JP2001137864A - フッ酸を含有する廃水の処理方法 - Google Patents
フッ酸を含有する廃水の処理方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ酸を含有する廃水またはフッ化アンモニ
ウムとフッ酸を含有する廃水から、高純度のフッ化カル
シウムを効率よく回収する方法を提供する。 【解決手段】 フッ酸を含有する廃水またはフッ化アン
モニウムおよびフッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化
カルシウムを回収することを特徴とする廃水の処理方
法。
ウムとフッ酸を含有する廃水から、高純度のフッ化カル
シウムを効率よく回収する方法を提供する。 【解決手段】 フッ酸を含有する廃水またはフッ化アン
モニウムおよびフッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化
カルシウムを回収することを特徴とする廃水の処理方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フッ酸を含有する
廃水の処理方法、ならびにフッ化アンモニウムおよびフ
ッ酸を含有する廃水の処理方法に関する。
廃水の処理方法、ならびにフッ化アンモニウムおよびフ
ッ酸を含有する廃水の処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】フッ化ア
ンモニウム（ＮＨ4Ｆ）およびフッ酸（ＨＦ）を含有す
るウェットエッチング液を用いてエッチングした後の廃
水中には、多量のフッ化アンモニウムおよびフッ酸が残
存しているが、これらを回収する効率的な方法は未だ見
出されていない。
ンモニウム（ＮＨ4Ｆ）およびフッ酸（ＨＦ）を含有す
るウェットエッチング液を用いてエッチングした後の廃
水中には、多量のフッ化アンモニウムおよびフッ酸が残
存しているが、これらを回収する効率的な方法は未だ見
出されていない。
【０００３】従来、フッ化アンモニウムを含有する廃水
からフッ化カルシウム（ＣａＦ2）を回収する方法とし
ては、以下の方法が知られている。 (1) 水酸化カルシウムを反応させる方法 ２ＮＨ4Ｆ＋Ｃａ(ＯＨ)2→ＣａＦ2＋２ＮＨ3＋２Ｈ2Ｏ この方法によれば、発生するアンモニアを除去するため
の除害塔が必要である。 (2) 炭酸カルシウムを反応させる方法 ２ＮＨ4Ｆ＋ＣａＣＯ3→ＣａＦ2＋(ＮＨ4)2ＣＯ3 この方法によれば、発生するＣＯ2により、ＣａＣＯ3塔
内で偏流が生じ、ＣａＦ2への転換率が低くなり、生成
するＣａＦ2の純度にばらつきが生じる。また、ＣａＣ
Ｏ3充填塔方式のため、反応塔へのＣａＣＯ3の仕込みの
際に自重によって圧縮され、詰まりすぎることがある。
からフッ化カルシウム（ＣａＦ2）を回収する方法とし
ては、以下の方法が知られている。 (1) 水酸化カルシウムを反応させる方法 ２ＮＨ4Ｆ＋Ｃａ(ＯＨ)2→ＣａＦ2＋２ＮＨ3＋２Ｈ2Ｏ この方法によれば、発生するアンモニアを除去するため
の除害塔が必要である。 (2) 炭酸カルシウムを反応させる方法 ２ＮＨ4Ｆ＋ＣａＣＯ3→ＣａＦ2＋(ＮＨ4)2ＣＯ3 この方法によれば、発生するＣＯ2により、ＣａＣＯ3塔
内で偏流が生じ、ＣａＦ2への転換率が低くなり、生成
するＣａＦ2の純度にばらつきが生じる。また、ＣａＣ
Ｏ3充填塔方式のため、反応塔へのＣａＣＯ3の仕込みの
際に自重によって圧縮され、詰まりすぎることがある。
【０００４】一方、フッ化アンモニウムからフッ化カル
シウムを製造する方法としては、フッ化アンモニウムと
硫酸カルシウムを反応させる方法が知られている（ソ連
特許明細書第454,175号、ソ連特許明細書第1,708,762
号）。しかしながら、フッ化アンモニウムとフッ酸を含
有する廃水の処理にこの方法を適用すると、廃水のｐＨ
が低いために、反応効率が悪い。
シウムを製造する方法としては、フッ化アンモニウムと
硫酸カルシウムを反応させる方法が知られている（ソ連
特許明細書第454,175号、ソ連特許明細書第1,708,762
号）。しかしながら、フッ化アンモニウムとフッ酸を含
有する廃水の処理にこの方法を適用すると、廃水のｐＨ
が低いために、反応効率が悪い。
【０００５】本発明の目的は、フッ酸を含有する廃水ま
たはフッ化アンモニウムとフッ酸を含有する廃水から、
高純度のフッ化カルシウムを効率よく回収し、フッ酸製
造の原料として用いる方法を提供することにある。
たはフッ化アンモニウムとフッ酸を含有する廃水から、
高純度のフッ化カルシウムを効率よく回収し、フッ酸製
造の原料として用いる方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意研究
を重ねた結果、フッ酸を含有する廃水またはフッ化アン
モニウムおよびフッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させる方法
が、工業的に優れていることを見い出し、本発明を完成
するに至った。
を重ねた結果、フッ酸を含有する廃水またはフッ化アン
モニウムおよびフッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させる方法
が、工業的に優れていることを見い出し、本発明を完成
するに至った。
【０００７】すなわち、本発明は、下記に示すとおりの
廃水の処理方法を提供するものである。 項１． フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウムおよ
び水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化カルシ
ウムを回収することを特徴とするフッ酸を含有する廃水
の処理方法。 項２． フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃
水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを添加し
て反応させ、フッ化カルシウムを回収することを特徴と
するフッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃水の
処理方法。 項３． 反応系のｐＨを７以下に維持する項１または２
に記載の方法。 項４． フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウムおよ
び水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化カルシ
ウムを回収し、この回収したフッ化カルシウムを硫酸と
反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得ることを特徴と
するフッ酸を含有する廃水の処理方法。 項５． フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃
水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを添加し
て反応させ、フッ化カルシウムを回収し、この回収した
フッ化カルシウムを硫酸と反応させ、フッ酸と硫酸カル
シウムを得ることを特徴とするフッ化アンモニウムおよ
びフッ酸を含有する廃水の処理方法。 項６． フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウムおよ
び水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化カルシ
ウムを回収し、この回収したフッ化カルシウムを硫酸と
反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得て、この硫酸カ
ルシウムをフッ酸を含有する廃水の処理に用いる廃水の
処理方法。 項７． フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃
水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを添加し
て反応させ、フッ化カルシウムを回収し、この回収した
フッ化カルシウムを硫酸と反応させ、フッ酸と硫酸カル
シウムを得て、この硫酸カルシウムをフッ化アンモニウ
ムおよびフッ酸を含有する廃水の処理に用いる廃水の処
理方法。
廃水の処理方法を提供するものである。 項１． フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウムおよ
び水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化カルシ
ウムを回収することを特徴とするフッ酸を含有する廃水
の処理方法。 項２． フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃
水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを添加し
て反応させ、フッ化カルシウムを回収することを特徴と
するフッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃水の
処理方法。 項３． 反応系のｐＨを７以下に維持する項１または２
に記載の方法。 項４． フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウムおよ
び水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化カルシ
ウムを回収し、この回収したフッ化カルシウムを硫酸と
反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得ることを特徴と
するフッ酸を含有する廃水の処理方法。 項５． フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃
水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを添加し
