JPH09246158A

JPH09246158A - 可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法

Info

Publication number: JPH09246158A
Application number: JP8051528A
Authority: JP
Inventors: Hiroomi Nakao; 博臣中尾; Koichi Moriizumi; 幸一森泉
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1996-03-08
Filing date: 1996-03-08
Publication date: 1997-09-19

Abstract

(57)【要約】【課題】ＬＳＩのマスクパターンを台形分割処理する
に際して、製造精度を低下させる台形の発生を回避する
ことができる方法を提供する。【解決手段】与えられた図形について各頂点から引く
分割線について製造精度に影響する度合いを評価する評
価関数を用いて評価し、分割パターンを分割線の評価値
に基づいて総合的に評価したうえで、最適の分割パター
ンを選択する。上記の解決手段によれば、製造精度を低
下させる台形の発生を防止することができるので、ＬＳ
Ｉの製造精度を向上することができ、ひいてはＬＳＩ製
造の歩留まりを向上することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＬＳＩの設計デ
ータから、可変成形型の荷電ビーム描画装置用の入力デ
ータを作成する工程で使用する、台形分割（多角形の集
合として記述されたマスクパターンデータを台形の集合
として表現し直す）の手法に関するものである。可変成
形型の荷電ビーム描画装置は、ＬＳＩのマスクを作成し
たり、ＬＳＩのウエハ上に直接パターンを形成するため
に用いる。

【０００２】

【発明の背景】ＬＳＩの高集積化が進むにつれ、ＬＳＩ
のマスク製造には高速描画が可能な可変成形型荷電ビー
ム露光装置が主流となっている。この装置では、上辺と
下辺が平行な台形に断面が成形された荷電ビームによる
露光を行ってマスクを作成するため、装置の入力データ
は、上辺と下辺が平行な台形の集合として記述されてい
なければならない（以後、単に台形と言えば、上辺と下
辺が平行な台形とする）。このため、多角形の集合とし
て記述されたマスクパターンを、台形に分割する処理
（台形分割）が必要となるが、この分割の仕方が、マス
クの製造精度に影響を与える。２５６ＭＤＲＡＭ等の
０．２５μｍルール以降のテクノロジで製造される最先
端ＬＳＩでは、この影響は無視できないものとなってお
り、高精度なマスクを製造するための、マスクパターン
の台形分割アルゴリズムの開発が望まれている。

【０００３】可変成形型荷電ビーム描画装置では、ある
値以下の幅を持つ台形がある場合は、その部分の製造精
度が急に悪くなることが知られている（他の図形に挾ま
れている場合は、精度に影響しない）。この幅をここで
はεと表記し、また他の図形に挾まれていないε以下の
幅を持つ台形のことを、極微小幅台形と呼ぶ。図８の
（ｂ）は、マスクパターンを構成する多角形である図８
の（ａ）の７を台形に分割した際に、極微小幅台形８が
発生した例である。この場合は、図８の（ｃ）のように
分割すると、極微小幅台形が発生しないことが分かる。
このように、台形分割では、なるべく極微小幅台形を作
らないことが重要である。

【０００４】可変成形型荷電ビーム描画装置では、図形
のある幅を持つ部分を、その部分が一つの台形になるよ
うにすると、出来上がりのマスクにおけるその部分の寸
法の製造ばらつきは、その幅が２つの台形に分割された
場合の半分程度になる。例えば、図９の（ａ）の図形に
おける、幅ＣＤの部分の製造ばらつきは、図９の（ｃ）
のようにＣＤの幅を持つ部分が一つの台形になるように
分割する方が、図９の（ｂ）のように分割するより小さ
くなる。ＬＳＩのパターンの中には、特に製造精度が必
要な部分がある。その部分を以下では“クリティカル部
分”と呼ぶ。クリティカル部分の代表的な例は、トラン
ジスタのゲート電極部である。このようにクリティカル
部分の幅の寸法は、出来上がりのＬＳＩの性能に大きく
影響を与えるため、この部分は他の部分に比べて特に精
度良く製造する必要がある。従って、台形分割の際に
は、クリティカル部分の幅にあたる部分は、分割せずに
一つの台形にする必要がある。

