JPH0917381A - 高圧放電灯、光化学反応装置及び超純水回収システム - Google Patents
高圧放電灯、光化学反応装置及び超純水回収システムInfo
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- JPH0917381A JPH0917381A JP16644795A JP16644795A JPH0917381A JP H0917381 A JPH0917381 A JP H0917381A JP 16644795 A JP16644795 A JP 16644795A JP 16644795 A JP16644795 A JP 16644795A JP H0917381 A JPH0917381 A JP H0917381A
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- tube
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- discharge lamp
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- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】サポートワイヤの強度を維持した状態でサポー
トワイヤが2次輻射により発光管が白濁するのを防止す
ることができる。 【構成】サポートワイヤ21,22は、発光管23から
の光による二次輻射を抑制するアルミナAl2 O3 また
はシリカSiO2 系の無機物が塗布され、その半径D
と、該発光管23の発光部(チューブ25)の管面まで
の距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの
範囲に設定されている。高圧水銀ランプ20は、サポー
トワイヤ21,22で支えられた発光管23をランプ外
管24で収納する構造になっている。これにより、サポ
ートワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤが2
次輻射により発光管が白濁するのを防止することができ
る。
トワイヤが2次輻射により発光管が白濁するのを防止す
ることができる。 【構成】サポートワイヤ21,22は、発光管23から
の光による二次輻射を抑制するアルミナAl2 O3 また
はシリカSiO2 系の無機物が塗布され、その半径D
と、該発光管23の発光部(チューブ25)の管面まで
の距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの
範囲に設定されている。高圧水銀ランプ20は、サポー
トワイヤ21,22で支えられた発光管23をランプ外
管24で収納する構造になっている。これにより、サポ
ートワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤが2
次輻射により発光管が白濁するのを防止することができ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は反応液中の無機物を分解
するのに用いられる高圧放電灯、光化学反応装置及び超
純水回収システムに係り、特に反応液中の無機物を分解
するコストを低減できる高圧放電灯、光化学反応装置及
び超純水回収システムに関する。
するのに用いられる高圧放電灯、光化学反応装置及び超
純水回収システムに係り、特に反応液中の無機物を分解
するコストを低減できる高圧放電灯、光化学反応装置及
び超純水回収システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体を製造する過程に使用する
超純水の精製する方法として高圧放電灯(高圧水銀ラン
プ)を使用する方法があった。このような方法では、精
製を行う水にH2 O2 を混ぜ、このH2 O2 に高圧放電
灯の波長が365nmまたは254nmの紫外線を照射
し、活性化したHO又はOを生成し、水中に含まれる不
純物である有機物を酸化分解させていた。
超純水の精製する方法として高圧放電灯(高圧水銀ラン
プ)を使用する方法があった。このような方法では、精
製を行う水にH2 O2 を混ぜ、このH2 O2 に高圧放電
灯の波長が365nmまたは254nmの紫外線を照射
し、活性化したHO又はOを生成し、水中に含まれる不
純物である有機物を酸化分解させていた。
【0003】図5はこのような方法に用いられる光化学
反応装置の要部を示す断面図である。
反応装置の要部を示す断面図である。
【0004】図5において、反応槽61は、内部に反応
液(半導体を洗浄した後の水)62が注入されている。
反応槽61の上板63には、貫通孔64が形成されてお
り、この貫通孔64に高圧放電灯70がその一端側から
挿入されるようになっている。
液(半導体を洗浄した後の水)62が注入されている。
反応槽61の上板63には、貫通孔64が形成されてお
り、この貫通孔64に高圧放電灯70がその一端側から
挿入されるようになっている。
【0005】反応槽61の下板65の上面には、ホルダ
66が設けられており、高圧放電灯70の一端側を支え
るようになっている。
66が設けられており、高圧放電灯70の一端側を支え
るようになっている。
【0006】高圧放電灯70は、サポートワイヤ71,
72で支えられた発光管73を長尺(長さ2000m
m)のランプ外管74で収納する構造になっている。発
光管73は、石英硝子製のチューブ75に水銀Hgと始
動ガスとしてのアルゴンArを封入したものである。
72で支えられた発光管73を長尺(長さ2000m
m)のランプ外管74で収納する構造になっている。発
光管73は、石英硝子製のチューブ75に水銀Hgと始
動ガスとしてのアルゴンArを封入したものである。
【0007】サポートワイヤ71,72は、一端側が金
属製のホルダ76に取り付けられ、他端側がそれぞれラ
ンプ外管74の貫通孔78,79を介してランプ外管の
他端側の外側に設けられたピン80,81に接続され
る。ホルダ76は、ランプ外管74の一端側の内面に弾
接するようになっている。
属製のホルダ76に取り付けられ、他端側がそれぞれラ
ンプ外管74の貫通孔78,79を介してランプ外管の
他端側の外側に設けられたピン80,81に接続され
る。ホルダ76は、ランプ外管74の一端側の内面に弾
接するようになっている。
【0008】サポートワイヤ71,72の間には、ホル
ダ82,83により発光管73が配設されている。ホル
ダ82は、サポートワイヤ71,72に接続された状態
で発光管73の一端側の封止部84の外周を保持してい
る。ホルダ83は、サポートワイヤ71,72に接続さ
れた状態で発光管73の他端の封止部85の外周を保持
している。封止部84,85の外周が絶縁部材で形成さ
れている。
ダ82,83により発光管73が配設されている。ホル
ダ82は、サポートワイヤ71,72に接続された状態
で発光管73の一端側の封止部84の外周を保持してい
る。ホルダ83は、サポートワイヤ71,72に接続さ
れた状態で発光管73の他端の封止部85の外周を保持
している。封止部84,85の外周が絶縁部材で形成さ
れている。
【0009】サポートワイヤ72は、配線86及び封止
部84の内側の導体を介して発光管73の一方の電極8
7に接続されている。サポートワイヤ71,72は、ホ
ルダ76,82,83によって電気的に接続している。
部84の内側の導体を介して発光管73の一方の電極8
7に接続されている。サポートワイヤ71,72は、ホ
ルダ76,82,83によって電気的に接続している。
【0010】ワイヤ89は、一端側が配線90及び封止
部85の内側の導体を介して発光管73の他方の電極8
8に接続され、他端側がランプ外管74の貫通孔91を
