JPH0768462A - 表面研磨装置 - Google Patents
表面研磨装置Info
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- JPH0768462A JPH0768462A JP14044794A JP14044794A JPH0768462A JP H0768462 A JPH0768462 A JP H0768462A JP 14044794 A JP14044794 A JP 14044794A JP 14044794 A JP14044794 A JP 14044794A JP H0768462 A JPH0768462 A JP H0768462A
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- permanent magnets
- work
- permanent magnet
- magnetic
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は磁界を変化させることにより研磨
材の多変化流動を生起し、遊離したワークを研磨するこ
とを目的としたものである。 【構成】 非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁石を
固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材
とワークとを入れた容器を配設して研磨する装置におい
て、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の円周方向および
半径方向に磁力が働くように不規則に配置されたことを
特徴とする表面研磨装置。
材の多変化流動を生起し、遊離したワークを研磨するこ
とを目的としたものである。 【構成】 非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁石を
固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研磨材
とワークとを入れた容器を配設して研磨する装置におい
て、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の円周方向および
半径方向に磁力が働くように不規則に配置されたことを
特徴とする表面研磨装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は磁界を変化させること
により研磨材の多変化流動を生起し、遊離したワークを
研磨することを目的とした表面研磨装置に関する。
により研磨材の多変化流動を生起し、遊離したワークを
研磨することを目的とした表面研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来磁界を回転により変化させて、容器
内の研磨材およびワークを多方向に流動させ、これによ
り遊離ワークを研磨することを目的とした金属研磨機が
知られている（特公平４−２６９８１号、特開昭６０−
１１８４６６号）。
内の研磨材およびワークを多方向に流動させ、これによ
り遊離ワークを研磨することを目的とした金属研磨機が
知られている（特公平４−２６９８１号、特開昭６０−
１１８４６６号）。
【０００３】
【発明により解決すべき課題】前記従来の技術によれ
ば、回転盤の中央部にワークを入れた容器を置くと、研
磨が不均等になり易い為に、比較的長い時間をかけなけ
ればならない問題点があった。また従来の磁極はＮ、
Ｓ：Ｎ、Ｓと配列されている為に、研磨材の流動状体が
繰り返えしではあるけれども同一になり易い問題点があ
り、時にはこれが欠点となって不均一研磨を生じ、又は
研磨時間をより長くしなければならない問題点があっ
た。
ば、回転盤の中央部にワークを入れた容器を置くと、研
磨が不均等になり易い為に、比較的長い時間をかけなけ
ればならない問題点があった。また従来の磁極はＮ、
Ｓ：Ｎ、Ｓと配列されている為に、研磨材の流動状体が
繰り返えしではあるけれども同一になり易い問題点があ
り、時にはこれが欠点となって不均一研磨を生じ、又は
研磨時間をより長くしなければならない問題点があっ
た。
【０００４】例えば、従来公知のように、磁極をＮ、
Ｓ、Ｎ、Ｓ、と規則的に磁石を配置すると、図７又は図
８のように、同一円周上（矢示２１、ループ２２）に研
磨材が流動することになる。
Ｓ、Ｎ、Ｓ、と規則的に磁石を配置すると、図７又は図
８のように、同一円周上（矢示２１、ループ２２）に研