て反応させ、フッ化カルシウムを回収し、この回収した
フッ化カルシウムを硫酸と反応させ、フッ酸と硫酸カル
シウムを得ることを特徴とするフッ化アンモニウムおよ
びフッ酸を含有する廃水の処理方法。 項６． フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウムおよ
び水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化カルシ
ウムを回収し、この回収したフッ化カルシウムを硫酸と
反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得て、この硫酸カ
ルシウムをフッ酸を含有する廃水の処理に用いる廃水の
処理方法。 項７． フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する廃
水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを添加し
て反応させ、フッ化カルシウムを回収し、この回収した
フッ化カルシウムを硫酸と反応させ、フッ酸と硫酸カル
シウムを得て、この硫酸カルシウムをフッ化アンモニウ
ムおよびフッ酸を含有する廃水の処理に用いる廃水の処
理方法。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明においては、フッ酸を含有
する廃水またはフッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有
する廃水に、硫酸カルシウム（ＣａＳＯ4）および水酸
化カルシウム（Ｃａ(ＯＨ)2）を添加して反応させ、生
成したフッ化カルシウム（ＣａＦ2）を回収する。フッ
化カルシウムは処理廃水中に沈殿するので、濾過などに
よって分離する。
する廃水またはフッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有
する廃水に、硫酸カルシウム（ＣａＳＯ4）および水酸
化カルシウム（Ｃａ(ＯＨ)2）を添加して反応させ、生
成したフッ化カルシウム（ＣａＦ2）を回収する。フッ
化カルシウムは処理廃水中に沈殿するので、濾過などに
よって分離する。
【０００９】本発明方法の対象となるフッ化アンモニウ
ムおよびフッ酸を含有する廃水は、フッ化アンモニウム
とフッ酸が種々の濃度で含有された廃水である。このよ
うな廃水としては、ウェットエッチング液を用いてエッ
チングした後の廃水や、工場でウェットエッチング液を
製造するときに発生する廃水や、フッ酸やフッ化アンモ
ニウムを製造するときに発生する廃水などを例示できる
が、これらに限定されない。
ムおよびフッ酸を含有する廃水は、フッ化アンモニウム
とフッ酸が種々の濃度で含有された廃水である。このよ
うな廃水としては、ウェットエッチング液を用いてエッ
チングした後の廃水や、工場でウェットエッチング液を
製造するときに発生する廃水や、フッ酸やフッ化アンモ
ニウムを製造するときに発生する廃水などを例示できる
が、これらに限定されない。
【００１０】本発明における反応系内においては、次の
反応が行われている。 (1) ２ＮＨ4Ｆ＋ＣａＳＯ4→ＣａＦ2＋(ＮＨ4)2ＳＯ4 (2) ２ＨＦ＋Ｃａ(ＯＨ)2→ＣａＦ2＋２Ｈ2Ｏ 廃水処理に際しては、予め廃水中のＦ-イオンの含有量
を測定しておき、Ｆ-イオンとほぼ同じ当量の硫酸カル
シウム（Ｆ-イオン２モルに対して硫酸カルシウム１モ
ル程度）を添加するのが好ましい。回収するフッ化カル
シウムの純度の点からは、当量の８０〜１１０％の硫酸
カルシウムを添加するのが好ましい。硫酸カルシウムを
添加するには、固体のままで廃水に添加してもよいし、
予め硫酸カルシウムの水溶液または水分散液を調製して
これを廃水に添加してもよい。
反応が行われている。 (1) ２ＮＨ4Ｆ＋ＣａＳＯ4→ＣａＦ2＋(ＮＨ4)2ＳＯ4 (2) ２ＨＦ＋Ｃａ(ＯＨ)2→ＣａＦ2＋２Ｈ2Ｏ 廃水処理に際しては、予め廃水中のＦ-イオンの含有量
を測定しておき、Ｆ-イオンとほぼ同じ当量の硫酸カル
シウム（Ｆ-イオン２モルに対して硫酸カルシウム１モ
ル程度）を添加するのが好ましい。回収するフッ化カル
シウムの純度の点からは、当量の８０〜１１０％の硫酸
カルシウムを添加するのが好ましい。硫酸カルシウムを
添加するには、固体のままで廃水に添加してもよいし、
予め硫酸カルシウムの水溶液または水分散液を調製して
これを廃水に添加してもよい。
【００１１】フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有す
る廃水のｐＨは通常１〜３程度であり、処理反応を円滑
に行うために、Ｃａ(ＯＨ)2でｐＨを調整するのが好ま
しい。しかしながら、反応系のｐＨが７を超えると硫酸
アンモニウム（(ＮＨ4)2ＳＯ 4）からアンモニアが発生
するため、反応系のｐＨを７以下に維持するのが好まし
い。より好ましいｐＨは６．５〜７である。ｐＨを調整
するには、反応系のｐＨをｐＨメーターで測定しながら
