JPH09174063A - 高濃度フッ酸廃液の処理方法 - Google Patents
高濃度フッ酸廃液の処理方法Info
- Publication number
- JPH09174063A JPH09174063A JP7343565A JP34356595A JPH09174063A JP H09174063 A JPH09174063 A JP H09174063A JP 7343565 A JP7343565 A JP 7343565A JP 34356595 A JP34356595 A JP 34356595A JP H09174063 A JPH09174063 A JP H09174063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- slurry
- adjusting
- hydrofluoric acid
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素量の有意的な低減方法の提供。
【解決手段】 高濃度フッ酸廃液を収容した中和槽１０
に、後述のスラリー及びスピゴットを混入させ、更に、
炭酸カルシウムを添加処理してｐＨを４．５〜５．５に
調整する工程と、その処理液を収容した中和槽１３に水
酸化カルシウムを添加処理してｐＨを７．５〜８．５に
調整する工程と、その処理液をシックナー１８にかけて
スラリーを沈積させる工程と、スラリーのうち廃液に混
入させる分を除いた残りを濾過器２２にかけてケークと
濾過液に分離する工程と、濾過液を収容した中和槽２３
に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１２．０〜１２．
５に調整する工程と、その処理液をシックナー２４にか
けてスピゴットと清澄液に分離する工程とを方法で処理
する。
に、後述のスラリー及びスピゴットを混入させ、更に、
炭酸カルシウムを添加処理してｐＨを４．５〜５．５に
調整する工程と、その処理液を収容した中和槽１３に水
酸化カルシウムを添加処理してｐＨを７．５〜８．５に
調整する工程と、その処理液をシックナー１８にかけて
スラリーを沈積させる工程と、スラリーのうち廃液に混
入させる分を除いた残りを濾過器２２にかけてケークと
濾過液に分離する工程と、濾過液を収容した中和槽２３
に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１２．０〜１２．
５に調整する工程と、その処理液をシックナー２４にか
けてスピゴットと清澄液に分離する工程とを方法で処理
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高濃度フッ酸廃液
の処理方法に関する。より詳細には、本発明は、高濃度
フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い廃液から、ＣａＦ2を
回収すると共に、排水とする清澄液の化学的酸素要求量
（ＣＯＤ）を２〜３ｐｐｍまで下げられる、高濃度フッ
酸廃液の処理方法に関する。
の処理方法に関する。より詳細には、本発明は、高濃度
フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い廃液から、ＣａＦ2を
回収すると共に、排水とする清澄液の化学的酸素要求量
（ＣＯＤ）を２〜３ｐｐｍまで下げられる、高濃度フッ
酸廃液の処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】フッ酸を主成分とする溶液は、シリコン
の酸化物を容易に溶解できることから、シリコン半導体
の製造分野において広く用いられているが、フッ素は強
酸であり、人体や環境に大きな悪影響を与えることから
厳しく排水基準が定められている。
の酸化物を容易に溶解できることから、シリコン半導体
の製造分野において広く用いられているが、フッ素は強
酸であり、人体や環境に大きな悪影響を与えることから
厳しく排水基準が定められている。
【０００３】これまで、フッ素含有廃液は、水酸化カル
シウム（Ｃａ（ＯＨ）2）などのカルシウム塩を添加し
てフッ化カルシウム（ＣａＦ2）の不溶物を沈殿生成さ
せて除去し、更に廃液中の残存フッ素をアルミニウム塩
などを添加して吸着除去してきたが、この方法では、設
備（保全を含む）費用や薬剤費用が高価についていた。
シウム（Ｃａ（ＯＨ）2）などのカルシウム塩を添加し