磨材が流動することになる。
【０００５】従ってワークとメディア（磁性材、研磨
材、コンパウンドなどをいう）を入れた容器２３、２３
は必然的に磁力ゾーン２４内へ配置しなければならない
（図９）。前記磁力ゾーン２４はドーナツ状であるか
ら、容器２３の直径は回転円板２５の直径の１／２以下
にしなければならないことは明らかである。
材、コンパウンドなどをいう）を入れた容器２３、２３
は必然的に磁力ゾーン２４内へ配置しなければならない
（図９）。前記磁力ゾーン２４はドーナツ状であるか
ら、容器２３の直径は回転円板２５の直径の１／２以下
にしなければならないことは明らかである。
【０００６】仮に容器２３の直径を回転円板２５の直径
とほぼ等しくすると、図８のように、中央部２６にはル
ープ２２を生じないことになり、中央部２６のワークは
研磨不十分となり、全体として不均等研磨は免れないよ
うな問題点を生じる。前記問題点を防止する為に、容器
の中央部へ筒体を入れる場合もある。
とほぼ等しくすると、図８のように、中央部２６にはル
ープ２２を生じないことになり、中央部２６のワークは
研磨不十分となり、全体として不均等研磨は免れないよ
うな問題点を生じる。前記問題点を防止する為に、容器
の中央部へ筒体を入れる場合もある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】然るにこの発明は、永久
磁石を不規則に配置して、磁界が規則的に変化する場合
の問題点を解決したのである。
磁石を不規則に配置して、磁界が規則的に変化する場合
の問題点を解決したのである。
【０００８】即ちこの発明は、非磁性素材からなる回転
盤上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って
磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した
研磨装置において、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の
外周方向および内外半径方向に磁力が働くように不規則
に配置されたことを特徴とする表面研磨装置である。ま
た他の発明は、非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の外周方向および
内外半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置す
ると共に、Ｎ極Ｓ極の極数をほぼ等しくし、かつ永久磁
石を対称の位置に固定したことを特徴とする表面研磨装
置である。
盤上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って
磁性材を含む研磨材とワークとを入れた容器を配設した
研磨装置において、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の
外周方向および内外半径方向に磁力が働くように不規則
に配置されたことを特徴とする表面研磨装置である。ま
た他の発明は、非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の外周方向および
内外半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置す
ると共に、Ｎ極Ｓ極の極数をほぼ等しくし、かつ永久磁
石を対称の位置に固定したことを特徴とする表面研磨装
置である。
【０００９】次に他の発明は、永久磁石を、最外側の同
心円上に三個のＮ極と、三個のＳ極を等間隔で直径対称
的に配置し、中間の同心円上に、各一個のＮ極を直径対
称に配置し、最内側の同心円上に、各一個のＳ極を直径
対称に配置したものである。
心円上に三個のＮ極と、三個のＳ極を等間隔で直径対称
的に配置し、中間の同心円上に、各一個のＮ極を直径対
称に配置し、最内側の同心円上に、各一個のＳ極を直径
対称に配置したものである。
【００１０】また他の発明は永久磁石は、同心円周上に
配置すると共に、少くとも隣接同心円における永久磁石
の中心は回転盤の異なる半径上に配置したものであり、
永久磁石は、回転盤の等分割半径付近に中心を有する複
数の円弧曲線上にその中心を有し、かつ各磁石はほぼ回
転対称的に配置されたことを特徴とする表面研磨装置で
ある。
配置すると共に、少くとも隣接同心円における永久磁石
の中心は回転盤の異なる半径上に配置したものであり、
永久磁石は、回転盤の等分割半径付近に中心を有する複
数の円弧曲線上にその中心を有し、かつ各磁石はほぼ回
