JP2000283886A - 走査光学系の光スポット測定装置 - Google Patents
走査光学系の光スポット測定装置Info
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- JP2000283886A JP2000283886A JP11088154A JP8815499A JP2000283886A JP 2000283886 A JP2000283886 A JP 2000283886A JP 11088154 A JP11088154 A JP 11088154A JP 8815499 A JP8815499 A JP 8815499A JP 2000283886 A JP2000283886 A JP 2000283886A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定時間の短縮、測定の自動化、及び測定精
度の向上を図ることのできる光スポット測定装置を提供
する。 【解決手段】 上記被走査面上に光スポットを走査する
光スポット変位手段２と、上記光スポットを受光する光
センサ５と、該光センサの受光面５ａを被走査面上の測
定ポイントに配置させる光センサ変位手段６と、上記光
センサ５の出力に基づいて光スポット径等を演算する演
算手段１２とを備えると共に、上記光スポット変位手段
２にはその光スポットを測定ポイントに位置制御可能な
測定用駆動手段８としてステッピングモータを外部から
接続した構成である。
度の向上を図ることのできる光スポット測定装置を提供
する。 【解決手段】 上記被走査面上に光スポットを走査する
光スポット変位手段２と、上記光スポットを受光する光
センサ５と、該光センサの受光面５ａを被走査面上の測
定ポイントに配置させる光センサ変位手段６と、上記光
センサ５の出力に基づいて光スポット径等を演算する演
算手段１２とを備えると共に、上記光スポット変位手段
２にはその光スポットを測定ポイントに位置制御可能な
測定用駆動手段８としてステッピングモータを外部から
接続した構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光束を被走
査面上に光スポットとして集光させ、被走査面上を走査
させる走査光学系における光スポット径等を測定する装
置に関するものである。
査面上に光スポットとして集光させ、被走査面上を走査
させる走査光学系における光スポット径等を測定する装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光束を被走査面上に光スポットと
して集光させ角度走査する走査光学系は、レーザプリン
タやデジタル複写機といった各種の画像形成装置に関し
て広く知られている。特に近年、走査光学系による走査
の「高密度化やマルチビーム化」が意図され、光スポッ
ト径の計測には、より高精度・自動化が要求されるよう
になってきている。
して集光させ角度走査する走査光学系は、レーザプリン
タやデジタル複写機といった各種の画像形成装置に関し
て広く知られている。特に近年、走査光学系による走査
の「高密度化やマルチビーム化」が意図され、光スポッ
ト径の計測には、より高精度・自動化が要求されるよう
になってきている。
【０００３】上記光スポットは被走査面上で移動して被
走査面を走査するが、その被走査面上における光スポッ
トの理想的な移動方向を主走査方向と呼び、その主走査
方向に直交する方向を副走査方向と呼ぶことは周知の通
りである。また、光スポットの軌道を「主走査ライン」
と呼ぶ。また、ここで言う「被走査面」は仮想的な平面
であり、実体的には光導電性の感光体の感光面である。
走査面を走査するが、その被走査面上における光スポッ
トの理想的な移動方向を主走査方向と呼び、その主走査
方向に直交する方向を副走査方向と呼ぶことは周知の通
りである。また、光スポットの軌道を「主走査ライン」
と呼ぶ。また、ここで言う「被走査面」は仮想的な平面
であり、実体的には光導電性の感光体の感光面である。
【０００４】光スポット径は走査光学系を構成するレン
ズの特性などにより、主走査ラインの全てにわたって一
定とはなり得ない。したがって、主走査ラインを何点か
に分割し、各々の点での光スポット径を測定することが
一般に行われている。
ズの特性などにより、主走査ラインの全てにわたって一
定とはなり得ない。したがって、主走査ラインを何点か