介してランプ外管74の他端側の外側に設けられたピン
92に接続される。電極87,88間の距離は1300
mmとなっている。
部85の内側の導体を介して発光管73の他方の電極8
8に接続され、他端側がランプ外管74の貫通孔91を
介してランプ外管74の他端側の外側に設けられたピン
92に接続される。電極87,88間の距離は1300
mmとなっている。
【0011】このような構造により、ピン80(ピン8
1)とピン92との間に高周波電圧を加えることによ
り、発光管73が紫外線を発光し、この紫外線がランプ
外管74を介して反応液62に照射され、反応液62に
混ぜられH2 O2 から活性化しHO又はOを生成し、反
応液62に含まれる不純物である有機物を酸化分解させ
る。
1)とピン92との間に高周波電圧を加えることによ
り、発光管73が紫外線を発光し、この紫外線がランプ
外管74を介して反応液62に照射され、反応液62に
混ぜられH2 O2 から活性化しHO又はOを生成し、反
応液62に含まれる不純物である有機物を酸化分解させ
る。
【0012】このような従来の光化学反応装置では、発
光管73の寿命が来た場合、高圧放電灯70全体を交換
することになるので、高価なランプ外管74も交換する
ことになり、超純水の精製コストの高いものにしてい
た。また、高圧放電灯70を交換する場合、反応液62
が外気に触れるのを防止や、ランプ外管74を反応槽6
1に挿入する場合の作業上の問題から、反応液62を一
旦反応槽から抜かなければならなかった。
光管73の寿命が来た場合、高圧放電灯70全体を交換
することになるので、高価なランプ外管74も交換する
ことになり、超純水の精製コストの高いものにしてい
た。また、高圧放電灯70を交換する場合、反応液62
が外気に触れるのを防止や、ランプ外管74を反応槽6
1に挿入する場合の作業上の問題から、反応液62を一
旦反応槽から抜かなければならなかった。
【0013】上記の問題点に対応して、ランプ外管を反
応槽に取り付けた状態で発光管を交換する光化学反応装
置が開発されている。
応槽に取り付けた状態で発光管を交換する光化学反応装
置が開発されている。
【0014】図6はこのような光化学反応装置を示す断
面図である。
面図である。
【0015】図6において、反応槽101は、内部に反
応液(半導体を洗浄した後の水)102が注入されてい
る。反応槽101の上板103には、貫通孔104が形
成されており、この貫通孔104に高圧放電灯110が
その一端側から挿入されるようになっている。
応液(半導体を洗浄した後の水)102が注入されてい
る。反応槽101の上板103には、貫通孔104が形
成されており、この貫通孔104に高圧放電灯110が
その一端側から挿入されるようになっている。
【0016】反応槽101の下板105の上面には、ホ
ルダ106が設けられており、高圧放電灯110のラン
プ外管114の一端側を支えるようになっている。
ルダ106が設けられており、高圧放電灯110のラン
プ外管114の一端側を支えるようになっている。
【0017】高圧放電灯110は、サポートワイヤ11
1,112で支えられた発光管113をランプ外管11
4で収納する構造になっている。発光管113は、チュ
ーブ115に水銀HgとアルゴンArを封入したもので
ある。
1,112で支えられた発光管113をランプ外管11
4で収納する構造になっている。発光管113は、チュ
ーブ115に水銀HgとアルゴンArを封入したもので
ある。
【0018】ランプ外管114は、一端側が閉塞し他端
側が開口し、該他端側の開口が前記ベース131により
蓋をされるようになっている。
側が開口し、該他端側の開口が前記ベース131により
蓋をされるようになっている。
【0019】サポートワイヤ111,112は、一端側
が金属製のホルダ116に取り付けられ、他端側がベー
ス131の貫通孔132,133に挿入されるようにな
っている。ベース131とサポートワイヤ111,11
2との間はそれぞれ絶縁部材134,135により絶縁
されている。サポートワイヤ111の他端側の先端には
リード線136が接続されている。ホルダ116は、ラ
ンプ外管114の一端側の内面に弾接するようになって
いる。
が金属製のホルダ116に取り付けられ、他端側がベー
ス131の貫通孔132,133に挿入されるようにな
っている。ベース131とサポートワイヤ111,11
2との間はそれぞれ絶縁部材134,135により絶縁
されている。サポートワイヤ111の他端側の先端には
リード線136が接続されている。ホルダ116は、ラ
ンプ外管114の一端側の内面に弾接するようになって
いる。
【0020】サポートワイヤ111,112の間には、
ホルダ122,123により発光管113が配設されて
いる。ホルダ122は、サポートワイヤ111,112
に接続された状態で発光管113の一端側の封止部12
4の外周を保持している。ホルダ123は、サポートワ
イヤ111,112に接続された状態で発光管113の
他端の封止部125の外周を保持している。封止部12
4,125の外周が絶縁部材で形成されている。
ホルダ122,123により発光管113が配設されて
いる。ホルダ122は、サポートワイヤ111,112
に接続された状態で発光管113の一端側の封止部12
4の外周を保持している。ホルダ123は、サポートワ
イヤ111,112に接続された状態で発光管113の
他端の封止部125の外周を保持している。封止部12
4,125の外周が絶縁部材で形成されている。
【0021】サポートワイヤ112は、配線126及び
封止部124の内側の導体を介して発光管113の一方
の電極127に接続されている。サポートワイヤ11
1,112は、ホルダ116,122,123によって
電気的に接続している。
封止部124の内側の導体を介して発光管113の一方
の電極127に接続されている。サポートワイヤ11
1,112は、ホルダ116,122,123によって
電気的に接続している。
【0022】ワイヤ129は、一端側が配線130及び
封止部125の内側の導体を介して発光管113の他方
の電極128に接続され、他端側がベース131の貫通
孔137に挿入されるようになっている。ベース131
とワイヤ129との間は絶縁部材138により絶縁され
ている。ワイヤ129の他端側の先端にはリード線13
9が接続されている。
封止部125の内側の導体を介して発光管113の他方
の電極128に接続され、他端側がベース131の貫通
孔137に挿入されるようになっている。ベース131
とワイヤ129との間は絶縁部材138により絶縁され
ている。ワイヤ129の他端側の先端にはリード線13
9が接続されている。
【0023】サポートワイヤ111,112及びワイヤ
129は、ランプ外管114の他端側が開口の位置に円
盤状の絶縁部材140が取り付けられている。この絶縁
部材140により安定的に保持されている。
129は、ランプ外管114の他端側が開口の位置に円
盤状の絶縁部材140が取り付けられている。この絶縁
部材140により安定的に保持されている。
【0024】このような構造により、リード線136,
139との間に高周波電圧を加えることにより、発光管
113が紫外線を発光し、この紫外線がランプ外管11
4を介して反応液102に照射され、反応液102に混
ぜられH2 O2 から活性化しHO又はOを生成し、反応
液102に含まれる不純物である有機物を酸化分解させ
る。
139との間に高周波電圧を加えることにより、発光管
113が紫外線を発光し、この紫外線がランプ外管11
4を介して反応液102に照射され、反応液102に混
ぜられH2 O2 から活性化しHO又はOを生成し、反応
液102に含まれる不純物である有機物を酸化分解させ
る。
【0025】このような従来の光化学反応装置では、ベ
