JPH0852650A - 表面研磨装置 - Google Patents
表面研磨装置Info
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- JPH0852650A JPH0852650A JP6190717A JP19071794A JPH0852650A JP H0852650 A JPH0852650 A JP H0852650A JP 6190717 A JP6190717 A JP 6190717A JP 19071794 A JP19071794 A JP 19071794A JP H0852650 A JPH0852650 A JP H0852650A
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- permanent magnet
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B31/00—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
- B24B31/10—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work
- B24B31/102—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work using an alternating magnetic field
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
- B24B1/005—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes using a magnetic polishing agent
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は磁界を変化させることにより研磨
材の多変化流動を生起し、遊離したワークを研磨するこ
とを目的としたものである。 【構成】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を固
定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材と
ワークとを入れた容器を配設して研磨する装置におい
て、回転体上の永久磁石は、該回転体の円周方向および
半径方向に磁力が働くように不規則的又は規則的に配置
されたことを特徴とする表面研磨装置。磁性素材からな
る回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を
保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配
設した研磨装置において、回転体上の永久磁石は、該回
転体の外周方向および内外半径方向に磁力が働くように
磁極を不規則に配置すると共に、Ｎ極、Ｓ極の極数をほ
ぼ等しくし、かつ永久磁石を対称の位置に固定したこと
を特徴とする表面研磨装置。
材の多変化流動を生起し、遊離したワークを研磨するこ
とを目的としたものである。 【構成】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を固
定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材と
ワークとを入れた容器を配設して研磨する装置におい
て、回転体上の永久磁石は、該回転体の円周方向および
半径方向に磁力が働くように不規則的又は規則的に配置
されたことを特徴とする表面研磨装置。磁性素材からな
る回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を
保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配
設した研磨装置において、回転体上の永久磁石は、該回
転体の外周方向および内外半径方向に磁力が働くように
磁極を不規則に配置すると共に、Ｎ極、Ｓ極の極数をほ
ぼ等しくし、かつ永久磁石を対称の位置に固定したこと
を特徴とする表面研磨装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は磁界を変化させること
により研磨材の多変化流動を生起し、遊離したワークを
均一に研磨することを目的とした表面研磨装置に関す
る。
により研磨材の多変化流動を生起し、遊離したワークを
均一に研磨することを目的とした表面研磨装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来非磁性円盤上に永久磁石を規則的に
配列し、円盤の回転により磁界を変化させて、容器内の
研磨材およびワークを多方向に流動させ、これにより遊
離ワークを研磨することを目的とした金属研磨機が知ら
れている（特公平４−２６９８１号、特開昭６０−１１
８４６６号）。
配列し、円盤の回転により磁界を変化させて、容器内の
研磨材およびワークを多方向に流動させ、これにより遊
離ワークを研磨することを目的とした金属研磨機が知ら
れている（特公平４−２６９８１号、特開昭６０−１１
８４６６号）。
【０００３】
【発明により解決すべき課題】前記従来の技術によれ
ば、回転盤が非磁性であって、その中央部にワークを入
れた容器を置くと、研磨が不均等になり易い為に、均等
研磨には比較的長い時間をかけなければならない問題点
