JPH0915153A - 透過率測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 サンプルの交換が簡単で、透過光量測定時で
もオートフォーカス機構を機能させ得る透過率測定装置
を提供する。 【構成】 第２遮光部材４０が、第１遮光部材３０の周
囲からの外部光が無反射で直接的に光検出器Ｄ1に入射
することを阻止するので、両遮光部材３０、４０間にサ
ンプルＳＰをセットした場合、外部光が光検出器Ｄ1に
入射することを阻止することができる。この際、サンプ
ルＳＰは両遮光部材３０、４０間にステージによって支
持されているだけで足り、サンプルＳＰの交換などの作
業性を高めることができる。また、干渉フィルタＦ1
が、測定波長以外の不要な照明光や焦点検出光が光検出
器Ｄ1に入射してノイズを発生させることを防止するの
で、合焦機構を動作させつつ精度の高い透過光量測定を
行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、レチクルや液晶など
の各種サンプルについて、紫外域や可視域などにおける
特定波長に関する透過率を測定する透過率測定装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来の透過率測定装置の一例を
示す図である。この装置は、光源として、透過率測定に
用いる測定波長λ0の光を含む照明光を発生する測定用
光源Ｓ1と、可視光を含む観察光を発生する観察用光源
Ｓ2とを備える。

【０００３】測定用光源Ｓ1から出射した照明光は、両
面全反射型のミラーＭＲ及びこれに設けたピンホールＰ
によって２光路に分割される。ミラーＭＲで反射された
一方の光は、参照光として光検出器Ｄ2に入射し、ピン
ホールＰを通過した他方の光は、反射対物レンズＬ1に
よってステージＳＳ上の測定サンプルＳＰの微小領域を
照明する。照明された測定サンプルＳＰを透過した透過
光は光検出器Ｄ1によって検出される。両光検出器Ｄ1、
Ｄ2によって検出された光電流は、それぞれＩ／Ｖコン
バータＩＶ1、ＩＶ2、アンプＡＰ1、ＡＰ2、及びＡ／Ｄ
コンバータＡＤ1、ＡＤ2を経てデジタルデータ化された
後、計算機ＣＬ内で透過率を求めるための計算に用いら
れる。ここで、参照光検出のための光検出器Ｄ2は、光
源Ｓ1の長期的変化（温度ドリフトなど）を補償するた
めのものである。

【０００４】観察用光源Ｓ2からの観察光は、レンズＬ2
及びシャッターＳＴを通過し、一対のハーフミラーＨ
1、Ｈ2を透過した後、ミラーＭＲで下向きに反射されて
反射対物レンズＬ1に入射し、測定サンプルＳＰ面に照
射される。そして、測定サンプルＳＰからの反射光は、
同一の光路を逆行してミラーＭＲで反射され、ハーフミ
ラーＨ1を透過し、ハーフミラーＨ2で反射された後、Ｃ
ＣＤカメラ１０によって観察される。

【０００５】反射対物レンズＬ1及びステージＳＳは、
外部からのノイズ光を遮断するため暗箱部Ｗ中に収容さ
れている。そして、暗箱部Ｗ中の測定サンプルＳＰは、
この暗箱部Ｗに設けた扉ＤＲを開閉することによって交
換される。

【０００６】なお、測定用光源Ｓ1及び観察用光源Ｓ2の
選定の仕方によっては、観察用光源Ｓ2の発生する観察
光が測定波長λ0の成分を含むものとなってしまう場合
があり、さらに観察光が光検出器Ｄ1によって検出され
る可能性もある。これを防止するため、従来の装置で
は、測定時（透過光量測定時）にシャッターＳＴが閉じ
る機構となっている。

【０００７】また、測定サンプルＳＰを支持するステー
ジＳＳの位置を調節するオートフォーカス機構２０につ
いても、オートフォーカス機構２０の発生する焦点検出
用のレーザ光が光検出器Ｄ1によって検出される可能性
がある。これを防止するため、従来の装置では、測定時
にオートフォーカス動作を停止させる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図６に示す装
置では、外部からの外部光を遮断する暗箱部Ｗを設けて
いることから、暗箱部Ｗの内外に測定サンプルＳＰを出
し入れする際の取扱いが不便である。