ース131をランプ外管114から外し、発光管115
をランプ外管114から取出して交換することになるの
で、ランプ外管114を交換する必要がなく、超純水の
生成コストを削減することができる。また、発光管11
5を交換する場合、ランプ外管114を反応槽101に
取り付けたままでよいので、反応液102を一旦反応槽
から抜く必要がなく、作業性が向上する。
ース131をランプ外管114から外し、発光管115
をランプ外管114から取出して交換することになるの
で、ランプ外管114を交換する必要がなく、超純水の
生成コストを削減することができる。また、発光管11
5を交換する場合、ランプ外管114を反応槽101に
取り付けたままでよいので、反応液102を一旦反応槽
から抜く必要がなく、作業性が向上する。
【0026】しかしながら、このような光化学反応装置
は、ベース131をランプ外管114から外し発光管1
15をランプ外管114から取出した場合、サポートワ
イヤ111,112の他端側で発光管115、ホルダ1
16,122,123の重量を支えることになるので、
サポートワイヤ111,112を太くしなければならな
かった。これにより、発光管115からの光(紫外線)
によりサポートワイヤ111,112が二次輻射する光
が増大し、この光により発光管115がサポートワイヤ
111,112に沿って加熱し白濁しやすくなり、発光
管115の寿命を低下させていた。
は、ベース131をランプ外管114から外し発光管1
15をランプ外管114から取出した場合、サポートワ
イヤ111,112の他端側で発光管115、ホルダ1
16,122,123の重量を支えることになるので、
サポートワイヤ111,112を太くしなければならな
かった。これにより、発光管115からの光(紫外線)
によりサポートワイヤ111,112が二次輻射する光
が増大し、この光により発光管115がサポートワイヤ
111,112に沿って加熱し白濁しやすくなり、発光
管115の寿命を低下させていた。
【0027】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の光化学
反応装置は、発光管を交換するためにベースをランプ外
管から外し発光管をランプ外管から取出した場合、サポ
ートワイヤの他端側で発光管やホルダの重量を支えるこ
とになるので、サポートワイヤを太くしなければなら
ず、これにより、発光管からの光によりサポートワイヤ
が二次輻射する光が増大し、この光により発光管がサポ
ートワイヤに沿って加熱し白濁しやすくなり、発光管の
寿命を低下させていた。
反応装置は、発光管を交換するためにベースをランプ外
管から外し発光管をランプ外管から取出した場合、サポ
ートワイヤの他端側で発光管やホルダの重量を支えるこ
とになるので、サポートワイヤを太くしなければなら
ず、これにより、発光管からの光によりサポートワイヤ
が二次輻射する光が増大し、この光により発光管がサポ
ートワイヤに沿って加熱し白濁しやすくなり、発光管の
寿命を低下させていた。
【0028】そこで本発明は前記の問題点を除去し、サ
ポートワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの
二次輻射により発光管が白濁するのを防止することがで
きる電源装置、放電灯点灯装置及び照明装置の提供を目
的とする。
ポートワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの
二次輻射により発光管が白濁するのを防止することがで
きる電源装置、放電灯点灯装置及び照明装置の提供を目
的とする。
【0029】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明に
よる高圧放電灯は、発光管と、この発光管からの光によ
る二次輻射を抑制する無機物が塗布され、その半径D
と、該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.2
×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、該発
光管を支えるサポートワイヤと、このサポートワイヤで
支えられた発光管を収納するランプ外管とを具備したこ
とを特徴とする。
よる高圧放電灯は、発光管と、この発光管からの光によ
る二次輻射を抑制する無機物が塗布され、その半径D
と、該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.2
×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、該発
光管を支えるサポートワイヤと、このサポートワイヤで
支えられた発光管を収納するランプ外管とを具備したこ
とを特徴とする。
【0030】請求項2記載の本発明による高圧放電灯
は、発光管と、アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布
され、その半径Dと、該発光管の発光部の管面までの距
離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲
に設定され、該発光管を支えるサポートワイヤと、この
サポートワイヤで支えられた発光管を収納するランプ外
管とを具備したことを特徴とする。
は、発光管と、アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布
され、その半径Dと、該発光管の発光部の管面までの距
離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲
に設定され、該発光管を支えるサポートワイヤと、この
サポートワイヤで支えられた発光管を収納するランプ外
管とを具備したことを特徴とする。
【0031】請求項3記載の本発明による高圧放電灯
は、発光管と、この発光管を保持するホルダと、アルミ
ナまたはシリカ系の無機物が塗布され、その半径Dと、
該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L
≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、前記ホル
ダを介して該発光管を支えるサポートワイヤと、このサ
ポートワイヤで支えられた発光管を収納するランプ外管
とを具備したことを特徴とする。
は、発光管と、この発光管を保持するホルダと、アルミ
ナまたはシリカ系の無機物が塗布され、その半径Dと、
該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L
≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、前記ホル
ダを介して該発光管を支えるサポートワイヤと、このサ
ポートワイヤで支えられた発光管を収納するランプ外管
とを具備したことを特徴とする。
【0032】請求項4記載の本発明による高圧放電灯
は、発光管と、アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布
され、その半径Dと、該発光管の発光部の管面までの距
離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲
に設定され、該発光管を支えるサポートワイヤと、この
サポートワイヤが取り付けられたベースと、一端側が閉
塞し他端側が開口し、前記サポートワイヤで支えられた
発光管を収納し、該他端側の開口が前記ベースにより蓋
をされるランプ外管とを具備したことを特徴とする。
は、発光管と、アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布
