JPH0872307A - 画像装置 - Google Patents
画像装置Info
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- JPH0872307A JPH0872307A JP23237094A JP23237094A JPH0872307A JP H0872307 A JPH0872307 A JP H0872307A JP 23237094 A JP23237094 A JP 23237094A JP 23237094 A JP23237094 A JP 23237094A JP H0872307 A JPH0872307 A JP H0872307A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cathode
- wiring
- groove
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 LEDアレイを正確かつ容易に位置決めで
き、フリップチップ接続が容易な基板構成を提供する。 【構成】 LEDアレイ2をカソード配線基板4に設け
た溝8に搭載し、フリップチップ接続によりアノード配
線基板6に接続する。溝8は端面を斜めにし、ボンディ
ング時のセルフアラインメント機能で溝8内に位置決め
する。
き、フリップチップ接続が容易な基板構成を提供する。 【構成】 LEDアレイ2をカソード配線基板4に設け
た溝8に搭載し、フリップチップ接続によりアノード配
線基板6に接続する。溝8は端面を斜めにし、ボンディ
ング時のセルフアラインメント機能で溝8内に位置決め
する。
Description
【0001】
【発明の利用分野】この発明は、LEDヘッドやプラズ
マヘッド,イメージセンサ等の画像装置に関する。
マヘッド,イメージセンサ等の画像装置に関する。
【0002】
【従来技術】発明者は、画像素子アレイを2枚の基板で
サンドイッチした画像装置を提案した(例えば特願平5
−180613号)。この画像装置では画像素子アレイ
のカソード電極をカソード基板にダイボンドし、アノー
ド電極をアノード基板にフリップチップ接続する。この
ようにすればカソード電極の接続はダイボンドで処理で
き、アノード電極の接続では多数の電極をフリップチッ
プ接続で一挙に処理できる。この発明は、上記の先願を
さらに改良したものである。
サンドイッチした画像装置を提案した(例えば特願平5
−180613号)。この画像装置では画像素子アレイ
のカソード電極をカソード基板にダイボンドし、アノー
ド電極をアノード基板にフリップチップ接続する。この
ようにすればカソード電極の接続はダイボンドで処理で
き、アノード電極の接続では多数の電極をフリップチッ
プ接続で一挙に処理できる。この発明は、上記の先願を
さらに改良したものである。
【0003】
【発明の課題】この発明の基本的課題は、 1) 画像素子アレイを凹溝を用いて基板に正確に位置決
めし、かつフリップチップ接続時に画像素子アレイが基
板から突き出さないようにして、フリップチップ接続を
容易にし、 2) 画像素子アレイを凹溝に収容してからフリップチッ
プ接続して、フリップチップ接続時に基板から加わる力
等のために、画像素子アレイが倒れたりずれたりする恐
れを無くすことにある(請求項1〜7)。
めし、かつフリップチップ接続時に画像素子アレイが基
板から突き出さないようにして、フリップチップ接続を
容易にし、 2) 画像素子アレイを凹溝に収容してからフリップチッ
プ接続して、フリップチップ接続時に基板から加わる力
等のために、画像素子アレイが倒れたりずれたりする恐
れを無くすことにある(請求項1〜7)。
【0004】請求項2,3の発明での追加的課題は、 3) 凹溝の底面に設けたカソード配線に対する画像素子
アレイの位置決め精度を向上させることにある。請求項
4,5,6の発明での追加的課題は、 4) 凹溝の側面に斜面を設けて、凹溝の表面開口を広
げ、凹溝への画像素子アレイの搭載を容易にすると共
に、画像素子アレイが搭載時に倒れることを防止し、 5) 凹溝に正確に画像素子アレイを位置決めし、 6) かつ凹溝の底面にカソード配線を導くことを容易に
することにある。請求項6の発明での追加的課題は、 7) 凹溝でのカソード配線の断線を確実に防止し、かつ
画像素子アレイの収容を特に容易にする傾斜角を提供す
ることにある。請求項7の発明での追加的課題は、 8) 半田で画像素子アレイの高さばらつきを自動的に吸
収することにある。 9) 請求項8の発明での追加的課題は、アノード配線基
板とカソード配線基板間の、電気的接続と機械的結合と
を容易に行えるようにすることにある。 10) 請求項9の発明での追加的課題は、画像素子アレイ
のカソード電極をカソード配線に正確に位置決め固定し
た後、アノード電極をアノード配線に接続し、かつ2つ
の基板間接続配線を接続することにある。
アレイの位置決め精度を向上させることにある。請求項
4,5,6の発明での追加的課題は、 4) 凹溝の側面に斜面を設けて、凹溝の表面開口を広
げ、凹溝への画像素子アレイの搭載を容易にすると共
に、画像素子アレイが搭載時に倒れることを防止し、 5) 凹溝に正確に画像素子アレイを位置決めし、 6) かつ凹溝の底面にカソード配線を導くことを容易に
することにある。請求項6の発明での追加的課題は、 7) 凹溝でのカソード配線の断線を確実に防止し、かつ
画像素子アレイの収容を特に容易にする傾斜角を提供す
ることにある。請求項7の発明での追加的課題は、 8) 半田で画像素子アレイの高さばらつきを自動的に吸
収することにある。 9) 請求項8の発明での追加的課題は、アノード配線基
板とカソード配線基板間の、電気的接続と機械的結合と
を容易に行えるようにすることにある。 10) 請求項9の発明での追加的課題は、画像素子アレイ
のカソード電極をカソード配線に正確に位置決め固定し
た後、アノード電極をアノード配線に接続し、かつ2つ
の基板間接続配線を接続することにある。
【0005】
【発明の構成】この発明は、各々下面にカソード電極、
上面に複数個のアノード電極を有する、複数個の画像素
子アレイと、上面に複数個の長方形状の凹溝を有し、且
つ該各凹溝の底面から側面を介し上面へと導出したカソ
ード配線を有する第1基板と、下面に複数個のアノード
配線を有する第2基板とからなり、前記第1基板の各凹
溝内に画像素子アレイを収容し、画像素子アレイのカソ
ード電極を第1基板のカソード配線に接続すると共に、
アノード電極を第2基板のアノード配線にフリップチッ
