JPH09180148A - 接触式磁気ディスク装置 - Google Patents
接触式磁気ディスク装置Info
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- JPH09180148A JPH09180148A JP7342149A JP34214995A JPH09180148A JP H09180148 A JPH09180148 A JP H09180148A JP 7342149 A JP7342149 A JP 7342149A JP 34214995 A JP34214995 A JP 34214995A JP H09180148 A JPH09180148 A JP H09180148A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/012—Recording on, or reproducing or erasing from, magnetic disks
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘッドス
ライダを支持するばね材のばね定数によって磁気ヘッド
スライダの跳躍や磁気ディスク媒体の摩耗損傷等の相反
する現象が生じる。 【解決手段】 記録再生を行う電磁ヘッド１を先端部に
形成しかつ磁気ディスク媒体１１に接触摺動する接触パ
ッド２を装着する磁気ヘッドスライダ３と、この磁気ヘ
ッドスライダを支持するサスペンションばね４と、この
サスペンションばねを支持するばね支持機構５とを備え
る接触式磁気ディスク装置において、サスペンションば
ね４の長さを５ｍｍ以下にする。また、磁気ヘッドスラ
イダ３の質量を２ｍｇ以上とし、磁気ヘッドスライダ３
の磁気ディスク媒体１１に対する押し付け荷重を１ｇ重
以下とし、磁気ディスク媒体１１の潤滑層１５の膜厚を
５ｎｍ以上とする。シーク時の磁気ヘッドスライダ３の
振動を抑制し、磁気ディスク媒体１１の摩耗損傷を防止
する。
ライダを支持するばね材のばね定数によって磁気ヘッド
スライダの跳躍や磁気ディスク媒体の摩耗損傷等の相反
する現象が生じる。 【解決手段】 記録再生を行う電磁ヘッド１を先端部に
形成しかつ磁気ディスク媒体１１に接触摺動する接触パ
ッド２を装着する磁気ヘッドスライダ３と、この磁気ヘ
ッドスライダを支持するサスペンションばね４と、この
サスペンションばねを支持するばね支持機構５とを備え
る接触式磁気ディスク装置において、サスペンションば
ね４の長さを５ｍｍ以下にする。また、磁気ヘッドスラ
イダ３の質量を２ｍｇ以上とし、磁気ヘッドスライダ３
の磁気ディスク媒体１１に対する押し付け荷重を１ｇ重
以下とし、磁気ディスク媒体１１の潤滑層１５の膜厚を
５ｎｍ以上とする。シーク時の磁気ヘッドスライダ３の
振動を抑制し、磁気ディスク媒体１１の摩耗損傷を防止
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は接触式磁気ディスク
装置に関し、特に、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接
触摺動しながら記録再生を行う接触式磁気ディスク装置
に関する。
装置に関し、特に、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体に接
触摺動しながら記録再生を行う接触式磁気ディスク装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報記憶ファイルの分野におい
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の１つとなっている。磁気ヘッドと磁気ディスク媒体
との間隙を小さくするために、磁気ディスク媒体面に接
触摺動しながら記録再生を行う、いわゆる、接触式磁気
ディスク装置が開発されている（例えば、H.Hamilton:
Jornal of Magnetic Society of Japan,Vol.15, Supple
ment No.S2(1991)483 、および特開平５−５０８８０８
号公報）。
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の１つとなっている。磁気ヘッドと磁気ディスク媒体
との間隙を小さくするために、磁気ディスク媒体面に接
触摺動しながら記録再生を行う、いわゆる、接触式磁気
ディスク装置が開発されている（例えば、H.Hamilton:
Jornal of Magnetic Society of Japan,Vol.15, Supple
ment No.S2(1991)483 、および特開平５−５０８８０８
号公報）。
【０００３】これらの接触式磁気ディスクには磁気ヘッ
ドを一体に有する磁気ヘッドスライダを固定し、押し付
け荷重を加えるためにサスペンションばねが用いられて
いる。この場合、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘ
ッドおよび磁気ディスク媒体の摩耗を低減させるため
に、従来の浮上式磁気ディスク装置の荷重２ｇ重〜１０
ｇ重と比較して１桁から２桁小さい１０ｍｇ重〜５００
ｍｇ重の押し付け荷重が用いられている。このような、
小さい押し付け荷重を得るために、サスペンションばね
の長さを比較的に長めに設定し、その先端部でのばね力
が小さくなるような設計が行われている。通常、サスペ
ンションばねの長さは５ｍｍよりも長く設計されてい
る。
ドを一体に有する磁気ヘッドスライダを固定し、押し付
け荷重を加えるためにサスペンションばねが用いられて
いる。この場合、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘ
ッドおよび磁気ディスク媒体の摩耗を低減させるため
に、従来の浮上式磁気ディスク装置の荷重２ｇ重〜１０
ｇ重と比較して１桁から２桁小さい１０ｍｇ重〜５００
ｍｇ重の押し付け荷重が用いられている。このような、
小さい押し付け荷重を得るために、サスペンションばね
の長さを比較的に長めに設定し、その先端部でのばね力
が小さくなるような設計が行われている。通常、サスペ
ンションばねの長さは５ｍｍよりも長く設計されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の接触
式磁気ディスク装置では、磁気ヘッドおよび磁気ディス
ク媒体が摩耗損傷を防止するようにすると、サスペンシ
ョンばねのばね定数を小さくして磁気ディスク媒体と磁
気ヘッドの衝撃的接触の強さを弱める必要があるが、こ
のようにばね定数を小さくしたサスペンションばねで
は、その低シーク剛性によって生じるサーボ情報の読み
取り誤差が高記録密度の妨げになるという問題点があ
る。すなわち、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘッ
ドスライダをシークした際にシーク方向に摩擦力が発生
して、磁気ヘッドスライダがシーク方向に振動する。こ
の振動によってサーボ信号に読みとり誤差が生じ、高ト
ラック密度化を妨げる原因となる。
