JPH09161475A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH09161475A
JPH09161475A JP7338144A JP33814495A JPH09161475A JP H09161475 A JPH09161475 A JP H09161475A JP 7338144 A JP7338144 A JP 7338144A JP 33814495 A JP33814495 A JP 33814495A JP H09161475 A JPH09161475 A JP H09161475A
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JP
Japan
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command
signal
commands
macro
internal
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP7338144A
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English (en)
Inventor
Soichi Hatano
壮一 波多野
Takao Kamei
隆夫 亀井
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Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複雑なコマンド列の入力を必要とするシンク
ロナスDRAM等のアクセス制御を簡素化し、その利便
性の向上と低コスト化を図る。 【解決手段】 例えばロウアドレスストローブ信号RA
SB,カラムアドレスストローブ信号CASB,ライト
イネーブル信号WEBならびにアドレス信号A10等の
組み合わせで指定される複数のコマンドが所定の組み合
わせで時系列的に連続して入力されることにより選択的
に実行される各種の動作モードを有するシンクロナスD
RAM等において、上記動作モードのそれぞれに対応す
るコマンド列を単一のマクロコマンドとして記憶するた
めのコマンドレジスタCRA,CRR,CRCならびに
CRWを設けるとともに、これらのマクロコマンドが入
力されることにより対応するコマンド列を順次読み出し
対応する動作モードを選択的に実行する機能を持たせ
る。これにより、単一のマクロコマンドを入力するだけ
で、複雑なコマンド列の入力を必要とする各種動作モー
ドを容易にかつ選択的に実行しうるシンクロナスDRA
M等を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置に
関し、例えば、クロック信号に従って同期動作するシン
クロナスDRAM(ダイナミック型ランダムアクセスメ
モリ)ならびにその利便性の向上に利用して特に有効な
技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】所定のクロック信号に従って同期動作
し、例えば画像システムのフレームメモリ等に用いられ
るシンクロナスDRAMがある。シンクロナスDRAM
は、チップ選択信号CSB(ここで、それが有効とされ
るとき選択的にロウレベルとされるいわゆる反転信号等
については、その名称の末尾にBを付して表す。以下同
様),ロウアドレスストローブ信号RASB,カラムア
ドレスストローブ信号CASBならびにライトイネーブ
ル信号WEB等の起動制御信号が所定の組み合わせで入
力されることにより選択的に指定される複数のコマンド
を有し、これらのコマンドが所定の組み合わせでかつ時
系列的に連続して入力されることにより選択的に指定・
実行される各種の動作モードを有する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者等がこの発
明に先立って開発したシンクロナスDRAMにおいて、
記憶データの書き込みモードは、図8に例示されるよう
に、例えば9個のコマンドつまりACTV,NOP,W
RIT,NOP,NOP,NOP,PRE,NOPなら
びにNOPコマンドが時系列的に連続して入力されるこ
とにより選択的に実行され、その読み出しモードは、図
9に例示されるように、例えば9個のコマンドつまりA
CTV,NOP,READ,NOP,NOP,NOP,
PRE,NOPならびにNOPコマンドが時系列的に連
続して入力されることにより選択的に実行される。言い
換えるならば、シンクロナスDRAMの利用者は、実行
したい動作モードに合わせて一連のコマンドを所定の組
み合わせでしかも比較的高速なクロック信号CLKに同
期して入力することを余儀なくされる訳であって、この
ことがシンクロナスDRAMの利便性を低下させる一因
となっている。この結果、ユーザにあっては、シンクロ
ナスDRAMのアクセス制御が複雑となって積極的な採
用の妨げとなり、メーカにあっては、シンクロナスDR
AMのテストプログラムが複雑となって試験工数が増大
し、減価低減の妨げとなる。
【0004】この発明の目的は、複雑なコマンド列の入
力を必要とするシンクロナスDRAM等のアクセス制御
を簡素化することにある。この発明の他の目的は、シン
クロナスDRAM等の利便性を高め、その低コスト化を
図ることにある。
【0005】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0006】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、複数のコマンドが所定の組み
合わせで時系列的に連続して入力されることにより選択
的に実行される各種の動作モードを有するシンクロナス
DRAM等において、上記動作モードのそれぞれに対応
するコマンド列を単一のマクロコマンドとして記憶する
ためのコマンドレジスタを設けるとともに、これらのマ
クロコマンドが入力されることにより対応するコマンド
列を順次読み出し対応する動作モードを選択的に実行す
る機能を持たせる。
【0007】上記した手段によれば、単一のマクロコマ
ンドを入力するだけで、複雑なコマンド列の入力を必要
とする各種動作モードを容易にかつ選択的に実行しうる
シンクロナスDRAM等を実現することができる。この
結果、シンクロナスDRAM等のアクセス制御を簡素化
し、そのユーザからみた利便性を高めることができると