プ接続したことを特徴とする。好ましくは、前記凹溝底
面内のカソード配線を、複数個の島部と該島部を接続す
る接続配線部とで形成し、あるいは凹溝底面内のカソー
ド配線を、中央部に窪みを有する平板状とする。また好
ましくは、前記凹溝の2つの長辺側側面を傾斜面とし、
且つ第1基板の上面に、画像素子アレイの側面と当接す
る穴部を有する位置合わせプレートを、該穴部を凹溝に
対向させた状態で取り付ける。あるいは好ましくは、前
記凹溝の1つの長辺側側面を傾斜面となし、他の側面を
画像素子アレイの位置合わせ基準面とする。ここで好ま
しくは、前記凹溝の長辺側傾斜面の傾斜角を60度以下
とする。好ましくは、前記各凹溝内に画像素子アレイを
収容し、画像素子アレイのカソード電極を該凹溝内のカ
ソード配線に半田接続すると共に、各カソード電極と各
カソード配線間の半田厚さを変化させて、各画像素子ア
レイのアノード電極面を同一平面上に位置させる。また
好ましくは、前記第1基板及び第2基板の各々に基板間
接続配線を設けると共に、両基板間接続配線を接続する
ようにする。さらに好ましくは、前記第1基板のカソー
ド配線と画像素子アレイのカソード電極とを半田を介し
て接続するとともに、第1基板及び第2基板の各々に設
けた基板間接続配線を、前記画像素子アレイのカソード
電極と第1基板のカソード配線とを接続する半田よりも
低融点の半田を介して接続する。
上面に複数個のアノード電極を有する、複数個の画像素
子アレイと、上面に複数個の長方形状の凹溝を有し、且
つ該各凹溝の底面から側面を介し上面へと導出したカソ
ード配線を有する第1基板と、下面に複数個のアノード
配線を有する第2基板とからなり、前記第1基板の各凹
溝内に画像素子アレイを収容し、画像素子アレイのカソ
ード電極を第1基板のカソード配線に接続すると共に、
アノード電極を第2基板のアノード配線にフリップチッ
プ接続したことを特徴とする。好ましくは、前記凹溝底
面内のカソード配線を、複数個の島部と該島部を接続す
る接続配線部とで形成し、あるいは凹溝底面内のカソー
ド配線を、中央部に窪みを有する平板状とする。また好
ましくは、前記凹溝の2つの長辺側側面を傾斜面とし、
且つ第1基板の上面に、画像素子アレイの側面と当接す
る穴部を有する位置合わせプレートを、該穴部を凹溝に
対向させた状態で取り付ける。あるいは好ましくは、前
記凹溝の1つの長辺側側面を傾斜面となし、他の側面を
画像素子アレイの位置合わせ基準面とする。ここで好ま
しくは、前記凹溝の長辺側傾斜面の傾斜角を60度以下
とする。好ましくは、前記各凹溝内に画像素子アレイを
収容し、画像素子アレイのカソード電極を該凹溝内のカ
ソード配線に半田接続すると共に、各カソード電極と各
カソード配線間の半田厚さを変化させて、各画像素子ア
レイのアノード電極面を同一平面上に位置させる。また
好ましくは、前記第1基板及び第2基板の各々に基板間
接続配線を設けると共に、両基板間接続配線を接続する
ようにする。さらに好ましくは、前記第1基板のカソー
ド配線と画像素子アレイのカソード電極とを半田を介し
て接続するとともに、第1基板及び第2基板の各々に設
けた基板間接続配線を、前記画像素子アレイのカソード
電極と第1基板のカソード配線とを接続する半田よりも
低融点の半田を介して接続する。
【0006】画像素子アレイにはLEDアレイやPLZ
Tアレイ,プラズマアレイ,イメージセンサの光電池ア
レイ等を用い、溝の底面に設けたカソード配線は半田や
金バンプ等で構成する。
Tアレイ,プラズマアレイ,イメージセンサの光電池ア
レイ等を用い、溝の底面に設けたカソード配線は半田や
金バンプ等で構成する。
【0007】
【発明の作用】この発明では、画像素子アレイを凹溝に
収容してカソード電極を凹溝内のカソード配線に接続
し、アノード電極を第2基板のアノード配線にフリップ
チップ接続する。このためアレイの位置は凹溝側で位置
決めされ、アノード電極の表面は第1基板の上面とほぼ
揃い、フリップチップ接続が容易になる(請求項1〜
7)。次に凹溝内のカソード配線を島状あるいは中央部
に窪みを有する平板状とすると、カソード配線に画像素
子アレイのカソード電極を半田を介して取着する際、半
田のセルフアラインメント効果によって画像素子アレイ
がカソード配線に対し、所定位置、所定高さに取着する
ことができる(請求項2,3)。また凹溝の長辺側側面
を少なくとも一方で傾斜面にすると、凹溝への画像素子
アレイの収容が容易になり、傾斜面を利用してカソード
配線を凹溝の底部から第1基板上面へ導出でき、断線の
恐れが無い(請求項4,5,6)。ここで画像素子アレ
イの位置決めには例えば基準プレートを用い(請求項
4)、あるいは基準プレート凹溝の一方の長辺側側面に
設けた基準面を利用する(請求項5,6)。傾斜面の傾
斜角は60度以下が好ましく、この角度でカソード配線
の導出が特に容易で、かつ画像素子アレイの収容が特に
容易になる(請求項6)。請求項7の発明のように、カ
ソード配線とカソード電極間の半田層を可変にすると、
画像素子アレイの高さばらつきを補償し、アノード電極
の高さ位置を多数の画像素子アレイの間で揃え、フリッ
プチップ接続が容易になる。更に第1基板及び第2基板
の各々に基板間接続配線を設け、これを接続すれば2枚
の基板に設けた配線の接続及び2枚の基板の機械的接合
ができる(請求項8)。ここでカソード電極とカソード
配線間の接続用の半田よりも融点の低い半田を、アノー
ド電極とアノード配線間や基板間配線間の接続に用いる
と、画像素子アレイをカソード配線に対して正確に位置
決めした後、アノード電極とアノード配線のフリップチ
ップ接続や基板間接続配線相互の接続を1工程で容易に
行うことができる(請求項9)。
収容してカソード電極を凹溝内のカソード配線に接続
し、アノード電極を第2基板のアノード配線にフリップ
チップ接続する。このためアレイの位置は凹溝側で位置
決めされ、アノード電極の表面は第1基板の上面とほぼ
揃い、フリップチップ接続が容易になる(請求項1〜
7)。次に凹溝内のカソード配線を島状あるいは中央部
に窪みを有する平板状とすると、カソード配線に画像素
子アレイのカソード電極を半田を介して取着する際、半
田のセルフアラインメント効果によって画像素子アレイ
がカソード配線に対し、所定位置、所定高さに取着する
ことができる(請求項2,3)。また凹溝の長辺側側面
を少なくとも一方で傾斜面にすると、凹溝への画像素子
アレイの収容が容易になり、傾斜面を利用してカソード
配線を凹溝の底部から第1基板上面へ導出でき、断線の
恐れが無い(請求項4,5,6)。ここで画像素子アレ
