JPH0854320A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＲＧＢディスプレイ基板から出力されるＲＧ
Ｂ信号のレベルの不良を迅速かつ正確に検出する。 【構成】 ＲＧＢディスプレイ基板としての被検査装置
２１には、１走査ラインの各ＲＧＢに対応するピクセル
のそれぞれに全階調を順に表示させるための検査信号３
１が入力される。被検査基板２１のＲＧＢの出力端子か
らクロック信号４５に同期して出力されるアナログ信号
３２は、ＲＧＢ切替スイッチ３３でＲＧＢのうちの１つ
が選択され、第１および第２のコンパレータ３６、３７
で許容レベルに納まっているかを順に判別される。許容
範囲外であった場合には、第１のカウンタ５１のカウン
ト値をアドレスとして、第２のカウンタ５２のカウント
値を位置情報とするデータが不良内容を示す情報として
ＲＡＭ５５に格納される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は基板検査装置に係わり、
特に画面上でのそれぞれの色とこれらの位置情報を表わ
した色指定情報を入力してＲＧＢディスプレイのＲ、
Ｇ、Ｂそれぞれの入力端子に３色のデータを供給するた
めのＲＧＢディスプレイ基板について、その良否を検査
するために使用される基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】パーソナルコンピュータやワークステー
ション等の画像処理装置で取り扱うデータがカラー化さ
れるに伴って、これらのデータを表示するためにＲＧＢ
ディスプレイが数多く使用されるようになっている。こ
のようなＲＧＢディスプレイは、例えば１１５２×９０
０ドットの解像度を有しており、それぞれのピクセルが
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）を有しそれぞれ２５６段
階の輝度（濃淡）で発光するようになっている。

【０００３】このような画像処理装置は、画面上のそれ
ぞれ位置とそれらの色を表わしたデータを作成し、これ
をディスプレイ制御基板（以下ＲＧＢディスプレイ基板
という。）に入力するようになっている。ＲＧＢディス
プレイ基板はディスプレイのＲＧＢ端子に入力するＲＧ
Ｂ信号を作成するようになっている。すなわち、ＲＧＢ
ディスプレイ基板内には、１画面分に相当するメモリが
備えられており、ここにＲ、Ｇ、Ｂ信号を書き込んでお
いて、これを走査して得られるＲＧＢ信号を出力するよ
うになっている。製造あるいは購入したＲＧＢディスプ
レイ基板が、それぞれのピクセルに対応して色および階
調が正確に変換されるものであるかどうかをチェックす
る必要がある。

【０００４】図６は、従来のこのような検査の様子を表
わしたものである。検査の対象となるＲＧＢディスプレ
イ基板１１は、ＲＧＢディスプレイ１２のＲＧＢ入力端
子にそれぞれ接続される。この状態で、テストパターン
１３をＲＧＢディスプレイ基板１１に入力し、作業者が
自分の目１４で画面上に表示された映像をチェックする
といったことが行われていた。

【０００５】図７は、従来用いられた他の検査手法とし
ての基板検査装置を説明するためのものである。ここで
は、ＲＧＢ信号１６をＲＧＢ分離回路１７に入力して
Ｒ、Ｇ、Ｂのそれぞれの信号として時間を追って順に取
り出していき、これらを取り出された順にＡＤ変換回路
１８に入力して、それぞれの信号レベルを表わしたディ
ジタル信号に変換する。そして、これらをメモリ１９に
ピクセル単位で書き込んでいき、これを順に読み出して
テストパターンとの一致を検査していくようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前者の目視
検査の手法では、作業者にかなりの注意力を要求するば
かりでなく、人を介在させるために、ＲＧＢ信号が例え
ば１ピクセル分だけエラーが発生していたり、１階調だ
け輝度が異なっていた場合のようにわずかなエラーが生
じていた場合にはこれを見過ごしてしまうという問題が
あった。このようなエラーを視覚的に特別に問題が生じ
ないものとしてそのまま放置して製品として出荷するこ
とは、それが回路的な誤動作に起因するような場合、後
に大きなトラブルを発生させるおそれがあった。

【０００７】後者の基板検査装置は検査を自動化するこ
とができるので、エラーの見過ごしや作業者の検査の限
界といった問題は発生しない。しかしながら検査すべき
ピクセルの数が極めて多いことから、後者の基板検査装
置では、１画面分の検査に要する時間がかかってしま
い、例えば１００ＭＨｚといったかなりの高速度のＲＧ
Ｂ信号の処理速度に追いつくことができないという問題
があった。これに対しては、ＲＧＢ信号を並列処理する
ことで処理を高速化することが考えられる。しかしなが
ら、このようにすると並列に処理する分だけ素子の数が
増大することになり、基板検査装置のコストがかなり上
昇してしまうといった問題があった。

