JPH0883658A - ベアダイのテスト及びバーンイン用の仮パッケージ - Google Patents

ベアダイのテスト及びバーンイン用の仮パッケージ

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JPH0883658A
JPH0883658A JP7190258A JP19025895A JPH0883658A JP H0883658 A JPH0883658 A JP H0883658A JP 7190258 A JP7190258 A JP 7190258A JP 19025895 A JP19025895 A JP 19025895A JP H0883658 A JPH0883658 A JP H0883658A
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die
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contact
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package
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Application number
JP7190258A
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English (en)
Inventor
Carol L Cearley-Cabbiness
キャロル・リン・セアリー−キャビネス
David S Hardcastle
デイビッド・スコット・ハードキャッスル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3M Co
Original Assignee
Minnesota Mining and Manufacturing Co
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors

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  • Computer Hardware Design (AREA)
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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベアダイをテスト及びバーンインするために
有効に用いることができる仮パッケージを提供する。ソ
ケットが取り付けられた基板に嵌合するパッケージは、
ダイの有効なテスト及びバーンインを提供する。 【解決手段】 ダイと係合すると共に外側との接触を与
える接点を有するベースと、ダイを押し付けて電気的接
触状態にする蓋と、パッケージの外からの力によってダ
イが損傷されるのを制限する保護カバーとを備えてい
る。ダイ、蓋、保護カバーは、自動化された設備によっ
てベース上に組み立てられ、且つ分解できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージされて
いない又は裸のダイ（以下ベアダイと称す）のテスト用
パッケージに関し、一つの形態としては、ベアダイを収
容してパッケージの外への電気的なテストおよびバーン
インを可能にするように、パッケージとの電気的接触を
なすように位置決めするための担体に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子は、テスト及びバーンインを
行うが、従来では、半導体または集積回路は、これらの
テストの前にパッケージングされている。このことは、
半導体製造業者にとって経済的に好ましくなくなってき
ており、したがってパッケージングの前にベアダイのテ
ストを行うのが好ましい。このベアダイのテストは、欧
州特許第５５４６２２号の明細書に例示されている。こ
の刊行物は、マイクロバンプの使用を教示しており、こ
のマイクロバンプは、好ましくは、テスト時のベの接触
パッドのパターンに等しいパターンで分配されてパッド
に溶接された銅球である。
【０００３】米国特許第５,３０２,８９１号明細書に
は、分離したダイのための、２部材からなる再使用可能
なバーンイン／テスト用固定装置が開示されており、こ
れは、ダイ及びこのテスト用固定装置に電気的接続を与
える一つの部材と、このダイを電気接点に押し付けてこ
れらを接触状態に保持するための第２の部分との組立体
により構成されている。
【０００４】米国特許第４,９１８,５１３号明細書もま
た、集積回路チップ（ＩＣチップ）を電子回路基板上に
実装するためのパッケージング方法を開示しており、こ
れは、その表面上に配置された電極パターンを有する小
