JPH09277522A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH09277522A JPH09277522A JP8090812A JP9081296A JPH09277522A JP H09277522 A JPH09277522 A JP H09277522A JP 8090812 A JP8090812 A JP 8090812A JP 9081296 A JP9081296 A JP 9081296A JP H09277522 A JPH09277522 A JP H09277522A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】各電極間を絶縁することができ、インク滴の吐
出不良が発生することがないようにする。 【解決手段】表面に複数の第１の溝を備え、該各第１の
溝間に第１の電極３６が形成された圧電体ベース１２
と、表面に前記第１の溝と対応する複数の第２の溝を備
え、該各第２の溝間に第２の電極３０が形成されるとと
もに、前記圧電体ベース１２と接合され、前記第１の溝
及び第２の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体１４と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート
層と、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面
に接着されたオリフィスプレート２５とを有する。そし
て、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の各表面
における端面の近傍に非電極部５０が形成される。
出不良が発生することがないようにする。 【解決手段】表面に複数の第１の溝を備え、該各第１の
溝間に第１の電極３６が形成された圧電体ベース１２
と、表面に前記第１の溝と対応する複数の第２の溝を備
え、該各第２の溝間に第２の電極３０が形成されるとと
もに、前記圧電体ベース１２と接合され、前記第１の溝
及び第２の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体１４と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート
層と、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面
に接着されたオリフィスプレート２５とを有する。そし
て、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の各表面
における端面の近傍に非電極部５０が形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェトプリ
ンタに使用されるインクジェットヘッド及びその製造方
法に関するものである。
ンタに使用されるインクジェットヘッド及びその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、サーマルジェット方式のインクジ
ェットプリンタにおいては、インク加圧室内に配設され
た発熱体によって気泡を発生させ、該気泡の圧力によっ
てオリフィスからインク滴を噴出させて印刷を行うよう
になっている（特公昭６１−５９９１４号公報参照）。
ェットプリンタにおいては、インク加圧室内に配設され
た発熱体によって気泡を発生させ、該気泡の圧力によっ
てオリフィスからインク滴を噴出させて印刷を行うよう
になっている（特公昭６１−５９９１４号公報参照）。
【０００３】ところが、インクが発熱体の発熱によって
劣化してしまうので、印刷にとって最適な状態でインク
を使用することができないだけでなく、気泡の圧力が不
安定であるので、インクがオリフィスに詰まったり、イ
ンク流路内に気泡が進入したりしてしまう。したがっ
て、印字品位が低下してしまう。また、インクジェット
ヘッドの構成部品が熱応力を受けてクラックを発生させ
てしまう。
劣化してしまうので、印刷にとって最適な状態でインク
を使用することができないだけでなく、気泡の圧力が不
安定であるので、インクがオリフィスに詰まったり、イ
ンク流路内に気泡が進入したりしてしまう。したがっ
て、印字品位が低下してしまう。また、インクジェット
ヘッドの構成部品が熱応力を受けてクラックを発生させ
てしまう。
【０００４】そこで、圧電体ブロックにインク加圧室と
しての溝を形成し、溝壁の剪（せん）断モードの変形に
よってインクを加圧し、オリフィスからインク滴を噴出
させるようにした圧電剪断モード方式のインクジェット
ヘッドが提案されている（特開平５−３３８１５６号公
報、特開平６−８４２６号公報参照）。この場合、圧電
体の機械的な変形を利用しているので、インクが劣化す
ることがない。また、電圧を変化させると、圧電体の変
形量が変化するようになっているので、インク加圧室の
圧力を容易に制御することができる。したがって、イン
クがオリフィスに詰まったり、インク流路内に気泡が進
入したりすることがなくなる。その結果、印字品位を向
上させることができる。
しての溝を形成し、溝壁の剪（せん）断モードの変形に
よってインクを加圧し、オリフィスからインク滴を噴出
させるようにした圧電剪断モード方式のインクジェット
ヘッドが提案されている（特開平５−３３８１５６号公
報、特開平６−８４２６号公報参照）。この場合、圧電
体の機械的な変形を利用しているので、インクが劣化す
ることがない。また、電圧を変化させると、圧電体の変
形量が変化するようになっているので、インク加圧室の
圧力を容易に制御することができる。したがって、イン
クがオリフィスに詰まったり、インク流路内に気泡が進
入したりすることがなくなる。その結果、印字品位を向
上させることができる。
【０００５】さらに、インク加圧室の圧力を制御するこ
とによって、インク滴の径を調整することができるの
で、階調印刷を容易に行うことができる。次に、圧電剪
断モード方式のインクジェットヘッドの製造方法につい
て説明する。図２は従来の圧電体ベースの溝加工前の状
態図、図３は従来の上部圧電体の溝加工前の状態図、図
４は従来のインクジェットヘッドの組立状態図、図５は
従来のインクジェットヘッドの側面図、図６は従来のイ
ンクジェットヘッドの断面図である。
とによって、インク滴の径を調整することができるの
で、階調印刷を容易に行うことができる。次に、圧電剪
断モード方式のインクジェットヘッドの製造方法につい
て説明する。図２は従来の圧電体ベースの溝加工前の状
態図、図３は従来の上部圧電体の溝加工前の状態図、図
４は従来のインクジェットヘッドの組立状態図、図５は
従来のインクジェットヘッドの側面図、図６は従来のイ
ンクジェットヘッドの断面図である。
【０００６】図において、１２Ａは矢印Ｐ方向に分極さ
れ、表面にベタ電極１１が形成された圧電体ブロック、
１４Ａは矢印Ｐ方向に分極され、表面にベタ電極１３が
形成された圧電体ブロックである。前記圧電体ブロック
１２Ａは、表面に図示しないダイシングソー等の切削手
段を使用して等間隔でかつ等幅な第１の溝１６を形成す
ることによって圧電体ベース１２になる。一方、前記圧
電体ブロック１４Ａは、表面に前記切削手段を使用して
等間隔でかつ等幅な第２の溝１７を形成することによっ
て上部圧電体１４になる。
れ、表面にベタ電極１１が形成された圧電体ブロック、
１４Ａは矢印Ｐ方向に分極され、表面にベタ電極１３が
形成された圧電体ブロックである。前記圧電体ブロック
１２Ａは、表面に図示しないダイシングソー等の切削手
段を使用して等間隔でかつ等幅な第１の溝１６を形成す
ることによって圧電体ベース１２になる。一方、前記圧
電体ブロック１４Ａは、表面に前記切削手段を使用して
等間隔でかつ等幅な第２の溝１７を形成することによっ
て上部圧電体１４になる。
【０００７】そして、圧電体ベース１２と上部圧電体１
４とが導電接合部材１９を介して接合され、前記溝１