【０００８】そこで本発明の目的は、ＲＧＢディスプレ
イ基板から出力されるＲＧＢ信号のレベルの不良を迅速
かつ正確に検出することのできる基板検査装置を提供す
ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、（イ）例えば画像の走査開始時点等の所定の時点か
らの時間の経過をクロック信号等を用いて測定する時間
測定手段と、（ロ）表示画面の所定の走査範囲のそれぞ
れの走査位置にＲＧＢの各色で所定の複数の階調が時間
測定手段で測定された時間の経過に応じて順に表示され
るような信号処理を指示したテスト用信号を検査対象と
してのＲＧＢディスプレイ基板に入力するテスト用信号
供給手段と、（ハ）このテスト用信号の入力によってＲ
ＧＢディスプレイ基板から出力されるＲＧＢの各信号が
それぞれ設定された階調を表わしているかどうかを時間
測定手段の測定した時間との関係で順に判別する判別手
段と、（ニ）この判別手段の判別した判別結果のうち設
定された階調を表わしていないとされるものを時間測定
手段の測定した時間と対応付けて記憶する記憶手段とを
基板検査装置に具備させる。

【００１０】すなわち請求項１記載の発明では、時間測
定手段によって例えば画像の走査開始時点からの時間の
経過を測定させる。そして、これに同期して検査対象の
ＲＧＢディスプレイ基板にテスト用信号を入力する。こ
のテスト用信号とは、表示画面の例えば１走査ラインの
それぞれのピクセルに対応する走査位置にＲＧＢの各色
で所定の複数の階調が時間測定手段で測定された時間の
経過に応じて順に表示されるような信号処理をＲＧＢデ
ィスプレイ基板に指示するような信号である。このよう
なテスト用信号によってＲＧＢディスプレイ基板から出
力されるＲＧＢの各信号は、それぞれ設定された階調を
表わしているかどうか判別手段で判別され、設定された
階調を表わしていないとされるものが時間測定手段の測
定した時間と対応付けてＲＡＭ等の記憶手段に格納され
ることになる。したがって、この記憶手段に格納された
内容を解析することによって、どの走査位置のどの色お
よび階調の信号処理（処理内容の保存や読み出しも含
む。以下同様。）に障害が生じているかを判別すること
ができる。

【００１１】請求項２記載の発明では、（イ）例えば画
像の走査開始時点等の所定の時点からの予め定められた
周波数のクロック信号を発生するクロック信号発生手段
と、（ロ）このクロック信号をカウントするカウンタ
と、（ハ）表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの走査
位置にＲＧＢの各色で所定の複数の階調がクロック信号
と同期して順に表示されるような信号処理を指示したテ
スト用信号を検査対象としてのＲＧＢディスプレイ基板
に入力するテスト用信号供給手段と、（ニ）このテスト
用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基板から出力
されるＲＧＢの各信号がそれぞれ設定された階調を表わ
しているかどうかをクロック信号に同期して順に判別す
る判別手段と、（ホ）この判別手段の判別した判別結果
のうち設定された階調を表わしていないとされるものを
カウンタのカウントしたカウント値と対応付けて記憶す
る記憶手段とを基板検査装置に具備させる。

【００１２】すなわち請求項２記載の発明では、クロッ
ク信号発生手段が例えば画像の走査開始時点等の所定の
時点からの予め定められた周波数のクロック信号を発生
させる。このクロック信号は所定のカウンタでカウント
される。テスト用信号供給手段は、表示画面の所定の走
査範囲のそれぞれの走査位置にＲＧＢの各色で所定の複
数の階調がクロック信号に同期して順に表示されるよう
な検査用のテスト信号をＲＧＢディスプレイ基板に入力
する。ＲＧＢディスプレイ基板からこのクロック信号に
同期して出力されるＲＧＢ信号は、設定されている階調
を表わしているかどうか順にチェックされ、その結果の
うち設定された階調を表わしていないとされるものをカ
ウンタのカウントしたカウント値と対応付けてＲＡＭ等
の記憶手段に格納されるようになっている。したがっ
て、この記憶手段に格納された内容を解析することによ
って、どの走査位置のどの色および階調の信号処理に障
害が生じているかを判別することができる。

