JPH09118013A - インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットプリントヘッド及びその製造方法Info
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- JPH09118013A JPH09118013A JP8206080A JP20608096A JPH09118013A JP H09118013 A JPH09118013 A JP H09118013A JP 8206080 A JP8206080 A JP 8206080A JP 20608096 A JP20608096 A JP 20608096A JP H09118013 A JPH09118013 A JP H09118013A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクの腐食作用を受けやすいプリントヘッ
ドの内部構成要素に不活性化と保護コーティングを施
す、インクジェット印刷装置を提供する。 【解決手段】 記録液を記録媒体に噴出するためのプリ
ントヘッド１０であって、記録液を保持する少なくとも
一つのリザーバ１４と、液体を記録媒体に噴出するため
の少なくとも１本のノズル１５と、リザーバ１４とノズ
ル１５の間の液体流路を提供するチャネル手段１６と、
チャネル１６に収容された液体にエネルギーを伝えるエ
ネルギー発生手段２５と、ノズル１５を介して記録媒体
に液体を周期的に噴出せしめるようにエネルギー発生手
段を選択的に作動するための手段と、上記内部構造の少
なくとも一部に形成された硬化光作像可能ベンゾシクロ
ブテン（ＢＣＢ）ポリマ１８とを含む内部構造体を備え
ているプリントヘッド。
ドの内部構成要素に不活性化と保護コーティングを施
す、インクジェット印刷装置を提供する。 【解決手段】 記録液を記録媒体に噴出するためのプリ
ントヘッド１０であって、記録液を保持する少なくとも
一つのリザーバ１４と、液体を記録媒体に噴出するため
の少なくとも１本のノズル１５と、リザーバ１４とノズ
ル１５の間の液体流路を提供するチャネル手段１６と、
チャネル１６に収容された液体にエネルギーを伝えるエ
ネルギー発生手段２５と、ノズル１５を介して記録媒体
に液体を周期的に噴出せしめるようにエネルギー発生手
段を選択的に作動するための手段と、上記内部構造の少
なくとも一部に形成された硬化光作像可能ベンゾシクロ
ブテン（ＢＣＢ）ポリマ１８とを含む内部構造体を備え
ているプリントヘッド。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリントヘッドの
内側に形成されたチャネル内に収容されたインク小滴
を、エネルギーを利用して、オリフィスから記録材に噴
出する、インクジェット印刷装置に関するものである。
更に詳しくいうと、本発明は、プリントヘッドのインク
感応部の腐食作用に対して優れた防御能を有するインク
ジェットプリントヘッドに関するものである。
内側に形成されたチャネル内に収容されたインク小滴
を、エネルギーを利用して、オリフィスから記録材に噴
出する、インクジェット印刷装置に関するものである。
更に詳しくいうと、本発明は、プリントヘッドのインク
感応部の腐食作用に対して優れた防御能を有するインク
ジェットプリントヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット印刷技術では、プリント
ヘッドは、インク供給チャンバと連通し且つインクが満
たされた１つまたは複数本のチャネルを有しており、チ
ャネルの一端はノズルオリフィスとして形成されてい
る。インクは噴出される前にノズルでメニスカスを形成
する。加熱抵抗にパルス信号を送る、または、チャネル
の壁に圧電気で力をかけることによって生成された熱の
形でインクチャネルにエネルギーが与えられ、ノズルか
ら記録材にインク小滴を噴出させる。小滴が噴出された
後、更なるインクがチャネルに補充されて再びメニスカ
スを形成する。
ヘッドは、インク供給チャンバと連通し且つインクが満
たされた１つまたは複数本のチャネルを有しており、チ
ャネルの一端はノズルオリフィスとして形成されてい
る。インクは噴出される前にノズルでメニスカスを形成
する。加熱抵抗にパルス信号を送る、または、チャネル
の壁に圧電気で力をかけることによって生成された熱の
形でインクチャネルにエネルギーが与えられ、ノズルか
ら記録材にインク小滴を噴出させる。小滴が噴出された
後、更なるインクがチャネルに補充されて再びメニスカ
スを形成する。
【０００３】インクは、エネルギー発生器、すなわちサ
ーマルインクジェットプリンタの場合の抵抗ヒータ素子
または圧電プリンタの場合の圧電プレート、が、インク