６、１７によってインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…が形
成される。また、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４
の一方の端面にはオリフィスプレート２５が接着され、
他方の端面には封止材２６が配設される。したがって、
オリフィスプレート２５に形成されたオリフィス２８
ａ、２８ｂ、…及び上部圧電体１４の端部に形成された
共通インク室２９以外の部分において、インク加圧室２
４ａ、２４ｂ、…は密封される。
４とが導電接合部材１９を介して接合され、前記溝１
６、１７によってインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…が形
成される。また、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４
の一方の端面にはオリフィスプレート２５が接着され、
他方の端面には封止材２６が配設される。したがって、
オリフィスプレート２５に形成されたオリフィス２８
ａ、２８ｂ、…及び上部圧電体１４の端部に形成された
共通インク室２９以外の部分において、インク加圧室２
４ａ、２４ｂ、…は密封される。
【０００８】なお、３１、３１ａ、３１ｂ、…は、前記
ベタ電極１１を溝１６によって分割することにより形成
された電極、２０、２０ａ、２０ｂ、…は、前記ベタ電
極１３を溝１７によって分割することにより形成された
電極である。また、３２ａ、３２ｂ、…は、圧電体ベー
ス１２側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…
を区画する壁部、３３ａ、３３ｂ、…は、上部圧電体１
４側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を区
画する壁部である。
ベタ電極１１を溝１６によって分割することにより形成
された電極、２０、２０ａ、２０ｂ、…は、前記ベタ電
極１３を溝１７によって分割することにより形成された
電極である。また、３２ａ、３２ｂ、…は、圧電体ベー
ス１２側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…
を区画する壁部、３３ａ、３３ｂ、…は、上部圧電体１
４側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を区
画する壁部である。
【０００９】次に、前記構成のインクジェットヘッドに
おいて、図示しない駆動回路によって、電極３１ａに正
の電圧＋Ｖを、電極３１ｂに負の電圧−Ｖをそれぞれ印
加すると、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４にそれ
ぞれ矢印Ｅ方向に電界が形成され、壁部３２ａ、３３ａ
と壁部３２ｂ、３３ｂとに図６の破線で示すような互い
に逆の剪断モード変形を発生させ、インク加圧室２４ａ
内の図示しないインクを加圧する。その結果、オリフィ
ス２８ａからインク滴が噴出させられる。
おいて、図示しない駆動回路によって、電極３１ａに正
の電圧＋Ｖを、電極３１ｂに負の電圧−Ｖをそれぞれ印
加すると、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４にそれ
ぞれ矢印Ｅ方向に電界が形成され、壁部３２ａ、３３ａ
と壁部３２ｂ、３３ｂとに図６の破線で示すような互い
に逆の剪断モード変形を発生させ、インク加圧室２４ａ
内の図示しないインクを加圧する。その結果、オリフィ
ス２８ａからインク滴が噴出させられる。
【００１０】ところで、前記インクとしては、一般に水
溶性のものが使用されるが、水溶性のインクは、油性の
インクに比べて電気抵抗が小さいので、電極３１ａ、３
１ｂ間にリーク電流が流れると、所期の剪断モード変形
を発生させることができなくなるだけでなく、前記駆動
回路に損傷を与えてしまうことがある。そこで、インク
加圧室２４ａ、２４ｂ、…の内面に、電気的な絶縁被膜
から成るコート層３５が形成される。該コート層３５を
形成するためのコーティング法としては、ディップ法、
スピンコート法、化学蒸着法（ＣＶＤ）等がある。
溶性のものが使用されるが、水溶性のインクは、油性の
インクに比べて電気抵抗が小さいので、電極３１ａ、３
１ｂ間にリーク電流が流れると、所期の剪断モード変形
を発生させることができなくなるだけでなく、前記駆動
回路に損傷を与えてしまうことがある。そこで、インク
加圧室２４ａ、２４ｂ、…の内面に、電気的な絶縁被膜
から成るコート層３５が形成される。該コート層３５を
形成するためのコーティング法としては、ディップ法、
スピンコート法、化学蒸着法（ＣＶＤ）等がある。
【００１１】前記ディップ法においては、圧電体ベース
１２と上部圧電体１４とを接合し、オリフィスプレート
２５を接着してインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を形成
した後、インクジェットヘッドを図示しない絶縁溶液中
に浸漬（せき）する。このとき、絶縁溶液が、オリフィ
ス２８ａ、２８ｂ、…を介して毛細管現象によってイン
ク加圧室２４ａ、２４ｂ、…に吸い上げられ、該インク
加圧室２４ａ、２４ｂ、…の内面に付着する。したがっ
て、インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…の内面に付着した
絶縁溶液を硬化させることによって、コート層３５を形
成することができる。
１２と上部圧電体１４とを接合し、オリフィスプレート
２５を接着してインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を形成
した後、インクジェットヘッドを図示しない絶縁溶液中
に浸漬（せき）する。このとき、絶縁溶液が、オリフィ
ス２８ａ、２８ｂ、…を介して毛細管現象によってイン
ク加圧室２４ａ、２４ｂ、…に吸い上げられ、該インク
加圧室２４ａ、２４ｂ、…の内面に付着する。したがっ
て、インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…の内面に付着した
絶縁溶液を硬化させることによって、コート層３５を形
成することができる。
【００１２】また、スピンコート法においては、ディッ
プ法又は他の方法によってインク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…に進入させられた絶縁溶液を、回転による遠心力
で飛ばすようになっている。したがって、インク加圧室
２４ａ、２４ｂ、…の内面に残った薄い液層を硬化させ
ることによって、コート層３５を形成することができ
る。
プ法又は他の方法によってインク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…に進入させられた絶縁溶液を、回転による遠心力
で飛ばすようになっている。したがって、インク加圧室
２４ａ、２４ｂ、…の内面に残った薄い液層を硬化させ
ることによって、コート層３５を形成することができ
る。
【００１３】さらに、化学蒸着法においては、インクジ
ェットヘッドを入れた炉中で絶縁物質を気化させて蒸着
させるようになっている。
ェットヘッドを入れた炉中で絶縁物質を気化させて蒸着
させるようになっている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のインクジェットヘッドにおいては、前記オリフィス
２８ａ、２８ｂ、…の径は３０〔μｍ〕前後であって非
常に小さいので、絶縁溶液がオリフィス２８ａ、２８
ｂ、…を通過してインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…の壁
面に一様に行きわたるのは困難であるだけでなく、絶縁
溶液がオリフィス２８ａ、２８ｂ、…を塞（ふさ）いだ
まま硬化してしまうことがある。
来のインクジェットヘッドにおいては、前記オリフィス
２８ａ、２８ｂ、…の径は３０〔μｍ〕前後であって非
常に小さいので、絶縁溶液がオリフィス２８ａ、２８