式磁気ディスク装置では、磁気ヘッドおよび磁気ディス
ク媒体が摩耗損傷を防止するようにすると、サスペンシ
ョンばねのばね定数を小さくして磁気ディスク媒体と磁
気ヘッドの衝撃的接触の強さを弱める必要があるが、こ
のようにばね定数を小さくしたサスペンションばねで
は、その低シーク剛性によって生じるサーボ情報の読み
取り誤差が高記録密度の妨げになるという問題点があ
る。すなわち、接触式磁気ディスク装置では、磁気ヘッ
ドスライダをシークした際にシーク方向に摩擦力が発生
して、磁気ヘッドスライダがシーク方向に振動する。こ
の振動によってサーボ信号に読みとり誤差が生じ、高ト
ラック密度化を妨げる原因となる。
【０００５】このような磁気ヘッドスライダのシーク方
向の振動を抑制する方法としては、サスペンションばね
やロードビームばねのシーク方向の剛性を高くすること
が効果的である。すなわち、シーク剛性を高くすると共
振周波数が高周波側へシフトし振動振幅が小さくなるの
である。しかしながら、シーク剛性を高くするとばね定
数が大きくなり、高ばね定数によって押し付け荷重が大
きくなるので磁気ヘッドスライダや磁気ディスク媒体の
摩耗損傷が進行してしまう。このような相反する条件が
存在するため、シーク剛性の向上と摩耗損傷の低減とを
同時に満たすことができないという重大な問題点があっ
た。
向の振動を抑制する方法としては、サスペンションばね
やロードビームばねのシーク方向の剛性を高くすること
が効果的である。すなわち、シーク剛性を高くすると共
振周波数が高周波側へシフトし振動振幅が小さくなるの
である。しかしながら、シーク剛性を高くするとばね定
数が大きくなり、高ばね定数によって押し付け荷重が大
きくなるので磁気ヘッドスライダや磁気ディスク媒体の
摩耗損傷が進行してしまう。このような相反する条件が
存在するため、シーク剛性の向上と摩耗損傷の低減とを
同時に満たすことができないという重大な問題点があっ
た。
【０００６】本発明の目的は、このような問題点を解決
した高記録密度、高信頼性の接触式磁気ディスクを提供
することにある。
した高記録密度、高信頼性の接触式磁気ディスクを提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、記録再生を行
う電磁変換素子を先端部に形成しかつ磁気ディスク媒体
に接触摺動する接触パッドと、この接触パッドを装着す
る磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支
持するサスペンションばね、あるいはジンバルばねを介
して支持するロードビームばねと、これらサスペンショ
ンばねあるいはロードビームばねを支持するばね支持機
構とを備える接触式磁気ディスク装置において、サスペ
ンションばねあるいはロードビームばねの長さを５ｍｍ
以下にすることを特徴とする。
う電磁変換素子を先端部に形成しかつ磁気ディスク媒体
に接触摺動する接触パッドと、この接触パッドを装着す
る磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを支
持するサスペンションばね、あるいはジンバルばねを介
して支持するロードビームばねと、これらサスペンショ
ンばねあるいはロードビームばねを支持するばね支持機
構とを備える接触式磁気ディスク装置において、サスペ
ンションばねあるいはロードビームばねの長さを５ｍｍ
以下にすることを特徴とする。
【０００８】ここで、磁気ヘッドスライダの質量を２ｍ
ｇ以上とし、かつこの磁気ヘッドスライダの押し付け荷
重を１ｇ重以下としてもよい。また、磁気ディスク媒体
に成膜された潤滑層の膜厚が５ｎｍ以上であってもよ
い。さらに、サスペンションばね、あるいはロードビー
ムばねの厚さが、ばね支持機構から磁気ヘッドスライダ
に向かって薄くされていてもよい。
ｇ以上とし、かつこの磁気ヘッドスライダの押し付け荷
重を１ｇ重以下としてもよい。また、磁気ディスク媒体
に成膜された潤滑層の膜厚が５ｎｍ以上であってもよ
い。さらに、サスペンションばね、あるいはロードビー
ムばねの厚さが、ばね支持機構から磁気ヘッドスライダ
に向かって薄くされていてもよい。
【０００９】本発明では、高トラック密度化を実現する
ためには、ばねの共振周波数が高周波側へシフトしなく
てもシーク時に発生する振動の振幅を低減すればよいと
いう考えに基づき、シーク時に発生する振動振幅といろ
いろなパラメータ、例えばサスペンションばねの材質、
形状などを検討した。その結果、サスペンションばねの
長さ低減がシーク時に発生する振動振幅の抑制に著しい
効果があることを見いだし、特にサスペンションばねの
長さを５ｍｍ以下にするとシーク時の振動が実用上問題
にならない程度まで抑制されることが確認された。ま
た、サスペンションばねの長さを５ｍｍ以下にしても、
磁気ヘッドスライダの押し付け荷重を１ｇ重以下にする
ことによって接触式磁気ディスクにおいて課題としてあ
げられるシーク剛性と摩耗損傷の２つの性能を同時に満
足させ、高記録密度で高信頼性の接触式磁気ディスクを
提供できる。
ためには、ばねの共振周波数が高周波側へシフトしなく
てもシーク時に発生する振動の振幅を低減すればよいと
いう考えに基づき、シーク時に発生する振動振幅といろ
いろなパラメータ、例えばサスペンションばねの材質、
形状などを検討した。その結果、サスペンションばねの
長さ低減がシーク時に発生する振動振幅の抑制に著しい
効果があることを見いだし、特にサスペンションばねの
長さを５ｍｍ以下にするとシーク時の振動が実用上問題
にならない程度まで抑制されることが確認された。ま
た、サスペンションばねの長さを５ｍｍ以下にしても、
磁気ヘッドスライダの押し付け荷重を１ｇ重以下にする
ことによって接触式磁気ディスクにおいて課題としてあ
げられるシーク剛性と摩耗損傷の２つの性能を同時に満
足させ、高記録密度で高信頼性の接触式磁気ディスクを
提供できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の実施形態の基本構成
を示す断面図である。この接触式磁気ディスク装置は、
磁気ディスク媒体１１に対して記録再生を行う磁気記録
再生素子からなる磁気ヘッド１と、この磁気ヘッド１の
先端に形成された接触パッド２と、磁気ヘッド１と接触
パッド２を装着する磁気ヘッドスライダ３と、この磁気
ヘッドスライダ３を支持するサスペンションばね４と、
このサスペンションばねを支持するばね支持機構５と、
シーク機構６とを備えている。
参照して説明する。図１は本発明の実施形態の基本構成
を示す断面図である。この接触式磁気ディスク装置は、
磁気ディスク媒体１１に対して記録再生を行う磁気記録
再生素子からなる磁気ヘッド１と、この磁気ヘッド１の
先端に形成された接触パッド２と、磁気ヘッド１と接触
パッド２を装着する磁気ヘッドスライダ３と、この磁気
ヘッドスライダ３を支持するサスペンションばね４と、
このサスペンションばねを支持するばね支持機構５と、
シーク機構６とを備えている。
【００１１】図２および図３は磁気ヘッドスライダ３と
サスペンションばね４の詳細を示す分解斜視図および断
面図である。前記磁気ヘッドスライダ３は、中央近傍に
穴開け加工されたダイヤモンドからなる基板２１に上に
