JPH088426Y2

JPH088426Y2 - 二光束干渉計の駆動装置

Info

Publication number: JPH088426Y2
Application number: JP1989126304U
Authority: JP
Inventors: 寿一郎右近
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 1989-10-28
Filing date: 1989-10-28
Publication date: 1996-03-06
Anticipated expiration: 2004-10-28
Also published as: JPH0365932U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は、フーリエ分光器に用いられる二光束干渉
計における可動平面鏡を移動させるための駆動装置に関
する。

〔従来技術〕

フーリエ分光器二光束干渉計として、例えば、第７図
に示したものがある。すなわち、第７図において、41は
光源、42はビームスプリッタ、43はビームスプリッタ42
の反射光束が入射する固定平面鏡、44はビームスプリッ
タ42の透過光束が入射する可動平面鏡で、これは前記透
過光束の光軸と平行に直線的に往復動される。45は検出
器である。

そして、前記固定平面鏡43と可動平面鏡44とをそれら
に対する各光束の入射角が０度となるように配置して、
その入射光束と出射光束との光路をほぼ同じにして、固
定平面鏡43と可動平面鏡44とで反射された各光束がビー
ムスプリッタ42に再入射するように構成されている。

前記二光束干渉計の可動平面鏡44を往復動させる駆動
装置として、例えば、特表昭63−501174号公報に開示さ
れたものが知られている。この公表公報に開示された駆
動装置は、固定部材に一対の平行リンクの端部が軸着さ
れ、これらの平行リンクの他端に架設状に軸着された揺
動部材に、前記二光束干渉計の可動平面鏡が取り付けら
れ、この揺動部材をリニアモータで往復動させて、前記
可動平面鏡を往復動させるものである。

また、二光束干渉計として、第８図に示したものも知
られている。すなわち、第８図において、51は光源、52
は揺動プレートで、これに一対の可動平面鏡53a,53b
が、平行四辺形の相対した２辺の状態で平行に相対して
立設固定され、かつ可動平面鏡53a,53b間に、これらと
平行にビームスプリッタ54が立設されている。

そして、揺動プレート52を支持した支軸55をサーボモ
ータ（図示してない）で往復回転させて、揺動プレート
52を矢印で示したように回転揺動させるように構成され
ている。56は可動平面鏡53aからビームスプリッタ54の
反射光束57aが入射し、それを同じ光路で反射して、再
度可動平面鏡53aに入射させる固定平面鏡、58はビーム
スプリッタ54の透過光束57bが入射し、それを同じ光路
で反射する固定平面鏡、59は検出器である。

この二光束干渉計は、ビームスプリッタ54の反射光束
57aが可動平面鏡53aと固定平面鏡56とで反射されてビー
ムスプリッタ54に再入射し、ビームスプリッタ54の透過
光束57bが固定平面鏡56で反射されてビームスプリッタ5
4に再入射するものであるが、可動平面鏡53a,53bとビー
ムスプリッタ54は、揺動プレート52で同時に回転揺動さ
れている。

したがって、光源51から固定平面鏡56までの反射光束
57aの光路長が変化して、光路長が一定の透過光束57bの
光路長との間に変化が生ずるから、これらがビームスプ
リッタ54に再入射すると、結合し干渉が生ずる。

〔考案が解決しようとする課題〕

前記従来の二光束干渉計において、前記公表公報に開
示されたものは、その可動平面鏡の駆動をリニアモータ
で行っている。また、第８図に示したものは、揺動プレ
ート52の回転揺動をサーボモータで行っている。したが
って、いずれも電力の消費量が比較的多くなり、かつ前
記各駆動系の設置に要するスペースが大きくなる問題が
ある。

この考案は、上述の事柄に留意してなされたもので、
その目的は、電力の消費量が少なく、かつ設置に要する
スペースを小さくできるフーリエ分光器用二光束干渉計
の駆動装置を提供することである。

