JPH0911221A - ブレーク溝入りセラミック基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 後工程での基板のブレークを困難とせず、基
板の焼成時の変形や割れ或いはブレーク処理工程に至る
過程での基板の割れを生じさせない。 【構成】 周縁に沿ってダミー部２を有しかつダミー部
２を除いて縦横に複数のブレーク溝３，３ａ，４，４ａ
が格子状に形成されている。最外側の縦横のブレーク溝
３ａ，４ａは、その４つの交点５から、基板１の縁端部
６，７に至る途中まで外側に延びている。そして４５度
で傾斜する傾斜ブレーク溝８を、各交点５よりも縁端部
６，７側でありかつ最外側の縦横の両ブレーク溝３ａ，
４ａの先端寄り部位を斜めに横断する形で設ける。ダミ
ー部２が、焼成過程などでの割れを防止する。傾斜ブレ
ーク溝８に沿ってブレークし、最外側の縦横のブレーク
溝３ａ，４ａをブレークすれば、従来と同様にブレーク
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ブレーク溝入りセラミ
ック基板に関し、詳しくは、チップ抵抗、ハイブリッド
ＩＣ等の電子部品の製造に用いられるセラミック基板
（以下、単に基板ともいう）に関する。

【０００２】

【従来の技術】チップ抵抗、ハイブリッドＩＣ等の電子
部品の製造においては、予め薄板状に焼成されたセラミ
ック基板にチップ抵抗等を多数形成し、その後、これを
所定の線に沿ってブレーク（折り取る）して各単位に分
割することにより、多数を一度に製造（生産）するとい
う手法がとられる。このため、セラミック基板には、そ
の表面及び／又は裏面に、縦横に複数のブレーク溝が格
子状（碁盤目状）に形成されたものが用いられ、これに
チップ抵抗等を形成した後、ブレーク溝に沿ってブレー
クするようにされている。

【０００３】このようなセラミック基板は、その焼成前
のグリーンシートのときに、プレス等による型の押付け
により、スリット及び／又はそのスリットの形成に伴う
クラックからなるブレーク溝を形成しておき、これを焼
成することで製造される。そして、このブレーク溝は、
後工程での基板のブレークを容易とするために、一般に
は、縦横のブレーク溝とも、基板の縦横の一方の辺の縁
端部から対向する他方の辺の縁端部まで連続して形成さ
れる。

【０００４】ところで、セラミック基板は、焼成後、必
ずしも平板状態にあるとは限らず、むしろその多くに
は、反りや曲がりなどの変形が発生している。これは、
焼成時の収縮が不均一なことによるものであるが、形成
されるブレーク溝が長いほど、このような変形は起きや
すい。こうしたことから、ブレーク溝が長く、しかも基
板の縁端部から縁端部まで形成されたものでは、焼成過
程で、大きな反りが生じたり、ブレーク溝に沿って基板
が割れたりすることがしばしばあった。

【０００５】また、焼成された基板が反り等の変形を起
こしていると、グレーズ処理や、抵抗ペーストの印刷、
その他の後処理が困難となるため、反った基板に重しを
載せて再度、焼成することでその変形を修正することが
行われているが、このような場合にも、ブレーク溝が基
板の縁端部から縁端部まで形成されたものでは、そのブ
レーク溝に沿って基板が割れてしまうといったことがあ
った。さらに、このような変形が残存していると、グレ
ーズ用のペースト、若しくは抵抗や導体ペーストの印刷
時における押圧力により、或いはこうしたペーストの焼
成工程において、基板が割れてしまうことがあった。こ
のように、従来の一般の基板では、焼成時の反りや割
れ、さらに、最終工程であるブレークに至る前に割れが
多く発生するなど、歩留まりの低下を招いていた。

