JPH09203688A - レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 - Google Patents
レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置Info
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- JPH09203688A JPH09203688A JP1226196A JP1226196A JPH09203688A JP H09203688 A JPH09203688 A JP H09203688A JP 1226196 A JP1226196 A JP 1226196A JP 1226196 A JP1226196 A JP 1226196A JP H09203688 A JPH09203688 A JP H09203688A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速かつ正確にビーム形状を評価する方法及
び装置を提供する。 【解決手段】 レーザビームの走査線上のビーム位置を
位置検出器７で検出し、制御装置５にてビーム形状測定
器３の移動に対して位置検出器７の位置情報をもとにポ
リゴンミラー６の回転量をフィードバックループ制御す
ることにより、ビーム形状測定器３の所定位置に正確に
レーザビームを入射させてビーム形状を評価し、高速か
つ正確にビーム形状を評価するようにした。
び装置を提供する。 【解決手段】 レーザビームの走査線上のビーム位置を
位置検出器７で検出し、制御装置５にてビーム形状測定
器３の移動に対して位置検出器７の位置情報をもとにポ
リゴンミラー６の回転量をフィードバックループ制御す
ることにより、ビーム形状測定器３の所定位置に正確に
レーザビームを入射させてビーム形状を評価し、高速か
つ正確にビーム形状を評価するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザスキャナユ
ニットにおけるビーム形状を評価するビーム形状評価方
法及び装置に関するものである。
ニットにおけるビーム形状を評価するビーム形状評価方
法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザスキャナユニットの製造過程など
において、レーザスキャナユニットから照射されるレー
ザビームのビーム形状を管理するために、ビーム形状測
定器を用いてビーム形状を評価している。
において、レーザスキャナユニットから照射されるレー
ザビームのビーム形状を管理するために、ビーム形状測
定器を用いてビーム形状を評価している。
【０００３】以下、図５を参照しながら、従来のビーム
形状評価装置の一例について説明する。図５において、
２１はレーザスキャナユニット、２２はポリゴンミラー
２６を回転させる駆動装置、２３はビーム形状測定器、
２４はビーム形状測定器２３を直線状に移動させる位置
決めステージ、２５は駆動装置２２及び位置決めステー
ジ２４の移動量を演算し、制御する機能を有する制御装
置である。
形状評価装置の一例について説明する。図５において、
２１はレーザスキャナユニット、２２はポリゴンミラー
２６を回転させる駆動装置、２３はビーム形状測定器、
２４はビーム形状測定器２３を直線状に移動させる位置
決めステージ、２５は駆動装置２２及び位置決めステー
ジ２４の移動量を演算し、制御する機能を有する制御装
置である。
【０００４】次に、このように構成されたビーム形状評
価装置の動作を説明する。評価対象物であるレーザスキ
ャナユニット２１から照射されるレーザビームは、ポリ
ゴンミラー２６の回転角を変化させることにより位置決
めステージ２４の移動方向と平行かつ重なる軌跡を描く
ように配置されている。よって、ポリゴンミラー２６の
任意の回転角におけるビームの照射位置に対して位置決
めステージ２４を移動させ、ビーム形状測定器２３にレ
ーザビームを入光させることによってビーム形状を測定
し、その測定結果によってビーム形状の評価を行なって
