JPH06349221A

JPH06349221A - 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置

Info

Publication number: JPH06349221A
Application number: JP5138750A
Authority: JP
Inventors: Tetsuya Hamaguchi; 哲也浜口; Yukio Kato; 幸男加藤; Masaaki Matsumoto; 真明松本; Masaru Matsushima; 勝松島
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-06-10
Filing date: 1993-06-10
Publication date: 1994-12-22
Also published as: US5530605A

Abstract

(57)【要約】【目的】高密度記録に最適な磁気ヘッドスライダの支
持機構及び走行方式を用いた磁気ディスク装置を提供す
る。【構成】ディスク３面に垂直方向にのみ可動で、その
ねじり剛性が１００ｇｆｍｍ／ｒａｄ以上、ばね係数が
０．０１〜０．５ｍｇ／μｍの範囲である板ばね式スラ
イダ支持機構１により、スライダ２に２０〜１００ｍｇ
の押し付け荷重を負荷し液体浮上あるいは接触走行させ
る。【効果】磁気ヘッドスライダに１００ｍｇ以下の押し
つけ荷重を安定して負荷することができ、さらに磁気ヘ
ッドスライダが磁気ディスク面に対して実質的に回転す
ることがないので、浮上量１０〜４０ｎｍの液体浮上あ
るいは固体接触によるスライダ走行方式が可能となり、
信頼性の高い高密度記録の磁気ディスク装置を提供する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
録装置等として用いられる磁気ディスク装置に係り、特
に磁気ヘッドスライダを磁気ディスク面方向に微小な力
で押しつけるための磁気ヘッドスライダ支持機構、及び
それを組み込んだ磁気ディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の磁気ヘッドスライダは、特開昭５
５−２２２９６号公報に記載されているように、長さ１
５〜２５ｍｍ程度のア−ムとその先端にピボット及びジ
ンバルとよばれ、ねじり剛性が２０ｇｆｍｍ／ｒａｄ程
度で実質的に回転自由な機構部材を接合して構成された
支持機構により支持され、磁気ディスク上を空気浮上す
るものであった。また、特開昭６２−９９９６７号公報
に記載のように、ダイヤフラム状の粘弾性膜を利用して
スライダを回転自由な状態に支持するものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年磁気ヘ
ッドと磁気ディスクの間のスペーシングを小さくして高
記録密度を達成するために、磁気ディスク表面に接触あ
るいは液体浮上した状態で走行する磁気ヘッドスライダ
の開発が望まれている。図７に、アーム先端に回転機構
を有する上記従来技術の支持機構に接触走行式の曲面ス
ライダを搭載した場合の模式図を示す。磁気ヘッドスラ
イダ２は磁気ディスク３が静止した状態で記録再生素子
４がディスク面に最接近するように配置されていたが、
ディスクの回転あるいは磁気ヘッドスライダのシーク動
作により摩擦力を受けた場合、ねじり剛性が２０ｇｆｍ
ｍ／ｒａｄ程度の回転機構５を有するために、磁気ヘッ
ドスライダ２が回転しスペーシング損失Δｈが生じる結
果となる。スライダ曲面の曲率半径が１ｍｍ、スライダ
の高さが０．５ｍｍ、摩擦力が０．３ｇｆの場合、この
Δｈは約３０ｎｍにもなり、記録再生動作が不可能にな
る。さらに、ディスクの内外周で走行速度が異なり、ま
たシーク動作の有無や速度、加速度も場合により異なる
ためこのΔｈは一定ではなく安定した記録再生が行なえ
ず問題であった。

【０００４】さらに、図８に上記従来技術において仮に
回転機構を取り除いた場合の模式図を示す。この場合
も、磁気ヘッドスライダ２は磁気ディスク３が静止した
状態で記録再生素子４がディスク面に最接近するように
配置されていたが（図中の設計位置）、ディスクの回転
にともなうディスク面の上下動（面振れ）により、例え
ばディスク面が下方に移動した場合、記録再生素子４と
ディスク面の間にスペーシング損失Δｈが生じる。この
ため、高い記録密度での記録再生が安定にできないとい
う問題があった。

【０００５】このように、アーム先端に回転機構を有す
る従来技術の支持機構に接触走行式の曲面スライダを搭
載すると、摩擦力やディスク面の面振れにより磁気ヘッ
ドスライダがガイドアームに対して相対的に回転し、記
録再生素子が磁気ディスク面から離れることになる。ま
た、ダイヤフラム状の粘弾性膜を利用する従来技術も前
記回転機構を有する従来技術と同程度のねじり剛性を有
しており、実質的に回転自由になるように設計されてい
るので、それに曲面スライダを搭載したとしても同様な
問題が発生する。

