JPH09169776A - ハロシランの炭化水素含有量低下方法 - Google Patents
ハロシランの炭化水素含有量低下方法Info
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- JPH09169776A JPH09169776A JP8280600A JP28060096A JPH09169776A JP H09169776 A JPH09169776 A JP H09169776A JP 8280600 A JP8280600 A JP 8280600A JP 28060096 A JP28060096 A JP 28060096A JP H09169776 A JPH09169776 A JP H09169776A
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Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
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- Silicon Compounds (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クロロシランから当該クロロシランの沸点と
類似した沸点を持つ炭化水素汚染物を除去するのに特に
有効な、ハロシランの精製方法を提供する。 【解決手段】 この方法は、ハロシランと炭化水素とを
含む混合物をシリカゲルと接触させて混合物の炭化水素
含有量を低下させることからなる。
類似した沸点を持つ炭化水素汚染物を除去するのに特に
有効な、ハロシランの精製方法を提供する。 【解決手段】 この方法は、ハロシランと炭化水素とを
含む混合物をシリカゲルと接触させて混合物の炭化水素
含有量を低下させることからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハロシラン類を精
製するための方法である。この方法は、ハロシランと炭
化水素を含む混合物をシリカゲルと接触させ、それによ
り当該混合物の炭化水素含有量を低下させることからな
る。本発明の方法は、クロロシラン類から当該クロロシ
ラン類の沸点と類似した沸点を有する炭化水素汚染物を
除去するのに特に有効である。
製するための方法である。この方法は、ハロシランと炭
化水素を含む混合物をシリカゲルと接触させ、それによ
り当該混合物の炭化水素含有量を低下させることからな
る。本発明の方法は、クロロシラン類から当該クロロシ
ラン類の沸点と類似した沸点を有する炭化水素汚染物を
除去するのに特に有効である。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ハロシ
ラン中の炭化水素汚染物は、当該ハロシランにおいてば
かりでなくそれらのハロシランから作られた生成物にお
いて望ましくない臭気や着色といったような品質の問題
を引き起こしかねない。その上、ハロシラン類を原料と
して使用し、未反応物質が回収されて処理工程へ戻され
る循環プロセスでは、炭化水素がプロセスに蓄積して処
理能力の低下と運転制御の減退を招きかねない。往々に
して、ハロシラン類からこれらの炭化水素汚染物を標準
的な方法、例えば蒸留といったものにより取り除くこと
は、沸点が類似しているため困難である。
ラン中の炭化水素汚染物は、当該ハロシランにおいてば
かりでなくそれらのハロシランから作られた生成物にお
いて望ましくない臭気や着色といったような品質の問題
を引き起こしかねない。その上、ハロシラン類を原料と
して使用し、未反応物質が回収されて処理工程へ戻され
る循環プロセスでは、炭化水素がプロセスに蓄積して処
理能力の低下と運転制御の減退を招きかねない。往々に
して、ハロシラン類からこれらの炭化水素汚染物を標準
的な方法、例えば蒸留といったものにより取り除くこと
は、沸点が類似しているため困難である。
【０００３】本発明の方法は、米国特許第２３８０９９
５号明細書に最初に記載されたように、適当な触媒の存
在下で有機ハロゲン化物をケイ素メタロイドと反応させ
て調製されたハロシランから炭化水素汚染物を除去する
のに特に有効である。
５号明細書に最初に記載されたように、適当な触媒の存
在下で有機ハロゲン化物をケイ素メタロイドと反応させ
て調製されたハロシランから炭化水素汚染物を除去する
のに特に有効である。
【０００４】石油製品の製造及び輸送中に生じた空気と
炭化水素との混合物から炭化水素を回収するために吸着
剤を使用することは、例えば、米国特許第４０５６３６
９号、第４０６６４２３号、第４４６２８１１号及び第
４３３８１０１号各明細書に記載されている。炭化水素
を除去するのに用いられる代表的な吸着剤は活性炭であ
る。
炭化水素との混合物から炭化水素を回収するために吸着
剤を使用することは、例えば、米国特許第４０５６３６
９号、第４０６６４２３号、第４４６２８１１号及び第