イの位置決めには例えば基準プレートを用い(請求項
4)、あるいは基準プレート凹溝の一方の長辺側側面に
設けた基準面を利用する(請求項5,6)。傾斜面の傾
斜角は60度以下が好ましく、この角度でカソード配線
の導出が特に容易で、かつ画像素子アレイの収容が特に
容易になる(請求項6)。請求項7の発明のように、カ
ソード配線とカソード電極間の半田層を可変にすると、
画像素子アレイの高さばらつきを補償し、アノード電極
の高さ位置を多数の画像素子アレイの間で揃え、フリッ
プチップ接続が容易になる。更に第1基板及び第2基板
の各々に基板間接続配線を設け、これを接続すれば2枚
の基板に設けた配線の接続及び2枚の基板の機械的接合
ができる(請求項8)。ここでカソード電極とカソード
配線間の接続用の半田よりも融点の低い半田を、アノー
ド電極とアノード配線間や基板間配線間の接続に用いる
と、画像素子アレイをカソード配線に対して正確に位置
決めした後、アノード電極とアノード配線のフリップチ
ップ接続や基板間接続配線相互の接続を1工程で容易に
行うことができる(請求項9)。
【0008】
【実施例】図1〜図20に、実施例とその変形を示す。
図1は、LEDアレイ2を第1の基板であるカソード配
線基板4と、第2の基板であるアノード配線基板6とで
サンドイッチし、LEDアレイ2をカソード配線基板4
に設けた凹溝8内に収容した状態を示す。なおLEDア
レイ2は長さが5.4mm程度で、幅と高さが各々30
0μm程度で、例えば40個直線状に配列し、1個ずつ
分離して凹溝8内に搭載する。カソード配線基板4は精
度が高く熱膨張率が小さくしかも耐熱性に優れているも
のが好ましいので、実施例では液晶プラスチック基板を
用いるが、ガラスエポキシ基板等の安価な基板等でも良
い。アノード配線基板6は透明基板とし、ここではガラ
ス基板とするが、硬質プリント基板等にLEDアレイ2
からの光を取り出すための穴を設けたものでも良い。1
0は凹溝8内のカソード配線で、LEDアレイ2の底面
のカソード電極(共通電極)にダイボンドし、凹溝8の
長手方向側面を介して基板4の上面へ引き出す。12は
LEDアレイ2のアノード電極(個別電極)とアノード
配線基板6のアノード配線との半田を介してのフリップ
チップ接続部である。また基板4,6はフリップチップ
接続部12の他に、基板間接続配線部14,16でも結
合する。基板間接続配線14,16は基板4,6上の2
つの配線を半田バンプ等で接続して一体としたもので、
その作用は2枚の基板間配線の接続や基板4,6の機械
的結合である。この基板間接続配線14,16を接続す
る半田バンプはその融点を、LEDアレイ2のカソード
電極とカソード配線基板4のカソード配線とを接続する
半田よりも低いものとしておくと、カソード電極とカソ
ード配線との間に接続不良を招来することなく両基板間
接続配線14,16で接続させることができる。LED
ヘッドにはこれ以外に40個の単眼レンズがあり、LE
Dアレイ2と1:1に対応するが、ここでは省略する。
図1は、LEDアレイ2を第1の基板であるカソード配
線基板4と、第2の基板であるアノード配線基板6とで
サンドイッチし、LEDアレイ2をカソード配線基板4
に設けた凹溝8内に収容した状態を示す。なおLEDア
レイ2は長さが5.4mm程度で、幅と高さが各々30
0μm程度で、例えば40個直線状に配列し、1個ずつ
分離して凹溝8内に搭載する。カソード配線基板4は精
度が高く熱膨張率が小さくしかも耐熱性に優れているも
のが好ましいので、実施例では液晶プラスチック基板を
用いるが、ガラスエポキシ基板等の安価な基板等でも良
い。アノード配線基板6は透明基板とし、ここではガラ
ス基板とするが、硬質プリント基板等にLEDアレイ2
からの光を取り出すための穴を設けたものでも良い。1
0は凹溝8内のカソード配線で、LEDアレイ2の底面
のカソード電極(共通電極)にダイボンドし、凹溝8の
長手方向側面を介して基板4の上面へ引き出す。12は
LEDアレイ2のアノード電極(個別電極)とアノード
配線基板6のアノード配線との半田を介してのフリップ
チップ接続部である。また基板4,6はフリップチップ
接続部12の他に、基板間接続配線部14,16でも結
合する。基板間接続配線14,16は基板4,6上の2
つの配線を半田バンプ等で接続して一体としたもので、
その作用は2枚の基板間配線の接続や基板4,6の機械
的結合である。この基板間接続配線14,16を接続す
る半田バンプはその融点を、LEDアレイ2のカソード
電極とカソード配線基板4のカソード配線とを接続する
半田よりも低いものとしておくと、カソード電極とカソ
ード配線との間に接続不良を招来することなく両基板間
接続配線14,16で接続させることができる。LED
ヘッドにはこれ以外に40個の単眼レンズがあり、LE
Dアレイ2と1:1に対応するが、ここでは省略する。
【0009】図2に、凹溝8の構造を示す。凹溝の底面
20は基板4の上面に平行で、その大きさはLEDアレ
イ2の底面と等しくあるいはアレイ2の底面よりもやや
大きい。凹溝の長辺側側面22,22と短辺側側面2
4,24は何れも斜面で、長辺側斜面22が底面20に
対して成す角をα、短辺側斜面24が底面20に対して
成す角をβとすると、これらは何れも60度以下が好ま
しく、より好ましくは30〜60度とする。この結果凹
溝8の表面はアレイ2よりもやや大きなものとなる。
20は基板4の上面に平行で、その大きさはLEDアレ
イ2の底面と等しくあるいはアレイ2の底面よりもやや
大きい。凹溝の長辺側側面22,22と短辺側側面2
4,24は何れも斜面で、長辺側斜面22が底面20に
対して成す角をα、短辺側斜面24が底面20に対して
成す角をβとすると、これらは何れも60度以下が好ま
しく、より好ましくは30〜60度とする。この結果凹
溝8の表面はアレイ2よりもやや大きなものとなる。
【0010】凹溝8の長辺側側面を斜面22,22とせ
ず垂直面としても良いが、このようにすると搭載時にL
EDアレイ2が倒れやすい。この機構を図3に示す。凹
溝8の側面を図の想像線のように垂直にすると、アレイ
2が凹溝8の側面のエッジに引っかかり横倒れしやす
い。これに対して凹溝8の側面を斜面22,22にする
と、搭載時にアレイ2が横倒れする恐れがない。次に短
辺方向の2側面を斜面24,24としないと、図4に示
すようにアレイ2が一方のエッジに乗り上げ、搭載が難
しくなる。さらに凹溝8の4側面が垂直でアレイ2とほ
ぼ同じ大きさの場合、長尺状のアレイ2を凹溝8に搭載
すること自体が難しい。また斜面22を設けることに
