JPH09254389A

JPH09254389A - 記録装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09254389A
Application number: JP9351696A
Authority: JP
Inventors: Toshio Fukuda; 敏生福田; Toru Naganuma; 徹長沼
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-03-22
Filing date: 1996-03-22
Publication date: 1997-09-30

Abstract

(57)【要約】【課題】ベース及び振動板とドライフィルムレジスト
との接着面が剥離することなく、耐久性のある記録装置
及びその製造方法を提供すること。【解決手段】ベース１及び振動板３のドライフィルム
レジスト２に対向する面にアルミニウムキレート膜４、
５を形成し、このアルミニウムキレート膜４、５を介し
て、ベース１とドライフィルムレジスト２、及び振動板
３とドライフィルムレジスト２とを加熱圧着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録装置（例え
ば、インクと希釈液とを混合してなる記録液を飛翔させ
て被記録体に記録を行うプリンタ）及びその製造方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ビデオカメラ、コンピュータグラ
フィクス等のカラー化が進むにつれ、ハードコピーのカ
ラー化に対するニーズが急速に高まっている。それに対
して、昇華型熱転写方式、溶融熱転写方式、インクジェ
ット方式、電子写真方式、熱現像銀塩方式等のカラーハ
ードコピー方式が提案されている。これらの記録方式の
中で、高画質の画像を簡単な装置で手軽に出力する方法
は、染料拡散熱転写方式とインクジェット方式に大きく
分類できる。

【０００３】これらの記録方式の中で、染料拡散熱転写
方式によれば、適当なバインダ樹脂中に高濃度の転写染
料の分散するインク層が塗布されいてるインクリボン又
はシートと、転写された染料を受容する染着樹脂がコー
ティングされた印画紙等の被転写体を、一定の圧力で密
着させ、インクシート上に位置する感熱記録ヘッドから
画像情報に応じた熱が加えられ、インクシートから受像
層に加えられた熱量に応じて転写染料を熱転写させる。

【０００４】上記の操作を、減法混色の三原色、即ち、
イエロー、マゼンタ、シアンに分解された画像信号につ
いてそれぞれ繰り返すことによって、連続的な階調を持
つフルカラー画像を得ることを特徴とする、いわゆる熱
転写方式は、小型化、保守が容易で、即時性を備え、銀
塩カラー写真並の高品位な画像を得る優れた技術として
注目を集めている。

【０００５】図19は、こうした熱転写方式のプリンタの
要部の概略正面図である。

【０００６】感熱記録ヘッド（以下、サーマルヘッドと
呼ぶ）50とプラテンローラ51とが対向し、これらの間
に、ベースフィルム52ｂ上にインク層52ａを設けたイン
クシート52と、紙53ｂ上に染着樹脂層53ａを設けた被記
録紙（被転写体）53とが挟まれ、これらが回転するプラ
テンローラ51によってサーマルヘッド50に押し付けられ
て走行する。

【０００７】そして、サーマルヘッド50によって選択的
に加熱されたインク層52ａ中のインク（転写染料）が、
被転写体53の染着樹脂層53ａにドット状に転写され、熱
転写記録が遂行される。このような熱転写記録には、被
記録紙53の走行方向と直交する方向にサーマルヘッドを
走査するシリアル方式や、同被記録紙走行方向に直交し
て一本のサーマルヘッドを固定して配したライン方式と
が採用されている。

【０００８】しかし、この方式はインクシートの使い捨
てに起因する多量の廃棄物の発生と、高いランニングコ
ストが大きな欠点であり、その普及が妨げられている。

【０００９】このように、従来の熱転写方式は高画質で
あるが、専用印画紙と使い捨てのインクリボン又はシー
トを使用するためにランニングコストが高い。

【００１０】熱現像銀塩方式も高画質であるが、やはり
専用印画紙と使い捨てのインクリボン又はシートを使用
するためにランニングコストが高く、装置コストも高
い。

【００１１】こうしたノンインパクト記録法は、記録時
における騒音が極めて小さいという点で広く普及しつつ
ある。中でもいわゆるインクジェット記録法は、高速記
録が可能であり、しかも、いわゆる普通紙に特別の定着
処理を必要とせずに記録できるため、近年、コンピュー
タグラフィックス等の画像をハードコピーする技術とし
て極めて有力な記録方法となりつつある。

【００１２】上記のインクジェット方式とは、特公昭61
−59911 号や特公平５−217 号公報等に示されるよう
に、画像情報に応じて、静電吸引方式、連続振動発生方
式（ピエゾ方式）、サーマル方式（バブルジェット方
式）等の方法で記録液の小滴を記録ヘッドに設けられた
ノズルから飛翔させ、記録部材に付着せしめ、記録を行
うものである。

【００１３】従って、インクシート等を使用する場合の
ような廃棄物の発生はほとんどなく、ランニングコスト
が低いことから普及が拡大している。

【００１４】いわゆるオンデマンド型やコンティニュア
ス型のインクジェット（以下、単に「インクジェット」
と称する。）方式のプリンタ装置は、記録信号に応じて
インク液滴をノズルより吐出し、紙やフィルム等の被記
録体に記録するプリンタであり、小型化、低コスト化が
可能なため、近年急速に普及しつつある。

【００１５】こうしたインクジェットプリンタにおい
て、インク液滴を吐出するためには、例えばピエゾ素子
を用いる方法や発熱素子を用いる方法が一般的である。
ピエゾ素子を用いる方法というのは、ピエゾ素子の変形
によりインクに圧力を与え、ノズルから吐出させる方法
である。

【００１６】インクジェットプリンタのプリンタヘッド
は、一般には、次のようにして製造されている。即ち、
ガラスや金属からなるベース材に、切削加工やエッチン
グ等により微細な溝状のインク通路及び液溜め室を形成
する。

【００１７】このような製造方法に代えて、感光性樹脂
を選択的に露光処理（硬化処理）し、現像により不要部
分を除去してインク通路や液溜め室を形成する方法が提
案されている。特に、感光性樹脂としていわゆるドライ
フィルムレジストをベース材に接着し、上記の処理を行
えば、インク通路等の加工精度や量産性を向上させるこ
とができる。

【００１８】しかし、ドライフィルムレジストを使用す
る場合、加工性の点では改善されるものの、ヘッド自体
の耐久性に問題があることが判明した。

【００１９】即ち、ヘッドの通路内に長時間インクが浸
漬されることにより、ベースとドライフィルムレジスト
との密着性、及びドライフィルムレジストと振動板との
密着性が時間の経過と共に低下し、ドライフィルムレジ
ストがベースや振動板から剥離したり、液洩れが発生す
るなど、耐久性の問題がある。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な事情に鑑みてなされたものであって、耐久性が高く、
信頼性の良好な記録装置及びその製造方法を提供するこ
とを目的としている。

【００２１】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、吐出液
の吐出口と、この吐出口に通じる吐出液通路（ここで、
「吐出液通路」とは、吐出液が通る通路のことであっ
て、後記の貯溜部やこれに通じる通路も広義には包含す
る：以下、同様）とを有し、前記吐出口から前記吐出液
を吐出させて被記録体へ飛翔させるように構成され、前
記吐出口及び前記吐出液通路が、これに対応した形状に
加工された中間層と、この中間層を支持する基体と、前
記中間層上の振動体との一体化によってそれぞれ形成さ
れ、前記基体及び前記振動体と前記中間層との間がアル
ミニウムキレート化合物を主体とする化合物によってそ
れぞれ処理されている（特に、前記中間層に対する前記
基体の対向面、及び前記中間層に対する前記振動体の対
向面がアルミニウムキレート化合物によってそれぞれ処
理されている）記録装置に係るものである。