てフッ化カルシウム（ＣａＦ2）の不溶物を沈殿生成さ
せて除去し、更に廃液中の残存フッ素をアルミニウム塩
などを添加して吸着除去してきたが、この方法では、設
備（保全を含む）費用や薬剤費用が高価についていた。
【０００４】
【発明が開発しようとする課題】それ故、安価な廃液処
理方法を提供することが求められている。
理方法を提供することが求められている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、高濃度フッ酸廃液の処理方法であって、
高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い廃液に後工程か
らの返送スラリーを混入させ、更に、炭酸カルシウムを
添加処理してｐＨを４．５〜５．５に調整する工程と、
ｐＨが４．５〜５．５の処理液に水酸化カルシウムを添
加処理してｐＨを７．５〜８．５に調整する工程と、ｐ
Ｈが７．５〜８．５の処理液をシックニングしてスラリ
ーを沈積させる工程と、沈積したスラリーの一部を返送
すると共に、残りのスラリーを濾過してケークを形成す
る工程と、を含む処理方法を提供するものである。
決するために、高濃度フッ酸廃液の処理方法であって、
高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い廃液に後工程か
らの返送スラリーを混入させ、更に、炭酸カルシウムを
添加処理してｐＨを４．５〜５．５に調整する工程と、
ｐＨが４．５〜５．５の処理液に水酸化カルシウムを添
加処理してｐＨを７．５〜８．５に調整する工程と、ｐ
Ｈが７．５〜８．５の処理液をシックニングしてスラリ
ーを沈積させる工程と、沈積したスラリーの一部を返送
すると共に、残りのスラリーを濾過してケークを形成す
る工程と、を含む処理方法を提供するものである。
【０００６】また、本発明は、高濃度フッ酸廃液の処理
方法であって、高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い
廃液に、後述のスラリー及びスピゴットを混入させ、更
に、炭酸カルシウムを添加処理してｐＨを４．５〜５．
５に調整する第１ｐＨ調整工程と、第１ｐＨ調整工程に
より調整された処理液に水酸化カルシウムを添加処理し
てｐＨを７．５〜８．５に調整する第２ｐＨ調整工程
と、第２ｐＨ調整工程により調整された処理液をシック
ニングしてスラリーを沈積させる第１固液分離工程と、
スラリーのうち廃液に入れる分を除いた残りを濾過して
ケークと濾過液に分離する濾過工程と、濾過液に水酸化
カルシウムを添加してｐＨを１２．０〜１２．５に調整
する第３ｐＨ調整工程と、第３ｐＨ調整工程により得ら
れた処理液をシックニングしてスピゴットと清澄液に分
離する第２固液分離工程と、を含む処理方法を提供する
ものである。
方法であって、高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い
廃液に、後述のスラリー及びスピゴットを混入させ、更
に、炭酸カルシウムを添加処理してｐＨを４．５〜５．
５に調整する第１ｐＨ調整工程と、第１ｐＨ調整工程に
より調整された処理液に水酸化カルシウムを添加処理し
てｐＨを７．５〜８．５に調整する第２ｐＨ調整工程
と、第２ｐＨ調整工程により調整された処理液をシック
ニングしてスラリーを沈積させる第１固液分離工程と、
スラリーのうち廃液に入れる分を除いた残りを濾過して
ケークと濾過液に分離する濾過工程と、濾過液に水酸化
カルシウムを添加してｐＨを１２．０〜１２．５に調整
する第３ｐＨ調整工程と、第３ｐＨ調整工程により得ら
れた処理液をシックニングしてスピゴットと清澄液に分
離する第２固液分離工程と、を含む処理方法を提供する
ものである。
【０００７】両方法とも、高濃度フッ酸廃液が更に硫酸
を含む場合にも上首尾に適用できる。
を含む場合にも上首尾に適用できる。
【０００８】
【作用】フッ酸廃液に予め炭酸カルシウム（ＣａＣ
Ｏ3）を添加してｐＨ＝４．５〜５．５となるように
し、続けて、Ｃａ（ＯＨ）2を添加してｐＨ＝７．５〜
８．５となるよう中和することにより、フッ化カルシウ
ムの結晶を成長させ、続く固液分離及び濾過で、フッ化
カルシウムの分離を促進することができる。また、シッ
クニングで得られたスラリーの一部をフッ酸廃液に含ま
せると、スラリーのフッ化カルシウム結晶が種結晶とな
り、フッ化カルシウム結晶を成長を促進することができ
る。