行うことができる。
る廃水のｐＨは通常１〜３程度であり、処理反応を円滑
に行うために、Ｃａ(ＯＨ)2でｐＨを調整するのが好ま
しい。しかしながら、反応系のｐＨが７を超えると硫酸
アンモニウム（(ＮＨ4)2ＳＯ 4）からアンモニアが発生
するため、反応系のｐＨを７以下に維持するのが好まし
い。より好ましいｐＨは６．５〜７である。ｐＨを調整
するには、反応系のｐＨをｐＨメーターで測定しながら
行うことができる。
【００１２】硫酸カルシウムと水酸化カルシウムは、廃
水に同時に添加してもよいし、どちらか一方を先に添加
して、しばらくしてから他方を添加してもよい。
水に同時に添加してもよいし、どちらか一方を先に添加
して、しばらくしてから他方を添加してもよい。
【００１３】廃水を処理するに際しては、廃水原液（例
えば、フッ化アンモニウム２０〜４０重量％程度および
フッ酸０．１〜１０重量％程度を含有する廃水原液）を
そのまま処理してもよいし、フッ化アンモニウムの濃度
が８〜２０重量％程度となるように予め水で希釈してか
ら処理してもよい。希釈すると、処理反応の温度を室温
〜７０℃程度に抑えることが容易である。
えば、フッ化アンモニウム２０〜４０重量％程度および
フッ酸０．１〜１０重量％程度を含有する廃水原液）を
そのまま処理してもよいし、フッ化アンモニウムの濃度
が８〜２０重量％程度となるように予め水で希釈してか
ら処理してもよい。希釈すると、処理反応の温度を室温
〜７０℃程度に抑えることが容易である。
【００１４】処理反応の温度は、５〜８０℃が好まし
く、２０〜５０℃がより好ましい。
く、２０〜５０℃がより好ましい。
【００１５】処理反応の時間は、０．５〜５時間が好ま
しく、２〜４時間がより好ましい。
しく、２〜４時間がより好ましい。
【００１６】フッ酸と水酸化カルシウムを反応させて得
られるフッ化カルシウムは、通常、その粒径が数μｍと
小さいので、濾過がしにくい。また、乾燥時などにおい
ても、粉が軽いために飛散し易く、操作が煩雑である。
本発明においては、反応系に硫酸カルシウムが存在する
ため、硫酸カルシウムが核となってフッ化カルシウムの
粒径が大きくなり、平均粒径で２５〜４００μｍとな
る。このため、フッ化カルシウムの濾過・洗浄が容易
で、高純度品が得られる。また、平均粒径が大きいの
で、取り扱い易く、利用が容易である。得られるフッ化
カルシウムの好ましい平均粒径は、５０〜３００μｍで
ある。
られるフッ化カルシウムは、通常、その粒径が数μｍと
小さいので、濾過がしにくい。また、乾燥時などにおい
ても、粉が軽いために飛散し易く、操作が煩雑である。
本発明においては、反応系に硫酸カルシウムが存在する
ため、硫酸カルシウムが核となってフッ化カルシウムの
粒径が大きくなり、平均粒径で２５〜４００μｍとな
る。このため、フッ化カルシウムの濾過・洗浄が容易
で、高純度品が得られる。また、平均粒径が大きいの
で、取り扱い易く、利用が容易である。得られるフッ化
カルシウムの好ましい平均粒径は、５０〜３００μｍで
ある。
【００１７】本発明においては、処理反応の前、後、ま
たは最中に、高分子凝集剤を添加してもよい。高分子凝
集剤を添加することにより、フッ化カルシウムの粒径が
大きくなり、濾過・洗浄がし易くなる。高分子凝集剤と
しては、アニオン性、ノニオン性、カチオン性の各種の
凝集剤などが挙げられる。その使用量は、廃水量に対し
て、５〜２０ppmである。
たは最中に、高分子凝集剤を添加してもよい。高分子凝
集剤を添加することにより、フッ化カルシウムの粒径が
大きくなり、濾過・洗浄がし易くなる。高分子凝集剤と
しては、アニオン性、ノニオン性、カチオン性の各種の
凝集剤などが挙げられる。その使用量は、廃水量に対し
て、５〜２０ppmである。
【００１８】生成したフッ化カルシウム沈殿は、濾過、
水洗した後に乾燥して回収することができる。
水洗した後に乾燥して回収することができる。
【００１９】フッ化カルシウムを濾過した後の処理廃水
中にはＦ-イオンが１０００ppm程度残っているので、Ｃ
ａＣｌ2を添加して２次処理してＦ-イオン濃度を１５pp
m以下にしてから排出してもよい。
中にはＦ-イオンが１０００ppm程度残っているので、Ｃ
ａＣｌ2を添加して２次処理してＦ-イオン濃度を１５pp
m以下にしてから排出してもよい。
【００２０】また、処理廃水中の(ＮＨ4)2ＳＯ4は、容
易に処理できるし、または回収して肥料として利用する
こともできる。
易に処理できるし、または回収して肥料として利用する
こともできる。
【００２１】回収したフッ化カルシウムは硫酸と反応さ
せて、次のようにフッ酸と硫酸カルシウムを得ることが
できる。 ＣａＦ2＋Ｈ2ＳＯ4→２ＨＦ＋ＣａＳＯ4 この反応は、キルンなどの反応装置内で行うのが好まし
い。得られたフッ酸は、ウェットエッチング、フッ化ア
ンモニウム製造の原料、フロンガス製造の原料などに利
用することができる。また、得られた硫酸カルシウム
は、フッ化アンモニウムとフッ酸を含有する廃水に添加
して、廃水処理に利用することができる。
せて、次のようにフッ酸と硫酸カルシウムを得ることが