【００２２】ここで、「記録装置」とは、インクジェッ
トプリンタヘッド等の記録ヘッドを意味する他、インク
ジェットプリンタの如くヘッドを組み込んだプリンタ等
の装置も包含するものである（以下、同様）。また、
「アルミニウムキレート化合物を主体とする」とは、ア
ルミニウムキレート化合物 100％である以外に、アルミ
ニウムキレート化合物と少量の他の化合物との混合物も
意味する（以下、同様）。

【００２３】本発明はまた、吐出液の吐出口と、この吐
出口に通じる吐出液通路とを有し、前記吐出口から前記
吐出液を吐出させて被記録体へ飛翔させるように構成さ
れ、前記吐出口及び前記吐出液通路が、これに対応した
形状に加工された中間層と、この中間層を支持する基体
と、前記中間層上の振動体との一体化によってそれぞれ
形成され、前記基体及び前記振動体と前記中間層との間
がアルミニウムキレート化合物によってそれぞれ処理さ
れている（特に、前記中間層に対する前記基体の対向
面、及び前記中間層に対する前記振動体の対向面がアル
ミニウムキレート化合物によってそれぞれ処理されてい
る）記録装置を製造するに際し、前記基体と前記中間層
との間（特に、前記基体の面）を前記アルミニウムキレ
ート化合物によって処理する工程と、前記基体と前記中
間層とを接着する（特に、前記基体の処理面上に前記中
間層を接着する）工程と、この中間層に前記吐出口及び
前記吐出液通路を形成する工程と、前記振動体と前記中
間層との間（特に、前記振動体の面）を前記アルミニウ
ムキレート化合物によって処理する工程と、前記振動体
と前記中間層とを接着する（特に、前記振動体の処理面
を前記中間層上に接着する）工程とを有する、記録装置
の製造方法も提供するものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明に基づく上記の記録装置及
びその製造方法においては、中間層が感光性樹脂から形
成されたものであり、この感光性樹脂がドライフィルム
レジストであることが望ましい。

【００２５】そして、振動体上に、この振動体を変位さ
せて吐出液を吐出させるための吐出エネルギー発生素子
が設けられていることが好ましく、この場合、吐出エネ
ルギー発生素子が圧電素子であることが望ましい。

【００２６】更に、記録材及び／又は記録材希釈液から
なる吐出液を吐出させるものであることが望ましい。

【００２７】この場合、記録材と記録材希釈液とのそれ
ぞれの吐出口、通路及び貯溜部を有し、吐出された前記
記録材と前記記録材希釈液とを前記吐出口又はその近傍
で混合して飛翔させることが望ましい。

【００２８】本発明の製造方法においては、基体及び振
動体の面をアルミニウムキレート化合物で処理するに際
し、溶媒に溶かした前記アルミニウムキレート化合物溶
液を基体及び前記振動体の面に塗布し、この塗布液を加
熱処理してアルミニウムキレート化合物膜を形成するこ
とが望ましい。

【００２９】また、中間層に吐出口及び吐出液通路を形
成するに際し、前記中間層となる感光性樹脂層をアルミ
ニウムキレート化合物膜を介して加熱圧着した後、前記
感光性樹脂層を所定パターンに露光し、現像処理するこ
とが望ましい。

【００３０】また、振動体をアルミニウムキレート化合
物で処理した後、この処理面をアルミニウムキレート化
合物膜を介して中間層上に加熱圧着することが望まし
い。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。

【００３２】図１は、本発明の実施例による２液混合型
のインクジェット（以下、キャリアジェットと称するこ
とがある。）プリンタヘッド10の要部を示すものであ
り、図３（ａ）のＩ−Ｉ線断面図である。このインクジ
ェット10は、ステンレスからなるベース１上に、アルミ
ニウムキレート化合物膜（以下、アルミニウムキレート
膜と称することがある。）４、ドライフィルムレジスト
膜２、アルミニウムキレート膜５及び振動板３が積層す
る形で形成されている。

【００３３】本実施例において、アルミニウムキレート
膜４、５はベース１及び振動板３とドライフィルムレジ
スト膜２との接着性を高めるために設けたものであり、
本実施例の重要な特徴である。

【００３４】即ち、アルミニウムキレート膜４は、ベー
ス１の接着面を表面処理して成膜され、ベース１に対す
るドライフィルムレジスト膜２の接着性を高めるもので
ある。同じく、アルミニウムキレート膜５は、振動板３
の接着面を表面処理して成膜され、ドライフィルムレジ
スト膜２に対する振動板３の接着性を高めるものであ
る。ここでは、アルミニウムキレート膜４、５はベース
１及び振動板３のほぼ全域に成膜されている。

【００３５】ドライフィルムレジスト膜２には、インク
貯溜部６及び希釈液貯溜部７が形成されている。また、
図示のように、インク貯溜部６内のインク13及び希釈液
貯溜部７内の希釈液14は、それぞれ振動板３上に設けら
れている圧電素子８、９の作用によりノズル15、16から
吐出される。

【００３６】図３（ａ）に示すように、インク貯溜部６
はその先端側を幅細に縮小してノズル15を形成し、他端
側はインク通路６ａにつながっている。また、希釈液貯
溜部７も同じくその先端側を縮小してノズル16を形成
し、他端側は希釈液通路７ａにつながっている。図３
（ｂ）は、（ａ）の一部を拡大して示した図であるが、
（ｂ）の説明は後述する。

【００３７】つまり、供給するインク13を定量し、これ
を水等の希釈液14に混合してなる記録液を吐出ノズルか
ら吐出させ、液滴として飛翔させ、被記録体に付着させ
て記録するようにした、いわゆる２液混合型のドット内
濃度変調方式のプリンタ装置を構成している。このプリ
ンタ装置において、希釈液14にインク13を必要量混合し
て所望のインク濃度とするには、ピエゾ素子８又は９に
印加する電圧を変調するための電圧変調方式が採用され
る。

【００３８】この電圧変調方式は、定量するインク量を
電圧の大きさ（又はパルス幅）によって調整する方式で
あり、例えば、インクの場合、図１におけるピエゾ素子
８に大きな電圧を印加すると、このピエゾ素子８の変位
が大きくなり、より多くのインクが吐出される。逆に、
小さな電圧をこのピエゾ素子８に印加すると、このピエ
ゾ素子８の変位が小さくなって、少量のインクが吐出さ
れる。

【００３９】このような電圧印加に代えて、パルス発生
装置（図示省略）からのパルス信号によって所定のパル
ス電圧が１画素毎に設定数だけ印加され、ピエゾ素子８
を作動させることもできる。即ち、パルス信号のパルス
数に応じてインク用のピエゾ素子８が作動し、このパル
ス数に応じてインク13の吐出量を制御できるので、記録
ドットの濃度階調や面積階調（ドット径）をコントロー
ルできる。これについての詳細は後述する。