Ｏ3）を添加してｐＨ＝４．５〜５．５となるように
し、続けて、Ｃａ（ＯＨ）2を添加してｐＨ＝７．５〜
８．５となるよう中和することにより、フッ化カルシウ
ムの結晶を成長させ、続く固液分離及び濾過で、フッ化
カルシウムの分離を促進することができる。また、シッ
クニングで得られたスラリーの一部をフッ酸廃液に含ま
せると、スラリーのフッ化カルシウム結晶が種結晶とな
り、フッ化カルシウム結晶を成長を促進することができ
る。
【０００９】第１及び第２ｐＨ調整工程によりフッ化カ
ルシウムを回収でき、ｐＨ＝１２．０〜１２．５とする
第３ｐＨ調整工程により清澄液中のフッ素（Ｆ）濃度を
有意的に低めることができる。
ルシウムを回収でき、ｐＨ＝１２．０〜１２．５とする
第３ｐＨ調整工程により清澄液中のフッ素（Ｆ）濃度を
有意的に低めることができる。
【００１０】なお、廃液がＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系の場合に
は、ケークはＣａＦ2及びＣａＳＯ4である。
は、ケークはＣａＦ2及びＣａＳＯ4である。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を、図面を
引用しながら以下に詳述する。
引用しながら以下に詳述する。
【００１２】図１は、本発明の処理方法を示すフローシ
ートである。
ートである。
【００１３】高濃度フッ酸廃液が、それを予め溜めてい
た受入れタンク１〜４から、それぞれの送液ポンプ５〜
８によりポンプアップされ、配管９を通して、中和槽１
０に送給される。このとき、ＨＦ系高濃度フッ酸廃液、
ＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系高濃度フッ酸廃液は、同一の設備を使
用できるが、混合させることなく交互に処理することと
する。なお、図１で示した廃液のうち、高フッ酸１及び
高フッ酸２は、後述の実施例で使用したＨＦ系高濃度フ
ッ酸廃液であり、高フッ酸３及び混酸は、後述の実施例
で使用したＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系高濃度フッ酸廃液である。
また、後述のスラリー及びスピゴットは、一部は、配管
９を通して、中和槽１０に直接送給され、残りは、Ｃａ
ＣＯ3ミルクタンク１２及びＣａ（ＯＨ）2ミルクタンク
１６に送給され、ＣａＣＯ3受入ホッパー１１から送給
された炭酸カルシウムやＣａ（ＯＨ）2受入ホッパー１
５から送給された水酸化カルシウムと共に、各々中和槽
１０、１３に送給される。なお、ホッパー１１、１５か
らの送給は、スクリューフィーダを介してなされる。Ｃ
ａＣＯ3ミルクタンク１２及びＣａ（ＯＨ）2ミルクタン
ク１６では、撹拌処理をするのが好ましい。後述のシッ
クニングによる第１固液分離工程からのオーバーフロー
の一部も中和希釈液として、配管９を通して中和層１０
に送給される。中和槽１０では、ｐＨが４．５〜５．５
になるように炭酸カルシウムの添加量を調整される（第
１ｐＨ調整工程）。この中和希釈液は、廃液が、硫酸を
含む場合に用いる。なお、反応により発生した炭酸ガス
は、炭酸ガス排出管（図示せず）を通して排出される。
この炭酸ガスは、水酸化カルシウムと反応させて炭酸カ
ルシウムとして回収し、再利用することができる。ま
た、ケイフッ化水素が廃液に含まれていた場合には、コ
ロイダルシリカとしてシリコンを回収できる。
た受入れタンク１〜４から、それぞれの送液ポンプ５〜
８によりポンプアップされ、配管９を通して、中和槽１
０に送給される。このとき、ＨＦ系高濃度フッ酸廃液、
ＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系高濃度フッ酸廃液は、同一の設備を使
用できるが、混合させることなく交互に処理することと
する。なお、図１で示した廃液のうち、高フッ酸１及び
高フッ酸２は、後述の実施例で使用したＨＦ系高濃度フ
ッ酸廃液であり、高フッ酸３及び混酸は、後述の実施例
で使用したＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系高濃度フッ酸廃液である。
また、後述のスラリー及びスピゴットは、一部は、配管
９を通して、中和槽１０に直接送給され、残りは、Ｃａ
ＣＯ3ミルクタンク１２及びＣａ（ＯＨ）2ミルクタンク
１６に送給され、ＣａＣＯ3受入ホッパー１１から送給
された炭酸カルシウムやＣａ（ＯＨ）2受入ホッパー１