【００１３】請求項３記載の発明では、（イ）例えば画
像の走査開始時点等の所定の時点からの予め定められた
周波数のクロック信号を発生するクロック信号発生手段
と、（ロ）表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの走査
位置にＲＧＢの各色で表示可能な全階調がクロック信号
と同期して順に表示されるような信号処理を指示したテ
スト用信号を検査対象としてのＲＧＢディスプレイ基板
に入力するテスト用信号供給手段と、（ハ）このテスト
用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基板から出力
されるべきＲＧＢの各信号に対してそれぞれ許容される
上限および下限の信号レベルをクロック信号に同期して
発生させる許容限界信号発生手段と、（ニ）テスト用信
号の入力によってＲＧＢディスプレイ基板から出力され
るＲＧＢの各信号が許容限界信号発生手段から出力され
る許容される上限および下限の信号レベルの範囲内にそ
れぞれ納まっているかどうかをクロック信号に同期して
それぞれ判別する許容範囲判別手段と、（ホ）この許容
範囲判別手段によって許容範囲を逸脱したと判別された
回数をカウントする第１のカウント手段と、（ヘ）クロ
ック信号発生手段が出力するクロック信号をカウントす
る第２のカウンタと、（ト）第１のカウンタのカウント
結果をアドレス情報として第２のカウンタのカウント結
果をそれぞれ記憶する記憶手段とを基板検査装置に具備
させる。

【００１４】すなわち請求項３記載の発明では、クロッ
ク信号発生手段によって例えば画像の走査開始時点から
所定の周波数のクロック信号を発生させ、これを第２の
カウント手段によってカウントする。また、テスト用信
号供給手段は、表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの
走査位置にＲＧＢの各色で表示可能な全階調がクロック
信号と同期して順に表示されるような信号処理を指示し
たテスト用信号をＲＧＢディスプレイ基板に入力する。
そして、これによりＲＧＢディスプレイ基板から正常な
ときに出力されるべきＲＧＢの各信号に対してそれぞれ
許容される上限および下限の信号レベルを許容限界信号
発生手段によってクロック信号に同期して発生させる。
テスト用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基板か
ら出力されるＲＧＢの各信号は、許容限界信号発生手段
から出力される上限および下限の信号レベルと許容範囲
判別手段によって順次判別され、許容範囲を逸脱した場
合にはその回数が逐次第１のカウンタによって判別され
る。この第１のカウンタのカウント値は記憶手段のアド
レス情報となり、第２のカウンタのカウント値がそれぞ
れ対応するアドレスにおける走査位置を示すカウント値
として記憶される。この結果、どの走査位置のどの色お
よび階調の信号処理に障害が生じているかの判別が可能
になる。

【００１５】

【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。

【００１６】図１は本発明の一実施例における基板検査
装置と被検査基板としてのＲＧＢディスプレイ基板の接
続関係の要部を表わしたものである。被検査基板２１の
入力端子側には、第１のパラレルＩ／Ｏ（入出力ポー
ト）２２が接続されている。第１のパラレルＩ／Ｏ２２
は、ＣＰＵ（中央処理装置）２３、ＲＯＭ２４、第１お
よび第２のＤ／Ａ変換器２５、２６および第２のパラレ
ルＩ／Ｏ２７と共にバスライン２８に接続されている。

【００１７】ここで、ＣＰＵ２３はリード・オンリ・メ
モリとしてのＲＯＭ２４に格納されたプログラムを用い
て第１および第２のＤ／Ａ変換器２５、２６ならびに第
１および第２のパラレルＩ／Ｏ２２、２７にデータを送
出し、被検査基板２１の検査を行うようになっている。
第１のパラレルＩ／Ｏ２２は被検査基板２１の入力端子
に対して所定の経時的変化を示すディジタル信号として
の検査信号３１を供給するようになっている。被検査基
板２１のＲＧＢの出力端子からはこれに対応したアナロ
グ信号３２が出力される。このアナログ信号３２はＲＧ
Ｂ切替スイッチ３３に供給される。第２のパラレルＩ／
Ｏ２７からは、このＲＧＢ切替スイッチ３３のＲ、Ｇ、
Ｂのいずれかを択一的に選択するためのスイッチ選択信
号３４が供給されるようになっている。