【００４０】上記のようなピエゾ素子の作用を示したの
が図２（ａ）、（ｂ）であり、いずれも図１に対応する
部分を示し、（ａ）はインク貯溜部６側のピエゾ素子８
の作動を示し、（ｂ）は同じく希釈液貯溜部７側のピエ
ゾ素子９の作動を示している。

【００４１】図２（ａ）において、符号11はインク定量
パルスを示している。このパルス信号は、配線11ａを介
してピエゾ素子８を作動させる。従って、この場合、ピ
エゾ素子８は電圧印加で一定量変位し、仮想線のように
振動板３を押圧、変形させる。

【００４２】このようなピエゾ素子８の作動に伴って、
ピエゾ素子８下の振動板３の一部分が変形してインク貯
溜部６内部の容積が圧縮され、この内部のインク13がノ
ズル15（図３参照）から吐出する。

【００４３】一方、希釈液貯溜部７側の吐出パルス12
は、図２（ｂ）に図示の如く、パルス信号を配線12ａを
介してピエゾ素子９に送り、これにより、ピエゾ素子９
下の振動板３を二点鎖線で示すように変形させ、希釈液
貯溜部７内部の容積を圧縮し、この内部の希釈液14をノ
ズル16（図３参照）から吐出させる。

【００４４】このようにして吐出するインク13と希釈液
14とがノズル先端の外側で混合されて、小液滴として飛
翔し、被記録体上に一つのドットを形成する。従って、
ノズル先端部は図３に示すように、インクノズル15の向
きがノズル16に対して角度θで傾斜し、距離ｄだけ離れ
て希釈液ノズル16に隣接するように構成することによっ
て、両液13と14とが混合され易いようにし、希釈液14に
混合されたインク13は希釈液14の吐出力によって飛翔
し、被記録体に転写される。

【００４５】上記の如く、いわばインクノズル15と希釈
ノズル16とが一組で１ドット用ノズルを構成するように
なっており、このようなドット用ノズルが列状に多数個
配されるように、インク貯溜部６と希釈液貯溜部７との
群がそれぞれのピエゾ素子８、９を有した状態で、ベー
ス１の同一平面上に所定の間隔で多数が隣接して配設さ
れている。

【００４６】図４は、図３における一組のインク貯溜部
６と希釈液貯溜部７と、これらに付随するそれぞれのノ
ズル15、16及び通路６ａ、７ａとを拡大して模式的に示
した平面図である。

【００４７】上記のようにしてインク13と希釈液14とが
混合し合うメカニズムを図４により説明すると、インク
13及び希釈液14はそれぞれの貯溜部６、７へ微細な通路
６ａ、７ａを毛細管現象によって導入され、吐出によっ
て消費された分は逐次補給される。そして、吐出前のイ
ンクノズル15及び希釈液ノズル16の先端においては、図
４（ａ）に示すように、それぞれの液体の表面張力によ
りメニスカス（インク側は仮想線で示す13ａ、希釈側は
実線で示す14ａ）を形成している。

【００４８】吐出の順序としては、まずインク貯溜部６
側のピエゾ素子８が前記したように定量用パルス信号に
より作動して定量のインク13を吐出させる。これによ
り、インク13は図４（ａ）の如く、メニスカス13ａを形
成していた初期状態から、吐出したインク13Ａがノズル
15の先端に溢れ出る。

【００４９】続いて、希釈液貯溜部７側のピエゾ素子９
に対し、同様にして吐出用パルス信号を与えると、ピエ
ゾ素子９の作動によって希釈液14を吐出させる。従っ
て、同図（ｂ）の如く、メニスカス14ａを形成していた
初期状態から、希釈液14Ａがノズル16の先端に溢れ出
る。

【００５０】この結果、ノズル先端部において希釈液14
は、既に溢れ出しているインク13Ａを吸収、混合して更
に体積増大した液滴17となってノズル16から離れ、２液
混合された液滴として飛翔する。

【００５１】その後、インク貯溜部６のインク13及び希
釈液貯溜部７の希釈液14はそれぞれの通路６ａ、７ａか
ら再充填されると共に、それぞれのノズル15、16にはメ
ニスカス13ａ、14ａが形成されて初期の状態に復帰す
る。

【００５２】本実施例のインクジェットは、キャリアジ
ェット方式であって、インク13と希釈液14とを混合し、
液滴として飛翔させ、被記録体に付着、記録させるもの
であるが、上記の２液が十分に混合されるためには、ノ
ズル15、16の間隔ｄはその開口の径や吐出力に見合うこ
とが必要である。

【００５３】上記したように、本実施例によるプリンタ
ヘッド10は、キャリアジェット方式として、ノズル15、
16と液貯溜部６、７と液通路６ａ、７ａとをドライフィ
ルムレジスト２に後述する露光プロセスで加工し、その
上下面をベース１と振動板３とで挟んで接着固定した構
造を有し、これらの接着面がベース１及び振動板３にア
ルミニウムキレート膜４、５によってそれぞれ処理され
ているので、ベース１及び振動板３とドライフィルムレ
ジスト２との接着性が高められており、その剥離が防止
され、耐久性が良くなる。

【００５４】従って、液13、14の吐出口、この吐出口に
通じる通路や貯溜部が正常な形状に保持されて液洩れが
生じることはないため、液が正常に吐出され、信頼性の
高い記録装置を提供することができる。

【００５５】通常のインクジェットプリンタの場合で
は、インクの色が単位ヘッド毎に違いがないことから、
吐出に影響がなければ隣接し合うノズル（吐出口）相互
間で液洩れが生じ、インクが混じってもあまり問題がな
い。

【００５６】しかし、本実施例の如き２液混合型キャリ
アジェットプリンタヘッド（これは、本出願人が特願平
７−２５４２５０号等において既に提起した。）のよう
な濃度変調可能なプリンタヘッドの場合には、インク13
とこの希釈液14とを混合（２液混合）して吐出するた
め、インクと希釈液とがノズルから吐出する途中で相互
に混じり合うと、インクの定量混合ができなくなり、必
要な濃度又は階調性が得られなくなる。従って、従来技
術のように、ドライフィルムレジストの剥離による液洩
れは重大な問題を生じる可能性が大きい。

【００５７】こうした問題は、本実施例によるヘッド
は、上記したように、ドライフィルムレジスト２の剥離
は生じず、液洩れを効果的に防止できるから、キャリア
ジェットプリンタを信頼性良く作動させ、その優れた性
能（特に階調性）を十二分に発揮させることが可能であ
る。

【００５８】こうした顕著な効果を奏する接着面の処理
剤としてのアルミニウムキレート化合物は、例えば、次
のものが挙げられる。

【００５９】アルキルアセトアセテートアルミニウムジ
イソプロピレート（図５）、例えばエチルアセトアセテ
ートアルミニウムジイソプロピレート（図６）、アルミ
ニウムモノアセチルアセテトネートビス（エチルアセト
アセテート）（図７）、アルミニウムトリス（エチルア
セトアセテート）（図８）、アルミニウムトリス（アセ
チルアセトネート）（図９）。

【００６０】また、このアルミニウムキレート化合物膜
の膜厚は、 0.1〜1.0 μｍであってよく、その成膜処理
方法としては溶液の塗布、乾燥に依って行える。また、
その成膜領域は、ベース１及び振動板３の全域であって
よいが、ドライフィルムレジスト２との接着域のみであ
ってもよい。

