JPH09162669A - 弾性表面波素子の検査装置および検査方法 - Google Patents
弾性表面波素子の検査装置および検査方法Info
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- JPH09162669A JPH09162669A JP32494695A JP32494695A JPH09162669A JP H09162669 A JPH09162669 A JP H09162669A JP 32494695 A JP32494695 A JP 32494695A JP 32494695 A JP32494695 A JP 32494695A JP H09162669 A JPH09162669 A JP H09162669A
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- wave element
- temperature pattern
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 素子破壊を伴わず、簡単かつ確実に弾性表面
波素子の検査をする。 【解決手段】 電源１７から供給された電力によって、
弾性表面波素子５３は、圧電基板２が歪み、発熱する。
温度センサ１１は、弾性表面波素子５３表面の温度パタ
ーンを測定する。測定された温度パターンは、制御器１
２に与えられる。制御器１２は、この温度パターンをモ
ニタ１３に与える。モニタ１３は、与えられた温度パタ
ーンを表示する。
波素子の検査をする。 【解決手段】 電源１７から供給された電力によって、
弾性表面波素子５３は、圧電基板２が歪み、発熱する。
温度センサ１１は、弾性表面波素子５３表面の温度パタ
ーンを測定する。測定された温度パターンは、制御器１
２に与えられる。制御器１２は、この温度パターンをモ
ニタ１３に与える。モニタ１３は、与えられた温度パタ
ーンを表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は弾性表面波素子の
検査装置に関するものであり、特に、潜在的欠陥部分の
検査に関する。
検査装置に関するものであり、特に、潜在的欠陥部分の
検査に関する。
【０００２】
【従来技術】今日、弾性表面波を用いたＳＡＷ（surfac
e acoustic wave)デバイスが知られている。このＳＡＷ
デバイスに属するトランスバーサル型ＳＡＷフィルタに
ついて、図３を用いて説明する。
e acoustic wave)デバイスが知られている。このＳＡＷ
デバイスに属するトランスバーサル型ＳＡＷフィルタに
ついて、図３を用いて説明する。
【０００３】圧電基板２表面に入力側電極６および出力
側電極７が形成されている。入力側電極６は、入力側電
極６ａ、６ｂから構成されている。出力側電極７も出力
側電極７ａ、７ｂから構成されている。入力側電極６に
電気信号が与えられると、圧電基板２の表面が歪み、弾
性表面波３が発生する。この弾性表面波３は出力側電極
７に伝達される。すなわち、入力側電極６に与えられた
電気信号を、出力側電極７にて取り出すことができる。
側電極７が形成されている。入力側電極６は、入力側電
極６ａ、６ｂから構成されている。出力側電極７も出力
側電極７ａ、７ｂから構成されている。入力側電極６に
電気信号が与えられると、圧電基板２の表面が歪み、弾
性表面波３が発生する。この弾性表面波３は出力側電極
７に伝達される。すなわち、入力側電極６に与えられた
電気信号を、出力側電極７にて取り出すことができる。
【０００４】この圧電基板２を伝わる波（弾性表面波）
の振幅と位相は、入力側電極６および出力側電極７の交
差長およびピッチによって決定される。入力側電極６お
よび出力側電極７の形状をすだれ状とし、このすだれ状
電極（Inter Digital Transducer：ＩＤＴ）の１本１本
の交差長およびピッチを変更することによって、バンド
パスフィルタなどの複雑な周波数特性を持つフィルタを
作ることができる。弾性表面波素子は、小型化、軽量
化、薄膜化に向いており、移動体携帯端末等のキーデバ
イスとして更なる多機能化、高性能化が期待されてい
る。
の振幅と位相は、入力側電極６および出力側電極７の交
差長およびピッチによって決定される。入力側電極６お
よび出力側電極７の形状をすだれ状とし、このすだれ状
電極（Inter Digital Transducer：ＩＤＴ）の１本１本
の交差長およびピッチを変更することによって、バンド
パスフィルタなどの複雑な周波数特性を持つフィルタを
作ることができる。弾性表面波素子は、小型化、軽量
化、薄膜化に向いており、移動体携帯端末等のキーデバ
イスとして更なる多機能化、高性能化が期待されてい
る。
【０００５】上記弾性表面波素子は、電気的導通検査が
行なわれ、正常である場合には、パッケージされて出荷
される。
行なわれ、正常である場合には、パッケージされて出荷
