JPH09204984A

JPH09204984A - 有機ｅｌディスプレイの製造方法

Info

Publication number: JPH09204984A
Application number: JP8032819A
Authority: JP
Inventors: Hirofumi Kubota; 広文久保田; Taizo Ishida; 泰三石田
Original assignee: Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Corp
Priority date: 1996-01-26
Filing date: 1996-01-26
Publication date: 1997-08-05

Abstract

(57)【要約】【課題】有機ＥＬディスプレイを製造する場合に、多
種多様な発光色やパターン形状を有する発光機能層を精
度良く形成する方法を提供するものである。【解決手段】陰極と、一または複数の有機物質からな
る複数の発光機能層と、複数の陽極と、透光性基板とを
有する有機ＥＬ素子を複数配列した有機ＥＬディスプレ
イの製造方法であって、有機ＥＬ素子は、一または複数
の有機物質を選択して、複数の陽極にそれぞれ対応して
蒸着し、相異なる発光色を有する複数の発光機能層を形
成する場合に、複数の陽極が取り付けられた透光性基板
上に、予め、発光機能層の蒸発温度よりも低い昇華温度
を有する昇華性物質を塗布した後、複数の陽極のうち所
望する陽極を、昇華性物質が有する昇華温度よりも高い
温度に加熱し、昇華性物質が塗布された領域の内所望す
る陽極に対応する部位を昇華して、所望する陽極に対応
する部位に発光機能層を蒸着積層することにより形成さ
れ、有機ＥＬディスプレイが形成されることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は有機エレクトロルミネセ
ンス素子を用いた有機ＥＬディスプレイの製造方法に関
するものであり、特に複数の陽極を有する基板上に複数
の有機色素を塗り分けて発光機能層を形成する有機ＥＬ
ディスプレイの製造方法に関する。

【０００３】

【０００２】

【０００４】

【従来の技術】従来文字や映像の表示装置のユニットや
画素に用いられている電界発光素子として有機ＥＬ（ｅ
ｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子が知られ
ている。図５は従来のＲＧＢ方式によるフルカラー有機
ＥＬディスプレイ素子の概略断面図である。ＲＧＢ方式
によるフルカラー有機ＥＬディスプレイ素子は透明なガ
ラス基板１０１の表面に透明な陽極１０２ａ、１０２
ｂ、１０２ｃが所定の間隔でライン状に形成され、さら
に陽極１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ上には有機蛍光体
薄膜や有機正孔輸送層等から成る３色（Ｒ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青））の発光色を有する発光機能層１０３
がそれぞれ真空蒸着等により形成されて、さらにその上
には金属からなる陰極１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃが
それぞれ真空蒸着等によって形成されている。

【０００５】

【０００３】また陰極１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃは
スイッチ１０６に接続され、スイッチ１０６と陽極１０
２ａ、１０２ｂ、１０２ｃに接続された駆動源１０５か
ら供給される電圧を適宜切り換えることによって、陰極
と陽極の両極間に位置する発光機能層に電流が流れ、透
明なガラス基板１０１を介してスイッチ動作に応じて調
整された色で発色し表示される。有機ＥＬディスプレイ
はこのフルカラー有機ＥＬディスプレイ素子を複数配列
することにより、多彩な色で文字や映像を表示する画面
を構成する。

【０００６】

【０００４】このように、ＲＧＢ方式によるフルカラー
有機ＥＬディスプレイ素子は様々な発色が可能なよう
に、そのベースとなる色を３色（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青））の発光機能層で構成するので、素子を形成す
る場合に、それぞれの色が重ならないように塗り分ける
必要がある。この塗り分けは、例えば所定の発光色を有
する発光機能層を対応する陽極上に蒸着する場合に、蒸
着する陽極以外の部分をマスキングすることによって生
成され、このマスキングを他の陽極部分にも適用して繰
り返して蒸着を施すことにより、それぞれの色が重なる
のを防止している。

【０００７】また、色分けを行う他の蒸着方法として、
斜め蒸着法があるが、これは、陽極が形成された基板上
に平行に配置したストライプ状の高さ数〜数十μｍの壁
を作製し、引き続き基板上に発光機能層を基板面に対し
斜め方向から蒸着することにより色分けする方法であ
る。