と十分に接触してエネルギー伝達するような様式で流れ
なくてはならない。使用するインクの腐食性のために、
エネルギー発生器の系列の電子回路は、パターンに合わ
せて光作像可能でなくてはならない保護コーティングに
よって保護されなくてはならず、制作過程中にエネルギ
ー発生素子に作用を及ぼす。不活性化などの目的で従来
技術で広く使用されている好適な光作像可能物質は、ポ
リイミドと乾燥膜はんだマスクポリマ（ＰＭＭＡ）であ
る。例えば、米国特許第４，７７４，５３０号明細書と
第４，８２９，３２４号明細書に開示されているよう
に、ヒータウエハの上面には硬化(curing)プロセスで与
えられたポリイミドの比較的厚いパターン層がパターン
ニングされ、下にある電子回路を不活性化する一方、ヒ
ータ表面をピット構造の底部に配置してインク噴出特性
を向上する。米国特許第５，１１３，２０３号明細書
は、図１に、スピンコーティングされた光感応ポリイミ
ド層２１３、２１４によって電極２０９、２１０が保護
されたプリントヘッドを開示している。プリントヘッド
用のノズルプレートを形成するのに、米国特許第５，２
９１，２２６号明細書に開示されているようにポリマが
使用されていた。
ーマルインクジェットプリンタの場合の抵抗ヒータ素子
または圧電プリンタの場合の圧電プレート、が、インク
と十分に接触してエネルギー伝達するような様式で流れ
なくてはならない。使用するインクの腐食性のために、
エネルギー発生器の系列の電子回路は、パターンに合わ
せて光作像可能でなくてはならない保護コーティングに
よって保護されなくてはならず、制作過程中にエネルギ
ー発生素子に作用を及ぼす。不活性化などの目的で従来
技術で広く使用されている好適な光作像可能物質は、ポ
リイミドと乾燥膜はんだマスクポリマ（ＰＭＭＡ）であ
る。例えば、米国特許第４，７７４，５３０号明細書と
第４，８２９，３２４号明細書に開示されているよう
に、ヒータウエハの上面には硬化(curing)プロセスで与
えられたポリイミドの比較的厚いパターン層がパターン
ニングされ、下にある電子回路を不活性化する一方、ヒ
ータ表面をピット構造の底部に配置してインク噴出特性
を向上する。米国特許第５，１１３，２０３号明細書
は、図１に、スピンコーティングされた光感応ポリイミ
ド層２１３、２１４によって電極２０９、２１０が保護
されたプリントヘッドを開示している。プリントヘッド
用のノズルプレートを形成するのに、米国特許第５，２
９１，２２６号明細書に開示されているようにポリマが
使用されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】インクジェットプリン
トヘッドにポリイミドまたはＰＭＭＡを使用することに
は、ある種の不都合がある。一つは、強アルカリ極性溶
剤を有するインクに対する耐性が不十分で、結果として
ポリイミドのコーティングが腐食することである。もう
一つの不都合は、高温感度である。更に別のＰＭＭＡ剤
の不都合は、高温感度である。更に別の不都合は、ポリ
イミド層の平面性に対するコントロールを減じる硬化プ
ロセス時の収縮である。
トヘッドにポリイミドまたはＰＭＭＡを使用することに
は、ある種の不都合がある。一つは、強アルカリ極性溶
剤を有するインクに対する耐性が不十分で、結果として
ポリイミドのコーティングが腐食することである。もう
一つの不都合は、高温感度である。更に別のＰＭＭＡ剤
の不都合は、高温感度である。更に別の不都合は、ポリ
イミド層の平面性に対するコントロールを減じる硬化プ
ロセス時の収縮である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、改良さ
れた光作像可能調合物を用いて、インクの腐食作用を受
けやすいプリントヘッドの内部構成要素に不活性化と保
護コーティングを施す、インクジェット印刷装置を提供
することである。
れた光作像可能調合物を用いて、インクの腐食作用を受
けやすいプリントヘッドの内部構成要素に不活性化と保
護コーティングを施す、インクジェット印刷装置を提供
することである。
【０００６】改良された光作像可能物質は、硬化された
光作像可能ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）層としてコー
ティングを形成することによって提供される。
光作像可能ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）層としてコー
ティングを形成することによって提供される。
【０００７】更に詳しく言うと、本発明は、記録媒体に
記録液を噴出するためのプリントヘッドに関するもので
あり、プリントヘッドの内部構造は、上記記録液を保持
するための少なくとも１つのチャネルと、液体を記録媒
