JPH085922A - 顕微鏡 - Google Patents

顕微鏡

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JPH085922A
JPH085922A JP5345993A JP34599393A JPH085922A JP H085922 A JPH085922 A JP H085922A JP 5345993 A JP5345993 A JP 5345993A JP 34599393 A JP34599393 A JP 34599393A JP H085922 A JPH085922 A JP H085922A
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Uwe Hoff
ウヴェ・ホフ
Joerg-Roger Peters
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 外部から顕微鏡が受ける振動により、顕微鏡
の像が動くことを抑制すること。 【構成】 光学構造の少なくとも一部が、観察対象物か
ら離間している顕微鏡において、光軸に対して垂直な少
なくとも1つの方向において外部から光学構造体に作用
する振動を補正するために、少なくとも1つの駆動要素
を設け、センサからの信号を電子回路により変換して前
記駆動要素に与える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】顕微鏡は周囲環境による震動にさらされ
ている。特に、観察すべき物体が顕微鏡と固定結合して
いない場合には、そのような振動(意図しない接触,建
物の揺れなど)は顕微鏡での作業を困難にする。このよ
うな事態は、特に、一般的に30倍以下の倍率を有する
手術用顕微鏡について起こる。多くの場合、手術用顕微
鏡はブラケットを介して床面の台座又は天井に固定され
ている。ブラケットの強度はごく限られているので、特
に手術用顕微鏡はそれを旋回させようとしたときに傾い
てしまい、その結果、顕微鏡を使用する作業は著しく妨
げられる。
【0003】像安定化手段それ自体は知られている。特
に、欧州特許第0504930号により知られているそ
の種の手段においては、モータによりスピンドルを介し
てx−y支持台を移動させる。ところが、スピンドルを
介する間接駆動には、調整が直ちに、厳密には行われな
いために、像安定化手段の利用価値は大きく下がるとい
う欠点がある。さらに、使用によりねじ山が摩耗するの
で、ある程度の時間を経た後には調整精度の劣化が起こ
ることを考えに入れておかなければならない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、顕微
鏡の振動によって発生する像の動き、特に、光軸に対し
て垂直な方向の動きをできる限り抑制できる顕微鏡を提
供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、本発明に
より、外部から光学構造体に作用する振動を補正するた
めの少なくとも1つの駆動要素を顕微鏡の中にまたはそ
れに接して取付け、センサからの信号を駆動要素に与え
る信号へと変換する電子回路を設けることによって、解
決される。顕微鏡を本発明に従って構成することによ
り、顕微鏡をその周囲から作用する振動に対して分離で
きる。
【0006】そのような振動は通常はどちらかというと
波長が長いので、質量加速のみを利用する振動補正はご
く不満足な成果しかもたらさない。しかしながら、振動
補正のための他の能動システムも、周囲から固定された
装置、すなわち、不動の装置に作用する波長の長い振動
を全く考慮していないか、又はごく不十分にしか考慮し
ていない。
【0007】そのとき、補正は光軸に対して垂直な少な
くとも1つの方向において行われるのが好ましい。伝動
損失を回避すると共に、周囲すなわち外部から顕微鏡に
作用する振動に対する迅速且つ正確な反応を確保するた
めに、駆動要素と駆動される部品との結合は固定してい
ると有利である。そこで、対物レンズの分離は顕微鏡ハ
ウジング及び接眼レンズに対して行われるのが好まし
い。
【0008】顕微鏡の周囲からのあらゆる振動の伝達を
補正できるようにすためには、補正を光軸に対して垂直
に、2つの互いに垂直な自由度で実行すると有利であ
る。そのようにすれば、振動によって引起こされる像平
面での動きに作用を及ぼすことが可能になるので、適切
な手段を使用してその動きを補正できる。そこで、動き
の分離は、光軸に対して垂直に延在するハウジング内部
の平面において対物レンズを自在に移動できるようにす
ることにより行われる。
【0009】以下、本発明を図面に基づいてさらに詳細
に説明する。それにより、本発明のその他の本質的な特
徴と、本発明をさらに良く理解するために有用な本発明
の思想の解明及びその実現可能な構成とが説明される。
