JPH09178514A - モータ磁極検出用ロータリエンコーダ - Google Patents
モータ磁極検出用ロータリエンコーダInfo
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- JPH09178514A JPH09178514A JP35154595A JP35154595A JPH09178514A JP H09178514 A JPH09178514 A JP H09178514A JP 35154595 A JP35154595 A JP 35154595A JP 35154595 A JP35154595 A JP 35154595A JP H09178514 A JPH09178514 A JP H09178514A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ６極用と８極用の回転ディスクを共用できる
モータ磁極検出用ロータリエンコーダを提供する。 【解決手段】 円周方向に等間隔にモータの磁極位置に
対応する検出スリット２１を設けた回転ディスク２と、
回転ディスク２を照射するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の発光素
子３と、検出スリット２１を透過する光線の範囲を制限
するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の固定スリット４１を設けた固
定板４と、固定スリット４１を透過した光線を受光する
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用の受光素子３とを備えたモータ磁極
検出用ロータリエンコーダにおいて、検出スリット４１
は、回転ディスク２の外周側に設けた８極用スリットと
内周側に設けた６極用スリットからなり、受光素子３
は、８極用スリットと６極用スリットの両方のスリット
を透過する光線を受光する位置に配置され、固定板４は
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用のそれぞれの受光素子３の位置に対
応する８極用または６極用固定スリット４１を設けたも
のである。
モータ磁極検出用ロータリエンコーダを提供する。 【解決手段】 円周方向に等間隔にモータの磁極位置に
対応する検出スリット２１を設けた回転ディスク２と、
回転ディスク２を照射するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の発光素
子３と、検出スリット２１を透過する光線の範囲を制限
するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の固定スリット４１を設けた固
定板４と、固定スリット４１を透過した光線を受光する
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用の受光素子３とを備えたモータ磁極
検出用ロータリエンコーダにおいて、検出スリット４１
は、回転ディスク２の外周側に設けた８極用スリットと
内周側に設けた６極用スリットからなり、受光素子３
は、８極用スリットと６極用スリットの両方のスリット
を透過する光線を受光する位置に配置され、固定板４は
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用のそれぞれの受光素子３の位置に対
応する８極用または６極用固定スリット４１を設けたも
のである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＡＣサーボモータ
用の光学式ロータリエンコーダに関し、とくに６極と８
極のＡＣサーボモータのモータ磁極検出用ロータリエン
コーダに関する。
用の光学式ロータリエンコーダに関し、とくに６極と８
極のＡＣサーボモータのモータ磁極検出用ロータリエン
コーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、８極のＡＣサーボモータの磁極位
置を検出するために使用される光学式ロータリエンコー
ダは、例えば、図５（ａ）に示すように、Ｕ相、Ｖ相、
Ｗ相用の３個の発光素子１と、１トラックの検出スリッ
ト２１を設けた回転ディスク２と、発光素子１からの光
線を受けるＵ相、Ｖ相、Ｗ相の３相の受光素子３（３
Ｕ，３Ｖ，３Ｗ）と、回転ディスク２と受光素子３との
間に設けた固定板４に設けた固定スリット４１（４１
Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗ）とを設け、各受光素子３の間をそ
れぞれ電気角で１２０度、機械角では、８極の場合３０
度（６極の場合４０度）ずらして配置した受光部シリア
ル配置構成がある。また、例えば図５（ｂ）に示すよう
に、１個の発光素子１と、回転ディスク２と、回転ディ
スク２に電気角で１２０度ずらしたパターンを備えたＵ
相、Ｖ相、Ｗ相の３トラックの検出スリット２１（２１
Ｕ，２１Ｖ，２１Ｗ）とを設け、各相の受光素子３と固
定板４に設けた固定スリット４１は機械角ではほぼ同位
置に配置した受光部パラレル配置構成がある。
置を検出するために使用される光学式ロータリエンコー
ダは、例えば、図５（ａ）に示すように、Ｕ相、Ｖ相、
Ｗ相用の３個の発光素子１と、１トラックの検出スリッ
ト２１を設けた回転ディスク２と、発光素子１からの光
線を受けるＵ相、Ｖ相、Ｗ相の３相の受光素子３（３