に分割し、各々の点での光スポット径を測定することが
一般に行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光スポット
径の測定はビームを静止させた状態で行われる。したが
って、光スポット変位手段となる回転多面鏡を用いてビ
ームを走査する走査光学系の場合、光スポットを被走査
面上の所望の主走査位置に正確に集光させるためには、
回転多面鏡を正確な位置に停止させる必要がある。
径の測定はビームを静止させた状態で行われる。したが
って、光スポット変位手段となる回転多面鏡を用いてビ
ームを走査する走査光学系の場合、光スポットを被走査
面上の所望の主走査位置に正確に集光させるためには、
回転多面鏡を正確な位置に停止させる必要がある。
【０００６】しかし、通常、回転多面鏡はモータと直結
しており、数万ｒｐｍで高速回転するような構成になっ
ており、回転多面鏡のモータには、回転多面鏡を正確な
位置に停止させる機能は備わっていない。このため、上
記従来における光スポット径の測定では、ビーム位置を
確認しながら手作業により回転多面鏡を回転させ、目的
の位置に停止させていた。これでは、測定に時間がかか
るばかりか、回転多面鏡の停止位置精度のばらつきも大
きかった。
しており、数万ｒｐｍで高速回転するような構成になっ
ており、回転多面鏡のモータには、回転多面鏡を正確な
位置に停止させる機能は備わっていない。このため、上
記従来における光スポット径の測定では、ビーム位置を
確認しながら手作業により回転多面鏡を回転させ、目的
の位置に停止させていた。これでは、測定に時間がかか
るばかりか、回転多面鏡の停止位置精度のばらつきも大
きかった。
【０００７】そこで、本発明は、上記課題を解決するた
めに考えられたものであり、測定時間の短縮、測定の自
動化、及び測定精度を向上させた光スポット測定装置を
提供することを目的としている。
めに考えられたものであり、測定時間の短縮、測定の自
動化、及び測定精度を向上させた光スポット測定装置を
提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の走査光学系の光スポット測定装置は、レーザ光束を
被走査面上に光スポットとして集光させ、上記被走査面
上の所望の主走査位置における光スポット径等を測定す
る装置であって、上記レーザ光束を角度走査する光スポ
ット変位手段と、上記光スポットを受光する測定用の光
センサと、該光センサの受光面を被走査面上の測定ポイ
ントに配置させる光センサ変位手段と、上記光センサの
受光信号に基づいて光スポット径や中心位置を算出する
制御演算手段と、を備え、さらに、上記光スポット変位
手段には、上記光スポットを所望の主走査位置に停止さ
せるための測定用駆動手段が接続されていることを特徴
としている。
明の走査光学系の光スポット測定装置は、レーザ光束を
被走査面上に光スポットとして集光させ、上記被走査面
上の所望の主走査位置における光スポット径等を測定す
る装置であって、上記レーザ光束を角度走査する光スポ
ット変位手段と、上記光スポットを受光する測定用の光
センサと、該光センサの受光面を被走査面上の測定ポイ
ントに配置させる光センサ変位手段と、上記光センサの
受光信号に基づいて光スポット径や中心位置を算出する
制御演算手段と、を備え、さらに、上記光スポット変位
手段には、上記光スポットを所望の主走査位置に停止さ
せるための測定用駆動手段が接続されていることを特徴
としている。
【０００９】上記光スポット変位手段が、上記測定用駆
動手段とフレキシブルなシャフトにより接続されている
構成にするとよい。また、上記光スポット変位手段が、
上記シャフトに摩擦部材を介して接続されている構成に
するとよい。また、上記光スポット変位手段が、高摩擦
部材を介して接続された構成としてもよい。若しくは上
記光スポット変位手段が、上記シャフトに中・低摩擦部
材を介して接続されている構成としてもよい。
動手段とフレキシブルなシャフトにより接続されている
構成にするとよい。また、上記光スポット変位手段が、
上記シャフトに摩擦部材を介して接続されている構成に
するとよい。また、上記光スポット変位手段が、高摩擦
部材を介して接続された構成としてもよい。若しくは上
記光スポット変位手段が、上記シャフトに中・低摩擦部
材を介して接続されている構成としてもよい。
【００１０】または、上記光スポット変位手段が、上記
シャフトとの間で突起のかみ合いによって接続され、そ