【０００５】台形分割の際にさらに考慮すべきことは、
分割結果における台形数をなるべく少なくすることであ
る。これは、露光時間の短縮、および露光装置の入力と
なる露光データ量の削減という点で効果がある。分割結
果における台形数を少なくするには、できるだけ頂点同
士を結ぶ分割線で分割することである。図１０にこの例
を示す。図１０の（ａ）の図形は、図１０の（ｂ）のよ
うに、頂点同士を結ぶ分割線ｘで分割すれば２個の台形
になるが、図１０の（ｃ）のように、一つの頂点から出
る分割線ｙ，ｚで分割すれば、３つの台形になる。頂点
を通らない、辺同士を結ぶ分割線で分割すれば、もっと
分割後の台形数が増えることは明らかである。

【０００６】これまでの台形分割手法では、単に図形を
台形の集合に切り分けることだけを目的としたもの、分
割後の台形数を最小化することを目的としたもの、微小
図形の発生の抑制を考慮したもの、及び、本出願の関連
出願（特願平７−１０５７６５号）の微小図形の発生と
クリティカル部分の分割抑制を考慮したものがあるが、
これら全てを考慮したものはなかった。

【０００７】これまでの台形分割手法で最も単純でかつ
有名な方法は、多角形の全ての頂点から水平方向に分割
線を出し、これで分割するというものである。図１１に
この例を示す。図１１の（ａ）の図形をこの方法で分割
した結果が図１１の（ｂ）である。この方法では、極微
小幅台形の生成を抑えたり、クリティカル部分の分割を
抑えることは、全く考慮できない。

【０００８】多角形の頂点を、ある位置（例えば、左
上）から順に見ていき、そこから水平方向、垂直方向の
２種類の分割線を調べ、良い方で分割していく方法があ
る。分割後の多角形が全てが台形になるまで、同じ操作
を繰り返す。例えば図１２の（ａ）では、頂点ｖ１から
２種類の分割線ｘ，ｙを出して考える。ｙは極微小幅図
形を作るが、ｘは作らないためｘで分割する。全ての分
割後の図形が台形になるまで、分割後の図形に対して同
様の操作を繰り返す。