は、凹溝8内にカソード配線10を設けるのを容易にす
るという役割があり、例えば図5の鎖線で示すような垂
直な側面では、エッジの部分でカソード配線10が断線
しやすい。
ず垂直面としても良いが、このようにすると搭載時にL
EDアレイ2が倒れやすい。この機構を図3に示す。凹
溝8の側面を図の想像線のように垂直にすると、アレイ
2が凹溝8の側面のエッジに引っかかり横倒れしやす
い。これに対して凹溝8の側面を斜面22,22にする
と、搭載時にアレイ2が横倒れする恐れがない。次に短
辺方向の2側面を斜面24,24としないと、図4に示
すようにアレイ2が一方のエッジに乗り上げ、搭載が難
しくなる。さらに凹溝8の4側面が垂直でアレイ2とほ
ぼ同じ大きさの場合、長尺状のアレイ2を凹溝8に搭載
すること自体が難しい。また斜面22を設けることに
は、凹溝8内にカソード配線10を設けるのを容易にす
るという役割があり、例えば図5の鎖線で示すような垂
直な側面では、エッジの部分でカソード配線10が断線
しやすい。
【0011】このように斜面22,24を設けることに
は、アレイ2の搭載を容易にし、特にアレイ2が横倒れ
するのを防ぐと共に、カソード配線10の形成を容易に
するという意味がある。実施例では凹溝8の4側面を全
て斜面22,24としたが、凹溝8の長辺の一方と短辺
の一方の2側面のみを斜面にしても良い。また角度αや
角度βに対する60度以下との範囲は配線が容易でアレ
イ2の収容が容易であるという点から経験的に求めたも
ので、30〜60度との範囲はなるべく小さな凹溝8を
用いながらこれらの目的を達成するという条件で求めた
ものである。
は、アレイ2の搭載を容易にし、特にアレイ2が横倒れ
するのを防ぐと共に、カソード配線10の形成を容易に
するという意味がある。実施例では凹溝8の4側面を全
て斜面22,24としたが、凹溝8の長辺の一方と短辺
の一方の2側面のみを斜面にしても良い。また角度αや
角度βに対する60度以下との範囲は配線が容易でアレ
イ2の収容が容易であるという点から経験的に求めたも
ので、30〜60度との範囲はなるべく小さな凹溝8を
用いながらこれらの目的を達成するという条件で求めた
ものである。
【0012】図6,図7に、カソード配線10の詳細を
示す。図において、26はクリーム半田やフラックス等
の液状物質で、表面張力の高い物質が好ましい。28は
LEDアレイ2の発光体で、30は発光体28のアノー
ド電極に接続したパッドである。また32は半田メッキ
等を施した導電性の枠で、図7に示すようにクリーム半
田やフラックス等からなる液状物質26の周囲を取り巻
いている。さらに斜面22には半田層を被覆してある。
LEDアレイ2のカソード電極との接続は枠32上の半
田メッキで行い、LEDアレイ2の高さが大きい場合に
は枠32上の半田メッキが周囲に逃げ、高さが不足する
場合には斜面22の半田層からの半田が枠32とカソー
ド電極との間に補給されて、LEDアレイ2のアノード
電極側の高さを同一平面上に揃える。33は枠32から
の配線の引出し部、35はアレイ2の底面のカソード電
極である。ここでは液状物質26を配置した部分に仕切
りが無いが、図7の枠32の上側と下側の間に例えば1
〜3箇所の仕切り等を設けても良い。カソード配線10
は真空蒸着やスパッタリング等の薄膜プロセスで設けて
も良いが、低価格な設備で製造可能な方法、即ちガラス
エポキシ樹脂やプラスチック基板に貼付された銅箔にフ
ォトリソグラフィー技術及びエッチング加工技術を施す
ことによって形成され、形成されたカソード配線の枠3
2には半田メッキが施されている。この枠32に施され
ている半田メッキはアレイ2のカソード電極を枠32上
に装着する際のロウ材として作用する。クリーム半田や
フラックス等の液状物質26は枠32の中にディスペン
サや印刷等で塗布すれば良い。
示す。図において、26はクリーム半田やフラックス等
の液状物質で、表面張力の高い物質が好ましい。28は
LEDアレイ2の発光体で、30は発光体28のアノー
ド電極に接続したパッドである。また32は半田メッキ
等を施した導電性の枠で、図7に示すようにクリーム半
田やフラックス等からなる液状物質26の周囲を取り巻
いている。さらに斜面22には半田層を被覆してある。
LEDアレイ2のカソード電極との接続は枠32上の半
田メッキで行い、LEDアレイ2の高さが大きい場合に
は枠32上の半田メッキが周囲に逃げ、高さが不足する
場合には斜面22の半田層からの半田が枠32とカソー
ド電極との間に補給されて、LEDアレイ2のアノード
電極側の高さを同一平面上に揃える。33は枠32から
の配線の引出し部、35はアレイ2の底面のカソード電
極である。ここでは液状物質26を配置した部分に仕切
りが無いが、図7の枠32の上側と下側の間に例えば1
〜3箇所の仕切り等を設けても良い。カソード配線10
は真空蒸着やスパッタリング等の薄膜プロセスで設けて
も良いが、低価格な設備で製造可能な方法、即ちガラス
エポキシ樹脂やプラスチック基板に貼付された銅箔にフ
ォトリソグラフィー技術及びエッチング加工技術を施す
ことによって形成され、形成されたカソード配線の枠3
2には半田メッキが施されている。この枠32に施され
ている半田メッキはアレイ2のカソード電極を枠32上
に装着する際のロウ材として作用する。クリーム半田や
フラックス等の液状物質26は枠32の中にディスペン
サや印刷等で塗布すれば良い。
【0013】液状物質26には2つの作用があり、その
1つはコレット等によりLEDアレイ2を搭載する際
に、アレイ2がひっくり返ることを防止することであ
る。この点を図8に示す。コレット34でアレイ2の保
持を停止し、アレイ2を下に降ろすと、底面のカソード
電極35は最初に液状物質26に触れ、液状物質26の
表面張力で姿勢が矯正されるとともに位置決めされ、正
しく枠32上に乗る。この結果、半田の溶融によるセル
フアラインメント等を用いる前段階では、低価格,低精
度なダイマウンタでLEDアレイ2を搭載可能になる。
1つはコレット等によりLEDアレイ2を搭載する際
に、アレイ2がひっくり返ることを防止することであ
る。この点を図8に示す。コレット34でアレイ2の保
持を停止し、アレイ2を下に降ろすと、底面のカソード
電極35は最初に液状物質26に触れ、液状物質26の
表面張力で姿勢が矯正されるとともに位置決めされ、正
しく枠32上に乗る。この結果、半田の溶融によるセル
フアラインメント等を用いる前段階では、低価格,低精
度なダイマウンタでLEDアレイ2を搭載可能になる。
【0014】第2の作用は、アレイ2の高さばらつきを