【０００９】また、オートフォーカス機構２０を測定時
に切る必要があるため、振動、機械精度などの不安定性
に起因して、測定時に測定サンプルＳＰが合焦位置から
外れる可能性があり、測定値の信頼性が低いものとな
る。

【００１０】そこで、この発明は、上記のような暗箱部
Ｗを不要にし、また透過光量測定時でもオートフォーカ
ス機構２０を機能させ得る透過率測定装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の透過率測定装置は、測定用光源からの照
明光をサンプルに入射させる対物レンズと、照明光によ
って照明されたサンプルから出射する透過光の光量を検
出する光検出器とを備える透過率測定装置において、対
物レンズの周囲を覆うとともに、照明光が当該対物レン
ズから出射するサンプル側に開口を有する第１遮光部材
と、光検出器の周囲を覆うとともに、透過光が当該光検
出器に入射するサンプル側に開口を有し、第１遮光部材
の周囲からの外部光が無反射で直接的に光検出器に入射
することを阻止する第２遮光部材と、第１及び第２遮光
部材間にサンプルを支持するステージと、ステージと対
物レンズとを光軸方向に相対的に移動させて合焦動作を
行わせる合焦機構と、測定用光源が発生する照明光のう
ち測定波長の光のみを選択的に取り出す第１フィルタ
と、合焦機構が発生する焦点検出波長の光が光検出器に
入射するのを防止する第２フィルタとを備えることを特
徴とする。

【００１２】また、請求項２の透過率測定装置は、第１
及び第２フィルタが、ステージと光検出器との間に配置
される単一のフィルタであることを特徴とする。

【００１３】

【作用】請求項１の透過率測定装置では、第１遮光部材
が、対物レンズの周囲を覆うとともに照明光が当該対物
レンズから出射するサンプル側に開口を有し、第２遮光
部材が、光検出器の周囲を覆うとともに透過光が当該光
検出器に入射するサンプル側に開口を有し、第１遮光部
材の周囲からの外部光が無反射で直接的に光検出器に入
射することを阻止するので、第１及び第２遮光部材間に
サンプルをセットした場合、第１遮光部材に設けた開口
を介して照明光をサンプルに入射させることができ、第
２遮光部材に設けた開口を介して透過光を光検出器に入
射させることができるのみならず、外部光が無反射で直
接的に光検出器に入射することを阻止することができ
る。この際、サンプルは第１及び第２遮光部材間にステ
ージによって支持されているだけで足り、サンプルの周
囲を暗箱で覆う必要がないので、サンプルの交換などの
作業性を高めることができる。また、この装置では、第
１フィルタが、測定用光源の発生する照明光のうち測定
波長の光のみを選択的に取り出すので、測定用光源の発
生する照明光のうち測定波長以外のノイズ光が光検出器
に入射することを防止できる。また、この装置では、第
２フィルタが、合焦機構の発生する焦点検出波長の光が
光検出器に入射してノイズを発生させることを防止する
ので、合焦機構を動作させつつ精度の高い透過光量測定
を行うことができる。

【００１４】また、請求項２の透過率測定装置では、単
一のフィルタが、測定波長の光のみを光検出器に入射さ
せ、ノイズ光の入射を防止する。無論、集点検出波長の
光も光検出器に入射されない。

【００１５】

【実施例】図１は、第１実施例の透過率測定装置の構造
を示す図である。この装置の光学系のほとんどを収容す
る筐体２内には、透過率測定に用いる測定波長λ0の光
を含む照明光を発生する測定用光源Ｓ1が配置されてい
る。この測定用光源Ｓ1から出射した照明光は、両面全
反射型のミラーＭＲとこれに設けたピンホールＰとによ
って２光路に分割される。

【００１６】ミラーＭＲで反射された一方の光は、参照
光として光検出器Ｄ2に入射する。この光検出器Ｄ2は、
光電管などからなり、参照光の光量を電流信号に変換し
て出力する。光検出器Ｄ2から出力された電流信号は、
Ｉ／ＶコンバータＩＶ2で電圧信号に変換され、アンプ
ＡＰ2で増幅され、Ａ／ＤコンバータＡＤ2でデジタルデ
ータ化された後、計算機ＣＬに入力される。