ｂ、…を通過してインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…の壁
面に一様に行きわたるのは困難であるだけでなく、絶縁
溶液がオリフィス２８ａ、２８ｂ、…を塞（ふさ）いだ
まま硬化してしまうことがある。
【００１５】そこで、以下のような二つのインクジェッ
トヘッドの製造方法が考えられる。まず、第１の製造方
法は、前記圧電体ベース１２と上部圧電体１４とを接合
した状態でコート層３５を形成し、その後、オリフィス
プレート２５を接着するという方法である。図７は従来
のインクジェットヘッドの第１の製造方法を示す図、図
８は図７のＸ−Ｘ断面図である。
トヘッドの製造方法が考えられる。まず、第１の製造方
法は、前記圧電体ベース１２と上部圧電体１４とを接合
した状態でコート層３５を形成し、その後、オリフィス
プレート２５を接着するという方法である。図７は従来
のインクジェットヘッドの第１の製造方法を示す図、図
８は図７のＸ−Ｘ断面図である。
【００１６】図において、１２は圧電体ベース、１４は
上部圧電体、２５はオリフィスプレート、２４ａ、２４
ｂ、…はインク加圧室、２８ａ、２８ｂ、…はオリフィ
ス、３１ａ、３１ｂ、…は電極、３５はコート層、３７
はインクである。この場合、圧電体ベース１２と上部圧
電体１４とを接合した後、圧電体ベース１２及び上部圧
電体１４にコーティングが施され、コート層３５が形成
される。そして、圧電体ベース１２と上部圧電体１４と
を接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベース
１２の端面と上部圧電体１４の端面とが面一になるよう
に図示しないラッピングペーパによってラップが施され
る。その後、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４
の端面にオリフィスプレート２５が接着される。
上部圧電体、２５はオリフィスプレート、２４ａ、２４
ｂ、…はインク加圧室、２８ａ、２８ｂ、…はオリフィ
ス、３１ａ、３１ｂ、…は電極、３５はコート層、３７
はインクである。この場合、圧電体ベース１２と上部圧
電体１４とを接合した後、圧電体ベース１２及び上部圧
電体１４にコーティングが施され、コート層３５が形成
される。そして、圧電体ベース１２と上部圧電体１４と
を接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベース
１２の端面と上部圧電体１４の端面とが面一になるよう
に図示しないラッピングペーパによってラップが施され
る。その後、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４
の端面にオリフィスプレート２５が接着される。
【００１７】ところが、圧電体ベース１２及び上部圧電
体１４の端面にラップを施す際に、コート層３５が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート２５の近傍においてコート層３５が剥（は
く）離してしまう。したがって、インク加圧室２４ａ、
２４ｂ、…にインク３７を注入すると、該インク３７と
電極３１ａ、３１ｂ、…とが直接接触してしまい、各電
極３１ａ、３１ｂ、…間を絶縁することができない。
体１４の端面にラップを施す際に、コート層３５が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート２５の近傍においてコート層３５が剥（は
く）離してしまう。したがって、インク加圧室２４ａ、
２４ｂ、…にインク３７を注入すると、該インク３７と
電極３１ａ、３１ｂ、…とが直接接触してしまい、各電
極３１ａ、３１ｂ、…間を絶縁することができない。
【００１８】一方、第２の製造方法は、圧電体ベース１
２及び上部圧電体１４の端面にラップを施した後、コー
ティングを施し、その後、オリフィスプレート２５を接
着する方法である。図９は従来のインクジェットヘッド
の第２の製造方法を示す図である。図において、１２は
圧電体ベース、１４は上部圧電体、２０、３１は電極、
２５はオリフィスプレート、１９は導電接合部材、４０
はコート層、４１は接着剤である。
２及び上部圧電体１４の端面にラップを施した後、コー
ティングを施し、その後、オリフィスプレート２５を接
着する方法である。図９は従来のインクジェットヘッド
の第２の製造方法を示す図である。図において、１２は
圧電体ベース、１４は上部圧電体、２０、３１は電極、
２５はオリフィスプレート、１９は導電接合部材、４０
はコート層、４１は接着剤である。
【００１９】この場合、圧電体ベース１２と上部圧電体
１４とを接合した後、圧電体ベース１２の端面と上部圧
電体１４の端面とが面一になるように図示しないラッピ
ングペーパによってラップが施される。次に、圧電体ベ
ース１２及び上部圧電体１４にコーティングが施され、
コート層４０が形成される。なお、該コート層４０は、
圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面だけでな
く、前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…（図８）の内
面の全体にも施される。
１４とを接合した後、圧電体ベース１２の端面と上部圧
電体１４の端面とが面一になるように図示しないラッピ
ングペーパによってラップが施される。次に、圧電体ベ
ース１２及び上部圧電体１４にコーティングが施され、
コート層４０が形成される。なお、該コート層４０は、
圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面だけでな
く、前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…（図８）の内
面の全体にも施される。
【００２０】続いて、前記圧電体ベース１２及び上部圧
電体１４の端面にオリフィスプレート２５が接着され
る。ところで、一般に、絶縁材料は化学的に非常に安定
しているので、電気的な絶縁性及び前記インク３７に対
する耐食性は高いが、その反面、接着剤４１によって前
記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面にオリフ
ィスプレート２５を接着する際に、コート層４０が接着
剤４１に対して撥（はつ）水性を有しているので、接着
強度が低下してしまう。
電体１４の端面にオリフィスプレート２５が接着され
る。ところで、一般に、絶縁材料は化学的に非常に安定
しているので、電気的な絶縁性及び前記インク３７に対
する耐食性は高いが、その反面、接着剤４１によって前
記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面にオリフ
ィスプレート２５を接着する際に、コート層４０が接着
剤４１に対して撥（はつ）水性を有しているので、接着
強度が低下してしまう。
【００２１】その結果、前記インク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…の気密性が低くなり、インク滴の吐出不良が発生
してしまう。本発明は、前記従来のインクジェットヘッ
ドの問題点を解決して、各電極間を絶縁することがで
き、インク滴の吐出不良が発生することがないインクジ
ェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的と
する。
ｂ、…の気密性が低くなり、インク滴の吐出不良が発生
してしまう。本発明は、前記従来のインクジェットヘッ
ドの問題点を解決して、各電極間を絶縁することがで
き、インク滴の吐出不良が発生することがないインクジ
ェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的と
する。
【００２２】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明のイ
ンクジェットヘッドにおいては、表面に複数の第１の溝