Ｃｕ薄膜からなるコイル２２が形成され、その表面は絶
縁膜２３により被覆されている。この絶縁膜２３の上に
はＦｅ−Ｎｉ合金からなるヨーク２４が形成されてお
り、このヨーク２４は、同様にＦｅ−Ｎｉ合金からなる
リターンヨーク２５に接続され、磁束の通路となる磁気
回路を形成している。また、コイル２２の両端は電極２
６に接続される。
サスペンションばね４の詳細を示す分解斜視図および断
面図である。前記磁気ヘッドスライダ３は、中央近傍に
穴開け加工されたダイヤモンドからなる基板２１に上に
Ｃｕ薄膜からなるコイル２２が形成され、その表面は絶
縁膜２３により被覆されている。この絶縁膜２３の上に
はＦｅ−Ｎｉ合金からなるヨーク２４が形成されてお
り、このヨーク２４は、同様にＦｅ−Ｎｉ合金からなる
リターンヨーク２５に接続され、磁束の通路となる磁気
回路を形成している。また、コイル２２の両端は電極２
６に接続される。
【００１２】また、接触パッド２は、中心部にヨーク２
７が貫通する構造を有し、ダイヤモンドを加工した接触
パッド２８と中央部にヨーク２７を埋め込んだ接触パッ
ド２９とから構成され、これら２つの接触パッド２８，
２９を貼り合わせ、さらに中心線平均粗さＲａが０．５
ｎｍ程度の球面研磨を行って作製される。このように構
成される磁気ヘッドスライダ３は、基板２１の厚さを変
えることによって磁気ヘッドスライダ全体の質量を制御
することができる。そして、この磁気ヘッドスライダ３
は、両端に電極３０，３１を設けたＣｕ薄膜の配線膜３
２を有するサスペンションばね４に接着剤等で固定さ
れ、Ａｕのワイヤー３３を介してサスペンションばね４
に設けられた電極３０に接続される。なお、サスペンシ
ョンばね４は弾性を有するステンレス鋼で構成される。
７が貫通する構造を有し、ダイヤモンドを加工した接触
パッド２８と中央部にヨーク２７を埋め込んだ接触パッ
ド２９とから構成され、これら２つの接触パッド２８，
２９を貼り合わせ、さらに中心線平均粗さＲａが０．５
ｎｍ程度の球面研磨を行って作製される。このように構
成される磁気ヘッドスライダ３は、基板２１の厚さを変
えることによって磁気ヘッドスライダ全体の質量を制御
することができる。そして、この磁気ヘッドスライダ３
は、両端に電極３０，３１を設けたＣｕ薄膜の配線膜３
２を有するサスペンションばね４に接着剤等で固定さ
れ、Ａｕのワイヤー３３を介してサスペンションばね４
に設けられた電極３０に接続される。なお、サスペンシ
ョンばね４は弾性を有するステンレス鋼で構成される。
【００１３】また磁気ディスク媒体１１は、ガラス基板
（図示せず）上に形成したＣｒの下地体１２の上に、磁
気記録担体１３が形成されている。この磁気記録担体１
３は、スパッタ法によりＣｏＣｒＰｔを３０ｎｍの膜厚
に成膜される。また、磁気記録担体１３上の保護膜１４
は、スパッタ法によってダイヤモンドライクカーボンを
５ｎｍの膜厚に成膜される。さらに、この保護膜１４上
の潤滑層１５は、ディップ法によりパーフルオロポリエ
ーテルを５ｎｍの膜厚に成膜される。なお、潤滑層１５
の膜厚を変化させる場合は、ディップ溶液の濃度を制御
することによって制御可能である。そして、この磁気デ
ィスク媒体１１は矢印Ａの方向に回転するように構成さ
れている。
（図示せず）上に形成したＣｒの下地体１２の上に、磁
気記録担体１３が形成されている。この磁気記録担体１
３は、スパッタ法によりＣｏＣｒＰｔを３０ｎｍの膜厚
に成膜される。また、磁気記録担体１３上の保護膜１４
は、スパッタ法によってダイヤモンドライクカーボンを
５ｎｍの膜厚に成膜される。さらに、この保護膜１４上
の潤滑層１５は、ディップ法によりパーフルオロポリエ
ーテルを５ｎｍの膜厚に成膜される。なお、潤滑層１５
の膜厚を変化させる場合は、ディップ溶液の濃度を制御
することによって制御可能である。そして、この磁気デ
ィスク媒体１１は矢印Ａの方向に回転するように構成さ
れている。
【００１４】図４は本発明の別の実施形態の接触式磁気
ディスク装置の基本構成を示す断面図である。この実施
形態では、磁気ヘッド２、磁気ヘッドスライダ３の構成
は前記した図１の磁気ディスク装置と同じであるが、そ
のサスペンションばね４の代わりにジンバルばね７とロ
ードビームばね８を用いている点で構成が相違してい
る。すなわち、磁気ヘッドスライダ３にジンバルばね７
が接続され、このジンバルばね７にロードビームばね８
が接続され、はね支持機構５に接続されている。
ディスク装置の基本構成を示す断面図である。この実施
形態では、磁気ヘッド２、磁気ヘッドスライダ３の構成
は前記した図１の磁気ディスク装置と同じであるが、そ
のサスペンションばね４の代わりにジンバルばね７とロ
ードビームばね８を用いている点で構成が相違してい
る。すなわち、磁気ヘッドスライダ３にジンバルばね７
が接続され、このジンバルばね７にロードビームばね８
が接続され、はね支持機構５に接続されている。
【００１５】なお、接触パッド２および磁気ディスク媒
体１１に用いた下地体１２、磁気記録担体１３、保護膜
１４、潤滑層１５の種類、形成方法などは特に限定され
るものではなく、公知の材料，形成方法を特別な制限な
く用いることができる。
体１１に用いた下地体１２、磁気記録担体１３、保護膜
１４、潤滑層１５の種類、形成方法などは特に限定され
るものではなく、公知の材料，形成方法を特別な制限な
く用いることができる。
【００１６】
【実施例】サスペンションばね４、またはロードビーム
ばね８の形状、磁気ヘッドスライダ３の質量、磁気ヘッ
ドスライダ３を磁気ディスク媒体１１に押し付ける荷
重、磁気ディスク媒体１１の潤滑層１５の膜厚をそれぞ
れ相違させた実施例１〜２１の磁気ディスク装置を作製
した。また、これらの実施例装置との比較を行うため
に、比較例１〜９の磁気ディスク装置を併せて作製し
た。
ばね８の形状、磁気ヘッドスライダ３の質量、磁気ヘッ
ドスライダ３を磁気ディスク媒体１１に押し付ける荷
重、磁気ディスク媒体１１の潤滑層１５の膜厚をそれぞ
れ相違させた実施例１〜２１の磁気ディスク装置を作製
した。また、これらの実施例装置との比較を行うため
に、比較例１〜９の磁気ディスク装置を併せて作製し
た。
【００１７】〔実施例１〕 サスペンションばね４の形
状を、長さ１ｍｍ，厚さ０．０１５ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇとし
た。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体１
１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤滑
層１５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例２〕 サスペンションばね４の形状を、長さ２
ｍｍ，厚さ０．０２０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サス
ペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にした。 〔実施例３〕 サスペンションばね４の形状を、長さ３