〔課題を解決する手段〕

上記目的を達成するため、本願の第１考案の二光束干
渉計の駆動装置は、支軸と共に回動するレバーと、前記
支軸から離れた位置で、前記レバーをその回転方向側で
支持した圧電体セラミックスと、前記レバーを圧電体セ
ラミックスの方に付勢する付勢手段とからなり、前記圧
電体セラミックスの伸縮による前記支軸の回動で、二光
束干渉計の可動体を駆動することを特徴としている。

圧電体セラミックスによるレバーの支持は、圧電体セ
ラミックスの変位をレバーに伝えることが可能に構成す
ればよい。

本願の第２考案の二光束干渉計の駆動装置は、支軸を
中心にして回動する第１レバーと、前記支軸から離れた
位置で、前記第１レバーをその回動方向側で支持した圧
電体セラミックスと、前記支軸と平行な支軸と共に可動
可能で、その支軸から離れた位置が前記第１レバーの作
用点で支持された第２レバーと、この第２レバーを圧電
体セラミックスの収縮方向に付勢する付勢手段とからな
り、前記圧電体セラミックスの伸縮による第２レバーの
支軸の回動で、二光束干渉計の可動体を駆動することを
特徴としている。

前記第１レバーによる第２レバーの支持は、例えば、
それらの一部を当接させて、または板ばねなどの弾性変
形が可能な板状連結板を、その面を第２レバーの支軸の
軸線と平行にして、第１レバーと第２レバーとは同時に
回動する。また、圧電体セラミックスによる第１レバー
の支持手段を、前記のようにすることも可能である。

本願の第３考案の二光束干渉計の駆動装置は、支軸と
共に回動するレバーと、このレバーの回動方向側で、前
記支軸から離れた位置に配置された圧電体セラミックス
と、レバーと圧電体セラミックスとを連結するために、
これらに各端部が固着された弾性変形が可能な板状連結
片とからなり、かつ前記板状連結片が、その面を前記支
軸の軸線と平行にして固着され、前記圧電体セラミック
スの伸縮による前記支軸の回動で、二光束干渉計の可動
体を駆動することを特徴としている。

本願の第４考案の二光束干渉計の駆動装置は、支軸を
中心にして回動する第１レバーと、この第１レバーの回
動方向側で、前記支軸と離れた位置に配置された圧電体
セラミックスと、第１レバーと同方向に支軸と共に回動
する第２レバーと、第１レバーと圧電体セラミックスと
を連結するために、これらに各端部が固着された弾性変
形が可能な第１板状連結片と、第１レバーの作用点と第
２レバーとを連結するために、これらに各端部が固着さ
れた弾性変形が可能な第２板状連結片とからなり、第１
板状連結片がその面を第１レバーの支軸の軸線と、ま
た、第２板状連結片がその面を第２レバーの支軸の軸線
とそれぞれ平行にして固着され、前記第２レバーの支軸
の回動で、二光束干渉計の可動体を駆動することを特徴
としている。

本願の第５考案の二光束干渉計の駆動装置は、支軸を
中心にして回動するレバーと、このレバーの回動方向側
で、支軸から離れた位置に配置された圧電体セラミック
スと、レバーと圧電体セラミックスとを連結するため
に、それらに各端部が固着された弾性変形可能な板状連
結片とからなり、かつ前記板状連結片が、その面を支軸
の軸線と平行にして固着され、圧電体セラミックスの伸
縮によるレバーの回動で、二光束干渉計の可動体を駆動
することを特徴としている。

前記各考案における圧電体セラミックスとしては、例
えば、PZT素子がある。また、圧電体セラミックスは、
その伸縮量を大きくするため、その適数を重ねて使用す
るのがよい。

前記第３〜５考案の各板状連結片としては、例えば、
板ばねがある。そして、第５考案のレバーと支軸とは、
格別に回動可能でも、共に回動可能であってもよい。

〔作用〕

前記第１〜４考案のそれぞれは、二光束干渉計の可動
体を回転揺動させるものであって、第１考案と第３考案
は、それらのレバーの支軸で、また、第２考案と第４考
案は、それらの第２レバーの支軸で二光束干渉計の可動
体を回動させるものである。そして、各圧電体セラミッ
クスには、電圧印加のオン、オフを適当な時間間隔をお
いて反復するものであって、これによって、圧電体セラ
ミックスは伸縮し、かつこの圧電体セラミックスの伸縮
は直進運動である。

