JPH09230800A

JPH09230800A - 表示パネルおよび基板部材

Info

Publication number: JPH09230800A
Application number: JP4006696A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Kikuno; 正幸菊野; Akira Murakami; 晃村上
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1996-02-27
Filing date: 1996-02-27
Publication date: 1997-09-05
Anticipated expiration: 2016-02-27
Also published as: JP3766132B2

Abstract

(57)【要約】【課題】一対の基板部材の貼合わせ後の位置ずれ量
を、容易に数値として読取る。【解決手段】液晶表示パネルは、一対の基板部材１，
２間に表示媒体である液晶を挟持して構成される。一対
の基板部材１，２のうちの一方基板部材１は、透光性基
板３の液晶層側に、透明電極と、一方アライメントマー
ク９と、主尺目盛り４ａ〜４ｄとを備える。他方基板部
材２は、透光性基板６の液晶層側に、透明電極と、前記
一方アライメントマーク９と位置合わせされる他方アラ
イメントマーク１０と、前記主尺目盛り４ａ〜４ｄとに
よって貼合わせた後の位置ずれ量を測定するための副尺
目盛り７ａ〜７ｄとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アライメントマー
クをそれぞれ有する一対の基板部材を位置合わせして貼
合わせて構成される液晶表示パネルなどの表示パネルに
関する。また本発明は、前記液晶表示パネルを構成する
基板部材などの、パターン形成される膜を複数層積層し
て構成される基板部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】一対の基板部材を位置合わせして貼合わ
せて構成される表示パネルとしては、たとえば液晶表示
パネルが挙げられる。たとえば透過型のマトリクス表示
を行う液晶表示パネルを構成する一対の基板部材のうち
のいずれか一方基板部材は、透光性基板の一方表面上に
コモン電極とされる透明電極が形成され、当該透明電極
を覆って配向膜が形成されて構成される。他方基板部材
は、透光性基板の一方表面上にセグメント電極とされる
透明電極が形成され、当該透明電極を覆って配向膜が形
成されて構成される。

【０００３】各基板部材の透明電極は、互いに平行で等
間隔に設けられる帯状電極であり、各基板部材の透明電
極同士が互いに直交するようにして、かつ基板部材同士
が所定の間隙を開けて、さらに透明電極が形成された透
光性基板側が内方側となるようにして、基板部材が貼合
わせられる。基板部材同士の間隙には、液晶材料が注入
されて液晶層が形成される。

【０００４】表示パネルは、予め設定されるマトリクス
状の絵素領域を基準として各部材が形成される。各基板
部材の透明電極が互いに重なる矩形領域が絵素領域であ
り、このような絵素領域を予め設定して、透光性基板上
に各部材が所定の領域に形成される。基板部材の貼合わ
せに位置ずれが生じると、表示品位を著しく損なうこと
となり、液晶表示パネルの歩留りが低下する。このよう
な不都合を低減するために、一方基板部材と他方基板部
材とがアライメントマークをそれぞれ有するようにし、
互いのアライメントマークを用いて基板の貼合わせを高
い位置精度で行うようにした技術がある。

【０００５】図９は、実開昭６０−１１０８２６号公報
に開示された従来技術のアライメントマークを示す図で
ある。図９（Ａ）は一方の基板に設けられるアライメン
トマークを構成する円状部材５１と輪状部材５２とを示
す平面図であり、図９（Ｂ）は他方基板に設けられるア
ライメントマークを構成する輪状部材５３を示す平面図
であり、図９（Ｃ）は２つの基板を貼合わせたときの状
態を示す平面図である。

【０００６】当該公報に記載された技術によれば、２つ
の基板のうちの少なくともいずれか一方基板には、図９
（Ａ）に斜線を付して示されるような、円状部材５１
と、当該円状部材５１の外側に配置される輪状部材５２
とが設けられる。他方基板には、図９（Ｂ）に斜線を付
して示されるような、輪状部材５３が設けられる。ある
いは他方基板には、図９（Ａ）に示されるのと同様な２
重構造の部材５１，５２が設けられても構わない。円状
および輪状部材５１〜５３は、円状部材５１はその直
径、輪状部材５２，５３は外周および内周によって形成
される円の直径が、互いに異なる長さに選ばれており、
図９（Ｃ）に示されるように貼合わせたときに複数の円
が重なって観察される。各円の中心軸が一致するように
基板を位置合わせすることによって、高い位置精度での
基板の貼合わせを行っている。

【０００７】図１０は、特開平５−３４６５６２号公報
に開示された従来技術のアライメントマーク５４，５５
を示す平面図である。当該公報に記載された技術によれ
ば、一方の基板には斜線を付して示す第１のアライメン
トマーク５４が、他方の基板には第２のアライメントマ
ーク５５がそれぞれ設けられる。アライメントマーク５
４は複数のＴ字状部材で構成され、アライメントマーク
５５は複数の逆Ｔ字状部材で構成されている。そして、
１つのアライメントマーク５５に対して両隣りに配置さ
れるアライメントマーク５４との隙間が一定寸法である
箇所と、一定寸法で段階的にずれている箇所とを作り、
一定寸法の箇所に目盛り「０」を付している。さらに、
ずれ量に応じて、目盛り「１」、「２」、…を付してい
る。２つの基板の貼合わせ時において、目盛り「０」が
付されたアライメントマーク５５と両隣りのアライメン
トマーク５４との隙間が均等となるようにして、高い位
置精度での基板の貼合わせを行っている。

【０００８】図１１は、特開平１−１０２５１８号公報
に開示された従来技術のアライメントマーク５６，５７
を示す図である。図１１（Ａ）は、一方基板５８に設け
られるアライメントマーク５６を示す平面図である。図
１１（Ｂ）は、他方基板５９に設けられるアライメント
マーク５７を示す平面図である。当該公報に記載された
技術によれば、一方基板５８の中央部の両端部に形成さ
れた複数の十字状部材で構成されるアライメントマーク
５６と、他方基板５９の中央部の両端部に形成された１
つの十字状部材で構成されるアライメントマーク５７と
に基づいて大まかに位置合わせをして基板を仮に貼合わ
せ、基板の位置ずれを以降の修正工程で修正するように
している。このとき、アライメントマーク５６，５７を
画像として読取り、得られた画像データからアライメン
トマーク５６，５７のずれ量を算出し、算出したずれ量
に基づいて、いずれか一方の基板を移動するようにして
いる。

