JPH09171793A

JPH09171793A - 二重反射電子顕微鏡

Info

Publication number: JPH09171793A
Application number: JP8327990A
Authority: JP
Inventors: Krzystoph Dr Grzelakowski; クルツィシュトフ、グルツェラコウスキィ
Original assignee: Focus GmbH
Current assignee: Focus GmbH
Priority date: 1995-11-23
Filing date: 1996-11-25
Publication date: 1997-06-30
Also published as: DE19647975A1; US5969356A; DE19647975C2; DE19543652C1

Abstract

(57)【要約】【課題】１次電子ビームを試料上に簡単な方法で集束
させることができ、装置を大規模に変えることなく様々
なモードで分析を行える電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子顕微鏡は、電子源１４と、少なくと
も１つの対物レンズ４と投射レンズ６，７を含む電子光
学結像システムと、蛍光スクリーン９及び／又は電子増
倍管８を含む検出器を備え、電子反射器１５が、上記対
物レンズの後側焦点面１０（又はその共役面１２）に設
けられ、上記電子源から生じる１次電子ビーム２０が、
分析される試料３に集束するように調整されている。電
子反射器のチップ１６は単結晶又は多結晶材料から作製
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡に関
し、さらに詳しくは、電子源と、少なくとも１つの対物
レンズと少なくとも１つの投射レンズを含む電子光学結
像システムと、蛍光スクリーン及び／又は電子増倍管を
含む検出器を備えた電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】走査法とは無関係な直接結像電子顕微鏡
法においては、基本的に透過型電子顕微鏡と電子放出顕
微鏡とを区別している。透過型電子顕微鏡においては、
そのモジュール系列は光学顕微鏡のそれに類似してお
り、白熱電球が電子源に代わり、また、電磁レンズが結
像システムに使用されている。結像は写真装置を備えた
蛍光スクリーン上で起こる。透過型電子顕微鏡におい
て、写真は簡単な切り換え操作で電子線回折により得ら
れる。このために、中間レンズの励磁（すなわち、電流
の通過に関して）は、対物レンズの一段拡大された像を
もはや再生せずに、むしろその前の試料の回折パターン
（常に対物レンズの後側焦点面に現れる）を再生する程
度に弱められる。その結果生じる回折パターンにより、
試料の細部の構造及び配向について多数の価値ある描写
が可能となる。

【０００３】他方、電子放出顕微鏡法の場合、試料には
電子源からの１次電子又は他の励起粒子が前方から打ち
込まれる。従って、１次電子と調査対象の固体との相互
作用により、１次電子の弾性散乱だけでなく２次電子や
オージェ電子の弾性散乱も生ずる。放出された２次電子
は、主として試料の薄い表面層から出る。後方散乱電子
は、試料のもっと深い層から来る。電子放出顕微鏡法に
おいて１次電子を取り出すためには、２つの異なる方法
が従来用いられており、これらの方法は、「ウルトラマ
イクロスコピィ（Ultramicroscopy ）」３６号（１９９
１年）第１〜２８頁のオー．エッチ．グリフィス（O.H.
Griffith）及びダブリュー．エンゲル（W.Engel ）共
著、「ヒストリカルパースペクティブアンドカレン
トトレンズインエミッションマイクロスコピ
ィ、ミラーマイクロスコピィアンドローエナジ
ーエレクトロンマイクロスコピィ（Historical Per
spective and Current Trends in Emission Microscop
y, Mirror Microscopy and Low Energy Electron Micro
scopy）」に記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】これらの方法のうちの
１つは、線状電子−光学システムであり、電子源が検出
スクリーンの後ろに設けられ、１次ビームが検出スクリ
ーンの開口部を通って試料上に集束される。従って、１
次ビームを光軸と平行に整合し、試料に平行に照射する
ために、電子光学レンズは、試料の前方に設けられる。
この点において、回折パターン（低エネルギー電子線回
折すなわちＬＥＥＤモード）は分析できるが、反射線が
観察スクリーンの中心部の開孔部を透過するので、弾性
電子で試料表面を結像することはできない（結像モード
又は低エネルギー電子反射顕微鏡法ＬＥＥＭモード）。
しかしながら、この顕微鏡法を用いることで、ミラー電
子顕微鏡法（ＭＥＭ）により表面電位の直接結像が可能
となる。この公知の線状配列はその構造自体は単純であ
るが、入射ビームと反射ビームを適切に同時に最適化す
ることは不可能である。