Ｕ，３Ｖ，３Ｗ）と、回転ディスク２と受光素子３との
間に設けた固定板４に設けた固定スリット４１（４１
Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗ）とを設け、各受光素子３の間をそ
れぞれ電気角で１２０度、機械角では、８極の場合３０
度（６極の場合４０度）ずらして配置した受光部シリア
ル配置構成がある。また、例えば図５（ｂ）に示すよう
に、１個の発光素子１と、回転ディスク２と、回転ディ
スク２に電気角で１２０度ずらしたパターンを備えたＵ
相、Ｖ相、Ｗ相の３トラックの検出スリット２１（２１
Ｕ，２１Ｖ，２１Ｗ）とを設け、各相の受光素子３と固
定板４に設けた固定スリット４１は機械角ではほぼ同位
置に配置した受光部パラレル配置構成がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、前者の構成の場合、モータの磁極数を変更する
と、回転ディスクの検出スリットパターンと受光部の配
置の二つの項目を変更する必要がある。また、後者の構
成の場合、モータの磁極数の変更はディスクの変更のみ
で対応できるため、一般に広く使用されているが、いず
れの方法でもモータの磁極数毎にディスクが必要であ
り、エンコーダのディスクの種類が増え、コストが高く
なったり、在庫管理に多くの手間がかかるという問題が
あった。本発明は、６極用と８極用の回転ディスクを共
用できるモータ磁極検出用ロータリエンコーダを提供す
ることを目的とするものである。
術では、前者の構成の場合、モータの磁極数を変更する
と、回転ディスクの検出スリットパターンと受光部の配
置の二つの項目を変更する必要がある。また、後者の構
成の場合、モータの磁極数の変更はディスクの変更のみ
で対応できるため、一般に広く使用されているが、いず
れの方法でもモータの磁極数毎にディスクが必要であ
り、エンコーダのディスクの種類が増え、コストが高く
なったり、在庫管理に多くの手間がかかるという問題が
あった。本発明は、６極用と８極用の回転ディスクを共
用できるモータ磁極検出用ロータリエンコーダを提供す
ることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、円周方向に等間隔にモータの磁極位置に
対応する検出スリットを設けた回転ディスクと、前記回
転ディスクを照射するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の発光
素子と、前記回転ディスクの検出スリットを透過する光
線の範囲を制限するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の固定ス
リットを設けた固定板と、前記固定スリットを透過した
光線を受光するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の受光素子と
を備えたモータ磁極検出用ロータリエンコーダにおい
て、前記検出スリットは、前記回転ディスクの外周側に
設けた８極用検出スリットと内周側に設けた６極用検出
スリットからなり、前記受光素子は、前記８極用検出ス
リットと前記６極用検出スリットの両方のスリットを透
過する光線を受光する位置に配置され、前記固定板は前
記Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用のそれぞれの受光素子の位置に対
応する８極用固定スリットまたは６極用固定スリットを
設けたものである。また、前記８極用固定スリットおよ
び前記６極用固定スリットのそれぞれのＶ相固定スリッ
トは、モータ基準位置から時計回りに１２０度の位置に
配置され、８極用のＵ相およびＷ相固定スリットはＶ相
固定スリットの両側３０度の位置に配置され、６極用の
Ｕ相およびＷ相固定スリットはＶ相固定スリットの両側
４０度の位置に配置されたものである。
め、本発明は、円周方向に等間隔にモータの磁極位置に
対応する検出スリットを設けた回転ディスクと、前記回
転ディスクを照射するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の発光
素子と、前記回転ディスクの検出スリットを透過する光
線の範囲を制限するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の固定ス
リットを設けた固定板と、前記固定スリットを透過した
光線を受光するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の受光素子と
を備えたモータ磁極検出用ロータリエンコーダにおい
て、前記検出スリットは、前記回転ディスクの外周側に
設けた８極用検出スリットと内周側に設けた６極用検出
スリットからなり、前記受光素子は、前記８極用検出ス
リットと前記６極用検出スリットの両方のスリットを透
過する光線を受光する位置に配置され、前記固定板は前
記Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用のそれぞれの受光素子の位置に対
応する８極用固定スリットまたは６極用固定スリットを
設けたものである。また、前記８極用固定スリットおよ
び前記６極用固定スリットのそれぞれのＶ相固定スリッ
トは、モータ基準位置から時計回りに１２０度の位置に
配置され、８極用のＵ相およびＷ相固定スリットはＶ相
固定スリットの両側３０度の位置に配置され、６極用の
