JPH0918268A - 表面弾性波素子並びに表面弾性波素子の製造方法 - Google Patents
表面弾性波素子並びに表面弾性波素子の製造方法Info
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- JPH0918268A JPH0918268A JP16385895A JP16385895A JPH0918268A JP H0918268 A JPH0918268 A JP H0918268A JP 16385895 A JP16385895 A JP 16385895A JP 16385895 A JP16385895 A JP 16385895A JP H0918268 A JPH0918268 A JP H0918268A
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- surface acoustic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簾状の入力電極と簾状の出力電極との間の基
板内部を伝搬する電磁波を遮蔽する表面弾性波素子を得
る。 【構成】 基板の一方の面に設けられた簾状の入力電極
２Ａと簾状の出力電極２Ｂとの間の裏面に表面弾性波の
伝搬方向に対して直角方向の基板の端面に至らない程度
に半球状の凹部５を形成する。簾状の入力電極２Ａで電
気信号から変換された表面弾性波は基板表面を伝搬して
簾状の出力電極２Ｂ出力電極２Ｂへ達し、表面弾性波を
電気信号へ変換するが、簾状の入力電極２Ａから表面弾
性波と共に不要な電磁波が発生し、その一部は基板内部
を伝搬して簾状の出力電極２Ｂへ達する。この場合、凹
部５において当該電磁波の大部分遮蔽されるので、不要
な電磁波に対する簾状の入力電極２Ａと簾状の出力電極
２Ｂとの結合が小さくなる。また、基板の端面から離れ
て凹部が形成されるので、基板の強度を維持できる。
板内部を伝搬する電磁波を遮蔽する表面弾性波素子を得
る。 【構成】 基板の一方の面に設けられた簾状の入力電極
２Ａと簾状の出力電極２Ｂとの間の裏面に表面弾性波の
伝搬方向に対して直角方向の基板の端面に至らない程度
に半球状の凹部５を形成する。簾状の入力電極２Ａで電
気信号から変換された表面弾性波は基板表面を伝搬して
簾状の出力電極２Ｂ出力電極２Ｂへ達し、表面弾性波を
電気信号へ変換するが、簾状の入力電極２Ａから表面弾
性波と共に不要な電磁波が発生し、その一部は基板内部
を伝搬して簾状の出力電極２Ｂへ達する。この場合、凹
部５において当該電磁波の大部分遮蔽されるので、不要
な電磁波に対する簾状の入力電極２Ａと簾状の出力電極
２Ｂとの結合が小さくなる。また、基板の端面から離れ
て凹部が形成されるので、基板の強度を維持できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は電磁界による不要な信
号を抑止した表面弾性波素子及び表面弾性波素子の製造
方法に関するものである。
号を抑止した表面弾性波素子及び表面弾性波素子の製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１５は例えば特開平５ー３７２８９号
公報に示された従来の表面弾性波素子の斜視図であり、
図中、１は表面弾性波の伝搬媒体となる圧電体基板、２
Ａは圧電体基板１の表面に設けられた簾状の入力電極、
２Ｂは圧電体基板１の表面に簾状の入力電極２Ａと所定
の間隔を介して設けられた簾状の出力電極、３は簾状の
入力電極２Ａ及び簾状の出力電極２Ｂのそれぞれの電極
に設けられたリード部、４は上記両電極間に設けられた
シールド用の電極である。なお、該シールド用の電極４
はアースされている。
公報に示された従来の表面弾性波素子の斜視図であり、
図中、１は表面弾性波の伝搬媒体となる圧電体基板、２
Ａは圧電体基板１の表面に設けられた簾状の入力電極、
２Ｂは圧電体基板１の表面に簾状の入力電極２Ａと所定
の間隔を介して設けられた簾状の出力電極、３は簾状の
入力電極２Ａ及び簾状の出力電極２Ｂのそれぞれの電極
に設けられたリード部、４は上記両電極間に設けられた
シールド用の電極である。なお、該シールド用の電極４
はアースされている。
【０００３】次に図１５に示した従来の表面弾性波素子
の動作を説明する。図において、簾状の入力電極２Ａの
リード部３に供給された電気信号は表面弾性波に変換さ
れる。この表面弾性波は圧電体基板１の表面を伝搬しな
がら簾状の出力電極２Ｂに到達する。この簾状の出力電
極２Ｂにおいて、表面弾性波は電気信号に変換され、こ
の復元された電気信号は簾状の出力電極２Ｂのリード部
３から取り出される。
の動作を説明する。図において、簾状の入力電極２Ａの
リード部３に供給された電気信号は表面弾性波に変換さ