の双方の回転中心間距離を可変とした構成とすることも
できる。
シャフトとの間で突起のかみ合いによって接続され、そ
の双方の回転中心間距離を可変とした構成とすることも
できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施例を説明する。図１は、本発明の光スポット測定装置
の測定部を示す平面図である。図２は、本発明の光スポ
ット測定装置の全体構成の概略を示す側面図である。こ
の走査光学系の光スポット測定装置は、光源としての半
導体レーザ１と、光スポットの位置を変位させる手段と
しての回転多面鏡２と、光学レンズ３，４と、これらを
配置させる走査光学系ユニット７と、測定用の光センサ
５と、光センサ５の変位手段としての移動ステージ６
Ｘ，６Ｙ，６Ｚと、上記回転多面鏡２や移動ステージ等
６を駆動制御するとともに光センサ５の出力から光スポ
ット径を算出する制御演算手段としてのパソコン１２等
と、により構成されている。また、図２に示すように、
本発明に係るこの装置は、専用台９上に配置された走査
光学系ユニット７の外部から測定用駆動手段としてのス
テッピングモータ８をシャフト１３を介して回転多面鏡
２に接続し、このステッピングモータ８により、回転多
面鏡２及びその光スポットの停止位置を高精度に位置制
御可能な構成となっている。
施例を説明する。図１は、本発明の光スポット測定装置
の測定部を示す平面図である。図２は、本発明の光スポ
ット測定装置の全体構成の概略を示す側面図である。こ
の走査光学系の光スポット測定装置は、光源としての半
導体レーザ１と、光スポットの位置を変位させる手段と
しての回転多面鏡２と、光学レンズ３，４と、これらを
配置させる走査光学系ユニット７と、測定用の光センサ
５と、光センサ５の変位手段としての移動ステージ６
Ｘ，６Ｙ，６Ｚと、上記回転多面鏡２や移動ステージ等
６を駆動制御するとともに光センサ５の出力から光スポ
ット径を算出する制御演算手段としてのパソコン１２等
と、により構成されている。また、図２に示すように、
本発明に係るこの装置は、専用台９上に配置された走査
光学系ユニット７の外部から測定用駆動手段としてのス
テッピングモータ８をシャフト１３を介して回転多面鏡
２に接続し、このステッピングモータ８により、回転多
面鏡２及びその光スポットの停止位置を高精度に位置制
御可能な構成となっている。
【００１２】半導体レーザ１は、走査光学系ユニット７
内に設置され、この半導体レーザー１から放出されたレ
ーザービーム（図中において鎖線で示される）は、コリ
メータレンズ及びシリドリカルレンズ３によって、回転
多面鏡２の鏡面に集光される。回転多面鏡２に照射され
たレーザービームは、鏡面で反射してｆθレンズ４を通
過し、被測定面としての像面に相当する位置に配置され
た光センサ５の受光面５ａに集光される。受光処理され
た光センサ５からの出力は、コントローラ１０を経て、
制御演算手段のパソコン１２に取り込まれ、光センサ５
の受光情報信号に基づき、レーザービームの光スポット
径及びその光スポットの中心位置などが算出される。上
記光スポットを受像する測定用の光センサ５としては、
例えば、フォトン社製の「ビームスキャン」のようなス
リットスキャニング方式で光スポット径を測定できるも
のがある。
内に設置され、この半導体レーザー１から放出されたレ
ーザービーム（図中において鎖線で示される）は、コリ
メータレンズ及びシリドリカルレンズ３によって、回転
多面鏡２の鏡面に集光される。回転多面鏡２に照射され
たレーザービームは、鏡面で反射してｆθレンズ４を通
過し、被測定面としての像面に相当する位置に配置され
た光センサ５の受光面５ａに集光される。受光処理され
た光センサ５からの出力は、コントローラ１０を経て、
制御演算手段のパソコン１２に取り込まれ、光センサ５
の受光情報信号に基づき、レーザービームの光スポット
径及びその光スポットの中心位置などが算出される。上
記光スポットを受像する測定用の光センサ５としては、
例えば、フォトン社製の「ビームスキャン」のようなス
リットスキャニング方式で光スポット径を測定できるも
のがある。
【００１３】実際の測定では、主走査ライン（Ｘ方向）
全域から複数の測定ポイントが適宜に選択され、これら
測定ポイントを「所望の主走査位置」として測定が行わ
れる。光センサ５の所望の測定ポイントへの配置はその
３方向の光センサ変位手段としての移動ステージ６Ｘ，
