JPH09241034A - 接着用組成物 - Google Patents

接着用組成物

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JPH09241034A
JPH09241034A JP7839596A JP7839596A JPH09241034A JP H09241034 A JPH09241034 A JP H09241034A JP 7839596 A JP7839596 A JP 7839596A JP 7839596 A JP7839596 A JP 7839596A JP H09241034 A JPH09241034 A JP H09241034A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 約50×10-7/℃以下の低い熱膨張係数を
有し、耐熱性に優れ、高強度で、良好な接着用組成物を
提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明の接着用組成物は、PbO−B2
3 −ZnO−BaO系結晶性ガラス粉末 40〜90
重量%、コーディエライト粉末 1〜20重量%、ウイ
レマイト系セラミック粉末 1〜45重量%からなるこ
とを特徴とする

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、接着用組成物に関し、
より詳しくは、IC用セラミックパッケージや電子デバ
イス等の電子部品を接着するのに好適な接着用組成物に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】ICセラミックパッケージは、基体部
(ベースセラミック)と、蓋部(キャップセラミック)
から構成され、ベースセラミックには、多数本のリード
線が接着固定されるが、この接着材料としては、後工程
でベースセラミックとキャップセラミックを加熱封着す
る際に軟化流動してリード線が移動しないことが要求さ
れる。そのためこの接着材料としては、一般に耐熱性に
優れた結晶性ガラス粉末に、ジルコン等のフィラー粉末
を混合した接着用組成物が使用されている。
【0003】またこの種の接着用組成物には、パッケー
ジを構成する材料の熱膨張係数に近似した熱膨張係数を
有すること、機械的強度が高いこと、低温で封着できる
こと、ICの誤動作を引き起こさないようにα線放出量
が少ないこと等も要求される。
【0004】結晶性ガラスとは、加熱されることによっ
て内部から結晶質が析出するガラスのことであり、通常
は、軟化点を超えたあたりから結晶化が始まり、軟化流
動すると同時に強い結晶が析出するように設計されてい
る。これによって短時間に耐熱性に優れ、高強度の接着
材料が得られることになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところでIC用セラミ
ックパッケージは、稼働中に内部の温度が徐々に上昇す
るが、内部が高温になると、ICが誤動作を引き起こす
虞れがあるため、近年ではアルミナセラミックに代わっ
て熱放散性に優れた窒化アルミニウムや炭化珪素からな
るパッケージが用いられつつある。
【0006】窒化アルミニウムや炭化珪素の熱膨張係数
は、いずれも約46×10-7/℃であり、アルミナセラ
ミックのそれ(約70×10-7/℃)に比べて低いた
め、窒化アルミニウムや炭化珪素からなるパッケージに
用いられる接着用組成物は、アルミナセラミックパッケ
ージに用いられる接着用組成物に比べて熱膨張係数が低
いこと、具体的には、約55×10-7/℃以下であるこ
とが要求される。
【0007】また近年、ICのリード線数を増加させた
大型のセラミックパッケージが増えつつあり、これに伴
ってベースセラミックにリード線を接着するのに用いら
れる接着用組成物の強度を高めることも要求されてい
る。
【0008】さらにICセラミックパッケージ以外に
も、電子デバイスに使用される高歪点、低膨張の板ガラ
スから作製される排気管や、コバール合金を接着するた
めの接着用組成物も要求されているが、これらの板ガラ
スや合金も、約49×10-7/℃の低い熱膨張係数を有
している。
【0009】接着用組成物の熱膨張係数を下げ、且つ、
強度を高めるためには、ガラス粉末に混合する低膨張フ
ィラー粉末の量を増やせば良いが、結晶性ガラス粉末に
低膨張フィラー粉末を多量に含有させることは困難であ
る。
【0010】すなわち上記したように結晶性ガラス粉末
を加熱すると、ガラス中に結晶が析出するが、この結晶
の析出によって流動し難くなり、またこれに低膨張フィ
ラー粉末を混合するほど、ガラスの流動性が阻害され、
リード線の接着性が損なわれる。
【0011】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、約50×10-7/℃以下の低い熱膨張係数を有