【０００８】

【０００５】

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】近年情報の高密度化多
様化に伴い、有機エレクトロルミネセンス素子を用いた
表示装置においても画素の小型化や種々の発光形状が必
要とされＲＧＢ方式によるフルカラー有機ＥＬディスプ
レイ素子の陽極のパターン加工も精度や多様な形状が要
求されている。

【００１０】

【０００６】ところが、従来のマスキングの方法によ
り、細かいパターンの塗り分けを行おうとすると、マス
ク合わせの精度が要求されパターンの形状や精度には限
界がある。

【００１１】

【０００７】一方、斜め蒸着法は、蒸着される原子、分
子等は直線的に飛ぶので、多色の色分けには適さず、し
かも蒸着のパターンも直線形状以外の細かいパターン生
成にはあまり適していない。

【００１２】

【０００８】本発明は上記の欠点に鑑みてなされたもの
であって、有機ＥＬディスプレイを製造する場合に、多
種多様な発光色やパターン形状を有する発光機能層を精
度良く形成する方法を提供するものである。

【００１３】

【０００９】

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は、陰
極と、一または複数の有機物質からなる複数の発光機能
層と、複数の陽極と、透光性基板とを有する有機ＥＬ素
子を複数配列した有機ＥＬディスプレイの製造方法であ
って、有機ＥＬ素子は、一または複数の有機物質を選択
して、複数の陽極にそれぞれ対応して蒸着し、相異なる
発光色を有する複数の発光機能層を形成する場合に、複
数の陽極が取り付けられた透光性基板上に、予め、発光
機能層の蒸発温度よりも低い昇華温度を有する昇華性物
質を塗布した後、複数の陽極のうち所望する陽極を、昇
華性物質が有する昇華温度よりも高い温度に加熱し、昇
華性物質が塗布された領域の内所望する陽極に対応する
部位を昇華して、所望する陽極に対応する部位に発光機
能層を蒸着積層することにより形成され、有機ＥＬディ
スプレイが形成される方法によって、効果的に解決する
ことができる。

【００１５】

【００１０】

【００１６】

【作用】本発明は、有機ＥＬディスプレイ素子を用いた
有機ＥＬディスプレイの製造において、透光性基板上の
所望する陽極に対応して、所定の発光色を有する有機物
質を積層蒸着する場合に、予め所望する陽極を加熱する
ことにより、透光性基板上にすでに塗布された昇華性物
質が形成する領域の内所望する陽極に対応する部位が昇
華するので、所望する陽極以外の透光性基板上の領域に
おいては、有機物質は昇華性物質によって形成されたマ
スキング層上に蒸着される。蒸着された有機物質はその
後昇華性物質を昇華することにより、マスキングに対応
する部分が剥離され、所望する陽極に対応する部位のみ
がこれを繰り返すことによって、複数の発光機能層を対
応する複数の陽極に蒸着積層して形成することができ
る。

【００１７】

【００１１】

【００１８】

【実施例】次に、本発明の一実施例を図１乃至図２に基
づいて以下に説明する。図１及び図２は、本発明の一実
施例における有機ＥＬディスプレイの製造方法を用い
て、有機ＥＬディスプレイ素子の陽極上に発光機能層が
形成される工程を順次示した断面図であり、図２は図１
の工程の続きを示す。本発明の一実施例における有機Ｅ
Ｌディスプレイの製造方法では、複数の陽極に対応して
有機物質を蒸着する場合に、予め複数の陽極が形成され
た透光性基板面に昇華性を有する物質を塗布し、所望す
る陽極を塗布された物質の昇華温度以上に加熱すること
により、有機物質の蒸着マスキングを形成し、有機物質
の蒸着後に塗布された物質の昇華温度以上に加熱するこ
とにより、マスキングおよび、マスキング上に蒸着され
た有機物質が剥離することに着目して、それぞれの陽極
に対応する発光機能層を蒸着させるようにして有機ＥＬ
ディスプレイ素子を形成している。以下工程順に説明す
る。