体に噴出するための少なくとも１つのノズルと、上記チ
ャンバと上記ノズルの間の液体流路を提供するチャネル
手段と、上記チャネルに収容された液体にエネルギーを
伝えるエネルギー発生手段と、上記ノズルを介して上記
記録媒体に上記液体を周期的に噴出せしめるように上記
エネルギー発生手段を選択的に作動するための手段と、
上記内部構造の少なくとも一部に形成された硬化光作像
可能ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）ポリマ、とを含んで
いる。
記録液を噴出するためのプリントヘッドに関するもので
あり、プリントヘッドの内部構造は、上記記録液を保持
するための少なくとも１つのチャネルと、液体を記録媒
体に噴出するための少なくとも１つのノズルと、上記チ
ャンバと上記ノズルの間の液体流路を提供するチャネル
手段と、上記チャネルに収容された液体にエネルギーを
伝えるエネルギー発生手段と、上記ノズルを介して上記
記録媒体に上記液体を周期的に噴出せしめるように上記
エネルギー発生手段を選択的に作動するための手段と、
上記内部構造の少なくとも一部に形成された硬化光作像
可能ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）ポリマ、とを含んで
いる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、電子制御素子を不活性化
するパターニングされたベンゾシクロブテンポリマ層を
有するヒータプレートを示す、サーマルインクジェット
プリントの拡大断面図である。
するパターニングされたベンゾシクロブテンポリマ層を
有するヒータプレートを示す、サーマルインクジェット
プリントの拡大断面図である。
【０００９】ホーキンズ(Hawkins)他による米国再発行
特許第３２，５７２号明細書と、ホーキンズ(Hawkins)
他による米国特許第５，０１０，３５５号明細書と、フ
ィッシャ(Fisher)他による米国特許第４，８５１，３７
１号明細書と組み合わせて本発明を説明する。尚、上記
全部の開示内容は、参照によってここに組込まれる。本
発明は、記載される通りのプリントヘッド構造の効用お
よびその他のタイプを有していることを理解されたい。
これらの特許に開示されているように、サーマルインク
ジェットプリントヘッドは、ヒータウエハに異方エッチ
ングを施したチャネルウエハを位置合わせして粘着剤で
接着し、次に、接着されたウエハを個々のプリントヘッ
ドに分離するダイシング工程を施すことによって、一括
生成される。先行技術では、チャネルウエハとヒータウ
エハの間にパターンニングされた厚膜絶縁層を介在させ
ている。好適絶縁材料はポリイミドであった。本発明に
よれば、図１に記載されているように、ポリイミド層
は、光作像可能なベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）樹脂の
層１８に置き換えられている。図１は、プリントヘッド
の断面図を示す。プリントヘッド１０は、ヒータプレー
ト１２に位置合わせされて接着された異方エッチングチ
ャネルプレート１１を具備する。プリントヘッドは、
（図示されていない）駆動回路と電源に接続する電極１
３を上に有するドーターボード１９に、固定的に取り付
けられる。チャネルプレート１１は、開いた底部が入口
１５として作用する、貫通エッチングが施されたリザー
バ１４を有している。チャネル１６の両端はノズル面２
９を貫通して開いており、リザーバに垂直に隣接し、リ
ザーバと等距離にある閉端部２１を有している。チャネ
ルの開端部はノズル１５として役立つ。ヒータプレート
は、チャネルプレートと向かい合ったヒータプレート１
２の表面に形成された、加熱素子２５とアドレッシング
電極２２から成る配列を有している。加熱素子と電極と
は、絶縁層２７の上に形成され、絶縁層２８によって不
活性化される。加熱素子の上には、タンタルのような保
護層２６が付着される。好適実施例の厚膜絶縁層１８
は、ヒータプレートとチャネルプレートの間に介在する
厚さ１０ミクロンの光感応ＢＣＢである。層１８は、加
熱素子を露出するようにパターニングされ、それによ
り、加熱素子を別々のピット２６に配置し、リザーバ１
４とインクチャネル１６の間にインク流バイパスピット
２４を形成する。従って、インクはリザーバ１４から、
矢印２３で示されているようにチャネルの閉端部２１近
くのチャネル１６に流れ込む。プリントヘッドのアドレ
ッシング電極は、（図示されていない）後で不活性化さ
れるワイヤボンド３０によってドータボード電極１３に
接続される。異方エッチングされたチャネル１６は、断
面積が三角形の部分を有しており、ノズル面２９にてノ
ズルを囲んでいる材料物質は、三角形のノズルの２つの
