JPH08507821A - ３層ポリイミドシロキサン接着テープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ２つの十分にイミド化した熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤層に挟まれたキャリヤフィルムを含む接着テープを提供する。該テープは、十分にイミド化した熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤の溶媒による溶液を形成し、該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布し、該溶媒を蒸発させることにより製造する。

Description

【発明の詳細な説明】 ３層ポリイミドシロキサン接着テープ技術分野 本発明は、キャリヤフィルムのいずれかの側にポリイミドシロキサン層を有す る接着テープに関する。特に、本発明は、ポリイミドキャリヤフィルムが２つの ポリイミドシロキサン接着剤層に挟まれた３層テープに関する。背景技術 エレクトロニクス業界においては、金属リードフレームを集積回路チップに結 合する等の様々な目的で接着テープが用いられる。そのようなテープは、LOC（ リード・オン・チップ）アタッチメントに有用であるが、高純度であって、優れ た接着特性を有し、かつ大量生産手法に容易に適用し得ることが要求される。LO Cアタッチメントの後にワイヤーボンディングを行う場合には、ポリイミドシロ キサン接着剤は高いTg（通常は約150℃以上）を有するのが望ましい。接着性ポ リイミドの例は、米国特許第3,740,305号及び第4,543,295号明細書中に見出され る。米国特許第4,480,009号明細書も参照されたい。 ポリイミドキャリヤ層にポリアミン酸（polyamicacid）層として塗布した後に イミド化したポリイミドを利用したLOCテープもある。ポリアミン酸をイミド化 すると水及び溶媒を発生し、膨れや接着の均一性を欠く原因となり得る。エレク トロニクス及び他の産業において使用するための良好な接着テープは、熱及び圧 力を印加することが可能であってかついかなる揮発物をも発生させないものであ る。発明の開示 熱及び圧力のみを用いてかつ揮発物を発生させないで、多くの異なる材料を相 互に結合し得る優れた接着テープを見出した。本発明の接着テープは、２つの十 分にイミド化したポリイミドシロキサン接着剤層に挟まれたキャリヤ層からなる 。ポリイミドシロキサン接着剤層は十分にイミド化され、溶媒を含まないので、 表 面にテープを結合するために熱及び圧力を印加しても、水、溶媒又はその他の揮 発物を発生しない。 この特殊なテープを製造するためには、十分にイミド化したポリイミドシロキ サン接着剤の溶媒溶液を形成する必要がある。該溶液を次にキャリヤ層に塗布し 、溶媒を蒸発させて十分にイミド化したポリイミドシロキサンを形成する。驚く べきことに、この方法により溶液から熱及び圧力を用いずに形成した十分にイミ ド化したポリイミドシロキサン接着剤層は、キャリヤ層に非粘着性フィルムとし て接着する一方、熱及び圧力を印加すると流動して他の表面に対して結合を形成 し得る。 更に、本発明の製法により製造したテープがキャリヤ層上のポリアミン酸層を イミド化することにより作製した同一のテープに比して有利な点を有することも 見出した。本発明によるテープの主たる利点は、接着剤層から溶媒を蒸発させる だけでよく、接着剤層をイミド化する必要がないことから、迅速に製造し得るこ とにある。発明を実施するための最良の形態 本発明の製法及び製品に使用するポリイミドシロキサンは、十分にイミド化し ているのみならず、更に熱可塑性であって溶媒に可溶でなければならない。ポリ イミドシロキサンは二無水物をジアミンと反応させて形成するが、この場合にお いて二無水物の一部又はジアミンの一部がシロキサン基を含む。即ち、二無水物 、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンを使用するか、又は 二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含有二無水物を使用する こととなる。入手が容易であってかつ良好な特性を有するため、シロキサン含有 ジアミンを使用するのが好ましい。 シロキサン含有化合物は芳香族又は非芳香族のいずれかであってよいが、入手 が比較的容易であるため非芳香族化合物が好ましい。