JP2017198511A - 透明体の欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
6…ガラス板(被検ガラス)
6a…欠陥
8…レンズ(被検レンズ)
20、120…投光部
32、132…レーザ光源
44…ポリゴンミラー
45…扇状走査ビーム
50、150…コリメートレンズ
51…平行走査ビーム
60、160…受光部
62…集光レンズ
64…受光素子
100…ピンゲージ
102…ピンゲージ駆動機構
104…光学素子
110…光学格子
133…扇状光線
151…平行光線
164…イメージセンサ
Claims (12)
- 相対して配設された投光部と受光部の間に検査対象の透明体を配置し、
該透明体の欠陥によって生じた光路の変化を、前記透明体と受光部の間に配置した遮光物体を経て受光部に入射する光線の変化によって検出することを特徴とする透明体の欠陥検出方法。 - 前記投光部がレーザビームを測定方向に走査し、前記受光部が、該走査されたレーザビームを集光して検出するレーザ走査型寸法測定器を用いることを特徴とする請求項1に記載の透明体の欠陥検出方法。
- 前記投光部が線状光線を投光し、前記受光部が、該線状光線を、そのまま受光するイメージセンサ型寸法測定器を用いることを特徴とする請求項1に記載の透明体の欠陥検出方法。
- 前記遮光物体をピンゲージとして、測定方向に走査することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の透明体の欠陥検出方法。
- 前記遮光物体を、透明体の欠陥よりも小さな間隔の明暗を有する光学格子として固定配置することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の透明体の欠陥検出方法。
- 前記透明体がレンズであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の透明体の欠陥検出方法。
- 投光部と、
該投光部に相対して配設された受光部と、
前記投光部と受光部の間に配設される遮光物体とを備え、
前記投光部と受光部の間に配置した検査対象の透明体の欠陥によって生じた光路の変化を、前記遮光物体を経て受光部に入射する光線の変化によって検出するようにしたことを特徴とする透明体の欠陥検出装置。 - 前記投光部がレーザビームを測定方向に走査する走査手段を備え、前記受光部が、該走査されたレーザビームを集光する集光手段を備えたレーザ走査型であることを特徴とする請求項7に記載の透明体の欠陥検出装置。
- 前記投光部が線状光線を投光する投光手段を備え、前記受光部が、該線状光線を、そのまま受光する受光手段を備えたイメージセンサ型であることを特徴とする請求項7に記載の透明体の欠陥検出装置。
- 前記遮光物体が、測定方向に走査されるピンゲージであることを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の透明体の欠陥検出装置。
- 前記遮光物体が、透明体の欠陥よりも小さな間隔の明暗を有し、固定配置される光学格子であることを特徴とする請求項7乃至9のいずれかに記載の透明体の欠陥検出装置。
- 前記透明体がレンズであり、該レンズに対応する形状の光学素子を備えたことを特徴とする請求項7乃至11のいずれかに記載の透明体の欠陥検出装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230087641A (ko) * | 2021-12-09 | 2023-06-19 | 한국자동차연구원 | 차량의 인지센서 오염도 평가 장치 및 방법 |
JP7351364B1 (ja) | 2022-03-15 | 2023-09-27 | フジテック株式会社 | マンコンベヤ欄干装置及びマンコンベヤ |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3035013B1 (fr) * | 2015-04-14 | 2017-04-14 | Holweg Group | Procede et machine de tri de sacs plats |
EP3537100B1 (en) * | 2018-03-01 | 2020-08-05 | Mitutoyo Corporation | Methods and apparatuses for refractive index measurement of transparent tube |
CN108534698B (zh) * | 2018-05-16 | 2019-11-29 | 安徽工程大学 | 一种加工件通孔孔径测量装置 |
FR3085205B1 (fr) * | 2018-08-22 | 2020-07-24 | Livbag Sas | Dispositif et methode de controle de verre de protection de soudeuse laser |
CN112113512A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-12-22 | 信义汽车部件(天津)有限公司 | 一种汽车玻璃外轮廓确定方法及其确定装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS557879B2 (ja) | 1971-11-27 | 1980-02-28 | ||
US4455086A (en) * | 1982-02-09 | 1984-06-19 | Sira Institute Limited | Optical test apparatus for examining an object |
JPH02216437A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Konica Corp | シート状物の欠陥検出方法とその装置 |
JPH09138115A (ja) | 1995-11-14 | 1997-05-27 | Mitsutoyo Corp | 走査型光学式寸法測定装置 |
JPH1123414A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Toshiba Eng Co Ltd | 光透過球面形状体の外観検査装置 |
JPH11183151A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Canon Inc | 透明シート検査装置 |
JP4253112B2 (ja) | 2000-10-26 | 2009-04-08 | 株式会社ミツトヨ | 輪郭形状測定方法及び装置 |
JP2003075355A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 欠陥検査装置 |
JP4199450B2 (ja) | 2001-11-26 | 2008-12-17 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置、表面性状測定方法及び表面性状測定プログラム |
JP4191953B2 (ja) | 2002-05-09 | 2008-12-03 | 株式会社ミツトヨ | レ−ザ走査型寸法測定機の校正方法 |
JP4162426B2 (ja) | 2002-05-14 | 2008-10-08 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の合否判定出力方法及び装置 |
US7142295B2 (en) * | 2003-03-05 | 2006-11-28 | Corning Incorporated | Inspection of transparent substrates for defects |
JP5507879B2 (ja) | 2009-04-24 | 2014-05-28 | 株式会社キーエンス | 透過型寸法測定装置 |
EP2253948B1 (de) | 2009-05-22 | 2013-01-09 | Dr. Schenk GmbH Industriemesstechnik | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Untersuchen eines Gegenstandes |
EP2253949A1 (de) | 2009-05-22 | 2010-11-24 | Dr. Schenk GmbH Industriemesstechnik | Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren eines optisch ablenkenden und/oder polarisationsdrehenden Fehlers |
CN203534983U (zh) * | 2013-09-05 | 2014-04-09 | 深圳市维图视技术有限公司 | 一种玻璃管缺陷视觉检测装置 |
CN104251867B (zh) * | 2014-09-15 | 2017-05-17 | 河北省激光研究所 | 一种在线式玻璃管缺陷的检测系统及方法 |
CN204101478U (zh) * | 2014-09-15 | 2015-01-14 | 河北省激光研究所 | 一种在线式玻璃管缺陷的检测装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230087641A (ko) * | 2021-12-09 | 2023-06-19 | 한국자동차연구원 | 차량의 인지센서 오염도 평가 장치 및 방법 |
KR102643749B1 (ko) | 2021-12-09 | 2024-03-06 | 한국자동차연구원 | 차량의 인지센서 오염도 평가 장치 및 방법 |
JP7351364B1 (ja) | 2022-03-15 | 2023-09-27 | フジテック株式会社 | マンコンベヤ欄干装置及びマンコンベヤ |
JP2023140365A (ja) * | 2022-03-15 | 2023-10-05 | フジテック株式会社 | マンコンベヤ欄干装置及びマンコンベヤ |
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