【０００６】また、これらの従来技術によれば、磁気ヘ
ッドスライダを磁気ディスク面に押しつける方向の支持
機構のばね係数は、１〜２ｍｇ／μｍ程度である。通
常、磁気ディスクの回転により磁気ディスク面は１０μ
ｍ程度上下動（面振れ）するので、押しつけ力の変動が
２０ｍｇとなり、全押しつけ荷重を１００ｍｇ程度以下
にする場合は、変動率が２０％以上と大きなものとなり
安定したヘッド走行が不可能であった。

【０００７】一方、上記従来技術のまま押しつけ方向の
ばね係数を小さくするには、特開昭５５−２２２９６号
公報の場合は支持機構１の長さを長くする必要がある。
この場合、ねじり剛性はさらに低下するとともに、他の
方向の剛性が減少し磁気ヘッドスライダのシーク動作つ
まりディスクの半径方向への移動動作時にも悪影響をお
よぼすので好ましくない。ダイヤフラム状の粘弾性膜を
利用する場合、押し付け方向のばね係数を小さくするに
は、粘弾性膜の厚さを薄くするか、直径を大きくする必
要があるが、その場合でも粘弾性膜の面内に働く張力の
影響が大きく働くため、ばね係数を小さくすることは非
常に困難である。

【０００８】また、アーム先端に回転機構を有する支持
機構は、押し付け荷重を発生させるアーム部とスライダ
を回転自由な状態で支持するジンバル部を溶接等により
接合して用いており、組立ての容易さ、組立て精度、コ
スト等の面で好ましくない。本発明の第１の目的は、デ
ィスクの面振れや初期の組立て誤差、磁気ヘッドスライ
ダと磁気ディスクの接触による摩擦力、又は磁気ヘッド
スライダのシーク動作等により、押しつけ荷重の変動や
磁気ヘッドスライダの回転又は振動が実質的に生じるこ
とのない磁気ヘッドスライダ支持機構を提供することに
あり、第２の目的は、ヘッドとディスク間のスペーシン
グを数十ｎｍにしても信頼性の高い磁気ヘッドスライダ
支持走行方式を実現できる安価な高密度磁気ディスク装
置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的は、磁気
ヘッドスライダの回転を自由にするジンバルやピボット
等の機構を設けず、磁気ヘッドスライダのガイドアーム
に対する回転運動のねじり剛性を１００ｇｆｍｍ／ｒａ
ｄ以上とし、実質的に押しつけ方向つまりディスク面に
垂直の方向にのみ磁気ヘッドスライダが可動となる構造
のばね式磁気ヘッドスライダ支持機構を用いること、さ
らには磁気ヘッドスライダを磁気ディスク面に押し付け
る方向のばね係数が０．０１ｍｇ／μｍ以上０．５ｍｇ
／μｍ以下である磁気ヘッドスライダ支持機構を用いる
ことにより達成される。

【００１０】また前記第２の目的は、このようなばね式
の磁気ヘッドスライダ支持機構を組み込んで流体浮上走
行方式あるいは接触走行方式の磁気ディスク装置を構成
することによって達成される。ここで、磁気ヘッドスラ
イダを磁気ディスク面に押しつける荷重を２０ｍｇ以上
１００ｍｇ以下とすればさらに望ましい。また、磁気デ
ィスクの表面には少なくとも保護膜層又は液体潤滑剤層
を設け、磁気ヘッドスライダが保護膜又は液体潤滑剤に
接触しながら情報を記録再生する方式が望ましい。

【００１１】さらに、支持機構に接合部をなくし全体を
一体成型により形成することにより精度及び信頼性を向
上させ、製作コストの低減を図ることができる。支持機
構としては、従来のような回転機構を取り除き、さらに
支持機構に１ヶ所以上の方向転換部や曲がり部を設ける
構造や、螺旋のように曲率を持って向きを変える形状に
より、従来のような片持ち構造ではなく、支持機構の両
端あるいは２点以上を支持する構造にすることで実用上
特に効果的に本発明の目的を達成できる。