使用可能なシロキサンジア ミンには、次式で表される化合物が含まれる。 使用可能なシロキサン二無水物には、次式で表される化合物が含まれる。 （式中、Ｒ、Ｒ₁及びＲ₂は、各々一価、二価、及び三価の基であって、置換又は 未置換の炭素原子１〜12個の脂肪族基又は置換又は未置換の炭素原子６〜10個の 芳香族基から各々独立に選ばれる。一価の基の例には−ＣＨ₃、−ＣＦ₃、−ＣＨ ＝ＣＨ₂、−（ＣＨ₂）_nＣＦ₃、−Ｃ₆Ｈ₅、−ＣＦ₃−ＣＨＦ−ＣＦ₃、及び−ＣＨ₂ −ＣＨ₂−ＣＯ−Ｏ−ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₃が含まれる。二価の基の例には−（ ＣＨ₂）_n−、−（ＣＨ₂）_n−、−ＣＦ₂−及び−Ｃ₆Ｈ₄−が含まれる。三価の基 の例には＞ＣＨ−ＣＨ₂−、 （式中、ｎ＝１〜10であり、ｍ＝１〜200であるが好ましくは１〜12である （シロキサンジアミンをここでは記号Ｇ_mで表す）。）が含まれる。） ポリイミドシロキサンの形成においては任意の二無水物を使用してよいが、優 れた特性を付与するため芳香族二無水物が好ましい。適切な二無水物の例には、 １，２，５，６− ナフタレンテトラカルボン酸二無水物;１，４，５，８−ナ フタレンテトラカルボン酸二無水物；２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボ ン酸二無水物；２−（３′，４′−ジカルボキシフェニル）−５，６−ジカルボ キシベンズイミダゾール二無水物；２−（３′，４′−ジカルボキシフェニル） −５，６−ジカルボキシベンズキサゾール二無水物；２−（３′，４′−ジカル ボキシフェニル）−５，６−ジカルボキシベンゾチアゾール二無水物；２，２′ ，３，３′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物；２，３，３′，４′− ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物；３，３′，４，４′−ベンゾフェノ ンテトラカルボン酸二無水物（ＢＤＴＡ）；２，２′，３，３′−ビフェニルテ トラカルボン酸二無水物；２，３，３′，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二 無水物；３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ＢＰＤＡ ）；ビシクロー〔２，２，２〕−オクテン−（７）−２，３，５，６−テトラカ ルボン酸−２，３，５，６−二無水物；チオージフタル酸二無水物；ビス（３， ４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフ ェニル）スルホキシド二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニルオキサジ アゾール−１，３，４）パラフェニレン二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシ フェニル）２，５−オキサジアゾール−１，３，４−二無水物；ビス２，５−（ ３′，４′−ジカルボキシジフェニルエーテル）１，３，４−オキサジアゾール 二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物又はオキシ ジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）チオ エーテル二無水物；ビスフェノールＡ二無水物；ビスフェノールＳ二無水物；２ ，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物 又は５，５−〔２，２，２−トリフルオロ−１−（トリフルオロメチル）エチリ デン〕ビス−１，３−イソベンゾフランジオン）（６ＦＤＡ）；ヒドロキノンビ スエーテル二無水物；ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物； シクロペンタジエニルテトラカルボン酸二無水物；シクロペンタンテトラカルボ ン酸二無 水物；エチレンテトラカルボン酸二無水物；ペリレン３，４，９，１０−テトラ カルボン酸二無水物；ピロメリット酸二無水物（ＰＭＤＡ）；テトラヒドロフラ ンテトラカルボン酸二無水物；及びレゾルシノール二無水物が含まれる。 二無水物は四価の酸の形又は該四価の酸の一価、二価、三価又は四価のエステ ルとして使用し得るが、比較的反応性が高いため二無水物の形が好ましい。 好ましい二無水物は、入手が容易であって優れた特性を付与することが知られ ていることから、ＯＤＰＡ、ＢＰＤＡ、ＢＴＤＡ、６ＦＤＡ、及びＰＭＤＡ又は それらの混合物である。最も好ましい二無水物は、良好な接着性及び良好な柔軟 性を有するポリイミドシロキサンを提供することから、ＯＤＰＡである。 最も優れた特性を付与することから、非シロキサン含有ジアミンは芳香族であ るべきである。適切な芳香族ジアミンの例には、ｍ−及びｐ−フェニレンジアミ ン；２，４−（ＴＤＡ）、２，５−及び２，６−ジアミノトルエン；ｐ−及びｍ −キシリレンジアミン；４，４′−ジアミノビフェニル；４，４′−ジアミノジ フェニルエーテル又は４，４′−オキシジアニリン３，４−オキシジアニリン（ ＯＤＡ）；４，４′−ジアミノベンゾフェノン；３，３′、３，４′、又は４， ４−ジアミノフェニルスルホン又はｍ，ｍ−、ｍ，ｐ−又はｐ，ｐ−スルホンジ アニリン；４，４′−ジアミノジフェニルスルフィド；３，３′又は４，４−ジ アミノジフェニルメタン又はｍ，ｍ−又はｐ，ｐ−メチレンジアニリン；３，３ ′−ジメチルベンジジン；４，４′−イソプロピリデンジアニリン；１，４−ビ ス（ｐ−アミノフェノキシ）ベンゼン；１，３−ビス（ｐ−アミノフェノキシ） ベンゼン；４，４′−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル；１，３−ビス （３−アミノフェノキシ）ベンゼン（ＡＰＢ）；２，４−ジアミン−５−クロロ トルエン；２，４−ジアミン−６−クロロトルエン；２，２−ビス−４〔４−ア ミノフェノキシ〕フェニルプロパン（ＢＡＰＰ）；トリフルオロメチル−２，４ −ジアミノベンゼン；トリフルオロメチル−３，５−ジアミノベンゼン；２，２ ′−ビス（４−アミノフェニル）−ヘキサフルオロプロパン；２，２−ビス（４ −フェノキシアニリン）イソプロピリデン；２，４，６−トリメチル−１，３− ジアミノベンゼン；４，４′−ジアミノ−２，２′−トリフルオロメチルジフェ ニルオキシド；３，３′−ジアミノ−５，５′−トリフルオロメチルジフェニル オ キシド；４，４′−トリーフルオロメチル−２，２′−ジアミノビフェニル；２ ，４，６−トリメチル−１，３−ジアミノベンゼン；ジアミノアントラキノン； ４，４′−オキシビス〔２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕（１，２， ４−ＯＢＡＢＴＦ）；４，４′−オキシビス〔（３−トリフルオロメチル）ベン ゼンアミン〕；４，４′−チオビス〔（２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミ ン〕；４，４′−チオビス〔（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４ ，４′−スルホキシルビス〔（２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４ ，４′−スルホキシルビス〔（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４ ，４′−ケトビス〔（２−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′− 〔（２，２，２−トリフルオロメチル−１−（トリフルオロメチル）−エチリデ ン）ビス（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕；４，４′−ジメチルシ リルビス〔（３−トリフルオロメチル）ベンゼンアミン〕が含まれる。 優れた特性を有することから、好ましい芳香族ジアミンはＴＤＡ、ＡＰＢ、及 びＢＡＰＰである。 ポリイミドシロキサンは約１〜約80重量％のシロキサン含有モノマー及び約20 〜約99重量％のシロキサンを含有しないモノマーから製造し得る。好ましくは、 約１〜約30重量％のシロキサン含有モノマー及び約70〜約99重量％のシロキサン を含有しないモノマーから製造する。一般に、理論量のジアミン及び二無水物を 用いて最高の分子量のポリイミドシロキサンを得るが、二無水物のジアミンに対 する当量比は１：２〜２：１の範囲であってよい。 ポリイミドシロキサンは一般に溶液状に調製する。ポリイミドシロキサンの溶 液を形成する溶媒は、もちろん、ポリイミドシロキサンを溶解するものでなけれ ばならない。適切な溶媒は、製造され溶解されるポリイミドシロキサンの特定の 組成に依存するが、Ｎ-メチルピロリジノン（NMP）、ジグリム（diglyme）、ト リグリム（triglyme）、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジメチルアセト アミド及びこれらの溶媒の混合物が含まれる。沸点の低い溶媒は完成したテープ からあまりに容易に揮発してしまい、また沸点の高い溶媒はテープから除去する ことが非常に困難となるため、溶媒の沸点は130〜210℃であることが好ましい。 該溶媒によるポリイミドシロキサン溶液の固形分は所望により何％であってもよ いが、 溶液が希薄すぎることは蒸発する溶媒が多すぎることとなり、またあまりに濃厚 であると粘度が高くなりすぎるため、約10〜約30重量％が好ましい。特に好まし いポリイミドシロキサン接着剤は、ＯＤＰＡ、ＡＰＢ及びＧ₉のＮＭＰ溶液から 製造する。 ポリアミン酸を形成する第１の反応は室温で起き、イミド環を閉じる第２の反 応は約150〜約180℃で起きる。一般に、反応混合物を数時間還流してポリマーを イミド化する。溶媒に可溶な十分にイミド化した熱可塑性接着剤ポリイミドシロ キサンの調製についての更に完全な記載は、米国特許第4,973,645号明細書中に あり、その内容は本明細書に含まれるものとする。 前記キャリヤフィルムは、ポリイミドシロキサンが接着し得るものであればほ ぼ任意の有機ポリマー材料からなるものでよい。該ポリマー材料は、ポリイミド シロキサン溶液により溶解することのない程度に耐溶剤性を有していなければな らない。キャリヤフィルムの表面を改質して、該表面に対するポリイミドシロキ サンの接着性を向上させることができる。そのような改質法にはコロナ又は様々 な化学物質を用いた処理が含まれる。接着性を向上させる予備処理がなされた様 々な種類のキャリヤフィルムが販売されている。結合条件に容易に耐え得ること から、キャリヤフィルムはTgが150℃以上の無定形ポリマー又は融点が150℃以上 の結晶性ポリマーのいずれかであることが好ましい。そのようなキャリヤフィル ムの例にはポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエチレンテレフタレート、 ポリエーテルエーテルケトン、ポリスルホン及びポリアミド（ナイロン66等）が 含まれる。キャリヤフィルムについて好ましい材料はポリイミドである。キャリ ヤフィルムの厚さは約13〜約250μｍ（約1/2〜約10ミル）で変化してよいが、約 25〜約51μｍ（約１〜約２ミル）の厚さが好ましい。 本発明のテープは、ポリイミドシロキサン溶液をキャリヤフィルム上に塗布 し、溶液から溶媒を蒸発させることにより製造する。一般に、前記キャリヤフィ ルムは、前記溶液をその上部表面にドクターブレードで展開する間水平に置かれ る。次に溶媒を蒸発させ、該キャリヤフィルムを反転させ、前記手順を繰り返す 。これは手作業でも自動化工程でも行い得る。該キャリヤフィルムをポリイミド シロキサン溶液に浸漬しあるいは通過させた後に拭き取り又は蒸発させる等の、 他 のテープ製造方法を使用することも考えられる。テープ上に所望の厚さの接着剤 を積層させるために、該溶液を繰り返し塗布する必要がある場合がある。接着剤 層の厚さはキャリヤフィルムの各面上で約2.5〜約130μｍ（約0.1〜約５ミル） であってよく、好ましい厚さは各面上で約13〜約25μｍ（約0.5〜約１ミル）で ある。 テープを製造して溶媒を蒸発させた後は、接着面はもはや粘着性ではなく、テ ープを巻取り、使用のため保管しておくことができる。使用の際には該テープを 所望の寸法に切断し、テープに対し結合すべき面を加熱し、テープに対して押し つける。一般に、温度を約200〜約350℃とし、圧力を約７×10³〜約140×10³kg/ m²（約10〜約200psi）とする。テープは即座に結合するため、一般には必要な圧 力印加時間は約１秒〜約30秒に過ぎない。 該テープは多くの異なる用途に使用可能であるが、本発明のテープの主たる用 途は、マイクロエレクトロニクス産業での部品の結合である。そのような用途に は、集積回路チップに対する金属リードフレームの結合、リードフレームに対す るチップの結合、リードフレーム相互の結合、チップキャリヤに対するチップの 結合及び熱拡散器（heat-spreader）に対するチップの結合が含まれる。 