５から送給された水酸化カルシウムと共に、各々中和槽
１０、１３に送給される。なお、ホッパー１１、１５か
らの送給は、スクリューフィーダを介してなされる。Ｃ
ａＣＯ3ミルクタンク１２及びＣａ（ＯＨ）2ミルクタン
ク１６では、撹拌処理をするのが好ましい。後述のシッ
クニングによる第１固液分離工程からのオーバーフロー
の一部も中和希釈液として、配管９を通して中和層１０
に送給される。中和槽１０では、ｐＨが４．５〜５．５
になるように炭酸カルシウムの添加量を調整される（第
１ｐＨ調整工程）。この中和希釈液は、廃液が、硫酸を
含む場合に用いる。なお、反応により発生した炭酸ガス
は、炭酸ガス排出管（図示せず）を通して排出される。
この炭酸ガスは、水酸化カルシウムと反応させて炭酸カ
ルシウムとして回収し、再利用することができる。ま
た、ケイフッ化水素が廃液に含まれていた場合には、コ
ロイダルシリカとしてシリコンを回収できる。
【００１４】ｐＨが４．５〜５．５に調整された処理液
は、中和槽１３に送給され、Ｃａ（ＯＨ）2受入タンク
１５から、Ｃａ（ＯＨ）2ミルクタンク１６を介して、
水酸化カルシウムが添加され、ｐＨが７．５〜８．５に
なるよう調整される（第２ｐＨ調整工程）。なお、この
とき、ＰＨＩＣを利用できる。また、中和槽１０、１３
内でも処理液を撹拌するのが好ましい。
は、中和槽１３に送給され、Ｃａ（ＯＨ）2受入タンク
１５から、Ｃａ（ＯＨ）2ミルクタンク１６を介して、
水酸化カルシウムが添加され、ｐＨが７．５〜８．５に
なるよう調整される（第２ｐＨ調整工程）。なお、この
とき、ＰＨＩＣを利用できる。また、中和槽１０、１３
内でも処理液を撹拌するのが好ましい。
【００１５】第２ｐＨ調整工程により調整された処理液
は、一旦バッファータンク１７に送給される。このと
き、ＬＣで監視してもよい。更に、該処理液は、送液ポ
ンプ１７によりポンプアップされて、シックナー１８に
送給される。
は、一旦バッファータンク１７に送給される。このと
き、ＬＣで監視してもよい。更に、該処理液は、送液ポ
ンプ１７によりポンプアップされて、シックナー１８に
送給される。
【００１６】シックナーで１８で処理液はシックニング
され（第１固液分離工程）、アンダーフロー（スラリ
ー）は、一旦、送液タンク２１に溜められた後、その一
部は、フッ化カルシウムの種結晶として用いられるため
に、配管９、ＣａＣＯ3ミルクタンク１２及びＣａ（Ｏ
Ｈ）2ミルクタンク１６に送給され、残りのアンダーフ
ローは、濾過工程に供される。オーバーフローは、中和
用希釈液として循環し用するため、貯蔵タンク１９に一
旦導かれる。そして、一部は、送液ポンプ２０によりポ
ンプアップされ、配管９を通して中和槽１０に返送され
る。
され（第１固液分離工程）、アンダーフロー（スラリ
ー）は、一旦、送液タンク２１に溜められた後、その一
部は、フッ化カルシウムの種結晶として用いられるため
に、配管９、ＣａＣＯ3ミルクタンク１２及びＣａ（Ｏ
Ｈ）2ミルクタンク１６に送給され、残りのアンダーフ
ローは、濾過工程に供される。オーバーフローは、中和
用希釈液として循環し用するため、貯蔵タンク１９に一
旦導かれる。そして、一部は、送液ポンプ２０によりポ
ンプアップされ、配管９を通して中和槽１０に返送され
る。
【００１７】濾過工程では、フィルタープレス２２など
の濾過器にかけられてケークと濾過液に分離される（濾
過工程）。なお、濾過器としては、フィルタープレスな
どの断続的に操作されるものの他、回転式フィルターな
どの連続的に操作されるものも使用できる。ケークは、
原液たる高濃度フッ酸廃液が、ＨＦ系の場合には、Ｃａ
Ｆ2であり、ＨＦ−Ｈ2ＳＯ4系の場合には、ＣａＦ2＋Ｃ
ａＳＯ4である。ケークは、ドライヤー２６、例えば、
ケージミルフレッシュドライヤーで乾燥されて製品とし
て出荷される。このときの乾燥度は５０％（乾燥前）→
２０％（乾燥後）である。
の濾過器にかけられてケークと濾過液に分離される（濾
過工程）。なお、濾過器としては、フィルタープレスな
どの断続的に操作されるものの他、回転式フィルターな
どの連続的に操作されるものも使用できる。ケークは、
原液たる高濃度フッ酸廃液が、ＨＦ系の場合には、Ｃａ
Ｆ2であり、ＨＦ−Ｈ2ＳＯ4系の場合には、ＣａＦ2＋Ｃ
ａＳＯ4である。ケークは、ドライヤー２６、例えば、
ケージミルフレッシュドライヤーで乾燥されて製品とし
て出荷される。このときの乾燥度は５０％（乾燥前）→
２０％（乾燥後）である。