ともに、シンクロナスDRAM等のテストプログラムを
簡素化し、メーカの試験工数を削減して、その低コスト
化を図ることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】図1には、この発明が適用された
シンクロナスDRAM(半導体記憶装置)の一実施例の
ブロック構成図が示されている。同図をもとに、まずこ
の実施例のシンクロナスDRAMの構成及び動作の概要
について説明する。なお、この実施例のシンクロナスD
RAMは、特に制限されないが、画像システムのフレー
ムメモリとして用いられる。また、図1の各ブロックを
構成する回路素子は、公知のMOSFET(金属酸化物
半導体型電界効果トランジスタ)集積回路の製造技術に
より、単結晶シリコンのような1個の半導体基板上に形
成される。
【0009】図1において、この実施例のシンクロナス
DRAMは一対のバンクBNK0及びBNK1を備え、
これらのバンクのそれぞれは、そのレイアウト面積の大
半を占めて配置されるメモリアレイMARYと、直接周
辺回路となるロウアドレスデコーダRD,センスアンプ
SA及びカラムアドレスデコーダCDと、ライトアンプ
及びリードアンプをそれぞれ含むメインアンプMAとを
備える。
【0010】バンクBNK0及びBNK1を構成するメ
モリアレイMARYは、特に制限されないが、図の垂直
方向に平行して配置される実質2,048本のワード線
と、水平方向に平行して配置される実質4,096組の
相補ビット線とをそれぞれ含む。これらのワード線及び
相補ビット線の交点には、情報蓄積キャパシタ及びアド
レス選択MOSFETからなる実質2,048×4,0
96個つまり8,388,608個のダイナミック型メ
モリセルが格子状に配置される。これにより、バンクB
NK0及びBNK1のそれぞれは、いわゆる8メガビッ
トの記憶容量を有するものとされ、シンクロナスDRA
Mは、その2倍つまりいわゆる16メガビットの記憶容
量を有するものとされる。
【0011】バンクBNK0及びBNK1のメモリアレ
イMARYを構成するワード線は、対応するロウアドレ
スデコーダRDに結合され、それぞれ択一的に選択状態
とされる。これらのロウアドレスデコーダRDには、ロ
ウアドレスバッファRBから最上位ビットを除く11ビ
ットの内部アドレス信号X0〜X10が共通に供給され
るとともに、タイミング発生回路TGから内部制御信号
RGが共通に供給される。また、ロウアドレスバッファ
RBには、アドレス入力端子A0〜A11を介して12
ビットのXアドレス信号AX0〜AX11が時分割的に
供給されるとともに、タイミング発生回路TGから内部
制御信号RLが供給される。
【0012】ロウアドレスバッファRBは、アドレス入
力端子A0〜A11を介して入力されるXアドレス信号
AX0〜AX11を内部制御信号RLに従って取り込
み、保持するとともに、これらのXアドレス信号をもと
に内部アドレス信号X0〜X11を形成する。このう
ち、最上位ビットの内部アドレス信号X11は、バンク
選択回路BSに供給され、その他の内部アドレス信号X
0〜X10は、バンクBNK0及びBNK1のロウアド
レスデコーダRDに共通に供給される。
【0013】バンク選択回路BSは、ロウアドレスバッ
ファRBから供給される内部アドレス信号X11をデコ
ードして、対応するバンク選択信号BS0又はBS1を
選択的にハイレベルとする。これらのバンク選択信号B
S0及びBS1は、バンクBNK0及びBNK1にそれ
ぞれ供給され、その直接周辺回路たるロウアドレスデコ
ーダRD,カラムアドレスデコーダCD,センスアンプ
SAならびにメインアンプMAを選択的に動作状態とす
るための選択制御信号となる。
【0014】バンクBNK0及びBNK1のロウアドレ
スデコーダRDは、内部制御信号RGがハイレベルとさ
れかつ対応するバンク選択信号BS0又はBS1がハイ
レベルとされることでそれぞれ選択的に動作状態とさ
れ、ロウアドレスバッファから供給される内部アドレス
信号X0〜X10をデコードして、対応するメモリアレ
イMARYの指定されたワード線を択一的に選択レベル
とする。
【0015】次に、バンクBNK0及びBNK1のメモ
リアレイMARYを構成する相補ビット線は、対応する
センスアンプSAに結合される。これらのセンスアンプ
SAには、対応するカラムアドレスデコーダCDから実
質512ビットのビット線選択信号がそれぞれ供給され
るとともに、タイミング発生回路TGから内部制御信号
PAが共通に供給される。また、各カラムアドレスデコ
ーダCDには、カラムアドレスバッファCBから9ビッ
トの内部アドレス信号Y0〜Y8が共通に供給されると
ともに、タイミング発生回路TGから内部制御信号CG
が共通に供給される。さらに、カラムアドレスバッファ
CBには、アドレス入力端子A0〜A8を介してYアド
レス信号AY0〜AY8が時分割的に供給され、タイミ
ング発生回路TGから内部制御信号CLが供給される。
【0016】カラムアドレスバッファCBは、アドレス
入力端子A0〜A8を介して供給されるYアドレス信号
AY0〜AY8を内部制御信号CLに従って取り込み、
保持するとともに、これらのYアドレス信号をもとに内
部アドレス信号Y0〜Y8を形成して、バンクBNK0
及びBNK1のカラムアドレスデコーダCDに供給す
る。また、各カラムアドレスデコーダCDは、内部制御
信号CGがハイレベルとされかつ対応するバンク選択信
号BS0又はBS1がハイレベルとされることで選択的
に動作状態とされ、内部アドレス信号Y0〜Y8をデコ
ードして、対応する上記ビット線選択信号をそれぞれ択
一的にハイレベルとする。
【0017】一方、各バンクのセンスアンプSAは、対
応するメモリアレイMARYの各相補ビット線に対応し
て設けられる実質4,096個の単位回路をそれぞれ含
み、これらの単位回路のそれぞれは、一対のCMOSイ
ンバータが交差結合されてなる単位増幅回路と、Nチャ
ンネル型の一対のスイッチMOSFETとを含む。この
うち、各単位増幅回路は、内部制御信号PAがハイレベ
ルとされかつ対応するバンク選択信号BS0又はBS1
がハイレベルとされることで選択的にかつ一斉に動作状
態とされ、対応するメモリアレイMARYの選択された
ワード線に結合される4,096個のメモリセルから対
応する相補ビット線を介して出力される微小読み出し信
号をそれぞれ増幅して、ハイレベル又はロウレベルの2
値読み出し信号とする。また、各単位回路のスイッチM
OSFETは、対応するビット線選択信号のハイレベル
