JPH09128729A - 磁気記録用薄膜媒体 - Google Patents
磁気記録用薄膜媒体Info
- Publication number
- JPH09128729A JPH09128729A JP28067495A JP28067495A JPH09128729A JP H09128729 A JPH09128729 A JP H09128729A JP 28067495 A JP28067495 A JP 28067495A JP 28067495 A JP28067495 A JP 28067495A JP H09128729 A JPH09128729 A JP H09128729A
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- Japan
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- thin film
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜を設けた金
属磁性薄膜型の磁気記録媒体の耐久性及び対錆性を改善
する。 【解決手段】 金属磁性薄膜を磁性層とする磁気記録用
薄膜媒体において、金属磁性薄膜上にダイヤモンド状硬
質カーボン薄膜を形成し、さらにこのダイヤモンド状硬
質カーボン薄膜上にチオ亜リン酸エステル化合物のアル
キル鎖の炭素数が１２である、チオ亜リン酸トリラウリ
ルを例えばディッピング方式にて塗布する。
属磁性薄膜型の磁気記録媒体の耐久性及び対錆性を改善
する。 【解決手段】 金属磁性薄膜を磁性層とする磁気記録用
薄膜媒体において、金属磁性薄膜上にダイヤモンド状硬
質カーボン薄膜を形成し、さらにこのダイヤモンド状硬
質カーボン薄膜上にチオ亜リン酸エステル化合物のアル
キル鎖の炭素数が１２である、チオ亜リン酸トリラウリ
ルを例えばディッピング方式にて塗布する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上に
金属磁性材料を直接被着させた、金属磁性薄膜型の磁気
記録媒体に関する。
金属磁性材料を直接被着させた、金属磁性薄膜型の磁気
記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より磁気記録媒体としては、非磁性
支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の粉
末磁性材料を有機バインダー中に分散せしめた磁性塗料
を塗布、乾燥することにより作成される塗布型の磁気記
録媒体が広く使用されている。
支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の粉
末磁性材料を有機バインダー中に分散せしめた磁性塗料
を塗布、乾燥することにより作成される塗布型の磁気記
録媒体が広く使用されている。
【０００３】これに対して、高密度磁気記録への要求の
高まりと共に金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手
段（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティ
ング法等）によって非磁性支持体上に直接被着した、い
わゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が実用化されてい
る。
高まりと共に金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手
段（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティ
ング法等）によって非磁性支持体上に直接被着した、い
わゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が実用化されてい
る。
【０００４】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできる為、
記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性
層中に非磁性材であるそのバインダーを混入する必要が
無いため磁性材料の充填密度を高めることが出来ること
など、数々の利点を有している。
力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に優れる
ばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くできる為、
記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性
層中に非磁性材であるそのバインダーを混入する必要が
無いため磁性材料の充填密度を高めることが出来ること
など、数々の利点を有している。
【０００５】更に、この種の磁気記録媒体の電磁変換特
性を向上させ、より大きな出力を得ることが出来るよう
にするために、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場
合、磁性層を斜めに蒸着するいわゆる斜方蒸着が提案さ
れ実用化されている。
性を向上させ、より大きな出力を得ることが出来るよう
にするために、該磁気記録媒体の磁性層を形成する場
合、磁性層を斜めに蒸着するいわゆる斜方蒸着が提案さ
れ実用化されている。
【０００６】しかし、これら金属磁性薄膜型の磁気記録
媒体は耐久性、対錆性に問題があるといわれている。そ
こで、磁気記録媒体の表面に真空成膜法を用いて、ダイ
ヤモンド状硬質カーボン薄膜を設けている。しかしなが
ら、ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜のみでは耐久性の
改善を見ることが出来ない。
媒体は耐久性、対錆性に問題があるといわれている。そ
こで、磁気記録媒体の表面に真空成膜法を用いて、ダイ
ヤモンド状硬質カーボン薄膜を設けている。しかしなが
ら、ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜のみでは耐久性の
改善を見ることが出来ない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、こ
のような実情を鑑みて提案されたものであって、ダイヤ
モンド状硬質カーボン薄膜上に特定の化合物を塗布する
ことにより、耐久性及び対錆性に優れた金属磁性薄膜型
の磁気記録媒体を得ることを目的とする。
のような実情を鑑みて提案されたものであって、ダイヤ
モンド状硬質カーボン薄膜上に特定の化合物を塗布する
ことにより、耐久性及び対錆性に優れた金属磁性薄膜型
の磁気記録媒体を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述の目的
を達成せんものと鋭意研究の結果、上述した金属磁性薄
膜型の磁気記録媒体の耐久性及び耐錆性を向上させるに
は、磁気記録媒体の表面上にチオ亜リン酸エステル化合
物を塗布することが効果的であることを見いだし、本発
明を完成するに至ったものである。
を達成せんものと鋭意研究の結果、上述した金属磁性薄
膜型の磁気記録媒体の耐久性及び耐錆性を向上させるに
は、磁気記録媒体の表面上にチオ亜リン酸エステル化合
物を塗布することが効果的であることを見いだし、本発
明を完成するに至ったものである。
【０００９】即ち、本発明の磁気記録用薄膜媒体は、真
空成膜法によって強磁性金属薄膜上にダイヤモンド状硬
質カーボン薄膜が成膜されている磁気記録用薄膜媒体に
おいて、上記ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜上に潤滑
剤としてチオ亜リン酸エステル化合物を塗布することを
特徴とするものである。
空成膜法によって強磁性金属薄膜上にダイヤモンド状硬
質カーボン薄膜が成膜されている磁気記録用薄膜媒体に
おいて、上記ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜上に潤滑
剤としてチオ亜リン酸エステル化合物を塗布することを
特徴とするものである。
【００１０】チオ亜リン酸エステル化合物は上記ダイヤ
モンド状硬質カーボン薄膜に塗布されることにより、部
分的に金属接触を生じ、これに伴う摩擦熱によって上記
ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜と反応し、反応生成物
被膜を形成することにより、摩擦、磨耗を防止する作用
を有する。よって、チオ亜リン酸エステル化合物を塗布
したダイヤモンド状硬質カーボン薄膜は自己潤滑性に優
れ、摩擦、磨耗に強い膜となり、薄くても実用上必要な
耐久性を有することができる。
モンド状硬質カーボン薄膜に塗布されることにより、部
分的に金属接触を生じ、これに伴う摩擦熱によって上記
ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜と反応し、反応生成物
被膜を形成することにより、摩擦、磨耗を防止する作用
を有する。よって、チオ亜リン酸エステル化合物を塗布
したダイヤモンド状硬質カーボン薄膜は自己潤滑性に優
れ、摩擦、磨耗に強い膜となり、薄くても実用上必要な
耐久性を有することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の対象となる磁気記録媒体
は、非磁性支持体上に真空成膜法によって金属性薄膜を
形成する磁気テープ及び磁気ディスク等であり、且つそ
の表面にスパッタ法またはＣＶＤ法によりダイヤモンド
状硬質カーボン薄膜を設け、更に、その上にチオ亜リン
酸エステル化合物を塗布した媒体である。
は、非磁性支持体上に真空成膜法によって金属性薄膜を
形成する磁気テープ及び磁気ディスク等であり、且つそ
の表面にスパッタ法またはＣＶＤ法によりダイヤモンド
状硬質カーボン薄膜を設け、更に、その上にチオ亜リン
酸エステル化合物を塗布した媒体である。
【００１２】非磁性支持体上には、強磁性金属材料を直
接被着することにより金属磁性薄膜が磁性層として形成
されるが、この金属磁性材料は通常の磁気記録媒体に使
用されるものであれば如何なるものでもよい。
接被着することにより金属磁性薄膜が磁性層として形成
されるが、この金属磁性材料は通常の磁気記録媒体に使
用されるものであれば如何なるものでもよい。
【００１３】例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁性金
属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ
−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−
Ｂｉ，Ｍｎ−ＡＩ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃ
ｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金があげられる。
属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ
−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍｎ−
Ｂｉ，Ｍｎ−ＡＩ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃ
ｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金があげられる。
【００１４】これらは単層膜及び多層膜でもよい。さら