【０００６】こうした中、特公平１−３９２２３号公報
記載の技術のように、基板の周囲の最外側の一列分にダ
ミー部を設け、相対する一方のダミー部のブレーク溝
（スリット）は基板の縁端部（端部）から他の縁端部ま
でブレーク溝を入れ、他の相対するダミー部のブレーク
溝及び上記以外の他のブレーク溝の全部を、上記ダミー
部の中間部までで止める技術も提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】特公平１−３９２２３
号公報記載の技術は、基板の周囲の最外側の一列分にダ
ミー部を設けると共に、相対する最外側のブレーク溝の
みを基板の縁端部から縁端部まで形成したものであり、
ダミー部全体にはブレーク溝がないために、基板焼成時
の反りの発生防止に有効とされている。しかしながら、
相対する一方の最外側のブレーク溝は、基板の縁端部か
ら縁端部まで形成されているため、この最外側のブレー
ク溝に起因する基板の反りや割れの危険性は依然として
あるなど、上記の問題点を完全に解消したものとはいえ
ない。

【０００８】本発明は、このような問題点に鑑みて成さ
れたもので、後工程での基板のブレーク処理を困難とす
ることなく、基板の焼成時の変形や割れ、或いはブレー
ク処理工程に至る過程で基板に割れを生じさせることの
ない、ブレーク溝入りセラミック基板を提供するもので
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の問題点を解消する
ために本発明に係る請求項１に係るブレーク溝入りセラ
ミック基板の構成は、周縁に沿ってダミー部を有しかつ
該ダミー部に囲まれた内側に縦横に複数のブレーク溝が
格子状に形成されており、最外側の縦横のブレーク溝の
なす交点のうち、少くとも１つの交点において、該最外
側の縦横のブレーク溝がセラミック基板の縁端部に至る
途中まで外側に真直ぐ延びており、該交点よりも該セラ
ミック基板の縁端部側に、前記縦横のブレーク溝に対し
て傾斜してなる傾斜ブレーク溝が形成されており、しか
も、該傾斜ブレーク溝は、該セラミック基板が該傾斜ブ
レーク溝に沿ってブレークされた際に、そのブレーク断
面若しくは該ブレーク断面の近傍に、前記最外側の縦横
のブレーク溝が存在する配置で形成されていることを特
徴とする。この場合、前記傾斜ブレーク溝は、前記最外
側の縦横のブレーク溝を斜めに横断して形成されている
ものがそのブレーク処理上、好ましい。

【００１０】また、本発明に係る請求項３に係るブレー
ク溝入りセラミック基板の構成は、セラミック基板の縁
端部に至ることなく縦横に複数のブレーク溝が格子状に
形成され、該ブレーク溝のうち、最外側の縦横のブレー
ク溝よりも該セラミック基板の縁端部側をダミー部とし
てなるブレーク溝入りセラミック基板であって、該ダミ
ー部中に、前記最外側の縦横のブレーク溝に対して傾斜
して交差するようにして形成された傾斜ブレーク溝が少
なくとも一つ形成されてなることを特徴とする。

【００１１】そして、上記ブレーク溝入りセラミック基
板における前記傾斜ブレーク溝は、前記最外側の縦横の
ブレーク溝のなす４つの交点よりも該セラミック基板の
縁端部側に、各一つづつ形成されているのが、ブレーク
処理上において好ましい。また、上記のいずれにおいて
も、前記傾斜ブレーク溝は、基板焼成時の反りや割れを
防止するためになるべく短くするのがよく、したがっ
て、前記傾斜ブレーク溝は、直線状であって、前記縦横
のブレーク溝に対して４０度〜５０度の角度で傾斜して
形成されているものがよい。さらに、いずれにおいて
も、前記傾斜ブレーク溝は、その両端部がセラミック基
板の縁端部まで至っているのがそのブレーク処理上、好
ましい。

【００１２】

【作用】請求項１〜３記載の本発明によれば、基板の周
縁にはダミー部を備えており、縦横のブレーク溝は基板
の縁端部まで至っていないことから、その焼成時に反り
や割れが生じにくく、さらにチップ抵抗等を形成した
後、ブレーク処理に至るまでの後工程或いは前記の様な
取扱い過程においても割れの発生が防止される。