を受けて8対ずつ選択的にオン状態となり、メモリアレ
イMARYの対応する8組の相補ビット線と相補共通デ
ータ線CD0*〜CD7*(ここで、非反転及び反転信
号からなる相補信号線については、その名称の末尾に*
を付して表す。以下同様)との間を選択的に接続状態と
する。
【0018】相補共通データ線CD0*〜CD7*は、
対応するメインアンプMAに結合される。これらのメイ
ンアンプMAは、相補共通データ線CD0*〜CD7*
に対応して設けられる8個のライトアンプ及びリードア
ンプを含む。このうち、各ライトアンプの入力端子は、
対応する内部データバスDBUS0〜DBUS7に共通
結合され、その出力端子は、対応する相補共通データ線
CD0*〜CD7*に結合される。また、各リードアン
プの入力端子は、対応する相補共通データ線CD0*〜
CD7*に結合され、その出力端子は、対応する内部デ
ータバスDBUS0〜DBUS7に共通結合される。各
バンクのメインアンプMAを構成するライトアンプに
は、タイミング発生回路TGから内部制御信号WPが共
通に供給され、リードアンプには内部制御信号RPが共
通に供給される。
【0019】内部データバスDBUS0〜DBUS7
は、その他方においてデータ入出力回路IOに結合され
る。ここで、データ入出力回路IOは、内部データバス
DBUS0〜DBUS7に対応して設けられるそれぞれ
8個のデータ入力バッファ及びデータ出力バッファを備
える。このうち、各データ入力バッファの入力端子は、
対応するデータ入出力端子D0〜D7に共通結合され、
その出力端子は、対応する内部データバスDBUS0〜
DBUS7に結合される。また、各データ出力バッファ
の入力端子は、対応する内部データバスDBUS0〜D
BUS7に結合され、その出力端子は、対応するデータ
入出力端子D0〜D7に共通結合される。データ入出力
回路IOの各データ出力バッファには、タイミング発生
回路TGから出力制御信号DOCが共通に供給される。
【0020】データ入出力回路IOの各データ入力バッ
ファは、シンクロナスDRAMが書き込みモードとされ
るとき、対応するデータ入出力端子D0〜D7を介して
入力される書き込みデータを取り込み、内部データバス
DBUS0〜DBUS7を介してメインアンプMAの対
応するライトアンプに伝達する。このとき、メインアン
プMAの各ライトアンプは、内部制御信号WPがハイレ
ベルとされかつ対応するバンク選択信号BS0又はBS
1がハイレベルとされることで選択的に動作状態とさ
れ、データ入出力回路IOの対応するデータ入力バッフ
ァから内部データバスDBUS0〜DBUS7を介して
伝達される書き込みデータを所定の書き込み信号とした
後、相補共通データ線CD0*〜CD7*を介して対応
するメモリアレイMARYの選択された8個のメモリセ
ルに書き込む。
【0021】一方、バンクBNK0及びBNK1のメイ
ンアンプMAを構成する8個のリードアンプは、内部制
御信号RPがハイレベルとされかつ対応するバンク選択
信号BS0又はBS1がハイレベルとされることで選択
的にかつ一斉に動作状態とされ、対応するメモリアレイ
MARYの選択された8個のメモリセルから相補共通デ
ータ線CD0*〜CD7*を介して出力される読み出し
信号を増幅して、内部データバスDBUS0〜DBUS
7を介してデータ入出力回路IOの対応するデータ出力
バッファに供給する。このとき、データ入出力回路IO
の各データ出力バッファは、出力制御信号DOCがハイ
レベルとされることで選択的に動作状態とされ、メイン
アンプMAの対応するリードアンプから内部データバス
DBUS0〜DBUS7を介して供給される読み出しデ
ータを対応するデータ入出力端子D0〜D7からシンク
ロナスDRAMの外部に送出する。
【0022】次に、マクロコマンド制御回路MCには、
外部端子CLKを介してクロック信号CLKが供給さ
れ、外部端子CKE,MCE,CSB,RASB,CA
SBならびにWEBを介して起動制御信号となるクロッ
クイネーブル信号CKE,マクロコマンドイネーブル信
号MCE,チップ選択信号CSB,ロウアドレスストロ
ーブ信号RASB,カラムアドレスストローブ信号CA
SBならびにライトイネーブル信号WEBが供給される
るとともに、下位3ビットのアドレス信号A0〜A2と
上位1ビットのアドレス信号A10が供給される。
【0023】マクロコマンド制御回路MCは、システム
クロック信号をもとに内部クロック信号clkを生成
し、シンクロナスDRAMの各部に供給するとともに、
クロックイネーブル信号CKE,マクロコマンドイネー
ブル信号MCE,チップ選択信号CSB,ロウアドレス
ストローブ信号RASB,カラムアドレスストローブ信
号CASB,ライトイネーブル信号WEBならびにアド
レス信号A10の論理レベルの組み合わせをもとに、シ
ンクロナスDRAMの外部コマンドを識別し、その内部
に設けられたコマンドレジスタに対する書き込み又は読
み出し動作を選択的に実行する。そして、入力された外
部コマンドがマクロコマンドである場合には、コマンド
レジスタの出力信号を内部起動制御信号つまり内部ロウ
アドレスストローブ信号rasb,内部カラムアドレス
ストローブ信号casb,内部ライトイネーブル信号w
ebならびに内部アドレス信号a10としてタイミング
発生回路TGに供給し、通常の動作コマンドである場合
には、ロウアドレスストローブ信号RASB,カラムア
ドレスストローブ信号CASB,ライトイネーブル信号
WEBならびにアドレス信号A10をそのまま内部ロウ
アドレスストローブ信号rasb,内部カラムアドレス
ストローブ信号casb,内部ライトイネーブル信号w
ebならびに内部出力データa10として供給する。な
お、マクロコマンド制御回路MCの具体的構成について
は、後で詳細に説明する。
【0024】タイミング発生回路TGは、マクロコマン
ド制御回路MCから内部起動制御信号として供給される
内部ロウアドレスストローブ信号rasb,内部カラム
アドレスストローブ信号casb,内部ライトイネーブ
ル信号webならびに内部アドレス信号a10をもと
に、上記各種の内部制御信号及び出力制御信号を選択的
に形成し、シンクロナスDRAMの各部に供給する。
【0025】この実施例において、シンクロナスDRA
Mは、さらに、その入力端子がアドレス入力端子A0〜
A11に共通結合されたモードレジスタMRを備える。
このモードレジスタMRには、タイミング発生回路TG
から内部制御信号MLが供給される。モードレジスタM