転対称的に配置されたことを特徴とする表面研磨装置で
ある。
【００１１】更に他の発明は非磁性素材からなる回転盤
上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁
性材を含む研磨材と、ワークとを入れた容器を配設した
研磨装置において、回転盤上の中央部の４個の永久磁石
は、回転盤の中心を中心とする二つの同心円周上へ、夫
々二つの同磁極又は異磁極を対称的に配置したことを特
徴とする表面研磨装置である。
上に、永久磁石を固定し、その上方に小間隙を保って磁
性材を含む研磨材と、ワークとを入れた容器を配設した
研磨装置において、回転盤上の中央部の４個の永久磁石
は、回転盤の中心を中心とする二つの同心円周上へ、夫
々二つの同磁極又は異磁極を対称的に配置したことを特
徴とする表面研磨装置である。
【００１２】前記のように、回転盤に固着した磁石の配
列を変えれば、メディアおよびワークに多少異った運動
を与えることができる。従って磁石付の回転盤そのもの
を取替えることにより、メディアおよびワークの流動の
異なる研磨を行うことができる。換言すれば、ワークの
形状（例えば小片板、小針棒、短片など）に適した流動
状態を実現させることができる。
列を変えれば、メディアおよびワークに多少異った運動
を与えることができる。従って磁石付の回転盤そのもの
を取替えることにより、メディアおよびワークの流動の
異なる研磨を行うことができる。換言すれば、ワークの
形状（例えば小片板、小針棒、短片など）に適した流動
状態を実現させることができる。
【００１３】また磁性材は、磁性研磨材とその他の磁性
片の単独又は混合物であり、メディア全部を磁性材とす
ることもできるが、一部のみを磁性材とすることもでき
る。磁性材の量は、少なくともメディアの流動を生起さ
せることができる量があればよいことになる。磁性材に
ついては、従来使用されていたものをそのまま使用する
ことができる。
片の単独又は混合物であり、メディア全部を磁性材とす
ることもできるが、一部のみを磁性材とすることもでき
る。磁性材の量は、少なくともメディアの流動を生起さ
せることができる量があればよいことになる。磁性材に
ついては、従来使用されていたものをそのまま使用する
ことができる。
【００１４】またメディアおよびワークを収容する容器
は、非磁性材料からなり、密閉型で、研磨中にメディア
およびワークが外に洩れないようにすることが望まし
い。例えば蓋付の合成樹脂容器が使用される。
は、非磁性材料からなり、密閉型で、研磨中にメディア
およびワークが外に洩れないようにすることが望まし
い。例えば蓋付の合成樹脂容器が使用される。
【００１５】前記における各永久磁石の位置変動の許容
量（例えば同心円からのはみだし量）は、近隣永久磁石
の影響力が大きくならない範囲（例えば対応永久磁石間
の磁力線の流れを変えない範囲）とする。例えば前記の
ほぼ回転対称的とは、回転対称位置が隣接永久磁石との
間隔の１／２以内のずれをいう。
量（例えば同心円からのはみだし量）は、近隣永久磁石
の影響力が大きくならない範囲（例えば対応永久磁石間
の磁力線の流れを変えない範囲）とする。例えば前記の
ほぼ回転対称的とは、回転対称位置が隣接永久磁石との
間隔の１／２以内のずれをいう。
【００１６】前記における回転盤は、円盤である必要な
く、例えば６角盤又は中心ボスから複数のアームを放射
状に突設したもの又はアームの外端にリングを設けたも
のでもよい。
く、例えば６角盤又は中心ボスから複数のアームを放射
状に突設したもの又はアームの外端にリングを設けたも
のでもよい。
【００１７】
【作用】この発明によれば、永久磁石を磁力が円周方向
と、半径方向に向くように不規則に並べたので、回転磁
界により容器内容物を不規則に流動させ、容器内容物の
全体を動きまわらせる。従って研磨材があらゆる方向か
らワークに作用するために、複雑な形状のものでも均等
に表面研磨することができる。
と、半径方向に向くように不規則に並べたので、回転磁
界により容器内容物を不規則に流動させ、容器内容物の
全体を動きまわらせる。従って研磨材があらゆる方向か
らワークに作用するために、複雑な形状のものでも均等
に表面研磨することができる。
【００１８】
【実施例１】ハウジング１内へモータ２を縦型に固定
し、モータ２の軸３へ非磁性素材からなる回転盤４を固
定し、該回転盤４上へ、円盤状の永久磁石５を磁極を上
にして固着する。Ｎ、Ｓほぼ同数の磁石５はお互に接触
しないように少し間隔を置いて不規則に配置し固着す
る。前記回転盤４を回転させた時に振動が起らないよう
に永久磁石はバランスよく配置しなければならないが、