側面がシリコンで、第３の側面は厚膜層の材料物質であ
る。
特許第３２，５７２号明細書と、ホーキンズ(Hawkins)
他による米国特許第５，０１０，３５５号明細書と、フ
ィッシャ(Fisher)他による米国特許第４，８５１，３７
１号明細書と組み合わせて本発明を説明する。尚、上記
全部の開示内容は、参照によってここに組込まれる。本
発明は、記載される通りのプリントヘッド構造の効用お
よびその他のタイプを有していることを理解されたい。
これらの特許に開示されているように、サーマルインク
ジェットプリントヘッドは、ヒータウエハに異方エッチ
ングを施したチャネルウエハを位置合わせして粘着剤で
接着し、次に、接着されたウエハを個々のプリントヘッ
ドに分離するダイシング工程を施すことによって、一括
生成される。先行技術では、チャネルウエハとヒータウ
エハの間にパターンニングされた厚膜絶縁層を介在させ
ている。好適絶縁材料はポリイミドであった。本発明に
よれば、図１に記載されているように、ポリイミド層
は、光作像可能なベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）樹脂の
層１８に置き換えられている。図１は、プリントヘッド
の断面図を示す。プリントヘッド１０は、ヒータプレー
ト１２に位置合わせされて接着された異方エッチングチ
ャネルプレート１１を具備する。プリントヘッドは、
（図示されていない）駆動回路と電源に接続する電極１
３を上に有するドーターボード１９に、固定的に取り付
けられる。チャネルプレート１１は、開いた底部が入口
１５として作用する、貫通エッチングが施されたリザー
バ１４を有している。チャネル１６の両端はノズル面２
９を貫通して開いており、リザーバに垂直に隣接し、リ
ザーバと等距離にある閉端部２１を有している。チャネ
ルの開端部はノズル１５として役立つ。ヒータプレート
は、チャネルプレートと向かい合ったヒータプレート１
２の表面に形成された、加熱素子２５とアドレッシング
電極２２から成る配列を有している。加熱素子と電極と
は、絶縁層２７の上に形成され、絶縁層２８によって不
活性化される。加熱素子の上には、タンタルのような保
護層２６が付着される。好適実施例の厚膜絶縁層１８
は、ヒータプレートとチャネルプレートの間に介在する
厚さ１０ミクロンの光感応ＢＣＢである。層１８は、加
熱素子を露出するようにパターニングされ、それによ
り、加熱素子を別々のピット２６に配置し、リザーバ１
４とインクチャネル１６の間にインク流バイパスピット
２４を形成する。従って、インクはリザーバ１４から、
矢印２３で示されているようにチャネルの閉端部２１近
くのチャネル１６に流れ込む。プリントヘッドのアドレ
ッシング電極は、（図示されていない）後で不活性化さ
れるワイヤボンド３０によってドータボード電極１３に
接続される。異方エッチングされたチャネル１６は、断
面積が三角形の部分を有しており、ノズル面２９にてノ
ズルを囲んでいる材料物質は、三角形のノズルの２つの
側面がシリコンで、第３の側面は厚膜層の材料物質であ
る。
【００１０】好適実施例において、層１８は、紫外線光
に対して感光性があり、１ステップで硬化可能であるよ
うに処方された光作像可能なベンゾシクロブテン（ＢＣ
Ｂ）を含んでいる。一般的組成では、次の通りである。
に対して感光性があり、１ステップで硬化可能であるよ
うに処方された光作像可能なベンゾシクロブテン（ＢＣ
Ｂ）を含んでいる。一般的組成では、次の通りである。
【００１１】
【化１】
【００１２】図中、それぞれのＲは、各々、水素、ＣＨ
3、ＣＨ2、ＣＨ2ＣＨ3のようなアルキル含有脂肪族、Ｃ
ｌ、Ｂｒ等のようなハロゲン、ならびにＳｉＨ3、Ｓｉ
（ＯＨ）3、ＣＯＯＨである。特定実施例において、Ｂ
ＣＢは重量百分率で３５−６３％のジビニルシロキサン
ービスベンゾシクロブテン異性体を含有しており、メシ
チレンのような芳香溶剤を含んでいる。
3、ＣＨ2、ＣＨ2ＣＨ3のようなアルキル含有脂肪族、Ｃ
ｌ、Ｂｒ等のようなハロゲン、ならびにＳｉＨ3、Ｓｉ
（ＯＨ）3、ＣＯＯＨである。特定実施例において、Ｂ
ＣＢは重量百分率で３５−６３％のジビニルシロキサン
ービスベンゾシクロブテン異性体を含有しており、メシ
チレンのような芳香溶剤を含んでいる。
【００１３】
【化２】
【００１４】ＢＣＢ剤は、更に、ホトクロスリンカｍ−
アジドフェニル・スルホン（０．２−３．０％）と、
２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−メチル
サイクロヘキサノン（０．２５−３．０％）と、酸化防
止剤１，２−ジヒドロ−２，２，４−トリメチルキノリ
ン（０．２−３．０％）とを含んでいる。ポリマの配向
は、際限無く続けられるであろう下記化学反応によって