さなサブストレートを含んでいる。ＩＣチップは、サブ
ストレート上に取り付けられ、電極パターンに接続され
る。モールド層がＩＣチップを覆って設けられ、このＩ
Ｃ素子をテストするために、電子回路基板の面上のソケ
ット内にこの担体が取り付けられるように、サブストレ
ートからコネクタピンが突出している。
【０００５】周知となっているダイの仮担体は、オート
メーション設備に適合するようには、特別に設計されて
いない。これらの装置は、ヒンジ状の構成部分やクラン
プ、螺子等のように、手作業によって力を加えることが
必要である。
【０００６】さらに、テストにおいてダイまでの電気的
な仮接続を確立するための既存の方法では、ダイパッド
から仮パッケージまでをワイヤボンドで接続しており、
仮パッケージの使用は、弾性接点との電気的接触のため
の金属トレースと共にポリアミドのフィルム又はサブス
トレートを用いることによって確立されている。
【０００７】ダイ相互接続上のダイの光学的配置が、ダ
イのボンドパッドと相互接続している電気接点との間の
正しい位置決めと、ハードストップ及びばね力板のよう
な他の機械的な位置合わせ手段によって要求される高価
な精密ウエハダイシングの除去とを確実にすることは好
ましいことである。
【０００８】本発明の方法は、ダイパッド上の酸化アル
ミニウムを貫通するウエハ上のピラーによるダイパッド
の正確な貫通を利用し、ダイの光学的な位置取りが正し
い位置決めを確実にする。さらに、このシステムは、パ
ッケージングの前に付加的な加工を必要とするような面
（marred surface）をダイ上に残さない。
【０００９】本発明は、精密処理オートメーション設備
によって装填及び取り出しが可能なベアダイのための仮
パッケージを提供することによって、現在の製品の欠点
を克服するものである。
【００１０】
【発明の概要】本発明は、分離したダイのテスト及びバ
ーンインを許容すべく、ベアダイと共に用いるための仮
パッケージに関する。仮パッケージは、ダイを仮パッケ
ージ内に装填し且つ取り出すためのオートメーション設
備と共に用いるために、特別に設計されている。この仮
パッケージは、頂面、底面及び四つの側面を備えて概ね
矩形の形状を呈するベースを備えている。ベースは、側
面の少なくとも一つに凹部を有しており、頂面には、接
点インサートを受け入れるための受容部を規定する手段
を有している。複数の細長い形状の接点ストリップが凹
部内に嵌め込まれるようにされている。これらストリッ
プは、凹部内に適時取り付けられるように形成されてお
り、各接点ストリップは、複数の接点を有している。こ
れら接点ストリップは、一端でインサートに接触するよ
うに、そして外部構成部分と接触をなすように位置付け
られた第２端部を有するように形成されている。
【００１１】蓋が、ベース上の受容部と接点インサート
を覆うように形成されている。蓋は、ベアダイに接する
圧力板と、この圧力板を受容部に向かって押すための付
勢手段とを備えている。圧力板及び付勢手段のカバーは
また、ダイを接点ストリップ上の接点と接触させるべ
く、受容部を覆って圧力板を位置させるために、蓋をベ
ースに固定するための手段を有している。蓋は、ベース
上の留め部に一時的に係合するためにカバー上に設けら
れた爪手段によってベースに固定され、この爪手段は、
留め部から離すための付勢力を受ける方向に延びてい
る。
【００１２】本発明の仮パッケージはさらに、蓋の周囲
を覆うよに位置決めされる保護カバーを備えていてもよ
い。保護カバーは、ベースに対してこのカバーを固定す
るための蓋カバー上の爪に隣接して配置される爪が形成
されている。保護カバーは、カバーを蓋から自由な位置
へ付勢する付勢手段を備えている。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１〜９の例において、仮パッケ
ージ２０は、ベアダイのテスト及びバーンインの方法を
提供する。この仮パッケージ２０は、パッケージからベ
アダイを取り出し及び装填するためのオートメーション
設備によって取り扱われるように設計されている。さら
にパッケージは、その中に支持されるダイがテスト及び
バーンインを受けるような標準形状のソケット内に嵌め
られるように設計されている。このことを達成するため
に、ダイパッケージは、オートメーション設備による組
付け及び組外しが可能なように設計されるべきであり、
集積（ＩＣ）回路のテスト及びバーンイン用の現在のソ
ケットが用いられるような大きさ及び形状を呈すること
が必要である。
【００１４】仮パッケージは、ベース２１と保護カバー
２２とからなっている。インサート２４は、パッケージ
の外側の電気的構成部分との相互接続のために、ダイ２
５を接点手段と電気的に相互接続させるようになってい
る。このインサートと、パッケージの外側との間の相互
接続のための手段は、接点ストリップ２６である。蓋３
