JPH09260060A - エレクトロルミネッセンス素子及びその製造法 - Google Patents
エレクトロルミネッセンス素子及びその製造法Info
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- JPH09260060A JPH09260060A JP8095958A JP9595896A JPH09260060A JP H09260060 A JPH09260060 A JP H09260060A JP 8095958 A JP8095958 A JP 8095958A JP 9595896 A JP9595896 A JP 9595896A JP H09260060 A JPH09260060 A JP H09260060A
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- phosphor powder
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】硫化物系蛍光体粉末や酸化物系蛍光体粉末の高
効率なEL素子用発光層。 【解決手段】基体上に、少なくとも1種の蛍光体粉末あ
るいは該蛍光体粉末と同種もしくは異種蛍光体粉末を用
いて形成する堆積層を発光層とし、その上に透明電極層
を、他面に対向電極層を配置した構造により該EL素子
を提供する。堆積層は、蛍光体または蛍光体と他の蛍光
体あるいは蛍光体と高誘電率誘電体の構成元素を含む金
属塩、有機金属錯体、アルコキシド、アセテ−トあるい
はアセチルアセトネ−ト等を有機溶剤で溶かした溶液を
蛍光体粉末層上もしくは蛍光体粉末と混合して基体上へ
沈澱、または塗布した後、焼成して蛍光体粉末を含む堆
積層として形成される。素子構造と堆積層形成方法を用
いて作製したEL素子において、沈澱法では400V、
1kHz駆動時に最高24cd/m2、塗布法では同1
1cd/m2no緑色発光が得られた。
効率なEL素子用発光層。 【解決手段】基体上に、少なくとも1種の蛍光体粉末あ
るいは該蛍光体粉末と同種もしくは異種蛍光体粉末を用
いて形成する堆積層を発光層とし、その上に透明電極層
を、他面に対向電極層を配置した構造により該EL素子
を提供する。堆積層は、蛍光体または蛍光体と他の蛍光
体あるいは蛍光体と高誘電率誘電体の構成元素を含む金
属塩、有機金属錯体、アルコキシド、アセテ−トあるい
はアセチルアセトネ−ト等を有機溶剤で溶かした溶液を
蛍光体粉末層上もしくは蛍光体粉末と混合して基体上へ
沈澱、または塗布した後、焼成して蛍光体粉末を含む堆
積層として形成される。素子構造と堆積層形成方法を用
いて作製したEL素子において、沈澱法では400V、
1kHz駆動時に最高24cd/m2、塗布法では同1
1cd/m2no緑色発光が得られた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はエレクトロルミネッセン
ス素子およびその製造法に関する。
ス素子およびその製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】エレクトロルミネッセンス素子(以下E
L素子と呼ぶ)は、平面形固体発光表示装置への応用に
対し古くから研究され、その実用化に対し根強い期待が
ある。このEL素子は構造上、ガラスまたはプラスチッ
クフィルム基板上に蛍光体の結晶性薄膜を形成させるこ
とを特徴とする薄膜形と蛍光体粉末を有機系誘電体バイ
ンダー中に均一に分散混合させることを特徴とする有機
分散形及び蛍光体粉末をガス等の無機系バインダーで結
着させることを特徴とする無機分散形に分けられる。無
機分散形ELは、しばしばセラミックス形ELと呼ばれ
ることもあるが、あくまでも蛍光体粉末粒子がこの無機
系バインダー中に分散したものに過ぎない。従来、EL
素子の発光色に関しては、Mn添加硫化亜鉛(ZnS:
Mn)系やテルビウム添加硫化亜鉛(ZnS:Tb)系
二重絶縁構造交流駆動薄膜EL素子における黄橙色発光
並びに緑色発光、そしてCu添加硫化亜鉛(ZnS:C
u)系有機分散形交流駆動薄膜EL素子における青緑色
発光のもののみが実用されている。
L素子と呼ぶ)は、平面形固体発光表示装置への応用に
対し古くから研究され、その実用化に対し根強い期待が