いる。実際には、位置決めステージ２４における任意の
離散的な数箇所の位置においてビーム形状を評価するこ
とが多く、位置決めステージ２４及び制御装置２５を用
いて評価すべき位置にビーム形状測定器２３を移動さ
せ、一方でビーム形状測定器２３の移動量に対応したポ
リゴンミラー２６の回転角を制御装置２５によって演算
し、駆動装置２２を用いてポリゴンミラー２６を回転さ
せることにより、レーザビームをビーム形状測定器２３
に入光させ、測定・評価を行なっていた。
価装置の動作を説明する。評価対象物であるレーザスキ
ャナユニット２１から照射されるレーザビームは、ポリ
ゴンミラー２６の回転角を変化させることにより位置決
めステージ２４の移動方向と平行かつ重なる軌跡を描く
ように配置されている。よって、ポリゴンミラー２６の
任意の回転角におけるビームの照射位置に対して位置決
めステージ２４を移動させ、ビーム形状測定器２３にレ
ーザビームを入光させることによってビーム形状を測定
し、その測定結果によってビーム形状の評価を行なって
いる。実際には、位置決めステージ２４における任意の
離散的な数箇所の位置においてビーム形状を評価するこ
とが多く、位置決めステージ２４及び制御装置２５を用
いて評価すべき位置にビーム形状測定器２３を移動さ
せ、一方でビーム形状測定器２３の移動量に対応したポ
リゴンミラー２６の回転角を制御装置２５によって演算
し、駆動装置２２を用いてポリゴンミラー２６を回転さ
せることにより、レーザビームをビーム形状測定器２３
に入光させ、測定・評価を行なっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の評価方法では以下のような問題があった。評価を行
なうべき位置に移動させたビーム形状測定器２３に対し
てレーザビームを入光させるためには、始めの第１点目
についてはポリゴンミラー２６の駆動装置２２を作業者
が操作してビーム形状測定器２３の位置に対応したポリ
ゴンミラー２６の回転角度を見つけ出すことが必要にな
る。
来の評価方法では以下のような問題があった。評価を行
なうべき位置に移動させたビーム形状測定器２３に対し
てレーザビームを入光させるためには、始めの第１点目
についてはポリゴンミラー２６の駆動装置２２を作業者
が操作してビーム形状測定器２３の位置に対応したポリ
ゴンミラー２６の回転角度を見つけ出すことが必要にな
る。
【０００６】このような操作を自動的に行なうには、ポ
リゴンミラー２６の駆動装置２２を回転させながらビー
ム形状測定器２３の入光判定出力などを用いて入光する
位置を探し出すアルゴリズムを追加することで実現でき
るが、一般に用いられているビーム形状測定器（スリッ
ト走査型のビーム形状測定器：フォトン社のビームスキ
ャンなど）は、その入光判定の応答速度が遅く、探し出
すアルゴリズムに時間を多く必要とする。
リゴンミラー２６の駆動装置２２を回転させながらビー
ム形状測定器２３の入光判定出力などを用いて入光する
位置を探し出すアルゴリズムを追加することで実現でき
るが、一般に用いられているビーム形状測定器（スリッ
ト走査型のビーム形状測定器：フォトン社のビームスキ
ャンなど）は、その入光判定の応答速度が遅く、探し出
すアルゴリズムに時間を多く必要とする。
【０００７】さらに、ビーム形状測定器２３を別の評価
位置に移動させた場合に、ビーム形状測定器２３の移動
距離に応じたポリゴンミラー２６の回転角を制御装置２
５により演算し、ポリゴンミラー２６を回転させるが、
ポリゴンミラー２６の面精度や駆動装置２２とポリゴン
ミラー２６との間の滑りなどによって、レーザービーム
の照射位置とビーム形状測定器２３の位置が必ずしも一
致しないため、ビーム形状測定器２３の測定用入光口の
中からレーザービームが外れ、誤差の発生や測定不能
（作業者による補正作業が必要）が問題となっていた。
位置に移動させた場合に、ビーム形状測定器２３の移動
距離に応じたポリゴンミラー２６の回転角を制御装置２
５により演算し、ポリゴンミラー２６を回転させるが、
ポリゴンミラー２６の面精度や駆動装置２２とポリゴン
ミラー２６との間の滑りなどによって、レーザービーム