表現される３次元連鎖である。
アジドフェニル・スルホン（０．２−３．０％）と、
２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−メチル
サイクロヘキサノン（０．２５−３．０％）と、酸化防
止剤１，２−ジヒドロ−２，２，４−トリメチルキノリ
ン（０．２−３．０％）とを含んでいる。ポリマの配向
は、際限無く続けられるであろう下記化学反応によって
表現される３次元連鎖である。
【００１５】
【化３】
【００１６】一実施例において、ＢＣＢは下記プロセス
によって硬化される。硬化は無酸素環境で生じるが、オ
ーブン、ホットプレート、ＲＴＣ、電気光線によって可
能である。オーブンによる硬化の場合、硬化サイクルは
下記の通りである。
によって硬化される。硬化は無酸素環境で生じるが、オ
ーブン、ホットプレート、ＲＴＣ、電気光線によって可
能である。オーブンによる硬化の場合、硬化サイクルは
下記の通りである。
【００１７】 ソフト硬化：５分間で５０°Ｃまで徐々に昇温、５分間
均熱保持；１５分間で１００°Ｃまで徐々に昇温、１５
分間均熱保持；１５分間で１５０°Ｃまで徐々に昇温、
１５分間均熱保持；３０分間で２１０°Ｃまで徐々に昇
温、３０分間均熱保持；その後、自然冷却； ハード硬化：５分間で５０°Ｃまで徐々に昇温、５分間
均熱保持；１５分間で１００°Ｃまで徐々に昇温、１５
分間均熱保持；１５分間で１５０°Ｃまで徐々に昇温、
１５分間均熱保持；６０分間で２５０°Ｃまで徐々に昇
温、６０分間均熱保持；その後、自然冷却。
均熱保持；１５分間で１００°Ｃまで徐々に昇温、１５
分間均熱保持；１５分間で１５０°Ｃまで徐々に昇温、
１５分間均熱保持；３０分間で２１０°Ｃまで徐々に昇
温、３０分間均熱保持；その後、自然冷却； ハード硬化：５分間で５０°Ｃまで徐々に昇温、５分間
均熱保持；１５分間で１００°Ｃまで徐々に昇温、１５
分間均熱保持；１５分間で１５０°Ｃまで徐々に昇温、
１５分間均熱保持；６０分間で２５０°Ｃまで徐々に昇
温、６０分間均熱保持；その後、自然冷却。
【００１８】下記は、同一材料で厚さが異なる場合の、
２サンプルのパターニングプロセスである。
２サンプルのパターニングプロセスである。
【００１９】サンプル１ １． ＃９３００６−２８タイプのＤｏｗ ＢＣＢを２
−３グラム付着させる。 ２． ５００ＲＰＭで２０秒間、２５００ＲＰＭで３０
秒間スピンさせる。 ３． ７５°Ｃで２０分間焼成する。 ４． ２５０ｍジュールで接触状態にする。 ５． 溶剤Stoddardで５０秒間パッドル(paddle)現像す
る。 ６． プロポナル(proponal)中で２０秒間濯ぐ。 ７． 硬化する（仕上がり厚５．３ミクロン）
−３グラム付着させる。 ２． ５００ＲＰＭで２０秒間、２５００ＲＰＭで３０
秒間スピンさせる。 ３． ７５°Ｃで２０分間焼成する。 ４． ２５０ｍジュールで接触状態にする。 ５． 溶剤Stoddardで５０秒間パッドル(paddle)現像す
る。 ６． プロポナル(proponal)中で２０秒間濯ぐ。 ７． 硬化する（仕上がり厚５．３ミクロン）
【００２０】サンプル２ １． ＃９３００５−８３タイプのＤｏｗ ＢＣＢを２
−３グラム付着させる。 ２． ５００ＲＰＭで２０秒間、２７００ＲＰＭで３０
秒間スピンさせる。 ３． ７５°Ｃで４０分間焼成する。 ４． ３６０ｍジュールで接触状態にする。 ５． 溶剤Stoddardで１２０秒間パッドル現像する。 ６． プロポナル中で２０秒間濯ぐ。 ７． 硬化する（仕上がり厚８．６ミクロン）
−３グラム付着させる。 ２． ５００ＲＰＭで２０秒間、２７００ＲＰＭで３０
秒間スピンさせる。 ３． ７５°Ｃで４０分間焼成する。 ４． ３６０ｍジュールで接触状態にする。 ５． 溶剤Stoddardで１２０秒間パッドル現像する。 ６． プロポナル中で２０秒間濯ぐ。 ７． 硬化する（仕上がり厚８．６ミクロン）
【００２１】ＢＣＢ層は、耐薬品性を極めて高める三次
元連鎖を備えたポリマ構造体である。また、重合反応は
モノマの再配向に過ぎないので、硬化時の収縮はなく、
コーティングの平坦化度は良好である。この特性は、硬
化時に重大な収縮を生じ、平坦性をなくす加水分解が生
じる先行技術のポリイミドとは異なる。
元連鎖を備えたポリマ構造体である。また、重合反応は
モノマの再配向に過ぎないので、硬化時の収縮はなく、
コーティングの平坦化度は良好である。この特性は、硬
化時に重大な収縮を生じ、平坦性をなくす加水分解が生
じる先行技術のポリイミドとは異なる。
【００２２】上記の説明は、光作像可能ＢＣＢコーティ
ングを利用して、特定のサーマルインクジェットプリン
トヘッド制作時にピット層を形成する一例を示すもので
ある。同プリントヘッドにおいて、ＢＣＢコーティング