ある。このEL素子は構造上、ガラスまたはプラスチッ
クフィルム基板上に蛍光体の結晶性薄膜を形成させるこ
とを特徴とする薄膜形と蛍光体粉末を有機系誘電体バイ
ンダー中に均一に分散混合させることを特徴とする有機
分散形及び蛍光体粉末をガス等の無機系バインダーで結
着させることを特徴とする無機分散形に分けられる。無
機分散形ELは、しばしばセラミックス形ELと呼ばれ
ることもあるが、あくまでも蛍光体粉末粒子がこの無機
系バインダー中に分散したものに過ぎない。従来、EL
素子の発光色に関しては、Mn添加硫化亜鉛(ZnS:
Mn)系やテルビウム添加硫化亜鉛(ZnS:Tb)系
二重絶縁構造交流駆動薄膜EL素子における黄橙色発光
並びに緑色発光、そしてCu添加硫化亜鉛(ZnS:C
u)系有機分散形交流駆動薄膜EL素子における青緑色
発光のもののみが実用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記した分散形EL
は、他のタイプに比べその素子構造が非常に簡単である
ため、また製造工程も単純であるため実用には大変魅力
的である。しかし、従来利用されているバインダ−は誘
電率が低く、そのため効率良く蛍光体に高電界を印加す
ることが出来ないことに加え比較的良質の結晶が得られ
易い単純な構造の硫化亜鉛系蛍光体しか利用されていな
かった。その結果、高い発光輝度を有する素子が得られ
ず、発光色も限られていた。しかも、硫化亜鉛等の硫化
物系蛍光体材料は水分に敏感であるため、長時間素子を
駆動させる場合には厳重な防湿対策を施さなければなら
ず高コスト化の最大の要因となっていた。
は、他のタイプに比べその素子構造が非常に簡単である
ため、また製造工程も単純であるため実用には大変魅力
的である。しかし、従来利用されているバインダ−は誘
電率が低く、そのため効率良く蛍光体に高電界を印加す
ることが出来ないことに加え比較的良質の結晶が得られ
易い単純な構造の硫化亜鉛系蛍光体しか利用されていな
かった。その結果、高い発光輝度を有する素子が得られ
ず、発光色も限られていた。しかも、硫化亜鉛等の硫化
物系蛍光体材料は水分に敏感であるため、長時間素子を
駆動させる場合には厳重な防湿対策を施さなければなら
ず高コスト化の最大の要因となっていた。
【0004】
【課題を解決するための手段】しかし、最近、発光層に
水分に対し極めて強い酸化物系蛍光体を用いた高輝度E
L素子の研究開発が活発化している(例えば、申請者ら
の発明になる特願平2−254649及び特願平2−2
56474)。特に基板兼絶縁層として焼結チタン酸バ
リウム(BaTiO3)セラミック上にケイ酸塩系蛍光
体であるMn添加ケイ酸亜鉛(Zn2SiO4:Mn)な
る薄膜発光層を形成したEL素子で、1kHz駆動時最
高3200cd/m2という高輝度緑色発光を実現して
いる。極最近ではZn2GaO4:Mnを用いた薄膜EL
素子において、1kHz駆動時最高710cd/m2の
高輝度緑色発光を実現している[特許申請中:特願平7
−212332]。
水分に対し極めて強い酸化物系蛍光体を用いた高輝度E
L素子の研究開発が活発化している(例えば、申請者ら
の発明になる特願平2−254649及び特願平2−2
56474)。特に基板兼絶縁層として焼結チタン酸バ
リウム(BaTiO3)セラミック上にケイ酸塩系蛍光
体であるMn添加ケイ酸亜鉛(Zn2SiO4:Mn)な
る薄膜発光層を形成したEL素子で、1kHz駆動時最
高3200cd/m2という高輝度緑色発光を実現して
いる。極最近ではZn2GaO4:Mnを用いた薄膜EL
素子において、1kHz駆動時最高710cd/m2の
高輝度緑色発光を実現している[特許申請中:特願平7
−212332]。
【0005】本発明は、上記した課題を解決するため、
従来から利用されている硫化物系蛍光体粉末や上記酸化
物系蛍光体粉末が持っている高結晶性をフルに利用する
ことにより高効率なEL素子用発光層として活用しよう
とするものである。そこで、本発明では、基体上に、少
なくとも1種の蛍光体粉末あるいは該蛍光体粉末と同種
もしくは異種蛍光体粉末を用いて形成する堆積層を発光
層とし、その上に透明電極層を、他面に対向電極層を配
置した構造により該EL素子を提供するものである。
尚、前記した堆積層は、該蛍光体または該蛍光体と他の
蛍光体あるいは蛍光体と高誘電率誘電体の構成元素を含