【０００５】前記問題を改善するため、セグメント磁場
が入射ビームと試料から反射されたビームを分離するた
めに使用されている。そのようなＬＥＥＭ型電子顕微鏡
は、バウアー（Bauer ）とテリープス（Telieps ）によ
り開発され、その例がウルトラマイクロスコピィ（Ultr
amicroscopy ）３６号（１９９１年）、第２２頁の前記
論文中に記載されている。磁性表面構造を分析するため
にさらに改良されたＬＥＥＭ電子顕微鏡は、結像された
電子のスピン偏極方向を変えずにセグメント磁場におい
て分離されるスピン偏極電子を放出する電子源を必要と
するであろう。スピン偏極は必要なので、ＳＰＬＥＥＭ
又はＳＰＬＥＥＤ顕微鏡（スピン偏極低エネルギー電子
顕微鏡法）を引用する人もいるが、その欠点は、非常に
複雑であり、そのため高価であるということにある。Ｌ
ＥＥＤ又はＬＥＥＭ、及びＳＰＬＥＥＭ又はＳＰＬＥＥ
Ｄ方式共に、試料表面に打ち込まれる平行電子ビームで
動作されるが、２次電子及びオージェ電子を結像するた
めには、１次ビームを試料上に集束させ、視野中の電子
密度を上げることが必要である。しかしながら、このタ
イプの電子顕微鏡を用いても、１次ビームと放出された
電子ビームは、セグメント磁場によって分離されなけれ
ばならない。

【０００６】従って本発明の目的は、１次電子ビーム
（単に１次ビームということもある）を試料上に簡単な
方法で集束させることができ、それを用いることによ
り、装置を改造するための大規模な処置を取る必要なく
様々な方法の分析を行うことができる電子顕微鏡を提供
することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記目的
は、電子反射器が、対物レンズの後側焦点面又はその共
役面の１つに設けられ、かつ、電子源から生じる１次電
子ビームが分析される試料に集束するように配向されて
いる本発明の電子顕微鏡により達成される。電子ビーム
は電子反射器と試料表面において２回反射されるため、
本発明に係る電子顕微鏡は２重反射電子顕微鏡（ＤＲＥ
ＥＭ＝二重反射電子放出顕微鏡）と呼ぶこともできる。
電子反射器は、試料に電子ビームを集束させるためのセ
グメント磁場に代わる簡単で費用のかからないものであ
る。セグメント磁場とは対照的に、電子反射器は、磁場
の外の領域に設けられているので、試料から来る電子ビ
ームの結像に関与するものではない。好適には、電子反
射器は電子光学結像系のビーム経路にそのチップ（先
端）が位置するように設けられるけれども、二重反射電
子放出顕微鏡の結像特性に否定的影響は無い。回折パタ
ーンのほんの一部の濃度が像の明るさをほんの僅か減少
させるだけである。

【０００８】

【発明の実施の形態】好適な態様においては、電子反射
器の有効面は対物レンズの光軸に対し４５°の角度βで
設けられる。電子反射器のこの配置では、電子光学結像
系のビーム経路の外側に位置する電子源もまた、好適に
は対物レンズの後側焦点面又はその共役面の１つに設け
られる。電子源の軸線は焦点面又は共役面にあり、対物
レンズの光軸とα＝９０°の角度を成す。従って、電子
源から放出された１次ビームは、本質的に焦点面又は共
役面に進む。反射器材料の必要条件や選択によっては、
電子反射器の有効面を厳密に角度β＝４５°だけでな
く、他の角度βも許容するように電子反射器の有効面を
調整することが望ましい場合もある。従って、電子反射
器を対物レンズの焦点を中心に回動自在に設けることが
好ましい。それに応じて、電子源も対物レンズの焦点を
中心に回動自在に設けられねばならない。電子反射器と
電子源を対物レンズの共役面の１つに設ける場合にも同
じことが言える。角度βは３０°〜６０°の範囲の値に
設定でき、揺動角αは６０°〜１２０°の範囲に設定で
きる。電子反射器及び電子源の両方の動きを関連させる
ことが好ましく、それによって回折条件は保たれ、また
偏向された１次ビームが試料に当たる。