できる。 ＣａＦ2＋Ｈ2ＳＯ4→２ＨＦ＋ＣａＳＯ4 この反応は、キルンなどの反応装置内で行うのが好まし
い。得られたフッ酸は、ウェットエッチング、フッ化ア
ンモニウム製造の原料、フロンガス製造の原料などに利
用することができる。また、得られた硫酸カルシウム
は、フッ化アンモニウムとフッ酸を含有する廃水に添加
して、廃水処理に利用することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、以下のような効果を奏
する。 (1) 高純度で適度な粒径のフッ化カルシウムが得られ
る。 (2) 廃水から、フッ化カルシウムを効率的且つ安価に回
収することができる。 (3) 廃水処理で生成する硫酸アンモニウムの処理が容易
である。 (4) 資源の有効利用が図れる。
する。 (1) 高純度で適度な粒径のフッ化カルシウムが得られ
る。 (2) 廃水から、フッ化カルシウムを効率的且つ安価に回
収することができる。 (3) 廃水処理で生成する硫酸アンモニウムの処理が容易
である。 (4) 資源の有効利用が図れる。
【００２３】
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例によってなんら限定
されるものではない。
明するが、本発明はこれらの実施例によってなんら限定
されるものではない。
【００２４】実施例１ フッ化アンモニウムとフッ酸を含有するウェットエッチ
ング廃液を約５倍に希釈して、フッ化アンモニウム８．
０重量％とフッ酸０．５５重量％を含有する廃水（Ｆ-
＝４６２００mg/l）を得た。
ング廃液を約５倍に希釈して、フッ化アンモニウム８．
０重量％とフッ酸０．５５重量％を含有する廃水（Ｆ-
＝４６２００mg/l）を得た。
【００２５】この廃水１Ｌに、市販のＣａＳＯ4・２Ｈ2
Ｏ（１６７ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値２０
９．２ｇの８０％）を８００mlの水に溶解した水溶液を
添加して、ｐＨ３〜４、温度２５℃で、攪拌しながら１
時間反応させた。次に、１０％Ｃａ(ＯＨ)2水溶液１０
０mlを添加して、ｐＨ７、温度４０℃で、攪拌しながら
２時間反応させた。次に、０．１％高分子凝集剤（アニ
オン性、大日本インキ(株)製リュウフロックＡ１０１）
水溶液を２０ml添加し、ＣａＦ2を凝集・沈殿させた後
に、濾過・水洗して乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は
３２００mg/lであった。回収したＣａＦ2は９９．９ｇ
であり、その純度は８１．８％、平均粒径は５０μｍで
あった。
Ｏ（１６７ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値２０
９．２ｇの８０％）を８００mlの水に溶解した水溶液を
添加して、ｐＨ３〜４、温度２５℃で、攪拌しながら１
時間反応させた。次に、１０％Ｃａ(ＯＨ)2水溶液１０
０mlを添加して、ｐＨ７、温度４０℃で、攪拌しながら
２時間反応させた。次に、０．１％高分子凝集剤（アニ
オン性、大日本インキ(株)製リュウフロックＡ１０１）
水溶液を２０ml添加し、ＣａＦ2を凝集・沈殿させた後
に、濾過・水洗して乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は
３２００mg/lであった。回収したＣａＦ2は９９．９ｇ
であり、その純度は８１．８％、平均粒径は５０μｍで
あった。
【００２６】実施例２ フッ化アンモニウムとフッ酸を含有するウェットエッチ
ング廃液を約５倍に希釈して、フッ化アンモニウム８．
０重量％とフッ酸０．５５重量％を含有する廃水（Ｆ-
＝４６２００mg/l）を得た。
ング廃液を約５倍に希釈して、フッ化アンモニウム８．
０重量％とフッ酸０．５５重量％を含有する廃水（Ｆ-
＝４６２００mg/l）を得た。
【００２７】この廃水１Ｌに、市販のＣａＳＯ4・２Ｈ2
Ｏ（１６７ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値２０
９．２ｇの８０％）を８００mlの水に溶解した水溶液お
よび１０％Ｃａ(ＯＨ)2水溶液１００mlを添加して、ｐ
Ｈ７、温度４０℃で、攪拌しながら３時間反応させた。
次に、０．１％高分子凝集剤（アニオン性、大日本イン
キ(株)製リュウフロックＡ１０１）水溶液を２０ml添加
し、ＣａＦ2を凝集・沈殿させた後に、濾過・水洗して
乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は３３００mg/lであっ
た。回収したＣａＦ2は９８．７ｇであり、その純度は
８２．４％、平均粒径は５０μｍであった。
Ｏ（１６７ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値２０
９．２ｇの８０％）を８００mlの水に溶解した水溶液お
よび１０％Ｃａ(ＯＨ)2水溶液１００mlを添加して、ｐ
Ｈ７、温度４０℃で、攪拌しながら３時間反応させた。
次に、０．１％高分子凝集剤（アニオン性、大日本イン