の照射位置とビーム形状測定器２３の位置が必ずしも一
致しないため、ビーム形状測定器２３の測定用入光口の
中からレーザービームが外れ、誤差の発生や測定不能
（作業者による補正作業が必要）が問題となっていた。
【０００８】また、多面体の各面について、複数の任意
の走査位置におけるビーム形状を評価するために、作業
者における位置合わせ補正作業は極めて多くの時間を必
要とする。
の走査位置におけるビーム形状を評価するために、作業
者における位置合わせ補正作業は極めて多くの時間を必
要とする。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、高速
かつ正確にビーム形状を評価する方法及び装置を提供す
ることを目的としている。
かつ正確にビーム形状を評価する方法及び装置を提供す
ることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザスキャナ
ユニットのビーム形状評価方法は、レーザビームの走査
線上のビーム位置を位置検出器で検出し、ビーム形状測
定器の移動に対して位置検出器の位置情報をもとにポリ
ゴンミラーの回転量をフィードバックループ制御するこ
とにより、ビーム形状測定器の所定位置に正確にレーザ
ビームを入光させてビーム形状を評価し、高速かつ正確
にビーム形状を評価するものである。
ユニットのビーム形状評価方法は、レーザビームの走査
線上のビーム位置を位置検出器で検出し、ビーム形状測
定器の移動に対して位置検出器の位置情報をもとにポリ
ゴンミラーの回転量をフィードバックループ制御するこ
とにより、ビーム形状測定器の所定位置に正確にレーザ
ビームを入光させてビーム形状を評価し、高速かつ正確
にビーム形状を評価するものである。
【００１１】また、本発明のレーザスキャナユニットの
ビーム形状評価装置は、レーザスキャナユニットのポリ
ゴンミラーを任意の角度に回転させる駆動装置と、レー
ザビーム形状を測定するビーム形状測定器と、ビーム形
状測定器をレーザビームを走査する走査線上の任意の位
置に移動させる位置決め手段と、レーザビームの走査線
上のビームの位置を検出する位置検出器と、レーザスキ
ャナユニットから照射されるレーザビームを位置検出器
とビーム形状測定器に分割するビーム分割手段と、位置
検出器の位置情報をもとにポリゴンミラーの回転量を演
算して駆動装置を制御する制御装置とを備え、ビーム分
割手段で分割したレーザービームの一方を位置検出器に
入光させ、レーザビームのビーム形状測定器の中心から
の位置ずれ情報を用いてフィードバックループ制御して
レーザビームを常時ビーム形状測定器の中心に入光され
るように追従させることにより、上記方法を実施するよ
うにしている。
ビーム形状評価装置は、レーザスキャナユニットのポリ
ゴンミラーを任意の角度に回転させる駆動装置と、レー
ザビーム形状を測定するビーム形状測定器と、ビーム形
状測定器をレーザビームを走査する走査線上の任意の位
置に移動させる位置決め手段と、レーザビームの走査線
上のビームの位置を検出する位置検出器と、レーザスキ
ャナユニットから照射されるレーザビームを位置検出器
とビーム形状測定器に分割するビーム分割手段と、位置
検出器の位置情報をもとにポリゴンミラーの回転量を演
算して駆動装置を制御する制御装置とを備え、ビーム分
割手段で分割したレーザービームの一方を位置検出器に
入光させ、レーザビームのビーム形状測定器の中心から
の位置ずれ情報を用いてフィードバックループ制御して
レーザビームを常時ビーム形状測定器の中心に入光され
るように追従させることにより、上記方法を実施するよ
うにしている。
【００１２】また、ビーム分割手段に代えて、ビーム切
り換え手段を設けてビーム形状評価時にレーザビームを
直接ビーム形状測定器に入光させるようにし、または位
置決め手段にその移動方向と直交する方向の移動手段を
設けてこの移動手段にビーム形状測定器と位置検出器を
配設することにより、ハーフミラーなどのビーム分割手
段による歪みを防ぐことができる。
り換え手段を設けてビーム形状評価時にレーザビームを
直接ビーム形状測定器に入光させるようにし、または位