【０００９】この方法で、良い分割ができない理由はい
くつかあるが、その代表的なものは、何処から分割を始
めると良い分割ができるかは、その多角形の形状によっ
て異なるということである。例えば、図１２の（ｃ）で
は頂点ｖ１から分割を始めたのでは、図１２の（ｄ）の
ように、必ずゲート電極部等のクリティカル部分の幅
（ＣＤと表記した部分）を分割するが、頂点Ｖ２から始
めると、図１２の（ｅ）のように、クリティカル部分の
幅を分割しないで台形分割することが可能である。もち
ろん、一つの図形でも、最初は左上頂点から分割し、そ
れでできた図形に対しては、右下から分割した方が良
い、ということも起こり得る。以上より、これまでの台
形分割手法では、高精度にマスクを作成することは困難
であった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、従来の台
形分割手法では考慮されていなかった条件、即ち、極微
小幅台形をなるべく作らないこと、クリティカル部分に
相当する部分はなるべく分割しないこと（分割後も一つ
の台形になるようにすること）及び分割後の台形数をで
きるだけ少なくするという３条件を満足する台形分割手
法を提供せんとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め、この発明は、多角形を分割するに際して分割線につ
いての評価値を与える評価関数なる概念を導入する。あ
る与えられた多角形を分割する分割線は、その形状に応
じた数だけ存在するが、分割線の評価値から注目する分
割パターンについてその総和を計算し、総和が例えば最
小となる分割パターンを採用する。即ち、極微小幅台形
の生成を抑制する（第１条件）、クリティカル部分の幅
の分割を回避する（第２条件）及び分割後の台形数を少
なくする（第３条件）という３条件をバランスよく満足
するように評価関数を定義する。上記の評価関数は、基
本的には、可変成型荷電ビーム描画装置を用いた描画の
精度に対する各分割線の評価を与えるものであって、評
価の基準となるのは、具体的には上記第１から第３の条
件である。評価関数の一例は、製品の製造コストと類似
した製造精度コスト（以下、単にコストという）という
考え方で、この場合には、コストが高いということは、
製造精度が悪化することを意味する。したがって、その
場合には、コストが最小の分割パターンを選択すればよ
い。しかし、評価の方法は、相対的であって、評価点が
最大となる分割パターンを最適とすることもできる。第
１条件についての評価は、微小幅台形の長さ（分割線）
が精度に関係するので、微小幅台形が形成されたこと及
びその分割線の両方を考慮する。第２条件についての評
価は、クリティカル部分の幅ＣＤを分割する分割線の長
さが精度に影響を与えるので、この点を考慮する。さら
に、第３条件については、分割台形数はその分割パター
ンの分割線の総数に比例するので、この分割線数を評価
する。上記コスト的な評価を行う場合には、分割線数が
少ない程コストが低くなるはずであるから、そのような
評価を与える必要がある。上記第１〜第３条件について
の評価は、相互に独立であってもよく、相対的な重み付
けを行ってもよい。また、例えば、第１条件と第２条件
を相関させる、あるいは第３条件と残りの２条件を相関
させるといった相関的な評価を行うようにしてもよい。
いずれにしても、この発明によれば、分割パターンを製
造精度の観点から評価して、製造精度を確保することが
でき、ひいてはＬＳＩ製造における歩留まりを向上する
ことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．＜評価関数としてのコストの定義＞上記第１〜第３条件
をもとにした評価関数としてのコストを図１を参照して
例えば以下のように定義する。（１）分割線で多角形を分割した際に、その分割線と多
角形の外辺との幅がε以下の領域ができる場合、その分
割線のεに関するコストをＣεを、できた領域の長さに
比例する値とする。図１（ａ）の分割線ｘの場合、Ｃε
＝a×Ｌε（aは比例定数）となる。（２）トランジスタのゲート電極部等のクリティカル部
分に相当する部分は、通常、使用している製造テクノロ
ジ毎に決まる、ある幅を持っている。この幅をクリティ
カルディメンジョン（ＣＤ）と呼ぶ。分割線で多角形を
分割した際に、その分割線がちょうど幅ＣＤの部分を長
さＬcdだけ分割する場合、その分割線のＣＤに関するコ
ストＣcdをＬcdに比例する値Ｃcd＝b×Ｌcd（bは比例定
数）とする（図１の（ａ）の分割線ｘ参照）。（３）できるだけ、多角形の２つの頂点を結ぶ分割線で
分割すれば、分割結果における台形数が少なくできる。
それができない場合は、一つでも頂点から出る分割線で
分割するようにし、辺同士を結ぶ分割線（例えば図５の
ように、同じ頂点から出る２つの分割線ｘ，aで分割す
る場合、ｘで分割後の多角形で見ると、aは辺同士を結
ぶ分割線）ではなるべく分割しない。分割後の台形数に
関するコストＣnを、それが通る頂点数Ｎに比例する負
の値Ｃn＝−c×Ｎ（cは比例定数）とする。図１の分割
線ｘは、一つの頂点を通っているので、−c×１とな
る。各分割線のコストＣは、これらの和、Ｃ＝Ｃε＋Ｃ
cd＋Ｃnとする。分割の際に採用した分割線が持つコス
トの総和が、最小になるように分割した結果が図１の
（ｂ）である。この方法では、比例定数a，b，cの値に
よって、分割結果を変えることができる。例えば、極微
小幅台形の生成を抑えることが、クリティカル部分の分
割を抑えるより重要な時は、a＞bとし、その逆の場合は
a＜bとする。図１の（ｄ）と（ｅ）に、図１の（ｃ）の
図形について、a＞bの場合の分割結果とa＜bの場合の分
割結果を夫々示す。

