JPH0890402A - 研磨方法及び研磨装置 - Google Patents
研磨方法及び研磨装置Info
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- JPH0890402A JPH0890402A JP23474094A JP23474094A JPH0890402A JP H0890402 A JPH0890402 A JP H0890402A JP 23474094 A JP23474094 A JP 23474094A JP 23474094 A JP23474094 A JP 23474094A JP H0890402 A JPH0890402 A JP H0890402A
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- Japan
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- rotating
- shaft
- lens
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】レンズ研磨加工における加工中の除去量分布を
一定になるような加工状態を実現してレンズ加工面の形
状安定性を向上させる研磨装置を提供する。 【構成】被加工物Ｌを固定した状態で回転させるための
第１の回転軸ＡLと、被加工物を所定形状に加工する工
具Ｔを固定した状態で回転させるための第２の回転軸Ａ
Tと、所定の傾きαを有して設けられた第１と第２の回
転軸とが交差する点Ｏを中心として一方の回転軸を他方
の回転軸に対して揺動させるための揺動手段と、第１と
第２の回転軸ＡL、ＡTの少なくとも一方を第１の回転軸
の中心軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する揺動
角に対応する第１の回転軸の回転数と第２の回転軸の回
転数との比に基づいて回転制御するための制御手段とを
具備することを特徴とする。
一定になるような加工状態を実現してレンズ加工面の形
状安定性を向上させる研磨装置を提供する。 【構成】被加工物Ｌを固定した状態で回転させるための
第１の回転軸ＡLと、被加工物を所定形状に加工する工
具Ｔを固定した状態で回転させるための第２の回転軸Ａ
Tと、所定の傾きαを有して設けられた第１と第２の回
転軸とが交差する点Ｏを中心として一方の回転軸を他方
の回転軸に対して揺動させるための揺動手段と、第１と
第２の回転軸ＡL、ＡTの少なくとも一方を第１の回転軸
の中心軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する揺動
角に対応する第１の回転軸の回転数と第２の回転軸の回
転数との比に基づいて回転制御するための制御手段とを
具備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズやミラー等に用
いられる光学素子を研磨して加工する研磨方法及び研磨
装置に関するものである。
いられる光学素子を研磨して加工する研磨方法及び研磨
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズやミラー等に用いられる光
学素子の加工では、プレス成形や研磨工具による加工が
一般的に行われている。この研磨加工においては、レン
ズ側を回転させたり、工具側を回転させた状態で工具に
より研磨する。また、従来のレンズ側を回転させる研磨
加工においては、レンズ軸は回転自在な状態で加工に供
されるために、加工されるレンズの被加工面の性状（粗
さ、形状）や工具加工面の状態によって、レンズ軸の回
転数は変化する特性があった。
学素子の加工では、プレス成形や研磨工具による加工が
一般的に行われている。この研磨加工においては、レン
ズ側を回転させたり、工具側を回転させた状態で工具に
より研磨する。また、従来のレンズ側を回転させる研磨
加工においては、レンズ軸は回転自在な状態で加工に供
されるために、加工されるレンズの被加工面の性状（粗
さ、形状）や工具加工面の状態によって、レンズ軸の回
転数は変化する特性があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来例では、以下に記載のような欠点があった。
即ち、加工の進行と共にレンズ軸の回転数は逐次変化し
て行き、それに伴って加工工具とレンズとの相対速度の
分布で決定されるレンズ被加工面における除去量分布も
逐次変化して行くため、最終的に創成されるレンズ形状
の予測がつかないものであった。
ような従来例では、以下に記載のような欠点があった。
即ち、加工の進行と共にレンズ軸の回転数は逐次変化し
て行き、それに伴って加工工具とレンズとの相対速度の
分布で決定されるレンズ被加工面における除去量分布も
逐次変化して行くため、最終的に創成されるレンズ形状
の予測がつかないものであった。
【０００４】更に、レンズ軸を強制的に回転させるよう
にした加工装置の場合、加工に使用する揺動開角（レン
ズ軸と工具軸とが交差する角度）に関係なくレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数とは、加工開始から終了に至る
まで一定値に設定されるために、一定の除去量分布を得
られないものであった。また、レンズ軸回転数、工具軸
回転数及び揺動開角等の運動条件は、作業者の試行錯誤
によって決定されるもので、多大な時間、手間を必要と
するため、熟練した作業者の勘や経験がなければ、更に
多くの時間が必要となることが従来のレンズ加工におけ
る欠点であった。
にした加工装置の場合、加工に使用する揺動開角（レン
ズ軸と工具軸とが交差する角度）に関係なくレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数とは、加工開始から終了に至る
まで一定値に設定されるために、一定の除去量分布を得
られないものであった。また、レンズ軸回転数、工具軸
回転数及び揺動開角等の運動条件は、作業者の試行錯誤
によって決定されるもので、多大な時間、手間を必要と
するため、熟練した作業者の勘や経験がなければ、更に
多くの時間が必要となることが従来のレンズ加工におけ
る欠点であった。
【０００５】従って、本発明は、上述した課題に鑑みて
なされたものであり、その目的とするところは、レンズ
研磨加工における加工中の除去量分布を明確にし、一定
の除去量分布となるような加工状態を実現してレンズ加
工面の形状安定性を向上させると共に、加工条件の決定
作業を容易に行えるようにして、作業者の熟練度が低い
