JPH09137830A - 転がり軸受および転がり軸受の潤滑膜形成方法 - Google Patents

転がり軸受および転がり軸受の潤滑膜形成方法

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JPH09137830A
JPH09137830A JP8237501A JP23750196A JPH09137830A JP H09137830 A JPH09137830 A JP H09137830A JP 8237501 A JP8237501 A JP 8237501A JP 23750196 A JP23750196 A JP 23750196A JP H09137830 A JPH09137830 A JP H09137830A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】転がり軸受において、発塵の抑制および潤滑性
の向上を図り、長寿命を達成できるようにすること。 【解決手段】転がり軸受Aの構成要素(内・外輪1,
2、転動体3および保持器4)の少なくとも一つに、含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜5が形成され
ている。この含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体
膜5は、その分子間がウレタン結合となっていて3次元
の網状構造になっているので、剥離や欠落の他、摩耗が
抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、転がり軸受および
転がり軸受の潤滑膜形成方法に係り、特に通常のグリー
スやオイルの使用ができない真空環境、清浄環境および
腐食環境等で用いるのに好適な転がり軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】前述の環境として、例えば半導体製造装
置内部に配設される搬送系などが挙げられるが、このよ
うな環境では、転がり軸受の潤滑剤としてグリースを用
いていると、グリースの油分が蒸発することにより、潤
滑機能の劣化や使用環境の汚染といった不具合が発生す
る。
【0003】このような場合、従来では、主として、軌
道輪の軌道面、転動体の表面あるいは保持器のポケット
面の少なくともいずれかに、金、銀、鉛、銅などの軟質
金属、カーボンや二硫化モリブデンなどの固体潤滑剤を
膜状にコーティングすることが行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述の固体
潤滑剤からなるコーティング膜では、このコーティング
膜が転動体の転動、摺動動作に伴い僅かずつ剥がれるな
ど、発塵状況がグリース使用時に比べると低レベルにな
るものの、特に清浄環境では不適合となるレベルであ
る。特に、高荷重条件においては発塵量が増大する。
【0005】また、本願出願人は、バインダーにふっ素
系樹脂を混合した固体潤滑剤を軌道輪や保持器にコーテ
ィングすることを行っており、この場合には、先の従来
例よりも発塵を桁違いに減らせるようになる。
【0006】しかしながら、このコーティング膜でも、
比較的大きなアキシャル荷重がかかる状況において、剥
離や欠落の他、摩耗による発塵が著しく増加し、発塵寿
命が短くなる。しかも、前述のようなコーティング膜の
剥離、欠落が発生すると、転動、摺動部位での潤滑作用
が低下して、金属どうしの接触となるなど凝着しやすく
なる他、軸受構成要素の摩耗が促進されるなど、寿命と
いう点において問題がある。また、腐食性ガスがある環
境では、前述のようにコーティング膜の剥離、欠落箇所
の軸受構成要素が腐食されることになる。
【0007】したがって、本発明の目的は、転がり軸受
において、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿
命を達成できるようにすることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の転がり軸受は、
軸受構成要素の少なくとも一つに、含ふっ素ポリウレタ
ン高分子化合物の固体膜が形成されている。
【0009】なお、前述の固体膜は、3次元の網状構造
を有するものとするのが好ましい。また、固体膜に流動
可能な含ふっ素重合体を分散添加するのが好ましい。さ
らに、この流動可能な含ふっ素重合体としては官能基を
有していないものとするのが好ましい。
【0010】本発明の第1の転がり軸受の潤滑膜形成方
法は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素
重合体を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、軸受構成
要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、前
記付着した液状膜を硬化させることにより、網状構造の
含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形成する
工程とを含む。
【0011】本発明の第2の転がり軸受の潤滑膜形成方
法は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素
重合体と水酸基、アミノ基、カルボキシル基の少なくと
も一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物を溶媒中
に希釈してなる溶液を用いて、軸受構成要素の少なくと
も一つに液状膜を付着させる工程と、前記付着した液状
膜を硬化させることにより、網状構造の含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜を形成する工程とを含む。
【0012】本発明の第3の転がり軸受の潤滑膜形成方
法は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素
重合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボキシル基
の少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合
物を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有しない含
ふっ素重合体を加えた溶液を用いて、軸受構成要素の少
なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、前記付着し
た液状膜を部分的に硬化させることにより、官能基を有
しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま分散させた
網状構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜
を形成する工程とを含む 上記本発明の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物は、分
子間が密に詰まって結合した固体膜である。そのため、
転がり軸受の各構成要素間での転動、摺接時において、
剥離や摩耗が発生しにくくなるとともに、転動、摺動抵
抗が軽減されることになる。
【0013】特に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物
の固体膜に含ふっ素重合体を流動可能な状態で分散添加
している場合では、この流動可能な含ふっ素重合体が含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜から滲み出て
潤滑作用に寄与する。
【0014】前述の含ふっ素重合体としては、例えば官
能基なしのパーフルオロポリエーテルなどの含ふっ素重
合体とすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明の詳細を図1ないし図8に
示す実施例に基づいて説明する。図1ないし図8は本発
明の一実施例にかかり、図1は、転がり軸受の上半分の
縦断面図、図2は、図1の転がり軸受に形成した含ふっ
素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の構造を模式的に
表した構造図、図3は、含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜の硬化前の状態での性状分析結果を示すグ
ラフ、図4は、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固
体膜の硬化後の状態での性状分析結果を示すグラフ、図
5は、大気環境で用いる試験装置の概略図、図6は、真
空環境で用いる試験装置の概略図、図7は、同軸受のト
ルク寿命に関する試験結果を示すグラフ、図8は、同軸
受の他のトルク寿命に関する試験結果を示すグラフであ
る。
【0016】図中、Aは深溝型玉軸受などの転がり軸
受、1は内輪、2は外輪、3は球状の転動体、4はプレ
ス製の波形の保持器、5は含ふっ素ポリウレタン高分子
化合物の固体膜である。
【0017】具体的に、内・外輪1,2、転動体3およ
び保持器4は、耐食性材料により形成されている。この
耐食性材料としては、例えばJIS規格SUS440C
などのマルテンサイト系ステンレス鋼、例えばJIS規
格SUS630などの析出硬化型ステンレス鋼に適当な
硬化熱処理を施した金属材などが挙げられる。また、軽
荷重用途では、例えばJIS規格SUS304などのオ
ーステナイト系ステンレス鋼でもよい。
【0018】なお、内・外輪1,2および転動体3に関
する耐食性材料としては金属材の他にもセラミックス材
とすることができる。このセラミックス材としては、焼
結助剤として、イットリア(Y23)およびアルミナ
(Al23)、その他、適宜、窒化アルミ(AlN)、
酸化チタン(TiO2)、スピネル(MgAl24)を
用いた窒化けい素(Si34)を主体とするものの他、
アルミナ(Al23)や炭化けい素(SiC)、ジルコ
ニア(ZrO2)、窒化アルミ(AlN)などを用いる
ことができる。また、保持器4は、例えばJIS規格S
US304の他、黄銅、チタン材などが好適に用いられ
るが、合成樹脂材料とすることもできる。この合成樹脂
材料としては、例えばポリテトラフルオロエチレン(以
下、PTFEと略称する)、エチレンテトラフルオロエ
チレン(ETFE)などのふっ素系樹脂やポリエーテル
エーテルケトン(PEEK)、ポリフェニレンサルファ
イド(PPS)、ポリエーテルサルフォン(PES)、
ナイロン46などのエンジニアリングプラスチックスな
どの使用も可能である。これらの樹脂にはガラス繊維な
どの強化繊維が添加されていてもよい。保持器4の形式
としては、波形の他に、冠形、もみ抜き形のものとする
ことができる。
【0019】そして、軸受構成要素である内・外輪1,
2、転動体3および保持器4の全表面には、下記する含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜5が形成され
ている。
【0020】含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体
膜5は、−CX2X−O−という一般式(Xは1〜4の
整数)で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平
均分子量が数百万以上で硬化反応により分子間がウレタ