れる。この表面弾性波は圧電体基板１の表面を伝搬しな
がら簾状の出力電極２Ｂに到達する。この簾状の出力電
極２Ｂにおいて、表面弾性波は電気信号に変換され、こ
の復元された電気信号は簾状の出力電極２Ｂのリード部
３から取り出される。
【０００４】上記のように構成された表面弾性波素子の
本来の信号の伝送は基板１の表面上を伝搬する表面弾性
波を媒体として行なわれるが、実際には、この他に入出
力電極２Ａ、２Ｂの間に電磁界を媒体とする結合があ
り、これによって希望しない信号が伝達される。この電
磁界による結合は空間を介するものと、圧電体基板１の
表面を伝搬するものと、圧電体基板１の内部を伝搬する
ものとに分類されるが、この内、圧電体基板１の表面を
伝搬する電磁界を抑止する手段として、入出力電極２
Ａ、２Ｂ間にアースされたシールド電極４が設けられて
いる。しかし、この場合、基板１の表面上の電磁界はシ
ールド電極４によって抑止されるが、基板１の内部では
依然として電磁界が伝搬しているため、入出力電極間の
電気的結合を遮蔽する効果は得られにくい。なお、空間
を伝搬する電磁界についても遮蔽が必要であるが、この
発明の対象外である為、説明を省略する。
本来の信号の伝送は基板１の表面上を伝搬する表面弾性
波を媒体として行なわれるが、実際には、この他に入出
力電極２Ａ、２Ｂの間に電磁界を媒体とする結合があ
り、これによって希望しない信号が伝達される。この電
磁界による結合は空間を介するものと、圧電体基板１の
表面を伝搬するものと、圧電体基板１の内部を伝搬する
ものとに分類されるが、この内、圧電体基板１の表面を
伝搬する電磁界を抑止する手段として、入出力電極２
Ａ、２Ｂ間にアースされたシールド電極４が設けられて
いる。しかし、この場合、基板１の表面上の電磁界はシ
ールド電極４によって抑止されるが、基板１の内部では
依然として電磁界が伝搬しているため、入出力電極間の
電気的結合を遮蔽する効果は得られにくい。なお、空間
を伝搬する電磁界についても遮蔽が必要であるが、この
発明の対象外である為、説明を省略する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の表面弾性波素子
は以上のように構成されているので、圧電体基板１の内
部を伝搬する電磁界を媒体とする結合を抑止できない。
このため入出力間の電気的結合を遮蔽する効果は得られ
ず、希望しない信号、特に帯域外の周波数の信号が伝達
されるという問題があった。
は以上のように構成されているので、圧電体基板１の内
部を伝搬する電磁界を媒体とする結合を抑止できない。
このため入出力間の電気的結合を遮蔽する効果は得られ
ず、希望しない信号、特に帯域外の周波数の信号が伝達
されるという問題があった。
【０００６】この発明は以上のような問題点を解消する
ためになされたもので、入出力電極間の基板内部を伝達
する電波を遮蔽する表面弾性波素子を得ることを目的と
している。
ためになされたもので、入出力電極間の基板内部を伝達
する電波を遮蔽する表面弾性波素子を得ることを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る表面弾性
波素子は基板の一方の面に設けられ、電気信号を表面弾
性波へ変換する第１の変換手段と、この第１の変換手段
と同一の面に該第１の変換手段と離隔して設けられ、表
面弾性波を電気信号へ変換する第２の変換手段と、上記
一方の面の裏面に上記第１の変換手段と上記第２の変換
手段との間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬方向に対
して直角方向の基板の端面に至らない程度に形成された
凹部と、を備えたものである。
波素子は基板の一方の面に設けられ、電気信号を表面弾
性波へ変換する第１の変換手段と、この第１の変換手段
と同一の面に該第１の変換手段と離隔して設けられ、表
面弾性波を電気信号へ変換する第２の変換手段と、上記
一方の面の裏面に上記第１の変換手段と上記第２の変換
手段との間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬方向に対
して直角方向の基板の端面に至らない程度に形成された
凹部と、を備えたものである。
【０００８】また、別の発明に係る表面弾性波素子は導
体で充填された凹部を備えたものである。
体で充填された凹部を備えたものである。
【０００９】また、別の発明に係る表面弾性波素子はア
ース電位の導電性容器に固着された基板を備えたもので
ある。
ース電位の導電性容器に固着された基板を備えたもので
ある。
【００１０】また、別の発明に係る表面弾性波素子は基
板の第１の変換手段と第２の変換手段との間にアース電
位のシールド導体板を設けたものである。