０は、インサート２４に対してダイを電気的接触状態に
押圧維持するための手段である。この蓋３０は、圧力板
３１と、圧力板保持部材３２と、バネ３４と及びラッチ
カバー３５とを備えている。
【００１５】ベース２１は、図２，６及び７に最もよく
示されており、概ね矩形の形状を呈しており、この例に
おいては頂面４０と、下側の面あるいは反対側の面４１
とを有している。ベースは、１０9ohms/sqあるいはそれ
以上の面抵抗を有する材質と、散逸混合物（dissipativ
e composition）または絶縁材とで成型されており、対
向する端部４２及び４３を備えている。このベースの端
部あるいは角部に隣接する頂面から、蓋を保護する支持
手段が延びている。図示されたこの支持手段は、概ね対
称に配置された四つのピラー４４である。ベース２１は
また、その頂面４０上の凹所を形成している位置合わせ
手段を備えている。この位置合わせ手段は、反対側の端
部及びインサートを受け入れる領域の反対側のストップ
によって規定することができ、あるいは図示のように、
この凹所は、コーナータブ４５によって形成することも
できる。これらコーナータブ４５は、頂面４０上に成型
で鈎状に形成され、その内側の対向面で角の位置を規定
することによって位置合わせ手段または凹所を形成して
いる。さらにベース２１は、その対向側縁に、接点スト
リップ２６を受け入れるための凹部４７及び４８が形成
されている。端部４２及び４３はまた、留め部５４及び
５５が形成された凹部５１及び５２が、さらに設けられ
ている。これら留め部５４及び５５は、それぞれ下方外
方へ向かって傾斜して終端となる傾斜面を有している。
複数の位置決め開口５７もまた、ベース２１の頂面４０
に形成されている。図２及び図６に示すように、ベース
２１にはまた、底面４１に、接点ストリップ２６のタブ
を受け入れるための凹部領域が形成されている。これら
の凹部領域は、図２及び６に符号５９で示されている。
ベース２１を形成するための材料の量を削減するために
底面４１に凹部が形成されており、これらはまた、成型
されるベースの歪み及び重量も軽減する。
【００１６】前以て形成された接点インサート２４は、
ベース２１上に置かれ、コーナータブ４５によって形成
される凹所内に位置するようにされる。インサート２４
は、その露出面に、ベアダイ２５上のパッドとの電気的
接触をなすための接点面６２のパターンが形成されても
よい。これらの接点域６２は、インサート上の周囲の接
点パッド６３に接続される。
【００１７】接点ストリップ２６は、ベース２１の周囲
の縁の凹部４７及び４８内に嵌合するようにされてい
る。この接点ストリップ２６は、ベアダイと接触するこ
とができ、あるいは図示するように、インサート２４を
介してベアダイ２５に接触することができる。これらス
トリップはそれぞれ別々で、図４及び５に示すように、
個々に、導電性金属材で形成された複数の接点を備えて
おり、互いに平行で隔てられた関係に延びて一列に並ん
で配置された平坦部６６を有している。そして、この接
点ストリップ２６を形成して細長い支持部６８を規定し
ている絶縁材料によって互いに平行に隔てられた関係で
埋込まれている。各接点６５はさらに、接点面７０で終
端となる弧状部分６９を備えている。この接点面７０
は、ダイ２５と電気的接触をなすようにされており、あ
るいは図示するように、弾性圧力によってインサート２
４上のパッド６３と電気的接触をなすようにされてい
る。接点６５の反対側端部は、屈曲端部７１に形成され
ている。この屈曲端部７１は、パッケージ２０の周囲に
電気的接点を形成し、この端部７１は、外部の電気的構
成部分に対して電気的接続を可能にする。この外部電気
的構成部分は、ＩＣ素子のテスト用のソケット内に接触
し、このソケットは、テスト及びバーンイン用固定装置
の一部を構成するプリント回路基板上に取り付けられ
る。
【００１８】この成型された絶縁ストリップ６８は、複
数の接点６５の上から型成形されており、その頂面に凹
部７３が形成されている。この凹部は、接点６５のそれ
ぞれを、その平坦部６６の表面に沿って露出しており、
これによって、この位置で接点６５に対する接触を許容
している。
【００１９】接点ストリップ２６は、その対向端部で対
称となるように、その頂面に隣接して突出部７５を有し
ている。この突出部は、ベース２１の頂面４０上に置か
れる。各端部で接点ストリップ２６の頂面７４から下方
へ降りているのは爪７７（図４参照）であり、これはベ
ース２１の底面４１に形成された凹部５９に係合する。
突出部７５と爪７７との間で、接点ストリップ２６は、
各接点６５の接点部分７０がインサート２４の縁のパッ
ド６３と電気的接触をなすような位置に保持される。
【００２０】各ダイ２５は接点パッドの特別なアレーが
形成されており、このアレーは、前以て形成されたイン
サート２４の接点６２に対するダイ２５の位置を決める