され、その半径Dと、該発光管の発光部の管面までの距
離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲
に設定され、該発光管を支えるサポートワイヤと、この
サポートワイヤが取り付けられたベースと、一端側が閉
塞し他端側が開口し、前記サポートワイヤで支えられた
発光管を収納し、該他端側の開口が前記ベースにより蓋
をされるランプ外管とを具備したことを特徴とする。
【0033】請求項5記載の本発明による高圧放電灯
は、発光管と、この発光管を保持するホルダと、アルミ
ナまたはシリカ系の無機物が塗布され、前記発光管の発
光部の両側に配置され、その半径Dと、該発光管の発光
部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×
L+2mmの範囲に設定され、前記ホルダを介して発光
管を支える第1及び第2のサポートワイヤと、これら第
1及び第2のサポートワイヤが取り付けられたベース
と、一旦側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイ
ヤで支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記
ベースにより蓋をされるランプ外管とを具備したことを
特徴とする高圧放電灯。
は、発光管と、この発光管を保持するホルダと、アルミ
ナまたはシリカ系の無機物が塗布され、前記発光管の発
光部の両側に配置され、その半径Dと、該発光管の発光
部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×
L+2mmの範囲に設定され、前記ホルダを介して発光
管を支える第1及び第2のサポートワイヤと、これら第
1及び第2のサポートワイヤが取り付けられたベース
と、一旦側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイ
ヤで支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記
ベースにより蓋をされるランプ外管とを具備したことを
特徴とする高圧放電灯。
【0034】請求項6記載の本発明による高圧放電灯
は、発光管と、この発光管を保持するホルダと、アルミ
ナまたはシリカ系の無機物が塗布され、前記発光管の発
光部の両側に配置され、その半径Dと、該発光管の発光
部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×
L+2mmの範囲に設定され、前記ホルダを介して発光
管を支える第1及び第2のサポートワイヤと、これら第
1及び第2のサポートワイヤが取り付けられたベース
と、一旦側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイ
ヤで支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記
ベースにより蓋をされるランプ外管と、前記発光管の電
極をベースを介してランプ外管外側と電気的に接続させ
る接続手段とを具備したことを特徴とする。
は、発光管と、この発光管を保持するホルダと、アルミ
ナまたはシリカ系の無機物が塗布され、前記発光管の発
光部の両側に配置され、その半径Dと、該発光管の発光
部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×
L+2mmの範囲に設定され、前記ホルダを介して発光
管を支える第1及び第2のサポートワイヤと、これら第
1及び第2のサポートワイヤが取り付けられたベース
と、一旦側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイ
ヤで支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記
ベースにより蓋をされるランプ外管と、前記発光管の電
極をベースを介してランプ外管外側と電気的に接続させ
る接続手段とを具備したことを特徴とする。
【0035】請求項7記載の本発明による光化学反応装
置は、請求項4〜6のいずれか一つに記載の高圧放電灯
と、この高圧放電灯の挿入されるとともに反応液と過酸
化水素とが注入される反応槽とを具備したことを特徴と
する。
置は、請求項4〜6のいずれか一つに記載の高圧放電灯
と、この高圧放電灯の挿入されるとともに反応液と過酸
化水素とが注入される反応槽とを具備したことを特徴と
する。
【0036】請求項8記載の本発明による超純水回収シ
ステムは、超純水を貯水する第一次純水タンクと、この
第一次純水タンクからの超純水により半導体の洗浄を行
うユースポイントと、このユースポイントにより半導体
の洗浄に使われた水が反応液として注入される請求項7
記載の光化学反応装置と、光化学反応装置により有機物
が分解された反応液から過酸化水素を除去して前記第一
次純水タンクに戻す過酸化水素除去手段とを具備したこ
とを特徴とする超純水回収システム。
ステムは、超純水を貯水する第一次純水タンクと、この
第一次純水タンクからの超純水により半導体の洗浄を行
うユースポイントと、このユースポイントにより半導体
の洗浄に使われた水が反応液として注入される請求項7
記載の光化学反応装置と、光化学反応装置により有機物
が分解された反応液から過酸化水素を除去して前記第一
次純水タンクに戻す過酸化水素除去手段とを具備したこ
とを特徴とする超純水回収システム。
【0037】以上の発明において、アルミナまたはシリ
カ系とはアルミナ(シリカ)が90%以上含まれるもの
とする。
カ系とはアルミナ(シリカ)が90%以上含まれるもの
とする。
【0038】
【作用】請求項1記載の構成によれば、該発光管を支え
るサポートワイヤは、発光管からの光による二次輻射を
抑制する無機物が塗布され、その半径Dと、該発光管の
発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.
2×L+2mmの範囲に設定されているので、サポート
ワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの二次輻
射により発光管が白濁するのを防止できる。
るサポートワイヤは、発光管からの光による二次輻射を
抑制する無機物が塗布され、その半径Dと、該発光管の
発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.
2×L+2mmの範囲に設定されているので、サポート
ワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの二次輻
射により発光管が白濁するのを防止できる。
【0039】請求項2〜6記載の構成によれば、該発光
管を支えるサポートワイヤは、高温でも安定なアルミナ
またはシリカ系の無機物が塗布され、その半径Dと、該
発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦
D≦0.2×L+2mmの範囲に設定されているので、
サポートワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤ
の二次輻射により発光管が白濁するのを防止できる。
管を支えるサポートワイヤは、高温でも安定なアルミナ
またはシリカ系の無機物が塗布され、その半径Dと、該
発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦
D≦0.2×L+2mmの範囲に設定されているので、
サポートワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤ
の二次輻射により発光管が白濁するのを防止できる。