吸収することである。この機構を図9に示す。25は斜
面22に設けた半田層、27はLEDアレイ2の高さが
小さい場合に半田層25から枠32上に補給された半田
である。36はアノード基板6側の半田バンプで、LE
Dアレイ2には例えば±20μm程度の高さばらつきが
ある。そしてこのような高さばらつきは、パッド30と
バンプ36とのフリップチップ接続を妨げる。そこで斜
面22に半田メッキ等を施しておき、高さが低いときに
はこの半田メッキの半田を供給して高さ調整を行うよう
にする。ここで図9の左側のようにアレイ2の高さが大
きい場合には、液状物質26が周囲に逃げてアレイ2が
沈み、枠32上の半田メッキにカソード電極が結合され
る。また図9の右側のようにアレイ2の高さが小さい場
合には、周囲の半田層25から半田が枠32上に補給さ
れて、半田27により枠32とカソード電極35とが結
合される。これらのためLEDアレイ2に高さばらつき
が有っても、アレイ2の表面高さが40個とも揃うこと
になる。
吸収することである。この機構を図9に示す。25は斜
面22に設けた半田層、27はLEDアレイ2の高さが
小さい場合に半田層25から枠32上に補給された半田
である。36はアノード基板6側の半田バンプで、LE
Dアレイ2には例えば±20μm程度の高さばらつきが
ある。そしてこのような高さばらつきは、パッド30と
バンプ36とのフリップチップ接続を妨げる。そこで斜
面22に半田メッキ等を施しておき、高さが低いときに
はこの半田メッキの半田を供給して高さ調整を行うよう
にする。ここで図9の左側のようにアレイ2の高さが大
きい場合には、液状物質26が周囲に逃げてアレイ2が
沈み、枠32上の半田メッキにカソード電極が結合され
る。また図9の右側のようにアレイ2の高さが小さい場
合には、周囲の半田層25から半田が枠32上に補給さ
れて、半田27により枠32とカソード電極35とが結
合される。これらのためLEDアレイ2に高さばらつき
が有っても、アレイ2の表面高さが40個とも揃うこと
になる。
【0015】実施例ではカソード電極35とカソード配
線10との間にセルフアラインメント機能が働き、アレ
イ2はセルフアラインメント機能で枠32に対して正し
い位置に半田付けされる。即ち液状物質26とアレイ2
のカソード電極35及び枠32は馴染みがよく、液状物
質26を介してカソード電極35と枠32とが互いに引
き寄せられ、アレイ2は枠32に対して正しい位置に半
田付けされ、凹溝8にアレイ2を最初に収容した時点で
の位置の狂いは、液状物質26によるセルフアラインメ
ント機能により自動的に矯正される。
線10との間にセルフアラインメント機能が働き、アレ
イ2はセルフアラインメント機能で枠32に対して正し
い位置に半田付けされる。即ち液状物質26とアレイ2
のカソード電極35及び枠32は馴染みがよく、液状物
質26を介してカソード電極35と枠32とが互いに引
き寄せられ、アレイ2は枠32に対して正しい位置に半
田付けされ、凹溝8にアレイ2を最初に収容した時点で
の位置の狂いは、液状物質26によるセルフアラインメ
ント機能により自動的に矯正される。
【0016】図10に、凹溝8内での変形例のカソード
配線40を示す。カソード配線40は複数個の島部42
と各島部42を接続する接続配線43とで形成されてい
る。カソード配線40を複数個の島部42と各島部42
を接続する接続配線43とで形成しておくと、カソード
配線40にLEDアレイ2のカソード電極35を枠32
上の半田を介して結合する際、枠32上の半田のセルフ
アラインメント効果によってLEDアレイ2のカソード
電極35がカソード配線40の所定位置に極めて正確に
接合され、これによってLEDアレイ2のカソード配線
40に対する接合位置が正確となる。
配線40を示す。カソード配線40は複数個の島部42
と各島部42を接続する接続配線43とで形成されてい
る。カソード配線40を複数個の島部42と各島部42
を接続する接続配線43とで形成しておくと、カソード
配線40にLEDアレイ2のカソード電極35を枠32
上の半田を介して結合する際、枠32上の半田のセルフ
アラインメント効果によってLEDアレイ2のカソード
電極35がカソード配線40の所定位置に極めて正確に
接合され、これによってLEDアレイ2のカソード配線
40に対する接合位置が正確となる。
【0017】ここで図1に戻り、基板間接続を説明す
る。接続を枠32や液状物質26側とアノード配線基板
6側の2工程に分割し、半田層25や枠32上の半田メ
ッキを高融点半田とし、半田バンプ36及び基板間接続
配線14,16を低融点半田として、事前に枠32を用
いてアレイ2を正確に基板4に対して位置決め固定し、
その後にアノード配線基板6とカソード配線基板4を結
合する。即ちカソード配線基板4上に固定されたアレイ
2をアノード配線基板6にフリップチップ接続すると同
時に、基板間接続配線部14,16の接続を行う。この
結果、基板間の接続精度とアノード配線の接続精度を向
上させることができると共に、1工程でこれらを接続で
きる。さらにここでは、基板間接続配線14,16のセ
ルフアラインメント効果と、アノード電極30のセルフ
アラインメント効果とを利用することができる。
る。接続を枠32や液状物質26側とアノード配線基板
6側の2工程に分割し、半田層25や枠32上の半田メ
ッキを高融点半田とし、半田バンプ36及び基板間接続
配線14,16を低融点半田として、事前に枠32を用
いてアレイ2を正確に基板4に対して位置決め固定し、
その後にアノード配線基板6とカソード配線基板4を結
合する。即ちカソード配線基板4上に固定されたアレイ
2をアノード配線基板6にフリップチップ接続すると同
時に、基板間接続配線部14,16の接続を行う。この
結果、基板間の接続精度とアノード配線の接続精度を向
上させることができると共に、1工程でこれらを接続で
きる。さらにここでは、基板間接続配線14,16のセ
ルフアラインメント効果と、アノード電極30のセルフ
アラインメント効果とを利用することができる。
【0018】図11〜図15に、凹溝8の変形を示す。
図11の凹溝50は4辺が垂直で、両側面の基準面52
と両端の基準面54を設け、これらの4つの基準面でL
EDアレイ2の4端面を位置決めする。この場合、LE
Dアレイ2の凹溝50内への搭載の作業性は若干劣るも
のの、LEDアレイ2の4端面を位置決めするためLE
Dアレイ2の搭載位置が極めて正確なものとなる。
図11の凹溝50は4辺が垂直で、両側面の基準面52
と両端の基準面54を設け、これらの4つの基準面でL