Ｕ相およびＷ相固定スリットはＶ相固定スリットの両側
４０度の位置に配置されたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
ついて説明する。図１は本発明を８極のモータに適用し
た場合の実施例を示す構成図、図２は６極のモータに適
用した場合の実施例を示す構成図である。図１におい
て、１（１Ｕ，１Ｖ，１Ｗ）は回転ディスクを照射する
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の発光素子、２は８極または
６極のモータの磁極位置に対応する検出スリット２１を
設けた回転ディスクで、外周側に８極用検出スリット２
１Ａと内周側に６極用検出スリット２１Ｂとを設けてあ
る。３（３Ｕ，３Ｖ，３Ｗ）はＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３
個の受光素子で、８極用検出スリット２１Ａと６極用検
出スリット２１Ｂの両方のスリットを透過する光線を受
光するように基板３１上に配置してある。４は回転ディ
スク２と受光素子３との間に設けた固定板で、８極用の
固定板４Ａと６極用の固定板４Ｂを設け、モータの極数
に応じて使用する。固定板４Ａ，４ＢにはＵ相、Ｖ相、
Ｗ相用のそれぞれの受光素子の位置に対応させて固定ス
リット４１Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗを設けてある。８極用検
出スリット２１Ａは、円周方向に４５度ピッチで交互に
透光部２２Ａと非透光部２３Ａを設けてあり、隣接する
透光部２２Ａと非透光部２３Ａとでなす中心角（機械
角）で電気角が３６０度になる。６極用検出スリット２
１Ｂは、円周方向に６０度ピッチで交互に透光部２２Ｂ
と非透光部２３Ｂを設けてあり、隣接する透光部２２Ｂ
と非透光部２３Ｂで電気角が３６０度になる。８極用検
出スリット２１Ａと６極用検出スリット２１Ｂとの円周
方向の相対位置は、８極用検出スリット２１Ａと６極用
検出スリット２１Ｂの両方のスリットのうちのそれぞれ
一つの非透光部２３Ａと一つの非透光部２３Ｂどうしが
重なる位置に配置してある。
ついて説明する。図１は本発明を８極のモータに適用し
た場合の実施例を示す構成図、図２は６極のモータに適
用した場合の実施例を示す構成図である。図１におい
て、１（１Ｕ，１Ｖ，１Ｗ）は回転ディスクを照射する
Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の発光素子、２は８極または
６極のモータの磁極位置に対応する検出スリット２１を
設けた回転ディスクで、外周側に８極用検出スリット２
１Ａと内周側に６極用検出スリット２１Ｂとを設けてあ
る。３（３Ｕ，３Ｖ，３Ｗ）はＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３
個の受光素子で、８極用検出スリット２１Ａと６極用検
出スリット２１Ｂの両方のスリットを透過する光線を受
光するように基板３１上に配置してある。４は回転ディ
スク２と受光素子３との間に設けた固定板で、８極用の
固定板４Ａと６極用の固定板４Ｂを設け、モータの極数
に応じて使用する。固定板４Ａ，４ＢにはＵ相、Ｖ相、
Ｗ相用のそれぞれの受光素子の位置に対応させて固定ス
リット４１Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗを設けてある。８極用検
出スリット２１Ａは、円周方向に４５度ピッチで交互に
透光部２２Ａと非透光部２３Ａを設けてあり、隣接する
透光部２２Ａと非透光部２３Ａとでなす中心角（機械
角）で電気角が３６０度になる。６極用検出スリット２
１Ｂは、円周方向に６０度ピッチで交互に透光部２２Ｂ
と非透光部２３Ｂを設けてあり、隣接する透光部２２Ｂ
と非透光部２３Ｂで電気角が３６０度になる。８極用検
出スリット２１Ａと６極用検出スリット２１Ｂとの円周
方向の相対位置は、８極用検出スリット２１Ａと６極用
検出スリット２１Ｂの両方のスリットのうちのそれぞれ
一つの非透光部２３Ａと一つの非透光部２３Ｂどうしが
重なる位置に配置してある。
【０００６】８極用検出スリット２１Ａと６極用検出ス
リット２１Ｂの配置を容易にする方法として、図４
（ａ）に示す受光部パラレル配置構成による最外周に配
置された８極用検出スリットのＵ相用スリットを８極用
検出スリット２１Ａとして用い、図４（ｂ）に示す受光
部パラレル配置構成による外周から２番目の６極用検出
スリットのＶ相用スリットを６極用検出スリット２１Ｂ
に用いる。その結果、図３（ａ）に示すように、それぞ
れ、８極用検出スリット２１Ａの非透光部２３Ａと６極
用検出スリット２１Ｂの非透光部２３Ｂどうしが重なる
位置に配置される。８極用の固定板４Ａに設ける固定ス
リット４１Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗの円周方向角度ピッチ
は、図３（ｂ）に示すように、それぞれ機械角で３０度
ピッチで配置される。６極用の固定板４Ｂに設ける固定
スリット４１Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗの位置は、図３（ｃ）
に示すように、モータの磁極の基準位置から時計回りに
１２度回転した位置に８極用の固定スリット４１Ｖを設
け、８極用の固定スリット４１Ｖと径方向に重なる位置
に６極用の固定スリット４１Ｖを配置し、固定スリット
４１Ｕと固定スリット４１Ｗは固定スリット４１Ｖから