６Ｙ，６Ｚにより設定される。すなわち、光センサ５
は、移動ステージ６Ｘによりレーザービームの主走査領
域で任意の像高方向Ｘに移動でき、また、移動ステージ
６Ｚにより被走査面における副走査方向Ｚへ、移動ステ
ージ６Ｙによりレーザの光軸方向Ｙに複合移動が可能で
ある。こうして測定時にその都度必要とされるポジショ
ンに移動するとともに、光センサ５の受光面５ａは被走
査面に等価な像面に沿って配置される。
全域から複数の測定ポイントが適宜に選択され、これら
測定ポイントを「所望の主走査位置」として測定が行わ
れる。光センサ５の所望の測定ポイントへの配置はその
３方向の光センサ変位手段としての移動ステージ６Ｘ，
６Ｙ，６Ｚにより設定される。すなわち、光センサ５
は、移動ステージ６Ｘによりレーザービームの主走査領
域で任意の像高方向Ｘに移動でき、また、移動ステージ
６Ｚにより被走査面における副走査方向Ｚへ、移動ステ
ージ６Ｙによりレーザの光軸方向Ｙに複合移動が可能で
ある。こうして測定時にその都度必要とされるポジショ
ンに移動するとともに、光センサ５の受光面５ａは被走
査面に等価な像面に沿って配置される。
【００１４】レーザービームは、回転多面鏡２の位置制
御により測定ポイントに配置された上記光センサ５の受
光面５ａにその光スポットを停止させる。このため、図
２に示すように、走査光学系ユニット７内の回転多面鏡
２の上面には光スポットの停止位置を制御するためのス
テッピングモータ８がフレキシブルなシャフト１３によ
り接続されている。こうして行われるステッピングモー
タ８の駆動制御によってその光スポットの位置、すなわ
ち回転多面鏡２の鏡面の停止位置を、自動で遠隔操作で
きるようにしている。
御により測定ポイントに配置された上記光センサ５の受
光面５ａにその光スポットを停止させる。このため、図
２に示すように、走査光学系ユニット７内の回転多面鏡
２の上面には光スポットの停止位置を制御するためのス
テッピングモータ８がフレキシブルなシャフト１３によ
り接続されている。こうして行われるステッピングモー
タ８の駆動制御によってその光スポットの位置、すなわ
ち回転多面鏡２の鏡面の停止位置を、自動で遠隔操作で
きるようにしている。
【００１５】ここでフレキシブルなシャフト１３として
は、例えば、宮井サンフレックス社製の「フレキシブル
シャフト」のように、ワイヤ状の回転シャフトがアウタ
ーチューブ内に収められフレキシブルな方向性を持ちな
がら駆動を伝達するものがある。また、シャフト１３
は、アーム１４により自由に位置決めが可能となってい
る。こうして接続方向に自由度のあるシャフト１３を用
いて接続する構成により、測定装置において、被測定ユ
ニットのタイプが異なりその回転多面鏡２の取付位置が
異なっていても接続できるという汎用性が確保されてい
る。
は、例えば、宮井サンフレックス社製の「フレキシブル
シャフト」のように、ワイヤ状の回転シャフトがアウタ
ーチューブ内に収められフレキシブルな方向性を持ちな
がら駆動を伝達するものがある。また、シャフト１３
は、アーム１４により自由に位置決めが可能となってい
る。こうして接続方向に自由度のあるシャフト１３を用
いて接続する構成により、測定装置において、被測定ユ
ニットのタイプが異なりその回転多面鏡２の取付位置が
異なっていても接続できるという汎用性が確保されてい
る。
【００１６】図３は、回転多面鏡２とシャフト１３との
結合部を拡大して示す側面図で、結合方式の第１実施例
である。回転多面鏡２の上面には両面テープ１５等で接
続軸１６を接着している。そして、この接続軸１６は、
カップリング１７によりシャフト１３側と遊びなく結合
されている。この状態でステッピングモータ８を駆動す
ることにより、回転多面鏡２にシャフト１３等を介して
駆動が伝わり回転多面鏡２の回転により光スポット位置
が変位する。
結合部を拡大して示す側面図で、結合方式の第１実施例
である。回転多面鏡２の上面には両面テープ１５等で接
続軸１６を接着している。そして、この接続軸１６は、
カップリング１７によりシャフト１３側と遊びなく結合
されている。この状態でステッピングモータ８を駆動す
ることにより、回転多面鏡２にシャフト１３等を介して
駆動が伝わり回転多面鏡２の回転により光スポット位置
が変位する。
【００１７】このように遊びなく結合する方式によれ
ば、少なくともステッピングモータ８のピッチと同じ分
解能で回転多面鏡２の停止位置を、手動等によらず自動