そして、第１考案は、圧電体セラミックスに対する電
圧がオンになると、それが伸長し付勢手段に抗してレバ
ーと共に支軸を回動させる。そして、圧電体セラミック
スに対する電圧がオフになると、それが元の長さに復帰
するから、それ対応して付勢手段がレバーを介して支軸
を前記と逆方向に回動させる。この支軸の往復運動で、
二光束干渉計の可動体を回転振動させる。

第２考案は、圧電体セラミックスに対する電圧をオ
ン、オフで圧電体セラミックスを伸縮させて、第１レバ
ーを往復回動させる。すると、同時に第２レバーが回動
して、その支軸で二光束干渉計の可動体を回動揺動させ
るものである。したがって、第１レバーの長さに対応し
て、その作用点の回動距離が大きくなって、第２レバー
の回転角を大きくするから、その支軸の回転角が前記第
１考案のそれよりも大きくなり、二光束干渉計の可動体
の揺動角を大きくする。

第３考案は、圧電体セラミックスの伸縮によるレバー
の往復回動で、その支軸を回動させて二光束干渉計の回
動体を回動揺動させるものである。そして、圧電体セラ
ミックスとレバーとが板状連結片で連結されて一体状に
構成されているから、圧電体セラミックスの伸縮運動が
レバーに対して直接伝達され、二光束干渉計の可動体の
回転に２次の遅れが生ずることがない。また、直進運動
の圧電体セラミックスと回動運動のレバーとの位置関係
の変位を、板状連結片が弾性変形することで吸収する。

第４考案も、圧電体セラミックスの伸縮運動で、第１
レバーを介して第２レバーを回動させて、第２レバーの
支軸の回動で、二光束干渉計の可動体を回転揺動させ
る。

第５考案は、二光束干渉計の可動体を、直線的に往復
運動させるものである。すなわち、圧電体セラミックス
の伸縮による各レバーの往復回動で二光束干渉計の可動
体を直線的に往復動させる。

〔実施例〕

以下、この考案の詳細を図面を参照しながら説明す
る。

第１図は、第１実施例を示し、これは前記第１考案に
対応する。

第１図において、１はレバーで、その端部が支軸２に
固着されて、この支軸２と共にレバー１が回動するよう
に構成されている。３は圧電体セラミックスで、ベース
４に固着されている。この圧電体セラミックス３は、電
圧が印加されると一方向に長くなるが、その変位量は1m
当たり1nm以下と小さいから、これを多数重ねて構成さ
れている。

５は圧電体セラミックス３の頂部に固着された支持体
で、その先端を小さくして、この先端をレバー１の回動
方向の一側面に当接して、レバー１を支持している。こ
の支持体５の先端形状は、線状、点状、曲面にするなど
任意であり、圧電体セラミックス３が直進状態で伸縮し
てレバー１が回動したときの支持体５に対するレバー１
の変位がスムーズに行われるようにしてあればよい。

６はレバー１を圧電体セラミックス３の方に付勢する
ために、レバー１とベース４とに架設状に取り付けられ
た付勢手段としてのばねである。７は圧電体セラミック
ス３に接続された電源、８は前記のように構成された駆
動装置である。

20は二光束干渉計、21は二光束干渉計20の板体その他
で構成された揺動部材で、その上面側に一対の可動平面
鏡22a,22bが間隔をおいて平行に相対向させて立設固定
されている。23は光源、24は光源23の光束を可動平面鏡
22a,22bのそれぞれに入射させるビームスプリッタ、25
はビームスプリッタ24の反射光束、25bはビームスプリ
ッタ24の透過光束である。

26a,26bは反射光束25aと透過光束25bのそれぞれが可
動平面鏡22a,22bから入射する各１枚の平面鏡からなる
固定平面鏡である。この固定平面鏡26a,26bは、入射す
る反射光束25aと透過光束25bの各入射角度が０度になる
ように調整配置され、固定平面鏡26a,26bに入射および
出射する各光束の光軸がほぼ平行になるようになってい
る。したがって、固定平面鏡26a,26bを出射した反射光
束25aと透過光束25bは、可動平面鏡22a,22bで反射され
てビームスプリッタ24に再入射する。