に、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、あるいは多層膜の
場合には、各層間の付着力向上、並びに抗磁力の制御等
のため、下地層または中間層を設けてもよい。また磁性
層表面近傍の対蝕性改善等のために酸化物でもよい。
に、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、あるいは多層膜の
場合には、各層間の付着力向上、並びに抗磁力の制御等
のため、下地層または中間層を設けてもよい。また磁性
層表面近傍の対蝕性改善等のために酸化物でもよい。
【００１５】金属磁性薄膜形成の手段としては、真空下
で強磁性材料を加熱蒸発させ非磁性支持体上に沈着させ
る真空蒸着法、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行うイ
オンプレーティング法、アルゴンを主成分とする雰囲気
中でグロー放電を越こし生じたアルゴンイオンでターゲ
ット表面の原子をたたき出すスパッタ法等、いわゆるＰ
ＶＤ技術があげられる。
で強磁性材料を加熱蒸発させ非磁性支持体上に沈着させ
る真空蒸着法、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行うイ
オンプレーティング法、アルゴンを主成分とする雰囲気
中でグロー放電を越こし生じたアルゴンイオンでターゲ
ット表面の原子をたたき出すスパッタ法等、いわゆるＰ
ＶＤ技術があげられる。
【００１６】また、非磁性支持体上に形成された強磁性
金属薄膜上にはダイヤモンド状硬質カーボン薄膜層を形
成しているが、この保護膜形成の手段としては材料の蒸
発を放電中で行うイオンプレーティング法、アルゴンを
主成分とする雰囲気中でグロー放電を越こし生じたアル
ゴンイオンでターゲット表面の原子をたたき出すスパッ
タ法等、いわゆるＰＶＤ技術や、プラズマＣＶＤ、ＥＣ
ＲプラズマＣＶＤ、アークジェットＣＶＤなどのＣＶＤ
技術があげられる。
金属薄膜上にはダイヤモンド状硬質カーボン薄膜層を形
成しているが、この保護膜形成の手段としては材料の蒸
発を放電中で行うイオンプレーティング法、アルゴンを
主成分とする雰囲気中でグロー放電を越こし生じたアル
ゴンイオンでターゲット表面の原子をたたき出すスパッ
タ法等、いわゆるＰＶＤ技術や、プラズマＣＶＤ、ＥＣ
ＲプラズマＣＶＤ、アークジェットＣＶＤなどのＣＶＤ
技術があげられる。
【００１７】本発明において、上記ダイヤモンド状硬質
カーボン薄膜の厚さは５〜１０ｎｍが好ましい。
カーボン薄膜の厚さは５〜１０ｎｍが好ましい。
【００１８】また、この上に塗布するチオ亜リン酸エス
テル化合物としては、（ＣnＨ2n+1Ｓ）3−Ｐで表される
化合物が好適であり、そのアルキル鎖の炭素数ｎは１１
〜１５が好ましく、１２〜１３がより好ましい。その塗
布量は、あまり少なすぎると、摩擦係数の低下、耐磨耗
性・耐久性の向上という効果が顕れないので、０．５ｍ
ｇ／ｍ2〜１００ｍｇ／ｍ2であるのが好ましく、０．５
ｍｇ／ｍ2〜１００ｍｇ／ｍ2がより好ましい。
テル化合物としては、（ＣnＨ2n+1Ｓ）3−Ｐで表される
化合物が好適であり、そのアルキル鎖の炭素数ｎは１１
〜１５が好ましく、１２〜１３がより好ましい。その塗
布量は、あまり少なすぎると、摩擦係数の低下、耐磨耗
性・耐久性の向上という効果が顕れないので、０．５ｍ
ｇ／ｍ2〜１００ｍｇ／ｍ2であるのが好ましく、０．５
ｍｇ／ｍ2〜１００ｍｇ／ｍ2がより好ましい。
【００１９】もちろん、本発明にかかる磁気記録媒体の
構成はこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を
逸脱しない範囲での変更、例えば必要に応じてバックコ
ート層を形成したり、非磁性支持体上に下塗層を形成し
たり、潤滑剤などの層を形成することは何等差し支えな
い。この場合、バックコート層に含まれる非磁性顔料、
樹脂結合剤あるいは潤滑剤に含まれる材料としては従来
公知のものがいずれも使用できる。
構成はこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を
逸脱しない範囲での変更、例えば必要に応じてバックコ
ート層を形成したり、非磁性支持体上に下塗層を形成し
たり、潤滑剤などの層を形成することは何等差し支えな
い。この場合、バックコート層に含まれる非磁性顔料、
樹脂結合剤あるいは潤滑剤に含まれる材料としては従来
公知のものがいずれも使用できる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例及び比較例に
より説明するが、本発明がこの実施例及び比較例に限定
されるものでないことは言うまでもない。
より説明するが、本発明がこの実施例及び比較例に限定
されるものでないことは言うまでもない。
【００２１】先ず、本実施例において用いた磁気記録媒
体の構成について説明する。
体の構成について説明する。
【００２２】 ベースフイルム：１０ｍｍＰＥＴ 磁性層 ：厚さ ２００ｎｍ／組成Ｃｏ１００％単層 入射角 ：４５〜９０° 酸素導入量 ：３．３×１０-6ｍ3／ｓｅｃ 蒸着時真空度 ：７ｘ１０-2Ｐａ （蒸着時に酸素を導入することによりＨｃ １１０ｋＡ／ｍ，Ｂｒ ０．４５ Ｔに調整） 表面保護膜層 ＣＶＤ法による保護膜作成 厚さ１０ｎｍ （図１にダイヤモンド状硬質カーボン薄膜膜形成装置の要部構 成図を示す） サンプル１は、チオ亜リン酸エステル化合物（アルキル
鎖の炭素数：１０）をディッピング方式にて塗布したも
のである。また、サンプル２（炭素数：１２）、サンプ
ル３（炭素数：１６）についても同様の方式で塗布した
ものを用意した。
鎖の炭素数：１０）をディッピング方式にて塗布したも
のである。また、サンプル２（炭素数：１２）、サンプ
ル３（炭素数：１６）についても同様の方式で塗布した