【００６１】アルミニウムキレート化合物による上記の
剥離防止効果は、アルミニウムキレート化合物がベース
１及び振動板３（共に無機物）と、ドライフィルムレジ
スト２（有機物）との双方に対して親和力を持つからで
あると考えられる。

【００６２】次に、図10及び図11について、本実施例に
よるプリンタヘッドの製造方法を説明する。

【００６３】まず、図10（ａ）のようなベース１を用意
し、図10（ｂ）のように、このベース１の表面に、アル
ミニウムキレート（例えばエチルアセトアセテートアル
ミニウムジイソプロピレート）のイソプロパノール溶液
をスピンコートにより塗布し、この溶液塗布面を加熱
し、塗布した溶剤を揮発させる。こうしてベース１の表
面に、アルミニウムキレート膜４を形成する。

【００６４】次いで、アルミニウムキレート膜４を形成
したベース１を予め加熱した後、図10（ｃ）のように、
アルミニウムキレート膜４の形成面にドライフィルムレ
ジスト２を重ね合わせて加熱圧着し、ベース１にドライ
フィルムレジスト２を接着する。

【００６５】次いで、図10（ｄ）のように、上記の如く
に接着したドライフィルムレジスト２の上にインク貯溜
部６と希釈液貯溜部７と、これらの貯溜部に付随する通
路及びノズル（図３参照）とを含む形状に対応したパタ
ーンのマスク40を密着させる。

【００６６】次いで、図10（ｅ）のように、上記のマス
ク40の上からＵＶ法（紫外線硬化法）による露光を行
い、マスク40以外の露出部分を光硬化させる。矢印は紫
外線照射を示している。これにより、図10（ｆ）のよう
に、マスク40で遮蔽した部分２Ａ以外の露出したドライ
フィルムレジスト２が硬化する。

【００６７】次いで、図11（ｇ）のようにマスク40を除
去した後、図11（ｈ）のように、ドライフィルムレジス
ト２を現像処理する（矢印は現像液の吹き付け状態を示
す）。

【００６８】これによって、図11（ｉ）のように、未硬
化部分のドライフィルムレジスト２Ａを上記のノズル、
液通路及び液溜めの形状に除去し、更に洗浄液で洗浄
し、未硬化のレジストを洗い落として各貯溜部６及び７
等を形成する。

【００６９】次いで、図11（ｊ）のように、振動板３の
面を図10（ｂ）で述べたと同様にアルミニウムキレート
膜５で処理し、この処理面をドライフィルムレジスト２
に対向して振動板３を重ね合わせる。

【００７０】次いで、図11（ｋ）のように、重ね合わせ
た振動板３とドライフィルムレジスト２とを加熱圧着す
る。これにより、インク貯溜部６及び希釈液貯溜部７を
含む通路が完全に形成される。

【００７１】そして最後に、図11（ｌ）のように、貯溜
部６及び７上において振動板３にピエゾ素子８、９を固
定し、所定の配線を施す。

【００７２】このようにして、本実施例によるプリンタ
ヘッドを作製するが、重要な点は、取扱い容易なドライ
フィルムレジスト２をベース１上に接着し、露光、硬
化、現像処理するだけで高精度にかつ量産性良くヘッド
の作製（具体的には、液通路の形成）が可能であると同
時に、剥離防止のためのアルミニウムキレート膜４及び
５を容易に形成できることである。

【００７３】上記のようにして構成されたプリンタヘッ
ド10は、例えば図12に示すようなシリアル型のプリンタ
装置に搭載される。被記録体であるプリント紙20は、ド
ラム22の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ21によ
り、ドラム22に圧着保持されている。そのドラム22の外
周近傍には、図示省略した駆動手段に連結された送りね
じ23がドラム22の軸方向と平行に設けられている。そし
て、この送りねじ23には、プリンタヘッド10を有する支
持体24が保持されている。従って、プリンタヘッド10
は、送りねじ23の回転によって支持体24と共にドラム22
の軸方向に往復動する。

【００７４】一方、ドラム22は、プーリ25、ベルト26、
プーリ27を介してモータ28により回転駆動される。更
に、送りねじ23及びモータ28の回転とプリンタヘッド10
の駆動は、印画データ及び制御信号30に基づいて駆動制
御部29により駆動制御される。

【００７５】このようにして、プリンタヘッド10が移動
して１行分の印字が終了すると、ドラム22を１行分だけ
矢印方向に回転させ、ヘッド10は仮想線で示すように次
の行の印字動作を行う。プリンタヘッド10の移動は、同
一方向の場合と往復方向の場合とがある。

【００７６】図13は、ライン型の構成例である。この場
合は、上記したシリアル型のプリンタヘッド10が送りね
じ23により移動するのとは異なり、多数のノズルがライ
ン状に配置され、長尺のヘッド31としてドラム22の軸方
向に固定式に設けられている。従って、ライン型におい
ては、ヘッド31によって１行分の印字が同時に行われ、
１行分の印字が終了すると、ドラム22を１行分だけ矢印
方向に回転させ、次の行の印字を行うものである。そし
て、これらの動作は印画データ及び制御信号30に基づい
て駆動制御部29によって駆動制御される。

【００７７】この場合、全ラインを一括して印字した
り、複数ブロックに分割したり、１行おきに交互に印字
する方法も考えられる。

【００７８】図14は、印字及び制御系を示すブロック図
である。印字データなどの信号回路32は、信号処理制御
回路33に入力され、この信号処理制御回路33において印
字順番に揃えられ、ドライバ34を介してヘッド10に送ら
れる。印字順番は、ヘッド10や印字部の構成で異なり、
また印字データの入力順番との関係もあり、必要に応じ
てラインバッファメモリや１画面メモリなどのメモリ回
路36に一旦記録してから取り出す。ヘッド10には、階調
信号や吐出信号を入力する。

【００７９】なお、マルチ型の記録ヘッドでノズル数が
非常に多い場合には、ヘッド10にＩＣを搭載して、この
ヘッド10に接続する配線の数を減らすようにする。ま
た、信号処理制御回路33には、補正回路37が接続されて
おり、γ補正、カラーの場合の色補正、各ヘッドのばら
つき補正などを行う。

【００８０】補正回路37には、予め決められた補正デー
タをＲＯＭ（Read Only Memory）にマップ形式で格納し
ておき、外部条件、例えばノズル番号、温度、入力信号
などに応じて取り出すようにするのが一般的である。信
号処理制御回路33は、中央制御装置（ＣＰＵ）やディジ
タル・シグナル・プロセッサ（ＤＳＰ）構成としてソフ
トウエアで処理することが一般的であり、処理された信
号は各種制御部38に送られる。

【００８１】各種制御部38では、前記したシリアル型又
はライン型プリンタ装置におけるドラム22及び送りねじ
23を回転駆動させるモータの駆動、同期、ヘッド10のク
リーニング、プリント紙20の供給、排出などの制御を行
う。また、信号には、印字データ以外の操作部信号や外
部制御信号が含まれることは言うまでもない。

【００８２】図15（ａ）は、インクの定量をパルス数変
調で制御する例を示すが、インクの吐出量を定量パルス
11の数に対応して変化させる。また、図15（ｂ）は、希
釈液を吐出させるパルス12の波形図を示す。即ち、例え
ば、上記した信号処理制御回路33の信号により出力され
る吐出パルス12ａと12ｂとの間（即ち、１画素）に、同
信号処理制御回路33の信号に基づいて所定数の定量パル
ス11が印加される。