的にかつ正確に制御し、光スポットを所望の主走査位置
に設定することが可能となる。
ば、少なくともステッピングモータ８のピッチと同じ分
解能で回転多面鏡２の停止位置を、手動等によらず自動
的にかつ正確に制御し、光スポットを所望の主走査位置
に設定することが可能となる。
【００１８】図４は、回転多面鏡２とシャフト１３の結
合部の第２実施例を示した図である。第２実施例では、
回転多面鏡２の上面にゴムなどの高摩擦部材１８が接触
し、ここに接続軸１６が植設され結合している。この高
摩擦部材１８が、接続軸１６を介してカップリング１７
によりシャフト１３と結合されている。この状態でステ
ッピングモータ８を駆動することにより回転多面鏡２に
駆動が伝わり光スポット位置が変位する。
合部の第２実施例を示した図である。第２実施例では、
回転多面鏡２の上面にゴムなどの高摩擦部材１８が接触
し、ここに接続軸１６が植設され結合している。この高
摩擦部材１８が、接続軸１６を介してカップリング１７
によりシャフト１３と結合されている。この状態でステ
ッピングモータ８を駆動することにより回転多面鏡２に
駆動が伝わり光スポット位置が変位する。
【００１９】この高摩擦部材１８を介した結合方式によ
れば、回転多面鏡２の回転中心と、シャフト１３側との
間に多少の芯ずれ（双方の回転中心間距離）があって
も、回転多面鏡２の上面と高摩擦部材１６の間に滑りが
生じ、芯ずれを吸収するので回転多面鏡２を無理なく駆
動できる。
れば、回転多面鏡２の回転中心と、シャフト１３側との
間に多少の芯ずれ（双方の回転中心間距離）があって
も、回転多面鏡２の上面と高摩擦部材１６の間に滑りが
生じ、芯ずれを吸収するので回転多面鏡２を無理なく駆
動できる。
【００２０】図５は、回転多面鏡２とシャフト１３の結
合部の第３実施例を示した図である。第３実施例では、
回転多面鏡２の上面に接触する摩擦部材としてフェルト
などの中〜低摩擦部材１９を用いている。中〜低摩擦部
材１９は、第２実施例と同様に植設した接続軸１６をカ
ップリング１７によりシャフト１３と結合させている。
合部の第３実施例を示した図である。第３実施例では、
回転多面鏡２の上面に接触する摩擦部材としてフェルト
などの中〜低摩擦部材１９を用いている。中〜低摩擦部
材１９は、第２実施例と同様に植設した接続軸１６をカ
ップリング１７によりシャフト１３と結合させている。
【００２１】この中〜低摩擦部材１９を用いた結合方式
によれば、回転多面鏡２上面と中〜低摩擦部材１９の間
の滑りにより回転多面鏡２と、シャフト１３との間にか
なりの回転中心のずれがあった場合にも、回転多面鏡２
を無理なく駆動でき、しかも、芯出しに精度が要求され
ないのでセッテイング作業が容易となる。またこのよう
に回転多面鏡２に対して低摩擦部材１９が一定の滑りを
生じさせることで、シャフト１３の回転が減速されて回
転多面鏡２へ伝わるため、ステッピングモータ８のピッ
チ以上の分解能で回転多面鏡２を駆動制御でき、停止位
置の精度を向上させることが可能となる。
によれば、回転多面鏡２上面と中〜低摩擦部材１９の間
の滑りにより回転多面鏡２と、シャフト１３との間にか
なりの回転中心のずれがあった場合にも、回転多面鏡２
を無理なく駆動でき、しかも、芯出しに精度が要求され
ないのでセッテイング作業が容易となる。またこのよう
に回転多面鏡２に対して低摩擦部材１９が一定の滑りを
生じさせることで、シャフト１３の回転が減速されて回
転多面鏡２へ伝わるため、ステッピングモータ８のピッ
チ以上の分解能で回転多面鏡２を駆動制御でき、停止位
置の精度を向上させることが可能となる。
【００２２】図６は、回転多面鏡２とシャフト１３の結
合部の第４実施例を示した図である。第４実施例では、
回転多面鏡２の上面には接続軸１６ではなく突起２０を
設ける。この突起２０は、両面テープ等により回転多面
鏡２の中心から大きく外れた周縁付近に設置され、一方
のシャフト１３のカップリング１９にはＬ字アーム２１
が結合されている。このＬ字アーム２１と、上記突起２
０とは、摺動可能にかみ合った状態に支持される。こう
して摺動可能にかみ合った状態でステッピングモータ８
を駆動することにより、回転多面鏡２に駆動が伝わり光
スポット位置が変位する。
合部の第４実施例を示した図である。第４実施例では、
回転多面鏡２の上面には接続軸１６ではなく突起２０を
設ける。この突起２０は、両面テープ等により回転多面
鏡２の中心から大きく外れた周縁付近に設置され、一方