27は可動平面鏡22a,22bの立設方向と同方向にして、
揺動部材21に固着された支軸、28は検出器である。

そして、前記揺動部材21の支軸27と前記駆動装置８の
支軸２とが直接または間接的に接続されて、支軸２の往
復回動で、支軸27を介して揺動部材21と共に可動平面鏡
22a,22bを、矢印で示すように、回転揺動させるように
構成されている。

前記駆動装置８による二光束干渉計20の揺動部材21の
回転揺動は、圧電体セラミックス３に対する電圧のオ
ン、オフで、それを伸縮させて、その直進力とばね６の
力とでレバー１を往復回動させる。すると、レバー１に
固着された支軸２が共に往復回動して、この支軸２が支
軸27を回動させるから、揺動部材21と共に可動平面鏡22
a,22bが回転揺動することとなる。

一方、二光束干渉計20は、上述のように、可動平面鏡
22a,22bを回転揺動させて、光源23からビームスプリッ
タ24に光束が入射し、ビームスプリッタ24の反射光束25
aが可動平面鏡22a,22bの順序で反射されて固定鏡26aに
入射し、かつ固定平面鏡26aから入射光路とほぼ平行な
光路で出射されて、可動平面鏡22b,22aの順序で反射さ
れてビームスプリッタ24に再入射する。

一方、ビームスプリッタ24の透過光束25bは、可動平
面鏡22b,22aの順序で反射されて固定平面鏡26bに入射す
る。この透過光束25bも入射光路とほぼ平行な光路で固
定平面鏡26bから出射して可動平面鏡22a,22bの順序で反
射されてビームスプリッタ24に再入射する。

そして、可動平面鏡22a,22bが例えば、鎖線で示した
状態に揺動したときの、ビームスプリッタ24と固定平面
鏡26a,26b間の光路長は、鎖線で示したように、反射光
束25aが長く、透過光束25bが短く変化して、反射光束25
aと透過光束25bの各光路長に大きな差が生ずる。

なお、可動平面鏡22a,22bが前記鎖線と逆の方向に回
転揺動したときは、反射光束25aの光路長が短く、透過
光束25bの光路長が長くなるように変化する。

したがって、光路長に差がある反射光束25aと透過光
束25bとがビームスプリッタ24に再入射して結合すると
干渉が生ずる。この結合子干渉した光が検出器28で電圧
信号に変換される。

前記二光束干渉計20は、第８図に示した二光束干渉計
など可動体を往復回動させる任意の構成の二光束干渉計
が使用できる。

第２図は第２実施例を示し、これは前記第２考案に対
応する。

第２図において、1aは第１レバーで、その基部が支軸
２に取り付けられている。この第１レバー1aが圧電体セ
ラミックス３の頂部に固着された支持体５の先端で支持
されている。４は圧電体セラミックス３が固着されたベ
ースである。第１レバー1aと支軸２とは、互いに固着し
てあっても、回動自在にしてあってもよい。

10は第１レバー1aの作用点に突設された支持材で、そ
の先端が小さく形成されている。11は第２レバーで、そ
の基部が支軸12に固着されて、その支軸12と共に第２レ
バー11が回動するように構成され、かつ第２レバー11が
支持材10の先端で支持されると共に、第２レバー11が第
１レバー1aの方にばね６で付勢されている。７は圧電体
セラミックス３に接続された電源、８は前記のように構
成された駆動装置である。

そして、この第２実施例の駆動装置８は、その第２レ
バー11の支軸12が例えば、第１図に示した二光束干渉計
20の揺動部材21の支軸27に直接または間接的に接続され
る。

この駆動装置８による二光束干渉計の可動体の往復回
動は、圧電体セラミックス３に対する圧電をオンにする
と、圧電体セラミックス３が伸長して第１レバー1aを回
動させる。この第１レバー1aの回動で、その作用点の支
持材10がばね６の力に抗して第２レバー11を押して回動
させるから、その支軸12も同時に回動する。

次に、圧電体セラミックス３に対する電圧をオフにす
ると、圧電体セラミックス３が元の状態に収縮するか
ら、それに対応してばね６が第２レバー11と第１レバー
1aとを上述とは逆の方向に回動させるから、支軸12も同
時に回動する。この第２レバー11の回動による支軸12の
往復回動で、二光束干渉計の可動体を往復回動させるこ
とができる。

そして、この第２実施例においては、第１レバー1aの
揺動で第２レバー11を揺動させるから、第１レバー1aの
長さに対応して支持材10の回動距離が大きくなり、第２
レバー11とその支軸12の回転角を大きくすることがで
き、二光束干渉計の可動体の揺動角を大きくすることが
できる。

第３図は第３実施例を示し、これも前記第２考案に対
応する。

この第３実施例においては、第３図に示すように、第
１レバー1aと第２レバー11とを、板ばねなどの弾性変形
が可能な板状連結片13で連結している。他の構成は、第
２図に示した第２実施例と同じであるので、同符号を付
して示した。

この駆動装置８も第２実施例と同様に、支軸12で二光
束干渉計の可動体を往復回動させる。

第４図は第４実施例を示し、これは前記第３考案に対
応する。

第４図において、１はレバーで、その端部が支軸２に
固着されている。３は圧電体セラミックスで、ベース４
に固着されている。14は圧電体セラミックス３の頂部に
固着された取付け部材で、これに板ばねからなる板状連
結片15の端部を固着して、板状連結片15が圧電体セラミ
ックス３に、その伸長方向とほぼ平行に立設されてい
る。そして、板状連結片15の他端を、その面を支軸２の
軸線と平行方向にして、レバー１の支軸２から離れた位
置に固着して、レバー１と圧電体セラミックス３とを一
体的に連結している。７は圧電体セラミックス３に接続
された電源、８は前記のように構成された駆動装置であ
る。

この駆動装置８も、二光束干渉計（図示してない）の
可動体に前記支軸２を直接または間接的に連結する。そ
して、レバー１と圧電体セラミックス３とが、上述のよ
うに、板状連結片15で連結されているから、圧電体セラ
ミックス３に対するオン、オフで、それが伸長すると、
その変位が板状連結片15でレバー１に直接的に直ちに伝
えられて、支軸２を往復回動させる。この支軸２の回動
で二光束干渉計の可動体を回動させることができる。

したがって、二光束干渉計の可動体を常に的確に往復
回動させて、単位時間に生じさせる反射光束と透過光束
との光路差を一定に制御することが容易である。

なお、取付け部材14と板状連結片15は一体に形成する
ことも可能である。

第５図は第５実施例を示し、これは前記第４考案に対
応する。

第５図において、1aは第１レバーで、その基部が支軸
２に取り付けられている。３は圧電体セラミックスで、
ベース４に固着されている。11は第２レバーで、その基
部が支軸12に固着されている。14は圧電体セラミックス
３の頂部に固着された取付け部材で、これに板ばねから
なる第１板状連結片15aが立設固着されている。そし
て、この第１板状連結片15aの他端が、その面を支軸２
の軸線と平行にして、支軸２から離れた位置に固着され
ている。

16は第１レバー1aの作用点と、第２レバー11の支軸12
から離れた位置とに各端部を固着して、第１レバー1aと
第２レバー11とを連結する板ばねからなる第２板状連結
片で、その面が支軸12に軸線と平行になっている。７は
圧電体セラミックス３に接続された電源、８は前記のよ
うに構成された駆動装置である。

この駆動装置８は、第２レバー11の支軸12で二光束干
渉計（図示してない）の可動体を往復回動させる。すな
わち、二光束干渉計の可動体の回動は、圧電体セラミッ
クス３が伸縮すると、同時に第１レバー1aと第２レバー
11とが往復回動して、前記可動体を往復回動させるので
ある。

第６図は第６実施例を示し、これは前記第５考案に対
応する。

第６図において、１はレバーで、その基部が支軸２で
支持されている。レバー１と支軸２とは、互いに固着し
ても、互いに可動可能であってもよい。３は圧電体セラ
ミックスで、ベース４に固着されている。７は圧電体セ
ラミックス３に接続された電源、８は駆動装置である。