【００１２】

【作用】支持機構として、従来のような回転機構を取り
除き、さらに支持機構に１ヶ所以上の方向転換部や曲が
り部を設ける形状や、螺旋のように曲率を持って向きを
変える形状の可撓性ビームを採用することにより、支持
機構の全長を短かくできてシーク動作に有利であるとと
もに、押しつけ方向のばね係数を小さくすることができ
１００ｍｇ以下の押し付け荷重でも安定して負荷するこ
とができる。例えば、可撓性ビームにＮ個の方向転換部
を設ける形状を採用した場合、ばね部の実効的長さは図
１（ａ）中の長さＬの最大約（Ｎ＋１）倍にすることが
できるので、方向転換部の数を変えることで任意のばね
係数を得ることができる。

【００１３】さらに、ピボット等の回転機構を持たず、
また方向転換部分や曲がり部があるため、あるいは螺旋
のように曲率をもって向きを変える形状であるため、ス
ライダが上下動した場合にスライダがガイドアームに対
して回転することがなく、ねじり剛性も１００ｇｆｍｍ
／ｒａｄ以上に設計できるので、スライダに摩擦力が働
いた場合もそれがガイドアームに対して実質的に回転す
ることがない。

【００１４】ねじり剛性を１００ｇｆｍｍ／ｒａｄ以上
にすると、曲面の曲率半径が１ｍｍ、スライダの高さが
０．５ｍｍ、摩擦力が０．３ｇｆの場合、スペーシング
損失Δｈは約１ｎｍに低減できる。このため、スペーシ
ング損失が微小で安定した浮上式や接触式のスライダ走
行及び高密度の記録再生が可能となる。また、従来技術
では荷重発生部とスライダ支持部をスポット溶接等で接
合していたが、本発明のようにこれらを一体成型で製造
することにより、組立て精度の向上、部品点数の削減等
が可能になり製造上の利点も大きい。

【００１５】

【実施例】図９は、本発明の磁気ディスク装置の基本的
構成を表す上面図である。磁気ヘッドスライダ支持機構
１はガイドアーム６に支持され、ボイスコイルモータ７
により、回転する磁気ディスク３の面上を略半径方向に
移動することができる。磁気ヘッドスライダ支持機構１
は後述の実施例に示す構造をしており、その端部又は中
央部に自己記録再生もしくは誘導型部による記録、磁気
抵抗効果による再生機能を有する記録再生素子４を搭載
した磁気ヘッドスライダ２が装着されており、これらに
より磁気ディスク上の任意の場所に高速で移動し情報を
記録再生することができる。

【００１６】以下に、本発明の実施例を説明する。〔実施例１〕図１（ａ）に、方向転換部分１３を各可撓
性ビーム１２に２ヶ所設けた磁気ヘッドスライダ支持機
構１に少なくとも記録再生素子部近傍で有限の曲率半径
を有する曲面スライダ２を搭載した実施例の上面図を、
図１（ｂ）及び図１（ｃ）に、その側面図を示す。

【００１７】本実施例の支持機構１は、ガイドアーム６
との接合部から延設され最終的に連結部１４で連結する
２本の可撓性ビーム１２で構成され、連結するまでの経
路においてそれぞれ延設されてきた方向と略同一方向逆
向きに向きを変える方向転換部１３を有する。曲面スラ
イダ２として、図では球面スライダの例を示したが、球
面スライダを２分割して磁気ディスク３への接触部から
後方を取り除いた形状の半球型スライダ、あるいは半球
型を曲率半径が方向によって異なるように変形した船型
スライダ等でもよい。方向転換部分１３は各可撓性ビー
ムに１ヶ所以上あればよい。支持機構１はステンレス等
の金属材料又はポリイミド等の高分子材料あるいはＳｉ
等でできており、プレス成型あるいは半導体で用いられ
ている薄膜加工技術やエッチング加工等により成型され
る。支持機構１は、剛性の高いガイドアーム６に支持さ
れている。

【００１８】図には方向転換部の角部が略直角の例を示
したが、０．０１ｍｍ以上５ｍｍ以下の曲率をもたせた
方がより好ましい。厚さ１０〜３０μｍのステンレスの
場合、長さＬは２〜８ｍｍ、幅ｂは０．１〜０．８ｍｍ
程度とすれば、押し付け方向のばね係数が０．０１〜
０．５ｍｇ／μｍとなり必要に応じた設計が可能であ
る。磁気ヘッドスライダ２は、支持機構１の連結部１４
の下面中央に接着剤等により固定されている。