があった。また従来の磁極はＮ、Ｓ：Ｎ、Ｓと配列され
ている為に、研磨材の流動状体が繰り返えしではあるけ
れども同一になり易い問題点があり、時にはこれが欠点
となって不均一研磨を生じ、又は研磨時間をより長くし
なければならない問題点があった。更に非磁性円盤を使
用した為に磁気損失を生じる問題点があった。
ば、回転盤が非磁性であって、その中央部にワークを入
れた容器を置くと、研磨が不均等になり易い為に、均等
研磨には比較的長い時間をかけなければならない問題点
があった。また従来の磁極はＮ、Ｓ：Ｎ、Ｓと配列され
ている為に、研磨材の流動状体が繰り返えしではあるけ
れども同一になり易い問題点があり、時にはこれが欠点
となって不均一研磨を生じ、又は研磨時間をより長くし
なければならない問題点があった。更に非磁性円盤を使
用した為に磁気損失を生じる問題点があった。
【０００４】例えば、従来公知のように、磁極をＮ、
Ｓ、Ｎ、Ｓ、と規則的に磁石を配置すると、図７又は図
８のように、同一円周上（矢示２１、ループ２２）に研
磨材が流動することになる。
Ｓ、Ｎ、Ｓ、と規則的に磁石を配置すると、図７又は図
８のように、同一円周上（矢示２１、ループ２２）に研
磨材が流動することになる。
【０００５】従ってワークとメディア（磁性材、研磨
材、コンパウンドなどをいう）を入れた容器２３、２３
は必然的に磁力ゾーン２４内へ配置しなければならない
（図９）。前記磁力ゾーン２４はドーナツ状であるか
ら、容器２３の直径は回転円板２５の直径の１／２以下
にしなければならないことは明らかである。
材、コンパウンドなどをいう）を入れた容器２３、２３
は必然的に磁力ゾーン２４内へ配置しなければならない
（図９）。前記磁力ゾーン２４はドーナツ状であるか
ら、容器２３の直径は回転円板２５の直径の１／２以下
にしなければならないことは明らかである。
【０００６】仮に容器２３の直径を回転円板２５の直径
とほぼ等しくすると、図８のように、中央部２６にはル
ープ２２を生じないことになり、中央部２６のワークは
研磨不十分となり、全体として不均等研磨は免れないよ
うな問題点を生じる。前記問題点を防止する為に、容器
の中央部へ筒体を入れる場合もある。
とほぼ等しくすると、図８のように、中央部２６にはル
ープ２２を生じないことになり、中央部２６のワークは
研磨不十分となり、全体として不均等研磨は免れないよ
うな問題点を生じる。前記問題点を防止する為に、容器
の中央部へ筒体を入れる場合もある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】然るにこの発明は、磁性
回転体上へ永久磁石を規則的又は不規則的に配置して、
磁界が規則的に変化する場合の問題点を解決し又は磁力
を強化したのである。
回転体上へ永久磁石を規則的又は不規則的に配置して、
磁界が規則的に変化する場合の問題点を解決し又は磁力
を強化したのである。
【０００８】即ちこの発明は、磁性素材からなる回転体
上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁
性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研
磨装置において、回転体上の永久磁石は、該回転体の外
周方向および内外半径方向に磁力が働くように不規則に
配置されたことを特徴とする表面研磨装置である。また
他の発明は、磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を
固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材
とワークとを入れた容器を配設した研磨装置において、
回転体上の永久磁石は、該回転体の外周方向および内外
半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置すると
共に、Ｎ極、Ｓ極の極数をほぼ等しくし、かつ永久磁石
を対称の位置に固定したことを特徴とする表面研磨装置
である。
上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁
性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研
磨装置において、回転体上の永久磁石は、該回転体の外
周方向および内外半径方向に磁力が働くように不規則に
配置されたことを特徴とする表面研磨装置である。また
他の発明は、磁性素材からなる回転体上に、永久磁石を
固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材
とワークとを入れた容器を配設した研磨装置において、
回転体上の永久磁石は、該回転体の外周方向および内外
半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置すると
共に、Ｎ極、Ｓ極の極数をほぼ等しくし、かつ永久磁石
を対称の位置に固定したことを特徴とする表面研磨装置
である。
【０００９】次に他の発明は磁性素材からなる回転体上
に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性
材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨
装置において、回転体上の永久磁石は、最外側の同心円
上に三個のＮ極と、三個のＳ極を等間隔で直径対称に配
置し、中間の同心円上に、各一個のＮ極を直径対称に配
置し、最内側の同心円上に、各一個のＳ極を直径対称に