Rは、後述するモードレジスタセット用のMRSコマン
ドが実行されるとき、アドレス入力端子A0〜A11を
介して供給される所定のモード制御信号を取り込み、保
持する。これらのモード制御信号は、シンクロナスDR
AMの書き込みモードの指定やバーストモードにおける
バースト長ならびにCASレイテンシー等を設定するた
めに供される。
【0026】図2には、図1のシンクロナスDRAMに
含まれるマクロコマンド制御回路MCの一実施例のブロ
ック構成図が示され、図3には、図1のシンクロナスD
RAMが備える動作コマンドの一実施例の選択条件図が
示されている。これらの図をもとに、この実施例のシン
クロナスDRAMのマクロコマンド制御回路MCの具体
的構成及び動作ならびに動作コマンドの詳細について説
明する。
【0027】図2において、マクロコマンド制御回路M
Cは、特に制限されないが、クロック信号CLK,クロ
ックイネーブル信号CKE,マクロコマンドイネーブル
信号MCE,チップ選択信号CSB,ロウアドレススト
ローブ信号RASB,カラムアドレスストローブ信号C
ASBならびにライトイネーブル信号WEBを受けるマ
クロコマンドコントローラMCMCと、例えばそれぞれ
が9ビットのシフトレジスタからなるコマンドレジスタ
CRA,CRR,CRCならびにCRWとを備える。こ
のうち、コマンドレジスタCRA,CRR,CRCなら
びにCRWの前段には、コマンドレジスタ書き込み回路
RWが設けられ、その後段には、コマンドレジスタ読み
出し回路RRが設けられる。また、各コマンドレジスタ
は、複数個つまり8個のアドレスを有し、これらのコマ
ンドレジスタのアドレスを択一的に指定するためのコマ
ンドレジスタデコーダCRDが設けられる。
【0028】コマンドレジスタ書き込み回路RWには、
前記アドレス信号A10,ロウアドレスストローブ信号
RASB,カラムアドレスストローブ信号CASBなら
びにライトイネーブル信号WEBが供給されるととも
に、マクロコマンドコントローラMCMCから内部信号
RWCが供給される。また、コマンドレジスタ読み出し
回路RRには、マクロコマンドコントローラMCMCか
ら内部信号RRCが供給され、その出力信号は、コマン
ドセレクタSLの一方の入力端子に供給される。さら
に、コマンドレジスタデコーダCRDには、アドレス信
号A0〜A2が供給されるとともに、マクロコマンドコ
ントローラMCMCから内部信号RENが供給される。
また、コマンドセレクタSLには、マクロコマンドコン
トローラMCMCから内部信号SLCが供給され、その
他方の入力端子には、アドレス信号A10,ロウアドレ
スストローブ信号RASB,カラムアドレスストローブ
信号CASBならびにライトイネーブル信号WEBが供
給される。
【0029】ここで、マクロコマンド制御回路MCのマ
クロコマンドコントローラMCMCは、クロック信号C
LKをもとに内部クロック信号clkを生成し、シンク
ロナスDRAMの各部に供給するとともに、クロックイ
ネーブル信号CKE,マクロコマンドイネーブル信号M
CE,チップ選択信号CSB,ロウアドレスストローブ
信号RASB,カラムアドレスストローブ信号CASB
ならびにライトイネーブル信号WEBをもとに外部コマ
ンドを識別し、内部信号SLC,RRC,RENならび
にRWCを所定の条件で選択的に形成する。
【0030】次に、コマンドレジスタ書き込み回路RW
は、内部信号RWCがハイレベルとされることで選択的
に動作状態とされ、アドレス信号A10,ロウアドレス
ストローブ信号RASB,カラムアドレスストローブ信
号CASBならびにライトイネーブル信号WEBを対応
するコマンドレジスタCRA,CRR,CRCならびに
CRWに順次シフトしながら書き込む。また、コマンド
レジスタ読み出し回路RRは、コマンドレジスタCR
A,CRR,CRCならびにCRWから順次シフトしな
がら出力される読み出し信号を取り込み、コマンドセレ
クタSLの一方の入力端子に伝達する。さらに、コマン
ドレジスタデコーダCRDは、内部信号RENのハイレ
ベルを受けて選択的に動作状態とされ、3ビットのアド
レス信号A0〜A2をデコードして、コマンドレジスタ
CRA,CRR,CRCならびにCRWの対応するアド
レスを択一的に指定する。
【0031】一方、コマンドセレクタSLは、内部信号
SLCがロウレベルとされるとき、外部供給されるアド
レス信号A10,ロウアドレスストローブ信号RAS
B,カラムアドレスストローブ信号CASBならびにラ
イトイネーブル信号WEBを選択し、内部起動制御信号
つまり内部アドレス信号a10,内部ロウアドレススト
ローブ信号rasb,内部カラムアドレスストローブ信
号casbならびに内部ライトイネーブル信号webと
してタイミング発生回路TGに供給する。また、内部信
号SLCがハイレベルとされるときには、コマンドレジ
スタ読み出し回路RRを介して出力されるコマンドレジ
スタCRA,CRR,CRCならびにCRWの読み出し
信号を内部アドレス信号a10,内部ロウアドレススト
ローブ信号rasb,内部カラムアドレスストローブ信
号casbならびに内部ライトイネーブル信号webと
して選択し、タイミング発生回路TGに供給する。
【0032】ところで、マクロコマンドコントローラM
CMCによるマクロコマンドの識別は、クロック信号C
LKの立ち上がりエッジにおける各起動制御信号の論理
レベルの組み合わせをもとに、図3の選択条件に従って
行われる。すなわち、シンクロナスDRAMは、チップ
選択信号CSBがロウレベル(L)とされることで選択
状態とされ、このとき、マクロコマンドコントローラM
CMCは、マクロコマンドイネーブル信号MCEがハイ
レベル(H)とされることで、外部から入力される動作
コマンドつまり外部コマンドがマクロコマンドであるこ
とを識別する。この実施例において、シンクロナスDR
AMには、特に制限されないが、MCS(マクロコマン
ドセット開始)コマンド,MCSE(マクロコマンドセ
ット終了)コマンド,MCR(マクロコマンドリード)
コマンドならびにMCX(マクロコマンド実行)コマン
ドの4種のマクロコマンドが用意される。
【0033】このうち、MCSコマンドは、カラムアド
レスストローブ信号CASBがハイレベルとされかつロ
ウアドレスストローブ信号RASB及びライトイネーブ
ル信号WEBがロウレベルとされることで選択的に指定
され、コマンドレジスタCRA,CRR,CRCならび
にCRWに対するマクロコマンドの書き込み開始を指示
するコマンドとされる。また、MCSEコマンドは、ロ