【００１３】以下、採用する分割線のコストの総和が小
さくなるように、多角形を台形の集合に分割する手法を
具体的に説明する。図２は、ＣＡＤ等で作成したマスク
パターンの台形分割処理の手順を示している。処理が開
始されると、ステップＳＴ１でまずマスクパターン図形
を読み込み、ステップＳＴ２で読み込んだ図形の全ての
頂点から出る水平、垂直方向の分割線について、そのコ
スト及びコスト削減度（後述）を計算する。次に、ステ
ップＳＴ３では、ステップＳＴ２で計算した各分割線の
コスト及びコスト削減後を用いて、好ましい分割パター
ン（分割線）を選出し、ステップＳＴ４で選択した分割
線を用いて図形を分割する。ステップＳＴ５では図形が
台形に完全に分割されたか否かを判断し、台形になって
いない部分があれば、ステップＳＴ２に戻って同様の分
割処理を繰り返す。分割後の図形が全て台形であれば、
ステップＳＴ６で分割された台形を出力して１回の処理
を終了する。各分割線のコストは、上記したコストの定
義にしたがって計算する。

【００１４】ここで、コスト削減度について説明する。
ある分割線で分割をした場合、もとの分割線（の一部）
が、辺同士を結ぶ分割線になる場合がある。例えば図３
の（ａ）の図形において、分割線ｙで分割した場合にで
きた図形５における、分割線ｚの一部ｚ₂がこれにあた
る。この分割線ｚ₂は、図形５を台形に分割する上では
必要のないものであり、この分割線は、消去可能である
と呼ぶ。もし、ある分割線で分割した場合に、他の分割
線のコストを持つ部分が消去可能であれば、その分割線
は分割結果におけるコストを小さくする効果が高いと予
想できる。ある分割線を選択した場合に、消去可能にし
た他の分割線のコストの和にある定数を乗じたものが、
その分割線のコスト削減度である。例えば、図３の
（ｂ）では、分割線ｙによって、ｚの部分ｚ₂についてb
×Ｌεだけのコストが消去可能となっている。一方、分
割後の図形６において、ｚの部分ｚ₁はコスト０の分割
線となっている。

【００１５】本実施例で、図３の（ａ）の図形を分割し
た結果が図３の（ｃ）である。分割線ｘとｙは両方とも
コスト０であるので、もし、コスト削減度を考慮しなけ
れば、ｘで分割する可能性がある。その場合、分割に使
用する分割線のコストを減らすためには分割線ｙでも分
割して図３の（ｄ）のように台形数が増えるか、あるい
は図３の（ｅ）のように、極微小幅台形が発生すること
になる。また、図１２のように、従来手法では良い分割
結果が得られなかったものについても、本手法は良い分
割結果を出すことができることが分かる。

【００１６】実施の形態２．斜め線がない多角形を考え
る。多角形をある分割線で分割した場合、消去可能とな
るのは、その分割線と交差するか、接触する分割線であ
る。図５の（ａ）が接触、図５の（ｂ）が交差である。
互いに接触する図形は、一方で分割すると、もう一方の
分割線全体が消去可能になる場合がある。また、必ず少
なくとも一方で分割されないと、分割結果は台形（この
場合は長方形）にならない。逆に言えば、互いに接触す
る分割線のどちらも選択されていないものがあれば、ま
だ台形にはなっていないことが分かる。互いに交差する
分割線は、一方が選択されると、一方は２つに分割さ
れ、そのうち一方は消去可能になり、もう一方は、コス
トが減る場合がある。この関係は、図５の（ｃ）、
（ｄ）に示す通り、斜め線がある場合でも、その斜め線
を斜辺とする三角形がないものと見ることにより、同様
に考えることができる。

【００１７】上記のことより、分割線同士の交差、接触
の関係を覚えておくことにより、実施の形態１で述べた
ような分割操作を効率良く行うことができる。この処理
の流れを図４に示す。ステップＳＴ１０は、図形を読み
込む操作である。ステップＳＴ１１は、読み込んだ多角
形について、頂点から出る分割線を調べて、それらが交
差するか、接触するかを調べる処理、ステップＳＴ１２
は各分割線のコストとコスト削減度を計算する処理であ
る。ただし、ステップＳＴ１１とＳＴ１２は、必ずしも
この順にしなくても良い（例えば、交差・接触する相手
を調べながら、同時にコストを計算していくことも可
能）。ステップＳＴ１１、ＳＴ１２で計算した結果は全
て記憶しておく。