４３３８１０１号各明細書に記載されている。炭化水素
を除去するのに用いられる代表的な吸着剤は活性炭であ
る。
【０００５】米国特許第４４２１５３２号明細書にも、
産業廃ガスから揮発性の有機物質を除去するための方法
が記載されている。この方法は、廃ガスを活性炭、シリ
カゲル、アルミナあるいはモレキュラーシーブといった
吸着剤の床を通過させて揮発性有機物質を除去し、次い
で吸着剤床をスチーム又は高温ガスでストリッピングし
て再生することを必要とする。
産業廃ガスから揮発性の有機物質を除去するための方法
が記載されている。この方法は、廃ガスを活性炭、シリ
カゲル、アルミナあるいはモレキュラーシーブといった
吸着剤の床を通過させて揮発性有機物質を除去し、次い
で吸着剤床をスチーム又は高温ガスでストリッピングし
て再生することを必要とする。
【０００６】同様に、米国特許第５４４５７４２号明細
書の特許請求の範囲（クレーム）にはハロシラン類の精
製方法が記載されている。この方法は、ハロシランと炭
化水素とを含む混合物を当該炭化水素に対して選択的な
吸着剤と接触させることからなる。この後者の米国特許
明細書は、その吸着剤が（１）疎水性であり（２）親有
機性であること、そして（３）中性の表面を持ち且つ
（４）分極可能なペンタダント基を持たないことを特徴
としていることを教示している。この米国特許明細書で
教示されている有効な吸着剤の例は、活性炭、炭素モレ
キュラーシーブ、及び高シリカゼオライトである。
書の特許請求の範囲（クレーム）にはハロシラン類の精
製方法が記載されている。この方法は、ハロシランと炭
化水素とを含む混合物を当該炭化水素に対して選択的な
吸着剤と接触させることからなる。この後者の米国特許
明細書は、その吸着剤が（１）疎水性であり（２）親有
機性であること、そして（３）中性の表面を持ち且つ
（４）分極可能なペンタダント基を持たないことを特徴
としていることを教示している。この米国特許明細書で
教示されている有効な吸着剤の例は、活性炭、炭素モレ
キュラーシーブ、及び高シリカゼオライトである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の発明者らは、ハ
ロシランの液及びガス中に存在している炭化水素汚染物
はハロシランの液又はガスをシリカゲルと接触させて減
少させることができるということを見いだした。文献に
記載された先行技術では、シリカゲルがハロシランの液
及びガスから炭化水素汚染物を選択的に吸着できるとい
うことは認識されていない。
ロシランの液及びガス中に存在している炭化水素汚染物
はハロシランの液又はガスをシリカゲルと接触させて減
少させることができるということを見いだした。文献に
記載された先行技術では、シリカゲルがハロシランの液
及びガスから炭化水素汚染物を選択的に吸着できるとい
うことは認識されていない。
【０００８】本発明は、ハロシランの炭化水素含有量を
低下させるための方法である。この方法は、ハロシラン
と炭化水素を含む混合物をシリカゲルと接触させ、それ
により当該混合物の炭化水素含有量を低下させることを
含む。
低下させるための方法である。この方法は、ハロシラン
と炭化水素を含む混合物をシリカゲルと接触させ、それ
により当該混合物の炭化水素含有量を低下させることを
含む。
【０００９】それらから炭化水素を吸着することができ
る好ましいハロシラン類は、式ＲaＨb ＳｉＸ4-a-b で
表され、この式のａ＝０〜３、ｂ＝０〜３、ａ＋ｂ＝０
〜３であり、Ｘはハロゲンであり、Ｒは炭素原子数１〜
１２の一価の炭化水素基である。好ましいハロゲンＸは
塩素である。Ｒは、例えば、メチル基、エチル基、プロ
ピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ビニル基、アリル基及び
フェニル基である。
る好ましいハロシラン類は、式ＲaＨb ＳｉＸ4-a-b で
表され、この式のａ＝０〜３、ｂ＝０〜３、ａ＋ｂ＝０
〜３であり、Ｘはハロゲンであり、Ｒは炭素原子数１〜
１２の一価の炭化水素基である。好ましいハロゲンＸは
塩素である。Ｒは、例えば、メチル基、エチル基、プロ
ピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ビニル基、アリル基及び
フェニル基である。
【００１０】ハロシランは、例えば、トリメチルクロロ
シラン、ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシ
ラン、ジメチルクロロシラン、フェニルメチルジクロロ
シラン、フェニルトリクロロシラン、トリクロロシラ
ン、テトラクロロシラン、メチルビニルジクロロシラ
ン、ジメチルビニルクロロシラン、及びメチルジビニル
クロロシランである。本発明の方法は、ジメチルジクロ
ロシランとメチルトリクロロシランとを含むメチルクロ
ロシラン混合物から炭化水素汚染物を除去するのに特に
有効である。