【００１３】一方、ブレークするに当たっては、例えば
傾斜ブレーク溝が１つのときは、まず、その傾斜ブレー
ク溝に沿って折るように力を加えてブレークする。この
際、傾斜ブレーク溝は比較的短いことから簡単にブレー
クできる。そして、このブレークにより、そのブレーク
断面若しくは該ブレーク断面の近傍には、前記最外側の
縦横のブレーク溝が存在する配置で形成されていること
から、その後は、その最外側の縦横のブレーク溝に沿っ
て、順次、折るように力を加えることにより、この縦横
のブレーク溝も簡易にブレークされ、周縁のダミー部が
除去される。

【００１４】そして、このブレークにより、残る最外側
の縦横のブレーク溝の一端部が現出することから、順
次、同様に各ブレーク溝に沿って折るように力を加える
ことにより、そのその両ブレーク溝でも簡易にブレーク
でき、残存する周縁のダミー部が除去される。かくて
は、従来の基板と同様に、縦横のブレーク溝に沿って次
々とブレークすればよい。このように、本発明によれ
ば、ブレーク処理に当たっての困難さを招くことなく、
基板の焼成過程からブレーク処理に至るまでにおける反
りや割れの発生を未然に防止することができる。

【００１５】

【実施例】本発明に係る基板を具体化した実施例につい
て、図１ないし図５を参照して詳細に説明する。図中、
１は、本例の基板であって、周縁に沿って所定の幅のダ
ミー部２を有し、このダミー部２に囲まれた内側におい
て縦横に複数のブレーク溝３，３ａ，４，４ａが格子状
に形成されている。縦横のブレーク溝３，３ａ，４，４
ａのうち、最外側のブレーク溝３ａ，４ａ以外のブレー
ク溝３，４は、それぞれ最外側のブレーク溝３ａ，４ａ
を横断して若干外側（外方）に延びており、ダミー部２
の途中で止められている。

【００１６】一方、最外側の縦横のブレーク溝３ａ，４
ａのなす４つの交点５，５においては、各ブレーク溝３
ａ，４ａが基板１の縦横の各辺の縁端部６，７に至る途
中（略中間）まで縁端部６，７側（外側）に真直ぐ延び
ている。そして、各交点５とも基板１の縁端部６，７側
には、縦横のブレーク溝３，３ａ，４，４ａに対して本
例では略４５度で傾斜してなる傾斜ブレーク溝８が、最
外側の縦横のブレーク溝３ａ，４ａの先端３ｂ，４ｂ寄
り部位を斜めに横断する形で形成されている。ただし、
本例ではこの傾斜ブレーク溝８は、基板１の縦横の各辺
の縁端部６，７まで直線状に延びている。しかして、本
例では、傾斜ブレーク溝８がそれに沿ってブレークされ
た際のブレーク断面には、最外側の縦横の両ブレーク溝
３ａ，４ａが現出するように形成されている。

【００１７】なお、このようなブレーク溝３，３ａ，
４，４ａ，８は、グリーンシートのとき、２０℃〜８０
℃の状態において、プレスにより型を押し付けることで
形成されるが、ブレーク溝はこの押付けによるスリット
と同時に奥所に発生するクラックより形成される。な
お、ブレーク溝３，３ａ，４，４ａ，８は、基板１の片
面にのみ形成してもよいが、本例では両面に形成されて
おり、その各面におけるブレーク溝の深さは、基板１の
厚さＴに対し、２０〜７０％に設定されている。

【００１８】本例のセラミック基板１は、このようなグ
リーンシートを所定温度で焼成することにより得られる
が、基板１の周縁に沿ってダミー部２があり、縦横のブ
レーク溝３，３ａ，４，４ａが基板１の各辺の縁端部
６，７に至っていないことから、これが補強部の役割を
果たし、縦横のブレーク溝に起因する焼成過程での反り
や割れの発生が防止される。一方、傾斜ブレーク溝８
は、基板１の縦横各辺の縁端部６，７まで至っている
が、その長さは縦又は横のブレーク溝３，３ａ，４，４
ａより著しく短く、したがって、この傾斜ブレーク溝８
に起因する反りや割れの発生は殆どない。また、その後
工程においてもダミー部２があることから割れの発生を
有効に防止することができる。