【００１７】ピンホールＰを通過した他方の光は、照明
光として、筐体２に設けた開口２０ａを介して筐体２外
に出射し、筐体２側に固定された一対の反射鏡からなる
反射対物レンズＬ1に入射する。反射対物レンズＬ1によ
って集束された照明光は、ステージＳＳ上の測定サンプ
ルＳＰの微小領域を照明する。照明された測定サンプル
ＳＰを透過して減衰した透過光は、測定波長λ0の光の
みを透過させる干渉フィルタＦ1を介して光検出器Ｄ1に
入射する。一方、測定波長λ0以外のノイズ光は光検出
器Ｄ1に入射されない。この光検出器Ｄ1は、光電管など
からなり、透過光の光量を電流信号に変換して出力す
る。光検出器Ｄ1から出力された電流信号は、Ｉ／Ｖコ
ンバータＩＶ1で電圧信号に変換され、アンプＡＰ1で増
幅され、バンドパスフィルタＦＬで高周波ノイズ成分が
カットされ、Ａ／ＤコンバータＡＤ1でデジタルデータ
化された後、計算機ＣＬに入力される。

【００１８】計算機ＣＬは、ステージＳＳ上に測定サン
プルＳＰがある場合にＡ／ＤコンバータＡＤ1が出力す
るデータと、ステージＳＳ上に測定サンプルＳＰがない
場合にＡ／ＤコンバータＡＤ1が出力するデータとを比
較して、測定サンプルＳＰの透過率を決定する。この
際、ステージＳＳ上に測定サンプルＳＰがない時点と、
後に測定サンプルＳＰを載置した時点との間で、光源Ｓ
1の発生する光量が変動している可能性もある。このた
め、Ａ／ＤコンバータＡＤ2が出力する参照光の光量デ
ータの変動を常に監視して、光源Ｓ1の光量変動分を補
償した透過率を算出することで、透過率測定の精度を高
めることができる。

【００１９】なお、この装置を用いれば、レチクルや液
晶デバイスなどの紫外域や可視域などにおける透過率を
測定することができ、レチクル自体の評価や液晶デバイ
スの製造工程の評価が精密なものとなる。特に、ｉ線に
関する透過率測定に用いた場合、位相シフトマスクの精
密な評価が可能となる。

【００２０】以下、観察系について説明する。観察用光
源Ｓ2からの観察光は、測定波長λ0よりも長波長の光の
みを透過させる色フィルタである短波長カットフィルタ
Ｆ2で不要光が除かれ、ケーラー照明用のレンズＬ2で一
旦集束され始め、一対のハーフミラーＨ1、Ｈ2を透過し
た後、ミラーＭＲで反射されて反射対物レンズＬ1に入
射し、測定サンプルＳＰ面に広がりを持って一様に照射
される。なお、図１では、観察光の光軸のみを示してあ
るが、実際の観察光は光軸の周辺に広がりをもって伝搬
する。したがって、観察用光源Ｓ2からの観察光の多く
は、ミラーＭＲに設けたピンホールＰの周囲に入射して
下方に反射され、反射対物レンズＬ1に入射して測定サ
ンプルＳＰ面に投影される。

【００２１】測定サンプルＳＰ面からの反射光は、同一
の光路を逆行してミラーＭＲで反射され、ハーフミラー
Ｈ1を透過し、ハーフミラーＨ2で反射された後、ＣＣＤ
カメラ１０によって観察される。なお、観察系に短波長
カットフィルタＦ2を設けて、観察用光源Ｓ2からの測定
波長λ0の光が測定サンプルＳＰに入射することを防止
できるので、光検出器Ｄ1の出力が観察用光源Ｓ2から発
生される光の影響を受けなくなり、測定サンプルＳＰを
透過率測定時を含め常時視認することができる。

【００２２】以下、合焦系について説明する。オートフ
ォーカス機構２０からの焦点検出用のレーザ光は、ハー
フミラーＨ1で反射された後、ミラーＭＲで再度反射さ
れて反射対物レンズＬ1に入射し、測定サンプルＳＰ面
に照射される。測定サンプルＳＰ面からの戻り光は、オ
ートフォーカス機構２０に入射して焦点検出のために用
いられる。オートフォーカス機構２０は、戻り光の状態
に基づいて焦点検出を行い、測定サンプルＳＰを支持す
るステージＳＳのｚ軸方向の位置を調節する。これによ
り、反射対物レンズＬ1と測定サンプルＳＰとの相対的
距離が調節されて自動的な焦点調節が可能になる。この
際、測定サンプルＳＰを透過した焦点検出用のレーザ光
は、測定波長λ0の光のみを透過させる干渉フィルタＦ1
によってカットされて光検出器Ｄ1に入射しないので、
測定サンプルＳＰの透過率測定の結果に作用しない。よ
って、オートフォーカス機構２０を動作させて焦点調節
を行いながら測定サンプルＳＰの正確な透過率を測定す
ることができる。

【００２３】以下、測定サンプルＳＰを支持するステー
ジＳＳ周辺の遮光について説明する。反射対物レンズＬ
1の周囲を覆う円筒状の第１遮光部材３０と、光検出器
Ｄ1の周囲を覆う円筒状の第２遮光部材４０とは、外部
光が直接的に光検出器Ｄ1に入射して透過率測定の精度
を低下させることを防止するために設けられている。

【００２４】図２は、一対の遮光部材３０、４０の働き
を模式的に説明する図である。図示のように、第１遮光
部材３０の下端部３０ａに形成された開口と第２遮光部
材４０の上端部４０ａに形成された開口との間には、図
示されていないステージに支持された測定サンプルＳＰ
が挿入される。測定サンプルＳＰの測定スポットには、
第１遮光部材３０下端の開口を介して反射対物レンズＬ
1からの照明光が入射する。測定サンプルＳＰで減衰し
て下方から出射する透過光は、第２遮光部材４０上端に
設けた開口を介して干渉フィルタＦ1及び光検出器Ｄ1に
入射する。この際、一対の遮光部材３０、４０の形状を
適宜設定することにより、一対の遮光部材３０、４０の
周囲からの外部光（測定波長λ0を含んだノイズ光）が
無反射で直接的に光検出器Ｄ1に入射することを阻止で
きる。言い換えるならば、図中の点線に示すように、第
１遮光部材３０の下端部３０ａを通過した外部光が第２
遮光部材４０の上端部４０ａの開口周辺のうち最も近い
部分に入射した場合にも、外部光が直接的に光検出器Ｄ
1に入射することを防止するように一対の遮光部材３
０、４０の形状を決定する。具体的には、第１遮光部材
３０下端の開口の半径、この開口から測定サンプルＳＰ
表面までの距離、第２遮光部材４０上端の開口の半径、
この開口から測定サンプルＳＰ下面までの距離などを適
宜設定することとなるが、その際、反射対物レンズＬ1
の開口数、測定サンプルＳＰの厚み、干渉フィルタＦ1
及び光検出器Ｄ1の有効直径、第２遮光部材４０上端の
開口から干渉フィルタＦ1や光検出器Ｄ1までの距離など
も考慮しなければならない。なお、第２遮光部材４０上
端の開口の半径は、測定サンプルＳＰ表面で結像した後
下方に進むにしたがって拡散する透過光をほぼ全て検出
できるような大きさとすることが必要となるが、必要以
上に大きくするとノイズ光が第２遮光部材４０に入射し
易くなるという問題がある。さらに、第１及び第２遮光
部材３０、４０の内面は、反射防止の塗装をするなどし
て、これらの内面での反射によってノイズ光が結果的に
第２遮光部材４０中の光検出器Ｄ1に相当な強度で入射
することを防止する。

【００２５】以上説明した一対の遮光部材３０、４０を
用いることにより、外部光が無反射で直接的に光検出器
Ｄ1に入射することを阻止することができるのみなら
ず、測定サンプルＳＰの周囲を従来のような暗箱で覆う
必要がないので、測定サンプルＳＰの交換などの作業性
を高めることができる。

【００２６】図３は、図２に示した第２遮光部材４０の
構造を説明する斜視図である。光検出器Ｄ1の入射面上
には測定波長λ0の光のみを透過させる干渉フィルタＦ1
が固定されており、これら光検出器Ｄ1及び干渉フィル
タＦ1の周囲を覆うように第２遮光部材４０が固定され
ている。そして、第２遮光部材４０の上端部４０ａに
は、測定サンプルＳＰからの透過光を光検出器Ｄ1及び
干渉フィルタＦ1に導く開口４２が形成されている。

【００２７】なお、上記第１実施例において、測定サン
プルＳＰの透過率測定ポイントを変更する場合には、測
定サンプルＳＰを支持するステージＳＳを光軸に垂直な
方向に２次元的に逐次変位させる。

【００２８】図４は、第２実施例の透過率測定装置の構
造を示す図である。この第２実施例の装置は、図１に示
す第１実施例の装置の変形例であるので、同一部分には
同一の符号を付して説明を省略する。第２実施例の装置
は、外部からの外部光が検出されて透過率測定に影響す
ることをより確実に防止する構造となっている。

【００２９】図４の装置は、測定用光源Ｓ1の出射側に
照明光の強度を周波数ｆmで強度変調するチョッパＣを
備える。このチョッパＣによって、第１光検出器Ｄ1及
び第２光検出器Ｄ2では、ともに周波数ｆmで変調された
光が検出される。両光検出器Ｄ1、Ｄ2からの検出信号
は、最終的にデジタルデータ化されて計算機ＣＬに入力
されるが、この計算機ＣＬでは、時間的ＦＦＴなどの手
法によって両光検出器Ｄ1、Ｄ2からの検出信号に雑音除
去の処理を施す。

【００３０】図５は、両光検出器Ｄ1、Ｄ2で検出された
信号の処理を説明する図である。図５（ａ）は、第１光
検出器Ｄ1からの電流信号をＩ／ＶコンバータＩＶ1で電
圧信号に変換しアンプＡＰ1で増幅した後の信号強度Ｉm
を示すグラフであり、図５（ｂ）は、第２光検出器Ｄ2
からの電流信号をＩ／ＶコンバータＩＶ2で電圧信号に
変換しアンプＡＰ2で増幅した後の信号強度Ｉrを示すグ
ラフである。図５（ｃ）は、第１光検出器Ｄ1側からの
信号強度Ｉmの変化（時系列信号）に対して計算機ＣＬ
内で時間的ＦＦＴの演算を行った結果を示すグラフであ
り、図５（ｄ）は、第２光検出器Ｄ2側からの信号強度
Ｉrの変化（時系列信号）に対して計算機ＣＬ内で時間
的ＦＦＴの演算を行った結果を示すグラフである。時間
的ＦＦＴの演算結果（パワースペクトル）に基づいて、
透過光の信号強度Ｉmに対応する透過成分信号、参照光
の信号強度Ｉrに対応する参照成分信号を求める。そし
て、参照成分信号によって透過成分信号を補償しつつ、
ステージＳＳ上に測定サンプルＳＰがある場合とない場
合との各透過成分信号を比較することにより、測定サン
プルの透過率を決定することができる。このような方法
によれば、外部からの外部光と測定光とを第１実施例の
場合に比較してより明確に区別することができるため、
さらに測定値の信頼性が向上する。

【００３１】なお、周波数ｆmに対応する透過光成分を
取り出す方法として、上記のように時間的ＦＦＴを用い
る方法のほか、図５（ａ）及び（ｂ）に示す各信号強度
Ｉm、Ｉrの変化の極大値及び極小値間の差から透過光成
分を直接的に決定することもできる。具体的には、極大
値及び極小値間に適当なしきい値を定め、このしきい値
より大きな値を選択して平均化したＨレベル値と、この
しきい値より小さな値を取り出して平均化したＬレベル
値とを比較することにより、各信号強度Ｉm、Ｉrの変化
から周波数ｆmに対応する信号成分のみを取り出すこと
ができる。

【００３２】図６は、第３実施例の透過率測定装置の構
造を示す図である。この第３実施例の装置は、図１に示
す第１実施例の装置の変形例である。第３実施例の装置
は、オートフォーカス機構２０からの焦点検出用の計測
光がレーザ光でない場合の構成例を説明する図である。
上記第１実施例では、計測光であるレーザ光が測定波長
λ0と一致せず、干渉フィルタＦ1が光検出器Ｄ1の直前
で測定波長λ0の光のみを選択的に透過させるので、測
定用光源Ｓ1の発生する照明光のうち測定波長λ0の光の
みを選択的に取り出すことができるとともに、オートフ
ォーカス機構２０からの焦点検出用のレーザ光が光検出
器Ｄ1に入射することを阻止できる。一方、この第３実
施例のように、焦点検出用の計測光がレーザ光でない場
合、計測光が測定波長λ0の光成分を含んでいることも
あるので、観察光用の短波長カットフィルタＦ2と同様
のカラーフィルタＦ3をオートフォーカス機構２０の入
出力位置に配置し、オートフォーカス機構２０から出力
される計測光のうち焦点検出波長λ0の光が測定サンプ
ルＳＰに入射することを防止する。