直径対称的配置はその一例である。
し、モータ２の軸３へ非磁性素材からなる回転盤４を固
定し、該回転盤４上へ、円盤状の永久磁石５を磁極を上
にして固着する。Ｎ、Ｓほぼ同数の磁石５はお互に接触
しないように少し間隔を置いて不規則に配置し固着す
る。前記回転盤４を回転させた時に振動が起らないよう
に永久磁石はバランスよく配置しなければならないが、
直径対称的配置はその一例である。
【００１９】前記における回転磁界は円板７にさえぎら
れることなくその上方に貫通して出なければならない。
従って円板７は磁界に対して全く変化を及ぼさない完全
非磁性材を使うことが肝要である。円板７はハウジング
１の段部８に嵌着設置する。
れることなくその上方に貫通して出なければならない。
従って円板７は磁界に対して全く変化を及ぼさない完全
非磁性材を使うことが肝要である。円板７はハウジング
１の段部８に嵌着設置する。
【００２０】前記円板７上へ、ワーク９（例えば金属小
部品）と、適量のメディア１０を入れた合成樹脂製の筒
状容器１１（密閉蓋１５付）を載置する。
部品）と、適量のメディア１０を入れた合成樹脂製の筒
状容器１１（密閉蓋１５付）を載置する。
【００２１】図１中１２ａ、１２ｂはＯＮ、ＯＦＦスイ
ッチ、１３はスピード調節摘み、１４はタイマー、１６
は研磨溶液面である。
ッチ、１３はスピード調節摘み、１４はタイマー、１６
は研磨溶液面である。
【００２２】前記実施例において、筒状容器１１内へそ
の容量の１／２以下のメディア１０（磁性研磨材又は磁
性研磨材と非磁性研磨材の混合物）を収容すると共に、
メディア１０の１／２以下の量のワーク９を入れた後、
前記筒状容器１１を円板７上へ載置する。つぎにモータ
を始動し、回転盤４を毎分１０００〜４０００回転すれ
ば、永久磁石による交番磁界を生じ、メディア１０が不
規則に流動する。従ってワークは容器内容物の全体を動
き廻り複雑な形状であっても容易に均一研磨することが
できる。
の容量の１／２以下のメディア１０（磁性研磨材又は磁
性研磨材と非磁性研磨材の混合物）を収容すると共に、
メディア１０の１／２以下の量のワーク９を入れた後、
前記筒状容器１１を円板７上へ載置する。つぎにモータ
を始動し、回転盤４を毎分１０００〜４０００回転すれ
ば、永久磁石による交番磁界を生じ、メディア１０が不
規則に流動する。従ってワークは容器内容物の全体を動
き廻り複雑な形状であっても容易に均一研磨することが
できる。
【００２３】前記実施例によれば、図５のように、磁束
の変化によって、研磨材およびワークは同心円的流動
（矢示１７）の他に、放射的流動（矢示１８）を生じ
る。従って図６のように、円周方向のループ１９と内外
方向のループ２０を生じる。
の変化によって、研磨材およびワークは同心円的流動
（矢示１７）の他に、放射的流動（矢示１８）を生じ
る。従って図６のように、円周方向のループ１９と内外
方向のループ２０を生じる。
【００２４】即ち中央部の流動の空白がなくなり、筒状
容器１１をどの位置においても、或いは円板７とほぼ等
しい大容量を１つおいても、何れも均等研磨ができる。
従って従来の方式と同一直径の容器を使用する場合に
は、回転盤の直径を小さくできるので、全体をコンパク
トに造ることができる。
容器１１をどの位置においても、或いは円板７とほぼ等
しい大容量を１つおいても、何れも均等研磨ができる。
従って従来の方式と同一直径の容器を使用する場合に
は、回転盤の直径を小さくできるので、全体をコンパク
トに造ることができる。
【００２５】また容器内のワークとメディアは、容器の
外周側と、中心側が適宜入れ替ることになり、一層均等
の研磨が行われる。
外周側と、中心側が適宜入れ替ることになり、一層均等
の研磨が行われる。
【００２６】またモータの回転方向を一定時間をきめ
て、定期的に作動中変更すれば又違った複雑な流動を起
すことができる。即ち今まで外から内側へ向っていた流
動の変化は内から外側へ、内から外側へ向っていたもの
は外から内側へと変るので、メディアがワークに作用す
る部位も違ってくる。
て、定期的に作動中変更すれば又違った複雑な流動を起
すことができる。即ち今まで外から内側へ向っていた流
動の変化は内から外側へ、内から外側へ向っていたもの
は外から内側へと変るので、メディアがワークに作用す
る部位も違ってくる。
【００２７】従って細部まであらゆる方向から研磨作用
が行われる。
が行われる。
【００２８】
【実施例２】図１０の実施例は小型研磨機（例えば回転
盤の直径７０mm〜２００mm）である。
盤の直径７０mm〜２００mm）である。
【００２９】前記小型研磨機においては、回転盤を１４