される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記Ｓ
ＡＷフィルタにおいては、以下の様な問題があった。図
４Ａに示すように、電極の一部が他の部分よりも細く、
電気抵抗の大きな部分６ｃがある場合、当初は問題なく
動作するが、時間経過とともにストレスが発生し、当該
部分が破損する。これにより、図４Ｂに示す様に、破損
金属により、素子をショートさせてしまうおそれがあ
る。このような問題は、通常の半導体素子でも起こり得
るが、弾性表面波素子の場合は、基板表面に弾性表面波
が伝達されるので、よりこのような問題が起こりやすく
なる。
ＡＷフィルタにおいては、以下の様な問題があった。図
４Ａに示すように、電極の一部が他の部分よりも細く、
電気抵抗の大きな部分６ｃがある場合、当初は問題なく
動作するが、時間経過とともにストレスが発生し、当該
部分が破損する。これにより、図４Ｂに示す様に、破損
金属により、素子をショートさせてしまうおそれがあ
る。このような問題は、通常の半導体素子でも起こり得
るが、弾性表面波素子の場合は、基板表面に弾性表面波
が伝達されるので、よりこのような問題が起こりやすく
なる。
【０００７】このような問題を防止する為には、出荷前
に所定時間経過した場合でも、問題なく作動するか否か
を検査することも考えられる。しかし、かかる検査方法
では、不良素子であるとの判断には、素子破壊を伴う。
なぜなら、不良品であるとの判断は所定時間動作経過時
に、破壊されるか否かで決定されるからである。
に所定時間経過した場合でも、問題なく作動するか否か
を検査することも考えられる。しかし、かかる検査方法
では、不良素子であるとの判断には、素子破壊を伴う。
なぜなら、不良品であるとの判断は所定時間動作経過時
に、破壊されるか否かで決定されるからである。
【０００８】この発明は、上記のような問題点を解決
し、素子破壊を伴わず、簡単かつ確実に弾性表面波素子
の検査をすることができる弾性表面波素子検査装置およ
び検査方法を提供することを目的とする。
し、素子破壊を伴わず、簡単かつ確実に弾性表面波素子
の検査をすることができる弾性表面波素子検査装置およ
び検査方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の弾性表面波素
子の検査装置においては、弾性表面波素子の入力電極に
所定の電力を供給する電力供給手段、前記弾性表面波素
子表面の温度パターンを測定する温度パターン測定手
段、前記測定された温度パターンを表示する表示手段、
を備えたことを特徴とする。
子の検査装置においては、弾性表面波素子の入力電極に
所定の電力を供給する電力供給手段、前記弾性表面波素
子表面の温度パターンを測定する温度パターン測定手
段、前記測定された温度パターンを表示する表示手段、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】請求項２の弾性表面波素子の検査装置にお
いては、弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を供給
する電力供給手段、前記弾性表面波素子表面の温度パタ
ーンを測定する温度パターン測定手段、前記測定された
温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表面波素子の
良否を判断する判断手段、を備えたことを特徴とする。
いては、弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を供給
する電力供給手段、前記弾性表面波素子表面の温度パタ
ーンを測定する温度パターン測定手段、前記測定された
温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表面波素子の
良否を判断する判断手段、を備えたことを特徴とする。
【００１１】請求項３の弾性表面波素子の検査装置にお
いては、前記判断手段は、検査対象の弾性表面波素子が
不良であると判断した場合には、前記温度パターンのう
ち問題部分を特定する位置特定データを出力し、前記位
置特定データに基づいて、検査対象の弾性表面素子を補
修する補修手段を備えたことを特徴とする。
いては、前記判断手段は、検査対象の弾性表面波素子が
不良であると判断した場合には、前記温度パターンのう
ち問題部分を特定する位置特定データを出力し、前記位
置特定データに基づいて、検査対象の弾性表面素子を補
修する補修手段を備えたことを特徴とする。
【００１２】請求項４の弾性表面波素子の検査方法にお
いては、弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を供給
し、前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定し、
測定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表
面波素子の良否を判断することを特徴とする。