【００１８】ステップＳＴ１３以降は、記憶した情報を
見て、分割操作を進める処理である。ステップＳＴ１３
は、記憶している分割線全てから、採用する分割線（即
ち、その分割線で分割する）を決定する。ステップＳＴ
１４は、ステップＳＴ１３で選択した分割線で分割後の
図形について、コストや有効度、交差・接触の関係を作
り直す処理である。ステップＳＴ１３とＳＴ１４は、分
割後の図形が全て台形になるまで繰り返す。ステップＳ
Ｔ１６は、分割結果を出力する処理である。

【００１９】分割線のコストや、分割線同士の交差、接
触を記憶する具体的な手法について説明する。図６の
（ｂ）は、図６の（ａ）の図形の分割線同士の交差・接
触の関係を２部グラフとして表現した例である。グラフ
中のノード（まる印）は、各分割線に対応する。各ノー
ドには、それに対応するコストが付加されている。ノー
ドとノードを太線と細線は、それぞれこれらに対応する
分割線同士が、接触、交差していることを示す。各ノー
ドには、それに対応する分割線について、それに交差・
接触する分割線で区切られた各部分のコストを付加して
ある。各分割線のコストは、これらの値の合計である。
ある分割線を選択する場合、それと交差・接触する分割
線のコストを見れば、各分割線のコスト削減度が求めら
れる。

【００２０】次に、以上の二部グラフを用いて、図４の
処理手順で分割する場合の具体例を図６に示す。図６の
（ｂ）が先程も述べた通り、もとの図形の分割線同士の
交差・接触を記憶した二部グラフである。このグラフ中
から、(コスト−コスト削減度)が一番小さいノードとし
て、ａが選択される。これにより、変更された二部グラ
フが図６の（ｄ）、それに対応する分割結果の図形が図
６の（ｃ）である。図６の（ｄ）では、削減可能となっ
た分割線は、（コスト−コスト削減度）が正のためこれ
で分割する必要はないと判断し、グラフ上から消去して
ある。この操作で変更された分割線は、分割に使用した
分割線と、それと交差、接触する分割線のみ（即ち、選
択したノードと太線、細線でつなかっているノードの
み）である。グラフ中の太線がなくなるまで、ノードの
選択とグラフの変形を繰り返す。選択した全てのノード
の対応する分割線で分割を行えば、多角形は台形の集合
に分割できる。図６の（ｅ）が最終の分割結果である。
この結果を出力して処理が終了する。

【００２１】ここで述べた方法では、一つの分割線の選
択に伴うグラフの変更は、選択した分割線と、交差・接
触する分割線についてのみ行えば良い。この他のもの
は、そのまま分割後の多角形で使用できる。これが、選
択する分割線を決める操作、即ち分割の操作を効率良く
行える理由である。

【００２２】実施の形態３．極微小図形幅の台形の生成
を抑えることとクリティカル部分の分割を抑えること
が、分割後の台形数を減らすことよりも優先する場合
は、これらを考慮する処理を分離する。まず、コストの
定義からＣnの項を消して、次のようにする。Ｃ＝Ｃε＋Ｃcd このコストで、二部グラフを作成後、その中からコスト
の小さい分割をするのに必要な部分のみを選び出すとい
う処理を付加する。分割操作は、それを使って、実施の
形態２の分割操作を行う。ここで、コストの小さい分割
をするのに必要な部分とは、コスト付きの分割線に対応
するノードと、それと太線、細線でつながっているノー
ドである。