を備え、該各第１の溝間に第１の電極が形成された圧電
体ベースと、表面に前記第１の溝と対応する複数の第２
の溝を備え、該各第２の溝間に第２の電極が形成される
とともに、前記圧電体ベースと接合され、前記第１の溝
及び第２の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート層
と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接着され
たオリフィスプレートとを有する。
ンクジェットヘッドにおいては、表面に複数の第１の溝
を備え、該各第１の溝間に第１の電極が形成された圧電
体ベースと、表面に前記第１の溝と対応する複数の第２
の溝を備え、該各第２の溝間に第２の電極が形成される
とともに、前記圧電体ベースと接合され、前記第１の溝
及び第２の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電
体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコート層
と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接着され
たオリフィスプレートとを有する。
【００２３】そして、前記圧電体ベース及び上部圧電体
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、
第１の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面におけ
る端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、第２の圧電
体ブロックの表面にベタ電極を、表面における端面の近
傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第１の圧電体ブロ
ックに複数の溝を形成して圧電体ベースとし、前記第２
の圧電体ブロックに複数の溝を形成して上部圧電体とす
る。
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、
第１の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面におけ
る端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、第２の圧電
体ブロックの表面にベタ電極を、表面における端面の近
傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第１の圧電体ブロ
ックに複数の溝を形成して圧電体ベースとし、前記第２
の圧電体ブロックに複数の溝を形成して上部圧電体とす
る。
【００２４】次に、前記圧電体ベースと上部圧電体とを
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１の実施の形態におけるインクジェットヘッドの側面
図、図１０は本発明の第１の実施の形態におけるインク
ジェットヘッドの斜視図、図１１は本発明の第１の実施
の形態における圧電体ベースの溝加工前の状態図、図１
２は本発明の第１の実施の形態における上部圧電体の溝
加工前の状態図、図１３は本発明の第１の実施の形態に
おけるインクジェットヘッドの組立状態図である。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１の実施の形態におけるインクジェットヘッドの側面
図、図１０は本発明の第１の実施の形態におけるインク
ジェットヘッドの斜視図、図１１は本発明の第１の実施
の形態における圧電体ベースの溝加工前の状態図、図１
２は本発明の第１の実施の形態における上部圧電体の溝
加工前の状態図、図１３は本発明の第１の実施の形態に
おけるインクジェットヘッドの組立状態図である。
【００２６】図において、１２Ａは矢印Ｐ方向に分極さ
れ、表面にベタ電極５１が形成された第１の圧電体ブロ
ック、１４Ａは矢印Ｐ方向に分極され、表面にベタ電極
５３が形成された第２の圧電体ブロックである。そし
て、前記圧電体ブロック１２Ａの一方の端面の近傍に
は、前記ベタ電極５１が形成されず、非電極部５０Ａが
形成される。また、前記圧電体ブロック１４Ａの表面に
おける一方の端面の近傍には、前記ベタ電極５３が形成
されず、非電極部５０Ａが形成される。
れ、表面にベタ電極５１が形成された第１の圧電体ブロ
ック、１４Ａは矢印Ｐ方向に分極され、表面にベタ電極
５３が形成された第２の圧電体ブロックである。そし
て、前記圧電体ブロック１２Ａの一方の端面の近傍に
は、前記ベタ電極５１が形成されず、非電極部５０Ａが
形成される。また、前記圧電体ブロック１４Ａの表面に
おける一方の端面の近傍には、前記ベタ電極５３が形成
されず、非電極部５０Ａが形成される。
【００２７】なお、ベタ電極５１、５３は、通常、スパ
ッタリング法、蒸着法等によって形成されるが、このと
き、圧電体ブロック１２Ａ、１４Ａの表面における端面
の近傍にマスキングをすることによって、前記非電極部
５０Ａを形成することができる。そして、前記圧電体ブ
ロック１２Ａは、表面に図示しないダイシングソー等の
切削手段を使用して等間隔でかつ等幅な第１の溝１６を
形成することによって圧電体ベース１２になる。一方、
前記圧電体ブロック１４Ａは、表面に前記切削手段を使
用して等間隔でかつ等幅な第２の溝１７を形成すること
によって上部圧電体１４になる。
ッタリング法、蒸着法等によって形成されるが、このと
き、圧電体ブロック１２Ａ、１４Ａの表面における端面
の近傍にマスキングをすることによって、前記非電極部
５０Ａを形成することができる。そして、前記圧電体ブ
ロック１２Ａは、表面に図示しないダイシングソー等の
切削手段を使用して等間隔でかつ等幅な第１の溝１６を
形成することによって圧電体ベース１２になる。一方、
前記圧電体ブロック１４Ａは、表面に前記切削手段を使
用して等間隔でかつ等幅な第２の溝１７を形成すること
によって上部圧電体１４になる。
【００２８】次に、圧電体ベース１２と上部圧電体１４
とが導電接合部材１９を介して接合され、前記溝１６、
１７によってインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…が形成さ
れる。なお、圧電体ベース１２と上部圧電体１４とは、
各非電極部５０Ａを互いに対向させて接合される。ま
た、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の一方の端面
にはオリフィスプレート２５が接着され、他方の端面に
は封止材２６が配設される。したがって、オリフィスプ
レート２５に形成されたオリフィス２８ａ、２８ｂ、
…、及び上部圧電体１４の端部に形成された共通インク
室２９以外の部分において、インク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…は密封される。
とが導電接合部材１９を介して接合され、前記溝１６、
１７によってインク加圧室２４ａ、２４ｂ、…が形成さ
れる。なお、圧電体ベース１２と上部圧電体１４とは、
各非電極部５０Ａを互いに対向させて接合される。ま
た、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の一方の端面
にはオリフィスプレート２５が接着され、他方の端面に
は封止材２６が配設される。したがって、オリフィスプ
レート２５に形成されたオリフィス２８ａ、２８ｂ、
…、及び上部圧電体１４の端部に形成された共通インク
室２９以外の部分において、インク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…は密封される。
【００２９】なお、３５はコート層、３６、３６ａ、３
６ｂ、…は、前記ベタ電極５１を溝１６によって分割す
ることにより形成された第１の電極、３０は前記ベタ電
極５３を溝１７によって分割することにより形成された
第２の電極である。また、３２ａ、３２ｂ、…は圧電体