【０００９】図１２は、一般的なノギス６１の構成を示
す図である。ノギス６１は、主尺目盛り６４が付された
一方部材６２と、副尺（バーニヤや遊尺ともいう）目盛
り６５が付された他方部材６３とを有し、一方部材６２
の突出部６２ａと他方部材６３の突出部６３ａとの間に
長さを測定しようとする検出部材を挟んで、主尺目盛り
６４と副尺目盛り６５とから長さを読取って測定してい
る。副尺目盛り６５は、主尺目盛り６４の１目盛り間を
さらに細かく読取るためのものであり、主尺目盛り６４
と副尺目盛り６５とは対向して配置され、主尺目盛り６
４をｎ個とすると、（ｎ−１）個の目盛りに相当する長
さをｎ等分した目盛りが副尺目盛り６５として付され、
これによって主尺目盛り６４の１目盛りの１／ｎまで読
取ることができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】前記３つの公報に開示
された従来技術によれば、アライメントマークを用いて
高い位置精度で基板を貼合わせることができるけれど
も、この従来技術では１組ずつ個別的に調整して貼合わ
せるようにしており、製造効率は比較的低い。大量生産
を行う場合には、最初の貼合わせ時に厳密な調整を行
い、以降の貼合わせ時には最初に調整したのと同じよう
にして、たとえば基板が載置されるテーブルを移動する
ようにして、効率よく作成することができるけれども、
時間の経過に伴う前記テーブルの移動機構を構成する部
品の消耗、貼合わせる基板を構成する部材のロットの違
い、あるいは製造環境の違いなどによって、位置ずれが
生じるおそれがある。たとえば、ロット毎のずれ量、時
間帯毎のずれ量、日々または月々のずれ量、部材の作成
に用いられる製造装置毎のずれ量などを把握することが
できれば、そのような違いに応じて自動的に前記テーブ
ルの移動量を調整することができ、効率よく高い位置精
度で基板を貼合わせることができる。

【００１１】このためには、位置ずれ量を求める必要が
あるけれども、実開昭６０−１１０８２６号公報および
特開平１−１０２５１８号公報では、アライメントマー
ク自身で位置ずれ量を読取るようには構成されておら
ず、前記ずれ量を求めるには何らかの測定装置が必要と
なる。特開平１−１０２５１８号公報では、大掛かりな
撮影装置や画像処理装置が必要となる。また、特開平５
−３４６５６２号公報では、目盛りの形状が複雑で、ず
れ量が読取りにくいという欠点がある。また、これらの
公報に記載の技術では、所定の基板上に複数のパターン
膜を積層して構成され、前記液晶表示パネルに用いられ
る基板部材において、各パターン膜の位置ずれを測定す
ることができない。パターン膜についても基板部材の貼
合わせと同様に、位置ずれが生じる要因を明らかにし
て、以降の膜形成にフィードバックすることによって、
高い位置合わせ精度のパターン膜を有する基板部材を得
ることができる。

【００１２】本発明の目的は、貼合わせられた基板部材
の位置ずれ量を簡単に、素早くかつ正確に求めることが
できる表示パネルを提供することである。また本発明の
他の目的は、複数層積層して形成されたパターン膜の位
置ずれ量を、簡単に、素早くかつ正確に求めることがで
きる基板部材を提供することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、一対の基板部
材間に表示媒体を挟持して構成される表示パネルにおい
て、前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材
は、一方アライメントマークと主尺目盛りとを備え、他
方基板部材は、前記一方アライメントマークと位置合わ
せされる他方アライメントマークと、基板部材を重ねた
ときに前記主尺目盛りと平行に配置され、当該主尺目盛
りとによって貼合わせた後の基板部材の位置ずれ量を測
定する副尺目盛りとを備えることを特徴とする表示パネ
ルである。本発明に従えば、一方アライメントマークと主尺目盛り
とを備える一方基板部材と、他方アライメントマークと
副尺目盛りとを備える他方基板部材とは、一方および他
方アライメントマークを位置合わせして貼合わせられて
いる。主尺目盛りおよび副尺目盛りによって、貼合わせ
後の位置ずれ量を測定することができる。一方および他
方アライメントマークが共に予め定められる位置に正確
に形成され、主尺および副尺も共に予め定められる位置
に正確に形成されているとすると、前記主尺目盛りおよ
び副尺目盛りによって求められた位置ずれは、基板部材
の貼合わせの位置合わせ精度が低いことによって生じる
ものであると判断できる。たとえば所定の基板貼合わせ
装置を用いた場合では、当該装置の位置合わせ精度が低
いと判断できる。このような判断結果は大掛かりな測定
装置を用いずに求められ、この結果を用いて以降の基板
部材の貼合わせ時において基板部材の移動量を補正する
と、高い位置合わせ精度で基板部材を貼合わせることが
できる。貼合わせた基板部材間に表示媒体が挟持されて
表示パネルが構成されており、高い位置合わせ精度で貼
合わせられた表示パネルでは高い表示品位が得られ、良
品率が向上する。

【００１４】また本発明は、前記他方基板部材は、前記
副尺目盛りに近接して配置される０から１０までの第１
数値群部材と第１数値群部材の数値の増加する方向に向
かって配置される第１矢符部材と、さらに副尺目盛りに
近接し、前記第１数値群部材とは逆方向に配置される０
から１０までの第２数値群部材と第２数値群部材の数値
の増加する方向に向かって配置される前記第１矢符部材
とは逆方向の第２矢符部材とを含むことを特徴とする。本発明に従えば、前記第１数値群部材、第１矢符部材、
第２数値群部材および第２矢符部材によって、基板部材
の位置ずれ量および方向が目視で容易に判断できる。

【００１５】また本発明は、前記表示パネルは、前記主
尺および副尺目盛りを少なくとも２組備え、一方組の主
尺および副尺目盛りと、他方組の主尺および副尺目盛り
とは、互いに直交する方向に配置されることを特徴とす
る。本発明に従えば、互いに直交する方向に設けられる少な
くとも２組の主尺および副尺目盛りによって、少なくと
も２方向の基板部材の位置ずれ量を容易に測定すること
ができる。この結果を用いて、以降の基板部材の貼合わ
せを少なくとも２方向において高い位置合わせの精度で
行うことができる。