配置したことを特徴とする表面研磨装置であり、磁性素
材からなる回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に
小間隙を保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた
容器を配設した研磨装置において、回転体上の永久磁石
は、同心円周上に配置すると共に、少くとも隣接同心円
における永久磁石の中心は回転体の異なる半径上に配置
したことを特徴とする表面研磨装置である。
に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性
材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨
装置において、回転体上の永久磁石は、最外側の同心円
上に三個のＮ極と、三個のＳ極を等間隔で直径対称に配
置し、中間の同心円上に、各一個のＮ極を直径対称に配
置し、最内側の同心円上に、各一個のＳ極を直径対称に
配置したことを特徴とする表面研磨装置であり、磁性素
材からなる回転体上に、永久磁石を固定し、その上方に
小間隙を保って磁性材を含む研磨材とワークとを入れた
容器を配設した研磨装置において、回転体上の永久磁石
は、同心円周上に配置すると共に、少くとも隣接同心円
における永久磁石の中心は回転体の異なる半径上に配置
したことを特徴とする表面研磨装置である。
【００１０】更に磁性素材からなる回転体上に、永久磁
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、回転体の等分割半径付近に
中心を有する複数の円弧曲線上にその中心を有し、かつ
各永久磁石はほぼ回転対称的に配置したことを特徴とす
る表面研磨装置であり、磁性素材からなる回転体上に、
永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を
含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置
において、回転体上の永久磁石は、回転体の中心を通過
する区画線によって区画された中へ、Ｎ極、Ｓ極の順
に、順次配列したことを特徴とする表面研磨装置であ
る。
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、回転体の等分割半径付近に
中心を有する複数の円弧曲線上にその中心を有し、かつ
各永久磁石はほぼ回転対称的に配置したことを特徴とす
る表面研磨装置であり、磁性素材からなる回転体上に、
永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を
含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置
において、回転体上の永久磁石は、回転体の中心を通過
する区画線によって区画された中へ、Ｎ極、Ｓ極の順
に、順次配列したことを特徴とする表面研磨装置であ
る。
【００１１】また他の発明は磁性素材からなる回転体上
に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性
材を含む研磨材と、ワークとを入れた容器を配設した研
磨装置において、回転体上の中央部の４個の永久磁石
は、回転体の中心を中心とする二つの同心円周上へ、夫
々二つの同磁極又は異磁極を対称的に配置したことを特
徴とする表面研磨装置である。
に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性
材を含む研磨材と、ワークとを入れた容器を配設した研
磨装置において、回転体上の中央部の４個の永久磁石
は、回転体の中心を中心とする二つの同心円周上へ、夫
々二つの同磁極又は異磁極を対称的に配置したことを特
徴とする表面研磨装置である。
【００１２】また非磁性素材からなる回転体に、少くと
も２個の異磁極の永久磁石が所定間隔で固定できる磁性
連結板を固定したものである。
も２個の異磁極の永久磁石が所定間隔で固定できる磁性
連結板を固定したものである。
【００１３】前記のように、回転体に固着した磁石の配
列を変えれば、メディアおよびワークに多少異った運動
を与えることができる。従って磁石付の回転体そのもの
を取替えることにより、メディアおよびワークの流動の
異なる研磨を行うことができる。換言すれば、ワークの
形状（例えば小片板、小針棒、短片など）に適した流動
状態を実現させることができる。
列を変えれば、メディアおよびワークに多少異った運動
を与えることができる。従って磁石付の回転体そのもの
を取替えることにより、メディアおよびワークの流動の
異なる研磨を行うことができる。換言すれば、ワークの
形状（例えば小片板、小針棒、短片など）に適した流動
状態を実現させることができる。
【００１４】前記における磁性素材としては、鉄板その
他の強磁性板が用いられる。
他の強磁性板が用いられる。
【００１５】前記において回転体としては、通常円板が
用いられるが角板でも回転アームでも用いることができ
る。例えば回転アームを用いる時には、各アームに夫々
永久磁石を固定する。
用いられるが角板でも回転アームでも用いることができ
る。例えば回転アームを用いる時には、各アームに夫々
永久磁石を固定する。
【００１６】また磁性材は、磁性研磨材とその他の磁性
片の単独又は混合物であり、メディア全部を磁性材とす
ることもできるが、一部のみを磁性材とすることもでき
る。磁性材の量は、少なくともメディアの流動を生起さ
