JPH09148413A - 回転処理装置、基板位置決め装置、および基板位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を回転させることなく基板の存在位置を
確認して位置合わせする。 【解決手段】 回転可能なスピンチャック１２を静止さ
せた状態で、ウェハ１１を進行方向に所定単位寸法ごと
に進行させつつ、進行方向と直交する方向のウェハ１１
の端縁位置を順次検出し、前回に検出した端縁位置とこ
れに後続して検出した端縁位置との大小関係について順
次比較を行い、比較の結果が増大傾向から減少傾向に転
じたときの端縁位置をウェハ１１の中心位置として認識
し、これに基づいてウェハ１１を位置合わせする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＩＣ、ＬＳ
Ｉ、液晶表示装置等の電子部品等の製造工程における微
細パターンの形成工程等において、シリコンウェハに代
表される半導体基板、あるいは誘電体、金属、絶縁体等
の略円形の基板を回転させて、フォトレジスト液の塗布
や現像、基板周辺部に対する露光などの処理を行う回転
処理装置とその構成部分としての基板位置決め装置、お
よび基板位置決め方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】略円形の基板をスピンチャックに保持し
て処理するものとしては、エッジ露光装置、スピンコー
タまたはデベロッパ等の回転処理装置がある。これらの
回転処理装置では、処理される基板は例えばいわゆる搬
送ロボット等の搬送手段によって搬送されてスピンチャ
ックへ渡される。ところが、このとき基板の中心とスピ
ンチャックの回転中心が偏心（位置ズレ）していると、
各プロセスに不具合をもたらす。例えば、コータやデベ
ロッパなどでは薬液が均一に塗れないといった問題が発
生するし、エッジ露光装置では正確な位置にエッジ露光
ができないといった問題が発生する。そこで、かかる偏
心を極力少なくすることが重要である。そのため、基板
を処理する際に基板が搬送手段からスピンチャックへ偏
心なく正しく渡されているかを確認する作業が行われた
り、あるいはまた、組み立てられた装置あるいは修理調
整などの行われた後の装置に対しては、その装置の搬送
手段からスピンチャックヘの基板の搬送が正しく行われ
るかを確認する作業が行われ、また正しく行われない場
合には正しく行われるように搬送手段等を調整するいわ
ゆるティーチングと呼ばれる作業が行われる。

【０００３】｛第１の従来例｝第１の従来例において
は、スピンチャックに基板を吸着保持させた状態で、こ
れを人間が手動で回転させ、これを目視することにより
ティーチングを行っていた。

【０００４】｛第２の従来例｝図１１は第２の従来例
（特開平６−１２４８８５参照）の回転処理装置を示す
図である。第２の従来例の回転処理装置は、搬送手段で
あるアーム部１によってスピンチャック２上へ基板３を
搬送し、その位置合わせを自動的に行うものである。第
２の従来例では、まず基板３をスピンチャック２上に載
置し、センサ４を基板３の周縁部に位置決めさせた状態
で基板３を回転させ、このときのセンサ出力の変化に基
づいて、基板３のオリエンテーションフラット（以下、
オリフラと略称する）の位置を求める。また、センサ４
をサーチ状態にし、基板３の外側よりセンサ４を基板３
に近づける操作を基板３の中心部に対して反対方向から
行いつつ、このときのセンサ出力の変化を検出すること
で、基板３の位置、偏心量を求める。そして、ここで得
られたオリフラの位置や偏心量に基づいてアーム部１を
操作し、基板３を適正な位置に載置し直す。図１１中の
符号５はチャック回転用モータ、符号６はセンサ駆動用
モータ、符号７はアーム駆動用モータ、符号８は制御部
である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】第１の従来例では、目
視によって位置合わせを行っていたため、位置決め精度
は作業者の熟練度によってばらつきがあり、加えて多大
な作業時間を必要とするという課題があった。特に、回
転処理装置の配置によっては、人間が位置合わせをしに
くい位置にあることもあり、この場合に正確に位置合わ
せを行うには極めて多大な時間を必要としてしまう。

【０００６】第２の従来例では、自動化処理によって、
位置合わせにおける時間効率を向上できるという利点は
あるものの、一旦、基板をスピンチャックに載置してス
ピンチャックを回転させるという動作を行ってからでな
ければ基板の存在位置を知ることができず、その分、時
間がむだになる。

【０００７】また、前述のように基板をスピンチャック
に載置してから基板の存在位置を知るものでは、組立誤
差等のため最初に搬送手段がスピンチャックへ基板を渡
す位置のズレが大きい場合に、基板をスピンチャックへ
載置すること自体ができないおそれがあり、またセンサ
やその他の諸部品の設置場所等によっては、基板のスピ
ンチャックヘの載置時や回転時に基板がそれらセンサや
諸部品に接触あるいは衝突し、基板や装置を破損したり
する虞がある。

【０００８】本発明は、上記課題に鑑み、基板を回転さ
せることなく基板の存在位置を知ることができ、基板の
載置動作やティーチング作業を安全確実にかつ迅速に行
うことができる基板位置決め装置と基板位置決め方法を
提供することを目的とする。また本発明は、基板のスピ
ンチャックヘの載置動作やティーチング作業を安全確実
にかつ迅速に行うことができ、さらにスピンチャックへ
正確に位置決めして載置できる回転処理装置、基板位置
決め装置、および基板位置決め方法を提供することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、基板を回転可能に保持するための保持手段を有した
回転処理器と、前記基板を支持しつつ所定の進行方向に
進行しながら前記保持手段に搬送する搬送手段と、前記
進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を検出す
る位置検出器と、前記位置検出器での検出結果に基づい
て前記搬送手段を制御する制御部と、を備える。

【００１０】前記制御部は、静止する前記保持手段に対
して前記基板を所定の精度で位置合わせするよう制御す
るプリティーチング部と、前記プリティーチング部での
位置合わせ後において前記保持手段を回転させつつ前記
基板の中心を前記保持手段の回転中心に合わせるよう制
御するメインティーチング部と、を備える。

【００１１】そして、前記プリティーチング部は、前記
搬送手段の前記進行方向への進行を指示する進行指示手
段と、前記搬送手段の進行に応じて前記位置検出器で得
られた前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位
置を順次読み込む読込指示手段と、前記読込指示手段で
読み込んだ前記進行方向と直交する方向の前記基板の端
縁位置のうち最も外側に位置する端縁位置を検出し当該
最も外側に位置する端縁位置の前記進行方向の座標を前
記基板の中心位置に対応する位置座標として認識する中
心対応位置検出手段と、前記中心対応位置検出手段によ
り検出した前記基板の前記中心位置に対応する位置座標
に基づいて前記基板の中心を前記保持手段の回転中心に
対応させるよう前記搬送手段の前記進行方向の移動を指
示する駆動制御手段と、を備える。

【００１２】請求項１に記載の発明では、プリティーチ
ング部の進行指示手段からの指示によって、搬送手段が
進行方向へ進行する。かかる進行に応じて、読込指示手
段によって、位置検出器で得られた進行方向と直交する
方向の基板の端縁位置を順次読み込む。そして、中心対
応位置検出手段によって、読込指示手段で読み込んだ進
行方向と直交する方向の基板の端縁位置のうち最も外側
に位置する端縁位置を検出し、当該最も外側に位置する
端縁位置の進行方向の座標を基板の中心位置に対応する
位置座標として認識する。次に、駆動制御手段によっ
て、中心対応位置検出手段により検出した基板の中心位
置に対応する位置座標に基づいて、基板の中心を保持手
段の回転中心に対応させるよう搬送手段の進行方向の移
動を指示し、所定の精度でのプリティーチング処理を完
了する。これにより、基板を回転させることなく基板の
存在位置を知ることができ、基板のスピンチャックへの
載置動作やティーチング作業を安全確実にかつ迅速に行
うことができる。そして、しかる後、保持手段を回転さ
せつつメインティーチング部によってメインティーチン
グ処理を行う。このように、メインティーチング処理の
前工程としてプリティーチング処理を行っているので、
メインティーチング時に基板を回転させる際に、基板が
周辺部材へ接触したり衝突したりするのを防止でき、し
かもプリティーチングを行った後にさらにメインティー
チングを行っているので、基板をスピンチャックヘ正確
に位置決めして載置できる。

【００１３】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の回転処理装置であって、前記読込指示手段で読み込ん
だ前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置が
予め設定された進入禁止領域内であるか否かを検出する
進入禁止検出手段をさらに有し、前記中心対応位置検出
手段は、前記進入禁止検出手段で前記進入禁止領域内の
データがなかったとの結果が得られたときにのみその旨
を判断して前記最も外側に位置する端縁位置を検出する
動作判断手段を有し、前記駆動制御手段は、前記進入禁
止検出手段で前記進行方向と直交する方向の前記基板の
端縁位置が前記進入禁止領域内であるとの結果を得られ
た場合に前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁
位置を前記進入禁止領域より外側へ移動させるよう前記
基板の前記直交する方向の位置修正を行う直交方向修正
手段を有する。

【００１４】請求項２に記載の発明では、進入禁止検出
手段によって、読込指示手段で読み込んだ進行方向と直
交する方向の基板の端縁位置が予め設定された進入禁止
基準位置より外側であるか否かを検出する。進入禁止検
出手段で進入禁止基準位置より外側のデータがなかった
との結果が得られたときは、中心対応位置検出手段によ
ってその旨を判断し、その後に最も外側に位置する端縁
位置を検出する。一方、進入禁止検出手段で進行方向と
直交する方向の基板の端縁位置が進入禁止基準位置より
外側であるとの結果を得られたときは、駆動制御手段に
よって、進行方向と直交する方向の基板の端縁位置を進
入禁止基準位置より内側へ移動させるよう位置修正を行
う。これにより、進行方向だけでなく、進行方向に直交
する方向についての位置合わせをも効率よく行うことが
できる。

【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の回転処理装置であって、前記中心対応
位置検出手段は、前記進行指示手段での前記所定単位寸
法の進行ごとに前回に検出した端縁位置とこれに後続し
て検出した端縁位置とを比較する比較手段と、該比較手
段での比較の結果が増大傾向から減少傾向に転じたとき
の端縁位置を前記最も外側に位置する端縁位置として認
識する認識手段と、を有する。

【００１６】請求項３に記載の発明では、中心対応位置
検出手段によって、進行指示手段での所定単位寸法の進
行ごとに前回に検出した端縁位置とこれに後続して検出
した端縁位置とを比較し、その結果が増大傾向から減少
傾向に転じたときの端縁位置を最も外側に位置する端縁
位置として認識し、これに基づいて搬送手段の進行方向
の移動を指示してプリティーチング処理を行う。これに
より、効率のよい位置認識を行うことができる。

【００１７】請求項４に記載の発明は、所定の保持手段
に対して基板を所定の精度で位置合わせする基板位置決
め装置であって、前記基板を支持しつつ所定の進行方向
に進行しながら前記保持手段に搬送する搬送手段と、前
記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を検出
する位置検出器と、前記搬送手段の前記進行方向への進
行を指示する進行指示手段と、前記搬送手段の進行に応
じて前記位置検出器で得られた前記進行方向と直交する
方向の前記基板の端縁位置を順次読み込む読込指示手段
と、前記読込指示手段で読み込んだ前記進行方向と直交
する方向の前記基板の端縁位置の座標に基づいて前記基
板の中心位置に対応する位置座標を検出する中心対応位
置検出手段と、を備える。

【００１８】請求項４に記載の発明では、進行指示手段
からの指示によって、搬送手段が進行方向へ進行する。
かかる進行に応じて、読込指示手段によって、位置検出
器で得られた進行方向と直交する方向の基板の端縁位置
を順次読み込む。そして、中心対応位置検出手段によっ
て、読込指示手段で読み込んだ進行方向と直交する方向
の基板の端縁位置の座標に基づいて基板の中心位置に対
応する位置座標を検出する。これにより、所定の精度で
の基板の位置決めを効率よく行うことができる。

【００１９】請求項５に記載の発明は、基板を所定の進
行方向に進行させつつ前記基板の進行に応じて前記進行
方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を順次検出す
る検出工程と、検出した端縁位置情報に基づいて前記基
板の中心位置を算出する工程と、を備える。

【００２０】請求項５に記載の発明では、基板を所定の
進行方向に進行させつつ基板の進行に応じて進行方向と
直交する方向の基板の端縁位置を順次検出し、検出した
端縁位置情報に基づいて基板の中心位置を算出している
ので、基板を回転させることなく基板の存在位置を知る
ことができ、基板のスピンチャックへの載置動作やティ
ーチング作業を安全確実にかつ迅速に行うことができ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】

＜構成＞本発明の一の実施の形態の回転処理装置とし
て、エッジ露光装置を例に挙げて説明する。図１はこの
実施の形態の回転処理装置であるエッジ露光装置を示
し、エッジ露光装置は、オリフラが形成された略円形の
半導体ウェハ（以下、単にウェハと称する）１１を回転
可能に吸着保持するスピンチャック１２を備えた回転処
理器１３と、ウェハ１１を支持するロボットアーム１４
を備えてそのウェハ１１をスピンチャック１２へ搬送し
受け渡しする搬送機構ＴＲとよりなり、さらにこれら回
転処理器１３と搬送機構ＴＲの両方を制御しその動作を
司る主制御部２８を備える。

【００２２】回転処理器１３は、モータ２１と、そのモ
ータ２１の軸２０に取り付けられて回転駆動されるスピ
ンチャック１２と、モータ２１を駆動する駆動回路２０
Ａと、その駆動回路２０Ａを介してモータ２１を制御す
る回転制御部１７とを有する。また、モータ２１にはそ
の回転角度や回転位置の情報を符号化して出力するエン
コーダ２２が取り付けられ、その出力はカウンタ２３を
介して回転制御部１７に入力される。さらに、スピンチ
ャック１２の近傍には、光源及び光学レンズ等を内蔵
し、スピンチャック１２上のウェハ１１の端縁に光を照
射する光照射器１０と、スピンチャック１２上のウェハ
１１の端縁の位置を後述のように検出するＣＣＤセンサ
１６とが設けられている。ＣＣＤセンサ１６の出力はＡ
／Ｄ変換器２９を介して回転制御部１７に入力され、回
転制御部１７はＣＣＤセンサ１６やエンコーダ２２から
の信号に基づき、また、主制御部２８の制御を受けて、
回転処理器１３の各部の動作を制御する。なお、回転制
御部１７には、後述するデータを記憶する記憶部１８が
付設されている。

【００２３】搬送機構ＴＲは、回転処理器１３のスピン
チャック１２の側方を通過するＹ軸レール２５Ａと、Ｙ
軸レール２５ＡにそってそのＹ軸レール２５Ａ上を移動
するロボットアーム１４とを備え、またロボットアーム
１４をＹ軸レール２５Ａにそって図示しないギア等によ
り移動させるモータ２５と、ロボットアーム１４を図示
しないギア等によりＹ軸レール２５Ａと直交する方向に
進退移動させるモータ２４とを備える。モータ２４，２
５はＸ，Ｙ軸駆動回路２６を介して搬送制御部２７に接
続され、搬送制御部２７は主制御部２８の制御を受け
て、モータ２４，２５を制御する。

【００２４】ここで、図２に示すように、Ｙ軸レール２
５Ａの方向をＹ方向、そのＹ方向と直交する方向をＸ方
向とすると、ロボットアーム１４はＹ方向及びＸ方向に
移動自在となっている。回転処理器１３に設けられたＣ
ＣＤセンサ１６は一次元のものであって、所定の長さの
投光部１６Ａおよび受光部１６Ｂを備え、投光部１６Ａ
および受光部１６Ｂの長手方向が、スピンチャック１２
の中心を通る直線上であってかつＹ軸レール２５Ａと平
行になるように設けられている。そしてＣＣＤセンサ１
６は、ウェハ１１がロボットアーム１４によってスピン
チャック１２へ搬送される際に、そのウェハ１１のＹ方
向の端縁位置を０から１０の度数で検出する。

【００２５】主制御部２８はいわゆるマイクロコンピュ
ータより構成され、同じくマイクロコンピュータより構
成される搬送制御部２７と回転制御部１７を介して、搬
送機構ＴＲと回転処理器１３の動作を制御する。通常の
処理、すなわち、ウェハ１１の端縁に対して紫外線を照
射してその部分に塗布されているフォトレジストを感光
させる処理を行う場合、主制御部２８においては、搬送
機構ＴＲを駆動してウェハ１１を回転処理器１３のスピ
ンチャック１２へ搬入し、スピンチャック１２を回転さ
せつつ光照射器１０を駆動してウェハ１１に紫外線を照
射し、照射終了後には搬送機構ＴＲにより処理済みのウ
ェハ１１を搬出するという処理の内容を、搬送制御部２
７と回転制御部１７に伝え、それら搬送制御部２７と回
転制御部１７が搬送機構ＴＲと回転処理器１３とを制御
して処理を実行する。

【００２６】さて、装置の組立完了後や修理調整などの
行われた後には、その装置に対して搬送機構ＴＲから回
転処理器１３へのウェハ１１の搬送のためのティーチン
グが行われるが、かかるティーチングは、主制御部２８
からティーチングを行う旨の信号に応じて回転制御部１
７がその制御プログラムにより行う。かかるティーチン
グのための制御プログラムは、図４の如く、プリティー
チングＰ１とメインティーチングＰ２とからなってい
る。プリティーチングＰ１では、ウェハ１１を回転させ
ることなく所定の精度で位置あわせを行い、メインティ
ーチングＰ２ではスピンチャック１２を回転させてウェ
ハ１１を回転させることで更に精密に位置あわせを行
う。それぞれのフローチャートの詳細については後述す
るが、まず、ここではそれらを図３の機能ブロック図を
用いて回転制御部１７の動作について説明する。

【００２７】回転制御部１７は、プリティーチング部１
７Ａとメインティーチング部１７Ｂとを有している。

【００２８】プリティーチング部１７Ａは、メインコン
トローラ２８および搬送制御部２７を介してＸ，Ｙ軸駆
動回路２６に対してロボットアーム１４のＸ軸方向への
進行を指示する進行指示手段３１と、ロボットアーム１
４の進行に伴ってＣＣＤセンサ１６で得られたＹ軸方向
の端縁位置を順次読み込む読込指示手段３２と、読込指
示手段３２で読み込んだＹ軸方向の端縁位置について記
憶部１８内に予め記憶設定された進入禁止領域内である
か否かを検出する進入禁止検出手段３３と、進入禁止領
域内のデータがなかった場合に読込指示手段３２で読み
込んだＹ軸方向の端縁位置のうち最も外側に位置する端
縁位置をウェハ１１のＸ軸方向での中心位置に対応する
ものとして検出する中心対応位置検出手段３４と、進入
禁止検出手段３３および中心対応位置検出手段３４での
検出結果に基づいてメインコントローラ２８および搬送
制御部２７を介してＸ，Ｙ軸駆動回路２６に対してロボ
ットアーム１４の制御信号を出力するプリティーチング
駆動制御手段３５とを備える。

【００２９】進行指示手段３１は、プリティーチング開
始以前は、ロボットアーム１４が初期設定位置に移動す
るよう指示するとともに、プリティーチング開始後は、
ロボットアーム１４に対してスピンチャック１２方向へ
の所定の単位移動量（０．５〜１．０ｍｍ程度）ごとの
進行を指示する機能を有している。

【００３０】読込指示手段３２は、ロボットアーム１４
の単位移動量ごとの進行に伴ってＣＣＤセンサ１６およ
びＡ／Ｄ変換器２９を通じて得たウェハ１１のＹ軸方向
の端縁位置を順次読み込む。

【００３１】進入禁止検出手段３３は、記憶部１８に予
め記憶設定された進入禁止基準位置Ｙ_redと、読込指示
手段３２で読み込んだウェハ１１のＹ軸方向の端縁位置
とを比較し、ウェハ１１が進入禁止領域内へ入ってるか
否かを判断するものである。なお、ここで進入禁止領域
とは、読み込んだデータをグラフ化した図７において、
Ｙ方向の値が所定の進入禁止基準位置Ｙ_REDよりも大で
ある領域、すなわち、図７中のＹ＝Ｙ_RED線よりも左側
の領域（斜線部）をいう。

【００３２】進入禁止基準位置Ｙ_redとしては、ＣＣＤ
センサ１６の長手方向について例えば度数９を設定し、
読み込んだ端縁位置がその度数を越える場合に進入禁止
領域内へ入っているものとする。当該進入禁止基準位置
Ｙ_redは、ウェハ１１をスピンチャック１２の縦軸２０
中心に回転させた際に周辺の部材に接触あるいは衝突す
るか否かを基準に予め設定される。

【００３３】中心対応位置検出手段３４は、進入禁止検
出手段３３で進入禁止領域内のデータがなかったとの結
果が得られたときにのみその旨を判断して最も外側に位
置する端縁位置を検出する（動作判断手段）とともに、
先だって読み込んだウェハ１１の端縁位置と後続して読
み込んだウェハ１１の端縁位置とを比較して、その大小
関係が逆転する時点でウェハ１１の中心位置に対応して
いる旨を判断する（比較手段）ものである。

【００３４】駆動制御手段３５は、進入禁止検出手段３
３でＹ軸方向の端縁位置が進入禁止領域内であるとの結
果を得られた場合にＹ軸方向の端縁位置を領域外のウェ
ハ１１の中心の方向（逆Ｙ軸方向）へ移動させるようロ
ボットアーム１４の制御を行う（Ｙ軸方向修正手段）と
ともに、中心対応位置検出手段３４により検出したウェ
ハ１１の中心位置に基づきウェハ１１の中心をスピンチ
ャック１２の回転中心に一致させるようロボットアーム
１４のＸ軸方向での制御を行う（Ｘ軸方向修正手段）も
のである。当該プリティーチング部１７Ａと、ロボット
アーム１４と、ＣＣＤセンサ１６とから、スピンチャッ
ク１２に対してウェハ１１を所定の精度で位置合わせす
る基板位置決め装置が構成される。

【００３５】一方、メインティーチング部１７Ｂは、駆
動回路２０Ａを介してモータ２１の縦軸２０を所定の単
位回転角度θ_STEP（２２．５゜）ごとに回転させるよ
う指示する回転指示手段４１と、モータ２１の縦軸２０
の単位回転角度θ_STEPごとの回転に伴ってＣＣＤセン
サ１６で得られたＹ軸方向の端縁位置を回転中心点から
の距離データとして順次読み込む読込指示手段４２と、
距離データおよびこれに対応する回転角度で表される極
座標系データを直交座標系データに変換する座標変換手
段４３と、読込指示手段４２で読み込んだ距離データの
うちウェハ１１のオリフラに対応する距離データ（以
下、オリフラデータと称す）を検出するオリフラデータ
検出手段４４と、オリフラデータ検出手段４４で検出し
たオリフラデータと回転中心点を中心として当該オリフ
ラデータに対して９０゜，１８０゜，および２７０゜に
位置するデータとを削除するデータ削除手段４５と、デ
ータ削除手段４５で削除されなかった直交座標系の座標
データの平均値の２倍を演算することでウェハ１１の中
心点の座標を求める中心点演算手段４６と、中心点演算
手段４６での演算結果に基づいてメインコントローラ２
８および搬送制御部２７を介してＸ，Ｙ軸駆動回路２６
に対してロボットアーム１４の制御信号を出力するメイ
ンティーチング駆動制御手段４７と、を備える。なお、
プリティーチング部１７Ａおよびメインティーチング部
１７Ｂの具体的な機能については後述の動作の説明にお
いて詳述する。

【００３６】＜動作＞上記構成の回転処理装置において
は、図４の如く、プリティーチング（ステップＰ１）と
メインティーチング（ステップＰ２）の２段階のティー
チング処理を行う。

【００３７】１）プリティーチング処理 図５および図６は、プリティーチング処理を詳述するた
めのフローチャートであり、両図は連結記号，によ
って連続している。また、図５および図６では、簡便の
ため、搬送機構ＴＲのロボットアーム１４を「ＴＲ」と
表現することにする。なお、ここにおいて、Ｘ₁，Ｙ₁は
ＣＣＤセンサ１６上の位置であって、この位置にウェハ
１１の端縁の極大値が来たときにティーチング終了とな
る目標値を示す。プリティーチング処理時には、図５お
よび図６の如く、ステップＳ１において、ウェハ１１を
ロボットアーム１４上にセットする。ティーチングに使
用するウェハ１１としては、通常、ティーチング専用の
真円形状のティーチングウェハを用いるが、場合によっ
てはオリフラを有する実際の半導体ウェハそのものを用
いてもよい。

【００３８】次に、ステップＳ２において、ロボットア
ーム１４のＹ軸座標値Ｙ_trが予め設定された初期位置Ｙ
_INITになるよう、Ｘ，Ｙ軸駆動回路２６によってロボッ
トアーム１４を移動させ、Ｘ−Ｙ直交座標におけるロボ
ットアーム１４の位置（Ｘ_tr，Ｙ_tr）を（０，Ｙ_INIT）
とする。同時に、ステップＳ３において、ＣＣＤセンサ
１６での検出回数Ｎを０に初期化しておく。

【００３９】そして、ステップＳ４〜Ｓ１３において、
Ｘ座標上の位置Ｘ_trは、検出回数Ｎが増すごとに進行指
示手段３１によって単位移動量Ｘ_{_STEP}だけロボットア
ーム１４を前進させつつ、そのときのウェハ１１のＹ軸
方向の端縁位置を読込指示手段３２によって順次読み込
み、読み込んだＹ軸方向の端縁位置のうち最も外側に位
置する端縁位置を中心対応位置検出手段３４によってウ
ェハ１１のＸ軸方向での中心位置に対応するものとして
検出する。以下、ステップＳ４〜Ｓ１３での具体的な動
作を詳述する。

【００４０】ステップＳ４では、検出回数Ｎが予め設定
された最大値Ｎ_{_MAX}以上となっているか否かを比較判断
する。Ｓ３においてＮ＝０としているので、検出回数Ｎ
（＝０）はＮ_{_MAX}未満となるため、判断結果は「Ｎｏ」
となるので、そのままステップＳ５に進む。ステップＳ
５では、ロボットアーム１４を、Ｘ軸座標値Ｘ_trについ
て次式（数１）が成立するように、進行指示手段３１に
よってＸ軸方向に移動させる。なお、数１中の変数Ｘ
_{_STEP}は、ロボットアーム１４の１回当たりのＸ軸方向
への単位移動量（０．５〜１．０ｍｍ）である。なお、
この時点での検出回数Ｎは０であるが、後述のように検
出回数Ｎが増すごとに進行指示手段３１によって単位移
動量Ｘ_{_STEP}だけロボットアーム１４を前進させること
になる。

【００４１】

【数１】

【００４２】このとき、ウェハ１１の中心が荒い精度で
スピンチャック１２の中心近傍に位置することになる。
ここで、ロボットアーム１４を降下させ、ウェハ１１を
スピンチャック１２の上面に暫定的に載置させた後（ス
テップＳ６）、Ｘ_tr＝０になるようロボットアーム１４
を退避させる（ステップＳ７）。

【００４３】ステップＳ８では、ＣＣＤセンサ１６の長
手方向（すなわちＹ軸方向）について、読込指示手段３
２の指示にしたがってウェハ１１の端縁位置（０〜１０
の範囲）を読み取り、SEN[Ｎ]（ただしＮ＝０）として
一時的に記憶する。そして、ロボットアーム１４を上記
数１の位置に移動させてウェハ１１を取り上げ（ステッ
プＳ９）、ウェハ１１を保持した状態で再びロボットア
ーム１４を原点（Ｘ_tr＝０）に復帰させる（ステップＳ
１０）。

【００４４】ステップＳ１１では、SEN[Ｎ]と、ＲＡＭ
１８に予め記憶設定された進入禁止基準位置Ｙ_redとを
進入禁止検出手段３３によって比較し、ウェハ１１の端
縁が進入禁止領域内へ入っているか否かを判断する。

【００４５】ここで、SEN[Ｎ]＞Ｙ_redの場合は、ウェハ
１１の端縁が進入禁止領域内へ入っていると判断し（図
７中のエラーＮｏ２）、ステップＳ１２に進み、エラー
表示をした後、ウェハ１１の位置の再調整を行い、ステ
ップＳ１から再度の処理をやり直す。

【００４６】一方、SEN[Ｎ]≦Ｙ_redの場合は、ウェハ１
１の端縁が進入禁止領域へ入っていないと判断し、ステ
ップＳ１３に進む。ここでは、まず、Ｎ≠０（すなわち
Ｎ＞０）かどうかを判断する。そして、Ｎ＞０の場合
は、中心対応位置検出手段３４により、ウェハ１１のＹ
軸方向の端縁位置のうち最も外側に位置する端縁位置を
ウェハ１１のＸ軸方向での中心位置に対応するものとし
て検出する（位置認識工程）。具体的には、まず、ウェ
ハ１１のＹ軸方向の極大値を示す位置を経過したか否か
（すなわちSEN[Ｎ]−SEN[Ｎ−１]＜０かどうか）を比較
演算する（比較手段）。なお、現時点では１回目の検出
であるためＮ＝０であり、故にステップＳ１４に進む。
そして、検出回数Ｎに「Ｎ＋１（＝０＋１＝１）」を代
入し、２回目の検出を行うためにステップＳ４に戻る。
以後、２回目以降（Ｎ＝１，２，…）の検出について、
SEN[Ｎ]−SEN[Ｎ−１]≧０である限り、ステップＳ４〜
Ｓ１４の動作を繰り返し行う。ここで、SEN[Ｎ]−SEN
[Ｎ−１]≧０であるということは、ロボットアーム１４
を進行方向（Ｘ軸方向）に進行させるにしたがって、ウ
ェハ１１の端縁位置がＹ軸方向に沿って増加傾向となる
かまたは等しい状態にあることを示している。そして、
ステップＳ１３において、減少傾向、すなわちSEN[Ｎ]
−SEN[Ｎ−１]＜０となったとき、ウェハ１１のＹ軸方
向の極大値を示す位置を経過したものと認識（認識手
段）できるため、その後、ステップＳ１５に進む。

【００４７】ステップＳ１５では、Ｎ＝１か否かを判断
する。この時点でＮ＝１であった場合は、Ｎ＝０の時点
で、既にウェハ１１のＹ軸方向の極大値を示す位置を経
過していた（図７中のエラーＮｏ３）と判断でき、この
ままロボットアーム１４を進行方向に進行させてもウェ
ハ１１のＹ軸方向の極大値を示す位置を検出できないた
め、ステップＳ１６においてエラー表示をした後、ウェ
ハ１１の位置の再調整を行い、ステップＳ１から再度の
処理をやり直す。

【００４８】一方、ステップＳ１５において、Ｎ≠１
（すなわちＮ≧２）の場合は、Ｎ＝０，１，…と増加傾
向または等価状態を示した後に最終的に減少傾向を示し
たことになるため、ウェハ１１のＹ軸方向の極大値を示
す位置を検出したことになり、故に、プリティーチング
駆動制御手段３５によって、次式（数２）の（Ｘ_tr，Ｙ
_tr）のようにプリティーチング位置の座標を定義する。
数２の矢印「←」の右辺はステップＳ１５までの時点の
各値、左辺はステップＳ１７以降の時点の各値を意味し
ている。

【００４９】

【数２】

【００５０】そして、ステップＳ１８では、プリティー
チング駆動制御手段３５によって、ステップＳ１７で定
義されたプリティーチング位置にロボットアーム１４を
移動させ、ウェハ１１をスピンチャック１２上にセット
する（移動工程）。そして、ＣＣＤセンサ１６からの信
号を読み込んで最終確認を行い、ステップＳ１９におい
てＯＫである場合はプリティーチング処理を終了する。
なお、図７中の１１Ｚは、正常にプリティーチングした
状態を示すものである。ここではＮ_{_MAX}を１１に設定し
た場合を示している。一方、最終確認の結果に以上があ
る場合は、ステップＳ２０においてエラー表示をした
後、ウェハ１１の位置の再調整を行い、ステップＳ１か
ら再度の処理をやり直す。

【００５１】また、ステップＳ４において、検出回数Ｎ
が予め設定された最大値Ｎ_{_MAX}以上となった場合は、ス
テップＳ２１において、SEN[０]〜SEN[Ｎ]のすべての値
が０であるか否かを判断する。「Ｙｅｓ」の場合は、ロ
ボットアーム１４をＹ軸方向に単位移動量Ｙ_{_STEP}だけ
移動（ステップＳ２２）させたのち、ステップＳ３から
の処理を再び行う。一方、ステップＳ２１において「Ｎ
ｏ」の場合（図７中のエラーＮｏ１）は、ステップＳ２
３においてエラー表示をした後、ウェハ１１の位置の再
調整を行い、ステップＳ１から再度の処理をやり直せば
よい。

【００５２】以上のようにプリティーチング処理を行う
ことによって、Ｘ軸方向については、進行指示手段３１
での単位移動量Ｘ_{_STEP}（０．５〜１．０ｍｍ程度）の
精度で、Ｙ軸方向については、進入禁止基準位置Ｙ_red
から外み出さない程度で且つＣＣＤセンサ１６の検出精
度に応じて、ウェハ１１とスピンチャック１２との中心
合わせを容易に行うことができる。

【００５３】２）メインティーチング処理 メインティーチング処理では、図８の如く、ステップＴ
１においてウェハ１１をロボットアーム１４にセット
し、プリティーチング処理で求めたプリティーチング位
置（Ｘ_tr，Ｙ_tr）（数２参照）にロボットアーム１４を
移動させて（ステップＴ２）、スピンチャック１２の上
にウェハ１１を載置する。この際、ロボットアーム１４
は原点に退避させておく（ステップＴ３）。そして、検
出回数Ｎを０に初期化しておく（ステップＴ４）。ステ
ップＴ５では、検出回数Ｎが予め設定された最大値Ｎ
_{_MAX}以上となっているか否かを比較判断する。この時点
では、メインティーチング動作を開始しておらず、検出
回数Ｎ（＝０）はＮ_{_MAX}未満となるため、判断結果は
「Ｎｏ」となるので、そのままステップＴ６〜Ｔ１１の
動作に進む。

【００５４】ステップＴ６〜Ｔ１１では、回転指示手段
４１によってスピンチャック１２を単位回転角度θ_STE
Pごとに回転するよう指示しつつ、単位回転角度θ_STEP
ごとの回転に応じて、読込指示手段４２によって、ＣＣ
Ｄセンサ１６で得られたウェハ１１のＹ軸方向の端縁位
置を回転中心点からの距離データとして順次読み込み、
中心点演算手段４６によって、ウェハ１１のスピンチャ
ック１２の縦軸２０中心に対する偏心量を算出する。以
下、ステップＴ６〜Ｔ１１での具体的な動作を詳述す
る。

【００５５】まず、ステップＴ６では、ＣＣＤセンサ１
６の長手方向（すなわちＹ軸方向）について、読込指示
手段４２の指示にしたがってウェハ１１の端縁位置（０
〜１０の範囲）を読み取り、SEN[Ｎ]（ただしＮ＝０）
として一時的に記憶する。ここで、念のため、SEN[Ｎ]
が、予め設定された限界値（SEN_MIN，SEN_MAX）から外
み出ていないかどうかを判定し（ステップＴ７）、外み
出ている場合には、エラー表示をした後、ウェハ１１の
位置の再調整を行い、ステップＴ１から再度の処理をや
り直す。ただし、この実施の形態では、既にプリティー
チング処理を行っているため、通常はステップＴ７でエ
ラーとの結果が得られることはない。

【００５６】ステップＴ８では、回転指示手段４１によ
ってスピンチャック１２の縦軸２０を単位回転角度θ_S
TEP（２２．５゜）だけ回転するよう指示し、縦軸駆動
回路２０Ａおよびモータ２１の駆動によりスピンチャッ
ク１２上のウェハ１１が単位回転角度θ_STEPだけ回転
する。同時に、検出回数Ｎに「Ｎ＋１」を代入し、２回
目の検出を行うためにステップＴ５に戻る。以後、２回
目以降（Ｎ＝１，２，…）の検出について、Ｎ≧Ｎ_{_MAX}
になるまで、ステップＴ５〜Ｔ９の動作を繰り返し行
う。

【００５７】ステップＴ５において、Ｎ≧Ｎ_{_MAX}になっ
たら、ロボットアーム１４によってウェハ１１をスピン
チャック１２から取り外す（ステップＴ１０）。この時
点で、仮にウェハ１１の中心ずれがあった場合、SEN
[０]〜SEN[Ｎ_{_MAX}]は図９のＡ_１〜Ｍ_１〜Ｑ_S〜Ｑ_F〜Ｍ₂
〜Ａ₁で示した実線のような略正弦波曲線を描く。ただ
し、この実施の形態ではプリティーチング処理を経てい
るため、曲線の振幅はより平坦なものとなる。得られた
中心点演算手段４６によって、ウェハ１１のスピンチャ
ック１２の縦軸２０中心に対する偏心量を算出する（ス
テップＴ１１）。

【００５８】ここでは、まず、オリフラデータ検出手段
４４によって、SEN[０]〜SEN[Ｎ_{_MAX}]のうち、ウェハ１
１のオリフラに対応するオリフラデータを検出する。具
体的には、図９の略正弦波曲線（Ａ₁〜Ｍ₁〜Ｑ_S〜Ｑ_F〜
Ｍ₂〜Ａ₁）のについて、回転角度θに関する一階微分の
データ列（図９中のＬｄ）を求める。そして、一階微分
のデータ列から最小値および最大値を求め、最小値が所
定のしきい値Ｔｈ１より小さいか否か、最大値が所定の
しきい値Ｔｈ２より大きいか否かによって、ウェハ１１
がオリフラを有するものか否かを判定する。すなわち、
図９中の実線Ｌｄの最小値が所定のしきい値Ｔｈ１より
大きく且つ最大値が所定のしきい値Ｔｈ２より小さい場
合には、ウェハ１１がオリフラを有していないと判断す
る。一方、図９中の二点鎖線のようにウェハ１１がオリ
フラを有する場合は、Ｌｄの最小値が所定のしきい値Ｔ
ｈ１より小さく且つ最大値が所定のしきい値Ｔｈ２より
大きいことを検出し、オリフラがある旨を判断する。そ
して、オリフラがあると判断した場合は、検出したオリ
フラデータと、回転中心点を中心として当該オリフラデ
ータに対して９０゜，１８０゜，および２７０゜に位置
するデータとを、データ削除手段４５によって削除す
る。

【００５９】ここで、図１０はスピンチャック１２の縦
軸２０中心とウェハ１１との関係を示す図である。ウェ
ハ１１の縁端近傍に記された数字は検出回数Ｎの値を示
すものである。ただし、Ｎ＝０のときとＮ＝１６のとき
は同一点について検出を行っており、便宜上、Ｎ＝１６
のときのみを符号で示し、Ｎ＝０の旨を省略している。
なお、当該数字が丸で囲まれているものは演算の要素と
して採用するもの、当該数字の横に×印が付与されてい
るものは演算に採用しないものを夫々示している。ま
た、図１０中の二点鎖線Ｌｏｆはウェハ１１のオリフラ
を示している。この例の場合、上述のように、Ｎ＝１
３，１４のときのオリフラデータSEN[１３],SEN[１４]
を削除するとともに、SEN[１]，SEN[２]，SEN[５]，SEN
[６]，SEN[９]，SEN[１０]をも削除する。

【００６０】そして、座標変換手段４３では、データ削
除手段４５によって削除されなかったデータSEN[３]，S
EN[４]，SEN[７]，SEN[８]，SEN[１１]，SEN[１２]，SE
N[１５]，SEN[１６]と、夫々対応する回転角度θとから
構成される極座標系データを、直交座標系データ
（Ｘ_tr，Ｙ_tr）に変換する。

【００６１】ここで、検出回数Ｎに対応する直交座標系
データを（Ｘ_tr［Ｎ］，Ｙ_tr［Ｎ］）とすると、ウェハ
１１の中心点の直交座標系データ（Ｘ_O，Ｙ_O）は次式
（数３）で表される。

【００６２】

【数３】

【００６３】すなわち、図１０の例だと、SEN[３]，SEN
[４]，SEN[７]，SEN[８]，SEN[１１]，SEN[１２]，SEN
[１５]，SEN[１６]についての各直交座標系のデータの
各成分の平均値を２倍した値がウェハ１１の中心点の直
交座標系データ（Ｘ_O，Ｙ_O）であり、中心点演算手段４
６によって、上述のような演算を行うという極めて容易
な方法で、ウェハ１１の中心点の座標を求めることがで
きる。