【００１６】また本発明は、前記一方および他方基板部
材のうちの少なくともいずれか一方基板部材は、透光性
を有し、前記一対の基板部材のうちの透光性を有する一
方基板部材は、透光性を有する絶縁性基板と、当該絶縁
性基板の表示媒体側に配置される透明な表示電極とを含
んで構成され、前記一方基板とは異なる他方基板部材
は、絶縁性基板と、当該絶縁性基板の表示媒体側に配置
される表示電極とを含んで構成され、前記主尺目盛りお
よび一方アライメントマークは、いずれか一方絶縁性基
板の表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置されると
ともに、一方絶縁性基板側の表示電極と同じ材料からな
り、副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、他方
絶縁性基板の表示媒体側の表示に寄与しない領域に配置
されるとともに、他方絶縁性基板側の表示電極と同じ材
料からなることを特徴とする。本発明に従えば、前記表示パネルは表示媒体としてたと
えば液晶を用い、電圧を印加して液晶分子の配向方向を
制御して、入射光を透過／遮断して表示を行う。このた
めに一対の基板部材はともに表示電極を備え、少なくと
もいずれか一方基板部材は、透光性を有する。透光性を有する一方基板部材は、透光性を有する絶縁性
基板の表示媒体側に透明な表示電極を配置して構成され
る。他方基板部材は、絶縁性基板の表示媒体側に表示電
極を配置して構成される。前記主尺目盛りおよび一方ア
ライメントマークは、いずれか一方絶縁性基板の表示媒
体側であって、表示に寄与しない領域に配置されるとと
もに、一方絶縁性基板側の表示電極と同じ材料からな
る。前記副尺目盛りおよび他方アライメントマークは、
他方絶縁性基板の表示媒体側であって、表示に寄与しな
い領域に配置されるとともに、他方絶縁性基板側の表示
電極と同じ材料からなる。このような構成の表示パネルでは、一方および他方アラ
イメントマークを位置合わせして貼合わせられ、主尺目
盛りおよび副尺目盛りによって、貼合わせ後の基板部材
の位置ずれ量を大掛かりな測定装置を用いずに求めるこ
とができ、この結果を用いて以降の基板の貼合わせ位置
を補正して、高い位置合わせ精度で基板を貼合わせる
と、表示品質の高い表示パネルを作成することができ
る。また、アライメントマークおよび目盛りは表示電極
と同じ材料からなり、たとえばフォトリソグラフィ法や
印刷法などのパターニング法によって同時に作成するこ
とができる。

【００１７】また本発明は、基板上に複数のパターン膜
が積層して構成される基板部材において、第１のパター
ン膜と同時にパターン形成される主尺目盛りと、第１の
パターン膜上の第２以降のパターン膜と同時にパターン
形成され、主尺目盛りと平行に配置され、当該主尺目盛
りとによって第１のパターン膜との位置ずれ量を測定す
るための副尺目盛りとを備えることを特徴とする基板部
材である。本発明に従えば、たとえば表示媒体として液晶を用い
た表示パネルの基板部材において、所定の基板上に第１
のパターン膜として表示電極が形成され、第２のパター
ン膜として配向膜が表示電極上に積層して形成される。
表示電極と同時に主尺目盛りをパターン形成し、配向膜
と同時に副尺目盛りをパターン形成することによって、
表示電極と配向膜との位置ずれ量を測定することができ
る。測定値を用いて配向膜の形成位置を調整すると、以
降の基板部材は高い位置合わせ精度のパターン膜を有す
るものとなる。

【００１８】また本発明は、前記基板部材は、前記副尺
目盛りに近接して配置される０から１０までの第１数値
群部材と第１数値群部材の数値の増加する方向に向かっ
て配置される第１矢符部材と、さらに副尺目盛りに近接
し、前記第１数値群部材とは逆方向に配置される０から
１０までの第２数値群部材と第２数値群部材の数値の増
加する方向に向かって配置される前記第１矢符部材とは
逆方向の第２矢符部材とを含むことを特徴とする。本発明に従えば、前記第１数値群部材、第１矢符部材、
第２数値群部材および第２矢符部材によって、第１のパ
ターン膜と第２以降のパターン膜との位置ずれ量および
方向が目視で容易に判断できる。

【００１９】また本発明は、前記基板部材は、前記主尺
および副尺目盛りを少なくとも２組備え、一方組の主尺
および副尺目盛りと、他方組の主尺および副尺目盛りと
は、互いに直交する方向に配置されることを特徴とす
る。本発明に従えば、互いに直交する方向に設けられる少な
くとも２組の主尺および副尺目盛りによって、少なくと
も２方向のパターン膜の位置ずれ量を容易に測定するこ
とができる。この結果を用いて、以降の第２以降のパタ
ーン膜の形成を少なくとも２方向において高い位置合わ
せ精度で行うことができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態で
ある表示パネルの一方基板部材１と他方基板部材２とを
示す平面図である。図１（Ａ）は一方基板部材１を示
し、図１（Ｂ）は他方基板部材２を示す。表示パネル
は、一方および他方基板部材１，２を貼合わせて構成さ
れ、一方基板部材１はコモン側の基板であり、他方基板
部材２はセグメント側の基板である。表示パネルがたと
えば光透過型の液晶表示パネルで実現される場合、一方
および他方基板部材１，２はガラスなどで実現される透
光性基板３，６をそれぞれ備える。一方基板部材１を構
成する透光性基板３の一方表面側には、少なくとも一方
アライメントマーク９と、主尺目盛り４ａ〜４ｄ（以
下、総称するときには参照符４を用いる）と、図示しな
いコモン電極と配向膜とが配置される。他方基板部材２
を構成する透光性基板６の一方表面側には、少なくとも
他方アライメントマーク１０と、副尺目盛り７ａ〜７ｄ
（以下、総称するときには参照符７を用いる）と、図示
しないセグメント電極と配向膜とが配置される。

【００２１】透光性基板３の、たとえば長手方向に平行
な一方端部３ａ側と、当該一方端部３ａに対向する他方
端部３ｃ側との、前記長手方向の長さのほぼ中央部にそ
れぞれ一方アライメントマーク９が配置される。他方ア
ライメントマーク１０についても同様に、透光性基板６
の、たとえば長手方向に平行な一方端部６ａ側と、当該
一方端部６ａに対向する他方端部６ｃ側との、前記長手
方向の長さのほぼ中央部にそれぞれ配置される。

【００２２】一方アライメントマーク９は、斜線を付し
て示す円状部材４１と、当該円状部材４１の外側に配置
される輪状部材４２とで構成され、他方アライメントマ
ーク１０は斜線を付して示す輪状部材４３で構成され
る。各部材４１〜４３は、円状部材４１はその直径、輪
状部材４２，４３は外周および内周によって形成される
円の直径が、互いに異なる長さに選ばれており、一方お
よび他方基板部材１，２を貼合わせたときには、複数の
円が重なって観察される。したがって、複数の円の中心
軸が一致するように基板部材１，２を位置合わせして貼
合わせている。

【００２３】なお、一対のアライメントマーク９，１０
の形状は、本形態で説明したような形状に限るものでは
なく、既に公知の形状のアライメントマークを形成し、
位置合わせして貼合わせるようにしても構わない。

【００２４】主尺目盛り４は、矩形の透光性基板３の４
つの角部にそれぞれ配置される。１角部に配置される主
尺目盛り４ａの目盛りの配列方向８ａ、すなわち目盛り
を構成する後述するような帯状部材の長手方向に直交す
る方向８ａは、透光性基板３の一方端部３ａに平行に選
ばれる。他の角部に配置される主尺目盛り４ｂ，４ｃ，
４ｄの目盛りの配列方向８ｂ，８ｃ，８ｄは、それぞれ
透光性基板３の端部３ｂ，３ｃ，３ｄに平行に選ばれ
る。したがって、１角部に配置される主尺目盛り４ａ〜
４ｄの目盛りの配列方向８ａ〜８ｄ（以下、総称すると
きには参照符８Ａを用いる）は、隣接する２つの主尺目
盛りの配列方向と直交するように配置される。たとえば
主尺目盛り４ａでは、主尺目盛り４ａの配列方向８ａ
と、隣接する２つの主尺目盛り４ｂ，４ｄの配列方向８
ｂ，８ｄとは直交する。他の主尺目盛り４ｂ〜４ｄにつ
いても同様の位置関係で配置される。