００rpm 〜２４００rpm に回転させた場合に、次の配置
にした方が研磨効率が良好であった。
００rpm 〜２４００rpm に回転させた場合に、次の配置
にした方が研磨効率が良好であった。
【００３０】即ち回転盤２７の中心Ｏを中心とする同心
円２８、２９に永久磁石３０の３個を夫々等間隔に配置
すると共に、同心円２８には２個のＳ極と、１個のＮ極
を配置し、同心円２９には２個のＮ極と、１個のＳ極を
配置し、前記同心円２８、２９上の各永久磁石３０は同
一半径上に位置しないように配置したものである。
円２８、２９に永久磁石３０の３個を夫々等間隔に配置
すると共に、同心円２８には２個のＳ極と、１個のＮ極
を配置し、同心円２９には２個のＮ極と、１個のＳ極を
配置し、前記同心円２８、２９上の各永久磁石３０は同
一半径上に位置しないように配置したものである。
【００３１】例えば同心円２８、２９上の永久磁石の中
心を通る回転盤の夫々の半径４１、４２には鋭角（例え
ば２０°〜６０°）のずれを付与する。
心を通る回転盤の夫々の半径４１、４２には鋭角（例え
ば２０°〜６０°）のずれを付与する。
【００３２】前記実施例によれば、回転盤２９の回転に
よって、磁力線密度の極端な差異がなくなり、均等研磨
が期待できる。
よって、磁力線密度の極端な差異がなくなり、均等研磨
が期待できる。
【００３３】
【実施例３】図１１の実施例は、大型研磨機（例えば回
転盤の直径２００mm以上）である。
転盤の直径２００mm以上）である。
【００３４】即ち回転盤３１を４等分する半径３２、３
３、３４、３５の適切な位置を中心とする円弧３６、３
７、３８、３９を描き、この円弧上へ永久磁石４０、４
０を所定間隔（ほぼ等間隔）に配置したものである。
３、３４、３５の適切な位置を中心とする円弧３６、３
７、３８、３９を描き、この円弧上へ永久磁石４０、４
０を所定間隔（ほぼ等間隔）に配置したものである。
【００３５】前記永久磁石４０は、回転盤３１の中心Ｏ
に近い側から、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓ極とＮ、Ｎ、Ｓ、Ｎ極の
交互の２通りになっており、全永久磁石を半径による一
定大きさの区分により、Ｎ、Ｓ極の夫々のゾーンに分割
することはできない。
に近い側から、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓ極とＮ、Ｎ、Ｓ、Ｎ極の
交互の２通りになっており、全永久磁石を半径による一
定大きさの区分により、Ｎ、Ｓ極の夫々のゾーンに分割
することはできない。
【００３６】前記実施例における二組に分れた永久磁石
４０は異種毎に夫々回転対称になるが、隣接永久磁石間
においては、回転対称にならない。
４０は異種毎に夫々回転対称になるが、隣接永久磁石間
においては、回転対称にならない。
【００３７】前記における各極の位置が多少ずれても本
質的変化はないが、Ｎ、Ｓ極の磁力線授受が変る程ずれ
ると、研磨効果に差異を生じる。
質的変化はないが、Ｎ、Ｓ極の磁力線授受が変る程ずれ
ると、研磨効果に差異を生じる。
【００３８】図１２において、回転盤３１を矢示４３の
ように旋回させると、容器４４内の研磨石４５は矢示４
６のように自転する。
ように旋回させると、容器４４内の研磨石４５は矢示４
６のように自転する。
【００３９】
【実施例４】図１３、１４の実施例は、図１１の実施例
から、永久磁石数を４個少なくしたもので、図１１のも
のより回転盤が小型の場合に有効である。即ち回転盤４
７上に互に１２０°開く半径５１、５２、５３を描き、
この半径上に中心を有し、回転盤４７の中心Ｏを通らな
いで、中央部から周縁に到る三本の円弧４８、４９、５
０を回転対称的に描き、該円弧４８、４９、５０上へ永
久磁石５４、５４を各４個ほぼ等間隔に固定したもので
ある。例えば、円弧４８上には中央側からＳ、Ｎ、Ｓ、
Ｎ極とし、円弧４９上には中央側からＮ、Ｎ、Ｓ、Ｎ極
とし、円弧５０上には、中央側から、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓと
する。
から、永久磁石数を４個少なくしたもので、図１１のも
のより回転盤が小型の場合に有効である。即ち回転盤４
７上に互に１２０°開く半径５１、５２、５３を描き、
この半径上に中心を有し、回転盤４７の中心Ｏを通らな
いで、中央部から周縁に到る三本の円弧４８、４９、５
０を回転対称的に描き、該円弧４８、４９、５０上へ永
久磁石５４、５４を各４個ほぼ等間隔に固定したもので
ある。例えば、円弧４８上には中央側からＳ、Ｎ、Ｓ、
