JP2012173008A - 光電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡において、前記対物レンズに、2以上の電極を備えさせ、2以上の前記電極を、前記光が2つの電極間を通るように設置する。このような構成をした光電子顕微鏡は、試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる。
【選択図】図1
Description
(1)光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡であって、前記対物レンズは、2以上の電極を備え、2以上の前記電極は、前記光が2つの電極間を通るように設置されている光電子顕微鏡;
(2)前記試料に最も近く設置される電極において、前記試料から放出された光電子が通過する該電極の穴に近い部分が、少なくとも、前記光が照射される前記試料の面に対して平行に設置されている上記(1)に記載の光電子顕微鏡;
(3)前記光電子の進行方向に対して前記対物レンズの後方のアース電位の位置に対物絞りを備える上記(1)又は(2)に記載の光電子顕微鏡;
(4)前記対物絞りが可動絞りである上記(3)に記載の光電子顕微鏡;
(5)前記可動絞りが、前記光電子の進行方向に対して垂直な面で孔の位置を調整することができる上記(4)に記載の光電子顕微鏡;
(6)前記対物絞りが、前記光電子の進行方向に対して前後に移動可能である上記(3)〜(5)のいずれかに記載の光電子顕微鏡;
(7)前記対物レンズは、4つの電極からなり、前記対物絞りの設置位置に該対物レンズの焦点面を合わせるための調節手段を有する上記(3)〜(6)のいずれかに記載の光電子顕微鏡;
(8)光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡であって、前記対物レンズは、3つのコニカル型の電極からなり、前記試料から最も遠くに設置される前記電極の凹部に対物絞りを備え、前記対物絞りの位置をピエゾ駆動の3軸調整ステージにより調節する光電子顕微鏡;
(9)前記対物絞りの設置位置における電子回折パターンを検出する検出器と、前記電子回折パターンを前記検出器に拡大投影する中間レンズ及び投影レンズと、を備える上記(1)〜(8)のいずれかに記載の光電子顕微鏡;
(10)光電子顕微鏡が、分子又は物質のミクロレベル又はナノレベルでの鏡像異性関係を画像として観察可能なキラリティー(Chirality)光電子顕微鏡である上記(1)〜(9)のいずれかに記載の光電子顕微鏡;
(11)光電子顕微鏡が、磁性体の磁区構造を観察することができる光電子顕微鏡である上記(1)〜(10)のいずれかに記載の光電子顕微鏡などである。
図1は、本発明の一実施形態として説明する光電子顕微鏡の概略構成を示す図である。光電子顕微鏡100は、光源からの光を試料Sに照射することにより試料Sから放出される光電子を加速電場によって加速し、光電子像をレンズによって拡大し、試料上で発生した光電子の強度分布を直接観察する電子顕微鏡である。前記光源からの光は、例えば、可視光、紫外線、X線、放射光などである。
1a,1b 第1電極
2a,2b 第2電極
3a,3b 第3電極
4a 第4電極
10,10a,10b 対物レンズ
20,20b 対物絞り(コントラスト絞り)
30 二段偏向・スティグメータ
40,50 中間レンズ
60 投影レンズ
70 検出器
100 光電子顕微鏡
Claims (11)
- 光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡であって、
前記対物レンズは、2以上の電極を備え、
2以上の前記電極は、前記光が2つの電極間を通るように設置されていることを特徴とする光電子顕微鏡。 - 前記試料に最も近く設置される電極において、前記試料から放出された光電子が通過する該電極の穴に近い部分が、少なくとも、前記光が照射される前記試料の面に対して平行に設置されていることを特徴とする請求項1に記載の光電子顕微鏡。
- 前記光電子の進行方向に対して前記対物レンズの後方のアース電位の位置に対物絞りを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電子顕微鏡。
- 前記対物絞りが可動絞りであることを特徴とする請求項3に記載の光電子顕微鏡。
- 前記可動絞りが、前記光電子の進行方向に対して垂直な面で孔の位置を調整することができることを特徴とする請求項4に記載の光電子顕微鏡。
- 前記対物絞りが、前記光電子の進行方向に対して前後に移動可能であることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の光電子顕微鏡。
- 前記対物レンズは、4つの電極からなり、前記対物絞りの設置位置に該対物レンズの焦点面を合わせるための調節手段を有することを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載の光電子顕微鏡。
- 光源からの光を試料に照射することにより前記試料から放出される光電子を対物レンズを介して結像し、拡大像を得る光電子顕微鏡であって、
前記対物レンズは、3つのコニカル型の電極からなり、
前記試料から最も遠くに設置される前記電極の凹部に対物絞りを備え、前記対物絞りの位置をピエゾ駆動の3軸調整ステージにより調節することを特徴とする光電子顕微鏡。 - 前記対物絞りの設置位置における電子回折パターンを検出する検出器と、
前記電子回折パターンを前記検出器に拡大投影する中間レンズ及び投影レンズと、
を備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の光電子顕微鏡。 - 光電子顕微鏡が、分子又は物質のミクロレベル又はナノレベルでの鏡像異性関係を画像として観察可能なキラリティー(Chirality)光電子顕微鏡である請求項1〜9のいずれかに記載の光電子顕微鏡。
- 光電子顕微鏡が、磁性体の磁区構造を観察することができる光電子顕微鏡である請求項1〜10のいずれかに記載の光電子顕微鏡。
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