【００２３】選択後のグラフで、実施の形態２と同様の
ノードの選択、変更操作を行っても、それで選択した分
割線だけで分割したのでは、台形になっていない部分が
ある。これは、最初に選択されなかったノードがあるか
らである。残っているノードの中から、分割後の台形数
を最小化するための、ノード選択処理を行う。これは、
頂点同士を結ぶ分割線を、できるだけたくさん選ぶよう
にノードを選択する処理であり、この処理は頂点同士を
結ぶ分割線に対応するノードのみで構成した二部グラフ
中から、最大個数の独立な（互いにノード間に線がな
い）ノードを選択する問題として処理すればよいことが
知られている。この処理をした後、まだ台形になってい
ない多角形については、実施の形態２と同様、単純な処
理で台形にする。そのため、出力処理の中で、それらを
台形に分割する処理が必要となる。これらは、コストの
削減には全く影響のない部分であるので、単純な方法
（例えば、水平方向のみの分割線で分割する）で、台形
にすれば良い。これらの手順をまとめたものを図７に示
す。即ち、ステップＳＴ２０で分割すべき図形を読み込
み、ステップＳＴ２１で各頂点から分割線を引き、分割
線同士の交差・接触関係を調べて記憶する。次に、ステ
ップＳＴ２２で頂点から引ける全ての水平、垂直方向の
分割線のコスト（Ｃnの損なし）とコスト削減度を計算
する。さらに、ステップＳＴ２３では、コスト削減に関
係のある分割線のみを抽出し、ステップＳＴ２４で抽出
した分割線の中から、実施の形態２と同様の処理（図４
のステップＳＴ１３）を行って分割線を選択する。そし
て、ステップＳＴ２５で選択された分割線に基づいてコ
スト、コスト削減度、交差・接触の関係を変更する。ス
テップＳＴ２６では全ての接触する分割線の組につい
て、少なくとも一方の分割線が選択されたか否かをチェ
ックし、台形になっていない部分があれば、この部分に
ついてステップＳＴ２４とＳＴ２５の処理を繰り返す。
ステップＳＴ２６でｙｅｓであれば、ステップＳＴ２７
で残りの分割線について台形数ができるだけ少なくなる
ように分割線を選択し、ステップＳＴ２８で残りの分割
線について全て台形になるように分割線を適当に選択し
てその分割結果を出力する。このようにする利点は、Ｃ
nをコストから省くことにより、コスト付きの分割線の
数が大幅に減ることが期待でき、コストを小さくするた
めのノードの選択操作が高速になることである。また、
後の台形数を少なくするための選択操作自体も一般に高
速に行えることから、分割後の台形数を少なくすること
の優先度が低い場合は、処理時間を短くできる。

【００２４】

【発明の効果】以上のように、この発明は、以下の特長
がある。（１）微小幅図形の生成とクリティカル部分の分割をな
るべく抑え、かつ分割後の台形数を少なくするような分
割ができる。（２）分割線全体を見て分割を進めるため、従来手法の
ように分割を始める位置に依存せず、良い分割ができ
る。（３）分割線同士の接触・交差の関係を予め調べて記憶
しておくことにより、ある分割線での分割した場合に、
コストが変化する分割線を調べることが容易になり、良
い分割結果が効率的に求められる。（４）良い分割結果を得るのに必要な分割線を予め選択
することが容易にでき、さらに高速に分割が可能とな
る。この手法を用いることにより、これまでよりも高い
製造精度をもつＬＳＩのマスクが、実用的な時間内に作
成することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１のコストという概念
を説明するための図形例であり、（ａ）は、この発明の
一実施例による、分割線のコストの例、（ｂ）は、
（ａ）の図形の分割結果、（ｃ）は分割前の別の図形
例、（ｄ）、（ｅ）は係数ａ，ｂの大小関係を変えたと
きの（ｃ）の図形の分割結果を夫々示す。

【図２】この発明の実施の形態１による台形分割の処
理手順を示すフローチャートである。

【図３】この発明の実施の形態２のコスト削減という
概念を説明するための図形例であり、（ａ）は分割前の
図形の一例、（ｂ）は、（ａ）の図形において、分割線
ｙにより、分割線コスト付の分割線ｚの一部が消去され
た例、（ｃ）は、（ａ）の図形の本手法による分割結
果、（ｄ）、（ｅ）は、（ａ）の図形の従来手法による
分割結果の例を夫々示す。