【００２５】副尺目盛り７は、主尺目盛り４と同じよう
にして配置される。すなわち副尺目盛り７は、矩形の透
光性基板６の４つの角部にそれぞれ配置される。１角部
に配置される副尺目盛り７ａの目盛りの配列方向８ｅ、
すなわち目盛りを構成する後述するような帯状部材の長
手方向に直交する方向８ｅは、透光性基板６の一方端部
６ａに平行に選ばれる。他の角部に配置される副尺目盛
り７ｂ，７ｃ，７ｄの目盛りの配列方向８ｆ，８ｇ，８
ｈは、それぞれ透光性基板６の端部６ｂ，６ｃ，６ｄに
平行に選ばれる。したがって、１角部に配置される副尺
目盛り７ａ〜７ｄの目盛りの配列方向８ｅ〜８ｈ（以
下、総称するときには参照符８Ｂを用いる）は、隣接す
る２つの副尺目盛りの配列方向と直交するように配置さ
れる。たとえば副尺目盛り７ａでは、副尺目盛り７ａの
配列方向８ｅと、隣接する２つの副尺目盛り７ｂ，７ｄ
の配列方向８ｆ，８ｈとは直交する。他の副尺目盛り７
ｂ〜７ｄについても同様の位置関係で配置される。

【００２６】基板部材１，２を重ね合わせたときには、
前記配列方向８ａ，８ｃと配列方向８ｅ，８ｇとが平行
に、配列方向８ｂ，８ｄと配列方向８ｆ，８ｈとが平行
になるように構成される。

【００２７】一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合
わせて構成される表示パネルの中央部には、矩形の表示
領域５が設定される。この表示領域５内に絵素が、たと
えば複数個マトリクス状に設定される。一方基板部材１
の一方アライメントマーク９および主尺目盛り４は、前
記表示領域５以外の領域に配置され、他方基板部材２の
他方アライメントマーク１０および副尺目盛り７も表示
領域５以外の領域に配置される。このような領域に配置
して、一対のアライメントマーク９，１０と主尺および
副尺目盛り４，７とが、実際の表示に悪影響を及ぼさな
いようにしている。

【００２８】なお、マトリクス表示を行うときには、複
数の絵素がマトリクス状に設定されるけれども、たとえ
ば特定の形状のみの表示を行うセグメント表示を行うと
きには、絵素は前記特定の形状に設定される。そしてセ
グメント側の基板には前記特定の形状のセグメント電極
が形成され、コモン側の基板にはたとえば全面にコモン
電極が形成される。

【００２９】図２は、前記一方基板部材１と他方基板部
材２とを用いた表示パネルの一例である液晶表示パネル
１１の構成を示す断面図である。液晶表示パネル１１
は、一方基板部材１、他方基板部材２、シール材層２
１、スペーサ２２および液晶層２３を含んで構成され
る。一方基板部材１は、透光性基板３、主尺目盛り４、
一方アライメントマーク９、下地膜１２、カラーフィル
タ１３、オーバコート膜１４、透明電極１５および配向
膜１６を含んで構成される。

【００３０】たとえばガラスで実現される透光性基板３
の一方表面は下地膜１２で覆われている。下地膜１２上
にはカラーフィルタ１３が配置されている。カラーフィ
ルタ１３は、絵素に対応して公知の予め定められる関係
でマトリクス状に配置される赤フィルタ１３Ｒ、緑フィ
ルタ１３Ｇおよび青フィルタ１３Ｂと、これらの間に配
置される黒フィルタ１３ＢＬとを含んで構成される。カ
ラーフィルタ１３は、前述した表示領域５に設けられて
いる。カラーフィルタ１３が形成された下地膜１２上は
オーバコート膜１４で覆われている。オーバコート膜１
４上にはコモン電極である透明電極１５と、前記主尺目
盛り４と、図示しない一方アライメントマーク９とが配
置されている。主尺目盛り４および一方アライメントマ
ーク９は、図１（Ａ）で説明したような位置に配置され
る。透明電極１５は、たとえば互いに平行な帯状に設け
られている。透明電極１５、主尺目盛り４および一方ア
ライメントマーク９が形成されたオーバコート膜１４上
には、少なくとも透明電極１５、主尺目盛り４および一
方アライメントマーク９を覆う前記表示領域５に配向膜
１６が配置されている。

【００３１】他方基板部材２は、透光性基板６、副尺目
盛り７、他方アライメントマーク１０、下地膜１７、透
明電極１８、トップコート膜１９および配向膜２０を含
んで構成される。たとえばガラスで実現される透光性基
板６の一方表面は下地膜１７で覆われている。下地膜１
７上にはセグメント電極である透明電極１８と、前記副
尺目盛り７と、図示しない他方アライメントマーク１０
とが配置されている。副尺目盛り７および他方アライメ
ントマーク１０は、図１（Ｂ）で説明したような位置に
配置されている。透明電極１８は、たとえば互いに平行
な帯状に設けられている。透明電極１８、副尺目盛り７
および他方アライメントマーク１０が形成された下地膜
１７上には、少なくとも透明電極１８、副尺目盛り７お
よびアライメントマーク１０を覆う前記表示領域５にト
ップコート膜１９が配置されている。トップコート膜１
９上には配向膜２０が配置されている。

【００３２】一方基板部材１と他方基板部材２とは、透
光性基板３の透明電極１５側表面である前記一方表面
と、透光性基板６の透明電極１８側表面である前記一方
表面とが内側となるようにして互いに対向して配置され
る。このとき、帯状の透明電極１５，１８が互いに直交
するように配置される。透明電極１５と透明電極１８と
が対向する矩形領域が絵素領域である。一方基板部材１
と他方基板部材２との周囲はシール材層２１によって封
止される。一方基板部材１と他方基板部材２との間の間
隙は、スペーサ２２によって規制され、基板部材１，２
およびシール材層２１によって囲まれる空間には液晶層
２３が設けられている。

【００３３】透明電極１５，１８間に印加する電圧が、
液晶層２３の液晶分子への配向膜１６，２０による規制
力が崩れる予め定められるしきい値を越えるレベルであ
れば、液晶分子は電界の方向に沿って基板部材１，２に
対してほぼ垂直に配向する。たとえば基板部材１の液晶
層２３とは反対側に配置される一方偏光板によって振動
方向が規制された入射光は、液晶分子の配向に沿って液
晶層２３を通過するので、振動方向はねじれない。基板
部材１側の前記一方偏光板と光の透過軸が平行になるよ
うにして他方基板部材２側に他方偏光板を配置すると、
液晶層２３を通過した光は他方偏光板を通過するので、
明るい白色（カラー）表示が実現できる。