場合においても高精度なレンズを短時間で製造できるよ
うな研磨方法及び研磨装置を提供することにある。
なされたものであり、その目的とするところは、レンズ
研磨加工における加工中の除去量分布を明確にし、一定
の除去量分布となるような加工状態を実現してレンズ加
工面の形状安定性を向上させると共に、加工条件の決定
作業を容易に行えるようにして、作業者の熟練度が低い
場合においても高精度なレンズを短時間で製造できるよ
うな研磨方法及び研磨装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明の研磨装置及び研磨方法は
以下の構成を備える。即ち、被加工物を固定した状態で
回転させるための第１の回転軸と、前記被加工物を所定
形状に加工する工具を固定した状態で回転させるための
第２の回転軸と、所定の傾きを有して設けられた前記第
１と第２の回転軸とを該第１と第２の回転軸が交差する
点を中心として一方の回転軸を他方の回転軸に対して揺
動させるための揺動手段と、前記第１と第２の回転軸の
少なくとも一方を該第１の回転軸の中心軸線と第２の回
転軸の中心軸線との交差する揺動角に対応する第１の回
転軸の回転数と第２の回転軸の回転数との比に基づいて
回転制御するための制御手段とを具備することを特徴と
する。
的を達成するために、本発明の研磨装置及び研磨方法は
以下の構成を備える。即ち、被加工物を固定した状態で
回転させるための第１の回転軸と、前記被加工物を所定
形状に加工する工具を固定した状態で回転させるための
第２の回転軸と、所定の傾きを有して設けられた前記第
１と第２の回転軸とを該第１と第２の回転軸が交差する
点を中心として一方の回転軸を他方の回転軸に対して揺
動させるための揺動手段と、前記第１と第２の回転軸の
少なくとも一方を該第１の回転軸の中心軸線と第２の回
転軸の中心軸線との交差する揺動角に対応する第１の回
転軸の回転数と第２の回転軸の回転数との比に基づいて
回転制御するための制御手段とを具備することを特徴と
する。
【０００７】また、好ましくは、被加工物を固定した状
態で回転させるための第１の回転軸と、前記被加工物を
所定形状に加工する工具を固定した状態で回転させるた
めの第２の回転軸と、所定の傾きを有して設けられた前
記第１と第２の回転軸とを該第１と第２の回転軸が交差
する点を中心として一方の回転軸を他方の回転軸に対し
て揺動させるための揺動手段と、前記第１の回転軸の中
心軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する揺動角を
検出する手段と、前記被加工物の加工条件とその中心部
の研磨による除去量に対する周辺部の研磨による除去量
の比とから前記揺動角に対応する第１の回転軸の回転数
と第２の回転軸の回転数との比を算出する手段と、前記
算出された揺動角と回転数の比との関係を記憶する手段
と、前記第１と第２の回転軸の少なくとも一方を前記揺
動角に対応する回転数の比に基づいて回転制御するため
の制御手段とを具備することを特徴とする。
態で回転させるための第１の回転軸と、前記被加工物を
所定形状に加工する工具を固定した状態で回転させるた
めの第２の回転軸と、所定の傾きを有して設けられた前
記第１と第２の回転軸とを該第１と第２の回転軸が交差
する点を中心として一方の回転軸を他方の回転軸に対し
て揺動させるための揺動手段と、前記第１の回転軸の中
心軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する揺動角を
検出する手段と、前記被加工物の加工条件とその中心部
の研磨による除去量に対する周辺部の研磨による除去量
の比とから前記揺動角に対応する第１の回転軸の回転数
と第２の回転軸の回転数との比を算出する手段と、前記
算出された揺動角と回転数の比との関係を記憶する手段
と、前記第１と第２の回転軸の少なくとも一方を前記揺
動角に対応する回転数の比に基づいて回転制御するため
の制御手段とを具備することを特徴とする。
【０００８】また、好ましくは、被加工物を固定した状
態で回転させるための第１の回転軸と、該被加工物を所
定形状に加工する工具を固定した状態で回転させるため
の第２の回転軸とを所定の傾きを有して設け、前記第１
と第２の回転軸の中心軸線が交差する点を中心として一
方の回転軸を他方の回転軸に対して揺動させることによ
り加工する研磨方法であって、前記第１の回転軸の中心
軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する揺動角を検
出する工程と、前記検出された揺動角に基づいて第１の
回転軸の回転数と第２の回転軸の回転数との比を算出
し、該比に基づいて前記第１と第２の回転軸の少なくと
も一方を制御する工程とを備えることを特徴とする。
態で回転させるための第１の回転軸と、該被加工物を所
定形状に加工する工具を固定した状態で回転させるため
の第２の回転軸とを所定の傾きを有して設け、前記第１
と第２の回転軸の中心軸線が交差する点を中心として一
方の回転軸を他方の回転軸に対して揺動させることによ
り加工する研磨方法であって、前記第１の回転軸の中心
軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する揺動角を検
出する工程と、前記検出された揺動角に基づいて第１の
回転軸の回転数と第２の回転軸の回転数との比を算出
し、該比に基づいて前記第１と第２の回転軸の少なくと
も一方を制御する工程とを備えることを特徴とする。
【０００９】
【作用】以上のように、この発明は構成されており、レ
ンズ軸の回転数、工具軸の回転数、レンズ軸に対する工
具軸の傾き（揺動開角）を検出する手段を有し、この検
出結果によるレンズと工具との接触面（被加工面）にお
ける速度分布から、任意の揺動開角の場合のレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数との比率のデータを算出し、こ
のデータに基づいてレンズ軸の回転数と工具軸の回転数
との比率を単位時間毎に変化させていくことによって、
あらゆる時間や揺動開角位置であってもレンズ中心部の
除去量に対するレンズ周辺部の除去量の比率を常に一定
に保ち、レンズ研磨加工における加工中の除去量分布を
明確にし、一定の除去量分布となるような加工状態を実
現してレンズ加工面の形状安定性を向上させると共に、
加工条件の決定作業を容易に行えるようにして、作業者
の熟練度が低い場合においても高精度なレンズを短時間
で製造できる。
ンズ軸の回転数、工具軸の回転数、レンズ軸に対する工
具軸の傾き（揺動開角）を検出する手段を有し、この検