べく、光学的に位置決めできる。そして、パッド６３が
接点６２を介してそれぞれダイのリードに接触する。
【００２１】蓋３０は、力を加える組立体を形成する。
この組立体は、ベース２１上の接点と離脱可能な電気的
接触状態にダイ２５を一時的に保持するために、ベース
から支持される。蓋３０は圧力板３１を備えており、こ
の圧力板は、中央のプローブ開口８０を有して、移動可
能にカバー３５内に支持される。圧力板３１は、たとえ
ばステンレス鋼のような剛性材からなる。圧力板３１
は、圧力板保持部材３２内に支持される。この保持部材
３２は、絶縁材で成型され、二つの立ち上がりクリップ
８４及び８５の間に位置された凹状中央部分８２内に中
央プローブ開口８１を有している。二つの立ち上がりク
リップ８４及び８５は、互いに反対方向に向かって延び
た鈎状端面で終端となっている。凹状中央部分８２から
先に延びて平行アームが互いに隔てられて設けられてお
り、これらアームは、保持部材３２の各端部のクロスバ
ー８６で終端となっている。このクロスバー８６から
は、案内部８７が下方へ延びて形成されており、この案
内部は、圧力板保持部材３２の位置決めのために、ベー
ス２１の位置決め開口５７内に受け入れられる。アーム
の下側且つ外側で、クロスバー８６から内側に向かって
延びる肩部または棚部８８が形成されている。この棚部
８８は、保持部材３２上の所定の位置に圧力板３１を摩
擦保持するように、圧力板３１の角部を受け入れる。圧
縮コイルバネ３４が凹状部分８２内に嵌合して、保持部
材３２及び圧力板３１をカバー３５から離れる方向に押
圧するようになっている。カバー３５は、概ね矩形のシ
ェルであり、頂面９０と下方へ延びる側壁９１及び端部
壁９２とを有している。頂面９０は、プローブを受け入
れる円形の中央開口９４を有している。このプローブ
は、バネ３４及び開口８０,８１も通過する。さらに、
クリップ８４,８５を受け入れるための、且つこのクリ
ップ８４,８５の移動を規制する留め部を形成する奥ま
った面９６の形成を許容するための開口９５が形成され
ている。面９６は、図８及び９に示されている。クリッ
プ８４,８５は、保持部材３２をカバー３５に固定する
鈎状端部を有しており、保持部材３２がバネ３４の付勢
力によってカバー３５に対して移動するのを、クリップ
８４,８５の長さと、カバー３５の底部に対する面９６
の隔たりとによって規制する。端部壁９２に隣接して鈎
状部９８が下方へ延びており、この鈎状部９８は、ベー
ス２１の留め部５４に係止すべく終端部が内側へ屈曲し
てフック部に形成されている。これら鈎状部９８は、蓋
をベース上に支持し、バネ３４の付勢力によるベース２
１からのカバー３５の移動を規制する。こうしてバネ３
４は、ダイ２５をインサート２４に押し付ける圧力を保
持部材３２を介して圧力板３１に与える。
【００２２】ベース２１と、インサート２４と、接点ス
トリップ２６と、蓋３０とを備えた仮パッケージは、２
５で示すようなベアダイのテスト／バーンインを行え
る。ピラー４４またはその変形部分が、メカニズムに横
方向からまたは縦方向から加わる圧力に対する保護のた
めに、固定された立ち上がり構造を形成する。しかしな
がら仮パッケージの取り扱いに際しては、カバー３５に
対する衝撃によってダイ２５を損傷してしまうような危
険性がある。したがって、パッケージには保護カバー２
２を設けることが好ましい。保護カバー２２は、蓋３０
を独立させるようにしてベース２１から支持される手段
を与え、且つメカニズムに加わる横または上からの縦荷
重に対して、ベース２１およびインサート２４によって
与えられる相互接続とダイ２５との間の安定した相互接
続を確実にする手段とを与える。この保護カバー２２
は、概ね矩形のカバー部を有している。カバー部は、中
央にプローブ受け入れ開口１０１を有する頂面１００
と、下方へ延びる側壁１０２及び端部壁１０３とを備え
ている。端部壁１０３の中央部分には、下方へ延びる爪
１０５が形成されている。この爪１０５は、その終端部
で、端部壁１０３から内側へ延びる鈎状部となってい
る。鈎状部１０５は、十分に弾性を有しており、保護カ
バー２２が蓋３０の上に置かれてベース２１上に押し下
げられるとき、この爪１０５は、ベース２１の端部で留
め部５５の傾斜面によって外側に撓む。爪１０５は、別
々に隔てられていて留め部５５の下へ落とされており、
保護カバー２２を、蓋３０のカバー３５の周囲を覆うよ
うにしてベース２１上に固定させる。爪１０５の自由端
の鈎状部は、図９に示すように、爪９８の下に嵌まる。
保護カバー２２の角部には、バネ部１０６が成型されて
いる。バネ部１０６は、ピラー４４の頂部に対して押圧
し、保護カバー２２をベース２１から遠ざかる方向へ付
勢する。このことによって、爪１０５は留め部５５の下
面に係合した状態に保持され、仮パッケージへの衝撃に
よって蓋３０及びダイ２５が損傷するのを保護する。