【０００９】本発明に係る電子顕微鏡の適用可能性を広
げるために、少なくとも１つのレンズを電子源と電子反
射器の間に設けることが好ましい。複数のレンズ及び／
又は偏向要素を設けることもできる。電子源から入射し
て来る１次電子ビームは、ＬＥＥＤモードにおいても、
また弾性電子での結像のためにも、電子反射器上に集束
される。その結果、分析される試料の表面は平行に照射
され、それによってＬＥＥＤ像（すなわち、対物レンズ
の後側焦点面の回折パターン）が作り出され、電子−光
学結像システムの他の要素により検出器の蛍光スクリー
ン上に再生され得る。回折された電子によりＬＥＥＤモ
ードから表面の直接結像（ＬＥＥＭモード）に切り換え
る場合、投射レンズの励磁のみが変更されねばならな
い。通常、２つの投射レンズが使用され、それにより第
１の投射レンズの励磁が修正され、その後第２の投射レ
ンズが中間像を蛍光スクリーン又は電子増倍管上に拡大
する。

【００１０】２次電子、オージェ電子又は他の電子で結
像する場合、１次ビームは、視野における電子密度を増
加するために試料上に集束される。この集束を容易にす
るために、電子源のレンズの励磁は１次電子ビームの集
束がもはや対物レンズの焦点と一致せず、むしろ電子反
射器の前方に位置するように変更でき、それによって電
子反射器のより大きい面が１次ビームにより散開的に照
射される。

【００１１】電子顕微鏡の応用分野は、試料表面を走査
する手段を設けることにより広げることができる。この
ことを行うには幾つかの方法がある。好ましくは、１次
ビームの反射器への入射角を互いに直交する２つの方向
に変える静電偏向器が、電子源と反射器の間に設けられ
る。他の方法としては、１次ビームをそのままにし、試
料が走査されるように、調整機構によって反射器を回転
する方法がある。この態様では、反射面で反射されたビ
ームは互いに直交する２つの方向に変化する。

【００１２】反射器材料又は反射器チップの材料は、応
用目的に関連して選ぶことができる。１次ビームが電子
反射器の有効面から反射される際には２次電子は無関係
なので、電子の弾性散乱及び反射並びにスピン偏極だけ
が材料の選択に当って考慮されなければならない。電子
反射器チップは単結晶又は多結晶の材料から作製するこ
とができる。装置が、磁区を結像するために使用される
ものであれば、反射器材料は、重い原子で分散されたと
きの公知のスピン偏極効果を利用するために、原子番号
の大きい材料とすべきである。他の方法として、薄い強
磁性層も使用できる。スピン偏極Ｐのベクトルは、電子
反射器における入射及び出射ビームからの散乱面に垂直
である。

【００１３】生成される磁気コントラストは、電子反射
器における最初の散乱プロセスによるスピン偏極ビーム
の励起により、並びに磁気構造におけるスピン偏極ビー
ムの第２の散乱プロセスにより強度不均整を生じさせる
ことによっても引き起こされる。反射器によりスピン偏
極される磁性試料におけるビームの後方散乱のために、
散乱交換による強度不均整が生じる。この不均整は、ス
ピン偏極Ｐ及び磁化Ｍのベクトルの相対的な配向の関数
となる。従って、例えば磁気記憶媒体上の単一ビットを
マッピングしたり、表示することができる。

【００１４】金や白金のような貴金属の多結晶層は、再
構築されていないＰｔ（１１１）表面のような規定面を
有する単結晶程まさに好適である。しかしながら、単結
晶表面が作成されなければならないので製造並びに取り
扱いが難しい。それにも拘らず、単結晶表面は、明瞭
で、強いミラービームが反射器から出るので、著しく高
い反射強度を示すという基本的な利点を有する。対照的
に、多結晶材料は広い角度範囲に広く散乱し、この特徴
は、１次強度が相応して高いときに現われ易い。

【００１５】別の材料として、（代表的には）２，３０
０Ｋの温度まで短時間、酸素大気中で加熱することによ
りその表面を化学的に純粋にすることができるので、タ
ングステン及びモリブデンのような高融点材料から作ら
れた単結晶も非常に適している。原則として、前面が原
子的に滑らかな段々状の例えばタングステン又は白金で
作ることができる非常に微細な単結晶のチップも適切な
反射器である。このようなチップは電界放射銃及び電界
イオン顕微鏡で使用されており、また市販されている。