む金属塩、有機金属錯体、アルコキシド、アセテ−トあ
るいはアセチルアセトネ−ト等を有機溶剤で溶かした溶
液を蛍光体粉末層上もしくは蛍光体粉末と混合して基体
上へ塗布した後、焼成して蛍光体粉末を含む堆積層とし
て形成される方法を特徴としている。
従来から利用されている硫化物系蛍光体粉末や上記酸化
物系蛍光体粉末が持っている高結晶性をフルに利用する
ことにより高効率なEL素子用発光層として活用しよう
とするものである。そこで、本発明では、基体上に、少
なくとも1種の蛍光体粉末あるいは該蛍光体粉末と同種
もしくは異種蛍光体粉末を用いて形成する堆積層を発光
層とし、その上に透明電極層を、他面に対向電極層を配
置した構造により該EL素子を提供するものである。
尚、前記した堆積層は、該蛍光体または該蛍光体と他の
蛍光体あるいは蛍光体と高誘電率誘電体の構成元素を含
む金属塩、有機金属錯体、アルコキシド、アセテ−トあ
るいはアセチルアセトネ−ト等を有機溶剤で溶かした溶
液を蛍光体粉末層上もしくは蛍光体粉末と混合して基体
上へ塗布した後、焼成して蛍光体粉末を含む堆積層とし
て形成される方法を特徴としている。
【0006】一方、透明電極層は、少なくとも1種のII
族、III族あるいはIV族元素を含む金属塩、有機金属錯
体、アルコキシド、アセテ−トあるいはアセチルアセト
ネ−トを含む有機溶液を用い、前記同様の工程を用いて
形成する方法を特徴とする。
族、III族あるいはIV族元素を含む金属塩、有機金属錯
体、アルコキシド、アセテ−トあるいはアセチルアセト
ネ−トを含む有機溶液を用い、前記同様の工程を用いて
形成する方法を特徴とする。
【0007】本発明では、該蛍光体粉末が沈澱法や、デ
ィップ法、スプレ−法、スピンコ−ティング法、スクリ
−ン印刷等の塗布法を利用する堆積技術を用いて形成し
た後、硫黄を含む雰囲気中にて、または真空中もしくは
非酸化性ガス、あるいは一部酸化性ガス、または一部還
元性ガスと硫黄を含む非酸化性ガス雰囲気中であるいは
これらの雰囲気と等価な雰囲気中600℃〜1200
℃、好ましくは900℃〜1100℃の温度範囲で熱処
理を施すことにより、該蛍光体層にエレクトロルミネッ
センス素子用発光層としての十分な機能を付与すること
を特徴とする。尚、該蛍光体粉末が酸化物系である場合
には、水溶液を用いる通常の方法、例えばゾル−ゲル法
を用いて複合酸化物を作製した後、焼成を経て該堆積層
を形成することも有効である。
ィップ法、スプレ−法、スピンコ−ティング法、スクリ
−ン印刷等の塗布法を利用する堆積技術を用いて形成し
た後、硫黄を含む雰囲気中にて、または真空中もしくは
非酸化性ガス、あるいは一部酸化性ガス、または一部還
元性ガスと硫黄を含む非酸化性ガス雰囲気中であるいは
これらの雰囲気と等価な雰囲気中600℃〜1200
℃、好ましくは900℃〜1100℃の温度範囲で熱処
理を施すことにより、該蛍光体層にエレクトロルミネッ
センス素子用発光層としての十分な機能を付与すること
を特徴とする。尚、該蛍光体粉末が酸化物系である場合
には、水溶液を用いる通常の方法、例えばゾル−ゲル法
を用いて複合酸化物を作製した後、焼成を経て該堆積層
を形成することも有効である。
【0008】
【作用】本発明に係るEL素子は、蛍光体粉末(一般に
焼成粉である。)の持っている高結晶性を最大限に活用
できる構造を有している。即ち、従来の分散形EL素子
のように蛍光体粉末を結着させるための発光に寄与しな
いバインダ−を有していないので蛍光体粉末の充填率が
高まり、さらに蛍光体粉末の結晶性が優れているので、
高電界印加時におけるホットエレクトロンの生成効率が
高まりその結果発光中心の励起効率も大幅に向上し、高
い発光輝度が得られるという作用効果がある。また、本
発明になる素子構造は図1及び図2に見られるごとく極
めて単純であることから実用的には非常に有望である。
ところで本発明に係るEL素子は、発光に寄与する該堆
積層が厚いため耐電圧性能に優れていること、従ってカ
タストロフィックな絶縁破壊の心配もなく蛍光体に十分
高い電界を印加出来、発光中心を効率良く励起できると
いう作用効果を有する。本発明による最も著しい作用
は、従来、EL素子の発光層として応用されることがな
かったCRTあるいはランプ用蛍光体等にみられる酸素
酸塩系蛍光体や酸化物系蛍光体を中心とした幅広い種類