の他の用途は、チャネルプレート１１とヒータ１２の間
に粘着性の接着を生じることであろう。参照によってこ
こに組込まれる米国特許第４，６７８，５２９号明細書
に開示されているように、スピンコーティングプロセス
によってチャネルプレートに付着性のある希釈ＥＰＯＮ
（登録商標）を塗布することにより、チャネルプレート
がヒータプレートに接着されるプリントヘッドが開示さ
れている。本発明の光作像可能ＢＣＢ調合物は、ＥＰＯ
Ｎ（登録商標）調合物の代わりに利用されうる。
ングを利用して、特定のサーマルインクジェットプリン
トヘッド制作時にピット層を形成する一例を示すもので
ある。同プリントヘッドにおいて、ＢＣＢコーティング
の他の用途は、チャネルプレート１１とヒータ１２の間
に粘着性の接着を生じることであろう。参照によってこ
こに組込まれる米国特許第４，６７８，５２９号明細書
に開示されているように、スピンコーティングプロセス
によってチャネルプレートに付着性のある希釈ＥＰＯＮ
（登録商標）を塗布することにより、チャネルプレート
がヒータプレートに接着されるプリントヘッドが開示さ
れている。本発明の光作像可能ＢＣＢ調合物は、ＥＰＯ
Ｎ（登録商標）調合物の代わりに利用されうる。
【００２３】ＢＣＢ調合物の効果は、上記に開示された
構造体に限定されるものではなく、前述のいずれのプリ
ントヘッドにおいても相等しく有用である。例えば、米
国特許第５，２９１，２２６号明細書に開示されている
ノズル部材は、ポリマ材料断面で形成されるように記述
されている。ＢＣＢコーティングを利用してノズルを貫
通形成できる断面を提供でき、当該断面は、ノズルプレ
ートの両側へのインクの作用に対して優れた保護を提供
する。別の例のように、および、米国特許第５，００
８，６８９号明細書に開示されているように、プリント
ヘッドは、オリフィスプレートとインクチャネル、なら
びに抵抗によって加熱されるチャネル内のインクを具備
している。抵抗はプラスチック層に形成されている。こ
のＢＣＢポリマ調合物は、プラスチック層を形成するの
に利用されうる。この特許の内容は、参照によりここに
組込まれる。
構造体に限定されるものではなく、前述のいずれのプリ
ントヘッドにおいても相等しく有用である。例えば、米
国特許第５，２９１，２２６号明細書に開示されている
ノズル部材は、ポリマ材料断面で形成されるように記述
されている。ＢＣＢコーティングを利用してノズルを貫
通形成できる断面を提供でき、当該断面は、ノズルプレ
ートの両側へのインクの作用に対して優れた保護を提供
する。別の例のように、および、米国特許第５，００
８，６８９号明細書に開示されているように、プリント
ヘッドは、オリフィスプレートとインクチャネル、なら
びに抵抗によって加熱されるチャネル内のインクを具備
している。抵抗はプラスチック層に形成されている。こ
のＢＣＢポリマ調合物は、プラスチック層を形成するの
に利用されうる。この特許の内容は、参照によりここに
組込まれる。
【００２４】総括すると、本発明の硬化光作像可能ＢＣ
Ｂポリマは、利用される特定インクの腐食力によって影
響を受けるであろうインクジェットプリントヘッドのい
ずれかの領域のピット層のような構造体を提供する、保
護層またはベース層として利用されうる。
Ｂポリマは、利用される特定インクの腐食力によって影
響を受けるであろうインクジェットプリントヘッドのい
ずれかの領域のピット層のような構造体を提供する、保
護層またはベース層として利用されうる。
【図１】 電子制御素子を不活性化するパターンニング
されたベンゾシクロブテンポリマ層を有するヒータプレ
ートを示す、サーマルインクジェットプリントの拡大断
面図である。
されたベンゾシクロブテンポリマ層を有するヒータプレ
ートを示す、サーマルインクジェットプリントの拡大断
面図である。
１０ プリントヘッド、１１ 異方エッチングチャネル
プレート、１２ ヒータプレート、１３ 電極、１４
リザーバ、１５ ノズル、１６ チャネル、１８ＢＣＢ
樹脂層、１９ ドーターボード、２１ 閉端部、２２
アドレッシング電極、２４ バイパスピット、２５ 加
熱素子、２６ 保護層、２７ 絶縁層、２８ 絶縁層、
２９ ノズル面、３０ ワイヤボンド
プレート、１２ ヒータプレート、１３ 電極、１４
リザーバ、１５ ノズル、１６ チャネル、１８ＢＣＢ
樹脂層、１９ ドーターボード、２１ 閉端部、２２
アドレッシング電極、２４ バイパスピット、２５ 加
熱素子、２６ 保護層、２７ 絶縁層、２８ 絶縁層、
２９ ノズル面、３０ ワイヤボンド
