JP5223208B2 - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
時間をかけてホログラフィー像を取得する。上記の方法は、S/Nのよい画像を取るということのみならず、カイラリティ構造や磁化の向きに関しての知見を得るためにも重要である。ベクトル解析を行う方法であるが、もっと簡便な方法がある。例えば2つのスピン回転器の強度を調節し、電子線入射方向に平行方向、垂直な2方向の合計3方向に関してデータをとれば、それからでも分子構造における螺旋構造の向きや、磁化方向等のベクトル解析が可能である。
200…スピン偏極電子線、201…スピン偏極ベクトル、202…磁力線、203…電気力線、204…スピン回転器、205…スピン偏極電子線、206…スピン偏極ベクトル、207…電気力線、208…磁力線、209…スピン回転器、210…スピン偏極電子線、211…スピン偏極ベクトル、
300…スピン偏極電子線、301…スピン偏極ベクトル、302…磁力線、303…電気力線、304…スピン回転器、305…スピン偏極電子線、306…スピン偏極ベクトル、307…磁力線、308…スピン回転器、309…スピン偏極電子線、310…スピン偏極ベクトル
500…観察領域内にカイラリティ構造が無い場合の干渉パターン、501…観察領域中央部にカイラリティ構造を持つ円形領域がある場合の干渉パターン、
600…垂直磁気記録膜の記録状態、601…垂直磁気記録膜の記録状態600を観察した場合の干渉パターン、
800…観察領域、801…基準となる干渉パターン、802…基準となる干渉パターン801より少し干渉パターンの位相のずれた領域、803…基準となる干渉パターン801よりかなり干渉パターンの位相のずれた領域、804…基準となる干渉パターン801の位相コントラスト、805…干渉パターン802の位相コントラスト、806…干渉パターン803の位相コントラスト、
900…観察領域、901…基準となる干渉パターン、902…基準となる干渉パターン901より少しパターンの強度が弱い領域、903…基準となる干渉パターン901よりかなりパターンの強度が弱い領域、904…基準となる干渉パターン901のパターン強度に対応したコントラスト、905…干渉パターン902のパターン強度に対応したコントラスト、906…干渉パターン903のパターン強度に対応したコントラスト。
Claims (7)
- スピン偏極電子源と、
スピン偏極電子源制御装置と、
前記スピン偏極電子源から発生した電子線のスピン偏極ベクトルを回転させるスピン回
転器と、
前記スピン偏極電子源から発生した電子線を試料に照射する光学系と、
当該試料を透過した電子を検出する検出器と、
当該試料と検出器との間に配置されたバイプリズムとを有することを特徴とする透過型
電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記スピン偏極電子源が光励起型の電子源であることを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記スピン回転器を2つ備え、そのうち少なくとも1つはウィーンフィルタ型のスピン
回転器であることを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記検出器の出力信号を受信して、前記試料の分子構造或は磁化方向を解析する画像処
理・解析システムを備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記検出器の出力信号を基に、前記スピン偏極電子線、あるいは光学系、あるいは前記
バイプリズムを調整する制御手段を備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記検出器としてスクリーンを備え、
当該スクリーン上に得られた輝度信号を基に、試料の位置や照射電子線に対する角度を
調整する手段を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記検出器の出力信号を解析する際に、フーリエ変換を用いることを特徴とする透過型
電子顕微鏡。
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