せることができる量があればよいことになる。磁性材に
ついては、従来使用されていたものをそのまま使用する
ことができる。
片の単独又は混合物であり、メディア全部を磁性材とす
ることもできるが、一部のみを磁性材とすることもでき
る。磁性材の量は、少なくともメディアの流動を生起さ
せることができる量があればよいことになる。磁性材に
ついては、従来使用されていたものをそのまま使用する
ことができる。
【００１７】またメディアおよびワークを収容する容器
は、非磁性材料からなり、密閉型で、研磨中にメディア
およびワークが外に洩れないようにすることが望まし
い。例えば蓋付の合成樹脂容器が使用される。
は、非磁性材料からなり、密閉型で、研磨中にメディア
およびワークが外に洩れないようにすることが望まし
い。例えば蓋付の合成樹脂容器が使用される。
【００１８】前記における各永久磁石の位置変動の許容
量（例えば同心円からのはみだし量）は、近隣永久磁石
の影響力が大きくならない範囲（例えば対応永久磁石間
の磁力線の流れを変えない範囲）とする。例えば前記の
ほぼ回転対称的とは、回転対称位置が隣接永久磁石との
間隔の１／２以内のずれをいう。
量（例えば同心円からのはみだし量）は、近隣永久磁石
の影響力が大きくならない範囲（例えば対応永久磁石間
の磁力線の流れを変えない範囲）とする。例えば前記の
ほぼ回転対称的とは、回転対称位置が隣接永久磁石との
間隔の１／２以内のずれをいう。
【００１９】前記における回転体は、円盤である必要な
く、例えば６角盤又は中心ボスから複数のアームを放射
状に突設したもの又は該アームの外端にリングを設けた
ものでもよい。
く、例えば６角盤又は中心ボスから複数のアームを放射
状に突設したもの又は該アームの外端にリングを設けた
ものでもよい。
【００２０】
【作用】この発明によれば、永久磁石を磁力が円周方向
と、半径方向に向くように不規則に並べたので、回転磁
界により容器内容物を不規則に流動させ、容器内容物の
全体を動きまわらせる。従って研磨材があらゆる方向か
らワークに作用するために、複雑な形状のものでも均等
に表面研磨することができる。
と、半径方向に向くように不規則に並べたので、回転磁
界により容器内容物を不規則に流動させ、容器内容物の
全体を動きまわらせる。従って研磨材があらゆる方向か
らワークに作用するために、複雑な形状のものでも均等
に表面研磨することができる。
【００２１】
【実施例１】ハウジング１内へモータ２を縦型に固定
し、モータ２の軸３へ強磁性素材（例えばフェライト
板）からなる回転盤４（回転体である）を固定し、該回
転盤４上へ、円盤状の永久磁石５を磁極を上下にして固
着する。Ｎ、Ｓほぼ同数の永久磁石５はお互に接触しな
いように少し間隔を置いて不規則に配置し固着する。前
記回転盤４を回転させた時に振動が起らないように永久
磁石５はバランスよく配置しなければならないが、直径
対称的配置はその一例である。
し、モータ２の軸３へ強磁性素材（例えばフェライト
板）からなる回転盤４（回転体である）を固定し、該回
転盤４上へ、円盤状の永久磁石５を磁極を上下にして固
着する。Ｎ、Ｓほぼ同数の永久磁石５はお互に接触しな
いように少し間隔を置いて不規則に配置し固着する。前
記回転盤４を回転させた時に振動が起らないように永久
磁石５はバランスよく配置しなければならないが、直径
対称的配置はその一例である。
【００２２】前記における回転磁界は円板７にさえぎら
れることなくその上方に貫通して出なければならない。
従って円板７は磁界に対して全く変化を及ぼさない完全
非磁性材を使うことが肝要である。円板７はハウジング
１の段部８に嵌着設置する。
れることなくその上方に貫通して出なければならない。
従って円板７は磁界に対して全く変化を及ぼさない完全
非磁性材を使うことが肝要である。円板７はハウジング
１の段部８に嵌着設置する。
【００２３】前記円板７上へ、ワーク９（例えば金属小
部品）と、適量のメディア１０を入れた合成樹脂製の筒
状容器１１（密閉蓋１５付）を載置する。
部品）と、適量のメディア１０を入れた合成樹脂製の筒
状容器１１（密閉蓋１５付）を載置する。
【００２４】図１中１２ａ、１２ｂはＯＮ、ＯＦＦスイ
ッチ、１３はスピード調節摘み、１４はタイマー、１６
は研磨溶液面である。
ッチ、１３はスピード調節摘み、１４はタイマー、１６
は研磨溶液面である。
【００２５】前記実施例において、筒状容器１１内へそ
の容量の１／２以下のメディア１０（磁性研磨材又は磁
性研磨材と非磁性研磨材の混合物）を収容すると共に、
メディア１０の１／２以下の量のワーク９を入れた後、
前記筒状容器１１を円板７上へ載置する。つぎにモータ
を始動し、回転盤４を毎分５００〜４０００回転すれ
ば、永久磁石による交番磁界を生じ、メディア１０が不
規則に流動する。従ってワークは容器内容物の全体を動
き廻り複雑な形状であっても容易に均一研磨することが
できる。
の容量の１／２以下のメディア１０（磁性研磨材又は磁
性研磨材と非磁性研磨材の混合物）を収容すると共に、
メディア１０の１／２以下の量のワーク９を入れた後、
前記筒状容器１１を円板７上へ載置する。つぎにモータ
を始動し、回転盤４を毎分５００〜４０００回転すれ
ば、永久磁石による交番磁界を生じ、メディア１０が不
規則に流動する。従ってワークは容器内容物の全体を動
き廻り複雑な形状であっても容易に均一研磨することが
できる。
【００２６】前記実施例によれば、図５のように、磁束
の変化によって、研磨材およびワークは同心円的流動
（矢示１７）の他に、放射的流動（矢示１８）を生じ
る。従って図６のように、円周方向のループ１９と内外