置決め手段にその移動方向と直交する方向の移動手段を
設けてこの移動手段にビーム形状測定器と位置検出器を
配設することにより、ハーフミラーなどのビーム分割手
段による歪みを防ぐことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図１〜図４を参照して説明する。
て図１〜図４を参照して説明する。
【００１４】図１において、１はレーザスキャナユニッ
ト、２はポリゴンミラー６を回転させる駆動装置、３は
ビーム形状測定器、４はビーム形状測定器３を直線状に
移動させて任意位置に位置決めする位置決めステージ、
５は駆動装置２及び位置決めステージ４の移動量を演算
し、制御する機能を有する制御装置である。
ト、２はポリゴンミラー６を回転させる駆動装置、３は
ビーム形状測定器、４はビーム形状測定器３を直線状に
移動させて任意位置に位置決めする位置決めステージ、
５は駆動装置２及び位置決めステージ４の移動量を演算
し、制御する機能を有する制御装置である。
【００１５】７は位置検出器で、１次元ＰＳＤ（ポジシ
ョンセンシングデバイス）または２次元ＰＳＤ、又はラ
インセンサまたは２次元カメラなどにより構成される。
この中でも、特にＰＳＤは位置フィードバック制御を行
なう際に処理回路が簡単に構成でき、かつ高い応答性が
得られるため利用に適する。特に、１次元ＰＳＤは直線
精度が優れ、小型化でき、かつ処理回路も簡単に構成で
きる点で便利である。
ョンセンシングデバイス）または２次元ＰＳＤ、又はラ
インセンサまたは２次元カメラなどにより構成される。
この中でも、特にＰＳＤは位置フィードバック制御を行
なう際に処理回路が簡単に構成でき、かつ高い応答性が
得られるため利用に適する。特に、１次元ＰＳＤは直線
精度が優れ、小型化でき、かつ処理回路も簡単に構成で
きる点で便利である。
【００１６】この位置検出器７は、ビーム形状測定器３
の中心と位置検出器７の中心点がレーザ走査方向に同一
位置となるようにビーム形状測定器３の側部に配設され
ている。なお、ＰＳＤの長さ及び幅については特に規定
しないが、必要な位置検出精度が得られる範囲内で幅が
広い方がポリゴンミラーの面精度及び組立精度によるば
らつきに対して影響を受けにくくなるので望ましい。
の中心と位置検出器７の中心点がレーザ走査方向に同一
位置となるようにビーム形状測定器３の側部に配設され
ている。なお、ＰＳＤの長さ及び幅については特に規定
しないが、必要な位置検出精度が得られる範囲内で幅が
広い方がポリゴンミラーの面精度及び組立精度によるば
らつきに対して影響を受けにくくなるので望ましい。
【００１７】８はレーザビームをビーム形状測定器３と
位置検出器７に入光させるために２つに分割するハーフ
ミラー等から成るビーム分割手段であり、その他の光学
部品、例えば偏向ビームスプリッタ等を用いることでも
同様の効果が得られる。
位置検出器７に入光させるために２つに分割するハーフ
ミラー等から成るビーム分割手段であり、その他の光学
部品、例えば偏向ビームスプリッタ等を用いることでも
同様の効果が得られる。
【００１８】なお、ビーム形状の評価位置が離散的で、
追従させる時間とビーム形状を測定する時間が同時で無
い場合には、所謂ハーフミラーなどのビーム分割手段８
に代えて、ミラーを用いてそのミラーをレーザビームを
ビーム形状測定器３位置を追従させるときのみ挿入する
ビーム切り換え手段９を設けることもでき、そうすると
ビーム形状測定時にハーフミラー等によるビーム形状の
歪みなどの影響を防止することができる。
追従させる時間とビーム形状を測定する時間が同時で無
い場合には、所謂ハーフミラーなどのビーム分割手段８
に代えて、ミラーを用いてそのミラーをレーザビームを
ビーム形状測定器３位置を追従させるときのみ挿入する
ビーム切り換え手段９を設けることもでき、そうすると
ビーム形状測定時にハーフミラー等によるビーム形状の
歪みなどの影響を防止することができる。
【００１９】また、ビーム分割手段８を挿入する代わり
に、図２に示すように、走査方向と直交する方向の移動
手段１０にビーム形状測定器３と位置検出器７を配設