のシャフト１３のカップリング１９にはＬ字アーム２１
が結合されている。このＬ字アーム２１と、上記突起２
０とは、摺動可能にかみ合った状態に支持される。こう
して摺動可能にかみ合った状態でステッピングモータ８
を駆動することにより、回転多面鏡２に駆動が伝わり光
スポット位置が変位する。
【００２３】このように突起が摺動自在にかみ合う結合
方式によれば、回転多面鏡２と、シャフト１３との間に
かなりの芯ずれがあっても、回転多面鏡２を無理なく駆
動でき、しかも、この構成によれば、回転多面鏡２を上
方から加圧しないため、回転多面鏡２の面倒れが発生せ
ず、正確な光スポット径等を測定することができる。
方式によれば、回転多面鏡２と、シャフト１３との間に
かなりの芯ずれがあっても、回転多面鏡２を無理なく駆
動でき、しかも、この構成によれば、回転多面鏡２を上
方から加圧しないため、回転多面鏡２の面倒れが発生せ
ず、正確な光スポット径等を測定することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の走査光学
系の光スポット測定装置は、レーザ光束を被走査面上に
光スポットとして集光させ、上記被走査面上の所望の主
走査位置における光スポット径等を測定する装置であっ
て、上記レーザ光束を角度走査する光スポット変位手段
と、上記光スポットを受光する測定用の光センサと、該
光センサの受光面を被走査面上の測定ポイントに配置さ
せる光センサ変位手段と、上記光センサの受光信号に基
づいて光スポット径や中心位置を算出する制御演算手段
と、を備え、さらに、上記光スポット変位手段には、上
記光スポットを所望の主走査位置に停止させるための測
定用駆動手段が接続されている構成なので、上記光スポ
ット変位手段の停止位置を正確に制御することができ、
測定時間の短縮、測定の自動化、及び測定精度の向上が
図られる。
系の光スポット測定装置は、レーザ光束を被走査面上に
光スポットとして集光させ、上記被走査面上の所望の主
走査位置における光スポット径等を測定する装置であっ
て、上記レーザ光束を角度走査する光スポット変位手段
と、上記光スポットを受光する測定用の光センサと、該
光センサの受光面を被走査面上の測定ポイントに配置さ
せる光センサ変位手段と、上記光センサの受光信号に基
づいて光スポット径や中心位置を算出する制御演算手段
と、を備え、さらに、上記光スポット変位手段には、上
記光スポットを所望の主走査位置に停止させるための測
定用駆動手段が接続されている構成なので、上記光スポ
ット変位手段の停止位置を正確に制御することができ、
測定時間の短縮、測定の自動化、及び測定精度の向上が
図られる。
【００２５】上記光スポット変位手段が、上記測定用駆
動手段とフレキシブルなシャフトにより接続されている
構成によれば、回上記光スポット変位手段の取付位置が
異なる走査光学系の測定に容易に対応でき、測定装置の
汎用性が確保される。
動手段とフレキシブルなシャフトにより接続されている
構成によれば、回上記光スポット変位手段の取付位置が
異なる走査光学系の測定に容易に対応でき、測定装置の
汎用性が確保される。
【００２６】また、上記光スポット変位手段が、上記シ
ャフトに摩擦部材を介して接続されている構成によれ
ば、上記光スポット変位手段とフレキシブルなシャフト
との間に芯ずれがあっても無理なく駆動を伝えられる。
特に、フェルトなどの中〜低摩擦部材を用いれば、かな
りの芯ずれにも対応できるとともに、さらに、上記光ス
ポット変位手段に対する摩擦部材の滑りを利用し上記測
定用駆動手段自体の分解能以上の精度で上記光スポット
変位手段を駆動制御できる。
ャフトに摩擦部材を介して接続されている構成によれ
ば、上記光スポット変位手段とフレキシブルなシャフト
との間に芯ずれがあっても無理なく駆動を伝えられる。
特に、フェルトなどの中〜低摩擦部材を用いれば、かな
りの芯ずれにも対応できるとともに、さらに、上記光ス
ポット変位手段に対する摩擦部材の滑りを利用し上記測
定用駆動手段自体の分解能以上の精度で上記光スポット
変位手段を駆動制御できる。
【００２７】また、上記光スポット変位手段が、高摩擦
部材を介して接続された構成によれば、上記光スポット
変位手段とシャフト間に多少の芯ずれがあっても無理な
く駆動を伝えられるとともに、上記光スポット変位手段
とシャフトとを遊びなく接続できるので、上記測定用駆
動手段の分解能と同等の分解能で確実に駆動制御でき
る。
部材を介して接続された構成によれば、上記光スポット