EDアレイ2の4端面を位置決めする。この場合、LE
Dアレイ2の凹溝50内への搭載の作業性は若干劣るも
のの、LEDアレイ2の4端面を位置決めするためLE
Dアレイ2の搭載位置が極めて正確なものとなる。
【0019】図12の凹溝56は一側面及び一端面を基
板4の上面に対し垂直として側面基準面58、端面基準
面60とすると共に、他の側面及び端面を前記の斜面2
2,24とした。このようにすれば引出し部33の断線
を防止できるし、凹溝56へのLEDアレイ2の搭載も
より容易になる。そしてアレイ2の位置決めでは、基板
4の上面に垂直な基準面58,60を用いる。
板4の上面に対し垂直として側面基準面58、端面基準
面60とすると共に、他の側面及び端面を前記の斜面2
2,24とした。このようにすれば引出し部33の断線
を防止できるし、凹溝56へのLEDアレイ2の搭載も
より容易になる。そしてアレイ2の位置決めでは、基板
4の上面に垂直な基準面58,60を用いる。
【0020】アレイ2の位置決めには、図13,図14
に示す基準プレート62を用いてもよく、ここでは図1
2の凹溝56と基準プレート62を併用したものを示
す。基準プレート62は例えばステンレスの薄板を用
い、エッチングで正確に穴開けし、基準面64を形成す
る。そして図14の状態でアレイ2を凹溝56に収容
し、プレート62を図の左側に移動させて、図13のよ
うにしてアレイ2を位置決めする。このためアレイ2は
基準面58と基準面64で位置決めされる。
に示す基準プレート62を用いてもよく、ここでは図1
2の凹溝56と基準プレート62を併用したものを示
す。基準プレート62は例えばステンレスの薄板を用
い、エッチングで正確に穴開けし、基準面64を形成す
る。そして図14の状態でアレイ2を凹溝56に収容
し、プレート62を図の左側に移動させて、図13のよ
うにしてアレイ2を位置決めする。このためアレイ2は
基準面58と基準面64で位置決めされる。
【0021】図13は凹溝56の長辺側側面の一方を垂
直の基準面58とした例を示すが、図15のように双方
の長辺側側面を何れも斜面22,22とした凹溝8を用
いても良い。この場合、基準プレート63の穴でアレイ
2を凹溝8に位置決めする。また基準プレート62,6
3はアレイ2の搭載後に必要に応じて取り外してもよ
く、あるいはそのまま残しても良い。
直の基準面58とした例を示すが、図15のように双方
の長辺側側面を何れも斜面22,22とした凹溝8を用
いても良い。この場合、基準プレート63の穴でアレイ
2を凹溝8に位置決めする。また基準プレート62,6
3はアレイ2の搭載後に必要に応じて取り外してもよ
く、あるいはそのまま残しても良い。
【0022】図16,図17に、基板4,6の関係を示
す。図において70はカソード駆動IC、72はアノー
ド駆動ICで、74はカソード配線である。アノード配
線基板6には、図17に示すアノード配線76があり、
絶縁膜78の下地には下地アノード配線80がある。こ
れらの配線76,80は例えばビアホール等で接続し、
アノード配線は実質上2層の配線である。そして前記の
基板間接続配線部14,16は例えば基板4,6の4隅
等に設ける。このようにするとカソード配線74は基板
4に設け、アノード配線は基板6に2層配線として設
け、これらの相互接続が必要な場合、基板間接続配線1
4,16と同様に、配線74,76を半田バンプ等を介
して接続すれば良いことになる。カソード駆動IC7
0,アノード駆動IC72は特に限定するものではない
が、アレイ2と同様に基板4に設けた凹溝に収容し、例
えばカソード駆動IC70は凹溝内のバンプにフリップ
チップ接続し、アノード駆動IC72はアノード配線7
6にフリップチップ接続する。次に基板4の配線やLE
Dアレイ2,IC72を基板6側の配線に接続する。従
って基板4,6間の接続と、アレイ2やIC72のフリ
ップチップ接続を同時に一挙に行うことができる。
す。図において70はカソード駆動IC、72はアノー
ド駆動ICで、74はカソード配線である。アノード配
線基板6には、図17に示すアノード配線76があり、
絶縁膜78の下地には下地アノード配線80がある。こ
れらの配線76,80は例えばビアホール等で接続し、
アノード配線は実質上2層の配線である。そして前記の
基板間接続配線部14,16は例えば基板4,6の4隅
等に設ける。このようにするとカソード配線74は基板
4に設け、アノード配線は基板6に2層配線として設
け、これらの相互接続が必要な場合、基板間接続配線1
4,16と同様に、配線74,76を半田バンプ等を介
して接続すれば良いことになる。カソード駆動IC7
0,アノード駆動IC72は特に限定するものではない
が、アレイ2と同様に基板4に設けた凹溝に収容し、例
えばカソード駆動IC70は凹溝内のバンプにフリップ
チップ接続し、アノード駆動IC72はアノード配線7
6にフリップチップ接続する。次に基板4の配線やLE
Dアレイ2,IC72を基板6側の配線に接続する。従
って基板4,6間の接続と、アレイ2やIC72のフリ
ップチップ接続を同時に一挙に行うことができる。
【0023】図18にカソード駆動IC70とLEDア
レイ2との接続を示し、図19にアノード駆動IC72
とLEDアレイ2との接続を示す。これらの図におい
て、82は基板4を貫通するスルーホールで、84は基
板4の裏面側の裏面カソード配線、86,88はアノー
ド配線で、40個のLEDアレイ2を2分割して、左側
の20個のアレイ2に対する配線86と、右側の20個
のアレイ2に対する配線88の2つから成る。配線84
は図17では図示を省略した。カソード駆動IC70は
例えば20個のアレイ2を駆動するためのものを1個設
け、1つの出力端子で2つのアレイ2を駆動するように
する。このため図19に示すように、2組のアノード配
線86,88を設け、アノード駆動IC72を2組設け
て、アノード側でLEDアレイ2を20個ずつ別途に駆
動するようにした。この結果、カソード駆動IC70の
個数を2個から1個に削減できる。図18の配線の特徴
の1つは、カソード配線の引出し部33がアレイ2の上
下にあることで、これは図6,図7の引出し部33の配
置に対応する。次の特徴は基板4の2つの表面にほぼ同
数のカソード配線を配置したことである。例えば図18
では、破線で示した裏面配線はほぼ3本で、実線で示し
た上面側の配線もほぼ3本である。そして基板4の表裏
にほぼ同数の配線を置くことにより、配線幅を小さく
し、基板4の幅を小さくすることができる。また図18
の場合、10個示したLEDアレイ2に対してスルーホ