板の第１の変換手段と第２の変換手段との間にアース電
位のシールド導体板を設けたものである。
【００１１】また、別の発明に係る表面弾性波素子の製
造方法は凹部をフッ酸またはフッ酸アンモニウムなどの
基板が溶解可能なエッチング液またはエッチングガスで
食刻して形成したものである。
造方法は凹部をフッ酸またはフッ酸アンモニウムなどの
基板が溶解可能なエッチング液またはエッチングガスで
食刻して形成したものである。
【００１２】
【作用】この発明に係る表面弾性波素子において、凹部
は基板の一方の面の裏面に上記第１の変換手段と上記第
２の変換手段との間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬
方向に対して直角方向の基板の端面に至らない程度に形
成される。
は基板の一方の面の裏面に上記第１の変換手段と上記第
２の変換手段との間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬
方向に対して直角方向の基板の端面に至らない程度に形
成される。
【００１３】また、別の発明に係る表面弾性波素子にお
いて、凹部は導体で充填される。
いて、凹部は導体で充填される。
【００１４】また、別の発明に係る表面弾性波素子にお
いて、基板はアース電位の導電性容器に固着される。
いて、基板はアース電位の導電性容器に固着される。
【００１５】また、別の発明に係る表面弾性波素子にお
いて、基板の第１の変換手段と第２の変換手段との間に
アース電位のシールド導体板を設ける。
いて、基板の第１の変換手段と第２の変換手段との間に
アース電位のシールド導体板を設ける。
【００１６】また、別の発明に係る表面弾性波素子の製
造方法において、凹部をフッ酸またはフッ酸アンモニウ
ムなどの基板が溶解可能なエッチング液またはエッチン
グガスで食刻して形成する。
造方法において、凹部をフッ酸またはフッ酸アンモニウ
ムなどの基板が溶解可能なエッチング液またはエッチン
グガスで食刻して形成する。
【００１７】
実施例１．図１は本発明に係る表面弾性波素子の一実施
例を示す外形図であり、図１５と同符号は同一又は相当
の機能を示す。図１（ａ）はこの発明に係る表面弾性波
素子の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のIーI断面図、
図１（ｃ）は図１（ａ）の底面図である。図１におい
て、５は圧電体基板１の入力電極２Ａと出力電極２Ｂと
が設けられている面の裏面にこれらの入出力電極相互間
に設けられた断面略半球状の凹部である。但し、この凹
部５は圧電体基板１の側面端まで至らない程度に設け
る。
例を示す外形図であり、図１５と同符号は同一又は相当
の機能を示す。図１（ａ）はこの発明に係る表面弾性波
素子の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のIーI断面図、
図１（ｃ）は図１（ａ）の底面図である。図１におい
て、５は圧電体基板１の入力電極２Ａと出力電極２Ｂと
が設けられている面の裏面にこれらの入出力電極相互間
に設けられた断面略半球状の凹部である。但し、この凹
部５は圧電体基板１の側面端まで至らない程度に設け
る。
【００１８】次に、図１に示した表面弾性波素子の動作
については従来例とほぼ同じである為、説明を省略す
る。なお、入力電極２Ａから発生した不要な電磁界は空
間を介して、あるいは圧電体基板１の表面を介して、あ
るいは圧電体基板１の内部を介して伝搬する。この内、
圧電体基板１の内部を介して伝搬する電磁界は凹部５に
達すると、入出力電極２Ａ、２Ｂの中間部における基板
断面積が小さくなるので、基板断面積を通過する電磁界
と凹部５の空間を伝搬する電磁界とに分かれる。凹部５
から空間に伝わる電磁界は大部分が屈折して外部に逃
げ、しかも誘電率が小さくなるので、入出力電極２Ａ、
２Ｂ間の結合はかなり小さくなる。従って、出力電極２
Ｂへ達する不要な信号はその分抑止される。
については従来例とほぼ同じである為、説明を省略す
る。なお、入力電極２Ａから発生した不要な電磁界は空
間を介して、あるいは圧電体基板１の表面を介して、あ
るいは圧電体基板１の内部を介して伝搬する。この内、
圧電体基板１の内部を介して伝搬する電磁界は凹部５に
達すると、入出力電極２Ａ、２Ｂの中間部における基板
断面積が小さくなるので、基板断面積を通過する電磁界
と凹部５の空間を伝搬する電磁界とに分かれる。凹部５
から空間に伝わる電磁界は大部分が屈折して外部に逃
げ、しかも誘電率が小さくなるので、入出力電極２Ａ、
２Ｂ間の結合はかなり小さくなる。従って、出力電極２
Ｂへ達する不要な信号はその分抑止される。
【００１９】上記のように構成された表面弾性波素子は
圧電体基板１の裏面に凹部５が設けられてある為、不要