ン結合された3次元の網状構造を有している。3次元の
網状構造とは、化学構造上の表現であって、膜の断面が
網状になっているのではなく、分子間が網状のように連
続してつながって密に詰まった均質な構造になっている
ことを意味している。このような重合体としては、下記
化学式1に示すような末端がイソシアネートの官能基付
き含ふっ素重合体を用いて、化学構造を変化させたもの
とすることができる。前述の末端がイソシアネートの官
能基付き含ふっ素重合体としては、パーフルオロポリエ
ーテル(PFPE)の誘導体、具体的に例えばモンテカ
チーニ社の商品名フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DI
SOCなど)が好適に用いられる。
【0021】
【化1】
【0022】次に、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物
の固体膜5の形成方法の一例を説明する。
【0023】(a) 含ふっ素ポリウレタン高分子化合
物の固体膜5を得るための溶液を用意し、この溶液中に
内・外輪1,2、転動体3および保持器4をそれぞれ個
別に浸漬するか、あるいはそれらを組み立てた完成状態
の転がり軸受Aを浸漬して数回回転させることにより、
内・外輪1,2、転動体3および保持器4の表面全面に
液状膜を付着させる(付着処理)。ここで用意する溶液
は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体
〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)〕を希釈
溶媒(ふっ素系溶剤SV90D)で含ふっ素重合体の濃
度を1mass%にまで希釈したものとする。
【0024】(b) 液状膜を付着した転がり軸受Aの
全体を、40〜50℃で約1分間加熱し、液状膜に含む
溶媒を除去する(乾燥処理)。この時点では、液状膜の
ままであり、流動性を有している。
【0025】(c) この後、例えば100〜200℃
で20時間、加熱する(硬化処理)。これにより、液状
膜の化学構造が変化することにより硬化反応して含ふっ
素ポリウレタン高分子化合物の固体膜5が得られる。ち
なみに、この硬化処理では、液状膜に存在している官能
基付き含ふっ素重合体の個々について、下記化学式2〜
5に示すような4種の硬化反応でもって末端のイソシア
ネート(NCO)が消失し、各官能基付き含ふっ素重合
体が互いにウレタン結合することにより3次元の網状構
造となる。ウレタン結合は、化学式2,3に示すような
硬化反応でもって、図2(a)に模式的に示すように直
線的に架橋するとともに、化学式4,5に示すような硬
化反応でもって、図2(b)に模式的に示すように3次
元方向で架橋する。
【0026】
【化2】
【0027】
【化3】
【0028】
【化4】
【0029】
【化5】
【0030】このようにすれば、転がり軸受Aの構成要
素において互いに接触する部位に含ふっ素ポリウレタン
高分子化合物の固体膜5を好適な膜厚で形成することが
できる。なお、(a)、(b)は必要に応じて数回繰り
返すようにしてもよく、最終的には、用途に応じて、含
ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜5の膜厚を例
えば0.1〜3μmの範囲で適宜に設定することができ
る。
【0031】ここで、(a)で用意した溶液を濃縮乾燥
しただけの状態(流動性がある状態)と、(a)で用意
した溶液をステンレス鋼板などの試料に付着して硬化し
た状態とについて、その性状を分析したので説明する。
【0032】前者は、FT−IR法(フーリエ変換−赤
外分光、液膜法)で分析している。その結果は、図3の
グラフに示すように、ふっ素系のピーク以外にNH(3
300cm-1)、N=C=O(2279cm-1)、N
(H)C=O(1712cm-1,1546cm-1)、ベ
ンゼン(1600cm-1)などのピークが見られ、ベン
ゼン環、ウレタン結合、イソシアネートが官能基として
存在していることが確認できる。ここでは、薄膜と厚膜
との場合についてそれぞれ調べているが、膜厚に関係な
く分析が行えた。後者は、FT−IR法(フーリエ変換
−赤外分光、高感度反射法)で分析している。その結果
は、図4のグラフに示すように、ベンゼン環やウレタン
結合のピークが見られるが、イソシアネートのピークが
見られない。つまり、これらの結果に基づき、上記化学
式2〜5に示す硬化反応による官能基の化学構造変化が
確認される。
【0033】以上説明した含ふっ素ポリウレタン高分子
化合物の固体膜5は、それ自体3次元の網状構造をもっ
て、被覆対象上に緻密に被覆されるとともに自己潤滑性
を有するため、軸受構成要素間の転動、摺動動作に伴う
摩耗、剥離といった発塵を抑制できるようになり、軸受
構成要素どうしの直接的な接触を回避できるようにな
る。
【0034】ところで、本発明の他の実施例として、上
記実施例で説明した含ふっ素ポリウレタン高分子化合物
の固体膜5について、分子間がウレタン結合した3次元
の網状構造中に、フルオロポリエーテルなどの含ふっ素
重合体を流動可能に分散添加した構造とすることもでき
る。この場合、具体的に、上記実施例での形成方法の
(a)の付着処理において、用意する溶液を、末端がイ
ソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔例えば商品
名フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOCなど)〕
と、含ふっ素化合物として官能基なし含ふっ素重合体
〔例えば商品名フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z-60な
ど)〕とを所定の割合で混合したものとすればよい。こ
の場合では、(c)の硬化処理において、官能基なし含
ふっ素重合体が、官能基付き含ふっ素重合体と結合しな
いので、これが、含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の
固体膜5の内部において流動可能となり、含ふっ素ポリ
ウレタン高分子化合物の固体膜5から滲み出るなどして
潤滑作用を発揮することになる。なお、含ふっ素重合体
としては、前述の官能基なし含ふっ素重合体のみに限定
されず、化学式6,7,8に示すような官能基付き含ふ
っ素重合体とすることができる。
【0035】
【化6】
【0036】
【化7】
【0037】
【化8】
【0038】次に、上述した含ふっ素ポリウレタン高分
子化合物の固体膜5についての発塵寿命、トルク寿命を
調べているので、説明する。ここでは、実施例1〜4、
比較例の計5つを挙げている。
【0039】実施例1〜4では、含ふっ素ポリウレタン
高分子化合物の固体膜を内・外輪、転動体、保持器の全
表面に形成しており、膜厚は、1μmに設定している。
【0040】実施例1の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISO
C)〕のみを用いて得ている。
【0041】実施例2の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISO
C)〕に対して、末端が水酸基(−OH)の官能基付き
含ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DO
L)〕を添加して得ている。
【0042】実施例3の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISO
C)〕に対して、官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブ
リンZ誘導体(FONBLIN Z-60)〕を添加して得ている。
【0043】実施例4の含ふっ素ポリウレタン高分子化
合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含
ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISO
C)〕に対して、末端が水酸基の官能基付き含ふっ素重
合体〔フォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DOL)〕と、
官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブリンZ誘導体(FO
NBLIN Z-60)〕とを添加して得ている。
【0044】比較例は、内・外輪および保持器の全表面
にコーティング膜を形成したものとする。このコーティ
ング膜は、熱硬化性合成樹脂(ポリイミド)からなるバ
インダー中にポリテトラフルオロエチレン(PTFE)
を分散混合したものであり、膜厚は1μmとしている。
このコーティング膜は、比較的硬質で緻密な熱硬化性合
成樹脂が海状となり、不均質なポリテトラフルオロエチ
レンが島状に点在する構造となっており、両者の結合が
弱い状態になっている。
【0045】まず、大気環境での試験には、図5に示す
装置を、また、真空環境での試験には、図6に示す装置
を用いている。図中、50,50は試験軸受、51は回
転軸、52はケーシング、53は磁性流体シール、54
は発塵個数計測装置(パーティクルカウンター)、55
は計測結果記録機(レコーダ)、56は軸受ハウジン
グ、57はアキシャル荷重付加用のコイルバネである。
【0046】試験軸受50は、実施例、比較例のいずれ
も、呼び番号SE608(φ8×φ22×7)とし、内
・外輪および転動体(玉)をJIS規格SUS440
C、保持器(波形タイプ)をJIS規格SUS304と
している。内・外輪の軌道の表面粗さを共に0.1Z、
転動体の表面粗さを0.05aとしている。
【0047】試験条件は、下記のとおり。
【0048】 ・回転速度:200rpm ・荷重 :アキシャル荷重(20N,25N,50N,100N) ・雰囲気 :大気でクリーンベンチ内(クラス10) 真空(2.6×10-4Pa以下) ・環境温度:室温、高温(200℃) ・計測条件:粒子径0.1μm以上の発塵粒子数 発塵寿命試験では、雰囲気を大気、環境温度を室
温、アキシャル荷重を100Nとしている。発塵寿命試
験では、総発塵量が1000個/0.1cf以上となる
状況を、連続10回測定した時点までの時間を計測して
いる。なお、測定は10分間隔とする。実施例1のフォ
ンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃度を1ma
ss%とし、実施例2は、ベースとなるフォンブリンZ
誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃度を1mass%、添
加するフォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DOL)の濃度
を0.25mass%、実施例3は、ベースとなるフォ
ンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃度を1ma
ss%、添加するフォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z-6
0)の濃度を0.25mass%、実施例4は、ベース
となるフォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃
度を1mass%、添加するフォンブリンZ誘導体(FO
NBLIN Z DOL)およびフォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z
-60)の濃度を合わせて0.25mass%とする。
【0049】結果としては、比較例で4時間、実施例1
で6時間、実施例2で10時間、実施例3で31時間、
実施例4で30時間となり、寿命が長い順に実施例3、
実施例4、実施例2、実施例1、比較例となる。つま
り、実施例1のようにフォンブリンZ誘導体(FONBLIN
Z DISOC)のみを用いて得た含ふっ素ポリウレタン高分
子化合物の固体膜5でも比較例に比べて優れるが、実施
例2〜4のようにベースとなるフォンブリンZ誘導体
(FONBLIN Z DISOC)に対して流動性を有する含ふっ素
重合体を添加して得た含ふっ素ポリウレタン高分子化合
物の固体膜5の方が実施例1よりもさらに優れるのであ
る。
【0050】つまり、実施例1〜4の含ふっ素ポリウレ
タン高分子化合物の固体膜5は、3次元の網状構造で密
に詰まった均質膜になっているから、転がり軸受の各構
成要素間での転動、摺動時において、剥離や摩耗が発生
しにくくなるのである。
【0051】ちなみに、実施例3,4において、アキシ
ャル荷重を50Nにした場合だと発塵寿命は各々120
時間、115時間、また、20Nにした場合だと発塵寿
命は各々335時間、320時間にと大幅に向上する。
実施例2や1についても実施例3,4の場合と同様の比
率で向上する。一方、比較例において、アキシャル荷重
を50Nにした場合だと発塵寿命は10時間にと向上す
るものの、実施例3に比べると、かなり低いレベルとな
る。したがって、使用対象での条件に応じて実施例1〜
4のいずれかを選択すればよいのである。
【0052】以上の結果より、含ふっ素ポリウレタン高
分子化合物の固体膜5としては、末端がイソシアネート
の官能基付き含ふっ素重合体のみを用いて形成するより
も、流動性を有する含ふっ素重合体を添加するのが好ま
しいことが分かった。添加する含ふっ素重合体について
は、上記結果より、官能基なしの含ふっ素重合体が最も
好ましいことも分かった。
【0053】そこで、添加量について検討する。ベース
となるフォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃
度を1mass%として、添加するフォンブリンZ誘導
体(FONBLIN Z-60)の濃度を0.25mass%、0.
5mass%として、発塵寿命(アキシャル荷重100
N)を調べた。結果的には、0.25mass%で31
時間、0.5mass%で22時間となり、0.25m
ass%が適当であると考えられる。但し、添加量につ
いては、上限、下限に余裕を持たせて、ベースとなるフ
ォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃度1ma
ss%に対して、添加するフォンブリンZ誘導体(FONB
LIN Z-60)の濃度0.1〜0.75mass%の範囲と
することができる。また、ベースとなるフォンブリンZ
誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃度は、1〜10mas
s%の範囲とすることができる。この場合、ベースとな
るフォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z DISOC)の濃度を
例えば上限の5mass%とする場合には、添加するフ
ォンブリンZ誘導体(FONBLIN Z-60)の濃度も0.5〜
2.5mass%の範囲として、両方の比率を常に一定
に設定するのがよい。但し、ベースの濃度は濃くするに
つれて発塵寿命が低下する傾向となる。
【0054】 トルク寿命試験では、雰囲気を真空、
環境温度を室温とし、アキシャル荷重を25N、50N
としている。ここでは、実施例3と比較例とを調べてい
る。図7のグラフに示すように、実施例3では、600
時間で打ち切っているが、アキシャル荷重25Nでトル
ク3〜4N・m、アキシャル荷重50Nで5〜6N・m
と軽減できたが、比較例では、アキシャル荷重25Nで
トルク8〜10N・m、アキシャル荷重50Nでトルク
12〜15N・mとなる。このように、実施例3のもの
は比較例に比べてトルクを約1/2と、かなり軽減でき
るようになる。実施例1,2についても実施例3とほぼ
同等の試験結果であった。
【0055】また、雰囲気を真空、環境温度を高温(2
00℃)とし、アキシャル荷重を50Nとした場合、図
8に示すように、比較例だと10時間でトルクが著しく
大きくなったが、実施例3だと、90時間を越えても何
の問題もなく、現在も継続中である。このように、トル
ク寿命は、環境温度の高低に関係なく、比較例に比べて
格段に優れた結果となった。
【0056】これはつまり、ベースとなる成分に対して
添加する成分が結合しないから、この添加した成分が流
動性を有することになり、それによって潤滑作用を発揮
するために、トルク軽減に効果をもたらすものと考えら
れる。
【0057】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、種々な応用や変形が考えられる。
【0058】(1) 上記実施例では、軸受形式として
深溝型玉軸受を引用しているが、その他の種類の転がり
軸受に本発明を適用できる。また、保持器を省略した転
がり軸受に本発明を適用することもできる。
【0059】(2) 上記実施例において(c)の硬化
処理については、加熱に代えて、紫外線、赤外線、γ
線、電子線などの電磁波(光)のエネルギーを利用する
ことができる。
【0060】(3) 上記実施例において(b)の乾燥
処理は、省略してもよい。
【0061】(4) 上記実施例では、含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜5を内・外輪1,2、転動