キ(株)製リュウフロックＡ１０１）水溶液を２０ml添加
し、ＣａＦ2を凝集・沈殿させた後に、濾過・水洗して
乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は３３００mg/lであっ
た。回収したＣａＦ2は９８．７ｇであり、その純度は
８２．４％、平均粒径は５０μｍであった。
【００２８】実施例３ フッ化アンモニウムとフッ酸を含有するウェットエッチ
ング廃液を約５倍に希釈して、フッ化アンモニウム８．
０重量％とフッ酸０．５５重量％を含有する廃水（Ｆ-
＝４６２００mg/l）を得た。
ング廃液を約５倍に希釈して、フッ化アンモニウム８．
０重量％とフッ酸０．５５重量％を含有する廃水（Ｆ-
＝４６２００mg/l）を得た。
【００２９】この廃水１Ｌに、市販のＣａＳＯ4・２Ｈ2
Ｏ（１９９ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値２０
９．２ｇの９５％）を８００mlの水に溶解した水溶液お
よび１０％Ｃａ(ＯＨ)2水溶液１００mlを添加して、ｐ
Ｈ７、温度４０℃で、攪拌しながら３時間反応させた。
次に、０．１％高分子凝集剤（アニオン性、大日本イン
キ(株)製リュウフロックＡ１０１）水溶液を２５ml添加
し、ＣａＦ2を凝集・沈殿（１時間静置）させた後に、
濾過・水洗して乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は４９
０mg/lであった。回収したＣａＦ2は１１９．７ｇであ
り、その純度は７７．５％、平均粒径は５０μｍであっ
た。
Ｏ（１９９ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値２０
９．２ｇの９５％）を８００mlの水に溶解した水溶液お
よび１０％Ｃａ(ＯＨ)2水溶液１００mlを添加して、ｐ
Ｈ７、温度４０℃で、攪拌しながら３時間反応させた。
次に、０．１％高分子凝集剤（アニオン性、大日本イン
キ(株)製リュウフロックＡ１０１）水溶液を２５ml添加
し、ＣａＦ2を凝集・沈殿（１時間静置）させた後に、
濾過・水洗して乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は４９
０mg/lであった。回収したＣａＦ2は１１９．７ｇであ
り、その純度は７７．５％、平均粒径は５０μｍであっ
た。
【００３０】実施例４ 実施例３と同様にして得られたＣａＦ2をキルンで硫酸
と反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得た。
と反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得た。
【００３１】一方、フッ化アンモニウムとフッ酸を含有
するウェットエッチング廃液を約５倍に希釈して、フッ
化アンモニウム８．０重量％とフッ酸０．５５重量％を
含有する廃水（Ｆ-＝４６２００mg/l）を得た。
するウェットエッチング廃液を約５倍に希釈して、フッ
化アンモニウム８．０重量％とフッ酸０．５５重量％を
含有する廃水（Ｆ-＝４６２００mg/l）を得た。
【００３２】この廃水１Ｌに、上記で得られた硫酸カル
シウム（１５０ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値の
９０％）を８００mlの水に溶解した水溶液および１０％
Ｃａ(ＯＨ)2水溶液９８mlを添加して、ｐＨ７、温度４
０℃で、攪拌しながら３時間反応させた。次に、０．１
％高分子凝集剤（アニオン性、大日本インキ(株)製リュ
ウフロックＡ１０１）水溶液を１２ml添加し、ＣａＦ2
を凝集・沈殿（１時間静置）させた後に、濾過・水洗し
て乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は２３５０mg/lであ
った。回収したＣａＦ2は１０５．５ｇであり、その純
度は８０．８％、平均粒径は１２０μｍであった。
シウム（１５０ｇ、廃水中のＦ-に対する計算当量値の
９０％）を８００mlの水に溶解した水溶液および１０％
Ｃａ(ＯＨ)2水溶液９８mlを添加して、ｐＨ７、温度４
０℃で、攪拌しながら３時間反応させた。次に、０．１
％高分子凝集剤（アニオン性、大日本インキ(株)製リュ
ウフロックＡ１０１）水溶液を１２ml添加し、ＣａＦ2
を凝集・沈殿（１時間静置）させた後に、濾過・水洗し
て乾燥を行った。濾液中のＦ-濃度は２３５０mg/lであ
った。回収したＣａＦ2は１０５．５ｇであり、その純
度は８０．８％、平均粒径は１２０μｍであった。
Claims (7)
- 【請求項１】 フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化
カルシウムを回収することを特徴とするフッ酸を含有す
る廃水の処理方法。 - 【請求項２】 フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有