な信号が抑止される。従って、本来の信号である圧電体
基板１の表面上を伝搬する表面弾性波が主となり、良好
な周波数特性（特に帯域外減衰量が大きく帯域内リップ
ルが小さい）を得ることができる。また、このとき基板
裏面の凹部が圧電体基板１の側面端に至らないようにす
ることにより、圧電体基板１の強度を劣化させない様に
することが可能である。
圧電体基板１の裏面に凹部５が設けられてある為、不要
な信号が抑止される。従って、本来の信号である圧電体
基板１の表面上を伝搬する表面弾性波が主となり、良好
な周波数特性（特に帯域外減衰量が大きく帯域内リップ
ルが小さい）を得ることができる。また、このとき基板
裏面の凹部が圧電体基板１の側面端に至らないようにす
ることにより、圧電体基板１の強度を劣化させない様に
することが可能である。
【００２０】なお、図２〜図５は凹部の形態のレパート
リを示すものであり、凹部の大きさは入出力電極の幅と
同寸かそれ以上であることが必要である。効果は図１に
示したものと同じである。図２（ａ）は略円筒状の凹部
を有する表面弾性波素子の平面図、図２（ｂ）は図２
（ａ）のIIーII断面図である。また、図３（ａ）は略直
方体状の凹部を有する表面弾性波素子の平面図、図３
（ｂ）は図３（ａ）のIIIーIII断面図である。図４
（ａ）は図３（ａ）の略直方体状凹部を略４５度回転し
た凹部を有する表面弾性波素子の平面図、図４（ｂ）は
図４（ａ）のIVーIV断面図である。図５（ａ）はスリッ
ト状の凹部を有する表面弾性波素子の平面図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のVーV断面図である。
リを示すものであり、凹部の大きさは入出力電極の幅と
同寸かそれ以上であることが必要である。効果は図１に
示したものと同じである。図２（ａ）は略円筒状の凹部
を有する表面弾性波素子の平面図、図２（ｂ）は図２
（ａ）のIIーII断面図である。また、図３（ａ）は略直
方体状の凹部を有する表面弾性波素子の平面図、図３
（ｂ）は図３（ａ）のIIIーIII断面図である。図４
（ａ）は図３（ａ）の略直方体状凹部を略４５度回転し
た凹部を有する表面弾性波素子の平面図、図４（ｂ）は
図４（ａ）のIVーIV断面図である。図５（ａ）はスリッ
ト状の凹部を有する表面弾性波素子の平面図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のVーV断面図である。
【００２１】また、図６は入力電極２Ａを中央部に配置
し、出力電局２Ｂを両端に配置した上、裏面の２つの入
出力電極間の位置に楕円形半球状の凹部５を設けた圧電
体基板１の外形図である。効果は図１に示したものと同
じである。図６（ａ）は上記に示した表面弾性波素子の
平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のVIーVI断面図であ
る。
し、出力電局２Ｂを両端に配置した上、裏面の２つの入
出力電極間の位置に楕円形半球状の凹部５を設けた圧電
体基板１の外形図である。効果は図１に示したものと同
じである。図６（ａ）は上記に示した表面弾性波素子の
平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のVIーVI断面図であ
る。
【００２２】また、図７〜図８は４つの電極を基板１の
４隅に設け、これらの電極相互間の裏面に略半球状の凹
部を４つ設けた圧電体基板１の外形図である。効果は図
１に示したものと同じである。また、図９は４つの電極
を基板１の４隅に設け、これらの電極相互間の裏面に図
７〜図８に示した略半球状の４つの凹部を結合して形成
される略十字状の凹部を設けた圧電体基板１の外形図で
ある。効果は図１に示したものと同じである。上記に凹
部の形状について説明したが、基板内部を伝達する電磁
波を妨げるような凹部であれば凹部の形状はこれにこだ
わらないことはいうまでもない。
４隅に設け、これらの電極相互間の裏面に略半球状の凹
部を４つ設けた圧電体基板１の外形図である。効果は図
１に示したものと同じである。また、図９は４つの電極
を基板１の４隅に設け、これらの電極相互間の裏面に図
７〜図８に示した略半球状の４つの凹部を結合して形成
される略十字状の凹部を設けた圧電体基板１の外形図で
ある。効果は図１に示したものと同じである。上記に凹
部の形状について説明したが、基板内部を伝達する電磁
波を妨げるような凹部であれば凹部の形状はこれにこだ
わらないことはいうまでもない。
【００２３】また、図１０はこの発明に係る表面弾性波
素子の別の実施例を示す外形図であり、図中、図１と同
符号は同一または相当部分である。図１０において、７
は入力電極２Ａと出力電極２Ｂとを囲む反射器７であ