の蛍光体がEL素子用蛍光体として十分に活用できる点
にある。次に、前記した硫黄を含む雰囲気中や、または
真空中もしくは非酸化性ガス、あるいは一部酸化性ガ
ス、または一部還元性ガスと硫黄を含む非酸化性ガス雰
囲気中での熱処理は、蛍光体表面を硫化することによる
硫化層を形成し、蛍光体発光層表面が電荷供給層として
機能する。本発明になるEL素子の製造技術によって、
これまでEL素子用蛍光体としてほとんど利用されなか
った多くの蛍光体がEL素子用発光層として有効に機能
させられるようになった意義は大きい。このことによっ
て、赤、緑、青色発光等の多色化を初めとするフルカラ
−化は勿論、白色発光のEL素子も安価に、かつ容易に
実現出来、以て広範な用途が期待出来る。以下に本発明
を実施例により説明する。
焼成粉である。)の持っている高結晶性を最大限に活用
できる構造を有している。即ち、従来の分散形EL素子
のように蛍光体粉末を結着させるための発光に寄与しな
いバインダ−を有していないので蛍光体粉末の充填率が
高まり、さらに蛍光体粉末の結晶性が優れているので、
高電界印加時におけるホットエレクトロンの生成効率が
高まりその結果発光中心の励起効率も大幅に向上し、高
い発光輝度が得られるという作用効果がある。また、本
発明になる素子構造は図1及び図2に見られるごとく極
めて単純であることから実用的には非常に有望である。
ところで本発明に係るEL素子は、発光に寄与する該堆
積層が厚いため耐電圧性能に優れていること、従ってカ
タストロフィックな絶縁破壊の心配もなく蛍光体に十分
高い電界を印加出来、発光中心を効率良く励起できると
いう作用効果を有する。本発明による最も著しい作用
は、従来、EL素子の発光層として応用されることがな
かったCRTあるいはランプ用蛍光体等にみられる酸素
酸塩系蛍光体や酸化物系蛍光体を中心とした幅広い種類
の蛍光体がEL素子用蛍光体として十分に活用できる点
にある。次に、前記した硫黄を含む雰囲気中や、または
真空中もしくは非酸化性ガス、あるいは一部酸化性ガ
ス、または一部還元性ガスと硫黄を含む非酸化性ガス雰
囲気中での熱処理は、蛍光体表面を硫化することによる
硫化層を形成し、蛍光体発光層表面が電荷供給層として
機能する。本発明になるEL素子の製造技術によって、
これまでEL素子用蛍光体としてほとんど利用されなか
った多くの蛍光体がEL素子用発光層として有効に機能
させられるようになった意義は大きい。このことによっ
て、赤、緑、青色発光等の多色化を初めとするフルカラ
−化は勿論、白色発光のEL素子も安価に、かつ容易に
実現出来、以て広範な用途が期待出来る。以下に本発明
を実施例により説明する。
【0009】
【実施例1】アセトンにZnGa2O4:Mn蛍光体粉末
を完全に溶かした溶液を用いて図1に示すBaTiO3
セラミックシ−ト:5上に沈澱させた後、約1000℃
の空気中で5時間熱処理を施し、発光層:1を形成し
た。その後、透明電極:2および対向電極:3を形成し
EL素子を作製した。この沈澱法により作製したEL素
子の典型的な発光輝度−印加電圧特性を図3中1に示
す。同図より400V、1kHz駆動時において最高発
光輝度24cd/m2の緑色ELが得られた。
を完全に溶かした溶液を用いて図1に示すBaTiO3
セラミックシ−ト:5上に沈澱させた後、約1000℃
の空気中で5時間熱処理を施し、発光層:1を形成し
た。その後、透明電極:2および対向電極:3を形成し
EL素子を作製した。この沈澱法により作製したEL素
子の典型的な発光輝度−印加電圧特性を図3中1に示
す。同図より400V、1kHz駆動時において最高発
光輝度24cd/m2の緑色ELが得られた。
【0010】次に、塗布法としてディップ法を採用し、
メチルアルコ−ル中にZn(C5H7O2)2、Ga(C5
H7O2)2および塩化マンガン(MnCl3)粉末を溶解
させ、図1に示すBaTiO3セラミックシ−ト:5上
に塗布した後、約1000℃の空気中で5時間熱処理を
施し、ZnGa2O4:Mnから成る発光層:1を形成し
た。その後、透明電極:2および対向電極:3を形成し
EL素子を作製した。この塗布法により作製したEL素
子の典型的な発光輝度−印加電圧特性を図3中2に示
す。同図より400V、1kHz駆動時において最高発
光輝度11cd/m2の緑色ELが得られた。尚、上記
