JPH09181008A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH09181008A JPH09181008A JP7336296A JP33629695A JPH09181008A JP H09181008 A JPH09181008 A JP H09181008A JP 7336296 A JP7336296 A JP 7336296A JP 33629695 A JP33629695 A JP 33629695A JP H09181008 A JPH09181008 A JP H09181008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- tube
- boat
- manufacturing apparatus
- furnace tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】炉心管内をマザーボートが直進できるようにし
て、半導体ウェハのボートからの落下やボートの転倒を
防止する。 【解決手段】炉心管１の内側にマザーボート３の車輪６
の間隔に合わせて、２本の耐熱性の一端が封止された円
筒状のパイプ２をガイド用に設置し、その封止部が炉心
管１の内部に来るようにパイプ２を設置し、さらにこの
パイプ２を炉心管１のガス導入口７側で炉心管１を貫通
するように設置し、このパイプ２が設置された部分が下
方に位置するようにして、炉心管１を図示されていない
熱処理炉に装着する。
て、半導体ウェハのボートからの落下やボートの転倒を
防止する。 【解決手段】炉心管１の内側にマザーボート３の車輪６
の間隔に合わせて、２本の耐熱性の一端が封止された円
筒状のパイプ２をガイド用に設置し、その封止部が炉心
管１の内部に来るようにパイプ２を設置し、さらにこの
パイプ２を炉心管１のガス導入口７側で炉心管１を貫通
するように設置し、このパイプ２が設置された部分が下
方に位置するようにして、炉心管１を図示されていない
熱処理炉に装着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハを
熱処理する半導体製造装置に関する。
熱処理する半導体製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハへの不純物原子の拡散や酸
化膜付けなどで使用される半導体製造装置では、半導体
ウェハを熱処理する熱処理炉に用いる炉心管はガス導入
部を備えた円筒状をしており、その中に半導体ウェハを
積載したボート（支持体）が、炉心管との摩擦を低減す
るために車輪の付いたマザーボート（運搬台）に乗せら
れ、炉心管に挿入され、熱処理に最適な位置まで運ば
れ、半導体ウェハが熱処理されていた。
化膜付けなどで使用される半導体製造装置では、半導体
ウェハを熱処理する熱処理炉に用いる炉心管はガス導入
部を備えた円筒状をしており、その中に半導体ウェハを
積載したボート（支持体）が、炉心管との摩擦を低減す
るために車輪の付いたマザーボート（運搬台）に乗せら
れ、炉心管に挿入され、熱処理に最適な位置まで運ば
れ、半導体ウェハが熱処理されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の炉心管では、マ
ザーボートによって半導体ウェハを挿入する際、炉心管
に歪みや傾きがある場合やマザーボートにねじれや炉心
管と車輪との当たり具合が悪い場合にはマザーボートが
炉心管内を直進できず、螺旋状に移動し、半導体ウェハ
が落下したり、半導体ウェハを積載したボートが転倒し
たりするという不都合が生じる。
ザーボートによって半導体ウェハを挿入する際、炉心管
に歪みや傾きがある場合やマザーボートにねじれや炉心
管と車輪との当たり具合が悪い場合にはマザーボートが
炉心管内を直進できず、螺旋状に移動し、半導体ウェハ
が落下したり、半導体ウェハを積載したボートが転倒し
たりするという不都合が生じる。
【０００４】この発明の目的は、炉心管内をマザーボー
トが直進できるようにして、半導体ウェハのボートから
の落下やボートの転倒を防止できる半導体製造装置を提
供することにある。
トが直進できるようにして、半導体ウェハのボートから
の落下やボートの転倒を防止できる半導体製造装置を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、半導体ウェハを支持体にセットし、該支持体を車
輪付き運搬台に乗せ、炉心管内に運搬台を挿入し、半導
体ウェハを熱処理する半導体製造装置において、炉心管
内を前記の運搬台が直進するように、車輪をガイドする
ガイド管を具備する構成とする。この車輪を挟むように
２本のガイド管が設置されるとよい。またガイド管がガ
イド管が一端封止の円筒体（パイプ）であり、かつ、ガ
イド管が炉心管のガス導入口側で炉心管を貫通して設置
され、さらにガイド管の封止部が炉心管内に位置するよ
うにガイド管が設置されると効果的である。
めに、半導体ウェハを支持体にセットし、該支持体を車
輪付き運搬台に乗せ、炉心管内に運搬台を挿入し、半導
体ウェハを熱処理する半導体製造装置において、炉心管
内を前記の運搬台が直進するように、車輪をガイドする
ガイド管を具備する構成とする。この車輪を挟むように
２本のガイド管が設置されるとよい。またガイド管がガ
イド管が一端封止の円筒体（パイプ）であり、かつ、ガ
イド管が炉心管のガス導入口側で炉心管を貫通して設置
され、さらにガイド管の封止部が炉心管内に位置するよ
うにガイド管が設置されると効果的である。
【０００６】前記の構成とすることで、半導体ウェハを
炉心管に挿入する際、ボートが螺旋状に進むことがな
く、直進できる。
炉心管に挿入する際、ボートが螺旋状に進むことがな
く、直進できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の一実施例の要部
構成図で、同図（ａ）は側面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）を矢印Ａからみた正面図である。炉芯管１の内側
にマザーボート３の車輪６の間隔に合わせて、２本の耐
熱性の一端が封止された円筒状のパイプ２をガイド用に
設置し、その封止部が炉心管１の内部に来るようにパイ
プ２を設置し、さらにこのパイプ２を炉心管１のガス導
入口７側で炉心管１を貫通するように設置し、このパイ
プ２が設置された部分が下方に位置するようにして、炉
芯管１を図示されていない熱処理炉に装着する。この２
本のパイプ２でマザーボート３は直進し、半導体ウェハ
５がボート４から落下することもなく、またマザーボー
ト３上でボート４が転倒することもない。またこのパイ
プ２内に熱電対を挿入して、熱処理時の炉芯管内温度を
正確に検出し熱処理炉の温度を正確に制御することもで
きる。さらにパイプ２を設置することで、経時変化で発