【0010】
【実施例】図1〜図4には、駆動要素として使用される
リニアモータ1を示す。リニアモータ1は本質的な構成
要素としてコイル手段4aと、固定子4bと、2つの永
久磁石2,3とを有する。
【0011】固定子4bは、たとえば、Vacoflu
xなどの透磁率の高い材料から成る、好ましくは閉じた
U字形の本体から構成されている。固定子4bの2つの
矩形アームの内面には、永久磁石2のN極が他方の永久
磁石3のS極と対向するように2つの方形の永久磁石
2,3が取付けられている。その結果、それら2つの永
久磁石2,3の間には、垂直に伸びる磁力線4cで表わ
されるほぼ一様な磁界が発生する。
【0012】回転子とも呼ばれるコイル手段4aは、巻
線(図示せず)がコイル手段4aの能動的移動方向5a
に対して垂直であると共に、永久磁石2,3の磁力線4
cに対して垂直に走っているような二重矩形コイルによ
り形成される。コイル手段4aは、コイルの片方の半体
7aが固定子4bの上方を通り且つコイルのもう片方の
半体8aが固定子4bの下方を通るような形状である。
コイル半体7a及び8aは、固定手段6を含めて片持ち
構造で一体に鋳込まれている。
【0013】コイル手段4aの内面間の幅(L)は固定
子4bの外面間の幅(A)より大きいので、コイル手段
4aは2つの移動自由度を有する。移動方向5aでは、
永久磁石2,3の磁界が電流の通っているコイル手段4
aに及ぼす力の作用によって起こる1つの自由度(すな
わち、導体に対して垂直)が得られ、また、移動方向5
bでは、それに対して垂直に、コイル本体の内のり
(L)がより大きいために、リニアモータ1の動作に影
響を及ぼすことなく別の自由度が得られる。
【0014】そこで、コイル手段4aは、リニアモータ
1のできる限り大きな駆動力を強制的に発生させること
を目的として、回転子と固定子との間のエアギャップを
最小にした上で、特に磁力線4cの磁力界の中において
同時に重量と体積を最小限に抑えつつコイル手段4aの
最大実装密度を得るために巻付け本体なしで構成されて
いる。コイル手段4aは2つの独立した矩形コイル7,
8から成る二重矩形コイルとして製造されており、それ
らのコイルには巻線7a,8aが半分ずつ分割されてい
る。それら2つの矩形コイル7,8は、それぞれ、必要
な横断面をもつ適切なの芯に巻付けられている。その後
に、コイル7,8を固定手段6を含めて1つの型にまと
め、次に一体に鋳込むことになる。そのようにして形成
されたコイル手段4aは最大限の実装密度を有し且つ構
造の体積を最小に抑えてあると共に、最適の機械的強度
と熱伝導性を示す。
【0015】この二重コイル本体4aの場合、熱を導き
出すように作用する表面は、巻線が分割されていない単
純な矩形コイルと比べて約60%高くなっている。熱を
さらに効率良く放出するために、適切な鋳型を使用する
ことにより、コイル本体4aに図に示すような外形部4
dを形成する。
【0016】コイル手段4aは異なるコイル厚さ(d1
/d2)を有する。尚、d2=d1/2である。固定子
4bの周囲に巻付けるに際して巻線7a,8aを分割す
ることにより、コイルの幅はd1=2×d2だけ減少す
る。角のある横断面をもつコイル電線を使用することに
より、体積/出力はさらに大きくなる。巻付け時に必然
的に不整列が生じるため、コイル手段4aの巻線7a,
8aは移動方向5aに対して厳密に垂直に走っていると
は限らない。
【0017】二重コイル本体の場合、先に述べた過程で
発生する横方向成分を、巻付け方向の異なる2つのコイ
ル半体を巻付け、その後に鋳込むことによって、さらに
補正できる。一方の半体の横方向成分は、その際に、他
方の半体における逆方向への巻線の傾斜位置を通る横方
向成分を相殺する。
【0018】図5〜図9には、図1〜図4に示す2つの
リニアモータ11,12並びに対物レンズマウントの装
着状態が示されている。
【0019】必要スペースをできる限り小さくするため
に、モータ11,12をアダプタの中心平面13に対し
て45°ずらして配置している。これにより、アダプタ
幅(B)を最小に保持することができる。この場合、固
定子11a又は12aはアダプタの基板15と固定結合
されている。二重コイル11bは、y方向への支持台ガ
イドとして構成されている中間リング16aと固定手段
11cを介して結合している。これに対し、二重コイル
12bはx方向への支持台ガイドとして構成されている
対物レンズホルダ16bと中間リング16aを通し、固
定手段12cを介して結合している。
【0020】対物レンズ17は、その対物レンズ17の
x方向への動きを可能にする、内側に位置した八角形の
対物レンズホルダ16bに受け入れられている。対物レ
ンズ17の光軸13aは、対物レンズ17がねじ込まれ
ている対物レンズホルダ16bの厳密な中心に位置す
る。対物レンズホルダ16bは2対のリニアガイド19