【００６４】その後、ステップＴ１２では、中心点演算
手段４６での演算結果に基づいて、メインティーチング
駆動制御手段４７は、メインコントローラ２８および搬
送制御用ＣＰＵ２７を介してＸ，Ｙ軸駆動回路２６に対
してロボットアーム１４の制御信号を出力し、ウェハ１
１のティーチング位置を適切に変更した後、再チェック
を行う（ステップＴ１２）。そして、目標値から外れて
いた場合は、ステップＴ１からの動作をやり直す。一
方、目標値に入っている場合はメインティーチング処理
を終了する。

【００６５】以上のメインティーチング処理において
は、実際にウェハ１１を縦軸２０中心に回転させながら
端縁位置を検出するため、ウェハ１１の位置ずれが激し
い場合は、周辺部材にウェハ１１が当接したりしてウェ
ハ１１または周辺部材を損傷したり、当接によりウェハ
１１がずれてしまいそれまで検出したデータが無効にな
ったりするおそれがある。しかしながら、この実施の形
態では、メインティーチング処理の前工程として、プリ
ティーチング処理を行い、ある程度の精度で中心合わせ
を行っているので、ウェハ１１の周辺部材への当接を防
止でき、ウェハ１１および周辺部材の損傷を防止できる
とともに、さらなるウェハ１１の位置ずれを防止するこ
とで既に収集した端縁位置データが無効となるのを防止
できる。

【００６６】なお、上記実施の形態では、スピンチャッ
ク１２が保持手段に、搬送機構ＴＲが搬送手段に、ＣＣ
Ｄセンサ１６が位置検出器に、回転制御部１７、搬送制
御部２７、主制御部２８が制御部に、それぞれ相当す
る。

【００６７】＜変形例＞ （１） 上記実施の形態では、エッジ露光装置を例に挙
げて説明したが、その他、スピンナのコータまたはデベ
ロッパ等に適用するものであってもよい。

【００６８】（２） また、上記実施の形態では、メイ
ンティーチングにおいて、極座標系データを直交座標系
データに変換したのち、直交座標系の８個の座標データ
の平均値を２倍することでウェハ１１の中心点の座標を
求めていたが、その他の方式を用いてもよい。

【００６９】例えば、取り込んだ各エッジデータがウェ
ハ１１の中心点から等距離にあることを利用し、２組の
一対ずつのエッジデータを選択し、各組について一対の
エッジ点からなる線分の垂直二等分線を夫々求め、両組
の垂直二等分線の交点をウェハ１１の中心点として認定
してもよい。

【００７０】あるいは、取り込んだ各エッジデータを元
に、角度に対する距離の回帰曲線を求めてウェハ１１の
中心点の偏心量を認定してもよい（特願平６−１５７３
１６号参照）。

【００７１】（３）上記実施の形態では、位置検出器１
６としてＣＣＤセンサを用いていたが、位置情報が読み
取れるセンサであれば、フォトセンサ等いかなるものを
用いてもよい。

【００７２】（４）上記実施の形態では、プリティーチ
ングにおいて、ウェハ１１を所定の単位寸法ごとにステ
ップ状に進行させて、そのステップ毎にその進行方向と
直交する方向の端縁位置を読み込んでいたが、必ずしも
ステップ状に進行するものである必要はなく、連続的に
進行させてその途中にタイミングを計って読み込むもの
でもよい。

【００７３】（５）上記実施の形態では、プリティーチ
ングの後にメインティーチングを行っていたが、プリテ
ィーチングのみで要求される位置決め精度を満たすこと
ができる場合には、メインティーチングを行う必要はな
い。すなわち、要求される位置決め精度に比べてＣＣＤ
センサ１６の検出精度が高く、搬送機構ＴＲの進行の単
位寸法が小さいなどの場合には、ティーチング等におけ
る位置決め作業としては上述したプリティーチングに相
当する動作を行うのみでもよい。

【００７４】（６）プリティーチング時のステップＳ７
においてはロボットアーム１４を退避させているが、Ｃ
ＣＤセンサ１６によるウェハ１１の端縁位置検出を妨げ
ない形状のロボットアームを用いれば、ここでロボット
アームを退避させる必要はない。

【００７５】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、プリテ
ィーチング部の進行指示手段からの指示によって、搬送
手段が進行方向へ進行し、かかる進行に応じて、読込指
示手段によって、位置検出器で得られた進行方向と直交
する方向の基板の端縁位置を順次読み込み、中心対応位
置検出手段によって、読込指示手段で読み込んだ進行方
向と直交する方向の基板の端縁位置のうち最も外側に位
置する端縁位置を検出し、当該最も外側に位置する端縁
位置の進行方向の座標を基板の中心位置に対応する位置
座標として認識し、駆動制御手段によって、中心対応位
置検出手段により検出した基板の中心位置に対応する位
置座標に基づいて、基板の中心を保持手段の回転中心に
対応させるよう搬送手段の進行方向の移動を指示し、所
定の精度でのプリティーチング処理を完了した後、保持
手段を回転させつつメインティーチング部によってメイ
ンティーチング処理を行うよう構成しているので、第１
の従来例に比べて、自動化処理によって、位置合わせに
おける時間効率を向上できる。また、第２の従来例に比
べて、メインティーチング処理の前工程としてプリティ
ーチング処理を効率的に行うことで、メインティーチン
グ時に基板を回転させる際に、基板が周辺部材へ接触し
たり衝突したりするのを防止でき、しかもプリティーチ
ングを行った後にさらにメインティーチングを行ってい
るので、基板をスピンチャックヘ正確に位置決めして載
置できる。

【００７６】請求項２に記載の発明によれば、進入禁止
検出手段によって、読込指示手段で読み込んだ進行方向
と直交する方向の基板の端縁位置が予め設定された進入
禁止基準位置より外側であるか否かを検出し、進入禁止
検出手段で進入禁止基準位置より外側のデータがなかっ
たとの結果が得られたときは、中心対応位置検出手段に
よってその旨を判断し、その後に最も外側に位置する端
縁位置を検出する一方、進入禁止検出手段で進行方向と
直交する方向の基板の端縁位置が進入禁止基準位置より
外側であるとの結果を得られたときは、駆動制御手段に
よって、進行方向と直交する方向の基板の端縁位置を進
入禁止基準位置より内側へ移動させるよう構成されてい
るので、進行方向だけでなく、進行方向に直交する方向
についての位置合わせをも効率よく行うことができる。

【００７７】請求項３に記載の発明によれば、中心対応
位置検出手段によって、進行指示手段での所定単位寸法
の進行ごとに前回に検出した端縁位置とこれに後続して
検出した端縁位置とを比較し、その結果が増大傾向から
減少傾向に転じたときの端縁位置を最も外側に位置する
端縁位置として認識し、これに基づいて搬送手段の進行
方向の移動を指示してプリティーチング処理を行うよう
構成されているので、効率のよい位置認識、ひいては、
効率のよいティーチングを行うことができる。

【００７８】請求項４に記載の発明によれば、進行指示
手段からの指示によって、搬送手段が進行方向へ進行
し、かかる進行に応じて、読込指示手段によって、位置
検出器で得られた進行方向と直交する方向の基板の端縁
位置を順次読み込み、中心対応位置検出手段によって、
読込指示手段で読み込んだ進行方向と直交する方向の基
板の端縁位置の座標に基づいて基板の中心位置に対応す
る位置座標を検出するよう構成されているので、第１の
従来例に比べて、自動化処理によって、位置合わせにお
ける時間効率を向上できる。