る。この場合も、裏面の入出力電極間の位置に凹部５が
を設けられており、効果は図１に示した以外に弾性表面
波がより正確に出力側に到達するという効果を奏する。
素子の別の実施例を示す外形図であり、図中、図１と同
符号は同一または相当部分である。図１０において、７
は入力電極２Ａと出力電極２Ｂとを囲む反射器７であ
る。この場合も、裏面の入出力電極間の位置に凹部５が
を設けられており、効果は図１に示した以外に弾性表面
波がより正確に出力側に到達するという効果を奏する。
【００２４】実施例２．図１１はこの発明に係る表面弾
性波素子の別の実施例を示す外形図及び断面図であり、
図中、図１と同符号は同一または相当部分である。図１
１（ａ）はこの発明に係る表面弾性波素子の平面図、図
１１（ｂ）は図１１（ａ）のXIーXI断面図である。図１
１において、８は圧電体基板１の裏面に設けられた凹部
５に充填された導電体である。
性波素子の別の実施例を示す外形図及び断面図であり、
図中、図１と同符号は同一または相当部分である。図１
１（ａ）はこの発明に係る表面弾性波素子の平面図、図
１１（ｂ）は図１１（ａ）のXIーXI断面図である。図１
１において、８は圧電体基板１の裏面に設けられた凹部
５に充填された導電体である。
【００２５】図２に示す表面弾性波素子の動作について
は実施例１と同様である為、説明を省略する。
は実施例１と同様である為、説明を省略する。
【００２６】この構成によれば、導電体８によって圧電
体基板１の凹部５を充填したので、実施例１と同等の周
波数特性を維持しながら実施例１よりも基板の強度を強
化できるという効果を奏する。
体基板１の凹部５を充填したので、実施例１と同等の周
波数特性を維持しながら実施例１よりも基板の強度を強
化できるという効果を奏する。
【００２７】実施例３．また、図１２はこの発明に係る
表面弾性波素子の別の実施例を示す外形図及び断面図で
あり、図中、図１と同符号は同一または相当部分であ
る。図１２（ａ）は平面図、図１２（ｂ）は断面図であ
る。図１２において、９は圧電体基板１を格納するきょ
う体、１０は圧電体基板１の凹部５側の面ときょう体９
との間に挟着される導電性固着物である。
表面弾性波素子の別の実施例を示す外形図及び断面図で
あり、図中、図１と同符号は同一または相当部分であ
る。図１２（ａ）は平面図、図１２（ｂ）は断面図であ
る。図１２において、９は圧電体基板１を格納するきょ
う体、１０は圧電体基板１の凹部５側の面ときょう体９
との間に挟着される導電性固着物である。
【００２８】図１２に示す表面弾性波素子の動作につい
ては実施例１と同様である為、説明を省略する。
ては実施例１と同様である為、説明を省略する。
【００２９】この構成によれば、圧電体基板１の凹部５
側の面がアース電位の導電性固着物１０によって覆われ
るので、電磁界結合を実施例１よりもさらに抑止するこ
とができるという効果を奏する。
側の面がアース電位の導電性固着物１０によって覆われ
るので、電磁界結合を実施例１よりもさらに抑止するこ
とができるという効果を奏する。
【００３０】実施例４．また、図１３はこの発明に係る
表面弾性波素子の別の実施例を示す外形図であり、図
中、図１と同符号は同一または相当部分である。図１３
（ａ）は平面図、図１３（ｂ）は断面図である。
表面弾性波素子の別の実施例を示す外形図であり、図
中、図１と同符号は同一または相当部分である。図１３
（ａ）は平面図、図１３（ｂ）は断面図である。
【００３１】図１３に示す表面弾性波素子の動作につい
ては実施例１と同様である為、説明を省略する。
ては実施例１と同様である為、説明を省略する。
【００３２】この構成によれば、圧電体基板１の凹部５
側の面がアース電位の導電性固着物１０によって覆われ
るので、電磁界結合を実施例１よりも抑止することがで
きるという効果を奏する。また、導電体８によって圧電
体基板１の凹部５を充填したので、実施例１と同等の周
波数特性を維持しながら実施例１よりも基板の強度を強
化できるという効果を奏する。
側の面がアース電位の導電性固着物１０によって覆われ
るので、電磁界結合を実施例１よりも抑止することがで
きるという効果を奏する。また、導電体８によって圧電
体基板１の凹部５を充填したので、実施例１と同等の周
波数特性を維持しながら実施例１よりも基板の強度を強
化できるという効果を奏する。
【００３３】実施例５．また、図１４はこの発明に係る
表面弾性波素子の別の実施例を示す外形図であり、図
中、図１と同符号は同一または相当部分である。図１５
（ａ）は平面図、図１５（ｂ）は断面図である。図１５
において、４はシールド用電極である。
表面弾性波素子の別の実施例を示す外形図であり、図
中、図１と同符号は同一または相当部分である。図１５
（ａ）は平面図、図１５（ｂ）は断面図である。図１５