出結果によるレンズと工具との接触面（被加工面）にお
ける速度分布から、任意の揺動開角の場合のレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数との比率のデータを算出し、こ
のデータに基づいてレンズ軸の回転数と工具軸の回転数
との比率を単位時間毎に変化させていくことによって、
あらゆる時間や揺動開角位置であってもレンズ中心部の
除去量に対するレンズ周辺部の除去量の比率を常に一定
に保ち、レンズ研磨加工における加工中の除去量分布を
明確にし、一定の除去量分布となるような加工状態を実
現してレンズ加工面の形状安定性を向上させると共に、
加工条件の決定作業を容易に行えるようにして、作業者
の熟練度が低い場合においても高精度なレンズを短時間
で製造できる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面を参照して詳細に説明する。図２は、本発明に基づく
実施例の凸球面レンズの研磨装置の概略図である。図２
に示すように、本実施例で用いられる光学素子は、凸球
面レンズＬである。レンズＬの回転軸ＡLと研磨工具Ｔ
の回転軸ＡTとは、目標とするレンズの曲率半径の中心
点Ｏで交差しており、それらの軸のなす交差の角度は、
レンズの回転軸Ａ Lを基準とした場合の工具のレンズ軸
に対する揺動角を表すため揺動開角αと称する。また、
回転軸ＡL、ＡTとは、夫々回転数ＮL、ＮT（角速度
ωL、ωT）で回転すると共に、工具回転軸ＡTは、レン
ズ回転軸ＡLに対して、中心点Ｏを中心として揺動開角
αがξ−εからξ＋εの範囲（ξ−ε≦α≦ξ＋ε）で
連続的に運動する。尚、ξは揺動中心角、εは揺動角度
幅とし、この運動を揺動運動と呼ぶ。この揺動運動は、
例えば、図５に示すように揺動開角αが変化し、揺動開
角αの揺動時の角速度ωRは絶対値一定で揺動運動の端
点（折り返し位置）で正負が反転するものである。
面を参照して詳細に説明する。図２は、本発明に基づく
実施例の凸球面レンズの研磨装置の概略図である。図２
に示すように、本実施例で用いられる光学素子は、凸球
面レンズＬである。レンズＬの回転軸ＡLと研磨工具Ｔ
の回転軸ＡTとは、目標とするレンズの曲率半径の中心
点Ｏで交差しており、それらの軸のなす交差の角度は、
レンズの回転軸Ａ Lを基準とした場合の工具のレンズ軸
に対する揺動角を表すため揺動開角αと称する。また、
回転軸ＡL、ＡTとは、夫々回転数ＮL、ＮT（角速度
ωL、ωT）で回転すると共に、工具回転軸ＡTは、レン
ズ回転軸ＡLに対して、中心点Ｏを中心として揺動開角
αがξ−εからξ＋εの範囲（ξ−ε≦α≦ξ＋ε）で
連続的に運動する。尚、ξは揺動中心角、εは揺動角度
幅とし、この運動を揺動運動と呼ぶ。この揺動運動は、
例えば、図５に示すように揺動開角αが変化し、揺動開
角αの揺動時の角速度ωRは絶対値一定で揺動運動の端
点（折り返し位置）で正負が反転するものである。
【００１１】このような研磨加工においては、レンズ表
面の研磨除去量は、レンズＬと研磨工具Ｔの接触面（レ
ンズＬの被加工面）における相対速度の分布状態により
決定され、この除去量により製作されるレンズの形状が
決定される。以下に図３を参照してレンズＬと研磨工具
Ｔとの相対速度の分布について説明する。図３はレンズ
の曲率中心点Ｏを原点とした３次元座標系（Ｘ−Ｙ−Ｚ
座標系）において、Ｚ軸とレンズ回転軸ＡLとを一致さ
せた場合を示している。図３において、工具回転軸ＡT
はＸ−Ｚ平面内にあり、レンズ回転軸ＡL（Ｚ軸）とは
Ｘ−Ｚ平面内で角度αで交差している。
面の研磨除去量は、レンズＬと研磨工具Ｔの接触面（レ
ンズＬの被加工面）における相対速度の分布状態により
決定され、この除去量により製作されるレンズの形状が
決定される。以下に図３を参照してレンズＬと研磨工具
Ｔとの相対速度の分布について説明する。図３はレンズ
の曲率中心点Ｏを原点とした３次元座標系（Ｘ−Ｙ−Ｚ
座標系）において、Ｚ軸とレンズ回転軸ＡLとを一致さ
せた場合を示している。図３において、工具回転軸ＡT
はＸ−Ｚ平面内にあり、レンズ回転軸ＡL（Ｚ軸）とは
Ｘ−Ｚ平面内で角度αで交差している。
【００１２】このような座標系において、先ず、レンズ
Ｌと研磨工具Ｔとの接触面（被加工面）のある一点Ｐに
ついて考える。点ＰからＸ−Ｙ平面へ垂線ＰＱを引き、
線分ＯＰとＸ軸とのなす角をψ、線分ＯＰとＺ軸とのな
す角をθとすると点Ｐの位置ベクトルＰは、曲率半径を
Ｒとして下記の式（１）で表される。
Ｌと研磨工具Ｔとの接触面（被加工面）のある一点Ｐに
ついて考える。点ＰからＸ−Ｙ平面へ垂線ＰＱを引き、
線分ＯＰとＸ軸とのなす角をψ、線分ＯＰとＺ軸とのな
す角をθとすると点Ｐの位置ベクトルＰは、曲率半径を
Ｒとして下記の式（１）で表される。
【００１３】
【数３】
【００１４】更に、レンズ回転軸ＡL、工具回転軸ＡTの
回転角速度ωL、ωT及び揺動軸ＡRの揺動角速度ωRは夫
々下記の式（２）で表される。
回転角速度ωL、ωT及び揺動軸ＡRの揺動角速度ωRは夫
々下記の式（２）で表される。
【００１５】
【数４】
【００１６】ここで、点Ｐにおけるレンズと工具との相
対速度νを求める。各軸の運動における相対速度の成分
ベクトル表示は下記の式（３）で示される。
対速度νを求める。各軸の運動における相対速度の成分
ベクトル表示は下記の式（３）で示される。
【００１７】
【数５】
【００１８】更に、相対速度νは、下記の式（４）で表
される。
される。
【００１９】
【数６】
【００２０】レンズＬが１回転する間の相対速度の二乗
平均値ν2は、角度ψを０〜２πまで積分することによ
り求められ、下記の式（５）と求められる。
平均値ν2は、角度ψを０〜２πまで積分することによ
り求められ、下記の式（５）と求められる。
【００２１】
【数７】
【００２２】次に、レンズ中心部Ｏと周辺部との除去量
の比に基づいて製作されるレンズの形状を検討する。例
えば、中心部Ｏの除去量に比べて周辺部の除去量が多い
場合では中高のレンズとなる（製作されたレンズは原器
の中心部でより強く当たる）。ここで、レンズ中心部Ｏ
の除去量に対する周辺部の除去量の比を除去量比γと呼
ぶこととし、前述の式（５）において、レンズ半開角θ
が０°及びθ°の位置での除去量を考えると、除去量比
γは下記の式（６）で表される。
の比に基づいて製作されるレンズの形状を検討する。例
えば、中心部Ｏの除去量に比べて周辺部の除去量が多い
場合では中高のレンズとなる（製作されたレンズは原器
の中心部でより強く当たる）。ここで、レンズ中心部Ｏ
の除去量に対する周辺部の除去量の比を除去量比γと呼
ぶこととし、前述の式（５）において、レンズ半開角θ