a,19bを介して、できる限り少ない摩擦をもって中
間リング16aと結合している。中間リング16aに対
する内側の対物レンズホルダ16bの動きは一方向、す
なわち、x方向にのみ可能である。
【0021】ここで、対物レンズホルダ16bは、x方
向に、中間リング16aの内側での対物レンズ17の動
きに際して利用できる遊び空間a1 を有する。x方向に
対し垂直なy方向には、中間リング16aはそれに取付
けられている2対のリニアガイド18a,18bと共
に、y方向への対物レンズ17の動きに際して利用でき
る遊び空間a2 を成す。
【0022】対物レンズホルダ16bの2対のリニアガ
イド19a,19bに対して90°ずれた位置に配置さ
れている中間リング16aの互いに対向する2対のリニ
アガイド18a,18bは、アダプタのハウジング15
と固定結合している。2対のリニアガイド18a,18
b又は19a,19bは、対物レンズがx方向にも、y
方向にも容易に動けるように構成されている。
【0023】以上説明した構造によって、対物レンズ1
7をハウジング15の外側境界に対して対角線方向に、
それら両方向に向かって移動させるx/y支持台ガイド
が形成される。このx/y支持台ガイドは取付けに要す
るスペースが最小限で済む上に、高い強度を有し、ま
た、対物レンズ17を通ってz方向へ進む光路をさえぎ
らないために、中心は遮断されていない。
【0024】このようにして得られる入れ子式の構造を
図8及び図9に示す。ここで、特に、外側中間リング1
6aの内側に向いたカラー16aaは、構造の大きさに
関して不利益を与えることなく、強度を向上させるのに
役立っている。与えられる取付け条件に応じて、このカ
ラー16aaの幾何学的形状を変更し、最適化すること
ができる。内側対物レンズ用リング16bと、そのリン
グにある補強カラー16bbの構成についても同じこと
がいえる。
【0025】機械的振動の成分は、2つの互いに直交配
置された加速センサを介して測定される(図5〜図9に
は図示せず)。その加速値から二重積分を経て付随する
経路成分を計算する。そのようにして得られる値はPI
D制御装置の目標値を表す。制御装置は、2つのリニア
モータ11,12を駆動する2つの、それらの成分に対
応する出力最終段を制御する。
【0026】リニアモータ11,12は、x/y支持台
に取付けられた対物レンズ17を振動運動とは逆位相に
動かす。瞬間的な現在値は成分に対応する線形経路セン
サにより測定されて、調整値として制御装置に供給され
る。
【0027】顕微鏡においては、主対物レンズ17(又
はその光学結像部分)の逆位相偏向は、顕微鏡を理想的
に調整した場合であっても30倍以内の倍率範囲で顕微
鏡全体の振動によって通常は主観的に認知される像の劣
化(観察者の目は顕微鏡の射出ひとみで倍率に合わせて
拡大された像の動きを追うことができなくなってしまう
ので、主観的には画質が非常に悪いと感じる)が少なく
とも強力に改善するという結果をもたらす。これとは対
象的に、主対物レンズ17の相対運動は客観的には画質
をわずかに劣化させるだけであるが、像の動きは大きく
減少するので、目は構造の詳細を再び追いかけることが
でき、それに伴って始めて1つの像を再び認知する結果
となるために、全体的に見て主観的には像は著しく改善
される。その上、静止状態で、すなわち、振動を伴わな
いよう、顕微鏡を設置した場合、対物レンズは光軸13
aで調整されており、従って、通常の顕微鏡と同様に等
しい画質が得られる。
【0028】図5〜図9に示す実施例では、顕微鏡が振
動しているときにのみ、すなわち、加速値が測定された
ときにのみ、対物レンズの光軸に対して垂直な平面の中
で応答(すなわち、対向運動)が起こるようになってい
る。すなわち、評価できない加速値を伴うほぼ一定の並
進運動に際しては、目は像の変化を追いかけることがで
きるので、運動の補正は起こらず、一方、たとえば、高
倍率の範囲で、相応する加速値を伴なう意図しない振動
に対しては、運動の補正を適用することにより、一般
に、主観的には再び像が認知されるのである。
【0029】図10a及び図10bには、手術室で普通
に見られるような従来通りの懸架方式の手術用顕微鏡3
1,31aを示す。手術用顕微鏡31をスタンド32に
固定すると、軸方向の力34と横方向の力34aが共に
スタンドの台部分35に作用を及ぼす。そこで、それた
の力34,34aはスタンド32の構成部品35a,3
5b,35c,35dを経て伝達されるので、力34,
34aは手術用顕微鏡31を相応して移動させる結果を
もたらす。
【0030】また、手術用顕微鏡31aを天井懸架構造
36によって手術室の天井に固定した場合には、軸方向
と横方向の力37,37aは天井固定部36と、天井懸
架構造36の構成部品36a,36b,36c,36d
とを経て手術用顕微鏡31aへ伝達される。