し、耐熱性に優れ、高強度で、良好な流動性を有する接
着用組成物を提供することを目的とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の接着用組成物
は、PbO−B23 −ZnO−BaO系結晶性ガラス
粉末 40〜90重量%、コーディエライト粉末 1〜
20重量%、ウイレマイト系セラミック粉末 1〜45
重量%からなることを特徴とする。
【0013】また本発明の接着用組成物は、PbO−B
23 −ZnO−BaO系結晶性ガラス粉末が、重量百
分率で、PbO 60〜88%、B23 1〜15
%、ZnO 7〜20%、BaO 1〜5%、SiO2
0〜6%、Al23 0〜3%、Bi23 0〜
10%、SrO 0〜5%、TiO2 0〜5%、F2
0〜6%からなることを特徴とする。
【0014】
【作用】本発明で使用するPbO−B23 −ZnO−
BaO系結晶性ガラス粉末は、ガラス転移点が280〜
340℃であり、リード線が劣化しない温度である54
0℃以下の温度で接着が可能である。
【0015】またコーディエライト粉末は、他の低膨張
フィラー粉末に比べて、熱膨張係数を下げる効果が大き
く、少量の添加であっても、低い熱膨張係数を有する接
着用組成物を得ることが可能となる。
【0016】さらに本発明で使用するウイレマイト系セ
ラミック粉末は、重量%で、ZnO68〜75%、Si
2 23〜28%、Al23 0.1〜8%から構
成され、これを上記の結晶性ガラス粉末と混合すると、
ガラスの結晶化が極めて遅く開始され、流動後も結晶の
発達が少ないため、流動しやすく、リード線の接着性が
良くなる。そして最終的には、両者が反応して急速に強
い安定した結晶が析出するため、リード線を強固に固定
することが可能となる。従って他の低膨張フィラー粉末
の混合量を多くしても、流動性を損なうことなく、高強
度で、低膨張の接着用組成物が得られることになる。
【0017】本発明において、PbO−B23 −Zn
O−BaO系結晶性ガラス粉末と、コーディエライト粉
末と、ウイレマイト系セラミック粉末を、上記のような
割合に限定した理由は、次のとおりである。
【0018】結晶性ガラス粉末が、40重量%より少な
いと、接着用組成物の流動性が不十分となり、良好に封
着できなくなる。一方、90重量%より多いと、高強度
で、低膨張の接着用組成物が得られなくなる。
【0019】コーディエライト粉末が、1重量%より少
ないと、上記したような効果が得られ難くなり、一方、
20重量%より多いと、コーディエライトが、結晶性ガ
ラス中に多量に溶け込み、結晶性ガラスが組成変更をき
たすため、結晶が安定して析出し難くなる。
【0020】ウイレマイト系セラミック粉末が、1重量
%より少ないと、上記したような効果が得られ難くな
り、45重量%より多いと、流動性が悪くなり、低温で
接着できなくなる。ウイレマイト系セラミック粉末の好
ましい含有量は、1〜40重量%である。
【0021】また本発明のPbO−B23 −ZnO−
BaO系結晶性ガラス粉末の組成を上記のように限定し
た理由は、次のとおりである。
【0022】PbOは、ガラスの修飾酸化物であり、そ
の含有量は、60〜88重量%、好ましくは60〜85
重量%である。60重量%より少なかったり、88重量
%より多いと、結晶傾向が強くなりすぎて、低膨張フィ
ラー粉末を十分に混合することが困難となる。
【0023】B23 は、ガラスの網目構造形成酸化物
であり、その含有量は、1〜15重量%、好ましくは4
〜13重量%である。1重量%より少ないと、ガラスの
結晶化傾向が強くなりすぎ、15重量%より多いと、ガ
ラスの転移点が上昇し、十分に低い温度、すなわちリー
ド線の劣化が起こらない温度範囲で使用しにくくなる。
【0024】ZnOは、ガラスに析出する結晶量を調整
する成分であり、その含有量は、7〜20重量%、好ま
しくは7〜16重量%である。7重量%より少ないと、
結晶化が不十分となり、リード固定に十分な結晶化度が
得られ難くなる。一方、20重量%より多いと、全てが
ガラスの構成成分とならず、ZnOの形態のままで接着
用組成物中に残存することがある。
【0025】BaOは、結晶性ガラスが流動するまでの
結晶の発達を遅延させ、結晶性ガラスが流動した後、ウ
イレマイト系セラミックと反応して急速に結晶を発達さ
せる作用を有しており、その含有量は、1〜5重量%、
好ましくは2.2〜5重量%である。1重量%より少な
いと、上記したような作用が得られ難くなり、一方、5
重量%より多いと、低温で流動し難くなる。
【0026】SiO2 は、ガラスの形成成分であり、結
晶化を制御する作用を有しており、その含有量は、0〜
6重量%、好ましくは0〜3重量%である。6重量%よ
り多いと、低温での接着が困難となる。
【0027】Al23 は、ガラスを安定化させる作用
を有しており、その含有量は、0〜3重量%、好ましく
は0〜2重量%である。3重量%より多いと、ガラスの
粘性が高くなり、低温での接着が困難となる。
【0028】Bi23 は、ガラスの粘性を変化させる
ことなく、結晶化度を制御する作用を有しており、その
含有量は、0〜10重量%、好ましくは0〜5重量%で
ある。10重量%より多いと、ガラスの結晶性が強くな
りすぎ、低膨張の結晶性ガラスを得ることが困難とな
る。
【0029】SrOは、結晶性ガラスの結晶速度を制御
する作用を有しており、その含有量は、0〜5重量%、
好ましくは0〜2%である。5重量%より多いと、ガラ
スの粘性が高くなりすぎ、低温での接着が困難となる。
【0030】TiO2 は、ガラスを安定化させる作用を
有しており、その含有量は、0〜5重量%である。5重
量%より多いと、結晶化傾向が著しくなって、流動性が
悪くなる。
【0031】F2 は、ガラスの軟化温度を下げる作用を
有しており、その含有量は、0〜6重量%である。6重
量%より多いと、結晶性が強くなりすぎて、フィラー粉
末を多量に含有させることが困難となる。
【0032】尚、本発明においては、上記成分以外に
も、5重量%以下のCuO、Fe23 、AgO、Sr
O、P25 、Co23 、TeO2 、3重量%以下の
Mo23 、Rb2 O、Cs2 O、Nb25 、Ta2
3 、CeO2 、NiO、Cr23 、As23 、S
23 、SnO2 及びLa23 等の希土類を含有さ
せることが可能である。
【0033】また本発明においては、コーディエライト
粉末やウイレマイト系セラミック粉末以外にも、所期の
特性を損なわない範囲で、ジルコン系セラミック粉末、
チタン酸鉛系セラミック粉末、酸化錫系セラミック粉
末、アルミナ粉末を添加することが可能である。ただ
し、ジルコン系セラミック粉末の上限は40重量%、チ
タン酸鉛系セラミック粉末の上限は59重量%、酸化錫
系セラミック粉末の上限は50重量%、アルミナ粉末の
上限は40重量%であり、各フィラー量が、上限値より
多くなると、結晶性ガラスの流動性が悪くなり、低温で
の接着が困難となるため好ましくない。
【0034】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明の接着用組成
物を具体的に説明する。
【0035】表1は、本発明で使用する結晶性ガラス粉
末を示すものである。
【0036】
【表1】
【0037】表1の各試料を示差熱分析計を用いて観察
すると、結晶ピークが認められ、このことから表1の各
試料に所望の熱処理を加えると、結晶を析出することが
理解できた。
【0038】表1の各試料は、以下のように調製した。
【0039】まず表中の組成となるように光明丹、硼
酸、亜鉛華、炭酸バリウム、珪石、水酸化アルミニウ
ム、酸化ビスマス、炭酸ストロンチウム、酸化チタン、
フッ化亜鉛を、表中の組成になるように調合、混合して
から、1100℃で1時間溶融し、薄板状に成形した
後、粉砕し、250メッシュのステンレス篩を通過させ
ることによって、平均粒径が4μmの試料を得た。尚、
各原料とも、ICの誤動作を防止するため、α線放出量
の少ないものを選択した。
【0040】表2は、表1のA〜Hの各試料と、低膨張
フィラー粉末を混合してなる接着用組成物を示すもので
ある。
【0041】
【表2】
【0042】
【表3】
【0043】表2、3から明らかなように実施例である
No.1〜8の各試料は、熱膨張係数が43.0〜5
4.2×10-7/℃と低く、抗折強度が600kg/c
2 以上と高かった。また流動径が21.0mm以上で
あることから、各試料とも流動性に優れ、480℃以下
の温度で接着できるものと判断される。しかもリード線
固定性が良好であり、α線放出量が0.4count/
cm2 ・hr以下と小さかった。
【0044】それに対し、比較例であるNo.9の試料
は、ウイレマイト系セラミック粉末を含まないため、リ
ード線固定性が悪く、またNo.10の試料は、コーデ
ィエライト粉末を含まないため、熱膨張係数が62.2
×10-7/℃と高かった。
【0045】尚、表2、3に示した低膨張フィラー粉末
は、以下のようにして作製したものである。
【0046】ウイレマイト系セラミック粉末は、亜鉛
華、光学石粉、酸化アルミニウムを重量比で、ZnO
70%、SiO2 25%、Al23 5%の組成に
なるように調合し、混合した後、1440℃で15時間
焼成し、次いでアルミナボールミルで粉砕し、250メ
ッシュのステンレス篩を通過させることによって、平均
粒径が5μmの粉末状にしたものである。
【0047】コーディエライト粉末は、酸化マグネシウ
ム、酸化アルミニウム、光学石粉を2MgO・2Al2
3 ・5SiO2 になるように調合し、混合した後、1
400℃で10時間焼成し、次いでアルミナボールミル
で粉砕し、250メッシュのステンレス篩を通過させた
ものを用いた。
【0048】ジルコン系セラミック粉末は、天然ジルコ