【図４】この発明の実施の形態２による台形分割の処
理手順を示すフローチャートである。

【図５】実施の形態２における処理手順を説明するた
めの図形例であり、（ａ）は分割線同士の接触の例、
（ｂ）は分割線同士の交差の例、（ｃ）、（ｄ）は斜め
辺がある場合の、分割線同士の接触、交差の例を夫々示
す。

【図６】実施の形態２における接触・交差する分割線
の選択方法を説明するための図で、（ａ）は、分割前の
図形の例、（ｂ）は、（ａ）の図形に対する、二部グラ
フの例、（ｃ）は、分割線ａでの分割結果、（ｄ）は、
（ｃ）に対応する二部グラフの例、（ｅ）は、最終的な
分割結果を夫々示す。

【図７】この発明の実施の形態３による台形分割の処
理手順を示すフローチャートである。

【図８】台形分割において極微小幅台形が発生する事
例を説明するための図で（ａ）は、分割前の図形の例、
（ｂ）は、（ａ）の図形を分割した結果、極微小幅台形
ができた例、（ｃ）は、極微小幅台形を作らない分割の
例を夫々示す。

【図９】クリティカル部分の分割を説明するための図
で、（ａ）は、分割前の図形の例、（ｂ）は、（ａ）の
図形を分割した結果、クリティカル部分（ＣＤの幅を持
つ部分）が分割された例、（ｃ）は、クリティカル部分
を分割しない例を夫々示す。

【図１０】分割台形数を少なくする分割方法を説明す
るための図で、（ａ）は、分割前の図形の例、（ｂ）
は、（ａ）の図形を分割した結果、２つの台形に分割さ
れた例、（ｃ）は、３つの台形に分割された例を夫々示
す。

【図１１】従来の台形分割方法を説明するための図
で、（ａ）は、分割前の図形の例、（ｂ）は、（ａ）の
図形を従来方法で分割した結果を夫々示す。

【図１２】従来の台形分割方法とこの発明の方法とを
対比的に説明するための図で、（ａ）は、分割前の図形
の例、（ｂ）は、（ａ）の図形を従来方法で分割した結
果、（ｃ）は、従来手法ではうまく分割できない図形の
例、（ｄ）は、（ｃ）の図形の従来手法による分割結
果、（ｅ）は本発明手法による分割結果を夫々示す。

【符号の説明】

１分割前の図形、２分割線の一つ、３ＣＤに
関するコストＣcdを持つ分割線、４極微小幅台形に
関するコストＣεを持つ分割線、５分割後に台形に
なった図形、６分割後に台形になっていない図形。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可変成形型電子ビーム露光装置を用いて
露光するためにＬＳＩの設計データによって与えられる
図形を台形に分割する台形分割方法であって、台形分割すべき図形の各頂点から水平方向、垂直方向の
分割線を引き、各分割線についてその分割線を採用したときに製造精度
に与える影響を所定の評価関数を用いて評価し、図形を台形分割したときの分割パターンを構成する分割
線の組合わせについて、各分割線の評価値に基づいて総
合評価し、総合評価結果から最適の分割パターンを選択する、可変
成形型電子ビーム露光のための台形分割方法。
【請求項２】評価の基準が、（イ）分割で得られる台
形は、所定の幅より大きい幅を有すること、（ロ）ＬＳ
Ｉパターンの中で特に製造精度が要求される部分は、そ
の幅のままで分割すること、（ハ）分割台形数は最小で
あることの少なくとも２つである、請求項１に記載の台
形分割方法。
【請求項３】上記評価基準の比重を一定とする、請求
項２に記載の台形分割方法。
【請求項４】上記評価基準の比重を可変とする、請求
項２に記載の台形分割方法。
【請求項５】分割線相互の接触及び交差を評価に際し
て考慮する、請求項１から４のいずれか一に記載の台形
分割方法。
【請求項６】接触又は交差する分割線について少なく
とも一部を削除しうるか否かを考慮する、請求項５に記
載の台形分割方法。