体3および保持器4のすべてに形成しているが、内・外
輪1,2だけあるいは転動体3だけに形成することがで
きる。
【0062】(5) 上記実施例では、含ふっ素ポリウ
レタン高分子化合物の固体膜5を被覆対象の外表面にも
形成しているが、内・外輪1,2に対してはその軌道面
だけに、また、保持器4に対してはその転動体3との接
触部位だけに形成することができる。この場合、不要箇
所をマスキングしておいて、軸受として組み立てる前に
各単体を上記(a)で用意する溶液中に浸漬して、適宜
硬化させるようにすればよい。但し、外表面にも固体膜
5を形成していれば、耐食性環境での使用においても腐
食防止効果が強くなり、別途、腐食防止処理を施さなく
て済む。
【0063】
【発明の効果】本発明の転がり軸受では、従来のコーテ
ィング膜に比べて剥離、欠落、摩耗が抑制できるととも
に、転動、摺動抵抗を軽減できる含ふっ素ポリウレタン
高分子化合物の固体膜を用いているから、発塵寿命と潤
滑性を向上できるようになり、動作安定性および寿命の
向上に貢献できる。
【0064】したがって、例えば半導体製造過程のよう
に高精度な加工が要求されるところに本発明の転がり軸
受を用いると、清浄雰囲気を阻害しにくくなるので、半
導体製造品の歩留まり向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例にかかる転がり軸受の上半分
の縦断面図
【図2】図1の転がり軸受に被覆形成した含ふっ素ポリ
ウレタン高分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した
構造図
【図3】含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の
硬化前の状態での性状分析結果を示すグラフ
【図4】含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜の
硬化後の状態での性状分析結果を示すグラフ
【図5】大気環境で用いる試験装置の概略図
【図6】真空環境で用いる試験装置の概略図
【図7】同軸受のトルク寿命に関する試験結果を示すグ
ラフ
【図8】同軸受の他のトルク寿命に関する試験結果を示
すグラフ
【符号の説明】
A 転がり軸受 1 内輪 2 外輪 3 転動体 4 保持器 5 含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 軸受構成要素の少なくとも一つに、含ふ
    っ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されてい
    る、ことを特徴とする転がり軸受。
  2. 【請求項2】 前記固体膜は、3次元の網状構造を有し
    ている、請求項1に記載の転がり軸受。
  3. 【請求項3】 前記固体膜に流動可能な含ふっ素重合体
    が分散添加されている、請求項1または2に記載の転が
    り軸受。
  4. 【請求項4】 前記流動可能な含ふっ素重合体が官能基
    を有していない、請求項3に記載の転がり軸受。
  5. 【請求項5】 官能基としてイソシアネート基を有する
    含ふっ素重合体を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、
    軸受構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工
    程と、 前記付着した液状膜を硬化させることにより、網状構造
    の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形成す
    る工程と、 を含むことを特徴とする転がり軸受の潤滑膜形成方法。
  6. 【請求項6】 官能基としてイソシアネート基を有する
    含ふっ素重合体と水酸基、アミノ基、カルボキシル基の
    少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物
    を溶媒中に希釈してなる溶液を用いて、軸受構成要素の
    少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、 前記付着した液状膜を硬化させることにより、網状構造
    の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を形成す
    る工程と、 を含むことを特徴とする転がり軸受の潤滑膜形成方法。
  7. 【請求項7】 官能基としてイソシアネート基を有する
    含ふっ素重合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボ
    キシル基の少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体
    との混合物を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有
    しない含ふっ素重合体を加えた溶液を用いて、軸受構成
    要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、 前記付着した液状膜を部分的に硬化させることにより、
    官能基を有しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま
    分散させた網状構造の含ふっ素ポリウレタン高分子化合
    物の固体膜を形成する工程と、 を含むことを特徴とする転がり軸受の潤滑膜形成方法。
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