ベース１２側において前記インク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…を区画する壁部、３３ａ、３３ｂ、…は上部圧電
体１４側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…
を区画する壁部である。
６ｂ、…は、前記ベタ電極５１を溝１６によって分割す
ることにより形成された第１の電極、３０は前記ベタ電
極５３を溝１７によって分割することにより形成された
第２の電極である。また、３２ａ、３２ｂ、…は圧電体
ベース１２側において前記インク加圧室２４ａ、２４
ｂ、…を区画する壁部、３３ａ、３３ｂ、…は上部圧電
体１４側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…
を区画する壁部である。
【００３０】ところで、前述したように、前記ベタ電極
５１、５３の各表面における端面の近傍には、非電極部
５０Ａが形成されるので、圧電体ベース１２と上部圧電
体１４とを接合したとき、電極３０、３６は、圧電体ベ
ース１２及び上部圧電体１４の端面には至らず、端面の
近傍に非電極部５０、５０ａ、５０ｂ、…が形成され
る。
５１、５３の各表面における端面の近傍には、非電極部
５０Ａが形成されるので、圧電体ベース１２と上部圧電
体１４とを接合したとき、電極３０、３６は、圧電体ベ
ース１２及び上部圧電体１４の端面には至らず、端面の
近傍に非電極部５０、５０ａ、５０ｂ、…が形成され
る。
【００３１】次に、前記構成のインクジェットヘッドの
製造方法について説明する。図１４は本発明の第１の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの製造方法を示
す図である。図において、２５はオリフィスプレート、
２４ａ、２４ｂ、…はインク加圧室、２８ａ、２８ｂ、
…はオリフィス、３６ａ、３６ｂ、…は電極、３５はコ
ート層、３７はインク、５０ａ、５０ｂ、…は非電極部
である。
製造方法について説明する。図１４は本発明の第１の実
施の形態におけるインクジェットヘッドの製造方法を示
す図である。図において、２５はオリフィスプレート、
２４ａ、２４ｂ、…はインク加圧室、２８ａ、２８ｂ、
…はオリフィス、３６ａ、３６ｂ、…は電極、３５はコ
ート層、３７はインク、５０ａ、５０ｂ、…は非電極部
である。
【００３２】この場合、圧電体ベース１２（図１）と上
部圧電体１４とを接合した後、圧電体ベース１２及び上
部圧電体１４にコーティングが施され、コート層３５が
形成される。そして、圧電体ベース１２と上部圧電体１
４とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベ
ース１２の端面と上部圧電体１４の端面とが面一になる
ように図示しないラッピングペーパによってラップが施
される。その後、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体
１４の表面における端面にオリフィスプレート２５が接
着される。
部圧電体１４とを接合した後、圧電体ベース１２及び上
部圧電体１４にコーティングが施され、コート層３５が
形成される。そして、圧電体ベース１２と上部圧電体１
４とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体ベ
ース１２の端面と上部圧電体１４の端面とが面一になる
ように図示しないラッピングペーパによってラップが施
される。その後、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体
１４の表面における端面にオリフィスプレート２５が接
着される。
【００３３】ところで、圧電体ベース１２及び上部圧電
体１４の端面にラップを施す際に、コート層３５が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート２５の近傍においてコート層３５が剥離し
てしまう。ところが、前記圧電体ベース１２の表面にお
ける端面の近傍には非電極部５０ａ、５０ｂ、…が形成
されるので、コート層３５の剥離部分は電極３６ａ、３
６ｂ、…には到達しない。したがって、インク加圧室２
４ａ、２４ｂ、…にインク３７を注入したときに、該イ
ンク３７と電極３６ａ、３６ｂ、…とが直接接触するの
を防止することができるので、各電極３６ａ、３６ｂ、
…間を絶縁することができる。
体１４の端面にラップを施す際に、コート層３５が形成
される面に対して垂直の方向に力が加わるので、オリフ
ィスプレート２５の近傍においてコート層３５が剥離し
てしまう。ところが、前記圧電体ベース１２の表面にお
ける端面の近傍には非電極部５０ａ、５０ｂ、…が形成
されるので、コート層３５の剥離部分は電極３６ａ、３
６ｂ、…には到達しない。したがって、インク加圧室２
４ａ、２４ｂ、…にインク３７を注入したときに、該イ
ンク３７と電極３６ａ、３６ｂ、…とが直接接触するの
を防止することができるので、各電極３６ａ、３６ｂ、
…間を絶縁することができる。
【００３４】なお、上部圧電体１４の端面の近傍にも図
示しない非電極部が形成されるので、コート層３５の剥
離部分は電極３０には到達しない。したがって、インク
３７と電極３０とが直接接触するのを防止することがで
きるので、各電極３０間を絶縁することができる。ま
た、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面に
ラップが施された後、コート層を介することなくオリフ
ィスプレート２５が接着されるので、接着強度が低下す
るのを防止することができる。
示しない非電極部が形成されるので、コート層３５の剥
離部分は電極３０には到達しない。したがって、インク
３７と電極３０とが直接接触するのを防止することがで
きるので、各電極３０間を絶縁することができる。ま
た、前記圧電体ベース１２及び上部圧電体１４の端面に
ラップが施された後、コート層を介することなくオリフ
ィスプレート２５が接着されるので、接着強度が低下す
るのを防止することができる。
【００３５】したがって、前記インク加圧室２４ａ、２
４ｂ、…の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。次に、本
発明の第２の実施の形態について説明する。図１５は本
発明の第２の実施の形態における非電極部の形成方法を
示す図である。
４ｂ、…の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。次に、本
発明の第２の実施の形態について説明する。図１５は本
発明の第２の実施の形態における非電極部の形成方法を
示す図である。
【００３６】図において、１２Ａは圧電体ブロック、５
０Ａは非電極部、５１はベタ電極である。この場合、圧
電体ブロック１２Ａの表面にベタ電極５１を形成した
後、圧電体ブロック１２Ａの表面における端面の近傍に
エキシマレーザ加工を矢印方向に施し、ベタ電極５１を
除去することによって非電極部５０Ａが形成される。
０Ａは非電極部、５１はベタ電極である。この場合、圧
電体ブロック１２Ａの表面にベタ電極５１を形成した
後、圧電体ブロック１２Ａの表面における端面の近傍に
エキシマレーザ加工を矢印方向に施し、ベタ電極５１を
除去することによって非電極部５０Ａが形成される。
【００３７】次に、本発明の第３の実施の形態について
説明する。図１６は本発明の第３の実施の形態における
非電極部の形成方法を示す図、図１７は本発明の第３の
実施の形態における非電極部の拡大図である。図におい
て、１２Ｃは圧電体ブロック、５０Ａは非電極部、７１
はベタ電極である。
説明する。図１６は本発明の第３の実施の形態における
非電極部の形成方法を示す図、図１７は本発明の第３の
実施の形態における非電極部の拡大図である。図におい
て、１２Ｃは圧電体ブロック、５０Ａは非電極部、７１
はベタ電極である。
【００３８】この場合、寸法の大きな圧電体ブロック１
２Ｃの表面にベタ電極７１を形成した後、前記圧電体ブ