【００１６】スピン偏極効果を利用しない場合、原子番
号を限定することなく広範囲の材料を利用できる。製造
が非常に簡単なため、黒鉛から作られた小さな単結晶を
使用することが好ましい。高い配列の天然の結晶は、熱
分解によって作られる結晶より好ましい。他の材料とし
てはＬａＢ₆ 又はＣｅＢ₆ の単結晶があり、これらは、
加熱するだけで調製できるので非常に好ましく、好まし
くは平坦な前面段差状の棒状のものが非常に良好であ
る。このような棒は電子エミッタとして使用でき、市販
されている。

【００１７】さらに、電子反射器は、汚染から反射器表
面を清潔に保つために加熱装置を備えることもできる。
電子反射器は、ホルダーに取り付けることができ、そう
することで、電子反射器の交換がより容易となる。従っ
て、ある分析方法から他の方法に切り換える際、電子反
射器を簡単な方法で迅速に交換することも可能となる。
この特徴は、幾つかの電子反射器を取り付けた回転ホル
ダーとすることでさらに簡略化することもできる。この
場合、電子反射器を例えば上記回転ホルダーに星形に配
置し、電子反射器を変えるため上記ホルダーを回転する
ように構成することができる。このような回転形態は、
電子反射器を何らデザイン変更することなく容易に変換
することができるという点で有利である。

【００１８】

【実施例】以下、添付図面に示す実施例を説明しつつ、
本発明についてさらに詳しく説明するが、本発明が下記
の実施例に限定されないことはもとよりである。図１に
示す電子顕微鏡１はハウジング２を有し、上方から下方
に向って、対物レンズ４、該対物レンズ４の像面１１に
ある絞り５、第１投射レンズ６（伝送レンズ又は中間レ
ンズとも呼ばれている）、第２投射レンズ７、電子増倍
管８又はマルチチャンネルプレート、及び蛍光スクリー
ン９を備えている。レンズ４，６及び７は静電レンズ又
は磁界レンズ（電磁レンズ）である。対物レンズ４の上
方には調査される試料３がある。電子反射器１５は、対
物レンズ４の後側焦点面１０に設けられており、その有
効面１８（図２及び図３参照）は対物レンズ４の光軸２
２と角度β＝４５°を成している。

【００１９】電子反射器１５のチップ（先端）１６は、
対物レンズ４又はレンズ４，６及び７から成る電子光学
結像システム（系）全体のビーム経路中に突出してい
る。１次電子ビーム２０は、横方向に、かつ図示の実施
例では焦点面１０に設けられている電子源１４により放
出される。このことは、電子源１４の軸線２４及び電子
源１４から来る１次電子ビーム２０が焦点面１０にある
ということを意味している。１次電子ビーム２０は電子
反射器１５の有効面１８で反射され、試料３上に集束さ
れる。別の方法として、電子反射器１５と電子源１４を
共役面のうちの１つ（例えば、図１に示される面１２）
に設けることも可能である。しかしながら、レンズ誤差
は分解能に対し悪影響を及ぼすので、図１に示される配
置形態を選択することが好ましい。

【００２０】電子反射器１５及び電子源１４は、共に焦
点２３の回りに回動自在に設けることができる。そのよ
うにする場合、電子反射器１５と電子源１４の移動を互
いに連結し、それに応じて１次電子ビームが様々な角度
でも試料３に当たるようにすることが好ましい。電子源
１４と電子反射器１５との間には、静電レンズ又は磁界
レンズからなるレンズ系１３と偏向装置２５（二重偏向
器）が配設されている。これによって、１次電子ビーム
２０は、電子反射器１５の有効面１８上に正確な入射角
で集束される。そこで、対物レンズ４の焦点２３はレン
ズ系１３の焦点と一致する。さらに、電子反射器１５に
は加熱装置１９（例えば、コイルの形態のヒーター）が
設けられている。

【００２１】図２及び図３は電子反射器１５の拡大図で
ある。電子反射器１５は、任意の材料で作られた支持体
１７とチップ１６から成り、該チップ１６に対しては目
的としている動作モードに適した材料が選ばれる。図２
では、電子反射器１５の有効面１８がその軸線に対して
垂直に調整されており、図３に示される電子反射器１５
は、面取りされたチップ１６を有している。電子反射器
１５を簡単な方法で互換できるように、例えば全部で４
つの電子反射器１５ａ〜ｄを図４に示す回転ホルダー２
１上に星形に設けることができる。ホルダー２１を回転
することにより、所望の電子反射器１５ａ〜ｄを反射位
置に動かすことができる。