方向のループ２０を生じる。
の変化によって、研磨材およびワークは同心円的流動
（矢示１７）の他に、放射的流動（矢示１８）を生じ
る。従って図６のように、円周方向のループ１９と内外
方向のループ２０を生じる。
【００２７】即ち中央部の流動の空白がなくなり、筒状
容器１１をどの位置においても、或いは円板７とほぼ等
しい大容量を１つおいても、何れも均等研磨ができる。
従って従来の方式と同一直径の容器を使用する場合に
は、回転盤の直径を小さくできるので、全体をコンパク
トに造ることができる。
容器１１をどの位置においても、或いは円板７とほぼ等
しい大容量を１つおいても、何れも均等研磨ができる。
従って従来の方式と同一直径の容器を使用する場合に
は、回転盤の直径を小さくできるので、全体をコンパク
トに造ることができる。
【００２８】また容器内のワークとメディアは、容器の
外周側と、中心側が適宜入れ替ることになり、一層均等
の研磨が行われる。
外周側と、中心側が適宜入れ替ることになり、一層均等
の研磨が行われる。
【００２９】またモータの回転方向を一定時間をきめ
て、定期的に作動中変更すれば又違った複雑な流動を起
すことができる。即ち今まで外から内側へ向っていた流
動の変化は内から外側へ、内から外側へ向っていたもの
は外から内側へと変るので、メディアがワークに作用す
る部位も違ってくる。
て、定期的に作動中変更すれば又違った複雑な流動を起
すことができる。即ち今まで外から内側へ向っていた流
動の変化は内から外側へ、内から外側へ向っていたもの
は外から内側へと変るので、メディアがワークに作用す
る部位も違ってくる。
【００３０】従って細部まであらゆる方向から研磨作用
が行われる。
が行われる。
【００３１】
【実施例２】図１０の実施例は小型研磨機（例えば回転
盤の直径７０mm〜２００mm）である。
盤の直径７０mm〜２００mm）である。
【００３２】前記小型研磨機においては、回転盤を１０
００rpm 〜２４００rpm に回転させた場合に、次の配置
にした方が研磨効率が良好であった。
００rpm 〜２４００rpm に回転させた場合に、次の配置
にした方が研磨効率が良好であった。
【００３３】即ち回転盤２７の中心Ｏを中心とする同心
円２８、２９に永久磁石３０の３個を夫々等間隔に配置
すると共に、同心円２８には２個のＳ極と、１個のＮ極
を配置し、同心円２９には２個のＮ極と、１個のＳ極を
配置し、前記同心円２８、２９上の各永久磁石３０は同
一半径上に位置しないように配置したものである。
円２８、２９に永久磁石３０の３個を夫々等間隔に配置
すると共に、同心円２８には２個のＳ極と、１個のＮ極
を配置し、同心円２９には２個のＮ極と、１個のＳ極を
配置し、前記同心円２８、２９上の各永久磁石３０は同
一半径上に位置しないように配置したものである。
【００３４】例えば同心円２８、２９上の永久磁石の中
心を通る回転盤の夫々の半径４１、４２には鋭角（例え
ば１５°〜６０°）のずれを付与する。
心を通る回転盤の夫々の半径４１、４２には鋭角（例え
ば１５°〜６０°）のずれを付与する。
【００３５】前記実施例によれば、回転盤２７の回転に
よって、磁力線密度の極端な差異がなくなり、均等研磨
が期待できる。例えばＮ→Ｓ，Ｓ→Ｎと交番の磁極の変
化が起きないので、研磨石の運動がよりランダムになつ
てよりよい研磨ができる。
よって、磁力線密度の極端な差異がなくなり、均等研磨
が期待できる。例えばＮ→Ｓ，Ｓ→Ｎと交番の磁極の変
化が起きないので、研磨石の運動がよりランダムになつ
てよりよい研磨ができる。
【００３６】
【実施例３】図１１の実施例は、大型研磨機（例えば回
転盤の直径２００mm以上）である。
転盤の直径２００mm以上）である。
【００３７】即ち回転盤３１を４等分する半径３２、３
３、３４、３５の適切な位置を中心とする円弧３６、３
７、３８、３９を描き、この円弧上へ永久磁石４０、４
０を所定間隔（ほぼ等間隔）に配置したものである。
３、３４、３５の適切な位置を中心とする円弧３６、３
７、３８、３９を描き、この円弧上へ永久磁石４０、４
０を所定間隔（ほぼ等間隔）に配置したものである。
【００３８】前記永久磁石４０は、回転盤３１の中心Ｏ
に近い側から、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓ極とＮ、Ｎ、Ｓ、Ｎ極の
交互の２通りになっており、全永久磁石を半径による一
定大きさの区分により、Ｎ、Ｓ極の夫々のゾーンに分割
することはできない。
に近い側から、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓ極とＮ、Ｎ、Ｓ、Ｎ極の
交互の２通りになっており、全永久磁石を半径による一
定大きさの区分により、Ｎ、Ｓ極の夫々のゾーンに分割
することはできない。
【００３９】前記実施例における二組に分れた永久磁石
４０は異種毎に夫々回転対称になるが、隣接永久磁石間
においては、回転対称にならない。
４０は異種毎に夫々回転対称になるが、隣接永久磁石間
においては、回転対称にならない。
【００４０】前記における各極の位置が多少ずれても本
質的変化はないが、Ｎ、Ｓ極の磁力線授受が変る程ずれ
ると、研磨効果に差異を生じる。
質的変化はないが、Ｎ、Ｓ極の磁力線授受が変る程ずれ
ると、研磨効果に差異を生じる。
【００４１】図１２において、回転盤３１を矢示４３の
ように旋回させると、容器４４内のメディア及び研磨石
４５は矢示４６のように自転する。
ように旋回させると、容器４４内のメディア及び研磨石
４５は矢示４６のように自転する。
【００４２】
【実施例４】図１３の実施例は、図１１の実施例から、