【００１８】ＲＧＢ切替スイッチ３３の出力側は、第１
および第２のコンパレータ３６、３７のそれぞれの比較
入力端子に入力するようになっている。第１のコンパレ
ータ３６の基準信号入力端子には、第１のＤ／Ａ変換器
２５が検査信号３１の経時的な変化に対応して出力する
第１の閾値信号３８が入力されるようになっている。ま
た、第２のコンパレータ３７の基準信号入力端子には、
第２のＤ／Ａ変換器２６が検査信号３１の同様な経時的
変化に対応して出力する第２の閾値信号３９が入力され
るようになっている。第１および第２のコンパレータ３
６、３７はそれぞれの比較結果を３入力アンド回路４１
の第１および第２の入力端子に供給することになる。

【００１９】一方、被検査基板２１からは１ライン分の
走査が開始するに先立って水平同期信号４２が出力され
るようになっている。水平同期信号４２は、フリップフ
ロップ回路４３の入力端子Ｄに入力される。このフリッ
プフロップ回路４３のクロック入力端子ＣＫには、クロ
ック発生器４４から１００ＭＨｚのクロック信号４５が
入力されるようになっている。フリップフロップ回路４
３は、クロック信号４５に同期してその出力端子Ｑから
１ライン分の走査が行われている期間の間Ｈ（ハイ）レ
ベルを示す１走査区間表示信号４７を出力する。１走査
区間表示信号４７は、３入力アンド回路４１の第３の入
力端子に供給され、第１および第２の入力端子に入力さ
れた比較結果と論理和がとられる。３入力アンド回路４
１の出力端子から出力されるこれらの論理和の演算結果
４９は、第１のカウンタ５１のクロック入力端子に供給
されると共に第２のカウンタ５２にも入力されるように
なっている。

【００２０】第１のカウンタ５１は、演算結果４９がＨ
レベルとなるたびにこれをカウントアップしてエラーの
個数を示すエラーカウント信号５４を出力する。エラー
カウント信号５４は、ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メ
モリ）５５のアドレス入力端子ＡＤＤＲに供給される。
ＲＡＭ５５は、図示していないが前記したバスライン２
８に接続されている。演算結果４９は、第２のカウンタ
５２のデータ入力端子にも供給される。第２のカウンタ
５２のクロック入力端子ＣＫには、クロック発生器４４
から出力される１００ＭＨｚのクロック信号４５と１走
査区間表示信号４７との論理積をアンド回路５６でとっ
たクロック信号５７が入力されている。クロック信号５
７は、水平同期信号の発生期間を除いた期間、すなわち
１走査ラインの表示が実際に行われる区間のみ１００Ｍ
Ｈｚの周波数で出力される歯抜けのクロック信号であ
る。

【００２１】この結果、第２のカウンタ５２は演算結果
４９がＨレベルとなったときのカウント値を、そのとき
のピクセルの位置を示したエラー時カウント値信号５８
として出力する。ただし、後に説明するように本実施例
の基板検査装置では１走査ラインを３回走査することで
ＲＧＢ３色についてのそれぞれ対応するピクセルを順に
チェックしていくことになるので、エラー時カウント値
信号５８は３ライン分のカウント値を表わすことにな
る。

【００２２】もし、第１回目のカウント値に相当するエ
ラー時カウント値信号５８が出力されたとすれば、それ
はＲ（赤）色のピクセルに対応するメモリ領域の異常を
示すものである。第１回目のカウント値の最大値をオフ
セット値とした第２のカウント値に相当するエラー時カ
ウント値信号５８が出力されたとすれば、それはＧ
（緑）色のピクセルに対応するメモリ領域の異常を示す
ものである。同様に第１回目のカウント値の最大値と第
２回目のカウント値の最大値（すなわち第１回目のカウ
ント値の最大値の２倍）をオフセット値とした第３のカ
ウント値に相当するエラー時カウント値信号５８が出力
されたとすれば、それはＢ（青）色のピクセルに対応す
るメモリ領域の異常を示すものである。エラー時カウン
ト値信号５８はＲＡＭ５５のデータ入力端子ＤＡＴＡに
供給されるようになっている。

【００２３】図２は、以上の構成の基板検査装置の制御
の流れを表わしたものである。ＣＰＵ２３は、ＲＯＭ２
４に格納されたプログラムに従って、まず変数ｍを
“１”に、次に変数ｎを“０”に初期化する（ステップ
Ｓ１０１、Ｓ１０２）。ここで変数ｍはＲＧＢのいずれ
の色を検査の対象とするかを示すもので、ここではｍが
“１”はＲ（赤）、“２”はＧ（緑）、“３”はＢ
（青）の各色の検査が行われるものとする。また、変数
ｎは階調を示したものである。本実施例の被検査基板２
１は８ビットの階調データを用いて２５６段階（０〜２
５５）の階調を出力するようになっているので、２５６
段階の階調がそれぞれ正確に表現されるための信号レベ
ルが出力されているかどうかのチェックが行われること
になる。

【００２４】以上のようにして各変数ｍ，ｎの設定が行
われたら、ＲＧＢ切替スイッチ３３の変数ｍに対応する
スイッチがオンにされる（ステップＳ１０３）。最初の
段階ではｍが“１”なので、Ｒ色に対応するスイッチが
オンにされる。次に、第ｎ階調の検査信号３１が第１の
パラレルＩ／Ｏ２２を介して被検査基板２１に出力され
る（ステップＳ１０４）。最初の段階では、第０の階調
すなわち、Ｒ、Ｇ、Ｂの各階調レベルが共に“０”の信
号が１走査ラインの対応する色のピクセルを順に指定し
て出力されることになる。

【００２５】図３は、被検査基板に入力される検査信号
のディジタル値と、このときこの被検査基板から出力さ
れるべきアナログ信号の特性を表わしたものである。横
軸は変数ｎが“０”から“２５５”まで２５６段階にわ
たって順に変化する様子を示しており、縦軸はそのとき
のＲＧＢのアナログ信号３２のレベルを示している。
今、変数ｎが“０”であるので、最低の階調の検査信号
３１が１走査ラインにわたって出力されることになる。

【００２６】この１走査ラインの階調ごとに異なる検査
信号３１のディジタル値をＤ_V で表わすものとする。Ｃ
ＰＵ２３は、ディジタル値Ｄ_V にＬＳＢ（最下位のビッ
ト）の半分を加えたディジタル値を第１のＤ／Ａ変換器
２５から第１の閾値信号３８として出力させ、また、デ
ィジタル値Ｄ_V からＬＳＢの半分を減じたディジタル値
を第２のＤ／Ａ変換器２６から第２の閾値信号３９とし
て出力させる（第２図ステップＳ１０５）。

【００２７】図４は、これら２種類の閾値信号と検査信
号の表わす信号レベルとの関係を表わしたものである。
１走査ラインごとに検査信号３１のディジタル値Ｄ_V が
１ステップずつ上昇していくが、これをそれぞれ挟む形
で第１の閾値信号３８と第２の閾値信号３９が配置され
る。この結果として、もし被検査基板２１から出力され
るＲＧＢのアナログ信号３２のレベルが第１の閾値信号
３８を越えたり第２の閾値信号３９以下であると、対応
する第１または第２のコンパレータ３６、３７からその
区間だけＬ（ロー）レベルの信号が出力され、１走査区
間表示信号４７がＨレベルであっても３入力アンド回路
４１から出力される演算結果４９はＬレベルに変化す
る。これにより、そのときの被検査基板２１における対
応する信号処理のエラーが検出されることになる。

【００２８】図５は、図１に示した基板検査装置の要部
の信号状態の一例を示したものである。同図（ａ）は被
検査基板２１から出力される水平同期信号４２を示した
ものである。この水平同期信号４２に同期して各ライン
の走査が開始されることになる。同図（ｂ）は１走査区
間表示信号４７を表わしたものである。１走査区間表示
信号４７がＨレベルの区間で１走査ラインの各ピクセル
が順に所定の階調レベルで発光走査されることになる。
同図（ｃ）は、クロック信号５７を表わしている。この
クロック信号５７は、アンド回路５６で１走査区間表示
信号４７と論理積をとっている結果として、１走査ライ
ンの各ピクセルが順に発光走査されている区間だけ発生
し、ピクセルの位置を特定するためのカウント値を第２
のカウンタ５２によって計数させることになる。

【００２９】同図（ｄ）は、演算結果４９を表わしたも
のである。３入力アンド回路４１からはすでに説明した
ようにピクセル単位の処理にエラーが発生しているとき
にＬレベルの信号状態の演算結果４９_L が出力される。
したがって、このときのクロック信号５７のカウント値
を調べることにより、どのピクセルに対応する信号処理
にエラーが発生したかを特定することができる。