ロック１２Ｃを所定の大きさにカットするようになって
いる。そして、カット時に図示しないカッティング装置
によって圧電体ブロック１２Ｃの所定箇所にカッティン
グ加工が施され、ベタ電極７１を除去することによって
非電極部５０Ａが形成される。
２Ｃの表面にベタ電極７１を形成した後、前記圧電体ブ
ロック１２Ｃを所定の大きさにカットするようになって
いる。そして、カット時に図示しないカッティング装置
によって圧電体ブロック１２Ｃの所定箇所にカッティン
グ加工が施され、ベタ電極７１を除去することによって
非電極部５０Ａが形成される。
【００３９】なお、ダイシングソー等の前記カッティン
グ装置は、サブミクロンレベルの加工精度を有する。と
ころで、本実施の形態においては、前記非電極部５０Ａ
を形成するためにダイシングソーのカッティングブレー
ドを走査するようにしているが、通常、非電極部５０Ａ
の幅はカッティングブレードの厚さの数倍であるので、
該カッティングブレードを複数回走査する必要があり、
処理時間が長くなってしまう。
グ装置は、サブミクロンレベルの加工精度を有する。と
ころで、本実施の形態においては、前記非電極部５０Ａ
を形成するためにダイシングソーのカッティングブレー
ドを走査するようにしているが、通常、非電極部５０Ａ
の幅はカッティングブレードの厚さの数倍であるので、
該カッティングブレードを複数回走査する必要があり、
処理時間が長くなってしまう。
【００４０】そこで、処理時間を短くすることができる
ようにした本発明の第４の実施の形態について説明す
る。図１８は本発明の第４の実施の形態における非電極
部の形成方法を示す図、図１９は本発明の第４の実施の
形態における非電極部の要部拡大図である。図におい
て、１２Ｃは圧電体ブロック、２５はオリフィスプレー
ト、２４ａ、２４ｂ、…はインク加圧室、２８ａ、２８
ｂ、…はオリフィス、３５はコート層、３７はインク、
３８ａ、３８ｂ、…は第１の電極、３９ａ、３９ｂ、…
は電極残留部、５０Ｂ、７２ａ、７２ｂ、…は非電極
部、７１はベタ電極である。
ようにした本発明の第４の実施の形態について説明す
る。図１８は本発明の第４の実施の形態における非電極
部の形成方法を示す図、図１９は本発明の第４の実施の
形態における非電極部の要部拡大図である。図におい
て、１２Ｃは圧電体ブロック、２５はオリフィスプレー
ト、２４ａ、２４ｂ、…はインク加圧室、２８ａ、２８
ｂ、…はオリフィス、３５はコート層、３７はインク、
３８ａ、３８ｂ、…は第１の電極、３９ａ、３９ｂ、…
は電極残留部、５０Ｂ、７２ａ、７２ｂ、…は非電極
部、７１はベタ電極である。
【００４１】この場合、圧電体ベース１２（図１）及び
上部圧電体１４にラップを施す際、コート層３５の剥離
部分よりも内側の部分、すなわち、カット後の圧電体ブ
ロック１２Ｃの端面から設定距離だけ離れた部分の電極
３８ａ、３８ｂ、…を除去することによって非電極部７
２ａ、７２ｂ、…が形成される。そして、前記非電極部
７２ａ、７２ｂ、…の幅は、図示しないカッティングブ
レードの厚さと等しく設定されるので、該カッティング
ブレードを１回走査するだけで前記非電極部７２ａ、７
２ｂ、…を形成することができる。したがって、処理時
間を短くすることができる。
上部圧電体１４にラップを施す際、コート層３５の剥離
部分よりも内側の部分、すなわち、カット後の圧電体ブ
ロック１２Ｃの端面から設定距離だけ離れた部分の電極
３８ａ、３８ｂ、…を除去することによって非電極部７
２ａ、７２ｂ、…が形成される。そして、前記非電極部
７２ａ、７２ｂ、…の幅は、図示しないカッティングブ
レードの厚さと等しく設定されるので、該カッティング
ブレードを１回走査するだけで前記非電極部７２ａ、７
２ｂ、…を形成することができる。したがって、処理時
間を短くすることができる。
【００４２】また、前記電極残留部３９ａ、３９ｂ、…
はインク３７と接触するが、電圧が印加される電極３８
ａ、３８ｂ、…と、前記電極残留部３９ａ、３９ｂ、…
とは非電極部７２ａ、７２ｂ、…によって電気的に遮断
されるので、各電極３８ａ、３８ｂ、…間を絶縁するこ
とができる。なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させ
ることが可能であり、これらを本発明の範囲から排除す
るものではない。
はインク３７と接触するが、電圧が印加される電極３８
ａ、３８ｂ、…と、前記電極残留部３９ａ、３９ｂ、…
とは非電極部７２ａ、７２ｂ、…によって電気的に遮断
されるので、各電極３８ａ、３８ｂ、…間を絶縁するこ
とができる。なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させ
ることが可能であり、これらを本発明の範囲から排除す
るものではない。
【００４３】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、インクジェットヘッドにおいては、表面に複数の
第１の溝を備え、該各第１の溝間に第１の電極が形成さ
れた圧電体ベースと、表面に前記第１の溝と対応する複
数の第２の溝を備え、該各第２の溝間に第２の電極が形
成されるとともに、前記圧電体ベースと接合され、前記
第１の溝及び第２の溝によってインク加圧室を形成する
上部圧電体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコ
ート層と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接
着されたオリフィスプレートとを有する。
れば、インクジェットヘッドにおいては、表面に複数の
第１の溝を備え、該各第１の溝間に第１の電極が形成さ
れた圧電体ベースと、表面に前記第１の溝と対応する複
数の第２の溝を備え、該各第２の溝間に第２の電極が形
成されるとともに、前記圧電体ベースと接合され、前記
第１の溝及び第２の溝によってインク加圧室を形成する
上部圧電体と、前記インク加圧室の内面に形成されたコ
ート層と、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に接
着されたオリフィスプレートとを有する。
【００４４】そして、前記圧電体ベース及び上部圧電体
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
この場合、圧電体ベースと上部圧電体とを接合した後、
圧電体ベース及び上部圧電体にコーティングが施され、
コート層が形成される。そして、圧電体ベースと上部圧
電体とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体
ベースの端面と上部圧電体の端面とが面一になるように
ラップが施される。
の各表面における端面の近傍に非電極部が形成される。
この場合、圧電体ベースと上部圧電体とを接合した後、
圧電体ベース及び上部圧電体にコーティングが施され、
コート層が形成される。そして、圧電体ベースと上部圧
電体とを接合したときにずれが生じるので、前記圧電体
ベースの端面と上部圧電体の端面とが面一になるように
ラップが施される。
【００４５】このとき、オリフィスプレートの近傍にお
いてコート層が剥離してしまう。ところが、前記圧電体
ベースの表面における端面の近傍には非電極部が形成さ
れるので、コート層の剥離部分は電極には到達しない。
したがって、インク加圧室にインクを注入したときに、
該インクと第１、第２の電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各第１の電極間及び第２の電極
間を絶縁することができる。
いてコート層が剥離してしまう。ところが、前記圧電体
ベースの表面における端面の近傍には非電極部が形成さ
れるので、コート層の剥離部分は電極には到達しない。
したがって、インク加圧室にインクを注入したときに、
該インクと第１、第２の電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各第１の電極間及び第２の電極
間を絶縁することができる。