において、４はシールド用電極である。
【００３４】図５に示す表面弾性波素子の動作について
は実施例１と同様である為、説明を省略する。
は実施例１と同様である為、説明を省略する。
【００３５】この構成によれば、圧電体基板１の入力電
極２Ａと出力電極２Ｂとの間の表面を伝送する電磁界を
シールド用電極４によって抑止するので、電磁界結合を
実施例１よりも抑止することができるという効果を奏す
る。
極２Ａと出力電極２Ｂとの間の表面を伝送する電磁界を
シールド用電極４によって抑止するので、電磁界結合を
実施例１よりも抑止することができるという効果を奏す
る。
【００３６】なお、この発明に係る表面弾性波素子の製
造方法として、基板の表面に写真製版技術等でパターン
化されたレジストをマスクにエッチングすることによ
り、様々な形状の凹部を自由に設けることができる。
造方法として、基板の表面に写真製版技術等でパターン
化されたレジストをマスクにエッチングすることによ
り、様々な形状の凹部を自由に設けることができる。
【００３７】また、圧電体基板１の表面にドリル刃等に
よる切削あるいは砥粒等により研磨することにより、凹
部を設けてもよい。
よる切削あるいは砥粒等により研磨することにより、凹
部を設けてもよい。
【００３８】
【発明の効果】この発明によれば、凹部は基板の一方の
面の裏面に上記第１の変換手段と上記第２の変換手段と
の間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬方向に対して直
角方向の基板の端面に至らない程度に形成されるので、
上記基板の強度を維持しながら良好な周波数特性（特に
帯域外減衰量が大きく帯域内リップルが小さい）を得る
ことができるという効果を奏する。
面の裏面に上記第１の変換手段と上記第２の変換手段と
の間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬方向に対して直
角方向の基板の端面に至らない程度に形成されるので、
上記基板の強度を維持しながら良好な周波数特性（特に
帯域外減衰量が大きく帯域内リップルが小さい）を得る
ことができるという効果を奏する。
【００３９】また、別の発明によれば、凹部は導体で充
填されるので、さらに基板の強度を強化できるという効
果を奏する。
填されるので、さらに基板の強度を強化できるという効
果を奏する。
【００４０】また、別の発明によれば、基板はアース電
位の導電性容器に固着されたので、電磁界結合をさらに
抑止することができるという効果を奏する。
位の導電性容器に固着されたので、電磁界結合をさらに
抑止することができるという効果を奏する。
【００４１】また、別の発明によれば、基板の第１の変
換手段と第２の変換手段との間にアース電位のシールド
導体板を設けたので、電磁界結合をさらに抑止すること
ができるという効果を奏する。
換手段と第２の変換手段との間にアース電位のシールド
導体板を設けたので、電磁界結合をさらに抑止すること
ができるという効果を奏する。
【００４２】また、別の発明によれば、凹部をフッ酸ま
たはフッ酸アンモニウムなどの基板が溶解可能なエッチ
ング液またはエッチングガスで食刻して形成したので、
様々な形状の凹部を自由に設けることができるという効
果を奏する。
たはフッ酸アンモニウムなどの基板が溶解可能なエッチ
ング液またはエッチングガスで食刻して形成したので、
様々な形状の凹部を自由に設けることができるという効
果を奏する。
【図１】 本発明の一実施例を示す表面弾性波素子の外
形図である。
形図である。
【図２】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図３】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図４】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図５】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図６】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図７】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図８】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図９】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子の
外形図である。
外形図である。
【図１０】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子
の外形図である。