生した歪みを有する炉芯管１でも使用でき、炉心管１の
交換頻度を大幅に低減でき、炉心管１の使用率を上げる
ことができる。尚、パイプの材質は１２００℃以上に耐
えられる石英や炭化ケイ素（ＳｉＣ）などである。
構成図で、同図（ａ）は側面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）を矢印Ａからみた正面図である。炉芯管１の内側
にマザーボート３の車輪６の間隔に合わせて、２本の耐
熱性の一端が封止された円筒状のパイプ２をガイド用に
設置し、その封止部が炉心管１の内部に来るようにパイ
プ２を設置し、さらにこのパイプ２を炉心管１のガス導
入口７側で炉心管１を貫通するように設置し、このパイ
プ２が設置された部分が下方に位置するようにして、炉
芯管１を図示されていない熱処理炉に装着する。この２
本のパイプ２でマザーボート３は直進し、半導体ウェハ
５がボート４から落下することもなく、またマザーボー
ト３上でボート４が転倒することもない。またこのパイ
プ２内に熱電対を挿入して、熱処理時の炉芯管内温度を
正確に検出し熱処理炉の温度を正確に制御することもで
きる。さらにパイプ２を設置することで、経時変化で発
生した歪みを有する炉芯管１でも使用でき、炉心管１の
交換頻度を大幅に低減でき、炉心管１の使用率を上げる
ことができる。尚、パイプの材質は１２００℃以上に耐
えられる石英や炭化ケイ素（ＳｉＣ）などである。
【０００８】
【発明の効果】この発明によると、炉心管にガイド用の
パイプを設置することで、マザーボートが炉心管内を直
進でき、半導体ウェハの落下や半導体ウェハを積載した
ボートの転倒を防止できる。またパイプに熱電対を装着
することで炉心管内の温度を検出し、熱処理炉の温度を
正確に制御することができる。
パイプを設置することで、マザーボートが炉心管内を直
進でき、半導体ウェハの落下や半導体ウェハを積載した
ボートの転倒を防止できる。またパイプに熱電対を装着
することで炉心管内の温度を検出し、熱処理炉の温度を
正確に制御することができる。
【図１】この発明の一実施例の要部構成図で、（ａ）は
側面図、（ｂ）は（ａ）を矢印Ａからみた正面図
側面図、（ｂ）は（ａ）を矢印Ａからみた正面図
１ 炉心管 ２ パイプ ３ マザーボート ４ ボート ５ 半導体ウェハ ６ 車輪 ７ ガス導入口
Claims (3)
- 【請求項１】半導体ウェハを支持体にセットし、該支持
体を車輪付き運搬台に乗せ、炉心管内に運搬台を挿入
し、半導体ウェハを熱処理する半導体製造装置におい
て、炉心管内を前記の運搬台が直進するように、車輪を
ガイドするガイド管が具備されることを特徴とする半導
体製造装置。 - 【請求項２】車輪を挟むように２本のガイド管が設置さ
れることを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置。 - 【請求項３】ガイド管が一端封止の円筒体（パイプ）で
あり、かつ、ガイド管が炉心管のガス導入口側で炉心管
を貫通して設置され、さらにガイド管の封止部が炉心管
内に位置するようにガイド管が設置されることを特徴と
する請求項１記載の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7336296A JPH09181008A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7336296A JPH09181008A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09181008A true JPH09181008A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18297645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7336296A Pending JPH09181008A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09181008A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012015327A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Sumco Corp | ウェーハチャージ補助台 |
| JP2015046610A (ja) * | 2014-10-02 | 2015-03-12 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
| JP2015188095A (ja) * | 2015-05-20 | 2015-10-29 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
| JP2015201650A (ja) * | 2015-05-20 | 2015-11-12 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
| JP2015201651A (ja) * | 2015-05-20 | 2015-11-12 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
-
1995
- 1995-12-25 JP JP7336296A patent/JPH09181008A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012015327A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Sumco Corp | ウェーハチャージ補助台 |
| JP2015046610A (ja) * | 2014-10-02 | 2015-03-12 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
| JP2015188095A (ja) * | 2015-05-20 | 2015-10-29 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
| JP2015201650A (ja) * | 2015-05-20 | 2015-11-12 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
| JP2015201651A (ja) * | 2015-05-20 | 2015-11-12 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続拡散処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |