JP4827344B2 - 光学測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線領域の波長の測定光束を用いて照明される被測定物を自動合焦する合焦検出光学系を有する光学測定装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、光学測定装置、例えば、半導体マスク等の被測定物を結像させ、肉眼観察、又は、光電検出により被測定物の寸法、欠陥等を測定検査する光学測定装置が知られている。
【0003】
この種の光学測定装置では、被測定物に向けて測定光束を照射して被測定物を照明する照明光学系と、その被測定物に対向して配置される対物光学系とこの対物光学系の後方に配置された結像光学系とを有しかつ被測定物から到来する測定光束を結像させる測定用受光光学系とを備えているが、その結像光学系のピント合わせを行う必要があり、このため、この従来の光学測定装置では、被測定物の光軸方向上の位置を光電的に検出してその被測定物に自動的にピント合わせを行う合焦検出光学系が設けられている。
【0004】
この合焦検出光学系に用いる合焦検出光束には、測定光束に用いる光の波長とは異なる波長の光を用いて合焦検出光学系に測定光束が混入しないような工夫を施す必要があると共に、合焦検出光学系の一部を測定用受光光学系の一部である対物光学系と兼用させて、光学測定装置の光学系全体としてのコンパクト化、構成の簡易化を図ることが要望されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近時、この種の光学測定装置では、測定精度の向上をより一層図るために、測定光束に用いる光の波長を短波長にする試みが為され、紫外線領域の波長の光を測定光束に用いて、被測定物の測定、検査が行われている。
【0006】
しかしながら、この紫外線領域の波長の光を測定光束として用いることができるようにするために対物光学系を構成する対物レンズ群の光学レンズ設計を行うと、紫外線領域とは異なる波長領域での色収差が大きくなって、測定用受光光学系を構成する各光学素子と合焦検出光学系を構成する各光学素子とが干渉を起こして測定光束の合焦検出光学系への混入を避けがたく、このため、対物光学系の共用化を図りにくく、合焦検出光学系と測定用受光光学系とを別々に設けなければならず、光学測定装置全体としてのコンパクト化を図り難いという問題点がある。
【0007】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、測定光束として紫外線領域の波長の光を用いてその測定精度の向上を図ることにすると共に、合焦検出光学系を構成する各光学素子と測定用受光光学系を構成する各光学素子との一部を兼用させる構成として光学系全体としてのコンパクト化を図った場合であっても、測定光束の合焦検出光学系への混入を避けつつ被測定物に対する自動合焦を行うことのできる光学測定装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の光学測定装置は、被測定物に向けて紫外線領域の波長の測定光束を照射して前記被測定物を照明する照明光学系と、前記被測定物に対向して配置される対物光学系と該対物光学系の後方に配置された結像光学系とを有しかつ前記被測定物から到来する測定光束を結像させる測定用受光光学系と、前記被測定物に向けて合焦検出光束を投影して該被測定物からの反射光束を光電検出器に導きかつ該光電検出器の出力信号に基づき前記被測定物の合焦位置を検出する合焦検出光学系とを有する光学測定装置において、
前記合焦検出光束と前記測定光束とは異なる波長領域の光であり、前記対物光学系を境に前記被測定物と反対側に中心軸が前記対物光学系の光軸と合致する穴明きレンズが配設され、前記対物光学系は、前記被測定物からの測定光束を平行光束として前記穴明きレンズに向けて射出しかつ前記被測定物からの前記測定光束が前記対物光学系を通過する通過領域の外側に前記合焦検出光束を前記対物光学系を介して収束させて前記被測定物に導く収差特性を有し、前記穴明きレンズは、前記対物光学系から出射された平行光束をそのまま平行光束として通過させて前記光電検出器に導く開口部と前記合焦検出光束を前記対物光学系に導く通過領域とを有することを特徴とする。
【0009】
請求項2に記載の光学測定装置は、前記穴明きレンズの通過領域が円環状領域であることを特徴とする。
【0010】
請求項3に記載の光学測定装置は、前記穴明きレンズの通過領域が前記中心軸に関して対称な二つの合焦検出光束の通過領域であり、前記合焦検出光束は前記一方の通過領域から前記被測定物に導かれ、かつ、前記被測定物により反射された合焦検出光束は前記他方の通過領域を介して前記合焦検出光学系に導かれることを特徴とする。
【0011】
請求項4に記載の光学測定装置は、前記合焦検出系には、前記穴明きレンズと略共役な位置に配置した絞りを有することを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
(実施例1)
図1は本発明の光学測定装置の実施例1の光学図である。
【0013】
その図1において、1は照明光学系、2は測定用受光光学系、3は合焦検出光学系である。照明光学系1は透過照明系1Aと反射照明系1Bとからなっている。透過照明系1Aは照明光源4、集光レンズ5、反射ミラー6、リレーレンズ7、反射ミラー8、投光レンズ9から構成され、投光レンズ9は被測定物10の被検面10aに背後から臨んでいる。反射照明系1Bは集光レンズ11、反射ミラー12、リレーレンズ13、ハーフミラー14から構成されている。照明光源4は、紫外線領域の波長の光を測定光束として出射し、波長300nm以下の光を測定光束として用いるのが望ましく、ここでは、207.0nmの波長の光を出射するものとされている。光源4と集光レンズ5との間、光源4と集光レンズ11との間には、シャッター部材4a、11aが設けられ、透過照明系1Aを使用するときにはシャッター11aが反射照明系1Bの光路に挿入され、反射照明系1Bを使用するときには透過照明系1Aの光路にシャッター4aが挿入されるようになっている。
【0014】
測定用受光光学系2は対物光学系からなる対物レンズ15、穴明きレンズ16、ダイクロイックミラー17、ハーフミラー14、結像光学系18、受像素子(二次元光電検出器)19から構成されている。対物レンズ15は被測定物10の被検面10aに対向されて配設され、被測定面10に正面から臨んでいる。穴明きレンズ16は対物レンズ15を境に被測定物10とは反対側に配設されている。その穴明きレンズ16は図2に示すように開口部としての穴部16aを有し、符号O1はその中心軸である。その穴明きレンズ16の中心軸O1は測定用受光光学系2の光軸O2、すなわち、対物レンズ15の光軸と一致している。
【0015】
ダイクロイックミラー17は紫外線領域の波長の光を透過し、この紫外線領域以外の波長の光を反射する機能を有し、ここでは、波長400nm以上の光を反射する機能を有する。結像光学系18は穴明きレンズ16、ダイクロイックミラー17、ハーフミラー14を挟んで対物レンズ15の後方に設けられている。
【0016】
合焦検出光学系3は投光系3Aと受光系3Bとから構成されている。投光系3Aは光源20、投光レンズ系21、投光系絞り22、反射ミラー23、ビームエキスパンダー光学系24から構成されている。受光系3Bは受光系絞り25、反射ミラー26、結像レンズ系27、光電検出器28から構成されている。
【0017】
光源20は測定光束の波長領域の光とは異なる波長400nm以上の波長領域の可視光、又は赤外光を合焦検出光束として出射するもので、ここでは、波長670nmの可視光束を出射するものとされている。
【0018】
投光系絞り22は穴明きレンズ16の近傍位置とほぼ共役位置に設けられ、その投光系絞り22の像は測定用受光光学系3の光軸O2に関してその一側領域でかつ穴明きレンズ16の近傍位置に形成されるものとなっている。受光系絞り25は測定用受光光学系3の光軸O2を挟んで一側領域と対称位置にある他側領域と共役である。
【0019】
透過照明系1Aは集光レンズ5、反射ミラー6、リレーレンズ7、反射ミラー8、投光レンズ9を介して被測定物10の被検面10aを背後から照明する。反射照明系1Bは集光レンズ11、反射ミラー12、リレーレンズ13、ハーフミラー14、ダイクロイックミラー17、穴明きレンズ16の穴部16a、対物レンズ15を介して被測定物10の被検面10aを正面から照明する。
【0020】
対物レンズ15は図3に示すように波長300nm以下の波長領域で光学レンズ設計されており、被測定物10の被検面10aから到来する測定光束P1が対物レンズ15を通じて平行光束P2として後方の穴明きレンズ16に導かれるようになっている。
【0021】
穴明きレンズ16の穴部16aの直径は平行光束P2の光路径よりも若干大きく形成され、平行光束P2はその穴明きレンズ16に干渉されることなく、言い換えるとケラレることなく測定光束の通過領域としての穴部16aを通過してダイクロイックミラー17に導かれるものとなっている。
【0022】
その平行光束P2はダイクロイックミラー17、ハーフミラー14を通過した後、結像光学系18に導かれ、この結像光学系18により被検面10aの像が受像素子19に結像される。その受像素子19の出力は図示を略す画像処理回路に入力されて画像処理された後、テレビモニタの画面上に表示される。これにより、被検物体10の寸法測定、欠陥等が測定される。
【0023】
合焦検出光束P3は投光レンズ系21、投光系絞り22を介してビームエキスパンダー光学系24に導かれ、その合焦検出光束の径が拡大された後、平行光束としてダイクロイックミラー17に導かれ、このダイクロイックミラー17により反射されて穴明きレンズ16に導かれる。その投光系絞り22は測定用受光光学系2の光軸O2に関してその一側領域でかつ穴明きレンズ16の近傍位置と共役であるので、図2に示すように、穴明きレンズ16の中心軸O1に関して一側の通過領域16bを介して対物レンズ15に導かれる。対物レンズ15は波長207.0nmの波長領域の光に対して光学レンズ設計されており、従って、合焦検出光束P3は色収差の影響で図4に示すように穴明きレンズ16の通過領域16bを通って対物レンズ15に導かれ、対物レンズ15により被測定物10の被検面10aの光軸O2上に入射して収束され、光源20の点光源像が被検面10aに形成される。
【0024】
その被測定物10の被検面10aで反射された合焦検出光束P3は光軸O2に関して被測定物10の被検面10aに入射して収束する合焦検出光束P3の光路とは対称位置にある光路を通って図2に示す穴明きレンズ16の他側の通過領域16cに導かれてこれを通過する。
【0025】
その通過領域16cを通過した合焦検出光束P3はダイクロイックミラー17により反射され、ビームエキスパンダー光学系24に導かれてその合焦検出光束P3の径が縮小されて受光系絞り25に導かれ、この受光系絞り25を通過した後、結像レンズ系27に導かれて、光電検出器28に結像される。
【0026】
その通過領域16cと受光系絞り25とは共役関係にあるので、合焦検出光学系3に迷光が混入することは確実に防止される。
【0027】
被検面10が基準位置R1にあるとき、その光電検出器28の中央位置O4に光束の重心位置が位置するように合焦検出光束P3が収束され、被検面10が基準位置R1から矢印A1−A2方向にずれると、光電検出器28上での中央位置O4から合焦検出光束P3の重心位置が矢印B1−B1方向にずれることになり、その中央位置O4からのズレ量を演算して、被検面10aが基準位置R1に位置するようにフィードバックをかけることにより、ピント合わせが行われる。
【0028】
(実施例2)
図5は本発明に係わる光学測定装置の実施例2の光学系を示す図である。照明光学系1、受光用測定光学系2の構成は実施例1と同一であるので符号のみを付して、その詳細な説明は省略し、合焦検出光学系3の構成についてのみ説明することとする。
【0029】
ここでは、投光系3Aは光源30、投光レンズ系31、投光系輪帯状絞り32、ハーフミラー33、ビームエキスパンダー光学系34から構成され、受光系3Bは受光系輪帯状絞り35、反射ミラー36、結像レンズ系37、ビームスプリッタ38、反射ミラー39、光電検出器40、41から構成されている。投光系輪帯状絞り32は穴明きレンズ16の近傍位置と光学的に共役である。受光系輪帯状絞り5は投光系輪帯状絞り32と光学的に共役であり、従って、穴明きレンズ16の近傍位置とも光学的に共役である。
【0030】
光電検出器40、41は結像レンズ系37の合焦位置Qの前後に配設されて、光電検出器40は合焦位置Qの前側ピント位置を検出する役割を果たし、光電検出器41は合焦位置Qの後側ピント位置を検出する役割を果たし、前側ピント位置光電検出器40の受光出力と後側ピント位置光電検出器41の受光出力とが等しいときに、被検面10aが基準位置R1に位置するように設定され、前側ピント位置光電検出器40の受光出力と後側ピント位置光電検出器41の受光出力とが異なるときには、その差分出力が小さくなる方向に被測定物10が移動されるように制御するようになっている。
【0031】
この実施例2では、図6に示すように、合焦検出光束P3は穴明きレンズ16の環状領域16dの全域を通過して対物レンズ15に導かれ、この対物レンズ15を通じて被検面10aに収束され、被検面10aにより反射された合焦検出光束P3は発散光束としてその対物レンズ15を介して穴明きレンズ16の環状領域16dを通過して再び合焦検出光学系3に導かれることになる。
【0032】
なお、上述の実施例では、測定光束の波長としては207.0nmの波長の光束を使用し、合焦検出用光束の波長としては670nmの光束を使用しているが、その波長に限定されず、測定光束の波長を300nm以下で、合焦検出用光束の波長を400nm以上にすれば、その波長の違いによる色収差は充分大きく発生し、測定光束に干渉しない位置に穴明きレンズを配置することができる。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、紫外線領域の波長を測定光束として用いて、紫外線領域の波長で対物レンズを設計すると、紫外線領域の光の波長とは異なる波長領域の光の色収差が発生することに鑑み、この紫外線領域の光の波長とは異なる波長領域の光の色収差を積極的に利用したもので、被測定物により反射された測定光束と合焦検出光束とがその対物レンズの有する色収差により対物レンズの後方で分離され、対物レンズの後方では被測定物により反射された測定光束の通過領域と被測定物により反射された合焦検出光束の通過領域とが確実に分離されることとなり、従って、その対物レンズの後方にその合焦検出光束の穴明きレンズを設けることにより、合焦検出光学系と測定用受光光学系との一部を兼用させる構成として光学系全体としてのコンパクト化を図った場合であっても、測定光束の合焦検出光学系への混入を避けつつ被測定物に対する自動合焦を行うことができるという効果を奏する。また、本願における穴明きレンズは、1つのレンズで合焦検出光学系の投光系及び受光系に使用することができるため光学部品及びその保持部材を簡易にすることができると共に、穴明きレンズの中心軸を、対物光学系の光軸と同軸になるように配置するだけで良く、組み立て調整も容易であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の光学測定装置の一例を示す光学図である。
【図2】 図1に示す穴明きレンズの平面図である。
【図3】 対物光学系の一例を示す説明図であって、被測定物により反射された測定光束の光線を示す光線説明図である。
【図4】 対物光学系の一例を示す説明図であって、被測定物により反射された合焦検出用光束の光線を示す光線説明図である。
【図5】 本発明の光学測定装置の他の例を示す光学図である。
【図6】 図5に示す穴明きレンズを通過する合焦検出光束の通過領域の説明図である。
Claims (4)
- 被測定物に向けて紫外線領域の波長の測定光束を照射して前記被測定物を照明する照明光学系と、
前記被測定物に対向して配置される対物光学系と該対物光学系の後方に配置された結像光学系とを有しかつ前記被測定物から到来する測定光束を結像させる測定用受光光学系と、
前記被測定物に向けて合焦検出光束を投影して該被測定物からの反射光束を光電検出器に導きかつ該光電検出器の出力信号に基づき前記被測定物の合焦位置を検出する合焦検出光学系とを有する光学測定装置において、
前記合焦検出光束と前記測定光束とは異なる波長領域の光であり、
前記対物光学系を境に前記被測定物と反対側に中心軸が前記対物光学系の光軸と合致する穴明きレンズが配設され、
前記対物光学系は、前記被測定物からの測定光束を平行光束として前記穴明きレンズに向けて射出しかつ前記被測定物からの前記測定光束が前記対物光学系を通過する通過領域の外側に前記合焦検出光束を前記対物光学系を介して収束させて前記被測定物に導く収差特性を有し、
前記穴明きレンズは、前記対物光学系から出射された平行光束をそのまま平行光束として通過させて前記光電検出器に導く開口部と前記合焦検出光束を前記対物光学系に導く通過領域とを有することを特徴とする光学測定装置。 - 前記穴明きレンズの通過領域が円環状領域であることを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
- 前記穴明きレンズの通過領域が前記中心軸に関して対称な二つの合焦検出光束の通過領域であり、前記合焦検出光束は前記一方の通過領域から前記被測定物に導かれ、かつ、前記被測定物により反射された合焦検出光束は前記他方の通過領域を介して前記合焦検出光学系に導かれることを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。
- 前記合焦検出系には、前記穴明きレンズと略共役な位置に配置した絞りを有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の光学測定装置。
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