【0031】手術用顕微鏡31,31aの結合解除は、 a)垂直支持アーム35c,36cと水平支持アーム3
5b,36bとの間; b)垂直支持アーム35c,36cと手術用顕微鏡3
1,31aとの間; c)手術用顕微鏡31,31a自体 で実行可能である。
【0032】図5〜図7の実施例においては、通常、手
術用顕微鏡31,31aの焦点深度が手術用顕微鏡3
1,31aの光軸での軸方向振動の排除を不要にするの
で、横方向振動に関して手術用顕微鏡31,31aにお
ける結合解除が実現されている。その軸方向の振動をも
排除すべきであるならば、公知のオートフォーカス手段
によって排除を実行できる。
【0033】手術用顕微鏡31,31aにおける横方向
振動の排除に見られる特別の利点は、移動すべき質量が
非常にわずかであり、それによって補正手段をごく小型
に構成でき、アダプタとして形成できるということであ
る。この利点をさらに補足するものとして、システムの
反応時間が急速であることが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】リニアモータを示す部分断面図。
【図2】図1に示すリニアモータの部分断面平面図。
【図3】図1に示すリニアモータの部分断面正面図。
【図4】図1に示すリニアモータの斜視図。
【図5】安定させた対物レンズマウントの部分断面平面
図。
【図6】図5に示す対物レンズマウントのy方向平面
図。
【図7】図5に示す対物レンズマウントのx方向平面
図。
【図8】図5に示す対物レンズマウントのy方向断面
図。
【図9】図2aに示す対物レンズマウントのx方向断面
図。
【図10】(A)はスタンドに装着した手術用顕微鏡を
示し、(B)は天井懸架構造に装着した手術用顕微鏡を
示す図。
【符号の説明】
1 リニアモータ 2,3 永久磁石 4a コイル手段 4b 固定子 11,12 リニアモータ 13a 光軸 15 ハウジング 16a 中間リング 16b 対物レンズホルダ 17 対物レンズ 18a,18b,19a,19b リニアガイド 31,31a 手術用顕微鏡 32 スタンド 35b,35c,36b,36c 支持アーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウヴェ・ホフ ドイツ連邦共和国24211 プレーツ・モリ ッツ―シュレバー ―シュトラーセ・22 (72)発明者 イエルク―ローゲル・ペータース ドイツ連邦共和国24241 シュマールステ ーデ・ドルフシュトラーセ・20

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光学結像手段が観察対象物から離間して
    保持されている顕微鏡において、 外部から光学構造体に作用する振動を補正するための少
    なくとも1つの駆動要素(1,11,12)が顕微鏡の
    中にまたはそれに接して取付けられ、 センサからの信号を駆動要素(1,11,12)に与え
    る信号へと変換する電子回路が設けられていることを特
    徴とする顕微鏡。
  2. 【請求項2】 駆動要素(1,11,12)の駆動手段
    は光軸に対して垂直な方向に整列されていることを特徴
    とする請求項1記載の顕微鏡。
  3. 【請求項3】 駆動要素(1,11,12)と駆動され
    る部品との結合は固定されていることを特徴とする請求
    項1又は2記載の顕微鏡。
  4. 【請求項4】 対物レンズは駆動要素(1,11,1
    2)により顕微鏡ハウジング及び接眼レンズから分離さ
    れていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項
    に記載の顕微鏡。
  5. 【請求項5】 駆動要素(1,11,12)はリニアモ
    ータから構成されていることを特徴とする請求項1〜4
    のいずれか1項に記載の顕微鏡。
  6. 【請求項6】 顕微鏡(31,31a)の内部に力を
    加える手段(1,11,12)があることを特徴とする
    請求項1〜5のいずれか1項に記載の顕微鏡。
JP34599393A 1992-12-24 1993-12-24 顕微鏡 Expired - Lifetime JP3547090B2 (ja)

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DE4244072 1992-12-24
DE4244072.6 1992-12-24

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JP34599393A Expired - Lifetime JP3547090B2 (ja) 1992-12-24 1993-12-24 顕微鏡

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