【００３０】図２に戻って説明を続ける。ステップＳ１
０５で第０の階調のＲ色について１ライン分のチェック
が終了したら、次のステップＳ１０６で変数ｎが“２５
５”にまで増加しているかどうかのチェックが行われ
る。ここでは、変数ｎが“０”なので（Ｎ）、これが
“１”だけカウントアップされる（ステップＳ１０
７）。すなわち、階調レベルが＋１だけ増加する。そし
て、ステップＳ１０４およびステップＳ１０５に進み、
第１の階調のＲ色について１ライン分のチェックが行わ
れる。以下同様にして順次階調が増加していき、第２５
５階調まで同様のチェックが行われる。

【００３１】このようにして、Ｒ色についてのすべての
階調について１ライン分のチェックが終了したら（ステ
ップＳ１０６；Ｙ）、変数ｍが“３”に到達しているか
どうかのチェックが行われる（ステップＳ１０８）。現
在、変数ｍは“１”なので（Ｎ）、これが“１”だけカ
ウントアップされる（ステップＳ１０９）。そして、ス
テップＳ１０２に進み、変数ｎが再び“０”に初期化さ
れて階調が再び最低のレベルとなる。そして、この状態
で今度は変数ｍが“２”に対応するＲＧＢ切替スイッチ
３３の設定が行われる（ステップＳ１０３）。すなわ
ち、今度はＧ色のスイッチが代って選択されることにな
る。これ以降は、Ｒ色についてステップＳ１０４からＳ
１０６で説明したと同様の制御が行われる。つまり、Ｒ
色について階調“０”から階調“２５５”までの２５６
段階にわたって、合計２５６回の走査が行われ、それぞ
れについて各ピクセルごとの被検査基板２１の信号処理
の異常の有無がチェックされる。

【００３２】このようにして、Ｇ色についてのすべての
階調について１ライン分のチェックが終了したら（ステ
ップＳ１０６；Ｙ）、変数ｍが“３”に到達しているか
どうかのチェックが行われる（ステップＳ１０８）。現
在、変数ｍは“２”なので（Ｎ）、これが“１”だけカ
ウントアップされる（ステップＳ１０９）。そして、ス
テップＳ１０２に進み、変数ｎが再び“０”に初期化さ
れて階調が再び最低のレベルとなる。そして、この状態
で今度は変数ｍが“３”に対応するＲＧＢ切替スイッチ
３３の設定が行われる（ステップＳ１０３）。すなわ
ち、今度はＢ色のスイッチが代って選択されることにな
る。これ以降は、Ｒ色についてステップＳ１０４からＳ
１０６で説明したと同様の制御が行われる。つまり、Ｂ
色について階調“０”から階調“２５５”までの２５６
段階にわたって、合計２５６回の走査が行われ、それぞ
れについて各ピクセルごとの被検査基板２１の信号処理
の異常の有無がチェックされる。

【００３３】以上の処理が終了すると、ステップＳ１０
８で変数ｍが“３”であると判別される（Ｙ）。そこで
被検査基板２１のチェックがすべて終了したことにな
る。これ以降は、その検査結果が正常であるかどうかの
判別と、異常の場合には被検査基板２１のどのピクセル
に対応する信号処理回路あるいはメモリ領域に障害があ
るかを調べる手順となる。ＣＰＵ２３は、ＲＡＭ５５に
エラー時カウント値信号５８が書き込まれているかどう
かをチェックする（ステップＳ１１０）。もし、該当す
る領域がオール“０”で、何も書き込まれていない場合
には（Ｙ）、バスライン２８に接続されている図示しな
い表示装置に被検査基板２１が良品である旨の表示を行
う（ステップＳ１１１）。このような表示は、例えばＣ
ＲＴあるいは液晶ディスプレイ上に文字で行うようにし
てもよいし、良品であることを示すランプを点灯させる
ことで行うようにしてもよい。

【００３４】ＲＡＭ５５にエラー時カウント値信号５８
が書き込まれている場合には（ステップＳ１１０；
Ｎ）、前記した表示装置に被検査基板２１が不良品であ
る旨の表示を行う（ステップＳ１１２）。このような表
示は、例えばＣＲＴあるいは液晶ディスプレイ上にそれ
ぞれエラーが発生したピクセルの位置を特定する情報を
文字で行うようにしてもよいし、単に不良品であること
を示すランプを点灯させることで行うようにしてもよ
い。プリンタで不良箇所に関する情報をプリントアウト
するようにしてもよい。

【００３５】もし、被検査基板２１内に各色およびそれ
ぞれの色の１走査ラインにおける信号の処理結果を一旦
格納するメモリあるいは処理回路が複数に分かれて配置
されているような場合には、不良品であることを表わす
表示の際に、どのメモリあるいは処理回路に障害がある
可能性があるかを表示するようにしてもよい。この場
合、作業者は該当するメモリあるいは処理回路を交換し
てみて、同様の検査を再度行い、良品となればその被検
査基板２１を使用可能な部品とする。不良品のままであ
れば、それらのメモリあるいは処理回路以外の部分で障
害が発生しているものとして、必要な処置をとることに
なる。

【００３６】以上説明した実施例では２５６階調の出力
を行うＲＧＢディスプレイ基板の検査について説明した
が、これ以外の階調数のＲＧＢディスプレイ基板につい
ても同様の検査が可能である。また、実施例では合否の
基準としてＬＳＢの半分の幅としたが、これ以外の基準
を設けることは自由である。

【００３７】更に実施例ではＲＧＢディスプレイ基板が
１走査ライン分の出力を行う回路基板であることを前提
として１走査ラインに対応する回路障害を検査すること
にしたが、複数走査ライン分あるいはページ分の処理を
行う基板であれば、これらに対応する走査ラインで同様
の検査を行うようにすればよいことは当然である。ま
た、実施例ではＲＧＢの検査を順に一度で行うようにス
イッチ操作を行ったが、閾値のチェックを行う回路を３
系統用意し、パラレルに処理するようにしてもよい。こ
れにより、検査結果が更に高速で得られることになる。
この場合にはメモリを各色別に用意してもよいし、３つ
の領域に分割し書き込むようにしてもよい。１つのＲＡ
Ｍへの書き込みが競合する可能性がある場合には、その
手前にバッファメモリを用意しておくことも有効であ
る。

【００３８】更に、ＲＧＢの検査を１つずつ行って、そ
のたびにエラーが生じなければメモリ（ＲＡＭ）の内容
および第２のカウンタ５２の内容をリセットするように
してもよい。また、実施例ではＣＰＵ２３の制御内容を
表わしたプログラムをＲＯＭ２４に格納させたが、ディ
スク等の他の記憶媒体に格納しておいて、これを作業用
メモリに読み出すことで検査を行うようにしてもよい
し、検査の制御内容をシーケンサ等の回路素子を用いて
純粋に回路素子の組み合わせで構成することも可能であ
る。

【００３９】また、実施例ではＲＧＢ３色それぞれを一
括して処理する信号を検査信号３１として被検査基板２
１に供給し、ＲＧＢ切替スイッチ３３で検査の対象とな
る色の信号を分離することにしたが、１つ１つの色を別
々に指定する検査信号を用いて、ＲＧＢ切替スイッチ３
３の使用を省略することも可能である。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、時間測定手段によって時間を測定し、これに
同期してＲＧＢディスプレイ基板の処理する各ピクセル
に対応して階調のチェックを行いエラーの生じているも
のについてのみ記憶手段にその判別結果を記憶させるこ
とにしたので、記憶手段にそれぞれの階調を所定のビッ
ト数で記憶させる場合と比べてはるかに少ない容量でエ
ラーの記憶をすることができ装置を安価に製造すること
ができる。

【００４１】また、請求項２記載の発明によれば、クロ
ック信号をカウンタでカウントし、これに同期してＲＧ
Ｂディスプレイ基板の処理する各ピクセルに対応して階
調のチェックを行い、エラーの生じているものについて
はカウンタのカウント値と対応づけて記憶手段に格納す
ることにした。したがって、記憶手段にそれぞれの階調
を所定のビット数で記憶させる場合と比べてはるかに少
ない容量でエラーの記憶をすることができる。また、ク
ロック信号に同期して処理を行い、カウント値をそのま
ま書き込むことにしたので、どの色、どの階調のどの位
置のピクセルに対応する回路部分に障害が発生している
かを正確かつ容易に特定することができる。

【００４２】更に請求項３記載の発明では、クロック信
号を第２のカウンタでカウントすると共に、これに同期
してＲＧＢディスプレイ基板から出力されるＲＧＢの各
信号を許容限界信号発生手段から出力される上限および
下限の信号レベルと許容範囲判別手段によって順次判別
することにした。したがって、上限および下限の信号レ
ベルの設定によってＲＧＢディスプレイ基板の試験を要
求に応じた厳しさあるいは緩やかさで実行することがで
きる。また、記憶手段にはエラーの発生するたびにカウ
ントする第１のカウンタのカウント値をアドレス情報と
した第２のカウンタのカウント値を記憶することにした
ので、どの色、どの階調のどの位置のピクセルに対応す
る回路部分に障害が発生しているかを正確かつ容易に特
定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例における基板検査装置と被
検査基板としてのＲＧＢディスプレイ基板の接続関係の
要部を表わしたブロック図である。