ｍｍ，厚さ０．０２５ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サス
ペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にした。 〔実施例４〕 サスペンションばね４の形状を、長さ５
ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サス
ペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にした。
状を、長さ１ｍｍ，厚さ０．０１５ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇとし
た。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体１
１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤滑
層１５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例２〕 サスペンションばね４の形状を、長さ２
ｍｍ，厚さ０．０２０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サス
ペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にした。 〔実施例３〕 サスペンションばね４の形状を、長さ３
ｍｍ，厚さ０．０２５ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サス
ペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にした。 〔実施例４〕 サスペンションばね４の形状を、長さ５
ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サス
ペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にした。
【００１８】〔比較例１〕 サスペンションばね４の形
状を、長さ７ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。サスペンションばね４の形状以外は実施例１と
同様にした。 〔比較例２〕 サスペンションばね４の形状を、長さ１
０ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サ
スペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にし
た。
状を、長さ７ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。サスペンションばね４の形状以外は実施例１と
同様にした。 〔比較例２〕 サスペンションばね４の形状を、長さ１
０ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。サ
スペンションばね４の形状以外は実施例１と同様にし
た。
【００１９】〔実施例５〕 サスペンションばね４の形
状を、長さ５ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は１０．０ｍｇと
した。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体
１１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤
滑層１５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例６〕 磁気ヘッドスライダ３の質量は４．０ｍ
ｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以外は実施例５
と同様にした。
状を、長さ５ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は１０．０ｍｇと
した。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体
１１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤
滑層１５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例６〕 磁気ヘッドスライダ３の質量は４．０ｍ
ｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以外は実施例５
と同様にした。
【００２０】〔比較例３〕 磁気ヘッドスライダ３の質
量は１．０ｍｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以
外は実施例５と同様にした。 〔比較例４〕 磁気ヘッドスライダ３の質量は０．５ｍ
ｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以外は実施例５
と同様にした。 〔比較例５〕 磁気ヘッドスライダ３の質量は０．１ｍ
ｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以外は実施例５
と同様にした。
量は１．０ｍｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以
外は実施例５と同様にした。 〔比較例４〕 磁気ヘッドスライダ３の質量は０．５ｍ
ｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以外は実施例５
と同様にした。 〔比較例５〕 磁気ヘッドスライダ３の質量は０．１ｍ
ｇとした。磁気ヘッドスライダ３の質量以外は実施例５
と同様にした。
【００２１】〔実施例７〕 サスペンションばね４の形
状を、長さ５ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇとし
た。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体１
１に押し付ける荷重を１ｍｇ重とした。また、潤滑層１
５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例８〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒
体に押し付ける荷重１１を１０ｍｇ重とした。押し付け
荷重以外は実施例７と同様にした。 〔実施例９〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒
体に押し付ける荷重１１を５００ｍｇ重とした。押し付
け荷重以外は実施例７と同様にした。 〔実施例１０〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク
媒体に押し付ける荷重１１を１０００ｍｇ重とした。押
し付け荷重以外は実施例７と同様にした。