ンサンドを一旦ソーダに分解し、塩酸に溶解した後、濃
縮結晶化を繰り返すことによって、α線放出物質である
U、Thの極めて少ないオキシ塩化ジルコニウムにし、
アルカリ中和後、加熱して精製ZrO2 を得、これに高
純度珪石粉、酸化第二鉄を重量比でZrO2 66重量
%、SiO2 32重量%、Fe23 2重量%の組
成になるように調合し、混合後、1400℃で16時間
焼成し、次いでアルミナボールミルで粉砕し、250メ
ッシュのステンレス篩を通過させたものを用いた。
【0049】チタン酸鉛系セラミック粉末は、PbTi
3 結晶中にCaOを固溶したものであり、リサージ、
酸化チタン、炭酸カルシウムをPbO 70重量%、T
iO2 20重量%、CaO 10重量%の組成になる
ように調合し、混合した後、1100℃で5時間焼成
し、次いでこの焼成物を粉砕した後、これを350メッ
シュのステンレス篩を通過させることによって、平均粒
径が4μmの粉末状にしたものである。
【0050】また本発明では、上記低膨張フィラー以外
にも、酸化錫固溶体粉末やアルミナ粉末を添加すること
ができ、酸化錫固溶体粉末としては、重量比でSnO2
93重量%、TiO2 2重量%、MnO2 5重量
%の組成になるように酸化錫、酸化チタン、二酸化マン
ガンを調合し、混合した後、1400℃で16時間焼成
し、次いでアルミナボールミルで粉砕し、250メッシ
ュのステンレス篩を通過させたものが適しており、また
アルミナ粉末は、市販されている350メッシュパス品
が適している。
【0051】また表1〜3中の各特性は、次のようにし
て測定したものである。
【0052】熱膨張係数は、焼成物を押棒式熱膨張測定
装置を用いて測定した。
【0053】抗折強度は、480℃で接着用組成物を焼
成し、5×5×50mmの試料を10本削り出し、周知
の3点荷重測定法(荷重速度2mm/分、スパン40m
m)で破壊強度を測定し、計算することによって求め
た。
【0054】流動径は、接着用組成物を表の割合で混合
した後、比重分に相当する粉末を20φの金型で成形
し、板ガラスの上に載置した状態で480℃で焼成する
ことによって得られた流動体の径を測定したものであ
る。
【0055】リード線固定性は、耐熱性を判断するため
に行ったものであり、接着用組成物をバインダーとよく
混合してペースト化し、アルミナC−DIPベースパー
ツに印刷、乾燥、グレーズしたものに480℃で、サー
ディップ用リード線を接着した後、各リード線間をつな
ぐタイバーを切断してから、リード線からC−DIPベ
ースセラミックがぶら下がる形で再度480℃で焼成
し、リード線の動きを目視で観察し、動かなかったもの
を良、動いたものを不良とした。
【0056】α線放出量は、ZnSシンチレーションカ
ウンターを用いて測定した。
【0057】
【発明の効果】以上のように本発明の接着用組成物は、
約55×10-7/℃以下の低い熱膨張係数を有し、耐熱
性に優れ、高強度で、しかも良好な流動性を有するた
め、各種の接着、固着、封着材料として使用可能であ
り、特にIC用セラミックパッケージや電子デバイス等
の電子部品の接着材料として好適である。
【0058】尚、本発明の接着用組成物は、低膨張フィ
ラー粉末の種類、含有量を選択し、熱膨張係数を調整す
ることによって、アルミナパッケージの封着用組成物と
して使用することも可能である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 PbO−B23 −ZnO−BaO系結
    晶性ガラス粉末 40〜90重量%、コーディエライト
    粉末 1〜20重量%、ウイレマイト系セラミック粉末
    1〜45重量%からなることを特徴とする接着用組成
    物。
  2. 【請求項2】 PbO−B23 −ZnO−BaO系結
    晶性ガラス粉末が、重量百分率で、PbO 60〜88
    %、B23 1〜15%、ZnO 7〜20%、Ba
    O 1〜5%、SiO2 0〜6%、Al23 0〜
    3%、Bi23 0〜10%、SrO 0〜5%、T
    iO2 0〜5%、F2 0〜6%からなることを特徴
    とする請求項1記載の接着用組成物。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100318181B1 (ko) * 1999-08-13 2001-12-22 손재익 접합용 유리조성물
CN113336479A (zh) * 2021-05-21 2021-09-03 景德镇陶瓷大学 一种堇青石基微晶玻璃高温粘结剂及其制备方法和应用
JP2021178740A (ja) * 2020-05-11 2021-11-18 日本電気硝子株式会社 結晶性複合粉末及びこれを用いた結晶性タブレット

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