いずれの方法においても、ZnGa2O4:Mn蛍光体に
替わりに、例えば、Zn2SiO4:MnやZnS:Mn
を用いても同等の発光輝度が得られた。発光色はそれぞ
れ緑色および黄橙色であった。
メチルアルコ−ル中にZn(C5H7O2)2、Ga(C5
H7O2)2および塩化マンガン(MnCl3)粉末を溶解
させ、図1に示すBaTiO3セラミックシ−ト:5上
に塗布した後、約1000℃の空気中で5時間熱処理を
施し、ZnGa2O4:Mnから成る発光層:1を形成し
た。その後、透明電極:2および対向電極:3を形成し
EL素子を作製した。この塗布法により作製したEL素
子の典型的な発光輝度−印加電圧特性を図3中2に示
す。同図より400V、1kHz駆動時において最高発
光輝度11cd/m2の緑色ELが得られた。尚、上記
いずれの方法においても、ZnGa2O4:Mn蛍光体に
替わりに、例えば、Zn2SiO4:MnやZnS:Mn
を用いても同等の発光輝度が得られた。発光色はそれぞ
れ緑色および黄橙色であった。
【0011】
【実施例2】エチルアルコ−ルにGa(C5H7O2)2、
Zn(C5H7O2)2およびMnCl3粉末とBaTiO3
セラミック粉末を1:2:0.1:5の割合で溶かした
スラリ−を用いてプラスチックシ−ト上に塗布させた
後、200℃の空気中にて乾燥させ、引き続き1300
℃で焼結し、図2に示すように蛍光体とBaTiO3絶
縁体からなる厚さ0.2mmのシ−ト:4を作製した。
片面に高周波マグネトロンスパッタ法によりZnO:A
l透明電極:2、他面にAl金属電極:3を真空蒸着法
で形成し、EL素子を作製した。この素子を400V、
1kHzで駆動したところ最大発光輝度40cd/m2
の緑色発光が得られた。尚、該シ−ト:1を作製後、そ
の上に、予めZnアルコキシドとアルミニウムアルコキ
シドをAl2O3量が2wt%になるように混入した後、
加水分解を経て得られたゲルをアルゴン/水素混合ガス
中で1000℃5時間の熱処理を行なって透明電極:2
を形成し、他面には対向電極として銀ぺ−スト:3を塗
布しEL素子を作製した。その結果前記とほぼ同様の発
光特性が得られた。
Zn(C5H7O2)2およびMnCl3粉末とBaTiO3
セラミック粉末を1:2:0.1:5の割合で溶かした
スラリ−を用いてプラスチックシ−ト上に塗布させた
後、200℃の空気中にて乾燥させ、引き続き1300
℃で焼結し、図2に示すように蛍光体とBaTiO3絶
縁体からなる厚さ0.2mmのシ−ト:4を作製した。
片面に高周波マグネトロンスパッタ法によりZnO:A
l透明電極:2、他面にAl金属電極:3を真空蒸着法
で形成し、EL素子を作製した。この素子を400V、
1kHzで駆動したところ最大発光輝度40cd/m2
の緑色発光が得られた。尚、該シ−ト:1を作製後、そ
の上に、予めZnアルコキシドとアルミニウムアルコキ
シドをAl2O3量が2wt%になるように混入した後、
加水分解を経て得られたゲルをアルゴン/水素混合ガス
中で1000℃5時間の熱処理を行なって透明電極:2
を形成し、他面には対向電極として銀ぺ−スト:3を塗
布しEL素子を作製した。その結果前記とほぼ同様の発
光特性が得られた。
【0012】本発明は上記実施例に限られるものではな
く、前記蛍光体には、ブラウン管CRT用蛍光体、プラ
ズマディスプレイ用蛍光体、フイ−ルドエミッションデ
ィスプレイ用蛍光体、各種ランプ用蛍光体、EL用蛍光
体そしてこれ以外の蛍光体材料の全てが利用できる。さ
らに、上記実施例で例示したZnO:Al透明電極層以
外に酸化錫(SnO2)系やインジウム・錫酸化物(I
TO)系等の透明導電膜を使用することは一向に差し支
えない。 高誘電率誘電体はその比誘電率が1000以
上あればよく、必ずしもBaTiO3である必要はな
い。
く、前記蛍光体には、ブラウン管CRT用蛍光体、プラ
ズマディスプレイ用蛍光体、フイ−ルドエミッションデ
ィスプレイ用蛍光体、各種ランプ用蛍光体、EL用蛍光
体そしてこれ以外の蛍光体材料の全てが利用できる。さ
らに、上記実施例で例示したZnO:Al透明電極層以
外に酸化錫(SnO2)系やインジウム・錫酸化物(I
TO)系等の透明導電膜を使用することは一向に差し支
えない。 高誘電率誘電体はその比誘電率が1000以
上あればよく、必ずしもBaTiO3である必要はな