状を、長さ５ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇとし
た。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体１
１に押し付ける荷重を１ｍｇ重とした。また、潤滑層１
５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例８〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒
体に押し付ける荷重１１を１０ｍｇ重とした。押し付け
荷重以外は実施例７と同様にした。 〔実施例９〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒
体に押し付ける荷重１１を５００ｍｇ重とした。押し付
け荷重以外は実施例７と同様にした。 〔実施例１０〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク
媒体に押し付ける荷重１１を１０００ｍｇ重とした。押
し付け荷重以外は実施例７と同様にした。
【００２２】〔比較例６〕 磁気ヘッドスライダ３を磁
気ディスク媒体１１に押し付ける荷重を２０００ｍｇ重
とした。押し付け荷重以外は実施例７と同様にした。 〔比較例７〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒
体１１に押し付ける荷重を５０００ｍｇ重とした。押し
付け荷重以外は実施例７と同様にした。
気ディスク媒体１１に押し付ける荷重を２０００ｍｇ重
とした。押し付け荷重以外は実施例７と同様にした。 〔比較例７〕 磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒
体１１に押し付ける荷重を５０００ｍｇ重とした。押し
付け荷重以外は実施例７と同様にした。
【００２３】〔実施例１１〕 サスペンションばね４の
形状を、長さ５ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍ
ｍにした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇと
した。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体
１１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤
滑層１５の厚さを１ｎｍにした。 〔実施例１２〕 潤滑層１５の厚さを３ｎｍにした。潤
滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。 〔実施例１３〕 潤滑層１５の厚さを７ｎｍにした。潤
滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。 〔実施例１４〕 潤滑層１５の厚さを１０ｎｍにした。
潤滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。 〔実施例１５〕 潤滑層１５の厚さを２０ｎｍにした。
潤滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。
形状を、長さ５ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍ
ｍにした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇと
した。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体
１１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤
滑層１５の厚さを１ｎｍにした。 〔実施例１２〕 潤滑層１５の厚さを３ｎｍにした。潤
滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。 〔実施例１３〕 潤滑層１５の厚さを７ｎｍにした。潤
滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。 〔実施例１４〕 潤滑層１５の厚さを１０ｎｍにした。
潤滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。 〔実施例１５〕 潤滑層１５の厚さを２０ｎｍにした。
潤滑層１５の厚さ以外は実施例１１と同様にした。
【００２４】〔実施例１６〕 ロードビームばね８の形
状を、長さ１ｍｍ、厚さ０．０１５ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇとし
た。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体１
１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤滑
層１５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例１７〕 ロードビームばね８の形状を、長さ２
ｍｍ，厚さ０．０２０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。 〔実施例１８〕 ロードビームばね８の形状を、長さ３
ｍｍ，厚さ０．０２５ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。 〔実施例１９〕 ロードビームばね８の形状を、長さ５
ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。
状を、長さ１ｍｍ、厚さ０．０１５ｍｍ，幅０．５ｍｍ
にした。磁気ヘッドスライダ３の質量は２．０ｍｇとし
た。また、磁気ヘッドスライダ３を磁気ディスク媒体１
１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重とした。また、潤滑
層１５の厚さを５ｎｍにした。 〔実施例１７〕 ロードビームばね８の形状を、長さ２
ｍｍ，厚さ０．０２０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。 〔実施例１８〕 ロードビームばね８の形状を、長さ３
ｍｍ，厚さ０．０２５ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。 〔実施例１９〕 ロードビームばね８の形状を、長さ５
ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。
【００２５】〔比較例８〕 ロードビームばね８の形状
を、長さ７ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍに
した。ロードビームばね８の形状の形状以外は実施例１
６と同様にした。 〔比較例９〕 ロードビームばね８の形状を、長さ１０
ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。