そして、圧電体セラミックス３の頂部に固着された取
付け部材14に、板ばねからなる第１板状連結片15aが立
設固着され、その他端がレバー１に固着されている。ま
た、レバー１の作用点に立設固着された板ばねからなる
第２板状連結片16の他端が、後述する平行四辺形リンク
29のスイングアーム31aに固着されている。前記第１板
状連結片15aと第２板状連結片16は、その各面が支軸２
の軸線と平行になっている。

29は平行四辺形リンクで、これはサポート板30に、平
行になる一対のスイングアーム31a,31bの端部がピボッ
ト32a,32bで取り付けられ、かつスイングアーム31a,31b
の各他端に架設状にスイング部材33をピボット32c,32d
で取り付けて構成されている。そして、スイング部材33
の端部に、二光束干渉計20の可動平面鏡22が固着されて
いる。

この駆動装置８は、圧電体セラミックス３の伸縮でレ
バー１を往復回動させる。そして、このレバー１にスイ
ングアーム31aが第２板状連結片16で連結されているか
ら、レバー１の回動に対応してスイングアーム31a,31b
とスイング部材33が同時にスイングして可動平面鏡22を
直線的に往復動させる。

そして、レバー１とスイングアーム31aとを第２板状
連結片16で連結しているから、レバー１とスイングアー
ム31aとを一体的にスイングさせることができ、スイン
グアーム31aのスイングに二次の遅れが生ずることがな
く、可動平面鏡22を常に同じ条件で正確に往復動させる
ことができる。

なお、この第６実施例において、第２板状連結片16に
代えて、レバー１の作用点に支持材（第２図における支
持材10と同様）を突設して、これをスイングアーム31a
に当接させ、スイングアーム31aをレバー１の方にばね
（第２図におけるばね６と同様）で付勢することも可能
である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案の二光束干渉計の駆動
装置は、直進的に伸縮する圧電体セラミックスでレバー
を往復回動させて、このレバーで回動させる支軸または
前記レバーで二光束干渉計の可動体を回動または移動さ
せるものである。

したがって、電力の消費量を少なくすることができる
と共に、駆動装置全体をコンパクトに構成することがで
きるから、設置に要するスペースを小さくすることが可
能になる。

そして、請求項（３）の考案は、二光束干渉計の可動
体を回動させるものであって、レバーと共にその支軸が
回動するものであり、かつ圧電体セラミックスとレバー
とが、それらに各端部が固着された弾性変形が可能な板
状連結片で連結されたものである。

また、請求項（４）の考案は、圧電体セラミックスと
第１レバーとが第１板状連結片で、第１レバーと第２レ
バーとが第１板状連結片でそれぞれ一体的に連結され、
かつ第２レバーは支軸と共に回動するものであって、こ
の支軸で二光束干渉計の可動体を駆動する。

そして、各板状連結片は、その厚さ方向には比較的容
易に弾性変形で変位するが、面と平行な方向には剛直で
あるから、圧電体セラミックスの伸縮のいずれの変位も
同条件で各レバーに直ちに確実に伝えることが可能であ
る。また、圧電体セラミックスが直線的に伸縮すること
によって、回動する各レバーの変位、および、第１レバ
ーと第２レバーとが同時に回動することによる変位を、
各板状連結片が厚さ方向に弾性変形することによって吸
収するから、圧電体セラミックスの伸縮で各レバーをス
ムーズに回動させることができる。

したがって、圧電体セラミックスの伸縮の各変位を、
レバーに、または第１レバー１と第２レバーとに直ちに
確実に伝えて、二光束干渉計の可動体を駆動する各支軸
を回動させることができ、レバー、または第１レバー１
と第２レバーの各回動に二次の遅れが生ずることがない
から、二光束干渉計の可動体を常に正確に往復回動させ
て、単位時間に生じさせる反射光束と透過光束との光路
差を一定に制御することが容易である。