Ｎ極とし、円弧４９上には中央側からＮ、Ｎ、Ｓ、Ｎ極
とし、円弧５０上には、中央側から、Ｓ、Ｓ、Ｎ、Ｓと
する。
【００４０】また図１４は、円弧４８上には中央側から
Ｓ、Ｎ、Ｓ、Ｎとし、円弧４９上には、中央側からＳ、
Ｎ、Ｓ、Ｎとし、円弧５０上には中央側から、Ｎ、Ｓ、
Ｎ、Ｓとしてある。
Ｓ、Ｎ、Ｓ、Ｎとし、円弧４９上には、中央側からＳ、
Ｎ、Ｓ、Ｎとし、円弧５０上には中央側から、Ｎ、Ｓ、
Ｎ、Ｓとしてある。
【００４１】前記実施例においても回転盤の回転と、永
久磁石の磁力により研磨材に乱流を生起して、比較的短
時間内にワークを均一に研磨する。
久磁石の磁力により研磨材に乱流を生起して、比較的短
時間内にワークを均一に研磨する。
【００４２】
【発明の効果】この発明によれば、回転盤上へ永久磁石
を不規則に配置したので、回転盤を一定速度で回転すれ
ば、研磨材およびワークは交番磁界により円周方向およ
び放射方向へ不規則流動し、複雑な外形のワークでも、
その表面を容易、かつ均一に研磨し得る効果がある。特
に回転盤の中央でも研磨できる効果がある。
を不規則に配置したので、回転盤を一定速度で回転すれ
ば、研磨材およびワークは交番磁界により円周方向およ
び放射方向へ不規則流動し、複雑な外形のワークでも、
その表面を容易、かつ均一に研磨し得る効果がある。特
に回転盤の中央でも研磨できる効果がある。
【００４３】この発明の、回転盤上の永久磁石の配置に
おいて、夫々のゾーンに分けられない状態（即ちランダ
ム配置）に配置したので、研磨材の運動が複雑化し、ワ
ークを不規則に移動させるので、ワークは均等に研磨さ
れる効果がある。またＮ、Ｓ極はゾーン化することなく
各ゾーンにＮ、Ｓ極をランダムに配置させたので、回転
盤の中心部の死角がなくなり、研磨効率を向上させる効
果がある。
おいて、夫々のゾーンに分けられない状態（即ちランダ
ム配置）に配置したので、研磨材の運動が複雑化し、ワ
ークを不規則に移動させるので、ワークは均等に研磨さ
れる効果がある。またＮ、Ｓ極はゾーン化することなく
各ゾーンにＮ、Ｓ極をランダムに配置させたので、回転
盤の中心部の死角がなくなり、研磨効率を向上させる効
果がある。
【図１】この発明の実施例の１部を切断した平面図。
【図２】同じく１部断面した正面図。
【図３】同じく１部断面した側面図。
【図４】同じく容器内のワーク等を示す１部断面拡大
図。
図。
【図５】同じくワークとメディアの運動を示す平面的説
明図。
明図。
【図６】同じくワークとメディアの運動を示す斜視的説
明図。
明図。
【図７】従来の磁力研磨におけるワークとメディアの運
動を示す平面的説明図。
動を示す平面的説明図。
【図８】同じくワークとメディアの運動を示す斜視的説
明図。
明図。
【図９】同じく研磨ゾーンに容器を置いた説明図。
【図１０】同じく小形研磨装置の実施例の永久磁石の配
置を示す平面図。
置を示す平面図。
【図１１】同じく大型研磨装置の実施例の永久磁石の配
置を示す平面図。
置を示す平面図。
【図１２】同じく容器内の研磨材の移動状態を示す平面
図。
図。
【図１３】同じく他の実施例の永久磁石配置を示す平面
図。
図。
【図１４】同じく図１３の永久磁石の極性を変えた状態
を示す平面図。
を示す平面図。
１ ハウジング ２ モータ ３ 軸 ４ 回転盤 ５ 永久磁石 ７ 円板 ８ 段部 ９ ワーク １０ メディア １１ 筒状容器 １５ 密閉蓋 １６ 研磨溶液面
Claims (6)
- 【請求項１】 非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の外周方向および
内外半径方向に磁力が働くように不規則に配置されたこ
とを特徴とする表面研磨装置。 - 【請求項２】 非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材とワークとを入れた容器を配設した研磨装置におい
て、回転盤上の永久磁石は、該回転盤の外周方向および
内外半径方向に磁力が働くように磁極を不規則に配置す
ると共に、Ｎ極Ｓ極の極数をほぼ等しくし、かつ永久磁
石を対称の位置に固定したことを特徴とする表面研磨装
置。 - 【請求項３】 永久磁石は、最外側の同心円上に三個の
Ｎ極と、三個のＳ極を等間隔で直径対称に配置し、中間
の同心円上に、各一個のＮ極を直径対称に配置し、最内
側の同心円上に、各一個のＳ極を直径対称に配置した請
求項２記載の表面研磨装置。 - 【請求項４】 永久磁石は、同心円周上に配置すると共
に、少くとも隣接同心円における永久磁石の中心は回転
盤の異なる半径上に配置したことを特徴とする請求項２