【００８３】そして、これらのパルスは印加される電圧
Ｖとパルス幅Ｗとによってパルスの大小が示される。従
って、図示の如く、インクの定量パルス11は小幅なパル
ス幅Ｗ₁と電圧Ｖ₁とからなるパルス11ａ〜11ｎによっ
て定量のインクを吐出させ、これに対して希釈液の吐出
パルス12は幅広のパルス幅Ｗ₂と電圧Ｖ₂からなるパル
スである。

【００８４】これにより、先に図２で説明したインク貯
溜部６側のピエゾ素子８、及び希釈液貯溜部７側のピエ
ゾ素子９が作動する。そして、希釈液に混合されるイン
ク量は定量パルス数をコントロールすることによって変
化させ、濃度変調することができる。

【００８５】即ち、図15（ａ）における定量パルス11の
一回のパルス（11ａ…11ｎの各パルスの１つのみ）でイ
ンクの最低吐出量を定量し、このパルスを何回か繰り返
すことにより、必要な濃度階調が得られる。例えば、イ
ンクの定量を２５６段階とれば、ドット内において２５
６階調のグレースケールを得ることができる。

【００８６】図16は、０〜２５５の濃度階調を18ａ…18
ｌとして抽出してその段階順に示したものである。即
ち、この図において、18ａはインクの定量パルス数がゼ
ロのときのインクドットを示し、18ｌはパルス数２５５
としたときのインクドットを示している。

【００８７】なお、パルス数変調方式によって、例えば
１ドット内で２５６の濃度階調を得ようとすると、２５
５のパルスを前記したインク貯溜部６側の圧電素子８に
印加する必要がある。そのため、定量するのに要する時
間がかかり、混合液体を吐出する駆動周波数が低減して
しまうおそれがある。

【００８８】従って、これを解決すべく、ドット内の濃
度階調のみにおいて２５６階調を得るのではなく、例え
ばドット内で１６階調をとり、残りの１６階調をディザ
法（誤差拡散法、組織的ディザ法等）のような疑似階調
表現を使って表現する。

【００８９】つまり、パルス数によって１６階調を表現
し、１画素を例えば４×４のドットよりなるマトリクス
で構成し、このマトリクス単位で２５６階調を得ること
ができる。即ち、１６×４×４＝２５６となる。

【００９０】このように、インクを定量する際に、パル
ス数変調に加えてディザ法を併用することで、混合液体
の吐出に要する時間を軽減することができ、結果とし
て、駆動周波数を向上させることができる。

【００９１】このプリンタ装置によって、フルカラー印
刷を行うこともできる。この場合、例えば希釈液とシア
ンＣ、希釈液とマゼンタＭ、希釈液とイエローＹ、希釈
液と黒Ｋの混合による濃度階調を作り、３色若しくは４
色を被記録体の同一位置に付着させることで、フルカラ
ーのドットを得ることができる。

【００９２】また、希釈液に３色又は４色を同時に混合
することによって、１ドット内でフルカラーのドットを
得ることもできる。このようにすれば、被記録体への付
着ドット径を小さくすることができるという利点が得ら
れる。

【００９３】図17は、本発明の他の実施例によるキャリ
アジェット式のプリンタヘッドの要部の平面図である。

【００９４】この例では、図示の如く、インク貯溜部41
及び希釈液貯溜部42がほぼ円弧状をなし、各直径位置か
らノズル43、44へ向けて直線的に幅狭となった形状に形
成されている。そして、ノズル43、44とは反対側にイン
ク及び希釈液の通路41ａ、42ａが毛管状に形成されてい
る。

【００９５】この場合、ノズル43、44の開口部は高さ50
μｍ、幅25μｍ、ノズル開口部間隔ｄは50μｍ、インク
貯溜部41の中心線とインクノズル43の中心線とを結ぶ線
と、希釈液貯溜部42の中心線と希釈液ノズル44の中心線
とを結ぶ線とのなす角度θは前述の実施例の場合と同じ
20度になっている。

【００９６】そして、インク貯溜部41及び希釈液貯溜部
42の上部には、仮想線で示すように、それぞれピエゾ素
子45、46が設けられている。この場合も、インク及び希
釈液は前述の実施例と同様にパルス信号により、同様の
メカニズムで吐出される。

【００９７】この例によれば、ドライフィルムレジスト
がアルミニウムキレート膜を介してベース及び振動板と
接着されているので、前述した実施例と同等の効果を奏
することができると共に、上記した形状によって、円弧
状のインク貯溜部41と希釈液貯溜部42からノズル43、44
へと液がスムーズに供給し易くなる。

【００９８】図18は、本発明の更に別の実施例によるイ
ンクジェットプリンタヘッドの要部の平面図である。

【００９９】この例のプリンタヘッドは、前記した各例
がインクと希釈液とを別々のノズルから吐出させてノズ
ルの先端で混合するキャリアジェット方式であるのとは
異なり、予め混合されたインクと希釈液との混合液を記
録液貯留部55に通路55ａから供給し、ピエゾ素子57によ
ってノズル56から吐出させるものである。

【０１００】また、この例においても、ドライフィルム
レジストがアルミニウムキレート膜を介してベース及び
振動板と接着されている点は、前述した実施例と同様で
あるから、同等の効果が奏せられる。但し、各ノズルか
らは予め混合した液が吐出されるので、ドット濃度はほ
ぼ一定である。しかし、ドット濃度がほぼ一定であるた
め、既述したように隣接ノズル間での液洩れが少ないと
きにはあまり問題とはならず、この意味では、アルミニ
ウムキレート膜による接着力が仮に乏しくなってドライ
フィルムレジストが一部剥離しても問題とはなり難い。

【０１０１】次に、上述した各実施例によるプリンタヘ
ッドとその製造方法の具体例を各種説明する。

【０１０２】具体例１この具体例１は、図１〜図16の実施例に対応したもので
あって、図10（ａ）のように、まず、ベース１としてス
テンレス（ＳＵＳ３０３）を厚さ６mmに作製する。

【０１０３】次いで、図10（ｂ）のように、上記の如く
作製したベース１の表面に、アルミニウムキレート（エ
チルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレー
ト）（川研ファインケミカル（株）製のＡＬＣＨ）の１
％イソプロパノール溶液をスピンコートにより塗布し、
この溶液塗布面を 100℃で10分間加熱し、溶剤を揮発さ
せた。こうして、ベース１の表面に、アルミニウムキレ
ート膜４を乾燥後の厚さで 0.5μｍに形成した。

【０１０４】ここにおいて使用したアルミニウムキレー
ト膜４の材料は、具体的には図６に示した構造式のエチ
ルアセトアセテートアルミニウムジイプロピレートであ
るが、これ以外のアルミニウムキレート膜の材料とし
て、図５に示す一般式の構造のものが使用できる。

【０１０５】そして、この一般式におけるＲを変え、例
えば、Ｒ＝エチル基（Ｃ₂Ｈ₅）とすればこの例１に用
いる図６の構造が得られ、また、Ｒ＝メチル基（Ｃ
Ｈ₃）、プロピル基（Ｃ₃Ｈ₇）その他を用いることも
できる。