変位手段とシャフト間に多少の芯ずれがあっても無理な
く駆動を伝えられるとともに、上記光スポット変位手段
とシャフトとを遊びなく接続できるので、上記測定用駆
動手段の分解能と同等の分解能で確実に駆動制御でき
る。
【００２８】また、上記光スポット変位手段が、上記シ
ャフトとの間で突起のかみ合いによって接続され、その
双方の回転中心間距離を可変とした構成によれば、上記
光スポット変位手段と、上記シャフトとの各回転中心の
ずれに拘わらず無理なく確実に駆動を伝えられ、かつ、
上記光スポット変位手段を加圧しないため、鏡面の倒れ
が発生せずに正確な光スポット測定が可能となる。
ャフトとの間で突起のかみ合いによって接続され、その
双方の回転中心間距離を可変とした構成によれば、上記
光スポット変位手段と、上記シャフトとの各回転中心の
ずれに拘わらず無理なく確実に駆動を伝えられ、かつ、
上記光スポット変位手段を加圧しないため、鏡面の倒れ
が発生せずに正確な光スポット測定が可能となる。
【図１】本発明の光スポット測定装置の測定部を示す平
面図である。
面図である。
【図２】本発明の光スポット測定装置の全体構成を示す
側面図である。
側面図である。
【図３】本実施例に係る回転多面鏡と、フレキシブルな
シャフトとの結合部を拡大して示す側面図で、その結合
部の第１実施例を示す図である。
シャフトとの結合部を拡大して示す側面図で、その結合
部の第１実施例を示す図である。
【図４】回転多面鏡とシャフトとの結合部の第２実施例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図５】回転多面鏡とシャフトとの結合部の第３実施例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図６】回転多面鏡とシャフトとの結合部の第４実施例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
２ 光スポット変位手段（回転多面鏡） ５ 光センサ ５ａ 光センサの受光面 ６Ｘ、６Ｙ、６Ｚ 光センサ変位手段 ８ 測定用駆動手段（ステッピングモータ） １２ 制御演算手段（パソコン） １３ フレキシブルなシャフト １８ 高摩擦部材 １９ 中・低摩擦部材 ２０，２１ 突起
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光束を被走査面上に光スポットと
して集光させ、上記被走査面上の所望の主走査位置にお
ける光スポット径等を測定する装置であって、 上記レーザ光束を角度走査する光スポット変位手段と、
上記光スポットを受光する測定用の光センサと、該光セ
ンサの受光面を被走査面上の測定ポイントに配置させる
光センサ変位手段と、上記光センサの受光信号に基づい
て光スポット径や中心位置を算出する制御演算手段と、
を備え、 さらに、上記光スポット変位手段には、上記光スポット
を所望の主走査位置に停止させるための測定用駆動手段
が接続されていることを特徴とする走査光学系の光スポ
ット測定装置。 - 【請求項２】 上記光スポット変位手段が、上記測定用
駆動手段とフレキシブルなシャフトにより接続されてい
ることを特徴とする請求項１記載の走査光学系の光スポ
ット測定装置。 - 【請求項３】 上記光スポット変位手段が、上記シャフ
トに摩擦部材を介して接続されていることを特徴とする
請求項１又は２記載の走査光学系の光スポット測定装
置。 - 【請求項４】 上記光スポット変位手段が、上記シャフ
トに高摩擦部材を介して接続されていることを特徴とす
る請求項３記載の走査光学系の光スポット測定装置。 - 【請求項５】 上記光スポット変位手段が、上記シャフ
トに中・低摩擦部材を介して接続されていることを特徴
とする請求項３記載の走査光学系の光スポット測定装
置。 - 【請求項６】 上記光スポット変位手段が、上記シャフ
トとの間で突起のかみ合いによって接続され、その双方
の回転中心間距離を可変としたことを特徴とする請求項