【００１９】初期状態では、図１（ｂ）に示すように、
下方に初期たわみを与えておき、使用状態で、図１
（ｃ）に示すように、磁気ディスク３の面上に押しつけ
る。この使用状態における設定高さは小さくなるように
設計しておくのが望ましい。例えば、押し付け荷重が５
０ｍｇで、ばね係数が０．１ｍｇ／μｍの場合、初期た
わみは略５００μｍとし、使用状態で設定高さがほぼゼ
ロになるようにすることが望ましい。

【００２０】この構造によると支持機構１の全長は３〜
９ｍｍ程度と短かくできるので、ディスク面内方向の固
有振動数は２０ｋＨｚ程度となり、高速シーク動作に有
利であるとともに、ばね部分の長さは図示されている長
さＬの３倍以上とできるため、押しつけ方向のばね係数
を小さくすることができ、１００ｍｇ以下の押し付け荷
重でも安定して負荷することができる。このため磁気デ
ィスクに働く負荷を小さくできるので寿命を飛躍的に向
上できる。

【００２１】さらに、ピボット等の回転機構を持たず、
また方向転換部分１３があり、ねじれ剛性が１００ｇｆ
ｍｍ／ｒａｄ以上であるために、ディスクの走行方向や
半径方向の摩擦力、あるいは面振れや組立て誤差による
スライダ２の上下動等に対し、スライダ２がガイドアー
ムに対して実質的に回転することがなく、スペーシング
損失が生じないため、安定した浮上式や接触式のスライ
ダ走行及び高密度の記録再生が可能となる。

【００２２】１本のビームあたりの方向転換部の数がＮ
の場合、ばね部の実効的長さは図中の長さＬの最大約
（Ｎ＋１）倍にすることができるので、方向転換部の数
を変えることで任意のばね係数を得ることができる。ま
た、ここには磁気ヘッドスライダ支持機構１がガイドア
ーム６に片持ち支持されていて可撓性ビーム１２が２本
である場合を示したが、ガイドアーム６に切り欠き部を
設けその中に支持機構１を配設して支持機構１を両持ち
支持することも可能である。その場合、連結部１４に
は、例えば図１（ａ）の左方からも可撓性ビーム１２を
さらに２本左右対称に連結する構造としてもよいし、対
称構造とせずに図１（ａ）の左方から１本の可撓性ビー
ムを連結部１４につなげるようにすることもできる。ス
ライダ２の形状は特に球面である必要がなく、前述のよ
うに適宜の形状とすることができる。

【００２３】〔実施例２〕図２（ａ）及び図２（ｂ）
に、ガイドアーム６との接合部から延設され最終的に連
結する４本の可撓性ビーム１２で構成され、連結部１４
に至るまでの経路においてそれぞれ延設されてきた方向
と異なる方向に向きを変える曲がり部１５を１ヶ所設
け、全体として卍形状にした板ばね式磁気ヘッドスライ
ダ支持機構の上面図及び側断面図を示す。

【００２４】図２に示したのは、曲がり部１５の曲げ角
を９０度とした一例であるが、この曲げ角は９０度でな
くても良い。支持機構１は厚さ５〜３０μｍのステンレ
ス等の金属材料、ポリイミド等の高分子材料、又はＳｉ
等からプレス成型やエッチング加工等で成型される。支
持機構１の連結部１４の下面中央には球面スライダ２が
接着剤等により固定されている。

【００２５】従来、両持ち支持等の多点支持構造や、ダ
イヤフラム等の全周支持構造にする場合、押し付け変形
時に支持機構に働く張力が大きくなり、０．０１〜０．
５ｍｇ／μｍのばね係数を実現するのが困難であった。
本実施例の特徴は、押し付け時の張力が図示の矢印のよ
うに曲げや、ねじり変形に置き換えることができるとい
う点であり、これにより多点支持構造でも上記のばね係
数を実現することができる。例えば、１０μｍ厚のステ
ンレスを用い、支持機構の外形１辺を５ｍｍ、各可撓性
ビームの幅を０．１ｍｍとすれば、ばね係数は約０．１
ｍｇ／μｍとなり５０ｍｇの荷重を安定に負荷すること
ができる。

【００２６】〔実施例３〕図３は、図２に示した形状に
おける４本の可撓性ビーム１２に、それぞれ曲がり部１
５をさらに１ヶ所増やし合計２ヶ所設けた場合の実施例
である。球面スライダ２は、支持機構１の連結部１４の
下面中央に接着剤等により固定される。このように曲が
り部１５の数を増加させることで、全体の寸法の小型化
と、かつ、小さなばね係数で高固有振動数の要求を両立
させることができる。