【００３４】一方、電極１５，１８間に印加する電圧が
前記予め定められるしきい値に満たないレベルであれ
ば、入射光は配向膜１６，２０による規制力によってた
とえば基板部材１，２間で９０°ねじれるように配向し
た液晶分子に沿って、９０°ねじれて液晶層２３を通過
する。この光は他方基板部材２側に配置された他方偏光
板によって遮断されるので、暗い黒色表示が実現でき
る。複数の絵素のこのような表示状態を組合わせること
によって、たとえば文字などの様々な形状のキャラクタ
ー表示を行うことができる。なお、液晶分子のねじれ角
は９０°（ＴＮ型）に限らず、それ以上のＳＴＮ型であ
ってもかまわない。

【００３５】図３は、前記液晶表示パネル１１の製造方
法を説明するための工程図である。工程ａ１〜ａ６で一
方基板部材１が作成され、工程ａ８〜ａ１２で他方基板
部材２が作成される。基板部材１，２の少なくとも一方
表面には、下地膜１２，１７が既にそれぞれ形成されて
いるものとする。下地膜１２，１７は、透光性基板３，
６からの液晶層２３への不純物の拡散を防止するために
設けられるアルカリ防止膜などである。たとえば透光性
基板３，６としてソーダガラスなどのソーダ成分が比較
的多いガラス基板を使用する場合に、液晶層２３にソー
ダ成分が拡散することを防ぐために設けられ、たとえば
ＳｉＯ₂膜などの無機質被膜をスパッタリング法で蒸着
して作成され、バリアコート膜などとも称される。市販
のガラス基板の中には、このような膜が既に設けられて
いるものもある。なお、このような透光性基板３，６か
ら液晶層２３への不純物の拡散を考慮する必要のない場
合には、下地膜１２，１７はなくてもかまわない。

【００３６】工程ａ１では、透光性基板３の下地膜１２
上にカラーフィルタ１３が形成される。カラーフィルタ
１３は、染色法、電着法、印刷法および着色高分子法な
どの公知の方法で作成される。

【００３７】図４は、所定の被加工基板２５上にフォト
レジスト膜をパターン形成するフォトリソグラフィ法を
説明するための図である。被加工基板２５の一方表面全
面にフォトレジスト材料膜２６が成膜される。マスク２
７は、ガラス基板２８上に予め定められるパターンの遮
光膜２９が形成されて構成される。光源３１からの光３
２は、光源３１のレンズ収差などによって拡散光線とな
るかもしれない光３２をレンズ３０で平行な光３３に変
換される。当該光３３は、フォトレジスト材料膜２６と
所定の長さＬ１の間隔をあけて配置されるマスク２７を
介してフォトレジスト材料膜２６に照射される。たとえ
ば、フォトレジスト材料膜２６の光が照射された部分が
硬化し、他の部分が除去されて、硬化したフォトレジス
ト材料膜２６で実現されるフォトレジスト膜が作成され
る。このような膜のパターンニングは、印刷法を用いて
所望のパターンに印刷するようにしても実現可能である
けれども、印刷法はフォトリソグラフィ法と比較して精
度が低いので、高精細なパターンニングには不向きであ
る。

【００３８】このようなフォトリソグラフィ法や印刷法
によってパターン形成されたフォトレジスト膜を所定の
色、たとえば赤の染料で染色して赤フィルタ１３Ｒを作
成した後、マスク２７を変更した同様のフォトリソグラ
フィ法によって他の所定の領域にパターン形成されたフ
ォトレジスト膜を、たとえば緑の染料で染色して緑フィ
ルタ１３Ｇを作成し、さらに同様にして、他の所定の領
域にパターン形成されたフォトレジスト膜を青の染料で
染色して青フィルタ１３Ｂを作成し、残りの領域にパタ
ーン形成されたフォトレジスト膜を黒の染料で染色して
黒フィルタ１３ＢＬを作成し、このように段階的に各色
フィルタを作成して、カラーフィルタ１３が完成する。
フォトリソグラフィ法を採用して形成されるカラーフィ
ルタ１３の各色フィルタは基準となる予め設定される絵
素に対してたとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で
作成される。

【００３９】工程ａ２では、カラーフィルタ１３が形成
された下地膜１２上にオーバコート膜１４が形成され
る。オーバコート膜１４は、カラーフィルタ１３の平滑
性を向上させるために、およびカラーフィルタ１３を保
護するために設けられ、たとえばアクリル系の樹脂やポ
リイミド系の樹脂などがスピンコート法によってカラー
フィルタ１３を覆う下地膜１２全面に塗布されて形成さ
れる。

【００４０】工程ａ３では、オーバコート１４上の全面
に透明電極１５、主尺目盛り４および一方アライメント
マーク９を形成するための透明導電膜が形成される。た
とえばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜が形成される。
他にＩＴ（インジウム錫）膜やＮＥＳＡ膜であってもか
まわない。

【００４１】工程ａ４では、前記透明導電膜がパターン
ニングされて、透明電極１５、主尺目盛り４および一方
アライメントマーク９が形成される。このパターンニン
グは、図４で説明したようなフォトレジスト膜を透明導
電膜上に作成し、当該膜をマスクとして露出している透
明導電膜をエッチングし、さらに残存するフォトレジス
ト膜を除去することによって行われる。前記マスク２７
として、主尺目盛り４、一方アライメントマーク９およ
び透明電極１５のパターンを有するものが用いられる他
は、カラーフィルタ１３の作成時に説明したのと同様に
してフォトレジスト膜が形成される。また印刷法によっ
てマスクを形成してもかまわない。フォトリソグラフィ
法を採用して形成される主尺目盛り４、一方アライメン
トマーク９および透明電極１５は基準となる絵素に対し
て、たとえば±１０μｍ以内の位置ずれの精度で作成さ
れる。

【００４２】工程ａ５では、主尺目盛り４、一方アライ
メントマーク９および透明電極１５が形成されたオーバ
コート膜１４上に、少なくとも主尺目盛り４、一方アラ
イメントマーク９および透明電極１５を覆う表示領域５
に、配向膜１６となる樹脂膜が形成される。たとえばポ
リイミド系の樹脂がオフセット印刷法によって所望の領
域に成膜される。

【００４３】工程ａ６では、前記樹脂膜の表面に、たと
えばラビング処理などの方法で配向処理が施される。こ
のようにして、前記樹脂膜から成る配向膜１６が作成さ
れる。配向膜１６は、基準となる絵素に対してたとえば
±３００μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。

【００４４】以上のようにして一方基板部材１が完成す
る。なお、一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わ
せるにあたって、工程ａ７では、配向膜１６側の表面に
シール材層２１がパターン形成される。たとえばスクリ
ーン印刷法によって一方基板部材１の周囲に一部分が開
口して４００ｍｍの幅で形成され、基準となる絵素に対
して、たとえば±２００μｍ以内の位置ずれの精度で作
成される。