い。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、従来、EL素子の発光
層材料として利用出来なかったり、また特性的に不十分
であった各種蛍光体、特に酸化物系蛍光体を極めて簡単
で安価な方法で利用出来る道を提供することが出来、そ
の効果は絶大である。即ち既存の電子管やランプ用蛍光
体として知られている酸素酸塩系蛍光体や酸化物系蛍光
体あるいは硫化物系蛍光体をEL素子用発光層として機
能させる製造法を確立した結果、これまでの蛍光体の種
類にとらわれず赤、緑、青色の多色発光やフルカラ−発
光は勿論、白色発光をも容易に実現することが出来る。
これによって発光形平面ディスプレイ用EL素子とし
て、あるいは面発光体である特長を活かす照光ランプや
各種パタ−ン表示もしくは平面光源を必要とする例えば
液晶表示装置を用いた各種の応用機器および商用電源駆
動形発光素子に対し大いに威力を発揮し、従来にない幅
広い用途が生み出されるという効果がある。
層材料として利用出来なかったり、また特性的に不十分
であった各種蛍光体、特に酸化物系蛍光体を極めて簡単
で安価な方法で利用出来る道を提供することが出来、そ
の効果は絶大である。即ち既存の電子管やランプ用蛍光
体として知られている酸素酸塩系蛍光体や酸化物系蛍光
体あるいは硫化物系蛍光体をEL素子用発光層として機
能させる製造法を確立した結果、これまでの蛍光体の種
類にとらわれず赤、緑、青色の多色発光やフルカラ−発
光は勿論、白色発光をも容易に実現することが出来る。
これによって発光形平面ディスプレイ用EL素子とし
て、あるいは面発光体である特長を活かす照光ランプや
各種パタ−ン表示もしくは平面光源を必要とする例えば
液晶表示装置を用いた各種の応用機器および商用電源駆
動形発光素子に対し大いに威力を発揮し、従来にない幅
広い用途が生み出されるという効果がある。
【図1】本発明による実施例1の断面構造図
【図2】本発明による実施例2の断面構造図
1・・・・発光層 2・・・・透明電極 3・・・・対向電極 4・・・・発光層 5・・・・蛍光体とBaTiO3絶縁体からなるシ−ト
【図3】EL素子の典型的な輝度−印加電圧特性図であ
る。
る。
1・・・・沈澱法 2・・・・塗布法ZnGa2O4:Mn薄膜発光層
Claims (12)
- 【請求項1】 基体上に、少なくとも1種の蛍光体粉末
あるいは該蛍光体粉末と同種もしくは異種蛍光体粉末を
用いて形成する堆積層を発光層とし、その上に透明電極
層を、他面に対向電極層を配置した構造を特徴とするエ
レクトロルミネッセンス素子。 - 【請求項2】 前記基体が強誘電体セラミックシ−トで
ある請求項1記載のエレクトロルミネッセンス素子。 - 【請求項3】 前記蛍光体が酸化物系である請求項1ま
たは2記載のエレクトロルミネッセンス素子。 - 【請求項4】 前記蛍光体が硫化物系である請求項1、
2または3記載のエレクトロルミネッセンス素子。 - 【請求項5】 前記高誘電率誘電体粉末が強誘電体セラ
ミック粉末である請求項1〜3、または4記載のエレク
トロルミネッセンス素子。 - 【請求項6】 請求項1記載の堆積層が、該蛍光体また
は該蛍光体と他の蛍光体あるいは蛍光体と高誘電率誘電
体の構成元素を含む金属塩、有機金属錯体、アルコキシ
ド、アセテ−トあるいはアセチルアセトネ−ト等を有機
溶剤で溶かした溶液を蛍光体粉末層上もしくは蛍光体粉
末と混合して基体上へ塗布した後、焼成して蛍光体粉末
を含む堆積層として形成される方法を特徴とする請求項
1〜4または5記載のエレクトロルミネッセンス素子の
製造法。 - 【請求項7】 請求項6の塗布する溶液がゾル・ゲルで
ある請求項1〜5または6記載のエレクトロルミネッセ
ンス素子の製造法。 - 【請求項8】 請求項1記載の透明電極層が、少なくと
も1種のII族、III族あるいはIV族元素を含む金属塩、
有機金属錯体、アルコキシド、アセテ−トあるいはアセ
チルアセトネ−トを含む有機溶液を用い、請求項6記載
の製造工程と同様の工程を用いて形成する方法を特徴と
する請求項1〜6または7記載のエレクトロルミネッセ
ンス素子の製造法。 - 【請求項9】 前記記載の堆積層を形成した後、硫黄を
含む雰囲気中にて600℃〜1200℃、好ましくは9
00℃〜1100℃の温度範囲で焼成もしくは熱処理を
施すことにより、該堆積層を作製するための粉末に、も