ウアドレスストローブ信号RASBがハイレベルとされ
かつカラムアドレスストローブ信号CASB及びライト
イネーブル信号WEBがロウレベルとされることで選択
的に指定され、コマンドレジスタCRA,CRR,CR
CならびにCRWに対するマクロコマンドの書き込み終
了を指示するコマンドとされる。一方、MCRコマンド
は、カラムアドレスストローブ信号CASB及びライト
イネーブル信号WEBがハイレベルとされかつロウアド
レスストローブ信号RASBがロウレベルとされること
で選択的に指定され、コマンドレジスタCRA,CR
R,CRCならびにCRWに書き込まれたマクロコマン
ドの読み出しに供される。また、MCXコマンドは、カ
ラムアドレスストローブ信号CASBがロウレベルとさ
れかつロウアドレスストローブ信号RASB及びライト
イネーブル信号WEBがハイレベルとされることで選択
的に指定され、コマンドレジスタCRA,CRR,CR
CならびにCRWに書き込まれたマクロコマンドの実行
を指示するコマンドとされる。なお、いずれのマクロコ
マンドにおいても、アドレス信号A10は、いわゆるド
ントケア(X)とされ、任意の論理レベルを採りうる。
【0034】次に、チップ選択信号CSBのロウレベル
を受けたマクロコマンドコントローラMCMCは、マク
ロコマンドイネーブル信号MCEがロウレベルとされる
ことで、外部コマンドが通常の動作コマンドであること
を識別する。この実施例において、シンクロナスDRA
Mには、特に制限されないが、NOP(ノーオペレーシ
ョン)コマンド,BST(バースト停止)コマンド,R
EAD(リード)コマンド,READA(リードプリチ
ャージ)コマンド,WRIT(ライト)コマンド,WR
ITA(ライトプリチャージ)コマンド,ACTV(ア
クティブ)コマンド,PRE(プリチャージ)コマン
ド,PALL(全バンクプリチャージ)コマンド,RE
F(リフレッシュ)コマンドならびにMRS(モードレ
ジスタセット)コマンドの11種のコマンドが用意され
る。
【0035】このうち、NOPコマンドは、ロウアドレ
スストローブ信号RASB,カラムアドレスストローブ
信号CASBならびにライトイネーブル信号WEBがと
もにハイレベルとされることで選択的に指定され、シン
クロナスDRAMの内部動作の継続を指示するコマンド
とされる。また、BSTコマンドは、ロウアドレススト
ローブ信号RASB及びカラムアドレスストローブ信号
CASBがハイレベルとされかつライトイネーブル信号
WEBがロウレベルとされることで選択的に指定され、
フルページバースト動作の停止を指示するコマンドとさ
れる。さらに、READコマンドは、ロウアドレススト
ローブ信号RASB及びライトイネーブル信号WEBが
ハイレベルとされかつカラムアドレスストローブ信号C
ASB及びアドレス信号A10がロウレベルとされるこ
とで選択的に指定され、記憶データの読み出し動作の開
始を指示するコマンドとされる。また、READAコマ
ンドは、ロウアドレスストローブ信号RASB,ライト
イネーブル信号WEBならびにアドレス信号A10がハ
イレベルとされかつカラムアドレスストローブ信号CA
SBがロウレベルとされることで選択的に指定され、バ
ースト読み出し動作の開始を指示するとともにその終了
時におけるプリチャージを指示するためのコマンドとさ
れる。なお、NOP及びBSTコマンドにおいて、アド
レス信号A10は、ドントケアとされ、任意の論理レベ
ルを採りうる。
【0036】一方、WRITコマンドは、ロウアドレス
ストローブ信号RASBがハイレベルとされかつカラム
アドレスストローブ信号CASB,ライトイネーブル信
号WEBならびにアドレス信号A10がともにロウレベ
ルとされることで選択的に指定され、記憶データの書き
込み動作の開始を指示するためのコマンドとされる。ま
た、WRITAコマンドは、ロウアドレスストローブ信
号RASB及びアドレス信号A10がハイレベルとされ
かつカラムアドレスストローブ信号CASB及びライト
イネーブル信号WEBがロウレベルとされることで選択
的に指定され、バースト書き込み動作の開始を指示する
とともにその終了時におけるプリチャージを指示するた
めのコマンドとされる。
【0037】次に、PREコマンドは、カラムアドレス
ストローブ信号CASBがハイレベルとされかつロウア
ドレスストローブ信号RASB,ライトイネーブル信号
WEBならびにアドレス信号A10がともにロウレベル
とされることで選択的に指定され、バンクごとのプリチ
ャージを指示するためのコマンドとされる。また、PA
LLコマンドは、カラムアドレスストローブ信号CAS
B及びアドレス信号A10がハイレベルとされかつロウ
アドレスストローブ信号RASB及びライトイネーブル
信号WEBがロウレベルとされることで選択的に指定さ
れ、バンクBNK0及びBNK1を同時にプリチャージ
するためのコマンドとされる。さらに、REFコマンド
は、ライトイネーブル信号WEBがハイレベルとされか
つロウアドレスストローブ信号RASB及びカラムアド
レスストローブ信号CASBがロウレベルとされること
で選択的に指定され、リフレッシュ動作の開始を指示す
るためのコマンドとされる。また、MRSコマンドは、
ロウアドレスストローブ信号RASB,カラムアドレス
ストローブ信号CASBならびにライトイネーブル信号
WEBがともにロウレベルとされることで選択的に指定
され、モードレジスタMRに対する書き込みを指示する
ためのコマンドとされる。なお、アドレス信号A10
は、REFコマンドにおいてドントケアとされ、ACT
Vコマンド及びMRSコマンドにおいてはバリアブルな
データとして意味を持つ。
【0038】図4には、図1のシンクロナスDRAMの
書き込みモードに関するマクロコマンドセット時の一実
施例の信号波形図が示され、図5には、読み出しモード
に関するマクロコマンドセット時の一実施例の信号波形
図が示されている。また、図6には、図1のシンクロナ
スDRAMの書き込みモードに関するマクロコマンド実
行時の一実施例の信号波形図が示され、図7には、読み
出しモードに関するマクロコマンド実行時の一実施例の
信号波形図が示されている。これらの図をもとに、この
実施例のシンクロナスDRAMのマクロコマンドセット
時及びマクロコマンド実行時における具体的動作ならび
にその特徴について説明する。なお、以下の実施例にお
いて、シンクロナスDRAMの書き込みモード又は読み
出しモードにおけるバースト長及びCASレイテンシー