請求項（５）の考案は、レバーで二光束干渉計の可動
体を駆動するものであるが、これも圧電体セラミックス
と前記レバーとを弾性変形する板状連結片で連結してい
るから、前記請求項（３），（４）の考案と同様な効果
を奏するものであって、二光束干渉計の可動体を正確に
駆動することができる。

さらに、請求項（２），（４）の考案は、それぞれ第
１レバーで第２レバーの回動角を増幅して、第２レバー
の支軸の回動角を大きくしており、請求項（５）の考案
は、レバーの長さに対応して、それらの作用点の回動距
離を大きくすることができるから、二光束干渉計の可動
体の揺動角に対応することが容易である。

【図面の簡単な説明】

第１〜６図は本考案の実施例を示し、第１図は第１実施
例の平面図、第２図は第２実施例の平面図、第３図は第
３実施例の平面図、第４図は第４実施例の平面図、第５
図は第５実施例の平面図、第６図は第６実施例の平面図
である。第７図と第８図はそれぞれ異なった従来例の二光束干渉
計の平面図である。１……レバー、1a……第１レバー、２……支軸、３……
圧電体セラミックス、６……ばね、11……第２レバー、
12……支軸、15……板状連結片、15a……第１板状連結
片、16……第１板状連結片。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】支軸と共に回動するレバーと、前記支軸か
ら離れた位置で、前記レバーをその回動方向側で支持し
た圧電体セラミックスと、前記レバーを圧電体セラミッ
クスの方に付勢する付勢手段とからなり、前記圧電体セ
ラミックスの伸縮による前記支軸の回動で、二光束干渉
計の可動体を駆動することを特徴とする二光束干渉計の
駆動装置。
【請求項２】支軸を中心にして回動する第１レバーと、
前記支軸から離れた位置で、前記第１レバーをその回動
方向側で支持した圧電体セラミックスと、前記支軸と平
行な支軸と共に回動可能で、その支軸から離れた位置が
前記第１レバーの作用点で支持された第２レバーと、こ
の第２レバーを圧電体セラミックスの収縮方向に付勢す
る付勢手段とからなり、前記圧電体セラミックスの伸縮
による第２レバーの支軸の回動で、二光束干渉計の可動
体を駆動することを特徴とする二光束干渉計の駆動装
置。
【請求項３】支軸と共に回動するレバーと、このレバー
の回動方向側で、前記支軸から離れた位置に配置された
圧電体セラミックスと、レバーと圧電体セラミックスと
を連結するために、これらに各端部が固着された弾性変
形が可能な板状連結片とからなり、かつ前記板状連結片
が、その面を前記支軸の軸線と平行にして固着され、前
記圧電体セラミックスの伸縮による前記支軸の回動で、
二光束干渉計の可動体を駆動することを特徴とする二光
束干渉計の駆動装置。
【請求項４】支軸を中心にして回動する第１レバーと、
この第１レバーの回動方向側で、前記支軸と離れた位置
に配置された圧電体セラミックスと、第１レバーと同方
向に支軸と共に回動する第２レバーと、第１レバーと圧
電体セラミックスとを連結するために、これらに各端部
が固着された弾性変形が可能な第１板状連結片と、第１
レバーの作用点と第２レバーとを連結するために、これ
らに各端部が固着された弾性変形が可能な第２板状連結
片とからなり、第１板状連結片がその面を第１レバーの
支軸の軸線と、また、第２板状連結片がその面を第２レ
バーの支軸の軸線とそれぞれ平行にして固着され、前記
第２レバーの支軸の回動で、二光束干渉計の可動体を駆
動することを特徴とする二光束干渉計の駆動装置。
【請求項５】支軸を中心にして回動するレバーと、この
レバーの回動方向側で、支軸から離れた位置に配置され
た圧電体セラミックスと、レバーと圧電体セラミックス
とを連結するために、それらに各端部が固着された弾性
変形可能な板状連結片とからなり、かつ前記板状連結片
が、その面を支軸の軸線と平行にして固着され、圧電体
セラミックスの伸縮によるレバーの回動で、二光束干渉
計の可動体を駆動することを特徴とする二光束干渉計の
駆動装置。