フロントページの続き (72)発明者 アルモン・ピー・フィッシャー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14620 ロチェスター ハウランドアベニュー 319 (72)発明者 ディアン・アトキンソン アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14580 ウエブスター モーホークストリート 35 (72)発明者 マイルドレッド・カリストリ−イェー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 ジェネ バ マクスウエルアベニュー 103
Claims (3)
- 【請求項１】 記録液を記録媒体に噴出するためのプリ
ントヘッドであって、 前記記録液を保持する少なくとも１つのチャネルと、 液体を記録媒体に噴出するための少なくとも１つのノズ
ルと、 前記チャンバと前記ノズルの間の液体流路を提供するチ
ャネル手段と、 前記チャネルに収容された液体にエネルギーを伝えるエ
ネルギー発生手段と、 前記ノズルを介して前記記録媒体に前記液体を周期的に
噴出せしめるように前記エネルギー発生手段を選択的に
作動するための手段と、 上記内部構造の少なくとも一部に形成された硬化光作像
可能ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）ポリマ、とを含む内
部構造体を備えていることを特徴とする、前記プリント
ヘッド。 - 【請求項２】 インクチャネルとしてその後に使われる
１セットの平行な溝と、マニホルドとしてその後の使わ
れる異方エッチングされた凹所の両方を形成するように
片方の面が異方エッチングされているシリコンの上側基
板を有し、更に、一方の面に加熱素子とアドレッシング
電極の配列が形成された下側基板を有し、上側および下
側基板は揃えられ、合わせられ、一緒に接着されて、間
に厚膜絶縁層を備えたプリントヘッドを形成し、厚膜絶
縁層は下側基板の表面に加熱素子とアドレッシング電極
を覆って付着されており、前記基板の合わせと接着の前
に凹所を形成して加熱素子アドレッシング電極の端末端
を露出するようにパターニングされる改良インクジェッ
トプリントヘッドであって、改良点に、 光作像可能ＢＣＢポリマ樹脂から厚膜フィルム絶縁層を
形成することを特徴とする、前記インクジェットプリン
トヘッド。 - 【請求項３】 インクジェット印刷に適したプリントヘ
ッドを作成するためのプロセスにおいて、 適切な溶剤に光作像可能なベンゾシクロブテンを溶解す
るステップと、 インク腐食を受けやすい前記プリントヘッドの内部構造
の少なくとも一部に溶液を塗布して溶剤を蒸発させて膜
を残すステップ、とを含んでいることを特徴とする、前
記プロセス。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/515,180 US5699094A (en) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | Ink jet printing device |
| US515180 | 1995-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09118013A true JPH09118013A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=24050272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8206080A Withdrawn JPH09118013A (ja) | 1995-08-11 | 1996-08-05 | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5699094A (ja) |
| JP (1) | JPH09118013A (ja) |
| BR (1) | BR9603087A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8839655B2 (en) | 2009-07-31 | 2014-09-23 | Horiba Europe Gmbh | Test stand with an apparatus for calibrating a force-measuring device |
| JP2020533200A (ja) * | 2017-09-08 | 2020-11-19 | ザール テクノロジー リミテッドＸａａｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｌｉｍｉｔｅｄ | Ｍｅｍｓ装置の製造方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183069B1 (en) | 1998-01-08 | 2001-02-06 | Xerox Corporation | Ink jet printhead having a patternable ink channel structure |