が０°及びθ°の位置での除去量を考えると、除去量比
γは下記の式（６）で表される。
【００２３】
【数８】
【００２４】更にレンズ回転数に対する研磨工具回転数
の比ρ1、レンズ回転周波数に対する揺動周波数の比ρ2
とすると、夫々の比は式（７）で表される。
の比ρ1、レンズ回転周波数に対する揺動周波数の比ρ2
とすると、夫々の比は式（７）で表される。
【００２５】
【数９】
【００２６】上記式（７）を式（６）に代入すると、下
記の式（８）と表示される。
記の式（８）と表示される。
【００２７】
【数１０】
【００２８】この式（８）を用いて、後述する表１に示
す条件で揺動開角αをパラメータとして除去量比γを求
めると、図４に示すような除去量比と回転数比との関係
を得ることができる。尚、回転数比ρ2は一定（ρ2＝
０．０４）であり、また、レンズＬに対して研磨工具Ｔ
は十分大きいものとし、加工中にレンズＬが研磨工具Ｔ
からはみ出てしまうことはないものとする。
す条件で揺動開角αをパラメータとして除去量比γを求
めると、図４に示すような除去量比と回転数比との関係
を得ることができる。尚、回転数比ρ2は一定（ρ2＝
０．０４）であり、また、レンズＬに対して研磨工具Ｔ
は十分大きいものとし、加工中にレンズＬが研磨工具Ｔ
からはみ出てしまうことはないものとする。
【００２９】図４において、目標の除去量比が例えば
１．０、即ち中心部と周辺部とで均等な除去量分布の場
合、破線（揺動開角３５°の場合）では回転数比ρ1を
０．８３９６（図４中の点Ｓ１）もしくは２．３４９５
７（図４中の点Ｓ４）に設定すればよいことが分かる。
また、実線（揺動開角２５°の場合）で均等な除去量分
布を実現するには、回転数比ρ1を０．８５３２４６
（図４中の点Ｓ２）もしくは１．５９９６１（図４中の
点Ｓ３）に設定すればよい。即ち、揺動開角αに基づい
て回転数比ρ1を変化させることにより、除去量分布を
均等にする等の所望の除去量比γを得ることができる。
１．０、即ち中心部と周辺部とで均等な除去量分布の場
合、破線（揺動開角３５°の場合）では回転数比ρ1を
０．８３９６（図４中の点Ｓ１）もしくは２．３４９５
７（図４中の点Ｓ４）に設定すればよいことが分かる。
また、実線（揺動開角２５°の場合）で均等な除去量分
布を実現するには、回転数比ρ1を０．８５３２４６
（図４中の点Ｓ２）もしくは１．５９９６１（図４中の
点Ｓ３）に設定すればよい。即ち、揺動開角αに基づい
て回転数比ρ1を変化させることにより、除去量分布を
均等にする等の所望の除去量比γを得ることができる。
【００３０】次に、加工能率について考えると、加工能
率（単位時間毎の除去量）は工具回転数ＮTが大きい程
良好な状態にできるから除去量比γを１以上に選定する
と、レンズ軸回転数ＮLを表１に示すように６００ｒｐ
ｍに固定した場合には、夫々の揺動開角で工具軸の回転
数ＮLは、約９６０（６００＊１．５９９６）ｒｐｍ、
１４１０（６００＊２．３４９５７）ｒｐｍに設定すれ
ばよいことになる。即ち、一定の除去量比を実現するた
めには、図４中の点ｐ１〜ｐ３の間において回転数比ρ
1を設定することが必要となる。
率（単位時間毎の除去量）は工具回転数ＮTが大きい程
良好な状態にできるから除去量比γを１以上に選定する
と、レンズ軸回転数ＮLを表１に示すように６００ｒｐ
ｍに固定した場合には、夫々の揺動開角で工具軸の回転
数ＮLは、約９６０（６００＊１．５９９６）ｒｐｍ、
１４１０（６００＊２．３４９５７）ｒｐｍに設定すれ
ばよいことになる。即ち、一定の除去量比を実現するた
めには、図４中の点ｐ１〜ｐ３の間において回転数比ρ
1を設定することが必要となる。
【００３１】ここで、回転数比ρ1を算出する式を求め
ると前述の式（８）を変形し、下記の式（９）となる。
ると前述の式（８）を変形し、下記の式（９）となる。
【００３２】
【数１１】
【００３３】例えば、表２は表１に示す加工条件で均等
に除去する場合の式（９）から導出された揺動開角αと
回転数比ρ1との関係を示すもので、各データは後述す
るメモリに格納されている。 ＜装置の動作及び構成＞次に、図１、図２を参照して本
実施例の研磨装置の構成を説明する。図１は、本実施例
に基づく実施例の研磨装置を示す概略図である。図２
は、図１に示す研磨装置の側面図である。
に除去する場合の式（９）から導出された揺動開角αと
回転数比ρ1との関係を示すもので、各データは後述す
るメモリに格納されている。 ＜装置の動作及び構成＞次に、図１、図２を参照して本
実施例の研磨装置の構成を説明する。図１は、本実施例
に基づく実施例の研磨装置を示す概略図である。図２
は、図１に示す研磨装置の側面図である。
【００３４】図１、図２において、研磨装置本体１０
は、レンズ軸ブロック１６を支持するアーム１１、コラ
ム１２、揺動プレート１３、工具支持ブロック１４、モ
ータ１５ａ、エンコーダ１５ｂ、レンズを支持するレン
ズ軸ブロック１６とを備える。レンズ軸ブロック１６は
アーム１１に摺動自在に設けられている。アーム１１に
は、その上部にシリンダ等の圧力発生機構１８ａが設け
られ、更に、圧力発生機構１８ａの先端部にはレンズ軸
ブロック１６が当接するように固定されている。圧力発
生機構１８ａは、図６に示すコントローラ４１の指令に
基づいて、不図示のバルブ１８ｂにより圧力発生機構１
８ａに供給される圧力が制御され、所定の研磨圧力をレ
ンズに付与できるようにレンズチャック２２を介してレ
ンズＬを研磨工具Ｔに押し付ける働きを有する。
は、レンズ軸ブロック１６を支持するアーム１１、コラ
ム１２、揺動プレート１３、工具支持ブロック１４、モ
ータ１５ａ、エンコーダ１５ｂ、レンズを支持するレン
ズ軸ブロック１６とを備える。レンズ軸ブロック１６は
アーム１１に摺動自在に設けられている。アーム１１に
は、その上部にシリンダ等の圧力発生機構１８ａが設け
られ、更に、圧力発生機構１８ａの先端部にはレンズ軸
ブロック１６が当接するように固定されている。圧力発
生機構１８ａは、図６に示すコントローラ４１の指令に
基づいて、不図示のバルブ１８ｂにより圧力発生機構１
８ａに供給される圧力が制御され、所定の研磨圧力をレ
ンズに付与できるようにレンズチャック２２を介してレ
ンズＬを研磨工具Ｔに押し付ける働きを有する。
【００３５】レンズ軸系２０において、レンズ軸２１は
軸受け２４を介してレンズ軸ブロック１６に回転自在に
設けられる。レンズ軸２１の先端部には、レンズチャッ
ク２２が設けられレンズＬを保持する。また、加工され
るレンズは一般的に用いられているガラスレンズであ
る。研磨工具Ｔは、その一端をレンズ軸ブロック１６の
上部に設けられた駆動モータ２３ａに接続されており、
矢視Ａ方向に回転駆動される。工具Ｔの回転角度は、駆
動モータ２３ａに近接して設けられたエンコーダ２３ｂ
により検出され、単位時間毎にコントローラ４１に送ら
れる。モータ２３ａは、コントローラ４１の指令に基づ
いてドライバ２３ｃ（図６参照）で駆動制御され、所定
角速度で回転駆動される。
軸受け２４を介してレンズ軸ブロック１６に回転自在に
設けられる。レンズ軸２１の先端部には、レンズチャッ
ク２２が設けられレンズＬを保持する。また、加工され
るレンズは一般的に用いられているガラスレンズであ
る。研磨工具Ｔは、その一端をレンズ軸ブロック１６の
上部に設けられた駆動モータ２３ａに接続されており、
矢視Ａ方向に回転駆動される。工具Ｔの回転角度は、駆
動モータ２３ａに近接して設けられたエンコーダ２３ｂ
により検出され、単位時間毎にコントローラ４１に送ら
れる。モータ２３ａは、コントローラ４１の指令に基づ
いてドライバ２３ｃ（図６参照）で駆動制御され、所定
角速度で回転駆動される。
【００３６】コラム１２のレンズを加工する側の側面に
は揺動プレート１３が曲率中心Ｏの回りに回転自在に設
けられている。更に、揺動プレート１３には工具支持ブ
ロック１４が揺動自在に設けれている。揺動プレート１
３は、コラム１２のレンズを加工する側とは反対の側面
に固定されレンズ加工側にその回転軸が挿通された揺動
モータ１５ａに接続され、矢視Ｃ方向に揺動するように
駆動される。工具Ｔの揺動角度は、揺動モータ１５ａに
近接して設けられたエンコーダ１５ｂにより検出され、
単位時間毎にコントローラ４１に送られる。モータ１５
ａは、コントローラ４１の指令に基づいてドライバ１５
ｃ（図６参照）で駆動制御され、所定角速度で揺動する
ように駆動される。
は揺動プレート１３が曲率中心Ｏの回りに回転自在に設
けられている。更に、揺動プレート１３には工具支持ブ
ロック１４が揺動自在に設けれている。揺動プレート１
３は、コラム１２のレンズを加工する側とは反対の側面
に固定されレンズ加工側にその回転軸が挿通された揺動
モータ１５ａに接続され、矢視Ｃ方向に揺動するように
駆動される。工具Ｔの揺動角度は、揺動モータ１５ａに
近接して設けられたエンコーダ１５ｂにより検出され、
単位時間毎にコントローラ４１に送られる。モータ１５
ａは、コントローラ４１の指令に基づいてドライバ１５
ｃ（図６参照）で駆動制御され、所定角速度で揺動する
ように駆動される。
【００３７】工具軸系３０において、工具軸３１は軸受
け３５を介して工具軸ブロック１４に回転自在に設けら
れる。この工具軸ブロック１４はレンズ加工中の場合、
ビス等で揺動プレート１３に固定されている。工具軸３
１の先端部には、工具チャック３２が設けられ研磨工具
Ｔを保持する。研磨工具Ｔは、その一端を工具軸ブロッ
ク１４に設けられた駆動モータ３３ａに接続されてお
り、矢視Ｂ方向に回転駆動される。工具Ｔの回転角度
は、駆動モータ３３ａに近接して設けられたエンコーダ
３３ｂにより検出され、単位時間毎にコントローラ４１
に送られる。モータ３３ａは、コントローラ４１の指令
に基づいてドライバ３３ｃ（図６参照）で駆動制御さ
れ、所定角速度で回転駆動される。
け３５を介して工具軸ブロック１４に回転自在に設けら
れる。この工具軸ブロック１４はレンズ加工中の場合、
ビス等で揺動プレート１３に固定されている。工具軸３
１の先端部には、工具チャック３２が設けられ研磨工具
Ｔを保持する。研磨工具Ｔは、その一端を工具軸ブロッ
ク１４に設けられた駆動モータ３３ａに接続されてお
り、矢視Ｂ方向に回転駆動される。工具Ｔの回転角度
は、駆動モータ３３ａに近接して設けられたエンコーダ
３３ｂにより検出され、単位時間毎にコントローラ４１
に送られる。モータ３３ａは、コントローラ４１の指令
に基づいてドライバ３３ｃ（図６参照）で駆動制御さ
れ、所定角速度で回転駆動される。
【００３８】レンズ軸２１に対する工具軸３１の角度
は、工具軸ブロック１４に設けられた角度検出センサ３
４ａにより検出され、アンプ３４ｂ（図６参照）を介し
てコントローラ４１に送られる。下記に示す表１はレン
ズの加工条件の一例を示す。
は、工具軸ブロック１４に設けられた角度検出センサ３
４ａにより検出され、アンプ３４ｂ（図６参照）を介し
てコントローラ４１に送られる。下記に示す表１はレン
ズの加工条件の一例を示す。
【００３９】
【表１】
【００４０】レンズの研磨加工に際し、図６に示す演算
部５１は、既に確定された加工条件（本実施例では、表
１に示す除去量の比、レンズ回転数、工具揺動周波数、
揺動中心角、揺動角度幅）と式（９）から回転数比ρ1
を算出し、例えば、角度検出センサ３４ａの検出角度の
分解能毎に揺動開角αに対する回転数比ρ1の値をメモ
リ５２にデータとして格納する。
部５１は、既に確定された加工条件（本実施例では、表
１に示す除去量の比、レンズ回転数、工具揺動周波数、
揺動中心角、揺動角度幅）と式（９）から回転数比ρ1
を算出し、例えば、角度検出センサ３４ａの検出角度の
分解能毎に揺動開角αに対する回転数比ρ1の値をメモ
リ５２にデータとして格納する。
【００４１】下記に示す表２はその一例であって、表１
の加工条件で且つ除去量比γが１の場合、揺動開角αに
対する回転数比ρ1の値を示す。表１、表２及び図４か
ら分かるように、レンズ回転数６００ｒｐｍ、工具揺動
周波数０．４Hzとしたときに均等な除去加工を実現する
場合には、揺動開角２５°から３５°の範囲で回転数比
ρ1を１．５９９６１から２．３４９５７に、即ち、工
具軸回転数を約９６０ｒｐｍから１４１０ｒｐｍの範囲
で変化させる必要がある。
の加工条件で且つ除去量比γが１の場合、揺動開角αに
対する回転数比ρ1の値を示す。表１、表２及び図４か
ら分かるように、レンズ回転数６００ｒｐｍ、工具揺動
周波数０．４Hzとしたときに均等な除去加工を実現する
場合には、揺動開角２５°から３５°の範囲で回転数比
ρ1を１．５９９６１から２．３４９５７に、即ち、工
具軸回転数を約９６０ｒｐｍから１４１０ｒｐｍの範囲
で変化させる必要がある。
【００４２】
【表２】
【００４３】＜制御部の構成＞次に、図６を参照して除
去量が均等な場合のレンズ軸及び工具軸の駆動制御につ
いて説明する。尚、図６は本実施例の研磨装置の制御部
の構成を示す図であり、矢印はデータ、検出信号等のや
り取りの方向を示している。図６において、コントロー
ラ４１は、任意の時刻毎に角度検出センサ３４ａからの
検出信号に基づいて揺動開角αを検知し、この検出角に
見合う回転数比ρ1の値をメモリ５２に格納されたデー
タ５３から読み取って、所定の回転数比でレンズ軸２１
及び工具軸３１を回転駆動するようにドライバ２３ｃ、
３３ｃに制御指令を送る。コントローラ４１からの指令
を受けたドライバ２３ｃ、３３ｃにより、レンズ軸２１
は矢視Ａ方向、工具軸３１は矢視Ｂ方向に回転駆動され
ると同時に、工具軸３１はレンズの曲率中心Ｏを中心と
して矢視Ｃ方向に揺動される（図２を参照）。
去量が均等な場合のレンズ軸及び工具軸の駆動制御につ
いて説明する。尚、図６は本実施例の研磨装置の制御部
の構成を示す図であり、矢印はデータ、検出信号等のや
り取りの方向を示している。図６において、コントロー
ラ４１は、任意の時刻毎に角度検出センサ３４ａからの
検出信号に基づいて揺動開角αを検知し、この検出角に
見合う回転数比ρ1の値をメモリ５２に格納されたデー
タ５３から読み取って、所定の回転数比でレンズ軸２１
及び工具軸３１を回転駆動するようにドライバ２３ｃ、
３３ｃに制御指令を送る。コントローラ４１からの指令
を受けたドライバ２３ｃ、３３ｃにより、レンズ軸２１
は矢視Ａ方向、工具軸３１は矢視Ｂ方向に回転駆動され
ると同時に、工具軸３１はレンズの曲率中心Ｏを中心と
して矢視Ｃ方向に揺動される（図２を参照）。
【００４４】例えば、検出した揺動開角αが２５°の場
合、コントローラ４１はメモリ５２に格納されたデータ
５３（表２参照）から回転数比１．５９９６１を読み取
る。レンズ軸回転数は表１により６００ｒｐｍで固定さ
れているから、６００＊１．５９９６１の値を工具回転
数としてドライバ２３ｃ、３３ｃに各モータ制御信号を
送る。
合、コントローラ４１はメモリ５２に格納されたデータ
５３（表２参照）から回転数比１．５９９６１を読み取
る。レンズ軸回転数は表１により６００ｒｐｍで固定さ
れているから、６００＊１．５９９６１の値を工具回転
数としてドライバ２３ｃ、３３ｃに各モータ制御信号を
送る。
【００４５】その後、次の時刻に揺動開角αが、例えば
２６°になった場合、コントローラ４１はメモリ５２に
格納されたデータ５３（表２参照）から回転数比１．６
５０２８を読み取り、６００＊１．６５０２８の値を工
具回転数としてドライバ２３ｃ、３３ｃに各モータ制御
信号を送る。このような手順を単位時間毎に繰り返し、
研磨加工中における回転数比を順次変化させ、加工終了
時刻になるまで繰り返される。
２６°になった場合、コントローラ４１はメモリ５２に
格納されたデータ５３（表２参照）から回転数比１．６
５０２８を読み取り、６００＊１．６５０２８の値を工
具回転数としてドライバ２３ｃ、３３ｃに各モータ制御
信号を送る。このような手順を単位時間毎に繰り返し、
研磨加工中における回転数比を順次変化させ、加工終了
時刻になるまで繰り返される。
【００４６】以上のように制御することにより、レンズ
の研磨加工中の任意の時刻において、常に除去量が均等
に分布するように加工状態が保持され、研磨工具Ｔのレ
ンズ形状Ｒの転写状態が安定する。また、加工するレン
ズ、加工条件、所望の除去量比に変更が生じた場合に
は、その都度演算器５１によりデータ５３が更新され、
上述の手順と同様に回転数比が任意時刻毎に変更され研
磨加工が進行していく。
の研磨加工中の任意の時刻において、常に除去量が均等
に分布するように加工状態が保持され、研磨工具Ｔのレ
ンズ形状Ｒの転写状態が安定する。また、加工するレン
ズ、加工条件、所望の除去量比に変更が生じた場合に
は、その都度演算器５１によりデータ５３が更新され、
上述の手順と同様に回転数比が任意時刻毎に変更され研
磨加工が進行していく。
【００４７】（実施例の効果）以上説明した本実施例の
研磨装置を用いてレンズ等の研磨加工を行うことによ
り、レンズ軸と工具軸とが交差する角度に対応したレン
ズ回転数と工具回転数との比率で加工できるようにな
り、除去量の分布を任意に設定でき、任意のレンズ形状
の研磨加工が可能となる。
研磨装置を用いてレンズ等の研磨加工を行うことによ
り、レンズ軸と工具軸とが交差する角度に対応したレン
ズ回転数と工具回転数との比率で加工できるようにな
り、除去量の分布を任意に設定でき、任意のレンズ形状
の研磨加工が可能となる。
【００４８】また、レンズ回転数と工具回転数との比率
がレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の除去量
の比率により決定されるので、一意的に加工条件を決定
することができ、作業者による試行錯誤の時間を省き、
更に熟練作業が必要なくなるので作業時間の短縮するこ
とができる。また、任意の揺動開角の場合のレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数との比率のデータを算出し、こ
のデータに基づいてレンズ軸の回転数と工具軸の回転数
との比率を単位時間毎に変化させていく研磨方法を採用
することによって、あらゆる時間や揺動開角位置であっ
てもレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の除去
量の比率を常に一定に保ち、レンズ形状を安定させるこ
とができる。
がレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の除去量
の比率により決定されるので、一意的に加工条件を決定
することができ、作業者による試行錯誤の時間を省き、
更に熟練作業が必要なくなるので作業時間の短縮するこ
とができる。また、任意の揺動開角の場合のレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数との比率のデータを算出し、こ
のデータに基づいてレンズ軸の回転数と工具軸の回転数
との比率を単位時間毎に変化させていく研磨方法を採用
することによって、あらゆる時間や揺動開角位置であっ
てもレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の除去
量の比率を常に一定に保ち、レンズ形状を安定させるこ
とができる。
【００４９】尚、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲
で上記実施例を修正又は変形したものに適用可能であ
る。例えば、本実施例ではレンズ軸の回転数を一定にし
た状態で工具軸の回転数を変化させる場合を説明した
が、工具軸の回転数を一定にしてレンズ軸の回転数を変
化させたり、レンズ軸及び工具軸の両方の回転数を変化
させるように回転制御してもよい。
で上記実施例を修正又は変形したものに適用可能であ
る。例えば、本実施例ではレンズ軸の回転数を一定にし
た状態で工具軸の回転数を変化させる場合を説明した
が、工具軸の回転数を一定にしてレンズ軸の回転数を変
化させたり、レンズ軸及び工具軸の両方の回転数を変化
させるように回転制御してもよい。
【００５０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、レンズ
を保持し強制的に回転させるレンズ軸と、工具を保持し
強制的に回転させる工具軸とを有し、レンズ軸と工具軸
とは任意の角度で傾きを有して設置され、且つそれらの
軸の交差点を中心に一方の軸が他方の軸に対して揺動
し、レンズ面を研磨加工することによって、レンズ軸と
工具軸とが交差する角度に対応したレンズ回転数と工具
回転数との比率で加工できるようになり、除去量の分布
を任意に設定でき、任意のレンズ形状の研磨加工が可能
となる。
を保持し強制的に回転させるレンズ軸と、工具を保持し
強制的に回転させる工具軸とを有し、レンズ軸と工具軸
とは任意の角度で傾きを有して設置され、且つそれらの
軸の交差点を中心に一方の軸が他方の軸に対して揺動
し、レンズ面を研磨加工することによって、レンズ軸と
工具軸とが交差する角度に対応したレンズ回転数と工具
回転数との比率で加工できるようになり、除去量の分布
を任意に設定でき、任意のレンズ形状の研磨加工が可能
となる。
【００５１】また、レンズ回転数と工具回転数との比率
がレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の除去量
の比率により決定されるので、一意的に加工条件を決定
することができ、作業者による試行錯誤の時間を省き、
更に熟練作業が必要なくなるので作業時間の短縮するこ
とができる。また、レンズ軸の回転数、工具軸の回転
数、レンズ軸に対する工具軸の傾き（揺動開角）を検出
する手段を有し、この検出結果によるレンズと工具との
接触面（被加工面）における速度分布から、任意の揺動
開角の場合のレンズ軸の回転数と工具軸の回転数との比
率のデータを算出し、このデータに基づいてレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数との比率を単位時間毎に変化さ
せていくことによって、あらゆる時間や揺動開角位置で
あってもレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の
除去量の比率を常に一定に保ち、レンズ形状を安定させ
ることができる。
がレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の除去量
の比率により決定されるので、一意的に加工条件を決定
することができ、作業者による試行錯誤の時間を省き、
更に熟練作業が必要なくなるので作業時間の短縮するこ
とができる。また、レンズ軸の回転数、工具軸の回転
数、レンズ軸に対する工具軸の傾き（揺動開角）を検出
する手段を有し、この検出結果によるレンズと工具との
接触面（被加工面）における速度分布から、任意の揺動
開角の場合のレンズ軸の回転数と工具軸の回転数との比
率のデータを算出し、このデータに基づいてレンズ軸の
回転数と工具軸の回転数との比率を単位時間毎に変化さ
せていくことによって、あらゆる時間や揺動開角位置で
あってもレンズ中心部の除去量に対するレンズ周辺部の
除去量の比率を常に一定に保ち、レンズ形状を安定させ
ることができる。
【図１】本実施例に基づく実施例の研磨装置を示す概略
図である。
図である。
【図２】図１に示す研磨装置の側面図である。
【図３】レンズの曲率中心点を原点とした３次元座標系
（Ｘ−Ｙ−Ｚ座標系）において、Ｚ軸とレンズ回転軸Ａ
Lとを一致させた場合を示す図である。
（Ｘ−Ｙ−Ｚ座標系）において、Ｚ軸とレンズ回転軸Ａ
Lとを一致させた場合を示す図である。
【図４】除去量比と回転数比との関係を示す図である。
【図５】揺動運動時における揺動開角の時間的変化を示
す図である。
す図である。
【図６】図１に示す研磨装置の制御部の構成を示す図で
ある。
ある。
１０…研磨装置、１１…アーム、１２…コラム、１３…
揺動プレート、１４…工具ブロック、１５ａ…モータ、
１５ｂ…エンコーダ、１５ｃ…ドライバ、１６…レンズ
ブロック、１８ａ…圧力発生器、１８ｂ…バルブ、２０
…レンズ軸系、２１…レンズ軸、２２…レンズチャッ
ク、２３ａ…モータ、２３ｂ…エンコーダ、２３ｃ…ド
ライバ、３０…工具軸系、３１…工具軸、３２…工具チ
ャック、３３ａ…モータ、３３ｂ…エンコーダ、３３ｃ
…ドライバ、３４ａ…角度検出器、３４ｂ…アンプ、４
１…コントローラ、５１…演算器、５２…メモリ、５３
…データ、Ｌ…レンズ、Ｔ…研磨工具。
揺動プレート、１４…工具ブロック、１５ａ…モータ、
１５ｂ…エンコーダ、１５ｃ…ドライバ、１６…レンズ
ブロック、１８ａ…圧力発生器、１８ｂ…バルブ、２０
…レンズ軸系、２１…レンズ軸、２２…レンズチャッ
ク、２３ａ…モータ、２３ｂ…エンコーダ、２３ｃ…ド
ライバ、３０…工具軸系、３１…工具軸、３２…工具チ
ャック、３３ａ…モータ、３３ｂ…エンコーダ、３３ｃ
…ドライバ、３４ａ…角度検出器、３４ｂ…アンプ、４
１…コントローラ、５１…演算器、５２…メモリ、５３
…データ、Ｌ…レンズ、Ｔ…研磨工具。
Claims (12)
- 【請求項１】 被加工物を固定した状態で回転させるた
めの第１の回転軸と、 前記被加工物を所定形状に加工する工具を固定した状態
で回転させるための第２の回転軸と、 所定の傾きを有して設けられた前記第１と第２の回転軸
とを該第１と第２の回転軸が交差する点を中心として一
方の回転軸を他方の回転軸に対して揺動させるための揺
動手段と、 前記第１と第２の回転軸の少なくとも一方を該第１の回
転軸の中心軸線と第２の回転軸の中心軸線との交差する
揺動角に対応する第１の回転軸の回転数と第２の回転軸
の回転数との比に基づいて回転制御するための制御手段
とを具備することを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 前記被加工物はレンズ等の光学素子であ
って、前記第１の回転軸の回転数と第２の回転軸の回転
数との比は、前記光学素子の中心部の研磨による除去量
に対する周辺部の研磨による除去量の比に基づいて決定
されることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。 - 【請求項３】 前記第１と第２の回転軸の回転数の比
は、前記光学素子の回転周波数に対する工具の揺動周波
数の比をρ2、前記第１と第２の回転軸とが交差する角
度をα、前記光学素子の中心部の除去量に対する周辺部
の除去量の比をγ、前記光学素子の工具との接触面にお
ける任意の１点と前記光学素子の曲率中心とを結ぶ線分
と前記第１の回転軸とのなす角度をθとすると、 【数１】 なる関係を満足することを特徴とする請求項２に記載の