はともに“2”とされる。また、外部から起動制御信号
として供給されるマクロコマンドイネーブル信号MC
E,チップ選択信号CSB,ロウアドレスストローブ信
号RASB,カラムアドレスストローブ信号CASB,
ライトイネーブル信号WEBならびにアドレス信号A1
0の組み合わせにより選択的に指定されるコマンドを、
外部コマンドと称し、マクロコマンド制御回路MCから
出力される内部ロウアドレスストローブ信号rasb,
内部カラムアドレスストローブ信号casb,内部ライ
トイネーブル信号webならびに内部アドレス信号a1
0の組み合わせにより選択的に指定されるコマンドを、
内部コマンドと称する。
【0039】図4において、シンクロナスDRAMのマ
クロコマンド制御回路MCは、サイクルcy1のクロッ
ク信号CLKの立ち上がりエッジでチップ選択信号CS
Bがロウレベルとされることにより、シンクロナスDR
AMが選択状態となったことを識別し、同時にマクロコ
マンドイネーブル信号MCE及びカラムアドレスストロ
ーブ信号CASBがハイレベルとされかつロウアドレス
ストローブ信号RASB及びライトイネーブル信号WE
Bがロウレベルとされることで、与えられた外部コマン
ドがマクロコマンドつまりMCSコマンドであることを
識別する。このサイクルcy1において、アドレス信号
A10はドントケアとされる。また、アドレス信号A0
〜A2は、以下に続く一連の外部コマンドが書き込みモ
ードに関するものであることを示すべく、10進値
“1”とされる。
【0040】シンクロナスDRAMのマクロコマンド制
御回路MCでは、MCSコマンドの入力を受けて、コマ
ンドレジスタCRA,CRR,CRCならびにCRWの
書き込みモードに対応する第1アドレスが選択されると
ともに、コマンドレジスタ書き込み回路RWが起動さ
れ、以下に続く一連の外部コマンドを各コマンドレジス
タに書き込むための準備が行われる。なお、マクロコマ
ンドイネーブル信号MCEは、マクロコマンドの書き込
みが終了するまでの間、言い換えるならばサイクルcy
11によりMCSEコマンドが入力されるまでの間、ハ
イレベルのままとされ、チップ選択信号CSBはロウレ
ベルのままとされる。
【0041】次に、MCSコマンドに続くサイクルcy
2〜cy10では、ロウアドレスストローブ信号RAS
B,カラムアドレスストローブ信号CASB,ライトイ
ネーブル信号WEBならびにアドレス信号A10の論理
レベルが、図3の選択条件に従った組み合わせで順次変
化され、書き込みモードに対応する9個の外部コマンド
すなわちACTV,NOP,WRIT,NOP,NO
P,NOP,PRE,NOPならびにNOPコマンドが
入力される。これらの起動制御信号の論理レベルは、前
記マクロコマンド制御回路MCのコマンドレジスタ書き
込み回路RWを介して対応するコマンドレジスタCR
A,CRR,CRCならびにCRWの第1アドレスに順
次書き込まれる。そして、サイクルcy11においてM
CSEコマンドが入力されると、シンクロナスDRAM
のマクロコマンド制御回路MCは一連のマクロコマンド
の書き込みを終了し、非選択状態となる。
【0042】同様に、図5の読み出しモードに関するマ
クロコマンドセット時には、MCSコマンドが入力され
るサイクルcy1でアドレス信号A0〜A2が10進値
“2”とされ、これを受けたマクロコマンド制御回路M
Cは、以下に続く一連の外部コマンドが読み出しモード
に関するものであることを識別する。また、MCSコマ
ンドに続くサイクルcy2〜cy10では、9個の外部
コマンドすなわちACTV,NOP,READ,NO
P,NOP,NOP,PRE,NOPならびにNOPコ
マンドが順次入力され、コマンドレジスタCRA,CR
R,CRCならびにCRWの読み出しモードに対応する
第2アドレスに書き込まれる。そして、サイクルcy1
1においてMCSEコマンドが入力されると、マクロコ
マンド制御回路MCはマクロコマンドの書き込みを終了
し、非選択状態となる。
【0043】一方、図6において、マクロコマンド制御
回路MCは、サイクルcy1のクロック信号CLKの立
ち上がりエッジにおいて、マクロコマンドイネーブル信
号MCE,ロウアドレスストローブ信号RASBならび
にライトイネーブル信号WEBがともにハイレベルとさ
れかつチップ選択信号CSB及びカラムアドレスストロ
ーブ信号CASBがロウレベルとされることで、与えら
れた外部コマンドがマクロコマンド実行のためのMCX
コマンドであることを識別する。このサイクルcy1に
おいて、アドレス信号A0〜A2は、実行すべきマクロ
コマンドが書き込みモードであることを示すべく、10
進値“1”とされる。
【0044】シンクロナスDRAMのマクロコマンド制
御回路MCでは、MCXコマンドの入力を受けて、コマ
ンドレジスタCRA,CRR,CRCならびにCRWの
書き込みモードに対応する第1アドレスが選択されると
ともに、コマンドレジスタ読み出し回路RRが起動さ
れ、書き込みモードに対応する一連の内部コマンド読み
出しのための準備が行われる。なお、チップ選択信号C
SBは、一連の内部コマンドの読み出しが終了するまで
の間、ロウレベルのままとされる。
【0045】これにより、MCXコマンドに続くサイク
ルcy2〜cy10では、クロック信号CLKに同期し
てコマンドレジスタCRA,CRR,CRCならびにC
RWのシフト・読み出し動作が行われ、これに応じて内
部ロウアドレスストローブ信号rasb,内部カラムア
ドレスストローブ信号casb,内部ライトイネーブル
信号webならびに内部アドレス信号a10の論理レベ
ルが変化される。この結果、タイミング発生回路TGに
は、書き込みモードに対応する9個の内部コマンドつま
りACTV,NOP,WRIT,NOP,NOP,NO
P,PRE,NOPならびにNOPコマンドが時系列的
に連続して供給され、シンクロナスDRAMの各部に
は、これらの内部コマンドに対応した組み合わせで内部
制御信号が供給される。このとき、ACTVコマンドが
実行されるサイクルcy2では、アドレス信号A0〜A
10として、選択すべきワード線に関するロウアドレス
RAが入力される。また、WRITコマンドが実行され
るサイクルcy4では、アドレス信号A0〜A8とし
て、選択すべき相補ビット線に関するカラムアドレスC
Aが入力されるとともに、データ入出力端子D0〜D7
を介して、選択メモリセルに書き込むべき入力データD
i0及びDi1が入力される。
【0046】同様に、図7の読み出しモードに関するマ
クロコマンド実行時には、MCXコマンドが入力される