いては、弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を供給
し、前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定し、
測定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表
面波素子の良否を判断することを特徴とする。
【００１３】
【発明の効果】請求項１の弾性表面波素子の検査装置に
おいては、前記温度パターン測定手段は、前記弾性表面
波素子表面の温度パターンを測定し、前記表示手段は、
この温度パターンを表示する。したがって、操作者は、
表示された温度パターンに基づいて、潜在的不良部分を
判断することができる。これにより、素子破壊を伴うこ
となく、簡単かつ確実に弾性表面波素子の検査をするこ
とができる。
おいては、前記温度パターン測定手段は、前記弾性表面
波素子表面の温度パターンを測定し、前記表示手段は、
この温度パターンを表示する。したがって、操作者は、
表示された温度パターンに基づいて、潜在的不良部分を
判断することができる。これにより、素子破壊を伴うこ
となく、簡単かつ確実に弾性表面波素子の検査をするこ
とができる。
【００１４】請求項２の弾性表面波素子の検査装置にお
いては、前記温度パターン測定手段は、前記弾性表面波
素子表面の温度パターンを測定し、前記判断手段は、測
定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表面
波素子の良否を判断する。したがって、潜在的不良部分
が存在するか否かを判断することができる。これによ
り、素子破壊を伴うことなく、簡単かつ確実に弾性表面
波素子の検査をすることができる。
いては、前記温度パターン測定手段は、前記弾性表面波
素子表面の温度パターンを測定し、前記判断手段は、測
定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表面
波素子の良否を判断する。したがって、潜在的不良部分
が存在するか否かを判断することができる。これによ
り、素子破壊を伴うことなく、簡単かつ確実に弾性表面
波素子の検査をすることができる。
【００１５】請求項３の弾性表面波素子の検査装置にお
いては、前記判断手段は、検査対象の弾性表面波素子が
不良であると判断した場合には、前記温度パターンのう
ち問題部分を特定する位置特定データを出力する。前記
補修手段は、前記位置特定データに基づいて、検査対象
の弾性表面素子を補修する。これにより、潜在的不良部
分が存在する場合には、当該不良部分を取り除くことが
できる。
いては、前記判断手段は、検査対象の弾性表面波素子が
不良であると判断した場合には、前記温度パターンのう
ち問題部分を特定する位置特定データを出力する。前記
補修手段は、前記位置特定データに基づいて、検査対象
の弾性表面素子を補修する。これにより、潜在的不良部
分が存在する場合には、当該不良部分を取り除くことが
できる。
【００１６】請求項４の弾性表面波素子の検査方法にお
いては、弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を供給
し、前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定し、
測定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表
面波素子の良否を判断する。したがって、潜在的不良部
分が存在するか否かを判断することができる。これによ
り、素子破壊を伴うことなく、簡単かつ確実に弾性表面
波素子の検査をすることができる。
いては、弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を供給
し、前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定し、
測定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表
面波素子の良否を判断する。したがって、潜在的不良部
分が存在するか否かを判断することができる。これによ
り、素子破壊を伴うことなく、簡単かつ確実に弾性表面
波素子の検査をすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図面を用いて本発明にかかる弾性
表面波素子の検査装置について、説明する。図１は、本
発明にかかる弾性表面波素子の検査装置であるテスタ１
の機能ブロック図である。
表面波素子の検査装置について、説明する。図１は、本
発明にかかる弾性表面波素子の検査装置であるテスタ１
の機能ブロック図である。
【００１８】テスタ１は、温度パターン測定手段である
温度センサ１１、判断手段である制御器１２、表示手段
であるモニタ１３、補修手段であるトリミング装置１
４、および電力供給手段である電源１７を備えている。