【0040】請求項7記載の構成によれば、高圧放電灯
の発光により過酸化水素を活性化させ、反応液に溶け込
んだ有機物を分解できる。
の発光により過酸化水素を活性化させ、反応液に溶け込
んだ有機物を分解できる。
【0041】請求項8記載の構成によれば、過酸化水素
除去手段が、光化学反応装置により有機物が分解された
反応液から過酸化水素を除去して前記第一次純水タンク
に戻すので、ユースポイントにおいて半導体の洗浄を行
う超純水のリサイクル使用が可能になる。
除去手段が、光化学反応装置により有機物が分解された
反応液から過酸化水素を除去して前記第一次純水タンク
に戻すので、ユースポイントにおいて半導体の洗浄を行
う超純水のリサイクル使用が可能になる。
【0042】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【0043】図1は本発明に係る高圧放電灯及びこれを
用いた光化学反応装置の一実施例を示す断面図であり、
光化学反応装置の要部を示している。
用いた光化学反応装置の一実施例を示す断面図であり、
光化学反応装置の要部を示している。
【0044】図1において、反応槽11は、内部に反応
液(半導体を洗浄した後の水)12が注入されている。
反応槽11の上板13には、貫通孔14が形成されてお
り、この貫通孔14に高圧放電灯20がその一端側から
挿入されるようになっている。
液(半導体を洗浄した後の水)12が注入されている。
反応槽11の上板13には、貫通孔14が形成されてお
り、この貫通孔14に高圧放電灯20がその一端側から
挿入されるようになっている。
【0045】反応槽11の下板15の上面には、ホルダ
16が設けられており、高圧放電灯20の一端側を支え
るようになっている。
16が設けられており、高圧放電灯20の一端側を支え
るようになっている。
【0046】高圧放電灯20は、サポートワイヤ21,
22で支えられた発光管23をランプ外管24で収納す
る構造になっている。発光管23は、石英硝子製のチュ
ーブ25に水銀Hgと始動ガスとしてアルゴンArを封
入したものである。
22で支えられた発光管23をランプ外管24で収納す
る構造になっている。発光管23は、石英硝子製のチュ
ーブ25に水銀Hgと始動ガスとしてアルゴンArを封
入したものである。
【0047】ランプ外管24は、石英硝子で形成されて
おり、一端側が閉塞し他端側が開口し、該他端側の開口
が前記ベース41により蓋をされるようになっている。
おり、一端側が閉塞し他端側が開口し、該他端側の開口
が前記ベース41により蓋をされるようになっている。
【0048】サポートワイヤ21,22は、一端側が金
属製のホルダ26に取り付けられ、他端側がベース41
の貫通孔42,43に挿入されるようになっている。ベ
ース41とサポートワイヤ21,22との間はそれぞれ
絶縁部材44,45により絶縁されている。サポートワ
イヤ22の一端側には配線36が接続されている。サポ
ートワイヤ21の他端側の先端にはリード線46が接続
されている。ホルダ26は、ランプ外管24の一端側の
内面に弾接するようになっている。
属製のホルダ26に取り付けられ、他端側がベース41
の貫通孔42,43に挿入されるようになっている。ベ
ース41とサポートワイヤ21,22との間はそれぞれ
絶縁部材44,45により絶縁されている。サポートワ
イヤ22の一端側には配線36が接続されている。サポ
ートワイヤ21の他端側の先端にはリード線46が接続
されている。ホルダ26は、ランプ外管24の一端側の
内面に弾接するようになっている。
【0049】サポートワイヤ21,22の間には、ホル
ダ32,33により発光管23が配設されている。ホル
ダ32は、サポートワイヤ21,22に接続された状態
で発光管23の一端側の封止部34の外周を保持してい
る。ホルダ33は、サポートワイヤ21,22に接続さ
れた状態で発光管23の他端の封止部35の外周を保持
している。封止部34,35の外周が絶縁部材で形成さ
れている。
ダ32,33により発光管23が配設されている。ホル
ダ32は、サポートワイヤ21,22に接続された状態
で発光管23の一端側の封止部34の外周を保持してい
る。ホルダ33は、サポートワイヤ21,22に接続さ
れた状態で発光管23の他端の封止部35の外周を保持
している。封止部34,35の外周が絶縁部材で形成さ
れている。
【0050】サポートワイヤ21,22は、発光管23
からの光による二次輻射を抑制するアルミナAl2 O3
またはシリカSiO2 系の無機物10が塗布され、その
半径Dと、該発光管23の発光部(チューブ25)の管
面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2
mmの範囲に設定されている。サポートワイヤ21,2
2に塗布する物質としてアルミナAl2 O3 またはシリ
カSiO2 系を用いたのは、色が白色に近くサポートワ
イヤ21,22の温度上昇を防止できるのと、高温で安
定であることからである。
からの光による二次輻射を抑制するアルミナAl2 O3
またはシリカSiO2 系の無機物10が塗布され、その
半径Dと、該発光管23の発光部(チューブ25)の管
面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2
mmの範囲に設定されている。サポートワイヤ21,2
2に塗布する物質としてアルミナAl2 O3 またはシリ
カSiO2 系を用いたのは、色が白色に近くサポートワ
イヤ21,22の温度上昇を防止できるのと、高温で安
定であることからである。
【0051】サポートワイヤ21,22は、配線36及
び封止部34の内側の導体を介して発光管23の一方の
電極37に接続されている。サポートワイヤ21,22
は、ホルダ26,32,33によって電気的に接続して
いる。
び封止部34の内側の導体を介して発光管23の一方の
電極37に接続されている。サポートワイヤ21,22
は、ホルダ26,32,33によって電気的に接続して
いる。
【0052】ワイヤ39は、一端側が配線40及び封止
部35の内側の導体を介して発光管23の他方の電極3
8に接続され、他端側がベース41の貫通孔47に挿入
されるようになっている。ベース41とワイヤ39との
間は絶縁部材48により絶縁されている。ワイヤ39の
他端側の先端にはリード線49が接続されている。
部35の内側の導体を介して発光管23の他方の電極3
8に接続され、他端側がベース41の貫通孔47に挿入
されるようになっている。ベース41とワイヤ39との
間は絶縁部材48により絶縁されている。ワイヤ39の
他端側の先端にはリード線49が接続されている。
【0053】このような構造により、サポートワイヤ2
1,22、配線36及び封止部34の内側の導体は、発
光管23の電極37をベース41を介してランプ外管2
4外側と電気的に接続させる接続手段を構成し、ワイヤ
39、配線40及び封止部35の内側の導体は、発光管
23の電極38をベース41を介してランプ外管24外
側と電気的に接続させる接続手段を構成している。
1,22、配線36及び封止部34の内側の導体は、発
光管23の電極37をベース41を介してランプ外管2
4外側と電気的に接続させる接続手段を構成し、ワイヤ
39、配線40及び封止部35の内側の導体は、発光管
23の電極38をベース41を介してランプ外管24外
側と電気的に接続させる接続手段を構成している。
【0054】サポートワイヤ21,22及びワイヤ39
は、ランプ外管24の他端側の開口の位置に円盤状の絶
縁部材50が取り付けられており、この絶縁部材50に
より安定的に保持されている。
は、ランプ外管24の他端側の開口の位置に円盤状の絶
縁部材50が取り付けられており、この絶縁部材50に
より安定的に保持されている。