【００４６】また、前記圧電体ベース及び上部圧電体の
端面にラップが施された後、コート層を介することなく
オリフィスプレートが接着されるので、接着強度が低下
するのを防止することができる。したがって、前記イン
ク加圧室の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。
端面にラップが施された後、コート層を介することなく
オリフィスプレートが接着されるので、接着強度が低下
するのを防止することができる。したがって、前記イン
ク加圧室の気密性を高くすることができ、インク滴の吐
出不良が発生するのを防止することができる。
【００４７】本発明のインクジェットヘッドの製造方法
においては、第１の圧電体ブロックの表面にベタ電極
を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成
し、第２の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面に
おける端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第
１の圧電体ブロックに複数の溝を形成して圧電体ベース
とし、前記第２の圧電体ブロックに複数の溝を形成して
上部圧電体とする。
においては、第１の圧電体ブロックの表面にベタ電極
を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成
し、第２の圧電体ブロックの表面にベタ電極を、表面に
おける端面の近傍に非電極部をそれぞれ形成し、前記第
１の圧電体ブロックに複数の溝を形成して圧電体ベース
とし、前記第２の圧電体ブロックに複数の溝を形成して
上部圧電体とする。
【００４８】次に、前記圧電体ベースと上部圧電体とを
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。この場合、前記圧電体ベースの端面
の近傍には非電極部が形成されるので、ラップに伴って
コート層が剥離しても、剥離部分は電極には到達しな
い。
接合してインク加圧室を形成し、前記圧電体ベース及び
上部圧電体にコーティングを施し、前記圧電体ベース及
び上部圧電体の端面にラップを施した後、オリフィスプ
レートを接着する。この場合、前記圧電体ベースの端面
の近傍には非電極部が形成されるので、ラップに伴って
コート層が剥離しても、剥離部分は電極には到達しな
い。
【００４９】したがって、インク加圧室にインクを注入
したときに、該インクと電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各電極間を絶縁することができ
る。また、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面にラ
ップが施された後、コート層を介することなくオリフィ
スプレートが接着されるので、接着強度が低下するのを
防止することができる。
したときに、該インクと電極とが直接接触するのを防止
することができるので、各電極間を絶縁することができ
る。また、前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面にラ
ップが施された後、コート層を介することなくオリフィ
スプレートが接着されるので、接着強度が低下するのを
防止することができる。
【００５０】したがって、前記インク加圧室の気密性を
高くすることができ、インク滴の吐出不良が発生するの
を防止することができる。
高くすることができ、インク滴の吐出不良が発生するの
を防止することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるインクジェ
ットヘッドの側面図である。
ットヘッドの側面図である。
【図２】従来の圧電体ベースの溝加工前の状態図であ
る。
る。
【図３】従来の上部圧電体の溝加工前の状態図である。
【図４】従来のインクジェットヘッドの組立状態図であ
る。
る。
【図５】従来のインクジェットヘッドの側面図である。
【図６】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
【図７】従来のインクジェットヘッドの第１の製造方法
を示す図である。
を示す図である。
【図８】図７のＸ−Ｘ断面図である。
【図９】従来のインクジェットヘッドの第２の製造方法
を示す図である。
を示す図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの斜視図である。
ェットヘッドの斜視図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態における圧電体ベ
ースの溝加工前の状態図である。
ースの溝加工前の状態図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態における上部圧電
体の溝加工前の状態図である。
体の溝加工前の状態図である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの組立状態図である。
ェットヘッドの組立状態図である。
【図１４】本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの製造方法を示す図である。
ェットヘッドの製造方法を示す図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態における非電極部
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図１６】本発明の第３の実施の形態における非電極部
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図１７】本発明の第３の実施の形態における非電極部
の拡大図である。
の拡大図である。
【図１８】本発明の第４の実施の形態における非電極部
の形成方法を示す図である。
の形成方法を示す図である。
【図１９】本発明の第４の実施の形態における非電極部
の要部拡大図である。
の要部拡大図である。
１２ 圧電体ベース １２Ａ、１２Ｃ、１４Ａ 圧電体ブロック １４ 上部圧電体 １６、１７ 溝 ２４ａ、２４ｂ、… インク加圧室 ２５ オリフィスプレート ３０、３６、３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、…
電極 ３５ コート層 ５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０ａ、５０ｂ、７２ａ、７２
ｂ、… 非電極部 ５１、５３、７１ ベタ電極
電極 ３５ コート層 ５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０ａ、５０ｂ、７２ａ、７２
ｂ、… 非電極部 ５１、５３、７１ ベタ電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 潔是 東京都港区芝浦四丁目11番地22号 株式会 社沖データ内 (72)発明者 下杉 優彦 東京都港区芝浦四丁目11番地22号 株式会 社沖データ内
Claims (5)
- 【請求項１】 （ａ）表面に複数の第１の溝を備え、該
各第１の溝間に第１の電極が形成された圧電体ベース
と、（ｂ）表面に前記第１の溝と対応する複数の第２の
溝を備え、該各第２の溝間に第２の電極が形成されると
ともに、前記圧電体ベースと接合され、前記第１の溝及
び第２の溝によってインク加圧室を形成する上部圧電体
と、（ｃ）前記インク加圧室の内面に形成されたコート
層と、（ｄ）前記圧電体ベース及び上部圧電体の端面に
接着されたオリフィスプレートとを有するとともに、
（ｅ）前記圧電体ベース及び上部圧電体の各表面におけ
る端面の近傍に非電極部が形成されることを特徴とする
インクジェットヘッド。 - 【請求項２】 （ａ）第１の圧電体ブロックの表面にベ
タ電極を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞ
れ形成し、（ｂ）第２の圧電体ブロックの表面にベタ電
極を、表面における端面の近傍に非電極部をそれぞれ形
成し、（ｃ）前記第１の圧電体ブロックに複数の溝を形
成して圧電体ベースとし、（ｄ）前記第２の圧電体ブロ
ックに複数の溝を形成して上部圧電体とし、（ｅ）前記
圧電体ベースと上部圧電体とを接合してインク加圧室を
形成し、（ｆ）前記圧電体ベース及び上部圧電体にコー
ティングを施し、（ｇ）前記圧電体ベース及び上部圧電
体の端面にラップを施した後、オリフィスプレートを接
着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項３】 前記非電極部は、ベタ電極が形成された
圧電体ブロックの表面における端面の近傍にエキシマレ
ーザ加工を施すことによって形成される請求項２に記載
のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記非電極部は、ベタ電極が形成された
圧電体ブロックの表面における端面の近傍にカッティン
グ加工を施すことによって形成される請求項２に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 前記カッティング加工は、圧電体ブロッ
クの端面から設定距離だけ離れた部分に施される請求項
４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8090812A JPH09277522A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| US08/835,335 US6113227A (en) | 1996-04-12 | 1997-04-07 | Ink jet head having electrode and non-electrode areas |
| EP97105812A EP0800919A3 (en) | 1996-04-12 | 1997-04-08 | Ink jet head and method of manufacturing the ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8090812A JPH09277522A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09277522A true JPH09277522A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=14009019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8090812A Withdrawn JPH09277522A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6113227A (ja) |
| EP (1) | EP0800919A3 (ja) |
| JP (1) | JPH09277522A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008201022A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Sii Printek Inc | ヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7383014B2 (en) * | 2005-06-10 | 2008-06-03 | Lexmark International, Inc. | Auger for use within an image forming device |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5320887A (en) * | 1976-08-11 | 1978-02-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Piezoelectric oscillator |
| JPS6159914A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Fujitsu Ltd | デイジタル圧縮装置 |
| JP3139511B2 (ja) * | 1990-11-09 | 2001-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| JPH04284253A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタおよびヘッド |
| US5227813A (en) * | 1991-08-16 | 1993-07-13 | Compaq Computer Corporation | Sidewall actuator for a high density ink jet printhead |
| US5406319A (en) * | 1991-08-16 | 1995-04-11 | Compaq Computer Corporation | Enhanced U type ink jet printheads |
| US5235352A (en) * | 1991-08-16 | 1993-08-10 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead |
| CA2075786A1 (en) * | 1991-08-16 | 1993-02-17 | John R. Pies | Method of manufacturing a high density ink jet printhead array |
| JPH06218918A (ja) * | 1993-01-25 | 1994-08-09 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置 |
| GB9318985D0 (en) * | 1993-09-14 | 1993-10-27 | Xaar Ltd | Passivation of ceramic piezoelectric ink jet print heads |
| JP3120638B2 (ja) * | 1993-10-01 | 2000-12-25 | ブラザー工業株式会社 | インク噴射装置 |
| JP3135800B2 (ja) * | 1994-10-20 | 2001-02-19 | 株式会社沖データ | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-04-12 JP JP8090812A patent/JPH09277522A/ja not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-04-07 US US08/835,335 patent/US6113227A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-08 EP EP97105812A patent/EP0800919A3/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008201022A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Sii Printek Inc | ヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0800919A3 (en) | 1998-12-30 |
| US6113227A (en) | 2000-09-05 |
| EP0800919A2 (en) | 1997-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |