CN102620780A - Mems热式流量传感器 - Google Patents
Mems热式流量传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102620780A CN102620780A CN2011104431493A CN201110443149A CN102620780A CN 102620780 A CN102620780 A CN 102620780A CN 2011104431493 A CN2011104431493 A CN 2011104431493A CN 201110443149 A CN201110443149 A CN 201110443149A CN 102620780 A CN102620780 A CN 102620780A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mems
- fluid passage
- type flow
- thermal
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
本发明提供一种MEMS热式流量传感器，它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐；所述流体通道是内壁光滑且横截面呈方形的管道。该MEMS热式流量传感器具有结构简单、成本低、易于实现、效果突出、检测结果精确性高的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种流量传感器，具体的说，涉及了一种MEMS热式流量传感器。
背景技术
在硅等半导体基板上使用MEMS加工工艺制造的热式流量传感器通常叫MEMS热式流量传感器，此种半导体型的热式流量传感器，通常是在数微米厚的薄膜状半导体基板上形成发热电阻体和感温元件；该传感器因为是采用薄膜类结构，所以，它具有热容量小、可高速响应、可低电压驱动的优点；此外，该传感器采用MEMS加工工艺，容易形成发热电阻体和感温元件，利于上下游的温度差检测，且利于顺流、逆流的判别。
在实际生产中，MEMS热式流量传感器的流量感测芯片通常直接粘贴在流体通道内壁，以便进行流量检测，但是，流量感测芯片直接粘贴在流体通道内壁，使流量感测芯片相对流体通道内壁产生一定的凸出问题，即流量感测芯片与流体通道形成阶梯差，致使被检测的气流易产生紊乱，进而影响检测结果的准确性。
为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足，从而提供了一种结构简单、成本低、易于实现、效果突出、检测结果精确性高的MEMS热式流量传感器。
为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种MEMS热式流量传感器，它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐。
基于上述，所述流体通道具有凹槽的一侧内壁是平面内壁。
基于上述，所述流体通道是内壁光滑且横截面呈方形的管道。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著进步，具体的说，通过使MEMS热式流量感测芯片的感应面与流体通道的内壁平整，去除了阶梯差，不会产生流动紊乱，可以消除因流体流动紊乱而产生的测定误差，并可以降低因灰尘冲击而产生的破坏，使MEMS热式流量传感器的抗污能力大大增强、信号稳定性得到保证，也使传感器的使用寿命变长，还利于扩展传感器的检测量程。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
如图1所示，一种MEMS热式流量传感器，它包括MEMS热式流量感测芯片2和流体通道1；其中，所述流体通道1具有凹槽的一侧内壁是光滑的平面内壁；所述流体通道1的内壁3设置有凹槽，所述凹槽的形状和大小与所述MEMS热式流量感测芯片2的形状和大小吻合；所述MEMS热式流量感测芯片2用胶体贴装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片2的敏感面与所述流体通道1的内壁3表面平齐；需要特别说明的是，在其它实施例中，所述凹槽也可以是一个槽孔，以便于从所述流体通道1的外部安装所述MEMS热式流量感测芯片2。
将同一个MEMS热式流量感测芯片贴装在同一个流体通道内，使MEMS热式流量感测芯片与所述流体通道有5种不同的贴装状态：使MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐，即平贴状态；将MEMS热式流量感测芯片直接贴装在所述流体通道的内壁表面，即凸起状态；将MEMS热式流量感测芯片贴装在所述凹槽内，并使MEMS热式流量感测芯片的敏感面高于所述流体通道的内壁表面，即半凸状态；将MEMS热式流量感测芯片贴装在所述凹槽内，并使MEMS热式流量感测芯片的敏感面稍低于所述流体通道的内壁表面，即半凹状态；将MEMS热式流量感测芯片贴装在所述凹槽内，并使MEMS热式流量感测芯片的敏感面低于所述流体通道的内壁表面，即凹陷状态。
在上述5种不同的贴装状态下，在相同的条件下，采用同一检测设备对MEMS热式流量传感器进行检测，检测数据如下： 
由上表不难看出，MEMS热式流量感测芯片与所述流体通道的贴装状态，对于毫伏级输出的MEMS热式流量传感器而言，有着很大的影响。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本发明技术方案的精神，其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。
Claims (3)
1.一种MEMS热式流量传感器，其特征在于：它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐。
2.根据权利要求1所述的MEMS热式流量传感器，其特征在于：所述流体通道具有凹槽的一侧内壁是平面内壁。
3.根据权利要求2所述的MEMS热式流量传感器，其特征在于：所述流体通道是内壁光滑且横截面呈方形的管道。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011104431493A CN102620780A (zh) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | Mems热式流量传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011104431493A CN102620780A (zh) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | Mems热式流量传感器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102620780A true CN102620780A (zh) | 2012-08-01 |
Family
ID=46560839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011104431493A Pending CN102620780A (zh) | 2011-12-27 | 2011-12-27 | Mems热式流量传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102620780A (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107917750A (zh) * | 2016-10-08 | 2018-04-17 | 北京大学 | 一种mems热式声粒子传感器 |
| CN109416269A (zh) * | 2016-06-27 | 2019-03-01 | 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 | 用于热流量测量装置的传感器、热流量测量装置以及用于制造热流量测量装置的传感器的方法 |
| CN110274649A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-24 | 武汉大学 | 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法 |
| WO2019232691A1 (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-12 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 农业无人机、存储介质、喷洒系统及其控制方法和装置 |
| CN114608666A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-10 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 | 流量传感器封装结构及封装方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081866A (en) * | 1990-05-30 | 1992-01-21 | Yamatake-Honeywell Co., Ltd. | Respiratory air flowmeter |
| CN1993605A (zh) * | 2004-06-08 | 2007-07-04 | 霍尼韦尔国际公司 | 一次性使用的流体流量传感器 |
| CN102175287A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-09-07 | 国家纳米技术与工程研究院 | 一种基于mems技术的流量计芯片的测量部件及其制作方法 |
| CN202403744U (zh) * | 2011-12-27 | 2012-08-29 | 郑州炜盛电子科技有限公司 | Mems热式流量传感器 |
-
2011
- 2011-12-27 CN CN2011104431493A patent/CN102620780A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5081866A (en) * | 1990-05-30 | 1992-01-21 | Yamatake-Honeywell Co., Ltd. | Respiratory air flowmeter |
| CN1993605A (zh) * | 2004-06-08 | 2007-07-04 | 霍尼韦尔国际公司 | 一次性使用的流体流量传感器 |
| CN102175287A (zh) * | 2010-12-30 | 2011-09-07 | 国家纳米技术与工程研究院 | 一种基于mems技术的流量计芯片的测量部件及其制作方法 |
| CN202403744U (zh) * | 2011-12-27 | 2012-08-29 | 郑州炜盛电子科技有限公司 | Mems热式流量传感器 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109416269A (zh) * | 2016-06-27 | 2019-03-01 | 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 | 用于热流量测量装置的传感器、热流量测量装置以及用于制造热流量测量装置的传感器的方法 |
| US10989581B2 (en) | 2016-06-27 | 2021-04-27 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Sensor for a thermal, flow measuring device having sensor element spacing protrusions |
| CN107917750A (zh) * | 2016-10-08 | 2018-04-17 | 北京大学 | 一种mems热式声粒子传感器 |
| CN107917750B (zh) * | 2016-10-08 | 2020-06-26 | 北京大学 | 一种mems热式声粒子传感器 |
| WO2019232691A1 (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-12 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 农业无人机、存储介质、喷洒系统及其控制方法和装置 |
| CN110709795A (zh) * | 2018-06-05 | 2020-01-17 | 深圳市大疆创新科技有限公司 | 农业无人机、存储介质、喷洒系统及其控制方法和装置 |
| CN110274649A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-24 | 武汉大学 | 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法 |
| CN110274649B (zh) * | 2019-06-13 | 2020-09-01 | 武汉大学 | 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法 |
| CN114608666A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-10 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 | 流量传感器封装结构及封装方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102620780A (zh) | Mems热式流量传感器 | |
| CN104053972B (zh) | 热式流量计 | |
| CN103453959B (zh) | 微小流量传感器 | |
| US7278308B2 (en) | Thermal isolation between heating and sensing for flow sensors | |
| CN105518419A (zh) | 绝压和差压传感器 | |
| CN101680788A (zh) | 热流量计 | |
| Van Oudheusden et al. | High-sensivity 2-D flow sensor with an etched thermal isolation structure | |
| CN202403744U (zh) | Mems热式流量传感器 | |
| EP3032228B1 (en) | Thermal mass flow meter | |
| TW200401881A (en) | Flow sensor | |
| US9810586B2 (en) | Temperature sensor and thermal, flow measuring device | |
| WO2017057176A1 (ja) | 流量センサ | |
| JP2012145356A (ja) | 流速センサ | |
| CN203658851U (zh) | 基于mems传感器的质量流量控制器的结构 | |
| CN106908110B (zh) | 具有旁路的流量传感模块 | |
| CN101782410A (zh) | 一种微机电系统热式流量计 | |
| CN204128607U (zh) | 一种热膜式流量传感芯片 | |
| CN108982905B (zh) | 集流量传感器为一体的可降气体流速的mems缓冲结构 | |
| JP5573689B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
| CN106066406A (zh) | 气体流速传感器 | |
| JP5492635B2 (ja) | 熱式流量センサおよび負圧吸着装置 | |
| CN105683721A (zh) | 空气流量测量装置 | |
| JP6475081B2 (ja) | 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法 | |
| Kasai et al. | Improvement of thermal‐type MEMS flow sensor chip via new process of silicon etching with sacrificial polycrystalline silicon layer | |
| CN211085360U (zh) | 一种热式质量传感器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20120801 |