シラン、ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシ
ラン、ジメチルクロロシラン、フェニルメチルジクロロ
シラン、フェニルトリクロロシラン、トリクロロシラ
ン、テトラクロロシラン、メチルビニルジクロロシラ
ン、ジメチルビニルクロロシラン、及びメチルジビニル
クロロシランである。本発明の方法は、ジメチルジクロ
ロシランとメチルトリクロロシランとを含むメチルクロ
ロシラン混合物から炭化水素汚染物を除去するのに特に
有効である。
【００１１】本発明の方法により除去される炭化水素
は、蒸留処理工程後のハロシラン中に典型的に微量見い
だされるものである。ハロシラン中に存在する炭化水素
の具体的な種類は、特定のハロシランとその分離にかか
る経歴とに依存する。本発明の目的上は、「炭化水素」
なる用語には飽和炭化水素、不飽和炭化水素及びハロゲ
ン化炭化水素が包含される。本発明の方法は、対象とす
るハロシランと類似の沸点を有し、蒸留によりたやすく
分離することができない炭化水素を除去するのに殊の外
有効である。本発明の方法は、クロロシランから炭素原
子数が１〜１２の炭化水素を除去するのに殊の外有効で
ある。
は、蒸留処理工程後のハロシラン中に典型的に微量見い
だされるものである。ハロシラン中に存在する炭化水素
の具体的な種類は、特定のハロシランとその分離にかか
る経歴とに依存する。本発明の目的上は、「炭化水素」
なる用語には飽和炭化水素、不飽和炭化水素及びハロゲ
ン化炭化水素が包含される。本発明の方法は、対象とす
るハロシランと類似の沸点を有し、蒸留によりたやすく
分離することができない炭化水素を除去するのに殊の外
有効である。本発明の方法は、クロロシランから炭素原
子数が１〜１２の炭化水素を除去するのに殊の外有効で
ある。
【００１２】ハロシランと炭化水素とを含む混合物をシ
リカゲルと接触させて、それによりその混合物の炭化水
素含有量を減少させる。本発明の方法で有効なシリカゲ
ルは、標準密度（ｒｅｇｕｌａｒ−ｄｅｎｓｉｔｙ）タ
イプ、中間密度（ｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅ−ｄｅｎｓ
ｉｔｙ）タイプ又は低密度（ｌｏｗ−ｄｅｎｓｉｔｙ）
タイプのものでよい。このようなシリカゲルは、例え
ば、Ｋｉｒｋ−Ｏｔｈｍｅｒ， Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄ
ｉａ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇ
ｙ，第２０巻，第３版，ｐ．７７３−７７４，Ｊｏｈｎ
Ｗｉｌｅｙ ＆Ｓｏｎｓ， ＮＹ， １９８２に記載
されている。シリカゲルの表面積は少なくとも２００ｍ
2 ／ｇであるのが好ましい。より好ましいのは、シリカ
ゲルが標準密度タイプのもので表面積が５００ｍ2 ／ｇ
より大きい場合である。好ましいシリカゲルは、０．１
〜１０重量％のアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を含有している
ものである。より一層好ましいのは、シリカゲルが１〜
５重量％のアルミナを含有している場合である。
リカゲルと接触させて、それによりその混合物の炭化水
素含有量を減少させる。本発明の方法で有効なシリカゲ
ルは、標準密度（ｒｅｇｕｌａｒ−ｄｅｎｓｉｔｙ）タ
イプ、中間密度（ｉｎｔｅｒｍｅｄｉａｔｅ−ｄｅｎｓ
ｉｔｙ）タイプ又は低密度（ｌｏｗ−ｄｅｎｓｉｔｙ）
タイプのものでよい。このようなシリカゲルは、例え
ば、Ｋｉｒｋ−Ｏｔｈｍｅｒ， Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄ
ｉａ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇ
ｙ，第２０巻，第３版，ｐ．７７３−７７４，Ｊｏｈｎ
Ｗｉｌｅｙ ＆Ｓｏｎｓ， ＮＹ， １９８２に記載
されている。シリカゲルの表面積は少なくとも２００ｍ
2 ／ｇであるのが好ましい。より好ましいのは、シリカ
ゲルが標準密度タイプのもので表面積が５００ｍ2 ／ｇ
より大きい場合である。好ましいシリカゲルは、０．１
〜１０重量％のアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を含有している
ものである。より一層好ましいのは、シリカゲルが１〜
５重量％のアルミナを含有している場合である。
【００１３】クロロシランは水と接触するとたやすく加
水分解するので、シリカゲルを使用前に少なくとも部分
的に乾燥させることが必要なことがある。シリカゲルの
乾燥は、減圧下で加熱するといったような、当該技術に
おいて知られている標準的方法により行うことができ
る。シリカゲルを乾燥させるのに有効な方法の例は、こ
の明細書の実施例に記載されている。
水分解するので、シリカゲルを使用前に少なくとも部分
的に乾燥させることが必要なことがある。シリカゲルの
乾燥は、減圧下で加熱するといったような、当該技術に