しくは形成された該堆積層にエレクトロルミネッセンス
素子用蛍光体粉末あるいは発光層としての十分な機能を
付与する方法を特徴とする請求項1〜7、または8記載
のエレクトロルミネッセンス素子の製造法。 - 【請求項10】 前記焼成もしくは熱処理が該処理条件
下で真空中もしくは非酸化性ガス、あるいは一部酸化性
ガス、または一部還元性ガスと硫黄を含む非酸化性ガス
雰囲気中であるいはこれらの雰囲気と等価な雰囲気中で
施す方法を特徴とする前記請求項1〜8または9記載の
エレクトロルミネッセンス素子の製造法。 - 【請求項11】 前記蛍光体粉末が少なくとも一種の亜
鉛ガレート(ZnGa2O4)からなる蛍光体である請求
項1〜9あるいは10記載のエレクトロルミネッセンス
素子の製造法。 - 【請求項12】 面発光形照光ランプ、面発光形表示パ
ネルあるいは平面光源を有する平面形表示装置を製造す
るのに使用される請求項1〜10または11記載のエレ
クトロルミネッセンス素子またはその製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8095958A JPH09260060A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | エレクトロルミネッセンス素子及びその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8095958A JPH09260060A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | エレクトロルミネッセンス素子及びその製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09260060A true JPH09260060A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=14151752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8095958A Pending JPH09260060A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | エレクトロルミネッセンス素子及びその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09260060A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005122649A1 (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | エレクトロルミネセンス素子 |
JP2006074036A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Shogen Koden Kofun Yugenkoshi | 半導体発光装置およびその製作方法 |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP8095958A patent/JPH09260060A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005122649A1 (ja) * | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | エレクトロルミネセンス素子 |
US7714498B2 (en) | 2004-06-07 | 2010-05-11 | Panasonic Corporation | Electroluminescent device with acetylacetonato complex salt included in phosphor layer |
JP2006074036A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Shogen Koden Kofun Yugenkoshi | 半導体発光装置およびその製作方法 |
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