【００１９】

【００１２】先ず、透明なガラス基板１の片側全面に陽
極材料からなる陽極層が形成された基板上に、例えばフ
ォトリソグラフィの手法により陽極パターンを形成した
レジストを用いて、エッチングによりガラス基板１上に
ＲＧＢに対応した陽極パターン２ａ、２ｂ、２ｃを形成
する（図１（ａ））。

【００２０】

【００１３】次に、ガラス基板１の陽極が蒸着されてい
る側の表面上に、所定の温度で昇華する物性からなる材
料を全面塗布し、被膜３を形成する（図１（ｂ））。

【００２１】塗布する材料は、例えば、１．１．４．４
−テトラフェニル−１．３−ブタジエン（（Ｃ₆Ｈ₅）
₂Ｃ：ＣＨ−ＣＨ：Ｃ（Ｃ₆Ｈ₅）₂）を用いると、１
３０℃〜１７０℃程度の温度で昇華する。なお、その他
の材料としてＴＴＡや４−（４−ビフェニリル）−２−
メチルチアゾールなどを用いることもできる。

【００２２】

【００１４】次に、陽極２ｂに所定の電流を流し、陽極
２ｂの電流により発生するジュール熱によって陽極２ｂ
を被膜３の昇華温度まで加熱すると、陽極２ｂ上に形成
された部分の被膜３が昇華し消失する（図１（ｃ））。

【００２３】

【００１５】次に、陽極２ｂに流している電流を中止
し、陽極２ｂの温度を有機物質４が蒸着可能な温度まで
下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている側の表
面上において有機物質４を蒸着処理すると、複数の陽極
のうち被膜３を昇華させた陽極（図１（ｃ）では陽極２
ｂ）上および、ガラス基板の表面に残存する被膜３上に
それぞれ有機物質４が積層蒸着される（図１（ｄ））。
ここで有機物質４は、陽極２ｂに対応する発光機能層を
構成する材料である。

【００２４】

【００１６】次に、陽極２ａ、２ｃに所定の電流を流
し、陽極２ａ、２ｃの電流により発生するジュール熱に
よって陽極２ａ、２ｃを被膜３の昇華温度まで加熱する
と、陽極２ａ、２ｃ上に形成された部分の被膜３が昇華
し消失する。このとき、陽極２ａ、２ｃ上に形成された
部分の被膜３に積層された有機物質４は、被膜３が消失
するために陽極２ａ、２ｃから剥離される（図１
（ｅ））。

【００２５】

【００１７】次に、陽極２ａ、２ｃに流している電流を
中止し、陽極２ａ、２ｃの温度を被膜３が蒸着可能な温
度まで下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている
側の表面上に再度、図１（ｂ）と同様に被膜３を形成す
る（図１（ｆ））。

【００２６】次いで、陽極２ａに所定の電流を流し、陽
極２ａ上に形成された部分の被膜３を昇華させて消失さ
せる（図１（ｇ））。

【００２７】

【００１８】次に、陽極２ａに流している電流を中止
し、陽極２ａの温度を有機物質５が蒸着可能な温度まで
下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている側の表
面上において有機物質５を蒸着処理すると、複数の陽極
のうち被膜３を昇華させた陽極（図１（ｇ）では陽極２
ａ）上および、表面に残存する被膜３上にそれぞれ有機
物質５が積層蒸着される（図１（ｈ））。ここで有機物
質５は、陽極２ａに対応する発光機能層を構成する材料
である。

【００２８】

【００１９】次に、陽極２ｂ、２ｃに所定の電流を流
し、陽極２ｂ、２ｃの電流により発生するジュール熱に
よって陽極２ｂ、２ｃを被膜３の昇華温度まで加熱する
と、陽極２ｂ、２ｃ上に形成された部分の被膜３が昇華
し消失する。このとき、陽極２ｂ、２ｃ上に形成された
部分の被膜３に積層された有機物質５は、被膜３が消失
するために陽極２ｂ、２ｃから剥離される（図１
（ｉ））。