【００４５】工程ａ８では、透光性基板６の下地膜１７
上の全面に、副尺目盛り７、他方アライメントマーク１
０および透明電極１８を形成するための透明導電膜が形
成される。これは、前述した工程ａ３と同様にして作成
される。

【００４６】工程ａ９では、前記透明導電膜がパターン
ニングされて、副尺目盛り７、他方アライメントマーク
１０および透明電極１８が形成される。この透明導電膜
のパターンニングは、前記工程ａ４と同様にして行われ
る。フォトリソグラフィ法を採用して形成された副尺目
盛り７、他方アライメントマーク１０および透明電極１
８は、基準となる絵素に対して、たとえば±１０μｍ以
内の位置ずれの精度で作成される。

【００４７】工程ａ１０では、副尺目盛り７、他方アラ
イメントマーク１０および透明電極１８が形成された下
地膜１７上に、少なくとも副尺目盛り７、他方アライメ
ントマーク１０および透明電極１８を覆う表示領域５に
トップコート膜１９が形成される。一方基板部材１と他
方基板部材２とを貼合わせる際に、これらの間に導電性
を有する異物が介在すると、配向膜１６，２０を突き破
って透明電極１５，１８が導通してしまうおそれがあ
る。このような不都合を防止するためにトップコート膜
１９が形成される。当該トップコート膜１９は、たとえ
ばＳｉＯ₂とＴｉＯ₂との混合物質で実現され、その形成
には３００℃前後の焼成が必要である。一方基板部材１
側のカラーフィルタ１３は３００℃程度の温度に対する
耐熱性が弱いので、他方基板部材２側のみに設けられ
る。

【００４８】工程ａ１１では、トップコート膜１９上に
少なくともトップコート膜１９を覆って配向膜２０とな
る樹脂膜が形成される。この樹脂膜は、前記工程ａ５と
同様にして作成される。

【００４９】工程ａ１２では、前記樹脂膜の表面に配向
処理が施されて配向膜２０が作成される。この配向処理
は、前記工程ａ６と同様にして行われる。作成された配
向膜２０は、基準となる絵素に対してたとえば±３００
μｍ以内の位置ずれの精度で作成される。

【００５０】以上のようにして他方基板部材２が完成す
る。なお、一方基板部材１と他方基板部材２とを貼合わ
せるにあたって、工程ａ１３では、配向膜２０の表面に
スペーサ２２が散布される。

【００５１】工程ａ１４では、基板部材１，２が貼合わ
せられる。図５は、基板の貼合わせ時に用いられる基板
貼合わせ装置３５の簡単な構成を示す図である。基板部
材１，２は、基板貼合わせ装置３５が備える一対のテー
ブル３６，３７にそれぞれ支持されて所定の操作によっ
て貼合わされる。テーブル３６，３７はテーブル制御部
３８の制御によって、互いに直交するＸ−Ｙ方向に移動
可能に構成される。この貼合わせ時には、前記一対のア
ライメントマーク９，１０を用いて基板部材１，２が位
置合わせされる。貼合わせは適切なレベルで基板部材
１，２を加圧しながら、加熱するまたは紫外線を照射す
るなどによってシール材層２１を硬化させて行われる。
このようにしてスペーサ２２の直径によって規制される
厚さの空間を有するセルが作成される。

【００５２】工程ａ１５では、前記セルが分別される。
このとき、主尺目盛り４および副尺目盛り７を用いて位
置ずれ量や方向が測定される。位置ずれの程度によって
ランク分けをし、各ランクに応じた用途にセルが用いら
れる。この測定は、連続して作製するための搬送経路上
の所定の位置に顕微鏡を固定して行うことができる。

【００５３】なお、セルへの液晶材料の注入は、セル作
成後のどの時点で行ってもかまわないけれども、位置ず
れの程度によってはいかなる用途にも適さない可能性が
あり、工程ａ１５の後に行うようにすることによって、
このような実用できないセルを取除くことができ、液晶
を無駄に使用することがなくなるので、製造コストの低
減を図ることができる。

【００５４】図６は、一方基板部材１が有する主尺目盛
り４を拡大して示す平面図である。主尺目盛り４に加え
て、目盛りに対応付けて数値群部材８３と、その単位部
材８４とが付されている。このような数値群部材８３お
よび単位部材８４は、主尺目盛り４と同様にして同時に
パターン形成することができる。１単位の主尺目盛り４
について説明すると、主尺目盛り４は１１個の帯状部材
７１〜８１で構成される。帯状部材７１〜８１は、長手
方向の長さの異なる３種類のものから成り、互いに平行
に配置される最も長い帯状部材７１，７２間に他の帯状
部材７３〜８１が等間隔で互いに平行に配置される。ま
た、次に長い帯状部材７３は、帯状部材７１，７２の間
の中央に配置される。このようにして帯状部材７１，７
２間が１０等分されている。隣接する１単位の主尺目盛
り４とは、帯状部材７１および帯状部材７２が共用され
ている。

【００５５】数値群部材８３は、最も長い帯状部材７
１，７２に対応付けて付されている。図示される場合、
帯状部材７１を基準として「０」が付され、帯状部材７
２には「１００」が付されている。「１００」が付され
た帯状部材７２とは反対側には「−１００」，「−２０
０」…が付されている。また、数値群部材８３に近接し
て単位部材８４が付されている。この場合、帯状部材７
１，７２のピッチＬ２は「１００μｍ」であることを表
している。また１目盛りのピッチ、たとえば帯状部材７
１，７４のピッチは１０μｍである。

【００５６】図７は、他方基板部材２が有する副尺目盛
り７を拡大して示す平面図である。副尺目盛り７に加え
て、目盛りに対応付けて数値群部材１０３，１０５と、
矢符部材１０４，１０６と、単位部材１０７とが付され
ている。このような数値群部材１０３，１０５、矢符部
材１０４，１０６および単位部材１０７は副尺目盛り７
と同様にして同時にパターン形成することができる。副
尺目盛り７は、１１個の帯状部材９１〜１０１で構成さ
れる。帯状部材９１〜１０１は、前記主尺目盛り４の帯
状部材７１〜８１と同様にして構成され、長手方向の長
さの異なる３種類のものから成り、互いに平行に配置さ
れる最も長い帯状部材９１，９２間に他の帯状部材９４
〜１０１が等間隔で互いに平行に配置される。また次に
長い帯状部材９３は、帯状部材９１，９２の間の中央に
配置される。このようにして、帯状部材９１，９２間が
１０等分されている。なお副尺目盛り７に関しては、１
１個の帯状部材９１〜９２のみで構成される。

【００５７】数値群部材１０３，１０５は、帯状部材９
１〜１０１の全てに個別的に順番に付される「０」〜
「１０」までの数値群であり、第１数値群部材１０３は
図７紙面中で右から順番に０から１０と付されている。
また第２数値群部材１０５は反対に図７紙面中で左から
順番に０から１０と付されている。