【００２２】図５〜７は、電子顕微鏡におけるビーム経
路の概略図である。図５はＬＥＥＤ又はＳＰＬＥＥＤモ
ードを示しており、図６はＬＥＥＭ又はＳＰＬＥＥＭモ
ード、また図７は２次電子もしくはオージェ電子の結像
を示している。両回折モード（ＬＥＥＤ／ＳＰＬＥＥ
Ｄ）において、また弾性電子を結像する際（ＬＥＥＭ／
ＳＰＬＥＥＭ）、電子ビームはレンズ１３から電子反射
器１５上に集束される。次いで、試料３の表面に平行に
照射することによって、対物レンズ４の後側焦点面１０
でＬＥＥＤ像が作られ、その像は、第１投射レンズ６
（伝送レンズ）と第２投射レンズ７によって蛍光スクリ
ーン９上に拡大される（図５）。回折された電子を用い
て、ＬＥＥＤモードから試料表面の直接結像に変えるた
めには、図６に示すように、第１投射レンズ６の励磁が
変えられる。そこで、投射レンズ７は、像面１１で作ら
れた中間像を電子増倍管８及び蛍光スクリーン９上に拡
大する。

【００２３】２次電子及びオージェ電子で写像するため
には（図７参照）、レンズ１３の励磁を変えることによ
り、１次電子ビームを電子反射器１５上に集束させず、
むしろ該電子反射器の前で集束させることで、電子反射
器のより大きい有効面を照射することができる。その
際、１次電子ビーム２０を対物レンズ４を用いて試料３
上に集束させ、それによって視野の電子密度を増加させ
る。２次電子及びオージェ電子はまた投射レンズ６及び
７によって電子増倍管８上に結像される。この場合、図
８に示されるように、エネルギーフィルタ２６が投射レ
ンズ６と７の間に設けられる。１回以上の回折反射によ
るバックグラウンド結像のために、ちょうど焦点２３上
にある電子反射器１５に加えて、回折反射を選択するた
めの可動コントラスト絞りを対物レンズ４の後側焦点面
１０上に又は対応する共役面上に設けることもできる。
典型的な動作条件下での回折パターンは最大２ｍｍの直
径を有するので、例えばピエゾモータによりコントラス
ト絞りの正確な位置決めを何ら問題無く行うことができ
る。

【００２４】図９は、他の実施例を示しており、走査作
業が可能となっている。電子源１４と電子反射器１５の
間に静電偏向器２７があり、該静電偏向器２７は、１次
電子ビームを角度δ及びγで示される互いに直交する２
つの方向に偏向する。角度δとγは、ほぼ±１にある。
偏向は１次電子ビーム２０′と２０″によって示されて
いる。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子顕微鏡の概略図である。