ものを用意した。
【００２３】以上のようにして作製された各サンプルテ
ープに対し、トラック幅２０μｍセンダストヘッドが搭
載された８ミリＶＴＲ（ＣＶＤ−１０００ ＳＯＮＹ
製）を用いて最短記録波長０．５μｍとして記録再生を
行い摩擦係数、スチル耐久性、シャトル耐久性を測定し
た。
ープに対し、トラック幅２０μｍセンダストヘッドが搭
載された８ミリＶＴＲ（ＣＶＤ−１０００ ＳＯＮＹ
製）を用いて最短記録波長０．５μｍとして記録再生を
行い摩擦係数、スチル耐久性、シャトル耐久性を測定し
た。
【００２４】ここで摩擦係数は、ＳＵＳガイドに磁性面
を１００回摺動させた後の値で評価した。
を１００回摺動させた後の値で評価した。
【００２５】スチル耐久性は、サンプルテープに対して
２０℃６０％ＲＨ条件下にてスチル再生を行い、再生出
力が３ｄＢ低下するまでのパス回数として評価した。
２０℃６０％ＲＨ条件下にてスチル再生を行い、再生出
力が３ｄＢ低下するまでのパス回数として評価した。
【００２６】また、シャトル耐久性は、上述と同様環境
下にて信号を記録し、これを１００回再生走行させた後
の出力レベルを測定し、初期の出力レベルを０ｄＢとし
て相対値を換算することで評価した。
下にて信号を記録し、これを１００回再生走行させた後
の出力レベルを測定し、初期の出力レベルを０ｄＢとし
て相対値を換算することで評価した。
【００２７】これらの結果を表１に示す。なお、サンプ
ル１〜３には下記の構造のチオ亜リン酸エステル化合物
を用いた。
ル１〜３には下記の構造のチオ亜リン酸エステル化合物
を用いた。
【００２８】 サンプル１：チオ亜リン酸トリデシル；（Ｃ10Ｈ21Ｓ）3−Ｐ サンプル２：チオ亜リン酸トリラウリル；（Ｃ12Ｈ25Ｓ）3−Ｐ サンプル３：チオ亜リン酸トリパルミチル；（Ｃ16Ｈ33Ｓ）3−Ｐ
【００２９】
【表１】
【００３０】なお、比較用としてチオ亜リン酸エステル
化合物を塗布しなかった場合（比較例）についても上述
と同様にして摩擦係数、スチル耐久性、シャトル耐久性
をそれぞれ調べた。この結果も表１中に併せて記した。
化合物を塗布しなかった場合（比較例）についても上述
と同様にして摩擦係数、スチル耐久性、シャトル耐久性
をそれぞれ調べた。この結果も表１中に併せて記した。
【００３１】表１より、サンプル２のサンプルテープは
摩擦係数が他のサンプルテープより小さく、シャトル耐
久性に優れていることが判った。
摩擦係数が他のサンプルテープより小さく、シャトル耐
久性に優れていることが判った。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、ＣＶＤ
法またはスパッタ法にて厚み１０ｎｍのダイヤモンド状
硬質カーボン薄膜を磁気記録媒体表面に作成し、更にそ
の上に、チオ亜リン酸トリラウリルを塗布することによ
り、摩擦の低い、且つ耐久性の良い磁気記録媒体、いわ
ゆる信頼性の高い磁気記録媒体を得ることができる。
法またはスパッタ法にて厚み１０ｎｍのダイヤモンド状
硬質カーボン薄膜を磁気記録媒体表面に作成し、更にそ
の上に、チオ亜リン酸トリラウリルを塗布することによ
り、摩擦の低い、且つ耐久性の良い磁気記録媒体、いわ
ゆる信頼性の高い磁気記録媒体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜形成装置の要
部構成図。
部構成図。
１ 被処理体 ２ 回転支持体 ３ 巻き出しロール ４ 巻取りロール ５ 反応管 ６ 電極 ７ 直流電流 ８ 炭化水素ガス導入口 ９ 対向電極 １０ 排気系 １１ 真空槽
Claims (2)
- 【請求項１】 真空成膜法によって強磁性金属薄膜上に
ダイヤモンド状硬質カーボン薄膜が成膜されてなる磁気
記録用薄膜媒体において、上記ダイヤモンド状硬質カー
ボン薄膜上に潤滑剤としてチオ亜リン酸エステル化合物
が塗布されていることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 チオ亜リン酸エステル化合物のアルキル
の鎖の炭素数が１１〜１５であることを特徴とする請求
項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28067495A JPH09128729A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 磁気記録用薄膜媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28067495A JPH09128729A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 磁気記録用薄膜媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09128729A true JPH09128729A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17628356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28067495A Withdrawn JPH09128729A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | 磁気記録用薄膜媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09128729A (ja) |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP28067495A patent/JPH09128729A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030107 |