【００１９】なお、本例の基板１に後工程でチップ抵抗
等を形成した後、各単位に分割するにあたっては、ま
ず、傾斜ブレーク溝８に沿って基板１のダミー部２の隅
角（四隅）９をブレークする（図１〜３参照）。この
際、傾斜ブレーク溝８は短いから簡単に折り取ることが
できる。また、図４に示したように、このブレークによ
り、そのブレーク断面８ｂには、最外側の縦又は横のブ
レーク溝３ａ，４ａが現出する。したがって、現出した
最外側の縦及び横のブレーク溝３ａ，４ａに沿って折り
取るようにすれば、周縁のダミー部２が除去され、基板
１は図５に示したようにその本体部１１のみとなる。以
後は従来と同様に、縦又は横のブレーク溝３，４に沿っ
てブレークして基板１の本体部１１を短冊状とし、さら
にそのものを各ブレーク溝に沿って次々とブレークすれ
ば、１枚の基板１から所望とする多数のチップ抵抗やハ
イブリッドＩＣ等を得ることができる。

【００２０】なお、図５のように、周縁のダミー部２を
除去した後に現出する最外側のブレーク溝３ａ，４ａの
ブレーク断面を利用して抵抗ペーストを印刷して焼成し
たり、半田ペーストや接着剤を印刷する。その後、チッ
プ部品を載置してリフローやキュアすることによりチッ
プ部品を固着し、しかる後に縦や横のブレーク溝３，４
に沿って次々とブレークしていく方法をとってもよい。
基板１の外周縁を基準としてペースト等を印刷するよ
り、最外側のブレーク溝３ａ，４ａのブレーク断面を基
準としてペースト等を印刷した方が高い精度で印刷でき
る場合があるからである。

【００２１】このように本例では予め、四隅の傾斜ブレ
ーク溝８をブレークした後で、最外側の縦横のブレーク
溝３ａ，４ａに沿ってダミー部２を除去する必要のある
点を除き、基板１全面にチップ抵抗等が形成されていた
従来の基板と同様の工程でブレークできる。したがっ
て、ブレーク工程を格別複雑化することがない上に、基
板１の焼成時の変形や割れ、或いはブレーク処理に至る
過程での基板１の割れを防止することができる。

【００２２】なお本例では、最外側の縦横のブレーク溝
３ａ，４ａのなす全交点５の基板１の縁端部６，７側
（外側）に傾斜ブレーク溝８を設けたために、ダミー部
２の除去が容易となる。もっとも、傾斜ブレーク溝８
は、ブレーク効率が低下するものの、図６に示したよう
に、１箇所のみとすることもできるし、図示はしないが
対向する隅角の２箇所、さらには３箇所としてもよい。
なお、図６に示した基板２１においては、まず、傾斜ブ
レーク溝８に沿ってブレークし、そのブレーク断面（図
４参照）に現出した最外側の縦横のブレーク溝３ａ，４
ａに沿って縦及び横のダミー部２，２を除去し、このダ
ミー部２，２をブレークした際に現出する残りの最外側
の縦横のブレーク溝３ａ，４ａに沿ってその縦及び横の
ダミー部２，２を除去することにより、図５の状態にす
ることができる。

【００２３】ところで、ブレーク溝入りセラミック基板
のブレークにおいては、ブレーク溝が基板の縁端部から
縁端部まで連続しているとブレークし易い。一方、前記
図６に例示した基板２１は、傾斜ブレーク溝８に沿って
ブレークした後は、そのブレーク断面に最外側の縦、横
のブレーク溝３ａ，４ａの一端部が現出するものの、他
端部は基板２１の縁端部６，７に至っていない。したが
って、このものにおいてダミー部２，２を除去する際の
ブレークは、上記実施例に比べてややし難くなるが、反
面、焼成過程における反りや割れの発生、さらにはブレ
ーク処理に至る前の割れの発生防止に有効である。傾斜
ブレーク溝の数は、こうした点を考慮して適宜に設定す
ればよい。

【００２４】また上記実施例では、傾斜ブレーク溝は、
最外側の縦横の両ブレーク溝の先端寄り部位を斜めに横
断している場合を例示したが、本発明においてこの傾斜
ブレーク溝は、最外側の縦横のブレーク溝の交点よりも
基板の縁端部側（外側）にあり、その傾斜ブレーク溝に
沿ってブレークされた際に、そのブレーク断面若しくは
該ブレーク断面の近傍に、前記最外側の縦横のブレーク
溝が存在する配置で形成されていればよく、必ずしも、
最外側の縦横の両ブレーク溝を横断していなくともよ
い。