を、長さ７ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍに
した。ロードビームばね８の形状の形状以外は実施例１
６と同様にした。 〔比較例９〕 ロードビームばね８の形状を、長さ１０
ｍｍ，厚さ０．０３０ｍｍ，幅０．５ｍｍにした。ロー
ドビームばね８の形状以外は実施例１６と同様にした。
【００２６】〔実施例２０〕 サスペンションばね４の
形状を、長さ３ｍｍ，幅０．５ｍｍ，厚さは、ばね支持
機構５の部分が０．０５０ｍｍであり、磁気ヘッドスラ
イダに近づくに従って薄くなり、磁気ヘッドスライダの
部分で０．０１０ｍｍとなるようにした。磁気ヘッドス
ライダ３の質量は２．０ｍｇとした。また、磁気ヘッド
スライダ３を磁気ディスク媒体１１に押し付ける荷重を
１００ｍｇ重とした。また、潤滑層１５の厚さを５ｎｍ
にした。 〔実施例２１〕ロードビームばね８の形状を、長さ３ｍ
ｍ，幅０．５ｍｍ，厚さは、ばね支持機構５の部分が
０．０５０ｍｍであり、磁気ヘッドスライダに近づくに
従って薄くなり、磁気ヘッドスライダの部分で０．０１
０ｍｍとなるようにした。磁気ヘッドスライダ３の質量
は２．０ｍｇとした。また、磁気ヘッドスライダ３を磁
気ディスク媒体１１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重と
した。また、潤滑層１５の厚さを５ｎｍにした。
形状を、長さ３ｍｍ，幅０．５ｍｍ，厚さは、ばね支持
機構５の部分が０．０５０ｍｍであり、磁気ヘッドスラ
イダに近づくに従って薄くなり、磁気ヘッドスライダの
部分で０．０１０ｍｍとなるようにした。磁気ヘッドス
ライダ３の質量は２．０ｍｇとした。また、磁気ヘッド
スライダ３を磁気ディスク媒体１１に押し付ける荷重を
１００ｍｇ重とした。また、潤滑層１５の厚さを５ｎｍ
にした。 〔実施例２１〕ロードビームばね８の形状を、長さ３ｍ
ｍ，幅０．５ｍｍ，厚さは、ばね支持機構５の部分が
０．０５０ｍｍであり、磁気ヘッドスライダに近づくに
従って薄くなり、磁気ヘッドスライダの部分で０．０１
０ｍｍとなるようにした。磁気ヘッドスライダ３の質量
は２．０ｍｇとした。また、磁気ヘッドスライダ３を磁
気ディスク媒体１１に押し付ける荷重を１００ｍｇ重と
した。また、潤滑層１５の厚さを５ｎｍにした。
【００２７】これらのように作製した磁気ヘッドを用い
て摺動耐久性試験を行った。この摺動耐久性試験時の磁
気ディスク媒体の回転数は５４００ｒｐｍとした。ま
た、摺動試験２０００時間後における磁気ディスク媒体
表面の平均摩耗厚さ、およびシーク動作時での最大跳躍
量を求めた。ここで、最大跳躍量とは、摺動耐久性試験
中に磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体とは常に接
触しているわけではなく、シーク時などに磁気ヘッドス
ライダがシーク方向に振動することによって跳躍を示し
た場合に、これを最大跳躍量として求めたものであっ
て、この跳躍量は、レーザードップラー振動系（ＬＤ
Ｖ）を用い、レーザービームを磁気ヘッドスライダの背
面に照射し、その反射光の周波数変化を観測して速度を
測定し、さらに、積分することにより変位に換算して求
めた。
て摺動耐久性試験を行った。この摺動耐久性試験時の磁
気ディスク媒体の回転数は５４００ｒｐｍとした。ま
た、摺動試験２０００時間後における磁気ディスク媒体
表面の平均摩耗厚さ、およびシーク動作時での最大跳躍
量を求めた。ここで、最大跳躍量とは、摺動耐久性試験
中に磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体とは常に接
触しているわけではなく、シーク時などに磁気ヘッドス
ライダがシーク方向に振動することによって跳躍を示し
た場合に、これを最大跳躍量として求めたものであっ
て、この跳躍量は、レーザードップラー振動系（ＬＤ
Ｖ）を用い、レーザービームを磁気ヘッドスライダの背
面に照射し、その反射光の周波数変化を観測して速度を
測定し、さらに、積分することにより変位に換算して求
めた。
【００２８】次に、実施例１〜２１および比較例１〜９
を用いて摺動耐久性試験を行った結果を表１，表２に示
す。
を用いて摺動耐久性試験を行った結果を表１，表２に示
す。
【００２９】
【表１】 ばね種類Ｓはサスペンションばねを示す。
【００３０】
【表２】 ばね種類Ｌはロードビームばねを示す。
【００３１】これらの表によれば、実施例１〜４および
比較例１，２を比べると、サスペンションばねの長さが
５ｍｍ以下では、最大跳躍量の値および摩耗厚さの値は
共に小さいが、サスペンションばねの長さが５ｍｍより
大きくなると最大跳躍量の値および摩耗厚さの値が共に
著しく大きくなっている。すなわち、サスペンションば
ねの長さを５ｍｍ以下にすることによってシーク剛性と
摩耗損傷に対する要求を満足させ、高記録密度で高信頼
性の接触式磁気ディスクを提供できることになる。
比較例１，２を比べると、サスペンションばねの長さが
５ｍｍ以下では、最大跳躍量の値および摩耗厚さの値は
共に小さいが、サスペンションばねの長さが５ｍｍより
大きくなると最大跳躍量の値および摩耗厚さの値が共に
著しく大きくなっている。すなわち、サスペンションば
ねの長さを５ｍｍ以下にすることによってシーク剛性と
摩耗損傷に対する要求を満足させ、高記録密度で高信頼
性の接触式磁気ディスクを提供できることになる。
【００３２】次に、実施例１，５，６および比較例３〜
４を比べると、磁気ヘッドスライダの質量が２．０ｍｇ
以上では、最大跳躍量の値および摩耗厚さの値は共に小
さいが、磁気ヘッドスライダの質量が２．０ｍｇより小
さくなると最大跳躍量の値および摩耗厚さの値が共に大
きくなっている。すなわち、磁気ヘッドスライダの質量
を２．０ｍｇ以上にすることによって、さらに、性能を
向上させることができる。
４を比べると、磁気ヘッドスライダの質量が２．０ｍｇ
以上では、最大跳躍量の値および摩耗厚さの値は共に小
さいが、磁気ヘッドスライダの質量が２．０ｍｇより小
さくなると最大跳躍量の値および摩耗厚さの値が共に大
きくなっている。すなわち、磁気ヘッドスライダの質量
を２．０ｍｇ以上にすることによって、さらに、性能を
向上させることができる。
【００３３】また、実施例１，７〜１０および比較例
６，７を比べると、押し付け荷重が１ｇ重以下では、最
大跳躍量の値および摩耗厚さの値は共に小さいが、押し
付け荷重が１ｇ重より大きくなると最大跳躍量の値およ
び摩耗厚さの値が共に大きくなっている。すなわち、押
し付け荷重を１ｇ重以下にすることによっても、さらに
性能を向上させることができる。
６，７を比べると、押し付け荷重が１ｇ重以下では、最
大跳躍量の値および摩耗厚さの値は共に小さいが、押し
付け荷重が１ｇ重より大きくなると最大跳躍量の値およ
び摩耗厚さの値が共に大きくなっている。すなわち、押
し付け荷重を１ｇ重以下にすることによっても、さらに
性能を向上させることができる。
【００３４】さらに、潤滑層の厚さを変えた実施例１，
１１〜１５を比較すると、潤滑層の厚さが厚いほど最大
跳躍量の値および摩耗厚さの値は小さくなっており、特
に潤滑層厚５ｎｍ以上では性能が著しく向上しており、