【００２９】

【００２０】次に、陽極２ｂ、２ｃに流している電流を
中止し、陽極２ｂ、２ｃの温度を被膜３が蒸着可能な温
度まで下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている
側の表面上に再度、図１（ｂ）と同様に被膜３を形成す
る（図２（ｊ））。

【００３０】次いで陽極２ｃに所定の電流を流し、陽極
２ｃ上に形成された部分の被膜３を昇華させて消失させ
る（図２（ｋ））。

【００３１】

【００２１】次に、陽極２ｃに流している電流を中止
し、陽極２ｃの温度を有機物質６が蒸着可能な温度まで
下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている側の表
面上において有機物質６を蒸着処理すると、複数の陽極
のうち被膜３を昇華させた陽極（図２（ｋ）では陽極２
ｃ）上および、表面に残存する被膜３上にそれぞれ有機
物質６が積層蒸着される（図２（ｌ））。ここで有機物
質６は、陽極２ｃに対応する発光機能層を構成する材料
である。

【００３２】

【００２２】次に、陽極２ａ、２ｂに所定の電流を流
し、陽極２ａ、２ｂの電流により発生するジュール熱に
よって陽極２ａ、２ｂを被膜３の昇華温度まで加熱する
と、陽極２ａ、２ｂ上に形成された部分の被膜３が昇華
し消失する。このとき、陽極２ａ、２ｂ上に形成された
部分の被膜３に積層された有機物質６は、被膜３が消失
するために陽極２ａ、２ｂから剥離される（図２
（ｍ））。

【００３３】

【００２３】次に、ガラス基板１の各陽極間を被膜３の
昇華温度まで加熱すると、ガラス基板１上に塗布された
被膜３が昇華し消失すると共に各陽極間に積層された有
機物質４、５、６はガラス基板１から剥離する。各陽極
間の加熱は、各陽極上に形成された有機物質４、５、６
が蒸発しない温度範囲であれば、ガラス基板１の各陽極
間の部分のみを局所的に加熱しても良いし、ガラス基板
１全体を加熱しても良いし、陽極及び有機物質４、５、
６を含んで加熱しても良い。その際、各陽極に所定の値
の電流を流すことで陽極およびガラス基板１を加熱して
も良いし、ガラス基板１の各陽極間以外の部分を冷却す
ることにより、有機物質４、５、６が蒸発しないように
各陽極および各有機物質の温度上昇を防ぐと共に各陽極
間の部分の温度を局所的に上昇させるようにしてもよ
い。

【００３４】その結果、有機物質４、５、６がそれぞれ
対応する陽極２ａ、２ｂ、２ｃ上に蒸着され、各陽極上
の発光機能層が形成される（図２（ｎ））。

【００３５】

【００２４】以上により、ガラス基板１の各陽極に対応
して発光機能層を形成することができ、さらに各陽極上
に図示しない陰極を積層して有機ＥＬディスプレイに用
いられる有機ＥＬ素子が形成される。

【００３６】なお、図２（ｍ）に示した各陽極間に被膜
３と共に積層される有機物質４、５、６は陽極と陰極の
電極間に配置されないため素子の発光には寄与せず、し
たがって、図２（ｎ）の工程を省略して有機ＥＬ素子を
形成しても良い。

【００３７】

【００２５】なお、本実施例では、所定の有機物質を対
応する陽極に蒸着した後、一旦その他の陽極を全て加熱
して、その都度、その他の陽極上に積層されている有機
物質を昇華性の被膜と共に剥離し、陽極上の昇華性の被
膜を全て消失させるようにしたが、所定の有機物質を対
応する陽極に蒸着した後、次に蒸着しようとする陽極の
みを加熱して、その他の陽極上の被膜を残したまま、蒸
着対象となる陽極面のみを露出させて次の蒸着処理を行
う方法を順次繰り返し、最後に陽極を加熱して、陽極上
に残った不要な昇華性の被膜を不要な有機物質と共に剥
離消失させ、各陽極上の有機物質を露出させて発光機能
層を形成するようにしても良い。