おいて知られている標準的方法により行うことができ
る。シリカゲルを乾燥させるのに有効な方法の例は、こ
の明細書の実施例に記載されている。
【００１４】ハロシランと炭化水素とを含む混合物は、
気体又は液体のハロシランを固体と接触させるための標
準的方法により、シリカゲルと接触させることができ
る。本発明の方法は、バッチプロセス、半連続プロセス
あるいは連続プロセスとして実施することができる。好
ましいのは、ハロシランと炭化水素とを含む混合物がシ
リカゲルと接触する際に液体である場合である。
気体又は液体のハロシランを固体と接触させるための標
準的方法により、シリカゲルと接触させることができ
る。本発明の方法は、バッチプロセス、半連続プロセス
あるいは連続プロセスとして実施することができる。好
ましいのは、ハロシランと炭化水素とを含む混合物がシ
リカゲルと接触する際に液体である場合である。
【００１５】本発明の方法の一つの態様において、シリ
カゲルが炭化水素で飽和されて漏出が起こったなら、シ
リカゲルを脱着してプロセスで再使用することができ
る。本発明の方法は、床の吸着と脱着を連続プロセスと
なるように段階づけたシリカゲルの複数の床を使用する
連続プロセスとして実施してもよい。シリカゲルの吸着
と脱着は標準的な方法により、例えば圧力スイング吸着
及び脱着法、温度スイング吸着及び脱着法、あるいは圧
力スイング吸着及び脱着法と温度スイング吸着及び脱着
法の組み合わせといったものにより、実施することがで
きる。シリカゲルの脱着の方法は本発明の方法にとって
重要ではなく、吸着剤を脱着することについて当該技術
において知られている方法のうちのいずれでもよい。
カゲルが炭化水素で飽和されて漏出が起こったなら、シ
リカゲルを脱着してプロセスで再使用することができ
る。本発明の方法は、床の吸着と脱着を連続プロセスと
なるように段階づけたシリカゲルの複数の床を使用する
連続プロセスとして実施してもよい。シリカゲルの吸着
と脱着は標準的な方法により、例えば圧力スイング吸着
及び脱着法、温度スイング吸着及び脱着法、あるいは圧
力スイング吸着及び脱着法と温度スイング吸着及び脱着
法の組み合わせといったものにより、実施することがで
きる。シリカゲルの脱着の方法は本発明の方法にとって
重要ではなく、吸着剤を脱着することについて当該技術
において知られている方法のうちのいずれでもよい。
【００１６】ハロシランと炭化水素とを含有している混
合物をシリカゲルと接触させる時間は、使用する特定の
シリカゲル、吸着しようとする炭化水素、及び炭化水素
の濃度に依存する。有効な接触時間の例はこの明細書に
記載された実施例に提示されている。一般に、炭化水素
のいずれもあるいは全てを混合物から吸着するのに十分
な任意の接触時間が有効であると考えられる。
合物をシリカゲルと接触させる時間は、使用する特定の
シリカゲル、吸着しようとする炭化水素、及び炭化水素
の濃度に依存する。有効な接触時間の例はこの明細書に
記載された実施例に提示されている。一般に、炭化水素
のいずれもあるいは全てを混合物から吸着するのに十分
な任意の接触時間が有効であると考えられる。
【００１７】
【実施例】メチルクロロシラン混合物から炭化水素汚染
物を吸着する能力について多数のシリカゲルを評価し
た。試験したシリカゲルは、米国ノースカロライナ州Ｃ
ｈａｒｌｏｔｔｅのＥｎｇｅｌｈａｒｄの製品であっ
た。各シリカゲルについての製造者の呼称を代表的な物
理的性質とともに表１に提示する。
物を吸着する能力について多数のシリカゲルを評価し
た。試験したシリカゲルは、米国ノースカロライナ州Ｃ
ｈａｒｌｏｔｔｅのＥｎｇｅｌｈａｒｄの製品であっ
た。各シリカゲルについての製造者の呼称を代表的な物
理的性質とともに表１に提示する。
【００１８】
【表１】
【００１９】１５〜２０ｇのシリカゲルを５０ｍｌのフ
ラスコに入れた。フラスコを３０ｍｍＨｇ（４．００ｋ
Ｐａ）の減圧下に約３５０℃で６〜８時間加熱して乾燥
させた。フラスコを冷却し、乾燥窒素でパージした。冷
却したフラスコへ、メチルトリクロロシランと、１２，
０００ｐｐｍのジメチルジクロロシランと、そして表２
に記載された炭化水素汚染物とを含むクロロシラン混合
物３０ｇをゴムの隔膜を通して注入した。表２に示され
た炭化水素汚染物の濃度は、メチルクロロシラン混合物
の試料を採取したメチルクロロシラン流についての平均
値である。
ラスコに入れた。フラスコを３０ｍｍＨｇ（４．００ｋ
Ｐａ）の減圧下に約３５０℃で６〜８時間加熱して乾燥
させた。フラスコを冷却し、乾燥窒素でパージした。冷
却したフラスコへ、メチルトリクロロシランと、１２，
０００ｐｐｍのジメチルジクロロシランと、そして表２
に記載された炭化水素汚染物とを含むクロロシラン混合
物３０ｇをゴムの隔膜を通して注入した。表２に示され
た炭化水素汚染物の濃度は、メチルクロロシラン混合物
の試料を採取したメチルクロロシラン流についての平均
値である。
【００２０】
【表２】