【0055】このような構造により、リード線46,4
9との間に高周波電圧を加えることにより、発光管23
が紫外線を発光し、この紫外線がランプ外管24を介し
て反応液12に照射され、反応液12に混ぜられH2 O
2 から活性化しHO又はOを生成し、反応液12に含ま
れる不純物である有機物を酸化分解させる。
9との間に高周波電圧を加えることにより、発光管23
が紫外線を発光し、この紫外線がランプ外管24を介し
て反応液12に照射され、反応液12に混ぜられH2 O
2 から活性化しHO又はOを生成し、反応液12に含ま
れる不純物である有機物を酸化分解させる。
【0056】このような実施例において、ベース41を
ランプ外管24から外し、発光管25を交換することに
なるので、ランプ外管24を交換する必要がなく、ま
た、発光管25を交換する場合、ランプ外管24を反応
槽11に取り付けたままでよいので、反応液12を一旦
反応槽11から抜く必要がなてい。
ランプ外管24から外し、発光管25を交換することに
なるので、ランプ外管24を交換する必要がなく、ま
た、発光管25を交換する場合、ランプ外管24を反応
槽11に取り付けたままでよいので、反応液12を一旦
反応槽11から抜く必要がなてい。
【0057】図2及び図3を参照して図1のサポートワ
イヤ21,22の半径Dと距離Lの数値限定を行う根拠
を示す。
イヤ21,22の半径Dと距離Lの数値限定を行う根拠
を示す。
【0058】図2はサポートワイヤ21,22に二次輻
射を抑制する無機物10を塗布していない場合において
発光管23が白濁するか否かをサポートワイヤ21,2
2の半径Dと該発光管の発光部の管面までの距離Lとの
関係で示すグラフであり、縦軸に半径Dを取り、横軸に
距離Lを取っている。
射を抑制する無機物10を塗布していない場合において
発光管23が白濁するか否かをサポートワイヤ21,2
2の半径Dと該発光管の発光部の管面までの距離Lとの
関係で示すグラフであり、縦軸に半径Dを取り、横軸に
距離Lを取っている。
【0059】図2において、○は白濁しないことを示
し、×は白濁することを示している。
し、×は白濁することを示している。
【0060】発光管23は、D≦0.2×L−1mmの
条件が成立する場合に白濁しない。
条件が成立する場合に白濁しない。
【0061】ここで、図1の構造の光化学反応装置にお
けるサポートワイヤ21,22の強度としては、半径D
=5mmが適当となるが、これでは、白濁しないサポー
トワイヤ21,22と、該発光管23の発光部の管面ま
での距離Lは、30mmとなり、ランプ外管24が大き
くなりすぎて、実用的ではない。このため、図1の実施
例ではき、サポートワイヤ21,22に二次輻射を抑制
する無機物10を塗布している。
けるサポートワイヤ21,22の強度としては、半径D
=5mmが適当となるが、これでは、白濁しないサポー
トワイヤ21,22と、該発光管23の発光部の管面ま
での距離Lは、30mmとなり、ランプ外管24が大き
くなりすぎて、実用的ではない。このため、図1の実施
例ではき、サポートワイヤ21,22に二次輻射を抑制
する無機物10を塗布している。
【0062】図3はサポートワイヤ21,22に二次輻
射を抑制する無機物10を塗布した場合において発光管
23が白濁するか否かをサポートワイヤ21,22の半
径Dと、該発光管の発光部の管面までの距離Lとの関係
で示すグラフであり、縦軸に半径Dを示し、横軸に距離
Lしている。
射を抑制する無機物10を塗布した場合において発光管
23が白濁するか否かをサポートワイヤ21,22の半
径Dと、該発光管の発光部の管面までの距離Lとの関係
で示すグラフであり、縦軸に半径Dを示し、横軸に距離
Lしている。
【0063】図3において、○は白濁しないことを示
し、×は白濁することを示している。
し、×は白濁することを示している。
【0064】発光管23は、D≦0.2×L+2mmの
条件が成立する場合に白濁しない。
条件が成立する場合に白濁しない。
【0065】ここで、D<0.2×Lの場合において、
半径Dをサポートワイヤ21,22の強度が十分になる
値に設定した場合には、発光管23が白濁しない距離L
が大きくなりすぎてしまう。このため、本実施例では、
半径Dと、距離Lとを、0.2×L≦D≦0.2×L+
2mmの範囲に設定している。
半径Dをサポートワイヤ21,22の強度が十分になる
値に設定した場合には、発光管23が白濁しない距離L
が大きくなりすぎてしまう。このため、本実施例では、
半径Dと、距離Lとを、0.2×L≦D≦0.2×L+
2mmの範囲に設定している。
【0066】以上説明したように、このような実施例に
よれば、発光管23を支えるサポートワイヤ21,22
は、発光管23からの光による二次輻射を抑制する無機
物10が塗布され、その半径Dと、該発光管の発光部の
管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+
2mmの範囲に設定されているので、サポートワイヤ2
1,22の強度を維持した状態でサポートワイヤ21,
22の二次輻射により発光管が白濁するのを防止でき
る。これにより、発光管をランプ外管から取出せる構造
の高圧放電灯における発光管の寿命を延長することが可
能になり、このような高圧放電灯を用いた光化学反応装
置において、反応液に溶け込んだ有機物を分解するコス
トを低減できる。
よれば、発光管23を支えるサポートワイヤ21,22
は、発光管23からの光による二次輻射を抑制する無機
物10が塗布され、その半径Dと、該発光管の発光部の
管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+
2mmの範囲に設定されているので、サポートワイヤ2
1,22の強度を維持した状態でサポートワイヤ21,
22の二次輻射により発光管が白濁するのを防止でき
る。これにより、発光管をランプ外管から取出せる構造
の高圧放電灯における発光管の寿命を延長することが可
能になり、このような高圧放電灯を用いた光化学反応装
置において、反応液に溶け込んだ有機物を分解するコス
トを低減できる。
【0067】図4はこのような光化学反応装置を用いた
超純水回収使用システムを示すブロック図である。
超純水回収使用システムを示すブロック図である。
【0068】ポンプ211、プレフィルター212、逆
浸透装置213、脱ガス塔214、ポンプ215、イオ
ン交換樹脂塔216、第一次純水タンク217は水道水
等の原水から超純水を精製する一次処理システムを構成
し、ポンプ221、イオン交換樹脂塔222、紫外線殺
菌装置223、ユースポイント224は一次処理システ
ムで精製した超純水を用いて半導体部品を洗浄する二次
処理システムを構成し、バブリング用ファン231、光
化学反応装置240、ポンプ232、過酸化水素吸着塔
233、イオン交換樹脂塔234、フィルター235か
ら成る超純水回収システムにより半導体を洗浄した後の
水を超純水にリサイクルする。
浸透装置213、脱ガス塔214、ポンプ215、イオ
ン交換樹脂塔216、第一次純水タンク217は水道水
等の原水から超純水を精製する一次処理システムを構成
し、ポンプ221、イオン交換樹脂塔222、紫外線殺
菌装置223、ユースポイント224は一次処理システ
ムで精製した超純水を用いて半導体部品を洗浄する二次
処理システムを構成し、バブリング用ファン231、光
化学反応装置240、ポンプ232、過酸化水素吸着塔
233、イオン交換樹脂塔234、フィルター235か
ら成る超純水回収システムにより半導体を洗浄した後の
水を超純水にリサイクルする。
【0069】更に詳細に説明すると、一次処理システム
において、水道水等の原水は、ポンプ211により圧力
が加えられて送出され、プレフィルター212によりご
み、塵等が除去され、逆透過装置213により溶け込ん