【００２７】〔実施例４〕図４に、ガイドアーム６との
接合部から延設され最終的に連結する３本の可撓性ビー
ム１２で構成され、連結部１４に至るまでの経路におい
てそれぞれの可撓性ビーム１２が連続的に変化する曲率
で向きを変え、全体として螺旋形状にした板ばね式磁気
ヘッドスライダ支持機構の上面図を示す。球面スライダ
２は、支持機構１の連結部１４の下面中央に接着剤等に
より固定される。材料や、加工方法は図２、図３に示し
た場合と同様であり、本形状の場合にも、半導体で用い
られているＳｉのエッチング技術を用いれば、加工性が
良好で効果的である。このような形状にすることで、可
撓性ビームの本数、剛性等の設計の自由度が増し、必要
なばね係数やねじり剛性が容易に設計できるという効果
がある。

【００２８】〔実施例５〕図５は、図２に示した本発明
の実施例の磁気ヘッドスライダ支持機構１と、球面スラ
イダ２を用いて、液体潤滑浮上によるスライダの走行方
式を実現した例である。記録再生素子４は、球面スライ
ダ２の磁気ディスク面に最接近する位置に配置されてい
る。磁気ディスクの構成は、カーボン、Ｔｉ、ＳｉＣ、
強化ガラス、ＮｉＰメッキＡｌ合金、セラミックス、ポ
リイミド、ＰＥＴフィルム等の基板上にＮｂ、Ｃｒ、Ｃ
ｒＴｉ等の厚さ５〜２００ｎｍの下地層８を有し、その
上にＣｏＣｒＴａ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒ等の厚
さ５〜２０ｎｍの磁性層９、Ｃ、（ＭｏＷ）Ｃ、水素含
有カーボン、ＺｒＯ₂、（ＺｒＮｂ）Ｎ等からなる厚さ
５〜４０ｎｍの保護膜１０、吸着性、極性もしくは反応
性の末端基を有するパーフルオロアルキルポリエーテル
等の厚さ５〜４０ｎｍの液体潤滑剤１１からなり、各層
が層状に積層した構造を有する。

【００２９】本実施例によると、１００ｍｇ以下であっ
ても安定した押し付け荷重を負荷することができるの
で、磁気ディスク上に浮上量１０〜４０ｎｍで安定に液
体浮上させることができる。なお、図１、図３又は図４
に示した磁気ヘッドスライダ支持機構を用いても同様に
安定に液体浮上させることができる。

【００３０】〔実施例６〕図６は、図５の実施例に示し
た液体潤滑浮上方式において、磁気ヘッドスライダ２に
負荷するディスク面への押し付け荷重を変化させて、そ
の時の浮上量を測定した結果を示すグラフである。押し
付け荷重が２０ｍｇ未満の場合、ディスクの回転にとも
なう空気流の影響等により浮上量が不安定になる。ま
た、押し付け荷重が１００ｍｇより大きい場合は液体の
負荷容量を超えてしまい、保護膜層との固体接触が生じ
るため浮上が不安定になる。

【００３１】図５において、液体潤滑剤１１を用いず磁
気ヘッドスライダ２と保護膜１０を固体接触状態で走行
させる方式においても、安定な走行のためには本発明の
磁気ヘッドスライダ支持機構が必要不可欠であり、押し
付け荷重が１００ｍｇより大きい場合は接触力が増大
し、スライダの安定性が悪化する。従って、流体浮上又
は固体接触によるスライダの走行方式においては押し付
け荷重を２０〜１００ｍｇの範囲に設定する必要があ
り、その範囲で使用すれば浮上安定性あるいは走行安定
性が極めてよい。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドスライダに
１００ｍｇ以下の押しつけ荷重を安定して負荷すること
ができ、さらに磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面に
対して実質的に回転することがないので、浮上量１０〜
４０ｎｍの液体浮上あるいは固体接触によるスライダ走
行方式が可能となり、信頼性の高い高密度記録の磁気デ
ィスク装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドスライダ支持機構の一実施
例を示す上面図及び側面図。