互いに反対方向に４０度回転した位置に配置される。こ
れに伴い、受光素子３Ｖは径方向に離れた８極用と６極
用の二つの固定スリット４１Ｖ、すなわち径方向は２ト
ラックからの光線を受光できる大きさにしてある。
リット２１Ｂの配置を容易にする方法として、図４
（ａ）に示す受光部パラレル配置構成による最外周に配
置された８極用検出スリットのＵ相用スリットを８極用
検出スリット２１Ａとして用い、図４（ｂ）に示す受光
部パラレル配置構成による外周から２番目の６極用検出
スリットのＶ相用スリットを６極用検出スリット２１Ｂ
に用いる。その結果、図３（ａ）に示すように、それぞ
れ、８極用検出スリット２１Ａの非透光部２３Ａと６極
用検出スリット２１Ｂの非透光部２３Ｂどうしが重なる
位置に配置される。８極用の固定板４Ａに設ける固定ス
リット４１Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗの円周方向角度ピッチ
は、図３（ｂ）に示すように、それぞれ機械角で３０度
ピッチで配置される。６極用の固定板４Ｂに設ける固定
スリット４１Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗの位置は、図３（ｃ）
に示すように、モータの磁極の基準位置から時計回りに
１２度回転した位置に８極用の固定スリット４１Ｖを設
け、８極用の固定スリット４１Ｖと径方向に重なる位置
に６極用の固定スリット４１Ｖを配置し、固定スリット
４１Ｕと固定スリット４１Ｗは固定スリット４１Ｖから
互いに反対方向に４０度回転した位置に配置される。こ
れに伴い、受光素子３Ｖは径方向に離れた８極用と６極
用の二つの固定スリット４１Ｖ、すなわち径方向は２ト
ラックからの光線を受光できる大きさにしてある。
【０００７】受光素子３Ｕは、８極用と６極用の固定ス
リット４１Ｕが１０度の差があるので、円周方向に１０
度、径方向に２トラックの範囲の光線を受光するように
してある。受光素子３Ｗも３Ｕと同様の大きさにしてあ
る。また、発光素子１Ｕ，１Ｖ，１Ｗの光線を発光する
範囲も、受光素子３Ｕ，３Ｖ，３Ｗの受光範囲に応じた
大きさにしてある。このような構成により、受光素子
１、回転ディスク２、受光素子３が同じ構成のロータリ
エンコーダを準備し、固定スリット４１の位置が異なる
固定板４をモータの極数に応じて取り替えるだけで、８
極モータまたは６極モータの磁極位置を検出することが
できる。また、上記実施例に示した２トラックの８極、
６極共用の回転ディスクの代わりに１トラックの８極専
用または６極専用の回転ディスクを使用することもでき
る。
リット４１Ｕが１０度の差があるので、円周方向に１０
度、径方向に２トラックの範囲の光線を受光するように
してある。受光素子３Ｗも３Ｕと同様の大きさにしてあ
る。また、発光素子１Ｕ，１Ｖ，１Ｗの光線を発光する
範囲も、受光素子３Ｕ，３Ｖ，３Ｗの受光範囲に応じた
大きさにしてある。このような構成により、受光素子
１、回転ディスク２、受光素子３が同じ構成のロータリ
エンコーダを準備し、固定スリット４１の位置が異なる
固定板４をモータの極数に応じて取り替えるだけで、８
極モータまたは６極モータの磁極位置を検出することが
できる。また、上記実施例に示した２トラックの８極、
６極共用の回転ディスクの代わりに１トラックの８極専
用または６極専用の回転ディスクを使用することもでき
る。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、１
個の回転ディスクに８極用と６極用のスリットを設け、
大きめの発光素子、受光素子を設け、固定スリット４１
の位置が異なる固定板４をモータの極数に応じて取り替
えるだけで、８極モータまたは６極モータの磁極位置を
検出することができるので、エンコーダのディスクの種
類が減り、コストが低減され、在庫管理が容易となるモ
ータ磁極検出用ロータリエンコーダを提供できる効果が
ある。
個の回転ディスクに８極用と６極用のスリットを設け、
大きめの発光素子、受光素子を設け、固定スリット４１
の位置が異なる固定板４をモータの極数に応じて取り替
えるだけで、８極モータまたは６極モータの磁極位置を
検出することができるので、エンコーダのディスクの種
類が減り、コストが低減され、在庫管理が容易となるモ
ータ磁極検出用ロータリエンコーダを提供できる効果が
ある。
【図１】 本発明の実施例を示す８極の場合の斜視図で
ある。
ある。
【図２】 本発明の実施例を示す６極の場合の斜視図で
ある。
ある。
【図３】 本発明の実施例を示す（ａ）回転ディスクの
平面図、（ｂ）８極の場合の固定板、および（ｃ）６極
の場合の固定板の平面図である。
平面図、（ｂ）８極の場合の固定板、および（ｃ）６極
の場合の固定板の平面図である。
【図４】 受光部パラレル配置構成の（ａ）８極の回転
ディスク，（ｂ）６極の回転ディスクを示す平面図であ
る。
ディスク，（ｂ）６極の回転ディスクを示す平面図であ
る。
【図５】 従来例を示す８極の場合の（ａ）受光部シリ
アル配置構成の斜視図、（ｂ）受光部パラレル配置構成
の斜視図である。
アル配置構成の斜視図、（ｂ）受光部パラレル配置構成
の斜視図である。
１（１Ｕ，１Ｖ，１Ｗ）：発光素子、２：回転ディス
ク、２１検出スリット、２１Ａ：８極用検出スリット、
２１Ｂ：６極用検出スリット、２２Ａ，２２Ｂ：透光
部、２３Ａ，２３Ｂ：非透光部、３（３Ｕ，３Ｖ，３
Ｗ）：受光素子、３１：基板、４：固定板、４１（４１
Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗ）：固定スリット、
ク、２１検出スリット、２１Ａ：８極用検出スリット、
２１Ｂ：６極用検出スリット、２２Ａ，２２Ｂ：透光
部、２３Ａ，２３Ｂ：非透光部、３（３Ｕ，３Ｖ，３
Ｗ）：受光素子、３１：基板、４：固定板、４１（４１
Ｕ，４１Ｖ，４１Ｗ）：固定スリット、
Claims (2)
- 【請求項１】 円周方向に等間隔にモータの磁極位置に
対応する検出スリットを設けた回転ディスクと、前記回
転ディスクを照射するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の３個の発光
素子と、前記回転ディスクの検出スリットを透過する光
線の範囲を制限するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の固定スリット
を設けた固定板と、前記固定スリットを透過した光線を
受光するＵ相、Ｖ相、Ｗ相用の受光素子とを備えたモー
タ磁極検出用ロータリエンコーダにおいて、前記検出ス
リットは、前記回転ディスクの外周側に設けた８極用検
出スリットと内周側に設けた６極用検出スリットからな
り、前記受光素子は、前記８極用検出スリットと前記６
極用検出スリットの両方のスリットを透過する光線を受
光する位置に配置され、前記固定板は前記Ｕ相、Ｖ相、
Ｗ相用のそれぞれの受光素子の位置に対応する８極用固
定スリットまたは６極用固定スリットを設けたことを特
徴とするモータ磁極検出用ロータリエンコーダ。 - 【請求項２】 前記８極用固定スリットおよび前記６極
用固定スリットのそれぞれのＶ相固定スリットは、モー
タ基準位置から時計回りに１２０度の位置に配置され、
８極用のＵ相およびＷ相固定スリットはＶ相固定スリッ
トの両側３０度の位置に配置され、６極用のＵ相および
Ｗ相固定スリットはＶ相固定スリットの両側４０度の位
置に配置された請求項１記載のモータ磁極検出用ロータ
リエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35154595A JP3632711B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | モータ磁極検出用ロータリエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35154595A JP3632711B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | モータ磁極検出用ロータリエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178514A true JPH09178514A (ja) | 1997-07-11 |
| JP3632711B2 JP3632711B2 (ja) | 2005-03-23 |
Family
ID=18418011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35154595A Expired - Fee Related JP3632711B2 (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | モータ磁極検出用ロータリエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3632711B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000180213A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 増分および絶対位置デ―タを出力するエンコ―ダ |
| JP2002340614A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-27 | Yaskawa Electric Corp | エンコーダ |
| JP2012247791A (ja) * | 2012-07-13 | 2012-12-13 | Lasertec Corp | 直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法本発明は、直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、及びビーム照射装置、並びにビーム成形装置を用いた欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法に関する。 |
-
1995
- 1995-12-25 JP JP35154595A patent/JP3632711B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000180213A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 増分および絶対位置デ―タを出力するエンコ―ダ |
| JP2002340614A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-27 | Yaskawa Electric Corp | エンコーダ |
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