JPH0886676A - 流量計の保護部材 - Google Patents
流量計の保護部材Info
- Publication number
- JPH0886676A JPH0886676A JP6222073A JP22207394A JPH0886676A JP H0886676 A JPH0886676 A JP H0886676A JP 6222073 A JP6222073 A JP 6222073A JP 22207394 A JP22207394 A JP 22207394A JP H0886676 A JPH0886676 A JP H0886676A
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- JP
- Japan
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- flow
- flow rate
- sensor
- thin film
- recess
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産時、運搬時、取り付け時等において汚損
や破損のおそれがなく、しかも低流量で従来以上の感度
を有する流量計の保護部材を得る。 【構成】 上面に流量センサ部1が設けられた台座2
と、この台座2に係合する凹部12が底部に形成された
部材本体11と、この部材本体11の上面に立設した壁
体11a,11bに形成された流体導入用の流路と、前
記凹部12と前記流路である溝13とを連通し前記流量
センサ部1を該流路に露出するように前記部材本体11
の上面に形成された穴14とを備えたものである。
や破損のおそれがなく、しかも低流量で従来以上の感度
を有する流量計の保護部材を得る。 【構成】 上面に流量センサ部1が設けられた台座2
と、この台座2に係合する凹部12が底部に形成された
部材本体11と、この部材本体11の上面に立設した壁
体11a,11bに形成された流体導入用の流路と、前
記凹部12と前記流路である溝13とを連通し前記流量
センサ部1を該流路に露出するように前記部材本体11
の上面に形成された穴14とを備えたものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばガス燃焼式給
湯器の燃焼用空気量の測定等、流量を正確に測定する必
要がある各種機器に好適に用いられる流量計の保護部材
に関するものである。
湯器の燃焼用空気量の測定等、流量を正確に測定する必
要がある各種機器に好適に用いられる流量計の保護部材
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えばガス給湯器等の燃焼用空気
量を測定するには、ブロアやファンモータの回転数によ
り間接的に測定する方法が採られていた。しかしこの方
法は単に気流の体積流量を測定するものであるから、高
度差による圧力の影響や外界の気象条件の変動により正
確な測定ができず、通常は安全率を見込んで必要な空気
量をかなり上回る空気量を供給するように設定してい
る。その結果、最適な燃焼条件から外れることとなり窒
素酸化物(NOx)が発生し易くなり、エネルギー効率
が低下する等の問題が生じていた。また、測定器自体が
大きく、近年のガス給湯器等の小型化に対応できないと
いう問題点があった。
量を測定するには、ブロアやファンモータの回転数によ
り間接的に測定する方法が採られていた。しかしこの方
法は単に気流の体積流量を測定するものであるから、高
度差による圧力の影響や外界の気象条件の変動により正
確な測定ができず、通常は安全率を見込んで必要な空気
量をかなり上回る空気量を供給するように設定してい
る。その結果、最適な燃焼条件から外れることとなり窒
素酸化物(NOx)が発生し易くなり、エネルギー効率
が低下する等の問題が生じていた。また、測定器自体が
大きく、近年のガス給湯器等の小型化に対応できないと
いう問題点があった。
【0003】そこで、近年では、図5に示すような半導
体を用いた流量計が開発され、実用に供されている。図
において、1はチップタイプの熱式流量センサ、2は上
面2aに流量センサ1が設けられた円柱状の台座であ
る。この流量センサ1は、図6に示すように、1.7m
m角のSi基板3上に厚みが20μm以下のダイヤフラ
ム4が形成され、該ダイヤフラム4上に薄膜ヒータRH
及び薄膜温度センサRU ,RD が形成され、Si基板3
上に薄膜温度センサRR が形成され、薄膜ヒータRH 、
薄膜温度センサRU ,RD 及び薄膜温度センサRR によ
りマイクロフローセンサ5が構成されている。
体を用いた流量計が開発され、実用に供されている。図
において、1はチップタイプの熱式流量センサ、2は上
面2aに流量センサ1が設けられた円柱状の台座であ
る。この流量センサ1は、図6に示すように、1.7m
m角のSi基板3上に厚みが20μm以下のダイヤフラ
ム4が形成され、該ダイヤフラム4上に薄膜ヒータRH
及び薄膜温度センサRU ,RD が形成され、Si基板3
上に薄膜温度センサRR が形成され、薄膜ヒータRH 、
薄膜温度センサRU ,RD 及び薄膜温度センサRR によ
りマイクロフローセンサ5が構成されている。
【0004】この流量計は、図7に示すように、マイク
ロフローセンサ5が空気流6と平行になるようにダクト
7内に配置され、その台座2はダクト7の内壁7aに接
着材8またはネジ等の固定具を用いて固定されている。
この流量センサ1は、薄膜温度センサRU が空気流6の
上流側に、薄膜温度センサRD が空気流6の下流側にな
るように配置されている。
ロフローセンサ5が空気流6と平行になるようにダクト
7内に配置され、その台座2はダクト7の内壁7aに接
着材8またはネジ等の固定具を用いて固定されている。
この流量センサ1は、薄膜温度センサRU が空気流6の
上流側に、薄膜温度センサRD が空気流6の下流側にな
るように配置されている。
【0005】次に、流量計の動作について説明する。図
8は薄膜ヒータRH と薄膜温度センサRR により構成さ
れたブリッジ回路の回路図、図9は薄膜温度センサ
RU ,RD により構成されたブリッジ回路の回路図、図
10は薄膜温度センサRU ,RD の温度と空気流の流速
との関係を示す図である。この流量計においては、薄膜
ヒータRH の温度が周囲温度に対してある一定温度上昇
するように該薄膜ヒータRH に通電すると、薄膜ヒータ
RH より発生した熱は周囲の空気を暖め、両側に配置さ
れている薄膜温度センサRU ,RD の温度を上昇させ
る。
8は薄膜ヒータRH と薄膜温度センサRR により構成さ
れたブリッジ回路の回路図、図9は薄膜温度センサ
RU ,RD により構成されたブリッジ回路の回路図、図
10は薄膜温度センサRU ,RD の温度と空気流の流速
との関係を示す図である。この流量計においては、薄膜
ヒータRH の温度が周囲温度に対してある一定温度上昇
するように該薄膜ヒータRH に通電すると、薄膜ヒータ
RH より発生した熱は周囲の空気を暖め、両側に配置さ
れている薄膜温度センサRU ,RD の温度を上昇させ
る。
【0006】この温度上昇は、空気に流れがない場合に
は両側の薄膜温度センサRU ,RDで等しくなるが、空
気に流れがあると、図に示すように、上流側の薄膜温度
センサRU は空気流により冷却されて温度が下降し、下
流側の薄膜温度センサRD は暖められた空気流により熱
せられて温度が上昇する。したがって、薄膜温度センサ
RU ,RD 間の温度差を電圧の差に変換して取り出せ
ば、空気流の流速を検出することができる。
は両側の薄膜温度センサRU ,RDで等しくなるが、空
気に流れがあると、図に示すように、上流側の薄膜温度
センサRU は空気流により冷却されて温度が下降し、下
流側の薄膜温度センサRD は暖められた空気流により熱
せられて温度が上昇する。したがって、薄膜温度センサ
RU ,RD 間の温度差を電圧の差に変換して取り出せ
ば、空気流の流速を検出することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の流量計は以上の
ように構成されているので、流量センサ1が何の保護も
なしに外部にさらされる状態となり、流量計を生産・運
搬する際やダクト等に取り付ける作業の際に、マイクロ
フローセンサ5を汚損させたりあるいは破損させる等の
恐れがある等の問題点があった。また、ガス給湯器等の
各種機器が小型化するに伴い、低流量で従来以上の感度
を有する流量計が求められており、特に3l/H程度の
低流量で高感度を示す流量計の開発が待たれているが、
従来の流量計ではこれらの要求に充分対応できないのが
現状である。
ように構成されているので、流量センサ1が何の保護も
なしに外部にさらされる状態となり、流量計を生産・運
搬する際やダクト等に取り付ける作業の際に、マイクロ
フローセンサ5を汚損させたりあるいは破損させる等の
恐れがある等の問題点があった。また、ガス給湯器等の
各種機器が小型化するに伴い、低流量で従来以上の感度
を有する流量計が求められており、特に3l/H程度の
低流量で高感度を示す流量計の開発が待たれているが、
従来の流量計ではこれらの要求に充分対応できないのが
現状である。
【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、生産時、運搬時、取り付け時等
において汚損や破損の恐れがなく、しかも低流量におい
て高感度で動作する流量計の保護部材を得ることを目的
とする。
ためになされたもので、生産時、運搬時、取り付け時等
において汚損や破損の恐れがなく、しかも低流量におい
て高感度で動作する流量計の保護部材を得ることを目的
とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明に係る流量計の
保護部材は、上面に流量センサ部が設けられた台座と係
合する凹部を部材本体の底部に形成し、この部材本体の
上面に立設した壁体に流体導入用の流路を形成し、前記
流量センサ部を前記流路に露出する穴を前記部材本体の
上面に形成したものである。
保護部材は、上面に流量センサ部が設けられた台座と係
合する凹部を部材本体の底部に形成し、この部材本体の
上面に立設した壁体に流体導入用の流路を形成し、前記
流量センサ部を前記流路に露出する穴を前記部材本体の
上面に形成したものである。
【0010】
【作用】この発明における流量計の保護部材は、上面に
流量センサ部が設けられた台座に係合された部材本体の
上面に壁体を立設し、この壁体に流体導入用の流路を形
成し、前記流量センサ部を前記流路に露出する穴を前記
部材本体に形成したことにより、前記流量センサ部を確
実に保護し、汚損および破損を防止する。また、流体は
流路を通過中に流量センサ部に作用するので、流量セン
サ部は流路を通過するわずかな量の流体を高感度で検出
する。これより、低流量域での流量の感度が増大し、低
流量域における流量計の感度特性が向上する。
流量センサ部が設けられた台座に係合された部材本体の
上面に壁体を立設し、この壁体に流体導入用の流路を形
成し、前記流量センサ部を前記流路に露出する穴を前記
部材本体に形成したことにより、前記流量センサ部を確
実に保護し、汚損および破損を防止する。また、流体は
流路を通過中に流量センサ部に作用するので、流量セン
サ部は流路を通過するわずかな量の流体を高感度で検出
する。これより、低流量域での流量の感度が増大し、低
流量域における流量計の感度特性が向上する。
【0011】
【実施例】 実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1ないし図3において、11は略円柱状のキャ
ップ本体(部材本体)であり、その底部には台座2と係
合する凹部12が形成され、その上面に立設した壁体1
1a,11b間に空気流6導入用の流路となる溝13が
軸Ax と直交するように形成され、当該溝13の底部は
その両端部の肉厚部を除き開放されて凹部12と連通す
る穴14とされている。この溝13のそれぞれの開口端
13a,13bの両側部15a,15a及び両側部15
b,15bには空気流6を整流するための丸みが形成さ
れている。さらに、凹部12の下端には台座2と係合し
該台座2を凹部12に固定するための突起16が軸AX
に対して対称の位置に形成されている。
する。図1ないし図3において、11は略円柱状のキャ
ップ本体(部材本体)であり、その底部には台座2と係
合する凹部12が形成され、その上面に立設した壁体1
1a,11b間に空気流6導入用の流路となる溝13が
軸Ax と直交するように形成され、当該溝13の底部は
その両端部の肉厚部を除き開放されて凹部12と連通す
る穴14とされている。この溝13のそれぞれの開口端
13a,13bの両側部15a,15a及び両側部15
b,15bには空気流6を整流するための丸みが形成さ
れている。さらに、凹部12の下端には台座2と係合し
該台座2を凹部12に固定するための突起16が軸AX
に対して対称の位置に形成されている。
【0012】このキャップ(保護部材)の凹部12の底
面12aと台座2の上面2aとを対向させた状態でキャ
ップ本体11を台座2に向かって移動させ、凹部12に
台座2を係合させる。このとき流量センサ1は溝13内
に突出した状態となり、外部の衝撃から保護される。さ
らに、凹部12の側面12bに、底面12aに向かって
拡径するようにテーパを形成し、台座2にも上面2aか
ら底面2bに向かって拡径するようにテーパを形成すれ
ば、台座2は凹部12に係合した後外れ難くなるので、
流量センサ1を確実に保護することができる。
面12aと台座2の上面2aとを対向させた状態でキャ
ップ本体11を台座2に向かって移動させ、凹部12に
台座2を係合させる。このとき流量センサ1は溝13内
に突出した状態となり、外部の衝撃から保護される。さ
らに、凹部12の側面12bに、底面12aに向かって
拡径するようにテーパを形成し、台座2にも上面2aか
ら底面2bに向かって拡径するようにテーパを形成すれ
ば、台座2は凹部12に係合した後外れ難くなるので、
流量センサ1を確実に保護することができる。
【0013】次に動作について説明する。この流量計に
おいては、一方の開口端13aから溝13内に流入する
空気流6は側部15a,15aの丸みにより整流され、
この整流された空気流6が流量センサ1に向かって流
れ、該流量センサ1により流量が測定される。溝13は
断面積が小さいので、通過する空気流6は流量が少なく
なり、しかも整流されているので、低流量の高速の定常
流となる。これより、空気流6の流量が変化すると、こ
の変化量に対応して前記定常流が大きく変化し、わずか
な空気流6の流量を高感度で検出することが可能にな
り、低流量域での流量計の感度特性が向上する。なお、
この流量計の測定原理は従来と全く同様である。
おいては、一方の開口端13aから溝13内に流入する
空気流6は側部15a,15aの丸みにより整流され、
この整流された空気流6が流量センサ1に向かって流
れ、該流量センサ1により流量が測定される。溝13は
断面積が小さいので、通過する空気流6は流量が少なく
なり、しかも整流されているので、低流量の高速の定常
流となる。これより、空気流6の流量が変化すると、こ
の変化量に対応して前記定常流が大きく変化し、わずか
な空気流6の流量を高感度で検出することが可能にな
り、低流量域での流量計の感度特性が向上する。なお、
この流量計の測定原理は従来と全く同様である。
【0014】この実施例の流量計のキャップによれば、
キャップ本体11の底部に台座2と係合する凹部12を
形成したので、該凹部12を台座2に係合することによ
り、台座2の上面2aに設けられた流量センサ1を外部
の衝撃から保護することができ、生産時、運搬時、取り
付け時等において汚損や破損を防止することができ、し
たがって流量計の信頼性を向上させることができる。
キャップ本体11の底部に台座2と係合する凹部12を
形成したので、該凹部12を台座2に係合することによ
り、台座2の上面2aに設けられた流量センサ1を外部
の衝撃から保護することができ、生産時、運搬時、取り
付け時等において汚損や破損を防止することができ、し
たがって流量計の信頼性を向上させることができる。
【0015】また、キャップ本体11の上部に溝13が
形成され、溝13の底部は凹部12と連通する穴14と
されているので、空気流6は溝13により低流量かつ高
速の気流となり流量センサ1により高感度で検出され、
低流量域での流量に対するセンサ感度を大きくすること
ができ、流量計の低流量域における感度特性を向上させ
ることができる。また、溝13の開口端13a,13b
の両側部15a,15a及び両側部15b,15bに丸
みを形成したので、溝13内に流入する空気流6を整流
し、均一な定常流とすることができる。
形成され、溝13の底部は凹部12と連通する穴14と
されているので、空気流6は溝13により低流量かつ高
速の気流となり流量センサ1により高感度で検出され、
低流量域での流量に対するセンサ感度を大きくすること
ができ、流量計の低流量域における感度特性を向上させ
ることができる。また、溝13の開口端13a,13b
の両側部15a,15a及び両側部15b,15bに丸
みを形成したので、溝13内に流入する空気流6を整流
し、均一な定常流とすることができる。
【0016】実施例2.図4はこの発明の他の実施例を
示す斜視図であり、図において、21は溝13の両側に
設けられた水平方向に延在する断面略半円状のフィンで
ある。
示す斜視図であり、図において、21は溝13の両側に
設けられた水平方向に延在する断面略半円状のフィンで
ある。
【0017】次に動作について説明する。この流量計を
空気流6中に配置すると、空気流6によりフィン21が
冷却される。フィン21はマイクロフローセンサ5から
受ける伝熱より空気流6により受ける冷却効果の方が大
きく、他の部分と比べて温度が低くなるので、空気流6
の流れが止まって滞留したような場合、空気流6中の水
分はより温度の低いフィン21に集中的に結露し、流量
センサ1に結露することはほとんどない。したがって、
流量センサ1の結露を防止することができる。この流量
センサ1の結露はマイクロフローセンサ5においては致
命的な故障原因となるので、この結露を防止できれば流
量センサ1の信頼性が大幅に向上し、効果大である。
空気流6中に配置すると、空気流6によりフィン21が
冷却される。フィン21はマイクロフローセンサ5から
受ける伝熱より空気流6により受ける冷却効果の方が大
きく、他の部分と比べて温度が低くなるので、空気流6
の流れが止まって滞留したような場合、空気流6中の水
分はより温度の低いフィン21に集中的に結露し、流量
センサ1に結露することはほとんどない。したがって、
流量センサ1の結露を防止することができる。この流量
センサ1の結露はマイクロフローセンサ5においては致
命的な故障原因となるので、この結露を防止できれば流
量センサ1の信頼性が大幅に向上し、効果大である。
【0018】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、上面
に流量センサ部が設けられた台座に係合された部材本体
の上面に壁体を立設し、この壁体に流体導入用の流路を
形成し、前記流量センサ部を前記流路に露出する穴を前
記部材本体に形成して構成したので、流量センサ部を外
部の衝撃から保護することができ、生産時、運搬時、取
り付け時等において汚損や破損を防止することができ、
したがって流量計の信頼性を向上させることができる。
に流量センサ部が設けられた台座に係合された部材本体
の上面に壁体を立設し、この壁体に流体導入用の流路を
形成し、前記流量センサ部を前記流路に露出する穴を前
記部材本体に形成して構成したので、流量センサ部を外
部の衝撃から保護することができ、生産時、運搬時、取
り付け時等において汚損や破損を防止することができ、
したがって流量計の信頼性を向上させることができる。
【0019】また、流体は流路を通過中に流量センサ部
に作用するように構成したので、低流量域での流量に対
するセンサ感度を大きくすることができ、流量計の低流
量域における感度特性を向上させることができる。
に作用するように構成したので、低流量域での流量に対
するセンサ感度を大きくすることができ、流量計の低流
量域における感度特性を向上させることができる。
【図1】この発明の一実施例による流量計のキャップ
(保護部材)を示す斜視図である。
(保護部材)を示す斜視図である。
【図2】この発明の一実施例による流量計のキャップ
(保護部材)を示す平面図である。
(保護部材)を示す平面図である。
【図3】図2のA−A線に沿う断面図である。
【図4】この発明の他の実施例による流量計のキャップ
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図5】従来の半導体を用いた流量計を示す斜視図であ
る。
る。
【図6】従来のチップタイプの熱式流量センサを示す斜
視図である。
視図である。
【図7】ダクト内に流量計を配置した状態を示す断面図
である。
である。
【図8】薄膜ヒータと薄膜温度センサにより構成された
ブリッジ回路を示す回路図である。
ブリッジ回路を示す回路図である。
【図9】2つの薄膜温度センサにより構成されたブリッ
ジ回路を示す回路図である。
ジ回路を示す回路図である。
【図10】薄膜温度センサの温度と空気流の流速との関
係を示す図である。
係を示す図である。
1 熱式流量センサ(流量センサ部) 2 台座 2a 上面 6 空気流(流体) 11 キャップ本体(部材本体) 12 凹部 13 溝 14 穴
Claims (1)
- 【請求項1】 上面に流量センサ部が設けられた台座
と、この台座に係合する凹部が底部に形成された部材本
体と、この部材本体の上面に立設した壁体に形成された
流体導入用の流路と、前記凹部と前記流路とを連通し前
記流量センサ部を該流路に露出するように前記部材本体
の上面に形成された穴とを備えた流量計の保護部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6222073A JPH0886676A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 流量計の保護部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6222073A JPH0886676A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 流量計の保護部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0886676A true JPH0886676A (ja) | 1996-04-02 |
Family
ID=16776701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6222073A Pending JPH0886676A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 流量計の保護部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0886676A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1038649A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波式流量計 |
JP2008511836A (ja) * | 2004-08-31 | 2008-04-17 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 自己整合流れチャネルを有する流量センサ |
-
1994
- 1994-09-16 JP JP6222073A patent/JPH0886676A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1038649A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波式流量計 |
JP2008511836A (ja) * | 2004-08-31 | 2008-04-17 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 自己整合流れチャネルを有する流量センサ |
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