【００２５】図７は、その一例を示すものであり、傾斜
ブレーク溝３８は、最外側の縦横のブレーク溝３ａ，４
ａの交点５よりも基板の縁端部６，７側にあり、しかも
最外側の縦横のブレーク溝３ａ，４ａを横断することな
く、その端部３ｂ，４ｂから所定距離Ｄａ離れたところ
に形成されている。このものでは、傾斜ブレーク溝３８
に沿ってブレークされた際には、図８に示したように、
そのブレーク断面３８ｂには最外側の縦横の両ブレーク
溝が現出せず、そのブレーク断面３８ｂの近傍に最外側
の縦横のブレーク溝の端部３ｂ，４ｂが存在することに
なる。なお、この傾斜ブレーク溝３８と縦横のブレーク
溝の端部３ｂ，４ｂとの距離Ｄａはなるべく小さくする
のが、ブレーク処理上好ましい。

【００２６】なお、傾斜ブレーク溝もその長さが長くな
るほど焼成過程で反りや割れが生じ易くなるので、なる
べく短くするのが好ましく、したがってその傾斜角は４
０〜５０度が好ましく、とくには４５度が最も好まし
い。

【００２７】さらに傾斜ブレーク溝は、上記実施例のよ
うにその両端部が基板の縁端部に至っているとブレーク
しやすい一方で、ブレーク工程に至るまでの取り扱い過
程で折れやすい。したがって、図９に示したように、傾
斜ブレーク溝４８はその両端４８ａ，４８ａを基板の縁
端部６，７まで延ばすことなく、折り易さを考慮した上
で、すなわち、傾斜ブレーク溝４８自体のブレークに支
障がない範囲で、基板の縁端部６，７に至らせることな
くその手前（ダミー部２の途中）で止めてもよい。この
ようにしておけば、本来のブレーク溝だけでなく、この
傾斜ブレーク溝４８自体も焼成工程などで割れ難く、し
たがって、最終工程まで基板が割れる危険性を一層小さ
くできる。なお、傾斜ブレーク溝４８は、図９中、２点
鎖線で示したように、最外側の縦横のブレーク溝３ａ，
４ａの端部３ｂ，４ｂから若干離して形成することも可
能である。

【００２８】図１０は、図９に示した実施例の変形とで
もいうべき実施例であり、傾斜ブレーク溝４８を、ブレ
ークし易さを確保した状態で不連続に形成した例であ
る。なお、図１０においても同図中、２点鎖線で示した
ように傾斜ブレーク溝４８は、最外側の縦横のブレーク
溝３ａ，４ａの端部３ｂ，４ｂから若干離して形成する
ことも可能である。また、本発明における傾斜ブレーク
溝は交点よりも基板の縁端部側（外側）に設けることに
なるが、交点に近接して形成することも可能である。

【００２９】なお、上記においてブレーク溝は、基板の
焼成前のグリーンシートのときにプレスにより形成した
場合を例示したが、このブレーク溝は、基板の焼成後に
レーザー加工等により形成することも可能である。本発
明は、上記実施例のものに限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲で、基板の大きさや部品の
種類、取個数等に応じて適宜設計変更して具体化でき
る。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば、基板の周縁にはダミー
部を備えており、縦横のブレーク溝は基板の縁端部まで
至っていないことから、その焼成時に反りや割れが生じ
にくく、さらにその後ブレーク処理に至るまでにおいて
も割れが発生しにくい。一方で、傾斜ブレーク溝に沿っ
てブレークし、さらに最外側の縦横のブレーク溝をブレ
ークすることにより、従来と同様にブレークできる。

【００３１】このように、本発明のブレーク溝入りセラ
ミック基板によれば、後工程での基板のブレーク処理を
困難とすることなく、基板の焼成時の反りや割れ、さら
にはブレーク処理工程に至る過程においても基板の割れ
を防止できる結果、製造効率および歩留を高めることが
でき、したがって製造コストの大幅な低減が期待され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のブレーク溝入りセラミック基板を具体
化した平面図。