【図２】本発明による電子反射器の一実施例の拡大図で
ある。

【図３】本発明による電子反射器の他の実施例の拡大図
である。

【図４】数個の電子反射器を備えたホルダーの平面図で
ある。

【図５】一つの動作モードにおける電子顕微鏡内のビー
ム経路の概略図である。

【図６】他の動作モードにおける電子顕微鏡内のビーム
経路の概略図である。

【図７】さらに他の動作モードにおける電子顕微鏡内の
ビーム経路の概略図である。

【図８】別の動作モードにおける電子顕微鏡内のビーム
経路の概略図である。

【図９】他の実施例の電子顕微鏡の反射器−試料領域の
概略分解図である。

【符号の説明】

１電子顕微鏡、２ハウジング、３試料、４対物
レンズ、５絞り、６第１投射レンズ（伝送レンズ）、
７第２投射レンズ、８電子増倍管、９蛍光スクリー
ン、１０後側焦点面、１１結像面、１２共役面、
１３電子源のレンズ系、１４電子源、１５電子反
射器、１６チップ、１７支持体、１８有効面、１
９加熱装置、２０１次電子ビーム、２１回転ホル
ダー、２２光軸、２３焦点、２５偏向システム、
２７静電偏向器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 596176839 ＡｍＢｉｒｋｈｅｃｋｅｒＢｅｒｇ 20、Ｄ−65510 Ｈｕｎｓｔｅｔｔｅｎ− Ｇｏｅｒｓｒｏｔｈ、ＢｕｎｄｅｓｒｅｐｕｂｌｉｋＤｅｕｔｓｃｈｌａｎｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子源と、少なくとも１つの対物レンズ
と少なくとも１つの投射レンズを含む電子光学結像シス
テムと、蛍光スクリーン及び／又は電子増倍管を含む検
出器を備えた電子顕微鏡において、少なくとも１つの電
子反射器（１５）が、上記対物レンズ（４）の後側焦点
面（１０）又はその一つの共役面（１２）に設けられ、
かつ、上記電子源（１４）から生じる１次電子ビーム
（２０）が分析される試料（３）に集束するように調整
されていることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】電子反射器（１５）に、その先端チップ
（１６）が電子光学結像システム（４，６，７）のビー
ム経路内に位置するように取り付けられていることを特
徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項３】電子反射器（１５）の有効面（１８）
が、対物レンズ（４）の光軸（２２）に対して４５°の
角度βに調整されていることを特徴とする請求項１又は
２に記載の電子顕微鏡。
【請求項４】電子反射器（１５）が、対物レンズ
（４）の焦点（２３）を中心に回動自在に設けられてい
ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記
載の電子顕微鏡。
【請求項５】電子源（１４）が、対物レンズ（４）の
焦点（２３）を中心に回動自在に設けられていることを
特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電子
顕微鏡。
【請求項６】電子源（１４）が、対物レンズ（４）の
後側焦点面（１０）又はその一つの共役面（１２）に設
けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれ
か一項に記載の電子顕微鏡。
【請求項７】少なくとも１つのレンズ（１３）が、電
子源（１４）と電子反射器（１５）との間に設けられて
いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に
記載の電子顕微鏡。
【請求項８】前記レンズ（１３）の励磁レベルを変え
ることができることを特徴とする請求項７に記載の電子
顕微鏡。
【請求項９】反射器チップ（１６）が単結晶又は多結
晶材料から作られていることを特徴とする請求項１乃至
８のいずれか一項に記載の電子顕微鏡。
【請求項１０】反射器チップ（１６）が黒鉛、ＬａＢ
₆ 又はＣｅＢ₆ の単結晶から作られていることを特徴と
する請求項９に記載の電子顕微鏡。
【請求項１１】反射器チップ（１６）が電子スピン偏
極材料から作られていることを特徴とする請求項９に記
載の電子顕微鏡。
【請求項１２】反射器チップ（１６）が高い原子番号
を有する材料から作られていることを特徴とする請求項
１１に記載の電子顕微鏡。
【請求項１３】反射器チップ（１６）が金又は白金か
ら作られていることを特徴とする請求項１２に記載の電
子顕微鏡。
【請求項１４】反射器チップ（１６）がタングステン
又はモリブデンから作られていることを特徴とする請求
項１１に記載の電子顕微鏡。
【請求項１５】電子反射器（１５）が加熱装置（１
９）を備えていることを特徴とする請求項１乃至１４の
いずれか一項に記載の電子顕微鏡。
【請求項１６】複数の電子反射器（１５ａ〜ｄ）を取
り付けたホルダー（２１）を有することを特徴とする請
求項１乃至１５のいずれか一項に記載の電子顕微鏡。
【請求項１７】電子反射器（１５ａ〜ｄ）がホルダー
（２１）に星形に配置され、該ホルダー（２１）が電子
反射器（１５ａ〜ｄ）を変えるため回転できることを特
徴とする請求項１６に記載の電子顕微鏡。
【請求項１８】材料（３）の表面を走査するための手
段を有することを特徴とする請求項１乃至１７のいずれ
か一項に記載の電子顕微鏡。
【請求項１９】１次電子ビーム（２０）の電子反射器
への入射角を互いに直交する２つの方向に変える静電偏
向器（２７）が電子源（１４）と反射器（１５）の間に
設けられていることを特徴とする請求項１８に記載の電
子顕微鏡。
【請求項２０】電子反射器（１５）が、該反射器で反
射された電子ビームを互いに直交する２つの方向に変え
るための調整機構を有することを特徴とする請求項１８
に記載の電子顕微鏡。