【００２１】フラスコを室温で１６時間振盪した。各フ
ラスコから液体試料を取り出し、水素炎イオン化検出器
を使用するガスクロマトグラフィー（ＧＣ−ＦＩＤ）に
より分析した。表２に記載のどの炭化水素も、表１に記
載のシリカゲルで吸着後の液体試料のいずれでも検出さ
れなかった。
ラスコから液体試料を取り出し、水素炎イオン化検出器
を使用するガスクロマトグラフィー（ＧＣ−ＦＩＤ）に
より分析した。表２に記載のどの炭化水素も、表１に記
載のシリカゲルで吸着後の液体試料のいずれでも検出さ
れなかった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 オリビエ ケー．ワイルデング アメリカ合衆国，ケンタッキー 40031, ラグランジュ，アロウシャー ドライブ 5320
Claims (2)
- 【請求項１】 ハロシランと炭化水素とを含む混合物を
シリカゲルと接触させて、それにより当該混合物の炭化
水素含有量を低下させることを含む、ハロシランの炭化
水素含有量を低下させるための方法。 - 【請求項２】 前記ハロシランが式Ｒa Ｈb ＳｉＣｌ
4-a-b で表されるクロロシラン（この式のａ＝０〜３、
ｂ＝０〜３、ａ＋ｂ＝０〜３であり、各Ｒは炭素原子数
１〜１２の一価の炭化水素基である）である、請求項１
記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/553733 | 1995-10-23 | ||
| US08/553,733 US6168652B1 (en) | 1995-10-23 | 1995-10-23 | Process for purifying halosilanes |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09169776A true JPH09169776A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=24210529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8280600A Pending JPH09169776A (ja) | 1995-10-23 | 1996-10-23 | ハロシランの炭化水素含有量低下方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6168652B1 (ja) |
| EP (1) | EP0770619B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09169776A (ja) |
| DE (1) | DE69620337T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US20030221555A1 (en) * | 2002-05-31 | 2003-12-04 | Golden Timothy Christopher | Purification of gas streams using composite adsorbent |
| US20070212291A1 (en) * | 2004-03-19 | 2007-09-13 | Entegris, Inc. | Method And Apparatus For Purifying Inorganic Halides And Oxyhalides Using Zeolites |
| DE102007050199A1 (de) * | 2007-10-20 | 2009-04-23 | Evonik Degussa Gmbh | Entfernung von Fremdmetallen aus anorganischen Silanen |
| EP3310744B1 (en) * | 2015-06-17 | 2020-10-07 | BASF Corporation | Method of separating c6+hydrocarbons from natural gas by adsorption and tsa-system |
| CN108250232B (zh) * | 2018-02-09 | 2021-03-16 | 浙江博瑞电子科技有限公司 | 一种双（二乙基）氨基硅烷的精制方法 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA652599A (en) | 1962-11-20 | Alex W. Francis, Jr. | Separation of moisture and hydrocarbons from natural gas | |
| US1382889A (en) * | 1921-01-24 | 1921-06-28 | Gasoline Recovery Corp | Method of dissipating heat in process for extracting vapors from gaseous mixtures |