し、レーザビームがビーム形状測定器３に照射される状
態と位置検出器７に照射される状態とに切り換えること
でも同様の効果が得られる。
に、図２に示すように、走査方向と直交する方向の移動
手段１０にビーム形状測定器３と位置検出器７を配設
し、レーザビームがビーム形状測定器３に照射される状
態と位置検出器７に照射される状態とに切り換えること
でも同様の効果が得られる。
【００２０】次に、ビーム形状測定器３の移動に追従さ
せるための制御装置５の構成について、図３を参照して
説明する。図３（ａ）において、位置検出器７として１
次元ＰＳＤを用いて説明する。１１はＰＳＤインターフ
ェースであり、ＩＶアンプ（電流・電圧変換アンプ）１
３とＡ／Ｄ変換部１４及び位置情報を算出する演算処理
部１５から成り、演算処理部１５ではＰＳＤインターフ
ェース１１から得られる２つの電流情報（電圧情報に変
換されている）を用いて位置情報を算出している。１２
はＮＣ制御部であり、ＰＳＤインターフェース１１から
得られる位置情報をデュアルポートＲＡＭ１６を介して
取得し、ＣＰＵ１７にて、図３（ｂ）に示すように、ポ
リゴンミラー６を駆動しているサーボモータのフィード
バックループ制御における偏差カウンタ１８に対して加
算することによりＰＳＤ中心からの位置ずれを０に収束
させるサーボアルゴリズムを実行する。
せるための制御装置５の構成について、図３を参照して
説明する。図３（ａ）において、位置検出器７として１
次元ＰＳＤを用いて説明する。１１はＰＳＤインターフ
ェースであり、ＩＶアンプ（電流・電圧変換アンプ）１
３とＡ／Ｄ変換部１４及び位置情報を算出する演算処理
部１５から成り、演算処理部１５ではＰＳＤインターフ
ェース１１から得られる２つの電流情報（電圧情報に変
換されている）を用いて位置情報を算出している。１２
はＮＣ制御部であり、ＰＳＤインターフェース１１から
得られる位置情報をデュアルポートＲＡＭ１６を介して
取得し、ＣＰＵ１７にて、図３（ｂ）に示すように、ポ
リゴンミラー６を駆動しているサーボモータのフィード
バックループ制御における偏差カウンタ１８に対して加
算することによりＰＳＤ中心からの位置ずれを０に収束
させるサーボアルゴリズムを実行する。
【００２１】次に、具体実施例について、図４を参照し
て説明する。この装置はレーザスキャナユニットの搬入
から、ポリゴンミラーの任意の一面について走査方向の
任意の一におけるビーム形状の評価を行った後、搬出に
至るまでの一連の動作を全自動で行なうものである。
て説明する。この装置はレーザスキャナユニットの搬入
から、ポリゴンミラーの任意の一面について走査方向の
任意の一におけるビーム形状の評価を行った後、搬出に
至るまでの一連の動作を全自動で行なうものである。
【００２２】図４は、その装置における本発明に関わる
要部のみを簡略化して示している。
要部のみを簡略化して示している。
【００２３】図４において、１はレーザスキャナユニッ
ト、２は駆動装置、３はビーム形状測定器、４は位置決
めステージ、６はポリゴンミラー、７は１次元ＰＳＤか
ら成る位置検出器、１０は移動手段、１１はＰＳＤイン
ターフェース、１２はＮＣ制御部であり、図１、図２、
図３で説明したものと同一である。なお、ＰＳＤインタ
ーフェース１１とＮＣ制御部１２は図１の制御装置５を
構成するものである。
ト、２は駆動装置、３はビーム形状測定器、４は位置決
めステージ、６はポリゴンミラー、７は１次元ＰＳＤか
ら成る位置検出器、１０は移動手段、１１はＰＳＤイン
ターフェース、１２はＮＣ制御部であり、図１、図２、
図３で説明したものと同一である。なお、ＰＳＤインタ
ーフェース１１とＮＣ制御部１２は図１の制御装置５を
構成するものである。
【００２４】
【発明の効果】本発明のレーザスキャナユニットのビー
ム形状評価方法によれば、以上の説明から明らかなよう
に、レーザビームの走査線上のビーム位置を検出器で検
出し、ビーム形状測定器の移動に対して位置検出器の位
置情報をもとにポリゴンミラーの回転量をフィードバッ
クループ制御するので、ビーム形状測定器の所定位置に
正確にレーザビームを入光させてビーム形状を評価し、