【００３８】

【００２６】また、所定の有機物質を対応する陽極に蒸
着した後、一旦所定の有機物質が蒸着された陽極を含む
全ての陽極を加熱して、その都度、その他の陽極上に積
層されている有機物質を昇華性の被膜と共に剥離するよ
うにしても良い。その場合には、蒸着に用いる有機物質
の蒸発温度は、被膜を形成する材料が昇華する温度より
も高くなるように有機物質及び被膜の材料を設定する必
要があり、陽極の加熱温度は、有機物質の蒸発温度より
も低く、かつ、被膜を形成する材料が昇華する温度より
も高く設定し、被膜のみを昇華させるようにする必要が
ある。例えば被膜３の材料に１．１．４．４−テトラフ
ェニル−１．３−ブタジエンを用いて、陽極に蒸着する
有機物質としてＡｌｑ₃を設定する場合、１．１．４．
４−テトラフェニル−１．３−ブタジエンは１３０℃〜
１７０℃程度の温度で昇華するが、Ａｌｑ₃は１９０℃
でも蒸発しないので、陽極の加熱温度は１３０℃〜１７
０℃程度に設定すれば、１．１．４．４−テトラフェニ
ル−１．３−ブタジエンで形成された被膜のみを昇華さ
せることができ、既に陽極上に蒸着されたＡｌｑ₃から
なる発光機能層が蒸発するのを防ぐことができる。な
お、１．１．４．４−テトラフェニル−１．３−ブタジ
エンで形成された被膜上に蒸着されたＡｌｑ₃は、被膜
の昇華に伴って、ガラス基板から剥離する。

【００３９】

【００２７】また、被膜３を形成する塗布材料は１種類
に限らず、複合的に用いても良いし、各有機物質の蒸発
温度に対応して異なる昇華温度を有する材料を複数用い
ても良い。

【００４０】

【００２８】また、本実施例では、蒸着しようとする陽
極に電流を流し、得られるジュール熱によって陽極を加
熱し、陽極上の被膜の部分を昇華させ、陽極上に積層す
る被膜及び有機物質を消失または剥離させて陽極を露出
させるようにしたが、図３（ａ）〜（ｌ）の工程に示す
ように、ガラス基板１全体を加熱させて被膜３をその都
度全て昇華させて、被膜３および被膜３上に蒸着される
有機物質を消失または剥離するようにしても良い。その
場合、ガラス基板１の加熱は、各陽極上に形成された有
機物質が蒸発しない温度範囲内とし、各陽極に流す電流
によるジュール熱を併用しても良いし、ガラス基板１の
各陽極部分を局所的に冷却する方法を併用しても良い。
図３は、本発明のその他の実施例における有機ＥＬディ
スプレイの製造方法を用いて、有機ＥＬディスプレイ素
子が形成される工程を順次示した断面図である。

【００４１】

【００２９】なお、本実施例においては、有機物質を蒸
着させる場合に、すでに陽極上に蒸着形成された有機物
質上に新たな有機物質が積層されることを防ぐために、
すでに陽極上に蒸着形成された有機物質上に、その都度
予め昇華性の被膜を塗布するようにして新たな有機物質
が積層されても剥離可能なように構成したが、図４に示
す本発明におけるその他の実施例による製造方法を用い
て有機ＥＬディスプレイ素子が形成される工程を示した
断面図に示すように、所定の陽極上に対応する新たな有
機物質を蒸着させる場合に、すでに表面上に有機物質が
蒸着された陽極を加熱して有機物質の温度をあげること
により、既に有機物質が形成された陽極に新たな有機物
質が積層蒸着されるのを防いで製造しても良い。

【００４２】

【００３０】図４（ａ）〜（ｄ）は図１（ａ）〜（ｄ）
と同様の工程であり、図４（ａ）〜（ｄ）の工程によっ
て、陽極２ｂ上および、ガラス基板の表面に残存する被
膜３上にそれぞれ有機物質４が積層蒸着された後、図４
（ｅ）の工程では、陽極２ａ上に形成された部分の被膜
３を消失させて陽極２ａを露出させた後、図４（ｆ）の
工程において、陽極２ｂを有機物質４が蒸発しない程度
の温度に加熱しながら有機物質５の蒸着処理を行うと、
陽極２ｂ上に蒸着形成された有機物質４上の部分には有
機物質５が積層蒸着されない。このため、有機物質５
は、陽極２ｂ上の有機物質４の積層面を除くその他の面
上に積層蒸着されて、陽極２ａ上に有機物質５を蒸着さ
せることができる。