記載の表面研磨装置。 - 【請求項５】 永久磁石は、回転盤の等分割半径付近に
中心を有する複数の円弧曲線上にその中心を有し、かつ
各永久磁石はほぼ回転対称的に配置されたことを特徴と
する表面研磨装置。 - 【請求項６】 非磁性素材からなる回転盤上に、永久磁
石を固定し、その上方に小間隙を保って磁性材を含む研
磨材と、ワークとを入れた容器を配設した研磨装置にお
いて、回転盤上の中央部の４個の永久磁石は、回転盤の
中心を中心とする二つの同心円周上へ、夫々二つの同磁
極又は異磁極を対称的に配置したことを特徴とする表面
研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14044794A JPH0768462A (ja) | 1993-06-24 | 1994-06-22 | 表面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-153746 | 1993-06-24 | ||
| JP15374693 | 1993-06-24 | ||
| JP14044794A JPH0768462A (ja) | 1993-06-24 | 1994-06-22 | 表面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0768462A true JPH0768462A (ja) | 1995-03-14 |
Family
ID=26472952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14044794A Pending JPH0768462A (ja) | 1993-06-24 | 1994-06-22 | 表面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0768462A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110000688A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-07-12 | 辽宁科技大学 | 一种对复杂形状工件的磁针磁力研磨方法及装置 |
| CN110202458A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-09-06 | 辽宁科技大学 | 用于长板孔边缘积瘤的磁针磁力研磨装置 |
| CN113601276A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-05 | 广东工业大学 | 永磁式集群磁流变抛光机构及抛光方法 |
-
1994
- 1994-06-22 JP JP14044794A patent/JPH0768462A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110000688A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-07-12 | 辽宁科技大学 | 一种对复杂形状工件的磁针磁力研磨方法及装置 |
| CN110000688B (zh) * | 2019-03-15 | 2023-08-08 | 辽宁科技大学 | 一种对复杂形状工件的磁针磁力研磨方法及装置 |
| CN110202458A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-09-06 | 辽宁科技大学 | 用于长板孔边缘积瘤的磁针磁力研磨装置 |
| CN110202458B (zh) * | 2019-07-11 | 2024-04-09 | 辽宁科技大学 | 用于长板孔边缘积瘤的磁针磁力研磨装置 |
| CN113601276A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-05 | 广东工业大学 | 永磁式集群磁流变抛光机构及抛光方法 |
| CN113601276B (zh) * | 2021-07-29 | 2022-06-10 | 广东工业大学 | 永磁式集群磁流变抛光机构及抛光方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040629 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040825 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050315 |