【０１０６】次いで、まずアルミニウムキレート膜４を
形成したベース１を予め加熱（50℃）した。そして、図
10（ｃ）のように、アルミニウムキレート膜４の形成面
にドライフィルムレジスト２を重ね合わせて加熱圧着(1
20℃、 3.5kg/cm²、１m/min、２回繰り返し）し、ベー
ス１にドライフィルムレジスト２を接着させた。ドライ
フィルムレジスト２としては、日立化成（株）製の永久
マスク用ＳＧ−2300Ｇ（50μｍ厚）を使用した。

【０１０７】次いで、図10（ｄ）のように、上記の如く
接着したドライフィルムレジスト２の上にインク貯溜部
６と希釈液貯溜部７と、これらの貯溜部に付随する通路
及びノズル（図３参照）とを含む形状に対応したパター
ンのマスク40を密着させた。

【０１０８】ここにおいてマスク40の形状は、図３
（ｂ）に示したように、ノズル15、16の開口部はいずれ
も高さ50μｍ、幅（ｗ）25μｍの方形とし、両ノズル間
の距離ｄを50μｍとした。そして、インク貯溜部６の中
心線とインク用ノズル15の中心線とを結んだ線のなす角
度θ、及び希釈液貯溜部７の中心線と希釈液用ノズル16
の中心線とを結んだ線とのなす角度θをいずれも20度と
した。

【０１０９】また、希釈液貯溜部７とインク貯溜部６と
のピッチＰ₁を 300μｍとし、希釈液貯溜部７のピッチ
Ｐ₂を 600μｍとしたので、希釈液ノズル16のピッチＰ
₃も600μｍとなっている。

【０１１０】次いで、図10（ｅ）のように、上記のマス
ク40の上からＵＶ法（紫外線硬化法）による露光（40mJ
/cm²）を行い、マスク40以外の露出部分を硬化させた。
矢印は紫外線照射を示している。

【０１１１】これにより、図10（ｆ）のように、マスク
40で遮蔽した部分以外の露出したドライフィルムレジス
ト２が光硬化した。

【０１１２】次いで、図11（ｇ）のように、マスク40を
除去し、これにより、硬化されていないドライフィルム
レジスト部分２Ａが露光した。

【０１１３】次いで、図11（ｈ）のように、ドライフィ
ルムレジスト２の表面を現像処理した（矢印は現像液の
吹き付け状態を示す）。これにより、未硬化部分のドラ
イフィルムレジスト２Ａを除去した。

【０１１４】次いで、図11（ｉ）のように、洗浄液で洗
浄し、未硬化のレジストを洗い落として各貯溜部６及び
７等を形成した。

【０１１５】次いで、図11（ｊ）のように、上記のよう
に不要部分を除去して各貯溜部６及び７、通路等を形成
したドライフィルムレジスト２の上に、パイレックスガ
ラス製(160μｍ厚）の振動板３を接着した。この際、振
動板３の接着面には、上記したアルミニウムキレート膜
４と同様に、アルミニウムキレート（エチルアセトアセ
テートアルミニウムジイソプロピレート（川研ファイン
ケミカル（株）製のＡＬＣＨ）の１％イソプロパノール
溶液をスピンコートにより塗布し、この溶液塗布面を 1
00℃で10分間加熱し、溶剤を揮発させ、アルミニウムキ
レート膜５を乾燥厚 0.5μｍに設けた。このアルミニウ
ムキレート膜形成面をドライフィルムレジスト２に対向
して振動板３を重ね合わせた。

【０１１６】次いで、図11（ｋ）のように、重ね合わせ
た振動板３とドライフィルムレジスト２とを加熱圧着(1
80℃、４kg/cm²、60mm）した。これにより、インク貯溜
部６及び希釈液貯溜部７を含む通路を完全に形成した。

【０１１７】そして最後に、図11（ｌ）のように、上記
の如く作製した各貯溜部６及び７上の振動板３にピエゾ
素子８及び９を固定し、所定の配線を施した。

【０１１８】具体例２この具体例２では、上記した例１と比べて、使用した材
料が一部異なるのみであり、製造工程は具体例１の場合
と同じである。従って、製造工程の各段階についての説
明は省略し、異なる材料とその製造工程について説明す
る。

【０１１９】即ち、この具体例２においては、ベース１
としてガラス(500μｍ厚）、振動板３としてＮｉ（10μ
ｍ厚）を用い、また、上記した図10の製造工程（ｂ）
で、ベース１及び振動板３の表面処理に、アルミニウム
キレートが図７の構造式のアルミニウムモノアセチルア
セトネートビス（エチルアセトアセテート）（川研ファ
インケミカル（株）製のアルミニウムキレートＤ）を用
い、具体例１と同様にしてアルミニウムキレート膜４を
0.5μｍ厚に形成した。

【０１２０】具体例３この具体例３は、具体例１においてキャリアジェット方
式ではないこと以外は上記した具体例１と同様であっ
た。

【０１２１】具体例４この具体例４は、具体例３においてアルミニウムキレー
ト化合物がアルミニウムモノアセチルアセトネートビス
（エチルアセトアセテート）（川研ファインケミカル
（株）製のアルミニウムキレートＤ）であること以外は
上記した具体例３と同様であった。

【０１２２】具体例５この具体例５は、具体例１又は具体例３においてベース
１としてガラス(500μｍ厚）、振動板３としてＮｉ（10
μｍ厚）を用いたこと、ベース１及び振動板３の表面処
理材料として、図８の構造式のアルミニウムキレート
（アルミニウムトリス（エチルアセトアセテート））
（川研ファインケミカル社製）を用い、この１％プロパ
ノール溶液をスピンコートにより塗布し、ベース１にア
ルミニウムキレート化合物膜４及び振動板３にアルミニ
ウムキレート化合物膜５を形成したこと以外は、上記し
た具体例１又は３と同様であった。

【０１２３】そして、上記の各具体例１〜５によるイン
クジェットプリンタヘッドと比較するために、次のよう
に比較例のインクジェットプリンタヘッドを作製した。

【０１２４】比較例１この比較例１においては、上記した具体例１におけるベ
ース１及び振動板３に対して、アルミニウムキレート化
合物による表面処理をしないで、直接ドライフィルムレ
ジスト２と接着させてプリンタヘッドを作製した。それ
以外の材料及び製造工程は具体例１と同様であった。

【０１２５】比較例２この比較例２においては、上記した具体例２におけるベ
ース１及び振動板３に対して、アルミニウムキレート化
合物による表面処理をしないで、直接ドライフィルムレ
ジスト２と接着させてプリンタヘッドを作製した。それ
以外の材料及び製造工程は具体例２と同様であった。

【０１２６】比較例３この比較例３においては、上記した具体例３におけるベ
ース１及び振動板３に対して、アルミニウムキレート化
合物による表面処理をしないで、直接ドライフィルムレ
ジスト２と接着させてプリンタヘッドを作製した。それ
以外の材料及び製造工程は具体例３と同様であった。

【０１２７】比較例４この比較例４においては、上記した具体例５におけるベ
ース１及び振動板３に対して、アルミニウムキレート化
合物による表面処理をしないで、直接ドライフィルムレ
ジスト２と接着させてプリンタヘッドを作製した。それ
以外の材料及び製造工程は具体例５と同様であった。