だ有機物が除去され、脱ガス塔214により有機物が溶
け込んだガスが除去され、ポンプ215により再度圧力
が加えられて送出され、イオン交換樹脂塔216により
Na+ ,Cl- ,Ca+ ,CO3 - 等の塩が除去され、
超純水として第一次純水タンク217に蓄えられる。
において、水道水等の原水は、ポンプ211により圧力
が加えられて送出され、プレフィルター212によりご
み、塵等が除去され、逆透過装置213により溶け込ん
だ有機物が除去され、脱ガス塔214により有機物が溶
け込んだガスが除去され、ポンプ215により再度圧力
が加えられて送出され、イオン交換樹脂塔216により
Na+ ,Cl- ,Ca+ ,CO3 - 等の塩が除去され、
超純水として第一次純水タンク217に蓄えられる。
【0070】第一次純水タンク217に蓄えられた超純
水は、二次処理システムのポンプ221により汲み出さ
れ圧力が加えられて送出され、イオン交換樹脂塔222
によりNa+ ,Cl- ,Ca+ ,CO3 - 等の塩が再度
除去され、紫外線殺菌装置223により殺菌が行われ、
ユースポイント224において半導体部品を洗浄に使用
され、洗浄後の水は反応液12として超純水回収システ
ムの光化学反応装置240の反応槽に注入される。反応
槽にはH2 O2 が送り込まれる。
水は、二次処理システムのポンプ221により汲み出さ
れ圧力が加えられて送出され、イオン交換樹脂塔222
によりNa+ ,Cl- ,Ca+ ,CO3 - 等の塩が再度
除去され、紫外線殺菌装置223により殺菌が行われ、
ユースポイント224において半導体部品を洗浄に使用
され、洗浄後の水は反応液12として超純水回収システ
ムの光化学反応装置240の反応槽に注入される。反応
槽にはH2 O2 が送り込まれる。
【0071】光化学反応装置の反応槽11には、高圧放
電灯20が挿入されるとともにバブリング用ノズル24
1が設けられている。バブリング用ファン231がバブ
リング用ノズル241に空気を送り込むことにより、バ
ブリング用ノズルから反応槽11の水に泡を発生させて
水の攪拌を行う。この状態で、高圧放電灯20の発光管
が紫外線を発光し、この紫外線が反応液12に照射さ
れ、反応液12に混ぜられH2 O2 から活性化したHO
又はOを生成し、水中に含まれる不純物である有機物を
酸化分解させる。有機物が分解された反応液12は、ポ
ンプ232により汲み出され圧力が加えられて送出さ
れ、過酸化水素吸着塔233によりH2 O2が除去さ
れ、イオン交換樹脂塔234によりNa+ ,Cl- ,C
a+ ,CO3 -等の塩が再度除去され、プレフィルター
235によりごみ、塵が除去され、超純水として第一次
純水タンク217に蓄えられる。
電灯20が挿入されるとともにバブリング用ノズル24
1が設けられている。バブリング用ファン231がバブ
リング用ノズル241に空気を送り込むことにより、バ
ブリング用ノズルから反応槽11の水に泡を発生させて
水の攪拌を行う。この状態で、高圧放電灯20の発光管
が紫外線を発光し、この紫外線が反応液12に照射さ
れ、反応液12に混ぜられH2 O2 から活性化したHO
又はOを生成し、水中に含まれる不純物である有機物を
酸化分解させる。有機物が分解された反応液12は、ポ
ンプ232により汲み出され圧力が加えられて送出さ
れ、過酸化水素吸着塔233によりH2 O2が除去さ
れ、イオン交換樹脂塔234によりNa+ ,Cl- ,C
a+ ,CO3 -等の塩が再度除去され、プレフィルター
235によりごみ、塵が除去され、超純水として第一次
純水タンク217に蓄えられる。
【0072】第一次純水タンク217に蓄えらた超純水
に余剰が生じた場合には、取出すこともできる。
に余剰が生じた場合には、取出すこともできる。
【0073】このような超純水回収使用システムにより
図1の光化学反応装置を適用できるので、超純水回収使
用システムにおける稼働のコストを低減できる。
図1の光化学反応装置を適用できるので、超純水回収使
用システムにおける稼働のコストを低減できる。
【0074】尚、図1の実施例においては、サポートワ
イヤ21,22は、発光管23からの光による二次輻射
を抑制する無機物としてアルミナAl2 O3 またはシリ
カSiO2 系の無機物を塗布したが、他の適当な無機物
があれば、それを用いることも可能である。また、図1
の実施例においては、発光管を支えるサポートワイヤの
本数を強度を製造コストのバランスから2本としたが、
3本等、他の本数を用いてもよい。
イヤ21,22は、発光管23からの光による二次輻射
を抑制する無機物としてアルミナAl2 O3 またはシリ
カSiO2 系の無機物を塗布したが、他の適当な無機物
があれば、それを用いることも可能である。また、図1
の実施例においては、発光管を支えるサポートワイヤの
本数を強度を製造コストのバランスから2本としたが、
3本等、他の本数を用いてもよい。
【0075】
【発明の効果】請求項1記載の構成によれば、サポート
ワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの二次輻
射により発光管が白濁するのを防止できるので、発光管
をランプ外管から取出せる構造の高圧放電灯における発
光管の寿命を延長することが可能となる。
ワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの二次輻
射により発光管が白濁するのを防止できるので、発光管
をランプ外管から取出せる構造の高圧放電灯における発
光管の寿命を延長することが可能となる。
【0076】請求項2〜6記載の構成によれば、サポー
トワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの二次
輻射により発光管が白濁するのを防止できるので、発光
管をランプ外管から取出せる構造の高圧放電灯における
発光管の寿命を延長することが可能となる。
トワイヤの強度を維持した状態でサポートワイヤの二次
輻射により発光管が白濁するのを防止できるので、発光
管をランプ外管から取出せる構造の高圧放電灯における
発光管の寿命を延長することが可能となる。
【0077】請求項7記載の構成によれば、請求項4〜
6のいずれか一つに記載の高圧放電灯の高圧放電灯の発
光により過酸化水素を活性化させ、反応液に溶け込んだ
有機物を分解できるので、反応液に溶け込んだ有機物を
分解するコストを低減できる。
6のいずれか一つに記載の高圧放電灯の高圧放電灯の発
光により過酸化水素を活性化させ、反応液に溶け込んだ
有機物を分解できるので、反応液に溶け込んだ有機物を
分解するコストを低減できる。
【0078】請求項8記載の構成によれば、過酸化水素
除去手段が、請求項7記載の光化学反応装置により有機
物が分解された反応液から過酸化水素を除去して前記第
一次純水タンクに戻すので、ユースポイントにおいて半
導体の洗浄を行う超純水のリサイクル使用が可能にな
り、このような超純水回収システムの稼働のコストを低
減できる。
除去手段が、請求項7記載の光化学反応装置により有機
物が分解された反応液から過酸化水素を除去して前記第
一次純水タンクに戻すので、ユースポイントにおいて半
導体の洗浄を行う超純水のリサイクル使用が可能にな
り、このような超純水回収システムの稼働のコストを低
減できる。
【図1】本発明に係る光化学反応装置の一実施例を示す
断面図。
断面図。
【図2】図1のサポートワイヤに二次輻射を抑制する無
機物を塗布しない場合において発光管が白濁するか否か
の状態を示すグラフ。
機物を塗布しない場合において発光管が白濁するか否か
の状態を示すグラフ。
【図3】図1のサポートワイヤに二次輻射を抑制する無
機物を塗布した場合において発光管が白濁するか否かの
状態を示すグラフ。