【図２】本発明の磁気ヘッドスライダ支持機構の他の実
施例を示す上面図及び側面図。

【図３】本発明の磁気ヘッドスライダ支持機構の他の実
施例を示す上面図。

【図４】本発明の磁気ヘッドスライダ支持機構の他の実
施例を示す上面図。

【図５】本発明の一実施例である液体浮上走行方式を説
明する側断面図。

【図６】液体浮上量と押し付け荷重の関係図。

【図７】本発明が解決しようとする課題の説明図。

【図８】本発明が解決しようとする課題の説明図。

【図９】磁気ディスク装置の構成を表す上面図。

【符号の説明】１磁気ヘッドスライダ支持機構２磁気ヘッドスライダ３磁気ディスク４記録再生素子５ピボット（回転機構）６ガイドアーム７ボイスコイルモータ８下地層９磁性層１０保護膜１１液体潤滑剤１２可撓性ビーム１３方向転換部１４連結部１５曲がり部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松島勝東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガイドアームに接続され、情報記録再生
素子を搭載した磁気ヘッドスライダを支持すると共に磁
気ディスクへの押し付け荷重を発生させる板ばねを含む
磁気ヘッドスライダ支持機構であって、前記板ばねは、前記ガイドアームとの接合部と磁気ヘッ
ドスライダ搭載部とを非直線的に結び、板ばね面と交差
する方向に初期たわみを有する複数の可撓性ビームによ
って前記磁気ヘッドスライダを支持し、前記ガイドアー
ムに対して相対的な磁気ヘッドスライダの運動を実質的
に前記板ばね面と交差する方向への並進運動のみに制限
することを特徴とする磁気ヘッドスライダ支持機構。
【請求項２】前記複数の可撓性ビームは、ほぼ平行に
配置され、隣接する可撓性ビームとその交互の端部で相
互に接続されて全体として対称なジグザグ形状をなすこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ支持
機構。
【請求項３】前記板ばねは、前記ガイドアームとの接
合部から延設され、前記磁気ヘッド搭載部に連結する２
本以上の可撓性ビームで構成され、各可撓性ビームには
延設されてきた方向と略同一方向逆向きに方向を変える
方向転換部が少なくとも１ヶ所設けられていることを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
【請求項４】前記ガイドアームとの接合部は閉じた領
域を形成し、該領域のほぼ中央に磁気ヘッドスライダ搭
載部が位置し、前記複数の可撓性ビームは前記磁気ヘッ
ドスライダ搭載部に対して回転対称に設けられているこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ支持
機構。
【請求項５】前記板ばねは、前記ガイドアームとの接
合部から延設され前記磁気ヘッドスライダ搭載部に連結
する２本以上の可撓性ビームで構成され、各可撓性ビー
ムには延設されてきた方向と異なる方向に向きを変える
曲がり部が少なくとも１ヶ所設けられていることを特徴
とする請求項４記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
【請求項６】前記板ばねは、前記ガイドアームとの接
合部から延設され前記磁気ヘッドスライダ搭載部に連結
する２本以上の可撓性ビームで構成され、各可撓性ビー
ムは連結されるまでの経路において曲率を持って向きを
変えるか、螺旋状に向きを変える形状を有することを特
徴とする請求項４記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
【請求項７】前記磁気ヘッドスライダの前記ガイドア
ームに対する各方向の回転運動のねじり剛性が１００ｇ
ｆｍｍ／ｒａｄ以上であることを特徴とする請求項１〜
６のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ支持機構。
【請求項８】前記磁気ヘッドスライダを磁気ディスク
面に押し付ける方向のばね係数が０．０１ｍｇ／μｍ以
上０．５ｍｇ／μｍ以下であることを特徴とする請求項
１〜７のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ支持機
構。
【請求項９】前記磁気ヘッドスライダ機構は、接合部
がなく一体成型で形成されていることを特徴とする請求
項１〜８のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ支持
機構。
【請求項１０】請求項１〜９のいずれか１項記載の磁
気ヘッドスライダ支持機構を含み、磁気ヘッドスライダ
を磁気ディスク上に流体浮上又は接触した状態で走行さ
せて記録再生動作を行なうことを特徴とする磁気ディス
ク装置。
【請求項１１】磁気ヘッドスライダ支持機構が磁気ヘ
ッドスライダを磁気ディスク面に押し付ける荷重が２０
ｍｇ以上１００ｍｇ以下であることを特徴とする請求項
１０記載の磁気ディスク装置。
【請求項１２】磁気ディスクは少なくとも保護膜層又
は液体潤滑剤層を有し、前記磁気ヘッドスライダは前記
保護膜又は液体潤滑剤に接触しながら情報を記録再生す
ることを特徴とする請求項１０又は１１記載の磁気ディ
スク装置。