【０１２８】上記した具体例１〜５及び比較例１〜４に
より作製した各インクジェットプリンタヘッドに、次の
ような割合で組成したインク及び希釈液を用いてインク
ジェットの耐久性をテストした。

【０１２９】希釈液：水 74.9重量部イソプロピルアルコール５重量部ジエチレングリコール 20重量部非イオン性界面活性剤（エマルゲン９８５、花王社製） 0.1重量部

【０１３０】インク：染料（ダイレクトイエロー８７）５重量部水 69.9重量部イソプロピルアルコール５重量部ジエチレングリコール 20重量部非イオン性界面活性剤（エマルゲン９８５、花王社製） 0.1重量部

【０１３１】インク：アイリスＳＭＡＲＴＪＥＴ用インク（Magenta インク）

【０１３２】試験に際しては、被試験用のインクジェッ
トプリンタヘッドについて、事前にドライフィルムレジ
ストの接着性や吐出性等を確認し、正常に動作すること
を確認した上で、そのヘッドに上記の希釈液及び各イン
クを注入し、60℃で加熱、１週間放置して、劣化の促進
試験を行った。

【０１３３】また、上記とは別に、上記した具体例１〜
５及び比較例１〜４により作製したインクジェットプリ
ンタヘッドをインクに浸漬し、インクに対する耐久性テ
ストを次のように行った。

【０１３４】ヘッドを浸漬するインク組成は次の通りで
あった。インク：水 70％イソプロピルアルコール５％エチレングリコール 25％

【０１３５】インク：アイリスＳＭＡＲＴＪＥＴ用インク（Magenta インク）

【０１３６】試験に際しては、被試験用のインクジェッ
トプリンタヘッドについて、事前にドライフィルムレジ
ストの接着性や吐出性等を確認し、正常に動作すること
を確認した上で、そのヘッドを上記の各インクに完全に
浸漬し、60℃で加熱、１週間放置して、劣化の促進試験
を行った。

【０１３７】上記の試験結果を下記の表１に示す。な
お、評価については、次の通りとした。

【０１３８】ドライフィルムレジストの剥離： ○：ベース及び振動板のいずれからも剥離していない。 △：ベース及び振動板のいずれかが剥離している。 ×：ベース及び振動板のいずれからも剥離し、キャリア
ジェット方式の場合はインクと希釈液とが混じってい
る。

【０１３９】吐出性： ○：テスト前と同様に吐出する。 △：吐出するものの方向性等がテスト前とは全く違う。 ×：吐出しなくなる。

【０１４０】

【０１４１】この結果から、本発明に基づく具体例１〜
５によれば、ベース１及び振動板３がアルミニウムキレ
ート膜４、５を介してドライフィルムレジスト２を加熱
圧着されているので、これらの間の接着性がよく、剥離
しない。従って、インクジェットプリンタヘッド内にお
いて、インク領域と希釈剤領域、或いは隣接するインク
領域が完全に分離され、プリンタ内部で混じることがな
い。アルミニウムキレート膜で処理しない比較例１〜４
はいずれも、結果が不良である。

【０１４２】また、これにより、インク貯溜部６及び希
釈液貯溜部７等は共に、ピエゾ素子８又は９による加圧
時に圧力の洩れがなく、正常な吐出性が保持される。更
に、ドライフィルムレジスト膜２にインク貯溜部６及び
希釈液貯溜部７等の微細加工を紫外線硬化法によって行
うので、加工性、精度、量産性がよい。

【０１４３】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
の各実施例は本発明の技術的思想に基づいて各種の変形
が可能である。

【０１４４】例えば、上述した実施例では、ベース１及
び振動板３のいずれも、同じアルミニウムキレート化合
物によって表面処理したが、ベース１と振動板３とは別
々の材料からなるアルミニウムキレート化合物によって
表面処理してもよい。

【０１４５】この表面処理の領域は少なくともドライフ
ィルムレジスト２との接着域であればよいが、全面にす
るのが望ましい。また、アルミニウムキレート膜の厚み
も変化させてよいし、その成膜方法も種々変更してよ
い。また、アルミニウムキレート化合物による処理は、
ドライフィルムレジスト２の面に対して行うこともでき
る。

【０１４６】また、上述した実施例の製造工程において
は、ドライフィルムレジスト２をアルミニウムキレート
化合物によるベース処理面に接着後、マスクを用いて露
光し、インク貯溜部及び希釈液貯溜部等を形成したが、
これらを予め形成したドライフィルムレジストをベース
に接着することもできる。

【０１４７】貯溜部等を形成するための不要部分の除去
方法として、ドライフィルムレジスト１に対してマスク
を用いてパターン露光したが、これに代えて露光光をパ
ターン状にオン・オフして走査する走査露光によって露
光を行うこともできる。

【０１４８】ドライフィルムレジストの種類は様々であ
ってよい。ドライフィルムレジスト以外の感光性樹脂、
例えば塗布によるフォトレジスト膜等を形成してもよ
い。

【０１４９】また、上述した実施例に示したノズルの平
面形状や断面形状は変形可能であり、直線状、曲線状の
平面形状や、方形以外の多角形又は円形の断面にしても
よい。

【０１５０】ヘッドの構造や形状は、前記以外の適宜の
構造、形状としてよく、ヘッドを構成する各部分の材料
には、他の適宜の材料を使用してよい。記録液の液滴化
には、圧電変換素子の機械的変形を利用する等の機械的
手段以外にも、発熱体のエネルギーを用いる加熱方式も
用いることができる。

【０１５１】上述の実施例においては、インクを定量し
て希釈液を吐出する、いわゆるキャリアジェットの構成
を採用したが、これに代えて、希釈液を定量してインク
を吐出することもできる。この場合、シャドウ部に関し
ては、十分なインク濃度を得ることができる点では有利
である。また、黒色のインクは希釈液と混合させず、単
独で吐出させてもよい。

【０１５２】また、上述のインクや希釈剤はそれぞれ、
種々のもの或いは２種以上の併用が可能である。また、
マゼンタ、イエロー、シアンの３色として（更には、黒
を加えた）フルカラーの記録を行うほか、２色印刷、１
色印刷のモノカラー又は白黒の記録を行うことができ
る。

【０１５３】

【発明の作用効果】本発明は、上述の如く、吐出液の吐
出口と、この吐出口に通じる吐出液通路とに対応した形
状に加工された中間層と、この中間層を支持する基体
と、前記中間層上の振動体との一体化によってそれぞれ
形成され、前記基体及び前記振動体と前記中間層との間
がアルミニウムキレート化合物によってそれぞれ処理さ
れているので、前記基体及び前記振動体と前記中間層と
の接着性が高められて剥離が防止され、耐久性が良くな
る。

【０１５４】従って、吐出液の吐出口、この吐出口に通
じる吐出液通路が正常な形状に保持されて液洩れが生じ
ることはないため、吐出液が正常に吐出され、信頼性の
高い記録装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるインクジェットプリンタ
ヘッドの要部を示す断面図（図３のＩ−Ｉ線断面図）で
ある。