永久磁石数を４個少なくしたもので図１１よりも小型の
研磨装置に用いる。
永久磁石数を４個少なくしたもので図１１よりも小型の
研磨装置に用いる。
【００４３】即ち回転盤４７上の最外側の同心円４８上
に、４個の永久磁石４９を、等間隔に、Ｎ、Ｓ、Ｎ、
Ｓ、の順に配置する。次に同心円４８の内側へ設けた小
間隔を保つ同心円５０、５１を設けて各同心円５０、５
１上へ、夫々同極の永久磁石４９、４９を同一直径上
で、異極がほゞ９０度の関係位置を保つように固定す
る。
に、４個の永久磁石４９を、等間隔に、Ｎ、Ｓ、Ｎ、
Ｓ、の順に配置する。次に同心円４８の内側へ設けた小
間隔を保つ同心円５０、５１を設けて各同心円５０、５
１上へ、夫々同極の永久磁石４９、４９を同一直径上
で、異極がほゞ９０度の関係位置を保つように固定す
る。
【００４４】前記同心円５１の内側へ所定の間隔を保つ
て同心円５２、５３を設け、各同心円上へ夫々２個の同
極の永久磁石４９、４９を直径対称的に配置して、この
実施例の磁場構成部材を完成する。
て同心円５２、５３を設け、各同心円上へ夫々２個の同
極の永久磁石４９、４９を直径対称的に配置して、この
実施例の磁場構成部材を完成する。
【００４５】前記同心円５１、５１；５２、５３の間隔
は余り大きくなく、永久磁石の半径よりも小さいことが
望ましい。
は余り大きくなく、永久磁石の半径よりも小さいことが
望ましい。
【００４６】
【実施例５】図１４（ａ）の実施例は回転盤５４の外周
部へ設けた同心円５５上に、８個の永久磁石５６、５６
を、Ｎ、Ｎ、ＳＳ、Ｎ、Ｎ、ＳＳと２個宛同極とするよ
うに等間隔に配置する。
部へ設けた同心円５５上に、８個の永久磁石５６、５６
を、Ｎ、Ｎ、ＳＳ、Ｎ、Ｎ、ＳＳと２個宛同極とするよ
うに等間隔に配置する。
【００４７】また内側の同心円５７上に４個の永久磁石
をＮ、Ｓ、Ｎ、Ｓの順に等間隔に配置する。前記内側と
外側の永久磁石の中心（例えばＯ1 、Ｏ2 ）は、回転盤
５４の異なる半径（例えばｒ1 、ｒ2 ）上におくように
することが望ましい。
をＮ、Ｓ、Ｎ、Ｓの順に等間隔に配置する。前記内側と
外側の永久磁石の中心（例えばＯ1 、Ｏ2 ）は、回転盤
５４の異なる半径（例えばｒ1 、ｒ2 ）上におくように
することが望ましい。
【００４８】図１４（ａ）の実施例においては、内側１
個、外側２個の永久磁石がほゞ３角形５８の頂点に位置
するように配置する。
個、外側２個の永久磁石がほゞ３角形５８の頂点に位置
するように配置する。
【００４９】図１４（ｂ）の実施例は、図１４（ａ）の
実施例における外側の永久磁石５６中隣接永久磁石５
６、５６ａの中心を、夫々異なる同心円５５、５５ａ上
に配置したものである。
実施例における外側の永久磁石５６中隣接永久磁石５
６、５６ａの中心を、夫々異なる同心円５５、５５ａ上
に配置したものである。
【００５０】このように配置すれば回転盤５４が矢示７
２の方向へ回転する場合と矢示７３の方向へ回転する場
合によつて、メデイアの流れが著しく変る。従つて回転
盤５４を正逆回転する伝動装置に連結することにより、
研磨効率を向上させることができる。
２の方向へ回転する場合と矢示７３の方向へ回転する場
合によつて、メデイアの流れが著しく変る。従つて回転
盤５４を正逆回転する伝動装置に連結することにより、
研磨効率を向上させることができる。
【００５１】
【実施例６】図１５の実施例は、回転盤５９の外側に小
間隔を保った同心円６０、６１上に、２個の同極の永久
磁石６２、６２を夫々直径的にかつ異極か直交位置にあ
るように固定する。
間隔を保った同心円６０、６１上に、２個の同極の永久
磁石６２、６２を夫々直径的にかつ異極か直交位置にあ
るように固定する。
【００５２】次に回転盤５９の内側へ小間隔を保つた同
心円６３、６４上に、２個の同極の永久磁石６２、６２
を直径対称的にかつ異極直交的に配置し、前記外側の永
久磁石と、回転盤の同一直径上位置しないように（メデ
イアの流れがランダムになる）配慮して、磁場を構成し
たものである。
心円６３、６４上に、２個の同極の永久磁石６２、６２
を直径対称的にかつ異極直交的に配置し、前記外側の永
久磁石と、回転盤の同一直径上位置しないように（メデ
イアの流れがランダムになる）配慮して、磁場を構成し
たものである。
【００５３】
【実施例７】図１６の実施例は、非磁性回転盤６５上
に、配置した内外の永久磁石６６、６６の異磁極を固定
する磁性連結板６７、６７を回転バランスを保っように
埋設したものである。
に、配置した内外の永久磁石６６、６６の異磁極を固定
する磁性連結板６７、６７を回転バランスを保っように
埋設したものである。
【００５４】前記磁性連結板６７は、非磁性回転盤６５
へ一部又は全部埋設し、或いは非磁性回転盤６５上へ固
定する。何れにしても、全永久磁石の上面が一致するこ
とが望ましい。
へ一部又は全部埋設し、或いは非磁性回転盤６５上へ固
定する。何れにしても、全永久磁石の上面が一致するこ
とが望ましい。
【００５５】磁性連結板としては鉄板その他の強磁性板
を用いる。前記磁性連結板の有無により各永久磁石間の
磁力は約２０％異なるが、強弱の磁場を形成することに
よって磁性研磨材に複雑な運動を与え、比較的複雑な形
状のワークでも容易に均一研磨することができる。
を用いる。前記磁性連結板の有無により各永久磁石間の
磁力は約２０％異なるが、強弱の磁場を形成することに
よって磁性研磨材に複雑な運動を与え、比較的複雑な形
状のワークでも容易に均一研磨することができる。
【００５６】
【実施例８】図１７（ａ）の実施例は鉄円盤６８上を中
心を通る区画線６９、７０によりゾーンＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ
に区画し、各ゾーンへ夫々永久磁石７１、７１をＮ、
Ｓ、Ｎ、Ｓの順にかつ直径対称的に配置したものであ
る。
心を通る区画線６９、７０によりゾーンＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ
に区画し、各ゾーンへ夫々永久磁石７１、７１をＮ、
Ｓ、Ｎ、Ｓの順にかつ直径対称的に配置したものであ
る。
【００５７】図１７（ｂ）の実施例は、図１７（ａ）の
実施例において、隣接永久磁石７１、７１ａの回転盤の
中心Ｏからの距離Ｌ1 、Ｌ2 を異になるように配置した
ものである。
実施例において、隣接永久磁石７１、７１ａの回転盤の
中心Ｏからの距離Ｌ1 、Ｌ2 を異になるように配置した
ものである。
【００５８】このようにすれば回転盤６８の回転方向
（矢示７４、７５）によって、メデイアの流れが著しく
変ることになる。従つて回転盤５４を正逆回転する伝動
装置に連結することにより、研磨効率を向上させること
ができる。
（矢示７４、７５）によって、メデイアの流れが著しく
変ることになる。従つて回転盤５４を正逆回転する伝動
装置に連結することにより、研磨効率を向上させること
ができる。
【００５９】この実施例は、従来公知の研磨装置の非磁
性回転盤に代えて磁性回転盤を用いたものである。従っ
て使用永久磁石の数に限定なく、従来公知のものは総て
当て嵌る。即ちワーク及びメデイアの運動は規則的にな
るが構造が簡単で比較的弱い永久磁石でも使用すること
ができる。
性回転盤に代えて磁性回転盤を用いたものである。従っ
て使用永久磁石の数に限定なく、従来公知のものは総て
当て嵌る。即ちワーク及びメデイアの運動は規則的にな
るが構造が簡単で比較的弱い永久磁石でも使用すること
ができる。
【００６０】
【発明の効果】この発明によれば、磁性回転体上へ永久
磁石を規則的又は不規則的に配置したので、回転体を一
定速度で回転すれば、研磨材およびワークは交番磁界に
より円周方向および放射方向へ不規則流動し、複雑な外
形のワークでも、その表面を容易、かつ均一に研磨し得
る効果がある。特に回転盤の中央でも研磨できる効果が
ある。
磁石を規則的又は不規則的に配置したので、回転体を一
定速度で回転すれば、研磨材およびワークは交番磁界に
より円周方向および放射方向へ不規則流動し、複雑な外
形のワークでも、その表面を容易、かつ均一に研磨し得
る効果がある。特に回転盤の中央でも研磨できる効果が
ある。
【００６１】この発明の、回転盤上の永久磁石の配置に
おいて、夫々のゾーンに分けられない状態（即ちランダ
ム配置）に配置したので、研磨材の運動が複雑化し、ワ
ークを不規則に移動させるので、ワークは均等に研磨さ
れる効果がある。またＮ、Ｓ極はゾーン化することなく
各ゾーンにＮ、Ｓ極をランダムに配置させた場合には、
回転盤の中心部の死角がなくなり、研磨効率を向上させ
る効果がある。
おいて、夫々のゾーンに分けられない状態（即ちランダ
ム配置）に配置したので、研磨材の運動が複雑化し、ワ
ークを不規則に移動させるので、ワークは均等に研磨さ
れる効果がある。またＮ、Ｓ極はゾーン化することなく
各ゾーンにＮ、Ｓ極をランダムに配置させた場合には、
回転盤の中心部の死角がなくなり、研磨効率を向上させ
る効果がある。
【００６２】また永久磁石を磁性回転体に配置したの
で、非磁性回転体に配置する場合に比し、２０％以上の
磁力の増強が認められた。
で、非磁性回転体に配置する場合に比し、２０％以上の
磁力の増強が認められた。
【図１】この発明の実施例の１部を切断した平面図。
【図２】同じく１部断面した正面図。
【図３】同じく１部断面した側面図。
【図４】同じく容器内のワーク等を示す１部断面拡大
図。
図。
【図５】同じくワークとメディアの運動を示す平面的説
明図。
明図。
【図６】同じくワークとメディアの運動を示す斜視的説
明図。
明図。
【図７】従来の磁力研磨におけるワークとメディアの運
動を示す平面的説明図。
動を示す平面的説明図。
【図８】同じくワークとメディアの運動を示す斜視的説
明図。
明図。
【図９】同じく研磨ゾーンに容器を置いた説明図。
【図１０】同じく小形研磨装置の実施例の永久磁石の配
置を示す平面図。
置を示す平面図。
【図１１】同じく大型研磨装置の実施例の永久磁石の配
置を示す平面図。
置を示す平面図。
【図１２】同じく容器内の研磨材の移動状態を示す平面
図。
図。
【図１３】同じく永久磁石を内外三重に配置した実施例
の永久磁石配置を示す平面図。
の永久磁石配置を示す平面図。
【図１４】（ａ）同じく永久磁石を内外二重に配置した
実施例を示す平面図。（ｂ）同じく外側の隣接永久磁石
を互に異なる同心円上に配置した実施例の平面図。
実施例を示す平面図。（ｂ）同じく外側の隣接永久磁石
を互に異なる同心円上に配置した実施例の平面図。
【図１５】同じく内外二重に配置した永久磁石の磁極毎
に中心位置をずらした実施例の平面図。
に中心位置をずらした実施例の平面図。
【図１６】（ａ）同じく磁性連結板を用いた実施例の平
面図。（ｂ）同じく正面図。
面図。（ｂ）同じく正面図。
【図１７】（ａ）同じくＮ極、Ｓ極を夫々ゾーンにして
配列した実施例の平面図。（ｂ）同じくＮ極とＳ極を回
転盤の中心から異なる距離に配置した実施例の平面図。
配列した実施例の平面図。（ｂ）同じくＮ極とＳ極を回
転盤の中心から異なる距離に配置した実施例の平面図。