【図２】 本実施例の基板検査装置の制御の流れを表わ
した流れ図である。

【図３】 被検査基板に入力される検査信号のディジタ
ル値と被検査基板から出力されるべきアナログ信号の特
性を表わした特性図である。

【図４】 本実施例における２種類の閾値信号と検査信
号の表わす信号レベルとの関係を表わした説明図であ
る。

【図５】 本実施例の基板検査装置の各部の信号状態の
変化を示したタイミング図である。

【図６】 従来のＲＧＢディスプレイ基板の検査の様子
を表わした説明図である。

【図７】 従来の基板検査装置の回路構成の概要を表わ
したブロック図である。

【符号の説明】

２１…被検査基板（ＲＧＢディスプレイ基板）、２２…
第１のパラレルＩ／Ｏ、２３…ＣＰＵ、２４…ＲＯＭ、
２５…第１のＤ／Ａ変換器（許容限界信号発生手段）、
２６…第２のＤ／Ａ変換器（許容限界信号発生手段）、
２７…第２のパラレルＩ／Ｏ、３１…検査信号、３２…
アナログ信号、３６…第１のコンパレータ（許容範囲判
別手段）、３７…第２のコンパレータ（許容範囲判別手
段）、４４…クロック発生器、５１…第１のカウンタ、
５２…第２のカウンタ、５５…ＲＡＭ（記憶手段）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の時点からの時間の経過を測定する
   時間測定手段と、 表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの走査位置にＲＧ
   Ｂの各色で所定の複数の階調が時間測定手段で測定され
   た時間の経過に応じて順に表示されるような信号処理を
   指示したテスト用信号を検査対象としてのＲＧＢディス
   プレイ基板に入力するテスト用信号供給手段と、 このテスト用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基
   板から出力されるＲＧＢの各信号がそれぞれ設定された
   階調を表わしているかどうかを前記時間測定手段の測定
   した時間との関係で順に判別する判別手段と、 この判別手段の判別した判別結果のうち設定された階調
   を表わしていないとされるものを前記時間測定手段の測
   定した時間と対応付けて記憶する記憶手段とを具備する
   ことを特徴とする基板検査装置。
2. 【請求項２】 所定の時点からの予め定められた周波数
   のクロック信号を発生するクロック信号発生手段と、 このクロック信号をカウントするカウンタと、 表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの走査位置にＲＧ
   Ｂの各色で所定の複数の階調が前記クロック信号と同期
   して順に表示されるような信号処理を指示したテスト用
   信号を検査対象としてのＲＧＢディスプレイ基板に入力
   するテスト用信号供給手段と、 このテスト用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基
   板から出力されるＲＧＢの各信号がそれぞれ設定された
   階調を表わしているかどうかを前記クロック信号に同期
   して順に判別する判別手段と、 この判別手段の判別した判別結果のうち設定された階調
   を表わしていないとされるものを前記カウンタのカウン
   トしたカウント値と対応付けて記憶する記憶手段とを具
   備することを特徴とする基板検査装置。
3. 【請求項３】 所定の時点からの予め定められた周波数
   のクロック信号を発生するクロック信号発生手段と、 表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの走査位置にＲＧ
   Ｂの各色で表示可能な全階調が前記クロック信号と同期
   して順に表示されるような信号処理を指示したテスト用
   信号を検査対象としてのＲＧＢディスプレイ基板に入力
   するテスト用信号供給手段と、 このテスト用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基
   板から出力されるべきＲＧＢの各信号に対してそれぞれ
   許容される上限および下限の信号レベルを前記クロック
   信号に同期して発生させる許容限界信号発生手段と、 前記テスト用信号の入力によってＲＧＢディスプレイ基
   板から出力されるＲＧＢの各信号が許容限界信号発生手
   段から出力される許容される上限および下限の信号レベ
   ルの範囲内にそれぞれ納まっているかどうかをクロック
   信号に同期してそれぞれ判別する許容範囲判別手段と、 この許容範囲判別手段によって許容範囲を逸脱したと判
   別された回数をカウントする第１のカウント手段と、 前記クロック信号発生手段が出力するクロック信号をカ
   ウントする第２のカウンタと、 第１のカウンタのカウント結果をアドレス情報として第
   ２のカウンタのカウント結果をそれぞれ記憶する記憶手
   段とを具備することを特徴とする基板検査装置。