【００４３】

【００３１】次いで、図４（ｇ）において、陽極２ｃを
加熱させて、陽極２ｃ上に積層されて形成されている被
膜３及び有機物質４、５を消失させて陽極２ｃを露出さ
せた後、図４（ｈ）の工程において、陽極２ａを有機物
質５が蒸発しない程度の温度に加熱すると共に、陽極２
ｂを有機物質４が蒸発しない程度の温度に加熱しながら
有機物質６の蒸着処理を行うと、陽極２ａ上に蒸着形成
された有機物質５上の部分及び、陽極２ｂ上に蒸着形成
された有機物質４上の部分には有機物質６が積層蒸着さ
れない。このため、有機物質６は、陽極２ａ上の有機物
質５の積層面および陽極２ｂ上の有機物質４の積層面を
除くその他の面上に積層蒸着されて、陽極２ｃ上に有機
物質６を蒸着させることができる。

【００４４】

【００３２】以上により、図２（ｎ）と同様の工程を経
て、有機物質４、５、６がそれぞれ対応する陽極２ａ、
２ｂ、２ｃ上に蒸着され、各陽極上の発光機能層が形成
することができる（図４（ｉ））。

【００４５】なお、陽極上の有機物質の加熱は、陽極に
電流を流し、そのジュール熱によって行っても良いし、
ガラス基板の陽極が形成された部分を局所的に加熱して
陽極及び有機物質を間接的に加熱するようにしても良
い。

【００４６】

【００３３】

【００４７】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、有
機ＥＬディスプレイ素子を用いた有機ＥＬディスプレイ
の製造において、透光性基板上の所望する陽極に対応し
て、所定の発光色を有する有機物質を積層蒸着する場合
に、予め所望する陽極を加熱することにより、透光性基
板上にすでに塗布された昇華性物質が形成する領域の内
所望する陽極に対応する部位が昇華するので、所望する
陽極以外の透光性基板上の領域においては、有機物質は
昇華性物質によってマスキングされて蒸着され、蒸着さ
れた有機物質はその後昇華性物質を昇華することによ
り、マスキングに対応する部分は剥離され、所望する陽
極に対応する部位のみが残り、蒸着積層される。したが
って、複数の発光機能層を対応する複数の陽極に蒸着積
層して形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における有機ＥＬディスプレ
イの製造方法を用いて、有機ＥＬディスプレイ素子の陽
極上に発光機能層が形成される工程を順次示した断面図
である。

【図２】本発明の一実施例における有機ＥＬディスプレ
イの製造方法を用いて、有機ＥＬディスプレイ素子の陽
極上に発光機能層が形成される工程を順次示した断面図
である（図１の工程の続き）。

【図３】本発明のその他の実施例における有機ＥＬディ
スプレイの製造方法を用いて、有機ＥＬディスプレイ素
子が形成される工程を順次示した断面図である。

【図４】本発明のその他の実施例における有機ＥＬディ
スプレイの製造方法を用いて、有機ＥＬディスプレイ素
子が形成される工程を順次示した断面図である。

【図５】従来のＲＧＢ方式によるフルカラー有機ＥＬデ
ィスプレイ素子の概略断面図である。

【符号の説明】

１・・・・・ガラス基板２ａ・・・・陽極２ｂ・・・・陽極２ｃ・・・・陽極３・・・・・被膜４・・・・・有機物質５・・・・・有機物質６・・・・・有機物質

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年１２月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の詳細な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【０００２】