【００１８】濾過液は中和槽２３に送給され、更に、そ
こに、中和希釈液として、貯蔵タンク１９からも、送液
ポンプ２０によりポンプアップされて第１固液分離工程
でのオーバーフローも送給される。そこに、Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2ミルクタンク１６から水酸化カルシウムが添加さ
れて、ｐＨが１２．０〜１２．５になるよう調整される
（第３ｐＨ調整工程）。なお、中和槽２３内では処理液
を撹拌するのが好ましい。
こに、中和希釈液として、貯蔵タンク１９からも、送液
ポンプ２０によりポンプアップされて第１固液分離工程
でのオーバーフローも送給される。そこに、Ｃａ（Ｏ
Ｈ）2ミルクタンク１６から水酸化カルシウムが添加さ
れて、ｐＨが１２．０〜１２．５になるよう調整される
（第３ｐＨ調整工程）。なお、中和槽２３内では処理液
を撹拌するのが好ましい。
【００１９】第３ｐＨ調整工程により得られた処理液
は、シックナー２４に送給される。
は、シックナー２４に送給される。
【００２０】シックナー２５で処理液はシックニングさ
れ（第２固液分離工程）、アンダーフロー（スピゴッ
ト）は、フッ化カルシウムの種結晶として用いられるた
めに、送液ポンプ２５でポンプアップされて、配管９及
びＣａＣＯ3ミルクタンク１２を通して中和槽１０に返
送される。また、オーバーフロー（清澄液）は、そのま
ま排出される。
れ（第２固液分離工程）、アンダーフロー（スピゴッ
ト）は、フッ化カルシウムの種結晶として用いられるた
めに、送液ポンプ２５でポンプアップされて、配管９及
びＣａＣＯ3ミルクタンク１２を通して中和槽１０に返
送される。また、オーバーフロー（清澄液）は、そのま
ま排出される。
【００２１】第１、２、３ｐＨ調整工程は、それぞれ、
１時間程度、常温で行うのが好ましい。
１時間程度、常温で行うのが好ましい。
【００２２】なお、廃液中には、酸化剤として過酸化水
素（Ｈ2Ｏ2）が含まれる場合もあるが、この過酸化水素
は、ｐＨ調整工程において水と酸素に分解され、酸素は
排出管（図示せず）を通して外部に排出される。
素（Ｈ2Ｏ2）が含まれる場合もあるが、この過酸化水素
は、ｐＨ調整工程において水と酸素に分解され、酸素は
排出管（図示せず）を通して外部に排出される。
【００２３】廃液がフッ化アンモニウム（ＮＨ4Ｆ、Ｎ
Ｈ4ＨＦ2）や硫酸アンモニウム（（ＮＨ4）2ＳＯ4、Ｎ
Ｈ4ＨＳＯ4にも、上述の本発明の処理方法に上首尾に適
用できる。また、フッ化ケイ素酸（Ｈ2ＳｉＦ6）を含む
場合にも、シリコンを含まないフッ化ケイ素の形態でケ
ークを得ることができる。
Ｈ4ＨＦ2）や硫酸アンモニウム（（ＮＨ4）2ＳＯ4、Ｎ
Ｈ4ＨＳＯ4にも、上述の本発明の処理方法に上首尾に適
用できる。また、フッ化ケイ素酸（Ｈ2ＳｉＦ6）を含む
場合にも、シリコンを含まないフッ化ケイ素の形態でケ
ークを得ることができる。
【００２４】
【実施例】図１に示された種々の廃液のうち、高フッ酸
１及び高フッ酸２は、ＨＦ系廃液であり、高フッ酸３及
び混酸は、ＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系廃液であり、それぞれのＦ
及びＳＯ4 2-の含有量及びＣＯＤは以下の通りである。
１及び高フッ酸２は、ＨＦ系廃液であり、高フッ酸３及
び混酸は、ＨＦ＋Ｈ2ＳＯ4系廃液であり、それぞれのＦ
及びＳＯ4 2-の含有量及びＣＯＤは以下の通りである。
【００２５】
【表１】
【００２６】これを、高フッ酸１を２リットル、高フッ
酸２を１．５リットル混合して、廃液Ａ（希釈なし）を
得、混酸を０．３リットル、高フッ酸３を０．２リット
ル、純粋を１．５リットル混合して廃液Ｂ（４倍希釈）
とし、そして、高フッ酸１を０．５リットル、高フッ酸
２を０．３７５リットル、高フッ酸３を０．３７５リッ
トル、純粋を１．１２５リットル混合して廃液Ｃ（１．
９倍希釈）を得た。
酸２を１．５リットル混合して、廃液Ａ（希釈なし）を
得、混酸を０．３リットル、高フッ酸３を０．２リット
ル、純粋を１．５リットル混合して廃液Ｂ（４倍希釈）
とし、そして、高フッ酸１を０．５リットル、高フッ酸
２を０．３７５リットル、高フッ酸３を０．３７５リッ
トル、純粋を１．１２５リットル混合して廃液Ｃ（１．
９倍希釈）を得た。
【００２７】図１に示したフローシートに従って上述の
混合廃液に以下の添加量でＣａＣＯ3、Ｃａ（ＯＨ）2を
添加して、ケークを得た。その後、ケークを乾燥して乾