サイクルcy1においてアドレス信号A0〜A2が10
進値“2”とされ、これを受けたマクロコマンド制御回
路MCは、コマンドレジスタCRA,CRR,CRCな
らびにCRWの第2アドレスを選択し、読み出しモード
に関するマクロコマンドのシフト・読み出しを開始す
る。この結果、タイミング発生回路TGには、読み出し
モードに対応する9個の内部コマンドつまりACTV,
NOP,READ,NOP,NOP,NOP,PRE,
NOPならびにNOPコマンドが時系列的に連続して供
給され、実行される。このとき、ACTVコマンドが実
行されるサイクルcy2では、アドレス信号A0〜A1
0として、選択すべきワード線に関するロウアドレスR
Aが入力される。また、READコマンドが実行される
サイクルcy4では、アドレス信号A0〜A8として、
選択すべき相補ビット線に関するカラムアドレスCAが
入力される。データ入出力端子D0〜D7には、REA
Dコマンドつまりサイクルcy4からCASレイテンシ
ーに相当する2サイクル分だけ遅れたサイクルcy6及
びcy7において、選択されたメモリセルの読み出しデ
ータDo0及びDo1が出力される。
【0047】以上のように、この実施例のシンクロナス
DRAMは、コマンドレジスタCRA,CRR,CRC
ならびにCRWを含むマクロコマンド制御回路MCを備
え、所定の動作モードの実現に必要な一連の外部コマン
ドをマクロコマンドとして登録するためのMCS及びM
CSEコマンドと、登録された一連の外部コマンドから
なる各種動作モードを単一のマクロコマンドの入力によ
って実行するためのMCXコマンドとを有する。この結
果、単一のマクロコマンドを入力するだけで、複雑なコ
マンド列の入力を必要とする各種動作モードを容易にか
つ選択的に実行しうるシンクロナスDRAMを実現で
き、これによっでシンクロナスDRAMのアクセス制御
を簡素化し、そのユーザからみた利便性を高めることが
できるとともに、シンクロナスDRAMのテストプログ
ラムを簡素化し、メーカの試験工数を削減して、その低
コスト化を図ることができるものである。なお、この実
施例のシンクロナスDRAMが、従来のシンクロナスD
RAMと同様、マクロコマンドによることなく、一連の
外部コマンドを入力することによって各種動作モードを
選択的に実行しうるものであることは言うまでもない。
【0048】以上の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。すなわち、 (1)複数のコマンドが所定の組み合わせで時系列的に
連続して入力されることにより選択的に実行される各種
の動作モードを有するシンクロナスDRAM等におい
て、上記動作モードのそれぞれに対応するコマンド列を
単一のマクロコマンドとして記憶するコマンドレジスタ
を設けるとともに、これらのマクロコマンドが入力され
ることにより対応するコマンド列を順次読み出し対応す
る動作モードを選択的に実行する機能を持たせること
で、単一のマクロコマンドを入力するだけで、複雑なコ
マンド列の入力を必要とするシンクロナスDRAM等の
各種動作モードを容易にかつ選択的に実行できるという
効果が得られる。 (2)上記(1)項により、シンクロナスDRAM等の
アクセス制御を簡素化して、ユーザの利便性を高めるこ
とができるという効果が得られる。 (3)上記(1)項により、シンクロナスDRAM等の
テストプログラムを簡素化し、メーカの試験工数を削減
して、その低コスト化を図ることができるという効果が
得られる。
【0049】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、シンクロナスDRAMは、×4ビッ
ト又は×16ビット等、任意のビット構成を採りうる
し、その記憶容量も任意に設定できる。また、内部デー
タバスDBUS0〜DBUS7は、書き込み用又は読み
出し用として専用化できるし、データ入出力端子D0〜
D7も、データ入力端子及びデータ出力端子として用途
別に分離することができる。各バンクを構成するメモリ
アレイMARYは、冗長素子を含むことができるし、そ
の直接周辺回路を含めて複数のメモリマットに分割する
ことができる。この実施例では、マクロコマンドを指定
するための起動制御信号としてマクロコマンドイネーブ
ル信号MCEを別途に設けているが、例えば、モードレ
ジスタMRに対するMRSコマンドの組み合わせに余裕
がある場合、このMRSコマンドの一部をマクロコマン
ドの指定に併用することができる。さらに、シンクロナ
スDRAMのブロック構成や起動制御信号及び内部制御
信号の名称及び組み合わせならびにその論理レベル等
は、種々の実施形態を採りうる。
【0050】図2において、マクロコマンド制御回路M
CのコマンドレジスタCRA,CRR,CRCならびに
CRWは、任意のビット長を採りうるし、そのアドレス
数も任意に設定できる。また、これらのコマンドレジス
タは、例えば、EEPROM(電気的に消去・書き換え
可能なリードオンリメモリ)等に置き換えることができ
るし、複数のマクロコマンドに関するコマンド列をメー
カによって予め書き込んでおくこともできる。マクロコ
マンド制御回路MCは、チップ選択信号CSBに関する
コマンドレジスタを含むことができるし、コマンドレジ
スタのアドレスを指定するためのアドレス信号のビット
数も任意に選定できる。
【0051】図3において、プリチャージ条件の指定に
供されるアドレス信号A10は、アドレス信号の他のビ
ットに置き換えることができる。シンクロナスDRAM
は、他の各種の動作コマンドを備えることができるし、
各動作コマンドを指定するための起動制御信号の種類及
び論理レベル等の組み合わせも任意である。図4ないし
図7において、各動作モードを実現するためのコマンド
列の種類及び組み合わせは、これらの実施例によって制
約されない。また、シンクロナスDRAMのコマンドレ
ジスタに充分な記憶容量を用意できる場合には、図4又
は図5のマクロコマンドセット時に、ロウアドレスRA
及びカラムアドレスCAならびに入力データ等を予めマ
クロコマンドの一部として入力しておくこともよい。マ
クロコマンドの種類を選択的に指定するためのアドレス
信号は、A0〜A2に限定されない。さらに、書き込み
モード及び読み出しモード以外の動作モードについて
も、同様にマクロコマンド化できることは言うまでもな
い。
【0052】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野である画像