【０００４】このように、ＲＧＢ方式によるフルカラー
有機ＥＬディスプレイ素子は様々な発色が可能なよう
に、そのベースとなる色を３色（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青））の発光機能層で構成するので、素子を形成す
る場合に、それぞれの色が重ならないように塗り分ける
必要がある。この塗り分けは、例えば所定の発光色を有
する発光機能層を対応する陽極上に蒸着する場合に、蒸
着する陽極以外の部分をマスキングすることによって生
成され、このマスキングを他の陽極部分にも適用して繰
り返して蒸着を施すことにより、それぞれの色が重なる
のを防止している。また、色分けを行う他の蒸着方法と
して、斜め蒸着法があるが、これは、陽極が形成された
基板上に平行に配置したストライプ状の高さ数〜数十μ
ｍの壁を作製し、引き続き基板上に発光機能層を基板面
に対し斜め方向から蒸着することにより色分けする方法
である。

【０００５】

【０００９】

【００１０】

【００１１】

【００１３】次に、ガラス基板１の陽極が蒸着されてい
る側の表面上に、所定の温度で昇華する物性からなる材
料を全面塗布し、被膜３を形成する（図１（ｂ））。塗
布する材料は、例えば、１．１．４．４−テトラフェニ
ル−１．３−ブタジエン（（Ｃ_６Ｈ_５）_２Ｃ：ＣＨ−Ｃ
Ｈ：Ｃ（Ｃ_６Ｈ_５）_２）を用いると、１３０℃〜１７０
℃程度の温度で昇華する。なお、その他の材料としてＴ
ＴＡや４−（４−ビフェニリル）−２−メチルチアゾー
ルなどを用いることもできる。

【００１７】次に、陽極２ａ、２ｃに流している電流を
中止し、陽極２ａ、２ｃの温度を被膜３が蒸着可能な温
度まで下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている
側の表面上に再度、図１（ｂ）と同様に被膜３を形成す
る（図１（ｆ））。次いで、陽極２ａに所定の電流を流
し、陽極２ａ上に形成された部分の被膜３を昇華させて
消失させる（図１（ｇ））。

【００２０】次に、陽極２ｂ、２ｃに流している電流を
中止し、陽極２ｂ、２ｃの温度を被膜３が蒸着可能な温
度まで下げた後、ガラス基板１の陽極が蒸着されている
側の表面上に再度、図１（ｂ）と同様に被膜３を形成す
る（図２（ｊ））。次いで陽極２ｃに所定の電流を流
し、陽極２ｃ上に形成された部分の被膜３を昇華させて
消失させる（図２（ｋ））。

【００２３】次に、ガラス基板１の各陽極間を被膜３の
昇華温度まで加熱すると、ガラス基板１上に塗布された
被膜３が昇華し消失すると共に各陽極間に積層された有
機物質４、５、６はガラス基板１から剥離する。各陽極
間の加熱は、各陽極上に形成された有機物質４、５、６
が蒸発しない温度範囲であれば、ガラス基板１の各陽極
間の部分のみを局所的に加熱しても良いし、ガラス基板
１全体を加熱しても良いし、陽極及び有機物質４、５、
６を含んで加熱しても良い。その際、各陽極に所定の値
の電流を流すことで陽極およびガラス基板１を加熱して
も良いし、ガラス基板１の各陽極間以外の部分を冷却す
ることにより、有機物質４、５、６が蒸発しないように
各陽極および各有機物質の温度上昇を防ぐと共に各陽極
間の部分の温度を局所的に上昇させるようにしてもよ
い。その結果、有機物質４、５、６がそれぞれ対応する
陽極２ａ、２ｂ、２ｃ上に蒸着され、各陽極上の発光機
能層が形成される（図２（ｎ））。

【００２４】以上により、ガラス基板１の各陽極に対応
して発光機能層を形成することができ、さらに各陽極上
に図示しない陰極を積層して有機ＥＬディスプレイに用
いられる有機ＥＬ素子が形成される。なお、図２（ｍ）
に示した各陽極間に被膜３と共に積層される有機物質
４、５、６は陽極と陰極の電極間に配置されないため素
子の発光には寄与せず、したがって、図２（ｎ）の工程
を省略して有機ＥＬ素子を形成しても良い。