| US6079819A (en) * | 1998-01-08 | 2000-06-27 | Xerox Corporation | Ink jet printhead having a low cross talk ink channel structure |
| US6790598B2 (en) | 2002-01-16 | 2004-09-14 | Xerox Corporation | Methods of patterning resists and structures including the patterned resists |
| TWI276155B (en) * | 2004-10-15 | 2007-03-11 | Touch Micro System Tech | Method for bonding wafers |
| US7380914B2 (en) * | 2005-04-26 | 2008-06-03 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection assembly |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4638337A (en) * | 1985-08-02 | 1987-01-20 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead |
| US4774530A (en) * | 1987-11-02 | 1988-09-27 | Xerox Corporation | Ink jet printhead |
| US4829324A (en) * | 1987-12-23 | 1989-05-09 | Xerox Corporation | Large array thermal ink jet printhead |
| US4890126A (en) * | 1988-01-29 | 1989-12-26 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Printing head for ink jet printer |
| US5008689A (en) * | 1988-03-16 | 1991-04-16 | Hewlett-Packard Company | Plastic substrate for thermal ink jet printer |
| US5539175A (en) * | 1994-03-21 | 1996-07-23 | Litel Instruments | Apparatus and process for optically ablated openings having designed profile |
-
1995
- 1995-08-11 US US08/515,180 patent/US5699094A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-07-12 BR BR9603087A patent/BR9603087A/pt not_active IP Right Cessation
- 1996-08-05 JP JP8206080A patent/JPH09118013A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8839655B2 (en) | 2009-07-31 | 2014-09-23 | Horiba Europe Gmbh | Test stand with an apparatus for calibrating a force-measuring device |
| JP2020533200A (ja) * | 2017-09-08 | 2020-11-19 | ザール テクノロジー リミテッドＸａａｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｌｉｍｉｔｅｄ | Ｍｅｍｓ装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BR9603087A (pt) | 1998-05-05 |
| US5699094A (en) | 1997-12-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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