システムのフレームメモリとして用いられるシンクロナ
スDRAMに適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、例えば、他の各種用途に供さ
れるシンクロナスDRAMや同様なコマンド形態を採る
各種のメモリ集積回路装置にも適用できる。この発明
は、少なくとも複数のコマンドが所定の組み合わせで時
系列的に連続して入力されることにより選択的に実行さ
れる動作モードを有する半導体記憶装置ならびにこのよ
うな半導体記憶装置を含む装置又はシステムに広く適用
できる。
【0053】
【発明の効果】(任意的記載事項) 本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、複数のコマンドが所定の組み合わせで時
系列的に連続して入力されることにより選択的に実行さ
れる各種の動作モードを有するシンクロナスDRAM等
において、上記動作モードのそれぞれに対応するコマン
ド列を単一のマクロコマンドとして記憶するコマンドレ
ジスタを設けるとともに、これらのマクロコマンドが入
力されることにより対応するコマンド列を順次読み出し
対応する動作モードを選択的に実行する機能を持たせる
ことで、単一のマクロコマンドを入力するだけで、複雑
なコマンド列の入力を必要とする各種動作モードを容易
にかつ選択的に実行しうるシンクロナスDRAM等を実
現することができる。この結果、シンクロナスDRAM
等のアクセス制御を簡素化し、そのユーザからみた利便
性を高めることができるとともに、シンクロナスDRA
M等のテストプログラムを簡素化し、メーカの試験工数
を削減して、その低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたシンクロナスDRAMの
一実施例を示すブロック構成図である。
【図2】図1のシンクロナスDRAMに含まれるマクロ
コマンド制御回路の一実施例を示すブロック構成図であ
る。
【図3】図1のシンクロナスDRAMが備える動作コマ
ンドの一実施例を示す選択条件図である。
【図4】図1のシンクロナスDRAMの書き込みモード
に関するマクロコマンドセット時の一実施例を示す信号
波形図である。
【図5】図1のシンクロナスDRAMの読み出しモード
に関するマクロコマンドセット時の一実施例を示す信号
波形図である。
【図6】図1のシンクロナスDRAMの書き込みモード
に関するマクロコマンド実行時の一実施例を示す信号波
形図である。
【図7】図1のシンクロナスDRAMの読み出しモード
に関するマクロコマンド実行時の一実施例を示す信号波
形図である。
【図8】この発明に先立って本願発明者等が開発したシ
ンクロナスDRAMの書き込みモード実行時の一例を示
す信号波形図である。
【図9】この発明に先立って本願発明者等が開発したシ
ンクロナスDRAMの読み出しモード実行時の一例を示
す信号波形図である。
【符号の説明】
BNK0〜BNK1……バンク、MARY……メモリア
レイ、RD……ロウアドレスデコーダ、SA……センス
アンプ、CD……カラムアドレスデコーダ、MA……メ
インアンプ、DBUS0〜DBUS7……内部データバ
ス、RB……ロウアドレスバッファ、CB……カラムア
ドレスバッファ、BS……バンク選択回路、MR……モ
ードレジスタ、IO……データ入出力回路、MC……マ
クロコマンド制御回路、TG……タイミング発生回路。
MCMC……マクロコマンドコントローラ、CRA,C
RR,CRC,CRW……コマンドレジスタ、RAD…
…コマンドレジスタデコーダ、RW……コマンドレジス
タ書き込み回路、RR……コマンドレジスタ読み出し回
路、SL……コマンドセレクタ。CLK……クロック信
号、CKE……クロックイネーブル信号、MCE……マ
クロコマンドイネーブル信号、CSB……チップ選択信
号、RASB……ロウアドレスストローブ信号、CAS
B……カラムアドレスストローブ信号、WEB……ライ
トイネーブル信号、clk……内部クロック信号、a1
0……内部アドレス信号、rasb……内部ロウアドレ
スストローブ信号、casb……内部カラムアドレスス
トローブ信号、web……内部ライトイネーブル信号。
RA……ロウアドレス、CA……カラムアドレス、Di
0〜Di1……入力データ、Do0〜Do1……出力デ
ータ。
フロントページの続き (72)発明者 亀井 隆夫 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 日 立超エル・エス・アイ・エンジニアリング 株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のコマンドが所定の組み合わせで時
    系列的に連続して入力されることにより選択的に実行さ
    れる動作モードを有し、かつ上記動作モードのそれぞれ
    に対応する複数のコマンドを単一のマクロコマンドとし
    て記憶しこれらのマクロコマンドが入力されることによ
    り対応する上記動作モードを選択的に実行する機能を有
    することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 上記半導体記憶装置は、上記マクロコマ
    ンドに対応して設けられ所定ビットのアドレス信号によ
    り選択的に指定される複数のコマンドレジスタを具備す
    るものであり、かつ上記コマンドレジスタのそれぞれに
    マクロコマンドに対応する複数のコマンドを書き込むた
    めのマクロコマンドセット機能と、マクロコマンドが入
    力されるとき対応する上記コマンドレジスタに書き込ま
    れた複数のコマンドを順次読み出し実行するためのマク
    ロコマンド実行機能とを有するものであることを特徴と
    する請求項1の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 上記半導体記憶装置は、所定のクロック
    信号に従って同期動作するシンクロナスDRAMであっ
    て、上記マクロコマンドのそれぞれは、起動制御信号が
    所定の組み合わせとされかつ上記所定ビットのアドレス
    信号が対応する組み合わせとされることにより選択的に
    指定・入力されるものであることを特徴とする請求項1
    又は請求項2の半導体記憶装置。
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