| US1453215A (en) * | 1922-02-18 | 1923-04-24 | Gasoline Recovery Corp | Method of volatilizing, distilling, or separating absorbed vapors |
| US1742247A (en) * | 1926-05-28 | 1930-01-07 | Rech S Et D Expl S Petrolifere | Process for the separation or recovery of gases and vapors by solid adsorbents |
| GB296301A (en) | 1927-08-27 | 1929-03-28 | Ig Farbenindustrie Ag | Improved process for the separation of liquid mixtures |
| US2380995A (en) | 1941-09-26 | 1945-08-07 | Gen Electric | Preparation of organosilicon halides |
| US2395491A (en) * | 1943-03-31 | 1946-02-26 | Universal Oil Prod Co | Separation of polynuclear from mononuclear aromatics |
| US2782869A (en) * | 1951-07-02 | 1957-02-26 | Phillips Petroleum Co | Preparation of silica gels |
| GB719832A (en) | 1952-06-24 | 1954-12-08 | Sun Oil Co | Improvements in or relating to selective adsorption of non-polar hydrocarbons |
| US2780358A (en) * | 1953-12-29 | 1957-02-05 | Exxon Research Engineering Co | Method for increasing capacity of a porous adsorbent for liquid phase exchange adsorption |
| DE2461759B2 (de) | 1974-01-02 | 1976-10-14 | Union Carbide Corp., New York, N.Y. (V.StA.) | Verfahren zum reinigen von rohem methan |
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| US4066423A (en) | 1976-09-27 | 1978-01-03 | Ht Management Company | Adsorption-absorption vapor recovery system |
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| JPS5357240A (en) | 1976-11-05 | 1978-05-24 | Kubota Ltd | Process for recovering organic soluvents in appliction of organic coating |
| JPS5365828A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-12 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Separation of organochlorosilane |
| US4156689A (en) * | 1978-02-13 | 1979-05-29 | General Electric Company | Purification of hydrosilanes and siloxanes |
| SU806080A1 (ru) | 1979-04-24 | 1981-02-23 | Институт Коллоидной Химии И Химииводы Ah Украинской Ccp | Способ очистки природного газаОТ пАРОВ ВОды и бЕНзиНОВыХуглЕВОдОРОдОВ |
| US4344841A (en) * | 1979-10-01 | 1982-08-17 | Phillips Petroleum Company | Method of removing contaminant from feedstock streams |