１から５のいずれかに記載の走査光学系の光スポット測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8815499A JP4001433B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 走査光学系の光スポット測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8815499A JP4001433B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 走査光学系の光スポット測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283886A true JP2000283886A (ja) | 2000-10-13 |
| JP4001433B2 JP4001433B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=13935019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8815499A Expired - Fee Related JP4001433B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 走査光学系の光スポット測定装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4001433B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112414677A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-02-26 | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 | 一种高精度测量光学元件体内光斑大小的测试装置及方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486539A (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-19 | Toshiba Corp | 光ビーム径の測定装置 |
| JPH0628509A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Copal Co Ltd | マルチパタン光スキャニング装置 |
| JPH09203688A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 |
| JPH10268218A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Ricoh Co Ltd | 光書込ユニット |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP8815499A patent/JP4001433B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486539A (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-19 | Toshiba Corp | 光ビーム径の測定装置 |
| JPH0628509A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Copal Co Ltd | マルチパタン光スキャニング装置 |
| JPH09203688A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザスキャナユニットのビーム形状評価方法及び装置 |
| JPH10268218A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Ricoh Co Ltd | 光書込ユニット |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112414677A (zh) * | 2020-11-10 | 2021-02-26 | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 | 一种高精度测量光学元件体内光斑大小的测试装置及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4001433B2 (ja) | 2007-10-31 |
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