【００２６】また、所定の有機物質を対応する陽極に蒸
着した後、一旦所定の有機物質が蒸着された陽極を含む
全ての陽極を加熱して、その都度、その他の陽極上に積
層されている有機物質を昇華性の被膜と共に剥離するよ
うにしても良い。その場合には、蒸着に用いる有機物質
の蒸発温度は、被膜を形成する材料が昇華する温度より
も高くなるように有機物質及び被膜の材料を設定する必
要があり、陽極の加熱温度は、有機物質の蒸発温度より
も低く、かつ、被膜を形成する材料が昇華する温度より
も高く設定し、被膜のみを昇華させるようにする必要が
ある。例えば被膜３の材料に１．１．４．４−テトラフ
ェニル−１．３−ブタジエンを用いて、陽極に蒸着する
有機物質としてＡｌｑ_３を設定する場合、１．１．４．
４−テトラフェニル−１．３−ブタジエンは１３０℃〜
１７０℃程度の温度で昇華するが、Ａｌｑ_３は１９０℃
でも蒸発しないので、陽極の加熱温度は１３０℃〜１７
０℃程度に設定すれば、１．１．４．４−テトラフェニ
ル−１．３−ブタジエンで形成された被膜のみを昇華さ
せることができ、既に陽極上に蒸着されたＡｌｑ_３から
なる発光機能層が蒸発するのを防ぐことができる。な
お、１．１．４．４−テトラフェニル−１．３−ブタジ
エンで形成された被膜上に蒸着されたＡｌｑ_３は、被膜
の昇華に伴って、ガラス基板から剥離する。

【００３０】図４（ａ）〜（ｄ）は図１（ａ）〜（ｄ）
と同様の工程であり、図Ａ（ａ）〜（ｄ）の工程によっ
て、陽極２ｂ上および、ガラス基板の表面に残存する被
膜３上にそれぞれ有機物質４が積層蒸着された後、図４
（ｅ）の工程では、陽極２ａ上に形成された部分の被膜
３を消失させて陽極２ａを露出させた後、図４（ｆ）の
工程において、陽極２ｂを有機物質４が蒸発しない程度
の温度に加熱しながら有機物質５の蒸着処理を行うと、
陽極２ｂ上に蒸着形成された有機物質４上の部分には有
機物質５が積層蒸着されない。このため、有機物質５
は、陽極２ｂ上の有機物質４の積層面を除くその他の面
上に積層蒸着されて、陽極２ａ上に有機物質５を蒸着さ
せることができる。

【００３２】以上により、図２（ｎ）と同様の工程を経
て、有機物質４、５、６がそれぞれ対応する陽極２ａ、
２ｂ、２ｃ上に蒸着され、各陽極上の発光機能層が形成
することができる（図４（ｉ））。なお、陽極上の有機
物質の加熱は、陽極に電流を流し、そのジュール熱によ
って行っても良いし、ガラス基板の陽極が形成された部
分を局所的に加熱して陽極及び有機物質を間接的に加熱
するようにしても良い。

【００３３】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】陰極と、一または複数の有機物質からな
る複数の発光機能層と、複数の陽極と、透光性基板とを
有する有機ＥＬ素子を複数配列した有機ＥＬディスプレ
イの製造方法であって、前記有機ＥＬ素子は、前記一または複数の有機物質を選
択して、前記複数の陽極にそれぞれ対応して蒸着し、相
異なる発光色を有する複数の発光機能層を形成する場合
に、前記複数の陽極が取り付けられた前記透光性基板上に、
前記発光機能層の蒸発温度よりも低い昇華温度を有する
昇華性物質を塗布する工程と、前記複数の陽極のうち所望する陽極を、前記昇華性物質
が有する昇華温度よりも高い温度に加熱し、前記昇華性
物質が塗布された領域の内前記所望する陽極に対応する
部位を昇華する工程と、前記所望する陽極に対応する部位に前記発光機能層を蒸
着積層する工程と、を有し、前記複数の発光機能層を対応する前記複数の陽極に蒸着
積層して形成する有機ＥＬディスプレイの製造方法。