研磨装置。 - 【請求項４】 前記揺動角を検出する手段と、前記光学
素子の加工条件と所望の除去量の比とから前記揺動角に
対する前記第１と第２の回転軸の回転数の比を算出する
手段と、前記算出された揺動角と回転数の比との関係を
記憶する手段とを更に備えることを特徴とする請求項１
に記載の研磨装置。 - 【請求項５】 前記第１と第２の回転軸の少なくとも一
方は、前記算出された揺動角と回転数の比に基づいて前
記第１と第２の回転軸の回転数の比を所定時間毎に変化
させることにより、前記除去量の比を一定に保持するよ
うに制御されることを特徴とする請求項４に記載の研磨
装置。 - 【請求項６】 被加工物を固定した状態で回転させるた
めの第１の回転軸と、 前記被加工物を所定形状に加工する工具を固定した状態
で回転させるための第２の回転軸と、 所定の傾きを有して設けられた前記第１と第２の回転軸
とを該第１と第２の回転軸が交差する点を中心として一
方の回転軸を他方の回転軸に対して揺動させるための揺
動手段と、 前記第１の回転軸の中心軸線と第２の回転軸の中心軸線
との交差する揺動角を検出する手段と、 前記被加工物の加工条件とその中心部の研磨による除去
量に対する周辺部の研磨による除去量の比とから前記揺
動角に対応する第１の回転軸の回転数と第２の回転軸の
回転数との比を算出する手段と、 前記算出された揺動角と回転数の比との関係を記憶する
手段と、 前記第１と第２の回転軸の少なくとも一方を前記揺動角
に対応する回転数の比に基づいて回転制御するための制
御手段とを具備することを特徴とする研磨装置。 - 【請求項７】 前記第１と第２の回転軸の少なくとも一
方は、前記算出された揺動角と回転数の比に基づいて該
第１と第２の回転軸の回転数の比を所定時間毎に変化さ
せることにより、前記除去量の比を一定に保持するよう
に制御されることを特徴とする請求項６に記載の研磨装
置。 - 【請求項８】 被加工物を固定した状態で回転させるた
めの第１の回転軸と、該被加工物を所定形状に加工する
工具を固定した状態で回転させるための第２の回転軸と
を所定の傾きを有して設け、前記第１と第２の回転軸の
中心軸線が交差する点を中心として一方の回転軸を他方
の回転軸に対して揺動させることにより加工する研磨方
法であって、 前記第１の回転軸の中心軸線と第２の回転軸の中心軸線
との交差する揺動角を検出する工程と、 前記検出された揺動角に基づいて第１の回転軸の回転数
と第２の回転軸の回転数との比を算出し、該比に基づい
て前記第１と第２の回転軸の少なくとも一方を制御する
工程とを備えることを特徴とする研磨方法。 - 【請求項９】 前記被加工物はレンズ等の光学素子であ
って、前記第１の回転軸の回転数と第２の回転軸の回転
数との比は、前記光学素子の中心部の研磨による除去量
に対する周辺部の研磨による除去量の比に基づいて算出
されることを特徴とする請求項８に記載の研磨方法。 - 【請求項１０】 前記第１と第２の回転軸の回転数の比
は、前記光学素子の回転周波数に対する工具の揺動周波
数の比をρ2、前記第１と第２の回転軸とが交差する角
度をα、前記光学素子の中心部の除去量に対する周辺部
の除去量の比をγ、前記光学素子の工具との接触面にお
ける任意の１点と前記光学素子の曲率中心とを結ぶ線分
と前記第１の回転軸とのなす角度をθとすると、 【数２】 なる関係を満足することを特徴とする請求項９に記載の
研磨方法。 - 【請求項１１】 前記揺動角を検出する工程と、前記光
学素子の加工条件と所望の除去量の比とから前記揺動角
に対する前記第１と第２の回転軸の回転数の比を算出す
る工程と、前記算出された揺動角と回転数の比との関係
を記憶する工程とを更に備えることを特徴とする請求項
８に記載の研磨方法。 - 【請求項１２】 前記第１と第２の回転軸の少なくとも
一方は、前記算出された揺動角と回転数の比に基づいて
前記第１と第２の回転軸の回転数の比を所定時間毎に変
化させることにより、前記除去量の比を一定に保持する
ように制御されることを特徴とする請求項１１に記載の
研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23474094A JPH0890402A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 研磨方法及び研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23474094A JPH0890402A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 研磨方法及び研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0890402A true JPH0890402A (ja) | 1996-04-09 |
Family
ID=16975622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23474094A Withdrawn JPH0890402A (ja) | 1994-09-29 | 1994-09-29 | 研磨方法及び研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0890402A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1293990C (zh) * | 2003-05-29 | 2007-01-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 计算机控制大型非球面修带机械手 |
| CN105328556A (zh) * | 2015-11-23 | 2016-02-17 | 厦门理工学院 | 一种可调倾角的射流抛光小磨头 |
-
1994
- 1994-09-29 JP JP23474094A patent/JPH0890402A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1293990C (zh) * | 2003-05-29 | 2007-01-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 计算机控制大型非球面修带机械手 |
| CN105328556A (zh) * | 2015-11-23 | 2016-02-17 | 厦门理工学院 | 一种可调倾角的射流抛光小磨头 |
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