高速かつ正確にビーム形状を評価することができる。
ム形状評価方法によれば、以上の説明から明らかなよう
に、レーザビームの走査線上のビーム位置を検出器で検
出し、ビーム形状測定器の移動に対して位置検出器の位
置情報をもとにポリゴンミラーの回転量をフィードバッ
クループ制御するので、ビーム形状測定器の所定位置に
正確にレーザビームを入光させてビーム形状を評価し、
高速かつ正確にビーム形状を評価することができる。
【００２５】また、本発明のレーザスキャナユニットの
ビーム形状評価装置によれば、レーザビームの走査線上
のビームの位置を検出する位置検出器と、レーザスキャ
ナユニットから照射されるレーザビームを位置検出器と
ビーム形状測定器に分割するビーム分割手段と、位置検
出器の位置情報をもとにポリゴンミラーの回転量を演算
して駆動装置を制御する制御装置とを備えているので、
ビーム分割手段で分割したレーザービームの一方を位置
検出器に入光させてレーザビームのビーム形状測定器の
中心からの位置ずれ情報を得ることができ、それを用い
てフィードバックループ制御してレーザビームが常時ビ
ーム形状測定器の中心に入光されるように追従させるこ
とができる。
ビーム形状評価装置によれば、レーザビームの走査線上
のビームの位置を検出する位置検出器と、レーザスキャ
ナユニットから照射されるレーザビームを位置検出器と
ビーム形状測定器に分割するビーム分割手段と、位置検
出器の位置情報をもとにポリゴンミラーの回転量を演算
して駆動装置を制御する制御装置とを備えているので、
ビーム分割手段で分割したレーザービームの一方を位置
検出器に入光させてレーザビームのビーム形状測定器の
中心からの位置ずれ情報を得ることができ、それを用い
てフィードバックループ制御してレーザビームが常時ビ
ーム形状測定器の中心に入光されるように追従させるこ
とができる。
【００２６】また、ビーム分割手段に代えて、ビーム切
り換え手段を設けてビーム形状評価時にレーザビームを
直接ビーム形状測定器に入光させるようにし、または位
置決め手段にその移動方向と直交する方向の移動手段を
設けてこの移動手段にビーム形状測定器と位置検出器を
配設することにより、ハーフミラーなどのビーム分割手
段による歪みを防ぐことができる。
り換え手段を設けてビーム形状評価時にレーザビームを
直接ビーム形状測定器に入光させるようにし、または位
置決め手段にその移動方向と直交する方向の移動手段を
設けてこの移動手段にビーム形状測定器と位置検出器を
配設することにより、ハーフミラーなどのビーム分割手
段による歪みを防ぐことができる。
【図１】本発明の一実施形態のレーザスキャナユニット
のビーム形状評価装置の構成を示す斜視図である。
のビーム形状評価装置の構成を示す斜視図である。
【図２】同実施形態の変形例において、ビーム形状測定
器と位置検出器の位置を切り換える移動手段を示す斜視
図である。
器と位置検出器の位置を切り換える移動手段を示す斜視
図である。
【図３】同実施形態の制御装置の構成を示すブロック図
である。
である。
【図４】同実施形態の具体実施例の要部構成を示す斜視
図である。
図である。
【図５】従来例のレーザスキャナユニットのビーム形状
評価装置の構成図である。
評価装置の構成図である。
１ レーザスキャンユニット ２ 駆動装置 ３ ビーム形状測定器 ４ 位置決めステージ（位置決め手段） ５ 制御装置 ６ ポリゴンミラー ７ 位置検出器 ８ ビーム分割手段 ９ ビーム切り換え手段 １０ 移動手段
Claims (4)
- 【請求項１】 ポリゴンミラーの回転によるレーザビー
ム走査方向の任意位置でのビーム形状をビーム形状測定
器で測定するレーザスキャナユニットにおけるビーム形
状評価方法であって、レーザビームの走査線上のビーム
位置を位置検出器で検出し、ビーム形状測定器の移動に
対して位置検出器の位置情報をもとにポリゴンミラーの
回転量を制御し、ビーム形状測定器の所定位置に正確に
レーザビームを入光させてビーム形状を評価することを
特徴とするレーザスキャナユニットのビーム形状評価方
法。 - 【請求項２】 レーザスキャナユニットにおけるポリゴ