【００２３】カバー３５の端部の鈎状部９８及び爪１０
５は、双方の部分に鈎状部を形成する肩部の下に傾斜し
たエッジを備えており、自動組立設備が、図９に示すよ
うに、下面から仮パッケージに係合し、そして、これら
の部分９８及び１０５上のそれぞれの傾斜面に係合し、
それぞれの留め部５４及び５５から鈎状部９８及び爪１
０５を離脱させるように付勢してもよい。鈎状部及び爪
がこれらの留め部から外れると、蓋３０及び保護カバー
２２がベース２１から離脱し、ダイ２５の配置し直し及
び仮パッケージからの取り出しが可能になる。さらに、
ダイ２５は、上述のように自動化設備でインサート２４
上に光学的に位置合わせが可能であり、蓋３０及びダイ
は、鈎状部９８が、ベース２１上の留め部５４によって
外側へ撓まされてこの留め部５４と係合するまで押し込
まれるようにして、ベース２１上に自動的に組み付けら
れる。保護カバー２２は、蓋３０と共に大略同時にベー
ス２１上に置かれるか、あるいは引き続くようにしてベ
ース２１上に置かれる。
【００２４】図１０,１１,１２及び１３の例を参照する
と、これら図に示された仮パッケージ１２０は、ベース
１２１と、保護カバー１２２と、ダイ１２５と電気的相
互接続をなすようにされたインサート１２４と、パッケ
ージの外側の電気構成部分にしてインサート１２４を電
気的に相互接続させる手段とを備えている。このインサ
ート１２４とパッケージの外側との間の相互接続のため
の手段は、接点ストリップ１２６である。蓋１３０は、
ダイ１２５をインサート１２４に対して押圧して電気的
接触状態に保持するための手段を備えている。この蓋１
３０は、圧力板１３１と、圧力板保持部材１３２と、バ
ネ１３４およびラッチカバー１３５とを備えている。
【００２５】図１０に示されたベース１２１は、概ね矩
形の形状を呈しており、この例においては頂面１４０
と、下側の面１４１とを有している。ベース１２１は、
絶縁材で成型されて四つの側部１４２を有している。頂
面１４０の対角線上の反対側の角部から一対のピラー１
４３及び１４４が延びており、ベース１２１の頂面１４
０上に凹所を形成して位置決め手段が設けられている。
図示のように、この凹所はコーナータブ１４５によって
規定されており、このコーナータブ１４５は、頂面１４
０上に成型で鈎状に形成され、その内側面で位置決めコ
ーナーを規定し、凹所を形成している。ベース１２１は
さらに、各側縁に接点ストリップ１２６を受け入れるた
めに形成された凹部１４７を有している。角部のそれぞ
れには、対向して凹部１５１及び１５２の対を備えてお
り、これら凹部の対は対角線上に延びて形成され、且つ
対角線上の反対側に位置され、そしてこれらの凹部は、
留め部１５４及び１５５を構成すべく形成されており、
それぞれが下方へ且つ外方へ向かって傾斜して終端とな
る傾斜面を有している。図１０に示すように、ベース１
２１は、接点ストリップ１２６のロックタブ１７７を受
け入れるための凹部領域１５９が、底面１４１に形成さ
れている。この接点ストリップ１２６は、上述の例にお
ける接点ストリップ２６とは、タブ１７７の位置がスト
リップ１２６の外側に向かっていて、支持突出部１７５
が、位置決めバー１７８上に置かれるように、内側に配
置されて接点ストリップの頂面の下に配置されている点
以外は、大略同じである。
【００２６】前以て形成された接点インサート１２４
は、コーナータブ１４５で形成された凹所の中側に、ベ
ース１２１の頂面１４０上に位置するように置かれる。
インサート１２４は、その露出面にダイ１２５上のパッ
ドまたはリードとの電気的接触をなすための接点面１６
２のパターンが形成されてもよい。これらの接点面１６
２は、周囲の接点パッド１６３に接続される。
【００２７】接点ストリップ１２６は、ベース１２１の
周囲の縁又は側部の凹部１４７内に嵌合するようにされ
ている。これらストリップ１２６はそれぞれ別で、個々
に、導電性金属材で形成された複数の接点１６５を備え
ており、それぞれに平坦部分と弧状部分とを備えてい
る。弧状部分は、その終端でインサート１２４のパッド
１６３と弾性圧力による電気的接触をなすようにされて
いる。また、屈曲された端部が、パッケージ１２０の周
囲に電気的接点を形成している。これらの接点は、上述
の例におけるストリップ２６の接点と同じである。接点
１６５は、絶縁材によって成型されるストリップ内に埋
め込まれている。
【００２８】各ダイ１２５は接点パッドの特別なアレー
が形成されており、このアレーは、前以て形成されたイ
ンサート１２４の接点１６２に対するダイ１２５の位置
を決めるべく、光学的に位置決めできる。そして、その
接点は、ダイの接点パッド又はリードに接触する。
【００２９】蓋１３０は、インサート１２４と離脱可能
な電気的接触状態にダイ１２５を一時的に保持するため
に組立体を形成し、中央にプローブ開口１８０を有する