する廃水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを
添加して反応させ、フッ化カルシウムを回収することを
特徴とするフッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有する
廃水の処理方法。 - 【請求項３】 反応系のｐＨを７以下に維持する請求項
１または２に記載の方法。 - 【請求項４】 フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化
カルシウムを回収し、この回収したフッ化カルシウムを
硫酸と反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得ることを
特徴とするフッ酸を含有する廃水の処理方法。 - 【請求項５】 フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有
する廃水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを
添加して反応させ、フッ化カルシウムを回収し、この回
収したフッ化カルシウムを硫酸と反応させ、フッ酸と硫
酸カルシウムを得ることを特徴とするフッ化アンモニウ
ムおよびフッ酸を含有する廃水の処理方法。 - 【請求項６】 フッ酸を含有する廃水に、硫酸カルシウ
ムおよび水酸化カルシウムを添加して反応させ、フッ化
カルシウムを回収し、この回収したフッ化カルシウムを
硫酸と反応させ、フッ酸と硫酸カルシウムを得て、この
硫酸カルシウムをフッ酸を含有する廃水の処理に用いる
廃水の処理方法。 - 【請求項７】 フッ化アンモニウムおよびフッ酸を含有
する廃水に、硫酸カルシウムおよび水酸化カルシウムを
添加して反応させ、フッ化カルシウムを回収し、この回
収したフッ化カルシウムを硫酸と反応させ、フッ酸と硫
酸カルシウムを得て、この硫酸カルシウムをフッ化アン
モニウムおよびフッ酸を含有する廃水の処理に用いる廃
水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31996799A JP2001137864A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | フッ酸を含有する廃水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31996799A JP2001137864A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | フッ酸を含有する廃水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001137864A true JP2001137864A (ja) | 2001-05-22 |
Family
ID=18116262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31996799A Pending JP2001137864A (ja) | 1999-11-10 | 1999-11-10 | フッ酸を含有する廃水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001137864A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004018369A1 (ja) * | 2002-08-20 | 2004-03-04 | Cabot Supermetals K.K. | フッ素の回収方法 |
| CN100393635C (zh) * | 2003-08-28 | 2008-06-11 | 精工爱普生株式会社 | 药液回收处理方法及药液回收处理装置、萤石的制造方法 |
| JP2008173527A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フッ素含有水の処理方法および処理装置 |
| JP2009136843A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Daiseki:Kk | 廃液の処理方法 |
| JP2010058066A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Kurita Water Ind Ltd | 加圧浮上装置 |
| JP2010194468A (ja) * | 2009-02-25 | 2010-09-09 | Morita Kagaku Kogyo Kk | フッ素イオンの固定化およびフッ素リサイクル方法 |
-
1999
- 1999-11-10 JP JP31996799A patent/JP2001137864A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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