【図２】図１の要部拡大図。

【図３】図１のブレーク溝入りセラミック基板を傾斜ブ
レーク溝に沿ってブレークした状態の平面図。

【図４】図２の傾斜ブレーク溝に沿ってブレークしたと
きのそのブレーク断面の説明図であって、傾斜ブレーク
溝に沿う範囲の図。

【図５】図１のブレーク溝入りセラミック基板を傾斜ブ
レーク溝及び最外側の縦横のブレーク溝に沿ってブレー
クした状態の平面図。

【図６】傾斜ブレーク溝を１つとした実施例を示す平面
図。

【図７】傾斜ブレーク溝の別の実施例を説明する要部拡
大平面図。

【図８】図７の傾斜ブレーク溝に沿ってブレークしたと
きのそのブレーク断面の説明図であって、傾斜ブレーク
溝に沿う範囲の図。

【図９】傾斜ブレーク溝の別の実施例を説明する要部拡
大平面図。

【図１０】傾斜ブレーク溝の別の実施例を説明する要部
拡大平面図。

【符号の説明】

１，２１ セラミック基板 ２ ダミー部 ３，３ａ，４，４ａ 縦横のブレーク溝 ３ａ，４ａ 最外側の縦横のブレーク溝 ５ 最外側の縦横のブレーク溝のなす交点 ６，７ セラミック基板の縁端部 ８，３８，４８ 傾斜ブレーク溝 ８ａ 傾斜ブレーク溝の両端部 ８ｂ，３８ｂ 傾斜ブレーク溝に沿うブレーク断面

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 周縁に沿ってダミー部を有しかつ該ダミ
   ー部に囲まれた内側に縦横に複数のブレーク溝が格子状
   に形成されており、最外側の縦横のブレーク溝のなす交
   点のうち、少くとも１つの交点において、該最外側の縦
   横のブレーク溝がセラミック基板の縁端部に至る途中ま
   で外側に真直ぐ延びており、該交点よりも該セラミック
   基板の縁端部側に、前記縦横のブレーク溝に対して傾斜
   してなる傾斜ブレーク溝が形成されており、しかも、該
   傾斜ブレーク溝は、該セラミック基板が該傾斜ブレーク
   溝に沿ってブレークされた際に、そのブレーク断面若し
   くは該ブレーク断面の近傍に、前記最外側の縦横のブレ
   ーク溝が存在する配置で形成されていることを特徴とす
   るブレーク溝入りセラミック基板。
2. 【請求項２】 前記傾斜ブレーク溝が、前記最外側の縦
   横のブレーク溝を斜めに横断して形成されていることを
   特徴とする請求項１記載のブレーク溝入りセラミック基
   板。
3. 【請求項３】 セラミック基板の縁端部に至ることなく
   縦横に複数のブレーク溝が格子状に形成され、該ブレー
   ク溝のうち、最外側の縦横のブレーク溝よりも該セラミ
   ック基板の縁端部側をダミー部としてなるブレーク溝入
   りセラミック基板であって、該ダミー部中に、前記最外
   側の縦横のブレーク溝に対して傾斜して交差するように
   して形成された傾斜ブレーク溝が少なくとも一つ形成さ
   れていることを特徴とするブレーク溝入りセラミック基
   板。
4. 【請求項４】 前記傾斜ブレーク溝が、前記最外側の縦
   横のブレーク溝のなす４つの交点よりも該セラミック基
   板の縁端部側に、各一つづつ形成されていることを特徴
   とする請求項１〜３に記載のブレーク溝入りセラミック
   基板。
5. 【請求項５】 前記傾斜ブレーク溝は、直線状であっ
   て、前記縦横のブレーク溝に対して４０度〜５０度の角
   度で傾斜して形成されていることを特徴とする請求項１
   〜４に記載のブレーク溝入りセラミック基板。
6. 【請求項６】 前記傾斜ブレーク溝は、その両端部がセ
   ラミック基板の縁端部まで至っていることを特徴とする
   請求項１〜５に記載のブレーク溝入りセラミック基板。