圧力板１３１を備えている。圧力板１３１は、たとえば
ステンレス鋼のような剛性材からなる。圧力板１３１
は、圧力板保持部材１３２内に支持される。この保持部
材１３２は、絶縁材で成型されてハブ部１７９を備え、
ハブ部１７９の凹状中央部分１８２内には中央プローブ
開口１８１を有している。中央部分の周囲には立ち上が
りクリップ１８４が形成されている。ハブ部１７９から
放射状に外方へ延びているアーム１８５は、その末端か
ら下方へ屈曲して延び、さらにハブ部１７９の方へ内側
へ屈曲されている鉤状面で終端となっている。この鉤状
面は、圧力板１３１のための保持部を形成し、そして、
この圧力板１３１を圧力板保持部材上に摩擦保持する。
圧縮コイルバネ１３４が、ハブ部１７９内の開口１８１
の周囲の凹状部分内に嵌合し、圧力板１３１と圧力板保
持部材１３２を覆っているカバー１３５から離れる方向
へ、圧力板１３１を押圧するようになっている。こうし
て、パッケージ１２０の圧力付与機構が形成されてい
る。カバー１３５は、概ね矩形のシェルであり、頂部プ
レート１８９と放射状に延びる脚部１９０とを有してい
る。脚部１９０は、留め部１５５の下に係止される弾性
爪部を形成するように下方へ屈曲された足部１９１で終
端となっている。カバー１３５は、プローブを受け入れ
る円形の中央開口１９４を有している。このプローブ
は、バネ１３４及び開口１８０,１８１も通過する。さ
らに、クリップ１８４の径方向外方端部の肩部の下に受
け入れられる弾性鉤状部１９５が、プレート１８９から
下方へ延びている。このクリップ１８４及び鉤状部１９
５は、クリップ１８４の溝と、足部１９１の長さによっ
て、カバー１３５から圧力板１３１までの離間距離を制
限する。鉤状部１９５と、クリップ１８４の肩部は、図
１２に最もよく表されている。脚部１９０のうちの２本
のそれぞれは、ベース１２１の反対側の角部のピラー１
４３及び１４４の間に受け入れられると共に案内部を形
成する。この案内部は、ベース１２１に力を加える手段
とカバーとを固定するのと同様に位置決めを助けるもの
である。このようにして、力を加える機構は、ベアダイ
１２５をインサート１２４の接点１６２と電気的に係合
した状態に保持するために供することができる。図１２
に示すように、足部１９１の下部は、足部１９１がベー
ス１２１の底面から離脱できるようにするために、先端
が切り落とされたカム面を形成している。
【００３０】ベース１２１と、インサート１２４と、接
点ストリップ１２６と、蓋１３０とを備えた仮パッケー
ジ１２０は、１２５で示すようなベアダイのテスト／バ
ーンインを行える。しかしながら仮パッケージの取り扱
いに際しては、外部からの力によって、ダイ１２５を損
傷してしまうような危険性がある。したがって、パッケ
ージには保護カバー１２２を設けることが好ましい。保
護カバー１２２は、蓋１３０を独立させるようにしてベ
ース１２１から支持される手段を与え、且つメカニズム
に加わる横又は縦の荷重に対して、ベース１２１および
インサート１２４によって与えられる相互接続とダイ１
２５との間の安定した相互接続を確実にする手段とを与
える。図１０〜１３に示すこの保護カバー１２２は、概
ね矩形のカバー部１２２を有している。カバー部は、中
央にプローブ受け入れ開口２０１を有する頂面２００
と、突出角部２０３によって連結されて下方へ延びる側
壁２０２とを備えている。角部には、下方へ延びる爪２
０５が形成されており、その終端は、角部２０３から内
方へ向かって延びる鉤状部となっている。この鉤状部２
０５は、十分に弾性を有しており、保護カバー１２２が
カバー１３５の上に置かれてベース１２１上に押し下げ
られるとき、この爪２０５は、足部１９１の外側への傾
斜面によって外側に撓む。爪２０５は、別々に隔てられ
ていて留め部１５５の下へ落とされており、保護カバー
１２２を、カバー１３５の周囲を覆うようにしてベース
１２１上に固定させる。保護カバー１２２の対角線上の
反対側の二つの角部２０３には、バネ部２０６が成型さ
れている。バネ部２０６は、ピラー１４３及び１４４の
頂部に対して押圧し、保護カバー１２２をベース１２１
から遠ざかる方向へ付勢する。このことによって、爪２
０５は留め部１５５の下面に係合した状態に保持され、
仮パッケージへの横又は縦の衝撃によって、力を加える
機構及びダイが損傷するのを保護する。
【００３１】角部２０３の端部の爪２０５もまた、鈎状
部を形成する肩部の下に傾斜したエッジを備えており、
自動組立設備が、図１２に示すように、下面から仮パッ
ケージに係合し、そして、これら爪２０５及び爪又は足
部１９１の傾斜面に係合し、それぞれの留め部１５４及
び１５５から足部１９１及び爪２０５を離脱させるよう
に付勢してもよい。足部及び爪がこれらの留め部から外
れると、カバー１３５及び保護カバー１２２がベース１
２１から離脱し、ダイ１２５の配置し直し及び仮パッケ
ージ１２０からの取り出しが可能になる。さらに、ダイ