潤滑層厚は５ｎｍ以上が適切な範囲であることがわか
る。
１１〜１５を比較すると、潤滑層の厚さが厚いほど最大
跳躍量の値および摩耗厚さの値は小さくなっており、特
に潤滑層厚５ｎｍ以上では性能が著しく向上しており、
潤滑層厚は５ｎｍ以上が適切な範囲であることがわか
る。
【００３５】また、ロードビームばねを用いた実施例１
６〜１９および比較例８，９を比べると、ロードビーム
ばねの長さが５ｍｍ以下では、最大跳躍量の値および摩
耗厚さの値は共に小さいが、ロードビームばねの長さが
５ｍｍより大きくなると最大跳躍量の値および摩耗厚さ
の値が共に著しく大きくなっている。すなわち、ロード
ビームばねを用いた場合でも、その長さを５ｍｍ以下に
することによって、シーク剛性と摩耗損傷に対する要求
を満足させ、高記録密度で高信頼性の接触式磁気ディス
クを提供できることになる。
６〜１９および比較例８，９を比べると、ロードビーム
ばねの長さが５ｍｍ以下では、最大跳躍量の値および摩
耗厚さの値は共に小さいが、ロードビームばねの長さが
５ｍｍより大きくなると最大跳躍量の値および摩耗厚さ
の値が共に著しく大きくなっている。すなわち、ロード
ビームばねを用いた場合でも、その長さを５ｍｍ以下に
することによって、シーク剛性と摩耗損傷に対する要求
を満足させ、高記録密度で高信頼性の接触式磁気ディス
クを提供できることになる。
【００３６】さらに、サスペンションばね、またはロー
ドビームばねの厚さを、ばね支持機構からジンバルばね
に向かって薄くなるようにした実施例２０，２１は、そ
の他のどの実施例を比較しても、最大跳躍量の値および
摩耗厚さの値は著しく小さな値となっており、このよう
にばねの厚みを変化させるとさらに性能が向上すること
がわかる。
ドビームばねの厚さを、ばね支持機構からジンバルばね
に向かって薄くなるようにした実施例２０，２１は、そ
の他のどの実施例を比較しても、最大跳躍量の値および
摩耗厚さの値は著しく小さな値となっており、このよう
にばねの厚みを変化させるとさらに性能が向上すること
がわかる。
【００３７】以上のように、本発明の接触式磁気ディス
クでは、従来の接触式磁気ディスクと比較して少なくと
も数分の一から数百分の一の平均摩耗厚さと最大跳躍量
を実現することができ、トータルとして少なくとも３倍
の耐久性が達成され、高信頼性を確保することができ
た。また、本発明の接触式磁気ディスクを用いて、従来
の４倍の線記録密度を得ることができた。
クでは、従来の接触式磁気ディスクと比較して少なくと
も数分の一から数百分の一の平均摩耗厚さと最大跳躍量
を実現することができ、トータルとして少なくとも３倍
の耐久性が達成され、高信頼性を確保することができ
た。また、本発明の接触式磁気ディスクを用いて、従来
の４倍の線記録密度を得ることができた。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の接触式磁
気ディスク装置は、サスペンションばねの長さまたは、
ロードビームばねの長さを５ｍｍ以下にすることによっ
て、シーク時に発生する振動の振幅を低減することがで
き、平均摩耗厚さと最大跳躍量を低減することができ
る。また、磁気ヘッドスライダの質量を２ｍｇ以上と
し、かつ磁気ヘッドスライダの押し付け荷重を１ｇ重以
下にしたもの、磁気ディスク媒体に成膜された潤滑層の
膜厚が５ｎｍ以上であるもの、サスペンションばね、ま
たはロードビームばねの厚さが、ばね支持機構から磁気
ヘッドスライダに向かって薄くなっているものを用いて
も平均摩耗厚さと最大跳躍量を低減することができ、磁
気ヘッドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を
低減し、装置の耐久性および信頼性を向上させ、高記録
密度を達成できるという効果がある。
気ディスク装置は、サスペンションばねの長さまたは、
ロードビームばねの長さを５ｍｍ以下にすることによっ
て、シーク時に発生する振動の振幅を低減することがで
き、平均摩耗厚さと最大跳躍量を低減することができ
る。また、磁気ヘッドスライダの質量を２ｍｇ以上と
し、かつ磁気ヘッドスライダの押し付け荷重を１ｇ重以
下にしたもの、磁気ディスク媒体に成膜された潤滑層の
膜厚が５ｎｍ以上であるもの、サスペンションばね、ま
たはロードビームばねの厚さが、ばね支持機構から磁気
ヘッドスライダに向かって薄くなっているものを用いて
も平均摩耗厚さと最大跳躍量を低減することができ、磁
気ヘッドスライダおよび磁気ディスク媒体の摩耗損傷を
低減し、装置の耐久性および信頼性を向上させ、高記録
密度を達成できるという効果がある。
【図１】本発明の接触式磁気ディスク装置の一実施形態
の側面図である。
の側面図である。
【図２】磁気ヘッドスライダ部分の分解斜視図である。
【図３】磁気ヘッドスライダ部分の断面図である。
【図４】本発明の接触式磁気ディスク装置の他の実施形
態の側面図である。
態の側面図である。
１ 磁気ヘッド ２ 接触パッド ３ 磁気ヘッドスライダ ４ サスペンションばね ５ ばね支持機構 ６ シーク機構 ７ ジンバルばね ８ ロードビームばね １１ 磁気ディスク媒体 １２ 下地体 １３ 磁気記録担体 １４ 保護膜 １５ 潤滑層 ２１ 基板 ２２ コイル ２４ ヨーク ２５ リターンヨーク ２６ 電極 ２７ ヨーク ２８，２９ 接触パッド ３０，３１ 電極 ３２ 配線膜
Claims (6)
- 【請求項１】 記録再生を行う電磁変換素子を先端部に
形成しかつ磁気ディスク媒体に接触摺動する接触パッド
と、この接触パッドを装着する磁気ヘッドスライダと、
この磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションばね
と、このサスペンションばねを支持するばね支持機構と
を備える接触式磁気ディスク装置において、前記サスペ
ンションばねの長さを５ｍｍ以下にすることを特徴とす
る接触式磁気ディスク装置。 - 【請求項２】 記録再生を行う電磁変換素子を先端部に
形成しかつ磁気ディスク媒体に接触摺動する接触パッド
と、この接触パッドを装着する磁気ヘッドスライダと、
この磁気ヘッドスライダを支持するジンバルばねと、こ
のジンバルばねを支持するロードビームばねと、このロ
ードビームばねを支持するばね支持機構とを備える接触
式磁気ディスク装置において、前記ロードビームばねの
長さを５ｍｍ以下にすることを特徴とする接触式磁気デ
ィスク装置。 - 【請求項３】 前記磁気ヘッドスライダの質量を２ｍｇ
以上とし、かつ前記磁気ヘッドスライダの押し付け荷重
を１ｇ重以下とする請求項１または２記載の接触式磁気
ディスク装置。 - 【請求項４】 前記磁気ディスク媒体に成膜された潤滑
層の膜厚が５ｎｍ以上である請求項１または２記載の接
触式磁気ディスク装置。 - 【請求項５】 前記サスペンションばねの厚さが、ばね
支持機構から磁気ヘッドスライダに向かって薄くされて
いる請求項１記載の接触式磁気ディスク装置。 - 【請求項６】 前記ロードビームばねの厚さが、ばね支
持機構からジンバルばねに向かって薄くされている請求