【００５８】第１矢符部材１０４は、第１数値群部材１
０３の「１０」の「９」とは反対側に、図７紙面中で左
向きに付され、第２矢符部材１０６は第２数値群部材１
０５の「１０」の「９」とは反対側に、図７紙面中で右
向きに付される。また、数値群部材１０３，１０５に近
接して単位部材１０７が付される。帯状部材９１，９２
のピッチＬ３は、Ｌ２＝１００μｍとすると、９０μｍ
に選ばれ、副尺目盛り７は９０μｍを帯状部材９１〜１
０１によって１０等分したものである。

【００５９】図８は、基板部材１，２を貼合わせた後
に、主尺および副尺目盛り４，７を用いて位置ずれ量を
測定する方法を説明するための図である。図８（Ａ）は
位置ずれが生じていないときを示し、図８（Ｂ）および
図８（Ｃ）は位置ずれが生じているときを示す。また、
主尺目盛り４を有する一方基板部材１を基準に副尺目盛
り７を有する他方基板部材２の位置ずれ量を測定する方
法を説明する。

【００６０】まず、主尺目盛り４の帯状部材７１〜８１
と副尺目盛り７の帯状部材９１〜１０１との重なる地点
を探す。図８（Ａ）のように帯状部材７１と帯状部材９
１とが重なって一致しており、帯状部材８１と帯状部材
９２とが重なって一致している場合、位置ずれが生じて
いないと判断される。図８（Ｂ）のように、副尺目盛り
７の帯状部材９１が、主尺目盛り４の「０」〜「−１０
０」が付された目盛り内にあり、帯状部材７４と帯状部
材９５とが重なって一致している場合、副尺目盛り７を
有する他方基板部材２が８μｍだけ図８紙面中で左方向
に位置ずれしていると判断される。このような位置ずれ
量および位置ずれの方向は、第１数値群部材１０３と第
１矢符部材１０４とによって容易に読取れる。図８
（Ｃ）のように、副尺目盛り７の帯状部材９１が、主尺
目盛り４の「０」〜「１００」が付された目盛り内にあ
り、帯状部材７６と帯状部材９６とが重なって一致して
いる場合、他方基板部材２は３μｍだけ図８紙面中で右
方向に位置ずれしていると判断される。この判断は、第
２数値群部材１０５と第２矢符部材１０６とによって容
易に判断される。

【００６１】このような位置ずれの量は、目盛りを付す
ことによって長さを読取るために他の測定装置を用いず
に目視で容易に読取ることができる。また、副尺目盛り
７近傍に第１および第２数値群部材１０３，１０５と、
第１および第２矢符部材１０４，１０６とを設けること
によって、位置ずれ量および位置ずれ方向を容易に読取
ることができる。

【００６２】なお、工程ａ１５で測定された位置ずれを
利用して、セルのランク分けという後工程へのフィード
バックを行う以外に、たとえば以下のようにして前工程
へのフィードバックを行うことも可能である。すなわ
ち、連続して作製されるときに平均して、たとえば３μ
ｍの位置ずれが生じているときには、基板貼合わせ装置
３５のテーブル３６，３７の移動機構に問題があると判
断できる。このため、工程ａ１４での移動量の調整が必
要となる。また、ある時点から位置ずれが生じていると
きには、主尺目盛り４あるいは副尺目盛り７を透明電極
１５，１８と同時にパターン形成するために用いたマス
クがその時点で変更されたかどうか、露光時間（光量）
などの露光条件が変更されたかどうか、あるいはフォト
レジスト材料の膜厚や材質が変更されたかどうかなどを
確認し、このような位置ずれが生じる要因を明らかにす
ることができる。また、たとえば時間の経過とともに位
置ずれ量が変化するときには、露光機の運転開始直後は
被加工基板の温度が低く、形成されるパターン膜の寸法
が比較的小さいなどの位置ずれ量が変化する要因を明ら
かにすることができる。

【００６３】このように、ロット毎の位置ずれ、１日に
おける時刻、日々あるいは月々などの時間経過による位
置ずれ、装置毎の位置ずれなどを知ることによって、位
置ずれが生じる要因を明らかにすることができ、このよ
うな位置ずれが生じる要因が発生するときに事前に基板
貼合わせ装置３５のテーブル３６，３７の移動量および
方向を調整することによって、位置合わせ精度の高い液
晶表示パネル１１を効率よく得ることができる。

【００６４】また、本発明の実施の他の形態として、前
記一対の基板部材１，２のうちのいずれか一方基板部材
を主尺目盛り４と副尺目盛り７とを含んで構成する例が
挙げられる。たとえば一方基板部材１が有する場合、パ
ターン形成される透明電極１５と同時に主尺目盛り４を
形成し、次に透明電極１５上にパターン形成される配向
膜１６と同時に副尺目盛り７を形成する。これによっ
て、透明電極１５に対する配向膜１６の位置ずれ量およ
び方向を評価することができる。このような評価を、図
３で説明した工程ａ５または工程ａ６終了後に行うこと
によって、この時点で一方基板部材１のランク分けや、
配向膜１６のための樹脂膜のパターン形成工程へのフィ
ードバックを行うことができる。

【００６５】主尺目盛り４を透光性基板３，６上にパタ
ーン形成される第１の膜と同時に形成し、その上に積層
してパターン形成される第２以降の膜と同時に副尺目盛
り７を形成すればよく、第１のパターン膜上に複数のパ
ターン膜が設けられる場合には、第２以降の各膜と同時
にそれぞれ副尺目盛り７を形成するようにしてもかまわ
ない。前記一方基板部材１の場合では、カラーフィルタ
１３と同時に主尺目盛り４を形成し、透明電極１５、配
向膜１６、さらにシール材層２１と同時に副尺目盛り７
をそれぞれ形成してもかまわない。

【００６６】このような構成は、液晶表示パネルに用い
られる基板部材に限るものではなく、複数のパターン形
成される膜を積層して有する基板部材であれば、どのよ
うな基板部材であっても上述したような主尺目盛り４と
副尺目盛り７とを設けることができ、同様の効果が得ら
れる。

【００６７】また、上述した２つの形態を組合わせて実
現することもできる。すなわち、一方基板部材１は主尺
目盛り４を有し、他方基板部材２は、複数のパターン形
成される膜と同時にそれぞれ形成される副尺目盛り７を
有するようにして構成する。これによって、一方基板部
材１に対する他方基板部材２の各パターン膜の位置ずれ
量や方向を評価することができる。

【００６８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、一方およ
び他方アライメントマークを位置合わせして一方および
他方基板部材を貼合わせた後に、基板部材の位置ずれ量
を大掛かりな測定装置を用いずに測定することができ
る、主尺目盛りおよび副尺目盛りを設けるようにしたの
で、測定した位置ずれ量によって基板部材の貼合わせの
位置精度を評価することができる。この結果を用いて以
降の基板の貼合わせ位置を補正すると、高い位置合わせ
精度で基板を貼合わせることができる。このようにして
作成された表示パネルは、高い表示品位が得られ、歩留
りが向上する。