ール82の数は6個で、スルーホールの数が少ない。こ
れらのため基板4の幅を小さくし、スルーホールの数を
小さくすることができる。なお図18の配線に対して、
図20のようにスルーホール82を全く用いない配線も
可能である。この場合にはアレイ2,2間の隙間をカソ
ード配線90が通過するようにすることと、凹溝8の両
側に引出し部33を設けることで、スルーホール82を
不用にしている。
レイ2との接続を示し、図19にアノード駆動IC72
とLEDアレイ2との接続を示す。これらの図におい
て、82は基板4を貫通するスルーホールで、84は基
板4の裏面側の裏面カソード配線、86,88はアノー
ド配線で、40個のLEDアレイ2を2分割して、左側
の20個のアレイ2に対する配線86と、右側の20個
のアレイ2に対する配線88の2つから成る。配線84
は図17では図示を省略した。カソード駆動IC70は
例えば20個のアレイ2を駆動するためのものを1個設
け、1つの出力端子で2つのアレイ2を駆動するように
する。このため図19に示すように、2組のアノード配
線86,88を設け、アノード駆動IC72を2組設け
て、アノード側でLEDアレイ2を20個ずつ別途に駆
動するようにした。この結果、カソード駆動IC70の
個数を2個から1個に削減できる。図18の配線の特徴
の1つは、カソード配線の引出し部33がアレイ2の上
下にあることで、これは図6,図7の引出し部33の配
置に対応する。次の特徴は基板4の2つの表面にほぼ同
数のカソード配線を配置したことである。例えば図18
では、破線で示した裏面配線はほぼ3本で、実線で示し
た上面側の配線もほぼ3本である。そして基板4の表裏
にほぼ同数の配線を置くことにより、配線幅を小さく
し、基板4の幅を小さくすることができる。また図18
の場合、10個示したLEDアレイ2に対してスルーホ
ール82の数は6個で、スルーホールの数が少ない。こ
れらのため基板4の幅を小さくし、スルーホールの数を
小さくすることができる。なお図18の配線に対して、
図20のようにスルーホール82を全く用いない配線も
可能である。この場合にはアレイ2,2間の隙間をカソ
ード配線90が通過するようにすることと、凹溝8の両
側に引出し部33を設けることで、スルーホール82を
不用にしている。
【0024】実施例では画像素子アレイとしてLEDア
レイを用いたが、これに限るものではなく例えばPLZ
Tアレイやプラズマアレイ,イメージセンサの光電池ア
レイ等でも良い。また凹溝にはアレイ2を1個ずつ搭載
したが、2個のアレイ2,2を密着させて搭載しても良
い。
レイを用いたが、これに限るものではなく例えばPLZ
Tアレイやプラズマアレイ,イメージセンサの光電池ア
レイ等でも良い。また凹溝にはアレイ2を1個ずつ搭載
したが、2個のアレイ2,2を密着させて搭載しても良
い。
【0025】
【発明の効果】この発明では、 1) 画像素子アレイを凹溝に収容するのでその位置決め
が容易で、かつアレイのアノード電極側頂面が凹溝から
突き出さないので、フリップチップ接続が容易になり、 2) 画像素子アレイを凹溝に収容してフリップチップ接
続するので、フリップチップ接続時に画像素子アレイが
倒れたりずれたりすることがない(請求項1〜7)。ま
た請求項2,3の発明では、 3) 凹溝内のカソード配線を島状あるいは中央部に窪み
を有する平板状としたので、カソード配線の所定位置に
画像素子アレイを正確に接合することができる。請求項
4,5,6の発明では、 4) 凹溝の側面に斜面を設けるので、凹溝の表面開口が
広く、凹溝への画像素子アレイの搭載がなり、また画像
素子アレイが搭載時に倒れることがなく、 5) 基準プレートや凹溝の基準面により画像素子アレイ
を正確に位置決めでき、 6) 凹溝の底面と基板上面の間でカソード配線が断線す
ることがない。請求項6の発明ではさらに、 7) 凹溝の傾斜角を特定し、カソード配線の断線をさら
に確実に防止すると共に、画像素子アレイの収容を特に
容易にする。請求項7の発明では、 8) 半田で画像素子アレイの高さばらつきを吸収し、フ
リップチップ接続を容易にする。 9) 請求項8の発明では、アノード配線基板とカソード
配線基板間の、電気的接続と機械的結合とを容易に行え
る。 10) 請求項9の発明では、画像素子アレイのカソード電
極をカソード配線に正確に位置決め固定した後に、アノ
ード電極をアノード配線に接続し、かつ2つの基板間接
続配線を接続することができる。
が容易で、かつアレイのアノード電極側頂面が凹溝から
突き出さないので、フリップチップ接続が容易になり、 2) 画像素子アレイを凹溝に収容してフリップチップ接
続するので、フリップチップ接続時に画像素子アレイが
倒れたりずれたりすることがない(請求項1〜7)。ま
た請求項2,3の発明では、 3) 凹溝内のカソード配線を島状あるいは中央部に窪み
を有する平板状としたので、カソード配線の所定位置に
画像素子アレイを正確に接合することができる。請求項
4,5,6の発明では、 4) 凹溝の側面に斜面を設けるので、凹溝の表面開口が
広く、凹溝への画像素子アレイの搭載がなり、また画像
素子アレイが搭載時に倒れることがなく、 5) 基準プレートや凹溝の基準面により画像素子アレイ
を正確に位置決めでき、 6) 凹溝の底面と基板上面の間でカソード配線が断線す
ることがない。請求項6の発明ではさらに、 7) 凹溝の傾斜角を特定し、カソード配線の断線をさら
に確実に防止すると共に、画像素子アレイの収容を特に
容易にする。請求項7の発明では、 8) 半田で画像素子アレイの高さばらつきを吸収し、フ
リップチップ接続を容易にする。 9) 請求項8の発明では、アノード配線基板とカソード
配線基板間の、電気的接続と機械的結合とを容易に行え
る。 10) 請求項9の発明では、画像素子アレイのカソード電
極をカソード配線に正確に位置決め固定した後に、アノ
ード電極をアノード配線に接続し、かつ2つの基板間接
続配線を接続することができる。
【図1】 実施例の画像装置の要部断面図
【図2】 実施例での凹溝を示す斜視図
【図3】 実施例での凹溝の短辺方向断面図
【図4】 実施例での凹溝の長辺方向断面図
【図5】 実施例での凹溝への電極接続を示す断面図
【図6】 実施例での凹溝でのクリーム半田配置を示
す断面図
す断面図
【図7】 実施例での凹溝の平面図
【図8】 実施例でのアレイの搭載と横倒れの防止を
示す図
示す図
【図9】 実施例でLEDアレイの高さばらつきをク
リーム半田により補正することを示す断面図
リーム半田により補正することを示す断面図
【図10】 変形例での凹溝底面のカソード電極パター