機物を塗布した場合において発光管が白濁するか否かの
状態を示すグラフ。
【図4】図1の光化学反応装置を用いた超純水回収使用
システムを示すブロック図。
システムを示すブロック図。
【図5】光化学反応装置の第1の従来例の要部を示す断
面図。
面図。
【図6】光化学反応装置の第2の従来例の要部を示す断
面図。
面図。
10 無機物 11 反応槽 12 反応液 20 高圧放電灯 21,22 サポートワイヤ 23 発光管 24 ランプ外管
Claims (8)
- 【請求項1】 発光管と、 この発光管からの光による二次輻射を抑制する無機物が
塗布され、その半径Dと、該発光管の発光部の管面まで
の距離Lとが、0.2×L≦D≦0.2×L+2mmの
範囲に設定され、該発光管を支えるサポートワイヤと、 このサポートワイヤで支えられた発光管を収納するラン
プ外管と、 を具備したことを特徴とする高圧放電灯。 - 【請求項2】 発光管と、 アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布され、その半径
Dと、該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.
2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、該
発光管を支えるサポートワイヤと、 このサポートワイヤで支えられた発光管を収納するラン
プ外管と、 を具備したことを特徴とする高圧放電灯。 - 【請求項3】 発光管と、 この発光管を保持するホルダと、 アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布され、その半径
Dと、該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.
2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、前
記ホルダを介して該発光管を支えるサポートワイヤと、 このサポートワイヤで支えられた発光管を収納するラン
プ外管と、 を具備したことを特徴とする高圧放電灯。 - 【請求項4】 発光管と、 アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布され、その半径
Dと、該発光管の発光部の管面までの距離Lとが、0.
2×L≦D≦0.2×L+2mmの範囲に設定され、該
発光管を支えるサポートワイヤと、 このサポートワイヤが取り付けられたベースと、 一端側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイヤで
支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記ベー
スにより蓋をされるランプ外管と、 を具備したことを特徴とする高圧放電灯。 - 【請求項5】 発光管と、 この発光管を保持するホルダと、 アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布され、前記発光
管の発光部の両側に配置され、その半径Dと、該発光管
の発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦
0.2×L+2mmの範囲に設定され、前記ホルダを介
して発光管を支える第1及び第2のサポートワイヤと、 これら第1及び第2のサポートワイヤが取り付けられた
ベースと、 一旦側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイヤで
支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記ベー
スにより蓋をされるランプ外管と、 を具備したことを特徴とする高圧放電灯。 - 【請求項6】 発光管と、 この発光管を保持するホルダと、 アルミナまたはシリカ系の無機物が塗布され、前記発光
管の発光部の両側に配置され、その半径Dと、該発光管
の発光部の管面までの距離Lとが、0.2×L≦D≦
0.2×L+2mmの範囲に設定され、前記ホルダを介
して発光管を支える第1及び第2のサポートワイヤと、 これら第1及び第2のサポートワイヤが取り付けられた
ベースと、 一旦側が閉塞し他端側が開口し、前記サポートワイヤで
支えられた発光管を収納し、該他端側の開口が前記ベー
スにより蓋をされるランプ外管と、 前記発光管の電極をベースを介してランプ外管外側と電
気的に接続させる接続手段と、 を具備したことを特徴とする高圧放電灯。 - 【請求項7】請求項4〜6のいずれか一つに記載の高圧
放電灯と、 この高圧放電灯の挿入されるとともに反応液と過酸化水
素とが注入される反応槽とを具備したことを特徴とする
光化学反応装置。 - 【請求項8】超純水を貯水する第一次純水タンクと、 この第一次純水タンクからの超純水により半導体の洗浄
を行うユースポイントと、 このユースポイントにより半導体の洗浄に使われた水が
反応液として注入される請求項7記載の光化学反応装置
と、 光化学反応装置により有機物が分解された反応液から過
酸化水素を除去して前記第一次純水タンクに戻す過酸化
水素除去手段と、 を具備したことを特徴とする超純水回収システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16644795A JPH0917381A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 高圧放電灯、光化学反応装置及び超純水回収システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16644795A JPH0917381A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 高圧放電灯、光化学反応装置及び超純水回収システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0917381A true JPH0917381A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15831583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16644795A Pending JPH0917381A (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 高圧放電灯、光化学反応装置及び超純水回収システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0917381A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011104104A1 (de) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit abgestuftem aussenkolben |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP16644795A patent/JPH0917381A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011104104A1 (de) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Hochdruckentladungslampe mit abgestuftem aussenkolben |
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