温度センサ１１、判断手段である制御器１２、表示手段
であるモニタ１３、補修手段であるトリミング装置１
４、および電力供給手段である電源１７を備えている。
【００１９】電源１７は、弾性表面波素子５３の入力電
極６ａ，６ｂに所定の電力を供給する。これにより、弾
性表面波素子５３は動作し、出力電極７ａ，７ｂに所定
の電気信号が取り出される。また、弾性表面波素子５３
は、圧電基板２が歪むことにより、発熱する。
極６ａ，６ｂに所定の電力を供給する。これにより、弾
性表面波素子５３は動作し、出力電極７ａ，７ｂに所定
の電気信号が取り出される。また、弾性表面波素子５３
は、圧電基板２が歪むことにより、発熱する。
【００２０】温度センサ１１は、弾性表面波素子５３表
面の温度パターンを測定する。本実施形態においては、
赤外線温度センサによって温度センサ１１を構成した。
測定された温度パターンは、制御器１２に与えられる。
制御器１２は、この温度パターンをモニタ１３に与え
る。モニタ１３は、与えられた温度パターンを表示す
る。温度パターンとは、全体の温度分布をいう。ここで
は、図２Ａに示す様な温度パターンが得られたものとす
る。図２Ａに示す温度パターンにおいては、入力電極６
ａに問題発生部分６ｃが存在し、この問題発生部分６ｃ
の部分は、他の電極部分と比べて、温度が高いことを示
す。このような問題部分は、例えば、他の部分に比べ
て、幅が狭い等の理由によるものと考えられる。
面の温度パターンを測定する。本実施形態においては、
赤外線温度センサによって温度センサ１１を構成した。
測定された温度パターンは、制御器１２に与えられる。
制御器１２は、この温度パターンをモニタ１３に与え
る。モニタ１３は、与えられた温度パターンを表示す
る。温度パターンとは、全体の温度分布をいう。ここで
は、図２Ａに示す様な温度パターンが得られたものとす
る。図２Ａに示す温度パターンにおいては、入力電極６
ａに問題発生部分６ｃが存在し、この問題発生部分６ｃ
の部分は、他の電極部分と比べて、温度が高いことを示
す。このような問題部分は、例えば、他の部分に比べ
て、幅が狭い等の理由によるものと考えられる。
【００２１】また、制御器１２は、測定された温度パタ
ーンに基づいて、検査対象の弾性表面波素子の良否を判
断する。具体的には、全体の温度と比べて所定の温度差
がある部分が存在すれば、検査結果は不良であると判断
する。もし、この様な部分がなければ検査結果は良であ
ると判断する。
ーンに基づいて、検査対象の弾性表面波素子の良否を判
断する。具体的には、全体の温度と比べて所定の温度差
がある部分が存在すれば、検査結果は不良であると判断
する。もし、この様な部分がなければ検査結果は良であ
ると判断する。
【００２２】また、制御器１２は、検査対象の弾性表面
波素子が不良であると判断した場合には、前記温度パタ
ーンのうち問題部分を特定する位置特定データを出力す
る。この位置特定データは、温度差が予め設定されてい
るしきい値を越えている画素に対応するＸＹ座標を求め
ることにより決定される。
波素子が不良であると判断した場合には、前記温度パタ
ーンのうち問題部分を特定する位置特定データを出力す
る。この位置特定データは、温度差が予め設定されてい
るしきい値を越えている画素に対応するＸＹ座標を求め
ることにより決定される。
【００２３】トリミング装置１４は、与えられた位置特
定データに基づいて、前記温度パターンのうち問題部分
を取り除く。これにより、検査対象の弾性表面波素子５
３が補修される。
定データに基づいて、前記温度パターンのうち問題部分
を取り除く。これにより、検査対象の弾性表面波素子５
３が補修される。
【００２４】なお、本実施形態においては、図２Ｂに示
す様に、レーザで問題部分を除去することにより、前記
補修を行なうようにした。しかし、これに限定されず、
問題部分を補修できる方法であれば、どの様なものであ
ってもよく、例えば、イオンビーム蒸着等で問題部分の
幅を太くするようにしてもよい。
す様に、レーザで問題部分を除去することにより、前記
補修を行なうようにした。しかし、これに限定されず、
問題部分を補修できる方法であれば、どの様なものであ
ってもよく、例えば、イオンビーム蒸着等で問題部分の
幅を太くするようにしてもよい。
【００２５】このようにして、素子破壊を伴うことな
く、潜在的欠陥部分を発見して補修が可能となるので、
弾性表面波素子５３の品質を向上させることができる。
く、潜在的欠陥部分を発見して補修が可能となるので、
弾性表面波素子５３の品質を向上させることができる。
【００２６】なお、本実施形態においては、製品の品質
チェックをする場合について説明したが、弾性表面波素
子の電極の設計にも応用することができる。すなわち、
ある電極パターンを採用した場合、または新しい電極材
料を採用した場合に、問題部分が発生するか否かをチェ
ックすることができる。
チェックをする場合について説明したが、弾性表面波素
子の電極の設計にも応用することができる。すなわち、
ある電極パターンを採用した場合、または新しい電極材
料を採用した場合に、問題部分が発生するか否かをチェ
ックすることができる。
【００２７】また、本実施形態においては、不良部分を
検出するとトリミングするようにしているが、モニタに
表示するだけでもよい。
検出するとトリミングするようにしているが、モニタに
表示するだけでもよい。
【００２８】なお、本実施形態においては、トランスバ
ーサル型ＳＡＷフィルタについて、説明したが、共振子
型ＳＡＷフィルタ等の他の弾性表面波素子にも適用する
ことができる。
ーサル型ＳＡＷフィルタについて、説明したが、共振子
型ＳＡＷフィルタ等の他の弾性表面波素子にも適用する
ことができる。
【００２９】また、本実施形態においては、弾性表面波
素子を１つ１つの素子に分断した後に検査を行なう場合
について説明したが、分断前の状態で検査するようにし
てもよい。
素子を１つ１つの素子に分断した後に検査を行なう場合
について説明したが、分断前の状態で検査するようにし
てもよい。
【図１】この発明の一実施形態であるテスタ１の機能ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】モニタ１３の表示例である。
【図３】従来の弾性表面波素子５３の斜視図である。
【図４】弾性表面波素子５３における不良状態を示す図
である。
である。
６ａ・・・・・入力側電極 ６ｂ・・・・・入力側電極 ７ａ・・・・・出力側電極 ７ｂ・・・・・出力側電極 １１・・・・・温度センサ １２・・・・・制御器 １３・・・・・モニタ １４・・・・・トリミング装置 １７・・・・・電源 ５３・・・・・弾性表面波素子
Claims (4)
- 【請求項１】弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を
供給する電力供給手段、 前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定する温度
パターン測定手段、 前記測定された温度パターンを表示する表示手段、 を備えたことを特徴とする弾性表面波素子の検査装置。 - 【請求項２】弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を
供給する電力供給手段、 前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定する温度
パターン測定手段、 前記測定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾
性表面波素子の良否を判断する判断手段、 を備えたことを特徴とする弾性表面波素子の検査装置。 - 【請求項３】請求項２の弾性表面波素子の検査装置にお
いて、 前記判断手段は、検査対象の弾性表面波素子が不良であ
ると判断した場合には、前記温度パターンのうち問題部
分を特定する位置特定データを出力し、 前記位置特定データに基づいて、検査対象の弾性表面素
子を補修する補修手段を備えたこと、 を特徴とする弾性表面波素子の検査装置。 - 【請求項４】弾性表面波素子の入力電極に所定の電力を
供給し、 前記弾性表面波素子表面の温度パターンを測定し、 測定された温度パターンに基づいて、検査対象の弾性表
面波素子の良否を判断すること、 を特徴とする弾性表面波素子の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32494695A JPH09162669A (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 弾性表面波素子の検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32494695A JPH09162669A (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 弾性表面波素子の検査装置および検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162669A true JPH09162669A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18171398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32494695A Pending JPH09162669A (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 弾性表面波素子の検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162669A (ja) |
-
1995
- 1995-12-14 JP JP32494695A patent/JPH09162669A/ja active Pending
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