量を測定した。
混合廃液に以下の添加量でＣａＣＯ3、Ｃａ（ＯＨ）2を
添加して、ケークを得た。その後、ケークを乾燥して乾
量を測定した。
【００２８】
【表２】
【００２９】
【発明の効果】本発明の処理方法によれば、排出する清
澄水中のＦを２〜３ｐｐｍ程度まで低減でき、化学的酸
素要求量（ＣＯＤ）を１以下まで低減できる。付言する
に、現在のところ国が規定している基準は１５ｐｐｍ以
下である。
澄水中のＦを２〜３ｐｐｍ程度まで低減でき、化学的酸
素要求量（ＣＯＤ）を１以下まで低減できる。付言する
に、現在のところ国が規定している基準は１５ｐｐｍ以
下である。
【図１】本発明の処理方法を示すフローシートである。
【符号の説明】 １〜４：受入れタンク、 ５〜８：送液ポンプ、 ９：配
管、１０：中和槽、１１：ＣａＣＯ3受入ホッパー、
１２：ＣａＣＯ3ミルクタンク、１３：中和槽、 １
４：バッファータンク、１５：Ｃａ（ＯＨ）2受入ホッ
パー、 １６：Ｃａ（ＯＨ）2ミルクタンク １７：送液ポンプ、 １８：シックナー、 １９：貯蔵
タンク、２０：送液ポンプ、 ２１：送液タンク、 ２
２：フィルタープレス、２３：中和槽、 ２４：シック
ナー、２５：送液ポンプ、２６：ドライヤー
管、１０：中和槽、１１：ＣａＣＯ3受入ホッパー、
１２：ＣａＣＯ3ミルクタンク、１３：中和槽、 １
４：バッファータンク、１５：Ｃａ（ＯＨ）2受入ホッ
パー、 １６：Ｃａ（ＯＨ）2ミルクタンク １７：送液ポンプ、 １８：シックナー、 １９：貯蔵
タンク、２０：送液ポンプ、 ２１：送液タンク、 ２
２：フィルタープレス、２３：中和槽、 ２４：シック
ナー、２５：送液ポンプ、２６：ドライヤー
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０４ Ｃ０２Ｆ 9/00 ５０４Ｅ ５０４Ｄ
Claims (3)
- 【請求項１】 高濃度廃液の処理方法であって、 高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い廃液に後工程か
らの返送スラリーを混入させ、更に、炭酸カルシウムを
添加処理してｐＨを４．５〜５．５に調整する工程と、 ｐＨが４．５〜５．５の処理液に水酸化カルシウムを添
加処理してｐＨを７．５〜８．５に調整する工程と、 ｐＨが７．５〜８．５の処理液をシックニングしてスラ
リーを沈積させる工程と、 沈積したスラリーの一部を返送すると共に、残りのスラ
リーを濾過してケークを形成する工程と、を含む処理方
法。 - 【請求項２】 高濃度フッ酸廃液の処理方法であって、 高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い廃液に、後述の
スラリー及びスピゴットを混入させ、更に、炭酸カルシ
ウムを添加処理してｐＨを４．５〜５．５に調整する第
１ｐＨ調整工程と、 第１ｐＨ調整工程により調整された処理液に水酸化カル
シウムを添加処理してｐＨを７．５〜８．５に調整する
第２ｐＨ調整工程と、 第２ｐＨ調整工程により調整された処理液をシックニン
グしてスラリーを沈積させる第１固液分離工程と、 スラリーのうち廃液に混入させる分を除いた残りを濾過
してケークと濾過液に分離する濾過工程と、 濾過液に水酸化カルシウムを添加してｐＨを１２．０〜
１２．５に調整する第３ｐＨ調整工程と、 第３ｐＨ調整工程により得られた処理液をシックニング
してスピゴットと清澄液に分離する第２固液分離工程
と、を含む処理方法。 - 【請求項３】 高濃度フッ酸を含有し且つＣＯＤの高い
廃液は更に硫酸を含むことを特徴とする請求項１又は２
に記載の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7343565A JPH09174063A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 高濃度フッ酸廃液の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7343565A JPH09174063A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 高濃度フッ酸廃液の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09174063A true JPH09174063A (ja) | 1997-07-08 |