１２５は、上述のように自動化設備でインサート１２４
上に光学的に位置合わせが可能であり、蓋１３０及び保
護カバー１２２は、鉤状の足部１９１と爪２０５が、ベ
ース１２１上の留め部１５４及び１５５によって外側へ
撓まされてこの留め部１５４及び１５５と係合するまで
押し込まれるようにして、ベース１２１上に自動的に組
み付けられる。鉤状の部分１９１及び２０５は、カム手
段が、支持面に対向するベースの側面からこれら鉤状部
分１９１及び２０５の傾斜した底部エッジに対して力を
加えることによって、大略同時にベース１２１から離脱
することが可能である。
【００３２】本発明は、幾つかの実施形態の例によって
述べられたが、仮パッケージの種々の部分について、特
許請求の範囲に記された本発明の技術的思想から逸脱す
ることなく変更することは可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 組立状態における本発明の仮パッケージの斜
視図である。
【図２】 図１の仮パッケージの分解斜視図であり、ベ
アダイおよび各部品が互いに分離して示されている。
【図３】 保護カバーを取り除いて示す本発明の仮パッ
ケージの斜視図である。
【図４】 図１の仮パッケージに用いられる接点ストリ
ップの斜視図である。
【図５】 図４の接点ストリップの断面図である。
【図６】 図１〜４に示す仮パッケージのベースの底面
図である。
【図７】 仮パッケージのベースの斜視図である。
【図８】 図１の仮パッケージの要部断面斜視図であ
り、内部の各構成の関係を示している。
【図９】 図１の仮パッケージの縦断面斜視図である。
【図１０】 本発明の仮パッケージの第２の実施形態の
例を、一部分解して、一部断面で示す斜視図である。
【図１１】 本発明の仮パッケージの第２の実施形態の
例を組立状態で示す斜視図である。
【図１２】 図１１のパッケージの断面斜視図である。
【図１３】 図１０から１２に示す仮パッケージの分解
斜視図である。
【符号の説明】
２０ 仮パッケージ ２１ ベース ２２ 保護カバー ２４ インサート ２５ ダイ ２６ 接点ストリップ ３０ 蓋 ３１ 圧力板 ３２ 圧力板保持部材 ３４ バネ ３５ ラッチカバー ４０ 頂面 ４１ 底面 ４２ 端部 ４３ 端部 ４４ ピラー ４５ コーナータブ ４７ 凹部 ４８ 凹部 ５１ 凹部 ５２ 凹部 ５４ 留め部 ５５ 留め部 ５７ 位置決め開口 ５９ 凹部領域 ６２ 接点面 ６３ 接点パッド ６５ 接点 ６６ 平坦部分 ６８ 支持部又は絶縁ストリップ ６９ 弧状部分 ７０ 接点面 ７１ 屈曲端部 ７３ 凹部 ７４ 頂面 ７５ 突出部 ７７ 爪 ８０ 中央プローブ開口 ８１ 中央プローブ開口 ８２ 凹状中央部分 ８４ 立ち上がりクリップ ８５ 立ち上がりクリップ ８６ クロスバー ８７ 案内部 ８８ 肩部又は棚部 ９０ 頂面 ９１ 側壁 ９２ 端部壁 ９４ 中央開口 ９８ 鉤状部 １００ 頂面 １０２ 側壁 １０３ 端部壁 １０５ 爪 １２０ 仮パッケージ １２１ ベース １２２ 保護カバー １２４ インサート １２５ ダイ １２６ 接点ストリップ １３０ 蓋 １３１ 圧力板 １３２ 圧力板保持部材 １３４ バネ １３５ ラッチカバー １４０ 頂面 １４１ 底面 １４２ 側部 １４３ ピラー １４４ ピラー １４５ コーナータブ １４７ 凹部 １５１ 凹部 １５２ 凹部 １５４ 留め部 １５５ 留め部 １５９ 凹部領域 １６２ 接点面 １６３ 接点パッド １６５ 接点 １７５ 支持突出部 １７７ ロックタブ １８０ 中央プローブ開口 １８１ 中央プローブ開口 １８２ 凹状中央部分 １８４ クリップ １８５ アーム部 １８９ 頂部プレート １９０ 脚部 １９１ 足部 １９４ 中央開口 １９５ 弾性鉤状部 ２００ 頂面 ２０１ 中央プローブ開口 ２０２ 側壁 ２０３ 角部 ２０５ 爪 ２０６ バネ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/32 Ａ (72)発明者 デイビッド・スコット・ハードキャッスル アメリカ合衆国55144−1000ミネソタ州セ ント・ポール、スリーエム・センター（番 地の表示なし)

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 頂面、底面及び四つの側面を有して概ね
    矩形を呈し、上記側面の少なくとも二つに凹部と、上記
    頂面上にダイを位置付ける手段とを備えるベースを備え
    ており、 上記凹部内に嵌合する細長い形状を呈する複数の接点ス
    トリップを備えており、該接点ストリップが、該ストリ
    ップを上記凹部内に一時的に固定する手段を備えてお
    り、各接点ストリップが、上記ダイとの電気的接触をな
    すように一端に形成された複数の接点と、上記ベースの