| IT1062296B (it) | 1980-08-08 | 1984-06-26 | Massimo Sacchetti | Processo e apparecchiatura per eliminare e recuperare sostanze organiche volatili dai gas di scarico industriali |
| SU1011502A1 (ru) | 1981-07-06 | 1983-04-15 | Институт Горючих Ископаемых Министерства Угольной Промышленности Ссср | Способ очистки водорода |
| US4338101A (en) | 1981-08-03 | 1982-07-06 | John Zink Company | Process and apparatus for recovering hydrocarbons from inert gas-hydrocarbon vapor mixtures |
| US4462811A (en) | 1983-07-26 | 1984-07-31 | John Zink Company | Process and apparatus for removing hydrocarbons from air-hydrocarbon vapor mixtures |
| DE3843313A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Wacker Chemitronic | Verfahren zur entfernung von gasfoermigen kontaminierenden, insbesondere dotierstoffverbindungen aus halogensilanverbindungen enthaltenden traegergasen |
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| US5290342A (en) * | 1990-12-05 | 1994-03-01 | Ethyl Corporation | Silane compositions and process |
| US5393329A (en) * | 1991-09-06 | 1995-02-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Fuel-sorbing device using layered porous silica |
| US5294246A (en) * | 1992-12-21 | 1994-03-15 | The Dow Chemical Company | Emission suppression system for stored volatile organic compounds |
| US5445742A (en) | 1994-05-23 | 1995-08-29 | Dow Corning Corporation | Process for purifying halosilanes |
| US5536301A (en) * | 1995-03-27 | 1996-07-16 | Uop | Methods for analysis of volatile organic compounds in water and air |
-
1995
- 1995-10-23 US US08/553,733 patent/US6168652B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-10-02 EP EP96115754A patent/EP0770619B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-10-02 DE DE69620337T patent/DE69620337T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-10-23 JP JP8280600A patent/JPH09169776A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0770619B1 (en) | 2002-04-03 |
| EP0770619A3 (en) | 1998-01-14 |
| DE69620337T2 (de) | 2002-10-24 |
| EP0770619A2 (en) | 1997-05-02 |
| US6168652B1 (en) | 2001-01-02 |
| DE69620337D1 (de) | 2002-05-08 |
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