【００６９】また本発明によれば、第１数値群部材、第
１矢符部材、第２数値群部材および第２矢符部材を設け
ることによって、基板部材の詳しい位置ずれ量および方
向が目視で容易に判断できる。

【００７０】また本発明によれば、少なくとも２組の主
尺および副尺目盛りによって、複数方向への基板部材の
位置ずれ量を容易に測定することができ、さらに高精度
に貼合わせ位置を補正すると、高い表示品位の表示パネ
ルを効率良く得ることができる。

【００７１】また本発明によれば、一対の基板部材はと
もに表示電極を備え、アライメントマークおよび目盛り
は表示電極と同じ材料からなるようにしたので、たとえ
ばフォトリソグラフィ法や印刷法などのパターニング法
によってアライメントマーク、目盛りおよび表示電極を
同時に作成することができる。フォトリソグラフィ法を
採用することによって、高精細な加工が可能である。

【００７２】また本発明によれば、第１のパターン膜上
の第２以降のパターン膜の位置ずれ量を主尺目盛りおよ
び副尺目盛りによって容易に測定することができる。測
定結果を用いて、以降の第２以降のパターン膜の形成位
置を調整すると、高い位置合わせ精度の基板部材が得ら
れる。

【００７３】また本発明によれば、第１数値群部材、第
１矢符部材、第２数値群部材および第２矢符部材を設け
ることによって、パターン膜の詳しい位置ずれ量および
方向が目視で容易に判断できる。

【００７４】また本発明によれば、少なくとも２組の主
尺および副尺目盛りによって、複数方向へのパターン膜
の位置ずれ量を容易に測定することができ、さらに高精
度にパターン膜の形成位置を調整することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態である表示パネルの一方
基板部材１と他方基板部材２とを示す平面図である。

【図２】前記基板部材１，２を用いた表示パネルの一例
である液晶表示パネル１１の構成を示す断面図である。

【図３】前記液晶表示パネル１１の製造方法を説明する
ための工程図である。

【図４】所定の被加工基板２５上にフォトレジスト膜を
パターン形成するフォトリソグラフィ法を説明するため
の図である。

【図５】基板の貼合わせ時に用いられる基板貼合わせ装
置３５の簡単な構成を示す図である。

【図６】一方基板部材１が有する主尺目盛り４を拡大し
て示す平面図である。

【図７】他方基板部材２が有する副尺目盛り７を拡大し
て示す平面図である。

【図８】主尺目盛り４と副尺目盛り７とを用いて位置ず
れ量を測定する方法を説明するための図である。

【図９】従来技術であるアライメントマークを示す図で
ある。

【図１０】他の従来技術であるアライメントマーク５
４，５５を示す平面図である。

【図１１】さらに他の従来技術であるアライメントマー
ク５６，５７を示す図である。

【図１２】一般的なノギス６１の構成を示す図である。

【符号の説明】

１一方基板部材２他方基板部材３，６透光性基板４，４ａ〜４ｄ主尺目盛り７，７ａ〜７ｄ副尺目盛り８，８ａ〜８ｈ目盛りの配列方向９，１０アライメントマーク１１液晶表示パネル１５，１８透明電極３５基板貼合わせ装置３６，３７テーブル３８テーブル制御部４１円状部材４２，４３輪状部材７１〜８１，９１〜１０１帯状部材８３数値群部材８４，１０７単位部材１０３第１数値群部材１０４第１矢符部材１０５第２数値群部材１０６第２矢符部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の基板部材間に表示媒体を挟持して
構成される表示パネルにおいて、前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基板部材は、
一方アライメントマークと主尺目盛りとを備え、他方基板部材は、前記一方アライメントマークと位置合
わせされる他方アライメントマークと、基板部材を重ね
たときに前記主尺目盛りと平行に配置され、当該主尺目
盛りとによって貼合わせた後の基板部材の位置ずれ量を
測定する副尺目盛りとを備えることを特徴とする表示パ
ネル。
【請求項２】前記他方基板部材は、前記副尺目盛りに
近接して配置される０から１０までの第１数値群部材と
第１数値群部材の数値の増加する方向に向かって配置さ
れる第１矢符部材と、さらに副尺目盛りに近接し、前記
第１数値群部材とは逆方向に配置される０から１０まで
の第２数値群部材と第２数値群部材の数値の増加する方
向に向かって配置される前記第１矢符部材とは逆方向の
第２矢符部材とを含むことを特徴とする請求項１記載の
表示パネル。
【請求項３】前記表示パネルは、前記主尺および副尺
目盛りを少なくとも２組備え、一方組の主尺および副尺
目盛りと、他方組の主尺および副尺目盛りとは、互いに
直交する方向に配置されることを特徴とする請求項１記
載の表示パネル。
【請求項４】前記一方および他方基板部材のうちの少
なくともいずれか一方基板部材は、透光性を有し、前記一対の基板部材のうちの透光性を有する一方基板部
材は、透光性を有する絶縁性基板と、当該絶縁性基板の
表示媒体側に配置される透明な表示電極とを含んで構成
され、前記一方基板とは異なる他方基板部材は、絶縁性基板
と、当該絶縁性基板の表示媒体側に配置される表示電極
とを含んで構成され、前記主尺目盛りおよび一方アライメントマークは、いず
れか一方絶縁性基板の表示媒体側の表示に寄与しない領
域に配置されるとともに、一方絶縁性基板側の表示電極
と同じ材料からなり、副尺目盛りおよび他方アライメン
トマークは、他方絶縁性基板の表示媒体側の表示に寄与
しない領域に配置されるとともに、他方絶縁性基板側の
表示電極と同じ材料からなることを特徴とする請求項１
記載の表示パネル。
【請求項５】基板上に複数のパターン膜が積層して構
成される基板部材において、第１のパターン膜と同時にパターン形成される主尺目盛
りと、第１のパターン膜上の第２以降のパターン膜と同時にパ
ターン形成され、主尺目盛りと平行に配置され、当該主
尺目盛りとによって第１のパターン膜との位置ずれ量を
測定するための副尺目盛りとを備えることを特徴とする
基板部材。
【請求項６】前記基板部材は、前記副尺目盛りに近接
して配置される０から１０までの第１数値群部材と第１
数値群部材の数値の増加する方向に向かって配置される
第１矢符部材と、さらに副尺目盛りに近接し、前記第１
数値群部材とは逆方向に配置される０から１０までの第
２数値群部材と第２数値群部材の数値の増加する方向に
向かって配置される前記第１矢符部材とは逆方向の第２
矢符部材とを含むことを特徴とする請求項５記載の基板
部材。
【請求項７】前記基板部材は、前記主尺および副尺目
盛りを少なくとも２組備え、一方組の主尺および副尺目
盛りと、他方組の主尺および副尺目盛りとは、互いに直
交する方向に配置されることを特徴とする請求項５記載
の基板部材。