【符号の説明】 １ ハウジング ２ モータ ３ 軸 ４ 回転盤 ５ 永久磁石 ７ 円板 ８ 段部 ９ ワーク １０ メディア １１ 筒状容器 １５ 密閉蓋 １６ 研磨溶液面 １９、２０ ループ ２２ 区画線 ２３、２４ 永久磁石 ２７ 回転盤 ２８、２９ 同心円 ３０、４０ 永久磁石 ３１、４７ 回転盤 ３２、３３、３４、３５ 半径 ３６、３７、３８、３９、４５、４９、５０ 円弧 ４４ 容器 ４５ 研磨石 ４９、５６、５６ａ、６６、７１、７１ａ 永久磁石
Claims (8)
- 【請求項１】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、該回転体の外周方向および
内外半径方向に磁力が働くように不規則に配置されたこ
とを特徴とする表面研磨装置。 - 【請求項２】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、該回転体の外周方向および
内外半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置す
ると共に、Ｎ極、Ｓ極の極数をほぼ等しくし、かつ永久
磁石を対称的の位置に固定したことを特徴とする表面研
磨装置。 - 【請求項３】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、最外側の同心円上に三個の
Ｎ極と、三個のＳ極を等間隔で直径対称に配置し、中間
の同心円上に、各一個のＮ極を直径対称に配置し、最内
側の同心円上に、各一個のＳ極を直径対称に配置したこ
とを特徴とする表面研磨装置。 - 【請求項４】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、同心円周上に配置すると共
に、少くとも隣接同心円における永久磁石の中心は回転
体の異なる半径上に配置したことを特徴とする表面研磨
装置。 - 【請求項５】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、回転体の等分割半径付近に
中心を有する複数の円弧曲線上にその中心を有し、かつ
各永久磁石はほぼ回転対称的に配置したことを特徴とす
る表面研磨装置。 - 【請求項６】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の永久磁石は、回転体の中心を通過する区
画線によって区画された中へ、Ｎ極、Ｓ極の順に、順次
配列したことを特徴とする表面研磨装置。 - 【請求項７】 磁性素材からなる回転体上に、永久磁石
を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨
材と、ワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転体上の中央部の４個の永久磁石は、回転体の中
心を中心とする二つの同心円周上へ、夫々二つの同磁極
又は異磁極を対称的に配置したことを特徴とする表面研
磨装置。 - 【請求項８】 非磁性素材からなる回転体に、少くとも
２個の異磁極の永久磁石が所定間隔で固定できる磁性連
結板を固定したことを特徴とする請求項１ないし７の何
れか１つ記載の表面研磨装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6190717A JP3013222B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 表面研磨装置 |
| US08/437,587 US5611725A (en) | 1994-08-12 | 1995-05-09 | Magnetic barrell finishing machine |
| EP95305587A EP0696494B1 (en) | 1994-08-12 | 1995-08-10 | Magnetic barrel finishing machine |
| DE69517879T DE69517879D1 (de) | 1994-08-12 | 1995-08-10 | Trommelvorrichtung zum magnetischen Polieren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6190717A JP3013222B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 表面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0852650A true JPH0852650A (ja) | 1996-02-27 |
| JP3013222B2 JP3013222B2 (ja) | 2000-02-28 |
Family
ID=16262656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6190717A Expired - Lifetime JP3013222B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 表面研磨装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5611725A (ja) |
| EP (1) | EP0696494B1 (ja) |
| JP (1) | JP3013222B2 (ja) |
| DE (1) | DE69517879D1 (ja) |
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