それぞれの製造過程における、例えば部品や製品の形状、振動、厚み、高さ(段差)、位置決め等の、検査あるいは測定用として広く利用することができる。
1 (本発明に係る)光学式変位計
2 半導体レーザ光源
3 投光レンズ
4 測定対象物
5、5’ 被検面
6 ハーフミラー
7 凹面鏡
8 受光素子
9 平面
10 信号処理部
11 筐体
100 (従来の)光学式変位計
101 光源
102 投光レンズ
103 測定対象物
104 被検面
105 受光レンズ
106 受光素子
2 半導体レーザ光源
3 投光レンズ
4 測定対象物
5、5’ 被検面
6 ハーフミラー
7 凹面鏡
8 受光素子
9 平面
10 信号処理部
11 筐体
100 (従来の)光学式変位計
101 光源
102 投光レンズ
103 測定対象物
104 被検面
105 受光レンズ
106 受光素子
Claims (3)
- 光源から照射した検出光を投光レンズを介し測定対象物の被検面に入射し、この反射光を受光素子で受光し、この受光信号を処理して前記測定対象物の変位を測定する光学式変位計において、前記被検面における測定点Aからの反射光路上に中心O’が位置すると共に、距離AO’が曲率半径となるように凹面鏡を配置し、前記測定点Aと前記凹面鏡との間の前記反射光路上に中心Oが位置するようにハーフミラーを配置し、かつ前記ハーフミラーでの反射光を受光する受光素子を有して成り、前記測定点Aからの反射光を前記ハーフミラーを透過させて前記凹面鏡に入射し、その反射光を前記ハーフミラーにより反射させて前記受光素子に入射するように構成したことを特徴とする光学式変位計。
- 前記検出光の前記測定点Aの鉛直方向となす入射角及び反射角をθ1とするとき、
10°<θ1<30°であることを特徴とする請求項1に記載の光学式変位計。 - 前記検出光は半導体レーザ光源又は発光ダイオードからのスリット光であり、前記受光素子は2次元イメージセンサであることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式変位計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009076627A JP2010230400A (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | 光学式変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009076627A JP2010230400A (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | 光学式変位計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010230400A true JP2010230400A (ja) | 2010-10-14 |
Family
ID=43046386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009076627A Pending JP2010230400A (ja) | 2009-03-26 | 2009-03-26 | 光学式変位計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010230400A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220042787A1 (en) * | 2018-12-10 | 2022-02-10 | Neocera, Llc | Method and apparatus for contactless high-resolution determination and control of an object position |
-
2009
- 2009-03-26 JP JP2009076627A patent/JP2010230400A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220042787A1 (en) * | 2018-12-10 | 2022-02-10 | Neocera, Llc | Method and apparatus for contactless high-resolution determination and control of an object position |
US11733030B2 (en) * | 2018-12-10 | 2023-08-22 | Neocera, Llc | Method and apparatus for contactless high-resolution determination and control of an object position |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101238348B (zh) | 表面的测量装置和方法 | |
JPH1183438A (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
CN101545761A (zh) | 一种多自由度光学测量系统 | |
TWI659201B (zh) | 識別一光學系統之一焦點之一位置之方法,測試其中之每一者包含一或多個元件之複數個裝置之方法,以及量測包括一或多個元件之一光學系統之特徵之系統 | |
JP6087792B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP2014098690A (ja) | 校正装置、校正方法及び計測装置 | |
JP2017198511A (ja) | 透明体の欠陥検出方法及び装置 | |
US20080137061A1 (en) | Displacement Measurement Sensor Using the Confocal Principle | |
JP2007040801A (ja) | 3次元座標測定装置及び方法 | |
JP5517097B2 (ja) | 屈折率測定装置及び屈折率測定方法 | |
JP2010145468A (ja) | 高さ検出装置、及びそれを用いたトナー高さ検出装置 | |
JP6203502B2 (ja) | 加工品に対して加工工具を位置決めするための構造および方法 | |
Saito et al. | A single lens micro-angle sensor | |
JP2010230400A (ja) | 光学式変位計 | |
KR101394436B1 (ko) | 3차원 표면 형상 측정장치 및 3차원 표면 형상 측정방법 | |
CN114088017A (zh) | 一种定制光纤端面角度和平面度检测装置和检测方法 | |
US20080130014A1 (en) | Displacement Measurement Sensor Using the Confocal Principle with an Optical Fiber | |
TWI645158B (zh) | 三維量測裝置 | |
CN108106560B (zh) | 光学元件大曲率半径的比较法测量方法及其测量装置 | |
JP2016109602A (ja) | 傾斜検出装置 | |
US11774239B1 (en) | Optical measurement device and calibration method thereof | |
JP2019109060A (ja) | 光学素子の検査方法 | |
JP2014145684A (ja) | 測定装置 | |
KR101458890B1 (ko) | 3차원 형상 측정장치 | |
Kolosov et al. | Comparative evaluation of three modern turning-angle sensors |