ンミラーの回転によるレーザビーム走査方向の任意位置
でのビーム形状を測定するビーム形状評価装置であっ
て、レーザスキャナユニットのポリゴンミラーを任意の
角度に回転させる駆動装置と、レーザビーム形状を測定
するビーム形状測定器と、ビーム形状測定器をレーザビ
ームを走査する走査線上の任意の位置に移動させる位置
決め手段と、レーザビームの走査線上のビームの位置を
検出する位置検出器と、レーザスキャナユニットから照
射されるレーザビームを位置検出器とビーム形状測定器
に入光させるビーム分割手段と、位置検出器の位置情報
をもとにポリゴンミラーの回転量を演算して駆動装置を
制御する制御装置とを備えたことを特徴とするレーザス
キャナユニットのビーム形状評価装置。 - 【請求項３】 ビーム分割手段に代えて、レーザビーム
を位置検出器とビーム形状測定器に選択的に入光させる
ビーム切り換え手段を設けたことを特徴とする請求項２
記載のレーザスキャナユニットのビーム形状評価装置。 - 【請求項４】 ビーム分割手段に代えて、位置決め手段
にその移動方向と直交する方向の移動手段を設け、この
移動手段にビーム形状測定器と位置検出器を配設したこ
とを特徴とする請求項２記載のレーザスキャナユニット
のビーム形状評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1226196A JPH09203688A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1226196A JPH09203688A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09203688A true JPH09203688A (ja) | 1997-08-05 |
Family
ID=11800438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1226196A Pending JPH09203688A (ja) | 1996-01-26 | 1996-01-26 | レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09203688A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000283886A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系の光スポット測定装置 |
| JP2007163227A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Ricoh Co Ltd | レーザ走査光学系の光学特性測定装置及びその光学特性測定方法 |
| CN100350329C (zh) * | 1998-06-23 | 2007-11-21 | 株式会社理光 | 光束特性评价装置 |
| CN110877456B (zh) * | 2019-12-10 | 2023-08-08 | 杭州德迪智能科技有限公司 | 一种高效率旋转扫描平面成像装置及方法 |
-
1996
- 1996-01-26 JP JP1226196A patent/JPH09203688A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100350329C (zh) * | 1998-06-23 | 2007-11-21 | 株式会社理光 | 光束特性评价装置 |
| JP2000283886A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系の光スポット測定装置 |
| JP2007163227A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Ricoh Co Ltd | レーザ走査光学系の光学特性測定装置及びその光学特性測定方法 |
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