の外形図である。
【図１１】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子
の外形図である。
の外形図である。
【図１２】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子
の外形図である。
の外形図である。
【図１３】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子
の外形図である。
の外形図である。
【図１４】 本発明の別の実施例を示す表面弾性波素子
の外形図である。
の外形図である。
【図１５】 従来の表面弾性波素子の斜視図である。
１ 圧電体基板 ２ 入力電極 ３ 出力電極 ４ シールド電極 ５ 凹部 ８ 導電体 ９ パッケージ １０ 導電性固着物
Claims (5)
- 【請求項１】 基板の一方の面に設けられ、電気信号を
表面弾性波へ変換する第１の変換手段と、この第１の変
換手段と同一の面に該第１の変換手段と離隔して設けら
れ、表面弾性波を電気信号へ変換する第２の変換手段
と、上記一方の面の裏面に上記第１の変換手段と上記第
２の変換手段との間に設けられ、上記表面弾性波の伝搬
方向に対して直角方向の基板の端面に至らない程度に形
成された凹部と、を備えたことを特徴とする表面弾性波
素子。 - 【請求項２】 凹部は導体で充填されることを特徴とす
る請求項１記載の表面弾性波素子。 - 【請求項３】 基板は導電性容器に固着されたことを特
徴とする請求項１及び請求項２記載の表面弾性波素子。 - 【請求項４】 基板の第１の変換手段と第２の変換手段
との間にシールド導体板を設けたことを特徴とする請求
項１〜請求項３記載の表面弾性波素子 - 【請求項５】 凹部をフッ酸またはフッ酸アンモニウム
などの基板が溶解可能なエッチング液またはエッチング
ガスで食刻して形成したことを特徴とする請求項１〜請
求項４記載の表面弾性波素子の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16385895A JPH0918268A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 表面弾性波素子並びに表面弾性波素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16385895A JPH0918268A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 表面弾性波素子並びに表面弾性波素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0918268A true JPH0918268A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15782102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16385895A Pending JPH0918268A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 表面弾性波素子並びに表面弾性波素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0918268A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113465488A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-10-01 | 上海交通大学 | 一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列装置及检测方法 |
| WO2022014440A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1995
- 1995-06-29 JP JP16385895A patent/JPH0918268A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022014440A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| CN113465488A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-10-01 | 上海交通大学 | 一种用于测量壁面液膜厚度的叉指阵列装置及检测方法 |
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