項２記載の接触式磁気ディスク装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7342149A JP2783231B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 接触式磁気ディスク装置 |
| US08/772,068 US6421207B1 (en) | 1995-12-28 | 1996-12-19 | Contact type magnetic disk drive |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7342149A JP2783231B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 接触式磁気ディスク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09180148A true JPH09180148A (ja) | 1997-07-11 |
| JP2783231B2 JP2783231B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=18351511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7342149A Expired - Fee Related JP2783231B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 接触式磁気ディスク装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6421207B1 (ja) |
| JP (1) | JP2783231B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3549105B2 (ja) * | 2000-12-06 | 2004-08-04 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | マイクロアクチュエータの検査方法及び検査装置 |
| US7113370B2 (en) * | 2003-12-15 | 2006-09-26 | Seagate Technology Llc | Slanted mounting for preload flat suspension |
| US7283331B2 (en) * | 2004-06-04 | 2007-10-16 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Method and apparatus reducing off track head motion due to disk vibration in a hard disk drive |
| US7352530B2 (en) * | 2005-03-11 | 2008-04-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method and apparatus for reducing a suspension gram load to increase head to disk interface reliability for contact recording systems |
| US7983138B2 (en) * | 2006-10-11 | 2011-07-19 | Seagate Technology Llc | Surface spacing using rigid spacers |
| SG174495A1 (en) * | 2009-03-27 | 2011-11-28 | Agency Science Tech & Res | A magnetic media tester and a method of magnetic media testing |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5243482A (en) * | 1989-10-20 | 1993-09-07 | Hitachi, Ltd. | Floating type magnetic head supporting assembly including a coupling to a slider side surface |
| US5483025A (en) * | 1989-11-27 | 1996-01-09 | Censtor Corporation | Unitary micro-flexure structure |
| US5453315A (en) * | 1989-11-27 | 1995-09-26 | Censtor Corp. | Unitary micro-flexure structure and method of making same |
| US5490027A (en) * | 1991-10-28 | 1996-02-06 | Censtor Corp. | Gimbaled micro-head/flexure/conductor assembly and system |
| US5550691A (en) * | 1989-11-27 | 1996-08-27 | Censtor Corp. | Size-independent, rigid-disk, magnetic, digital-information storage system with localized read/write enhancements |
| DE4115562A1 (de) | 1990-08-17 | 1992-02-20 | Siemens Ag | Vorrichtung und verfahren zum laserschweissen eines rohres |
| US5327310A (en) * | 1992-06-25 | 1994-07-05 | Read-Rite Corporation | Thin film contact recording head |
| US5644450A (en) * | 1992-10-30 | 1997-07-01 | Fujitsu Limited | Magnetic head assembly with thin-film magnetic head and flexible support member |
| MY121535A (en) * | 1993-01-08 | 2006-02-28 | Hitachi Global Storage Tech Nl | Integral transducer-suspension assemblies for longitudinal recording |
| SG44403A1 (en) * | 1993-02-26 | 1997-12-19 | Ibm | Rotating magnetic storage device |
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