【００３３】以上、実施例に即してこの発明を説明した
が、この発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば、外部光が直接的に光検出器Ｄ1に入射すること
を阻止する第１及び第２遮光部材３０、４０の形状は、
上記実施例の形状に限られるものではなく、外部からの
外部光がカットされ、照明光、透過光などの測定光が遮
られず、かつ第１及び第２遮光部材３０、４０間に測定
サンプルＳＰが配置される十分な隙間が形成される範囲
で任意の形状とすることができる。

【００３４】また、上記実施例では、短波長カットフィ
ルタＦ2を用いて観察用光源Ｓ2からの観察光から測定波
長λ0の光を除去して観察光が光検出器Ｄ1で検出される
ことを防止しているが、短波長カットフィルタＦ2の代
わりに、観察時にのみ開放されるシャッタ（図６の従来
例で示したものと同様のもの）を用いることができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明のように、請求項１の透過率測
定装置によれば、第２遮光部材が、光検出器の周囲を覆
うとともに透過光が当該光検出器に入射するサンプル側
に開口を有し、第１遮光部材の周囲からの外部光が無反
射で直接的に光検出器に入射することを阻止するので、
第１及び第２遮光部材間にサンプルをセットした場合、
外部光が光検出器に入射して透過率の測定結果に悪影響
を及ぼすことを防止することができる。この際、サンプ
ルは第１及び第２遮光部材間にステージによって支持さ
れているだけで足り、サンプルの周囲を暗箱で覆う必要
がないので、サンプルの交換などの作業性を高めること
ができる。また、この装置では、第１フィルタが、照明
光のうち測定波長の光のみを選択的に取り出すので、測
定用光源の発生する照明光のうち測定波長以外のノイズ
光が光検出器に入射することを防止できる。また、この
装置では、第２フィルタが、焦点検出波長の光が光検出
器に入射してノイズを発生させることを防止するので、
合焦機構を動作させつつ精度の高い透過光量測定を行う
ことができる。

【００３６】また、請求項２の透過率測定装置によれ
ば、第１及び第２フィルタが、ステージと光検出器との
間に配置される単一のフィルタであるので、装置を簡単
な構造とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の透過率測定装置の構造を説明する
図である。

【図２】図１の装置の一部を拡大した図である。

【図３】ノイズ光を防止するための遮光板の構造を説明
する図である。

【図４】第２実施例の透過率測定装置の構造を説明する
図である。

【図５】図４の装置の動作を説明する図である。

【図６】第３実施例の透過率測定装置の構造を説明する
図である。

【図７】従来の装置の構造を説明する図である。

【符号の説明】

２ 筐体 ２０ オートフォーカス機構 ３０ 第１遮光部材 ４０ 第２遮光部材 Ｓ1 測定用光源 Ｓ2 観察用光源 ＳＳ ステージ ＳＰ 測定サンプル Ｆ1 干渉フィルタ Ｌ1 反射対物レンズ Ｄ1 光検出器

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定用光源からの照明光をサンプルに入
   射させる対物レンズと、前記照明光によって照明された
   前記サンプルから出射する透過光の光量を検出する光検
   出器とを備える透過率測定装置において、 前記対物レンズの周囲を覆うとともに、前記照明光が当
   該対物レンズから出射するサンプル側に開口を有する第
   １遮光部材と、 前記光検出器の周囲を覆うとともに、前記透過光が当該
   光検出器に入射するサンプル側に開口を有し、前記第１
   遮光部材の周囲からの外部光が無反射で直接的に前記光
   検出器に入射することを阻止する第２遮光部材と、 前記第１及び第２遮光部材間にサンプルを支持するステ
   ージと、 前記ステージと前記対物レンズとを光軸方向に相対的に
   移動させて合焦動作を行わせる合焦機構と、 前記測定用光源が発生する前記照明光のうち測定波長の
   光のみを選択的に取り出す第１フィルタと、 前記合焦機構が発生する焦点検出波長の光が前記光検出
   器に入射するのを防止する第２フィルタとを備えること
   を特徴とする透過率測定装置。
2. 【請求項２】 前記第１及び第２フィルタは、前記ステ
   ージと前記光検出器との間に配置される単一のフィルタ
   であることを特徴とする請求項１記載の透過率測定装
   置。