【図２】同ヘッドにおけるピエゾ素子の作動状況を示す
概略断面図であり、（ａ）はインク側の作動状況、
（ｂ）は希釈液側の作動状況を示す。

【図３】同ヘッドの要部を示し、（ａ）はその概略平面
図、（ｂ）は（ａ）の一部の拡大図である。

【図４】同ヘッドにおけるインク貯溜部と希釈液貯溜部
との組を示し、（ａ）はインクの吐出状況、（ｂ）は希
釈液の吐出とインクとの混合及び飛翔状況を模式的に示
した図である。

【図５】同ヘッドの作製に用いたアルミニウムキレート
化合物の一般式である。

【図６】同ヘッドの作製に用いた他のアルミニウムキレ
ート化合物の一例の構造式である。

【図７】同ヘッドの作製に用いた他のアルミニウムキレ
ート化合物の一例の構造式である。

【図８】同ヘッドの作製に用いた他のアルミニウムキレ
ート化合物の一例の構造式である。

【図９】同ヘッドの作製に用いた更に他のアルミニウム
キレート化合物の一例の構造式である。

【図10】同ヘッドの製造方法を工程順に示す各断面図で
ある。

【図11】同ヘッドの製造方法を工程順に示す各断面図で
ある。

【図12】同ヘッドを組み込んだシリアル型プリンタの概
略斜視図である。

【図13】同ヘッドを組み込んだライン型プリンタの概略
斜視図である。

【図14】同プリンタを駆動させるための制御系を示すブ
ロック図である。

【図15】同プリンタのヘッドに対するインク吐出用定量
パルスと希釈液吐出パルスとを示す波形図である。

【図16】同ヘッドによるドットの濃度階調を示す図であ
る。

【図17】本発明の他の実施例によるインクジェットプリ
ンタヘッドの要部の概略平面図である。

【図18】本発明の更に他の実施例によるインクジェット
プリンタヘッドの要部の概略平面図である。

【図19】従来例による熱転写方式のプリンタの要部の概
略正面図である。

【符号の説明】

１…ベース、２…ドライフィルムレジスト、２Ａ…未露
光部分、３…振動板、４、５…アルミニウムキレート
膜、６、41…インク貯溜部、６ａ、７ａ、41ａ、42ａ、
55ａ…液通路、７、42…希釈液貯溜部、８、９、45、4
6、57…圧電素子（ピエゾ素子）、10…プリンタヘッ
ド、11…定量パルス、12…吐出パルス、13…インク、14
…希釈液、15、43…インクノズル、16、44…希釈液ノズ
ル、17…混合液、18…ドット、20…プリント紙、21…紙
圧着ローラ、23…送りねじ、25、27…プーリ、26…ベル
ト、28…モータ、29…駆動制御部、30…制御部、40…マ
スク、56…混合液ノズル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吐出液の吐出口と、この吐出口に通じる
吐出液通路とを有し、前記吐出口から前記吐出液を吐出
させて被記録体へ飛翔させるように構成され、前記吐出
口及び前記吐出液通路が、これに対応した形状に加工さ
れた中間層と、この中間層を支持する基体と、前記中間
層上の振動体との一体化によってそれぞれ形成され、前
記基体及び前記振動体と前記中間層との間がアルミニウ
ムキレート化合物を主体とする化合物によってそれぞれ
処理されている記録装置。
【請求項２】中間層に対する基体の対向面、及び前記
中間層に対する振動体の対向面がアルミニウムキレート
化合物によってそれぞれ処理されている、請求項１に記
載した記録装置。
【請求項３】中間層が感光性樹脂から形成されたもの
である、請求項１に記載した記録装置。
【請求項４】感光性樹脂がドライフィルムレジストで
ある、請求項３に記載した記録装置。
【請求項５】振動体上に、この振動体を変位させて吐
出液を吐出させるための吐出エネルギー発生素子が設け
られている、請求項１に記載した記録装置。
【請求項６】吐出エネルギー発生素子が圧電素子であ
る、請求項５に記載した記録装置。
【請求項７】記録材及び／又は記録材希釈液からなる
吐出液を吐出させる、請求項１に記載した記録装置。
【請求項８】記録材と記録材希釈液とのそれぞれの吐
出口、通路及び貯溜部を有し、吐出された前記記録材と
前記記録材希釈液とを前記吐出口又はその近傍で混合し
て飛翔させる、請求項７に記載した記録装置。
【請求項９】吐出液の吐出口と、この吐出口に通じる
吐出液通路とを有し、前記吐出口から前記吐出液を吐出
させて被記録体へ飛翔させるように構成され、前記吐出
口及び前記吐出液通路が、これに対応した形状に加工さ
れた中間層と、この中間層を支持する基体と、前記中間
層上の振動体との一体化によってそれぞれ形成され、前
記基体及び前記振動体と前記中間層との間がアルミニウ
ムキレート化合物を主体とする化合物によってそれぞれ
処理されている記録装置を製造するに際し、前記基体と前記中間層との間を前記アルミニウムキレー
ト化合物を主体とする化合物によって処理する工程と、前記基体と前記中間層とを接着する工程と、この中間層に前記吐出口及び前記吐出液通路を形成する
工程と、前記振動体と前記中間層との間を前記アルミニウムキレ
ート化合物を主体とする化合物によって処理する工程
と、前記振動体と前記中間層とを接着する工程とを有する、
記録装置の製造方法。
【請求項10】中間層に対する基体の対向面、及び前記
中間層に対する振動体の対向面がアルミニウムキレート
化合物で処理されている、請求項９に記載した記録装置
を製造するに際し、前記基体の面を前記アルミニウムキレート化合物によっ
て処理する工程と、この基体処理面上に前記中間層を接着する工程と、この中間層に前記吐出口及び前記吐出液通路を形成する
工程と、前記振動体の面を前記アルミニウムキレート化合物によ
って処理する工程と、この振動体処理面を前記中間層上に接着する工程とを有
する、請求項９に記載した方法。
【請求項11】基体及び振動体の面をアルミニウムキレ
ート化合物によって処理するに際し、溶媒に溶かした前
記アルミニウムキレート化合物溶液を基体及び前記振動
体の面に塗布し、この塗布液を加熱処理してアルミニウ
ムキレート化合物膜を形成する、請求項９に記載した方
法。
【請求項12】中間層に吐出口及び吐出液通路を形成す
るに際し、前記中間層となる感光性樹脂層をアルミニウ
ムキレート化合物膜を介して加熱圧着した後、前記感光
性樹脂層を所定パターンに露光し、現像処理する、請求
項11に記載した方法。
【請求項13】振動体をアルミニウムキレート化合物に
よって処理した後、この処理面をアルミニウムキレート
化合物膜を介して中間層上に加熱圧着する、請求項11に
記載した方法。
【請求項14】感光性樹脂としてドライフィルムレジス
トを用いる、請求項12に記載した方法。
【請求項15】振動体上に、この振動体を変位させて吐
出液を吐出させるための吐出エネルギー発生素子を設け
る、請求項９に記載した方法。
【請求項16】吐出エネルギー発生素子として圧電素子
を用いる、請求項15に記載した方法。
【請求項17】吐出口及び吐出液通路を記録材及び／又
は記録材希釈液からなる吐出液の吐出のために形成す
る、請求項９に記載した方法。
【請求項18】吐出口から吐出された記録材と記録材希
釈液とを前記吐出口又はその近傍で混合して飛翔するよ
うに形成する、請求項17に記載した方法。