【００７９】請求項５に記載の発明によれば、基板を所
定の進行方向に進行させつつ基板の進行に応じて進行方
向と直交する方向の基板の端縁位置を順次検出し、検出
した端縁位置情報に基づいて基板の中心位置を算出して
いるので、基板を回転させることなく基板の存在位置を
知ることができ、基板のスピンチャックへの載置動作や
ティーチング作業を安全確実にかつ迅速に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一の実施の形態の回転処理装置を示す
ブロック図である。

【図２】本発明の一の実施の形態の回転処理装置のウェ
ハ、ロボットアームおよびＣＣＤセンサを示す平面図で
ある。

【図３】本発明の一の実施の形態の回転処理装置の制御
部を示す制御ブロック図である。

【図４】本発明の一の実施の形態の回転処理装置の全体
的な処理手順を示すフローチャートである。

【図５】本発明の一の実施の形態の回転処理装置のプリ
ティーチング処理を示すフローチャートである。

【図６】本発明の一の実施の形態の回転処理装置のプリ
ティーチング処理を示すフローチャートである。

【図７】本発明の一の実施の形態の回転処理装置におけ
るプリティーチング処理でのウェハの端縁位置検出動作
を示す図である。

【図８】本発明の一の実施の形態の回転処理装置のメイ
ンティーチング処理を示すフローチャートである。

【図９】本発明の一の実施の形態の回転処理装置におけ
るウェハの端縁位置の検出結果を示す図である。

【図１０】本発明の一の実施の形態の回転処理装置にお
けるメインティーチング処理でのウェハの端縁位置検出
動作を示す図である。

【図１１】第２の従来例の回転処理装置を示すブロック
図である。

【符号の説明】 １１ ウェハ １２ スピンチャック １３ 回転処理器 １４ ロボットアーム １６ ＣＣＤセンサ １７ 回転制御部 １７Ａ プリティーチング部 １７Ｂ メインティーチング部 ２０ 縦軸 ２０Ａ 縦軸駆動回路 ２１ モータ ２２ エンコーダ ２３ カウンタ ２４ Ｘモータ ２５ Ｙモータ ２６ Ｘ，Ｙ軸駆動回路 ２７ 搬送制御部 ２８ 主制御部 ２９ Ａ／Ｄ変換器 ３１ 進行指示手段 ３２ 読込指示手段 ３３ 進入禁止検出手段 ３４ 中心対応位置検出手段 ３５ プリティーチング駆動制御手段 ４１ 回転指示手段 ４２ 読込指示手段 ４３ 座標変換手段 ４４ オリフラデータ検出手段 ４５ データ削除手段 ４６ 中心点演算手段 ４７ メインティーチング駆動制御手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｂ 21/00 Ｇ０１Ｂ 21/00 Ａ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｊ ５６４Ｃ ５６９Ｃ ５７７

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を回転可能に保持するための保持手
   段を有した回転処理器と、前記基板を支持しつつ所定の
   進行方向に進行しながら前記保持手段に搬送する搬送手
   段と、前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位
   置を検出する位置検出器と、前記位置検出器での検出結
   果に基づいて前記搬送手段を制御する制御部と、を備
   え、 前記制御部は、静止する前記保持手段に対して前記基板
   を所定の精度で位置合わせするよう制御するプリティー
   チング部と、前記プリティーチング部での位置合わせ後
   において前記保持手段を回転させつつ前記基板の中心を
   前記保持手段の回転中心に合わせるよう制御するメイン
   ティーチング部と、を備え、 前記プリティーチング部は、 前記搬送手段の前記進行方向への進行を指示する進行指
   示手段と、 前記搬送手段の進行に応じて前記位置検出器で得られた
   前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を順
   次読み込む読込指示手段と、 前記読込指示手段で読み込んだ前記進行方向と直交する
   方向の前記基板の端縁位置のうち最も外側に位置する端
   縁位置を検出し、当該最も外側に位置する端縁位置の前
   記進行方向の座標を前記基板の中心位置に対応する位置
   座標として認識する中心対応位置検出手段と、 前記中心対応位置検出手段により検出した前記基板の前
   記中心位置に対応する位置座標に基づいて、前記基板の
   中心を前記保持手段の回転中心に対応させるよう前記搬
   送手段の前記進行方向の移動を指示する駆動制御手段
   と、 を備える回転処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の回転処理装置であっ
   て、 前記読込指示手段で読み込んだ前記進行方向と直交する
   方向の前記基板の端縁位置が予め設定された進入禁止領
   域内であるか否かを検出する進入禁止検出手段をさらに
   有し、 前記中心対応位置検出手段は、前記進入禁止検出手段で
   前記進入禁止領域内のデータがなかったとの結果が得ら
   れたときにのみその旨を判断して前記最も外側に位置す
   る端縁位置を検出する動作判断手段を有し、 前記駆動制御手段は、前記進入禁止検出手段で前記進行
   方向と直交する方向の前記基板の端縁位置が前記進入禁
   止領域内であるとの結果を得られた場合に、前記進行方
   向と直交する方向の前記基板の端縁位置を前記進入禁止
   領域より外側へ移動させるよう前記基板の前記直交する
   方向の位置修正を行う直交方向修正手段を有することを
   特徴とする回転処理装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の回転処
   理装置であって、前記中心対応位置検出手段は、前記進
   行指示手段での前記所定単位寸法の進行ごとに前回に検
   出した端縁位置とこれに後続して検出した端縁位置とを
   比較する比較手段と、該比較手段での比較の結果が増大
   傾向から減少傾向に転じたときの端縁位置を前記最も外
   側に位置する端縁位置として認識する認識手段と、を有
   することを特徴とする回転処理装置。
4. 【請求項４】 所定の保持手段に対して基板を所定の精
   度で位置合わせする基板位置決め装置であって、 前記基板を支持しつつ所定の進行方向に進行しながら前
   記保持手段に搬送する搬送手段と、 前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を検
   出する位置検出器と、 前記搬送手段の前記進行方向への進行を指示する進行指
   示手段と、 前記搬送手段の進行に応じて前記位置検出器で得られた
   前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を順
   次読み込む読込指示手段と、 前記読込指示手段で読み込んだ前記進行方向と直交する
   方向の前記基板の端縁位置の座標に基づいて前記基板の
   中心位置に対応する位置座標を検出する中心対応位置検
   出手段と、 を備える基板位置決め装置。
5. 【請求項５】 基板を所定の進行方向に進行させつつ前
   記基板の進行に応じて前記進行方向と直交する方向の前
   記基板の端縁位置を順次検出する検出工程と、検出した
   端縁位置情報に基づいて前記基板の中心位置を算出する
   工程と、 を備える基板位置決め方法。