Family
ID=18362514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7343565A Pending JPH09174063A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 高濃度フッ酸廃液の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09174063A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013060330A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Central Glass Co Ltd | フッ化カルシウムの製造方法 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP7343565A patent/JPH09174063A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013060330A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Central Glass Co Ltd | フッ化カルシウムの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6464883B2 (en) | Remover of fluoride ion and treatment method for wastewater containing fluoride ion using the same | |
| WO2008067723A1 (fr) | Procédé et dispositif pour traiter des eaux usées contenant du fluor au moyen de la chaux | |
| US5275691A (en) | Method for treating a surface of an aluminum substrate for a printing plate | |
| JPH07265869A (ja) | フッ素・リン含有排水の処理方法 | |
| JP2006218354A (ja) | フッ素含有廃水の処理方法 | |
| JP4543481B2 (ja) | ホウ素およびフッ素含有水の処理方法 | |
| JP3077174B2 (ja) | フッ化物含有液の処理方法 | |
| KR20010108162A (ko) | 중탄산칼슘을 고농도로 함유하는 물에서 칼슘을 제거하는방법 | |
| JPH09174063A (ja) | 高濃度フッ酸廃液の処理方法 | |
| JP4169996B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法及び装置 | |
| JP2972437B2 (ja) | フッ化カルシウム回収装置 | |
| JP2004000846A (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
| JP3157347B2 (ja) | フッ素化合物含有排水の処理方法 | |
| JP3697800B2 (ja) | 排水の処理方法 | |
| JP3918294B2 (ja) | 弗素含有排水の処理方法及び装置 | |
| JPS59120286A (ja) | 弗素系成分含有廃水の処理方法 | |
| JP4487492B2 (ja) | フッ素含有排水の処理方法 | |
| JP3622407B2 (ja) | 水処理方法 | |
| JPH0315512B2 (ja) | ||
| KR20080058077A (ko) | 불소이온 함유 폐수 처리방법 | |
| KR100365465B1 (ko) | 불소 이온 제거제 및 이를 이용한 불소 함유 폐수의처리방법 | |
| JP4021688B2 (ja) | フッ素及びケイ素含有排水の処理方法及び装置 | |
| JP2001137864A (ja) | フッ酸を含有する廃水の処理方法 | |
| JP3109166B2 (ja) | アルミニウム含有汚泥の改質方法 | |
| JPH06190374A (ja) | ふっ酸廃液処理装置 |