ンを示す図
ンを示す図
【図11】 変形例での凹溝の断面図
【図12】 変形例の凹溝の斜視図
【図13】 変形例での基準プレートを示す図
【図14】 変形例での基準プレートによる位置決め過
程を示す図
程を示す図
【図15】 変形例の断面図
【図16】 実施例でのカソード電極基板とアノード電
極基板を示す斜視図
極基板を示す斜視図
【図17】 実施例でカソード電極基板とアノード電極
基板とをバンプ接続により基板間接続した状態を示す示
す断面図
基板とをバンプ接続により基板間接続した状態を示す示
す断面図
【図18】 実施例でのカソード駆動ICとLEDアレ
イの接続を示す図
イの接続を示す図
【図19】 実施例でのアノード駆動ICとLEDアレ
イの接続を示す図
イの接続を示す図
【図20】 変形例でのカソード駆動ICとLEDアレ
イの接続を示す図
イの接続を示す図
2 LEDアレイ 42 半田
バンプ 4 カソード配線基板 43 接続
配線部 6 アノード配線基板 50 凹溝 8 凹溝 52,54 基準
面 10 凹溝内のカソード配線 56 凹
溝 12 フリップチップ接続部 58,60 基
準面 14,16 基板間接続配線部 62,63 基
準プレート 20 底面 64 基
準面 22,24 斜面 70 カ
ソード駆動IC 26 液状物質 72 ア
ノード駆動IC 28 発光体 74 カ
ソード配線 30 パッド 76 ア
ノード配線 32 枠 78 絶
縁膜 33 引出し部 80 下
地アノード配線 34 コレット 82 ス
ルーホール 35 カソード電極 84 裏
面カソード配線 36 バンプ 86,88 ア
ノード配線 40 凹溝内のカソード配線 90 カ
ソード配線
バンプ 4 カソード配線基板 43 接続
配線部 6 アノード配線基板 50 凹溝 8 凹溝 52,54 基準
面 10 凹溝内のカソード配線 56 凹
溝 12 フリップチップ接続部 58,60 基
準面 14,16 基板間接続配線部 62,63 基
準プレート 20 底面 64 基
準面 22,24 斜面 70 カ
ソード駆動IC 26 液状物質 72 ア
ノード駆動IC 28 発光体 74 カ
ソード配線 30 パッド 76 ア
ノード配線 32 枠 78 絶
縁膜 33 引出し部 80 下
地アノード配線 34 コレット 82 ス
ルーホール 35 カソード電極 84 裏
面カソード配線 36 バンプ 86,88 ア
ノード配線 40 凹溝内のカソード配線 90 カ
ソード配線
Claims (9)
- 【請求項1】 各々下面にカソード電極、上面に複数個
のアノード電極を有する、複数個の画像素子アレイと、 上面に複数個の長方形状の凹溝を有し、且つ該各凹溝の
底面から側面を介し上面へと導出したカソード配線を有
する第1基板と、 下面に複数個のアノード配線を有する第2基板とからな
り、 前記第1基板の各凹溝内に画像素子アレイを収容し、画
像素子アレイのカソード電極を第1基板のカソード配線
に接続すると共に、アノード電極を第2基板のアノード
配線にフリップチップ接続した、ことを特徴とする画像
装置。 - 【請求項2】 前記凹溝底面内のカソード配線を、複数
個の島部と該島部を接続する接続配線部とで形成した、
ことを特徴とする請求項1に記載の画像装置。 - 【請求項3】 前記凹溝底面内のカソード配線を、中央
部に窪みを有する平板状とした、ことを特徴とする請求
項1に記載の画像装置。 - 【請求項4】 前記凹溝の2つの長辺側側面を傾斜面と
し、且つ第1基板の上面に、画像素子アレイの側面と当
接する穴部を有する位置合わせプレートを、該穴部を凹
溝に対向させた状態で取り付けた、ことを特徴とする請
求項1〜3に記載の画像装置。 - 【請求項5】 前記凹溝の1つの長辺側側面を傾斜面と
なし、他の側面を画像素子アレイの位置合わせ基準面と
した、ことを特徴とする請求項1〜3に記載の画像装
置。 - 【請求項6】 前記凹溝の長辺側傾斜面の傾斜角を60
度以下とした、ことを特徴とする請求項5に記載の画像
装置。 - 【請求項7】 前記各凹溝内に画像素子アレイを収容
し、画像素子アレイのカソード電極を該凹溝内のカソー
ド配線に半田接続すると共に、各カソード電極と各カソ
ード配線間の半田厚さを変化させて、各画像素子アレイ
のアノード電極面を同一平面上に位置させた、ことを特
徴とする請求項1〜5に記載の画像装置。 - 【請求項8】 前記第1基板及び第2基板の各々に基板
間接続配線を設けると共に、両基板間接続配線を接続す
るようにした請求項1〜7に記載の画像装置。 - 【請求項9】 前記第1基板のカソード配線と画像素子
アレイのカソード電極とを半田を介して接続するととも
に、第1基板及び第2基板の各々に設けた基板間接続配
線を、前記画像素子アレイのカソード電極と第1基板の
カソード配線とを接続する半田よりも低融点の半田を介
して接続するようにした請求項8に記載の画像装置。
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JP23237094A JP3460330B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 画像装置 |
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JP23237094A JP3460330B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 画像装置 |
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JPH0872307A true JPH0872307A (ja) | 1996-03-19 |
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JP23237094A Expired - Fee Related JP3460330B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 画像装置 |
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-
1994
- 1994-08-31 JP JP23237094A patent/JP3460330B2/ja not_active Expired - Fee Related
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