    側面に沿って該ストリップに電気的接触を与えるべく上
    記一端とは反対側に位置する関係の第２端部とを備えて
    おり、 上記ダイと、上記接点と、上記ベースの周囲との間の電
    気的連結を与えるべく、該ダイをベースの方へ付勢する
    ために、該ベースから支持された状態の、力を加える機
    構を備えており、該機構が、上記ダイと接触する圧力板
    と、該圧力板を上記ベースに向かって付勢する付勢手段
    と、上記ベースに取り付けられたカバーとを備えてお
    り、該カバーが、上記ベースから該カバーが移動するの
    を規制するために該付勢手段を支持しており、該付勢手
    段が、上記圧力板と上記ダイを、接点ストリップ上の上
    記接点と電気的に係合させる状態に付勢することを特徴
    とする、ベアダイと共に用いるための仮パッケージ。
  2. 【請求項２】 上記力を加える機構が、上記接点ストリ
    ップとの電気的接触をなすために、且つ上記圧力板を正
    しい位置に位置決めするために、上記ベース上にダイを
    装填すべくダイ搬送プローブを受け入れるための中央開
    口を有しており、該中央開口が該機構を貫通して延びて
    いることを特徴とする、請求項１記載の仮パッケージ。
  3. 【請求項３】 該パッケージが受ける横及び縦の圧力か
    ら上記力を加える機構を保護するために、保護カバー
    が、上記ベース上に取り付けられ、且つ該ベースに対し
    て移動可能な関係にあることを特徴とする、請求項１記
    載の仮パッケージ。
  4. 【請求項４】 ダイをテスト及びバーンイン用ソケット
    内に置くようにされたベアダイ用仮パッケージにおい
    て、 ソケット内に嵌合すべく矩形の形状を有するベース部を
    備えており、該ベース部が、ベアダイを支持するための
    面を規定する手段を有しており、該ベース部が、周囲面
    を規定する複数の側面を備えており、反対側に面する少
    なくとも二つの側面が、爪を受けるための留め部を有し
    ており、 カバー内で移動可能に支持される圧力板と、該圧力板を
    上記カバーから付勢する付勢手段とを有する蓋を備えて
    おり、上記カバーが、該カバーからの方向で上記圧力板
    が移動するのを規制する手段と、該蓋を上記ベース部に
    離脱可能に固定するために、且つ上記付勢手段を圧縮状
    態にするために、該ベース部の上記留め部に係合する、
    上記カバー上の爪手段とを有しており、該爪手段が、上
    記ダイのための上記支持面と反対側の、上記ベース部の
    側からの係合の上の上記留め部から離脱可能であり、こ
    れによって、上記蓋が上記ベース部から機械的に離脱で
    きることを特徴とする、ベアダイ用仮パッケージ。
  5. 【請求項５】 上記蓋が、上記ベース部上にダイを装填
    すべくダイ搬送プローブを受け入れるために、そして、
    該蓋及び上記圧力板を正しい位置に位置決めするため
    に、中央開口を有しており、該中央開口が該蓋を貫通し
    て延びていることを特徴とする、請求項４記載の仮パッ
    ケージ。
  6. 【請求項６】 保護カバーが上記蓋の周囲に位置決めさ
    れており、該保護カバーを上記蓋の上に離脱可能に固定
    するために、該保護カバーが、上記カバー上の爪手段に
    隣接して配置される爪手段を有しており、該保護カバー
    上の該爪手段が、上記カバーの爪手段が離脱する上でさ
    らに離脱するために、配置されていることを特徴とす
    る、請求項４記載の仮パッケージ。
  7. 【請求項７】 上記ベースが複数の凹部を備えて形成さ
    れており、該パッケージがさらに、該凹部内に嵌合する
    ようにされた細長い形状を有する複数の接点ストリップ
    と、該ストリップを該凹部内に一時的に固定するための
    手段とを備えており、各ストリップが、上記ダイとの電
    気的接触をなすために一方の端部に複数の接点を備える
    と共に、該端部と反対側に位置して、上記ベース部の側
    部に沿って上記接点ストリップとの電気的接触を与える
    関係で第２の端部を有していることを特徴とする、請求
    項４記載の仮パッケージ。
  8. 【請求項８】 上記ダイと直接電気的接触をなすと共
    に、上記接点ストリップの上記接点のそれぞれと電気的
    接触をなすべく、形成されたインサートをさらに備える
    ことを特徴とする、請求項７記載の仮パッケージ。
JP7190258A 1994-07-27 1995-07-26 ベアダイのテスト及びバーンイン用の仮パッケージ Pending JPH0883658A (ja)

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