以下の実施例により本発明について更に説明する。実施例１ 頭上攪拌機、温度計、ディーン−スターク・トラップ及び凝縮器の最上部に窒 素流入口を備えた三つ口の乾燥した12ｌフラスコに、５ｌのドライＮＭＰ及び75 0mlのトルエンを加えた。このフラスコに、撹拌しながら、503.64ｇ（1.62モル ）のＯＤＰＡ、次いで24ｇ（.096モル）のＧ₁及び96ｇ（平均分子量が841である シロキサンジアミン.114モル）のＧ₉を添加した。反応物を４時間攪拌し、次に5 77.92ｇ（1.41モル）のＢＡＰＰを添加した。反応物を一晩攪拌し、次に250mlの ドライＮＭＰ及び18ｇのＤＡＢＣＯを添加した。反応物を加熱して還流し、水を 除去した。ポット温度を約155℃から約172℃まで緩やかに上昇させながら、還流 を４時間続けた。この間に約120ccの水相を除去した。その後に、真空により約3 5〜40％の溶媒を除去した。反応混合物を約80℃まで冷却し、水に沈殿させた。 混合物を濾過し、洗浄し、脱イオン水中に再スラリー化し、再度濾過した。 次に沈殿を105℃で３日間乾燥した。実施例２〜７ 異なるモノマーを用いて実施例１を繰り返した。次の表にこれらのポリイミド シロキサン接着剤の調製についてまとめた。 ガラス転移温度Ｔｇは動力学的熱分析（DMTA）により測定した。Ｔｇは、昇温 速度４℃／分、引張モード、１Ｈｚにおいてｔａｎδのピークが消失する温度と した。 実施例８ 実施例１のポリイミドシロキサンを窒素中190℃で15時間加熱して分子量を増 加させ、次にＮＭＰに溶解し、５ミクロンのカートリッジフィルターを通して溶 液を濾過して、固形分が21重量％であって粘度が95ポアズである約3.5ｌの溶液 を得た。この溶液を約100ccのＮＭＰで更に希釈して粘度を減少させ、次にユー ピレックスSGAポリイミド（ウベ製）をコートするのに用いた。このポリイミド は幅約30cm（12インチ）、厚さ約51μｍ（２ミル）のロール形状で使用した。ポ リイミドシロキサン溶液の入ったトラフ及び厚さを制御するナイフを備えた２台 のロールコーターに該ポリイミドシートを通し、次に93℃に設定したゾーン１ （長さ約12ｍ（40フィート））及び177℃に設定したゾーン２（長さ約34ｍ（110 フィート））の２台のゾーン加熱オーブンに通した。該ポリイミドを毎分7.6ｍ の速度でコートした。第１の面をコートした後、片面シートを同一条件下で再度 コーターに通して、実施例１のポリイミドシロキサンをポリイミドの各面にコー トした。シートの全厚さは約91μｍ（3.6ミル）であった。実施例９ 実施例２のポリイミドシロキサンをＮＭＰに溶解し、５ミクロンのカートリッ ジフィルターを通して溶液を濾過して、固形分が16重量％であって粘度が9.0ポ アズである約3.５ｌの溶液を得た。このポリイミドシロキサンを実施例８と同様 に使用して、実施例２のポリイミドシロキサンをポリイミドの各面にコートした 。シートの全厚さは約91μｍ（3.6ミル）であった。実施例10 実施例３のポリイミドシロキサンを200℃で19時間加熱して分子量を増加させ 、次にＮＭＰに溶解し、５ミクロンのカートリッジフィルターを通して溶液を濾 過して、固形分が24重量％であって粘度が7.5ポアズである約3.5ｌの溶液を得た 。このポリイミドシロキサンを実施例８と同様に使用して、実施例３のポリイミ ドシロキサンをポリイミドの各面にコートした。シートの全厚さは約91μｍ（3. 6ミル）であった。実施例11 実施例４のポリイミドシロキサンをシクロヘキサノンに溶解して、固形分が25 重量％であって均一であるが不透明な溶液を得た。厚さ約130μｍ（５ミル）、 幅約1.3cm（約0.5インチ）のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムス トリップを該ポリマー溶液に浸漬し、次につり下げて液を切り５日間空気乾燥さ せた。コートフィルムの厚さは約160μｍ（約6.3ミル）であった。実施例12 厚さ約102μｍ（約４ミル）のナイロン6-6フィルムを実施例11と同様にコート した。コートフィルムの厚さは約152μｍ（約６ミル）であった。実施例13 実施例５のポリイミドシロキサンをシクロヘキサノンに溶解して、固形分が25 重量％の溶液を得た。厚さ約51μｍ（２ミル）のカプトンＨストリップを該ポリ マー溶液に浸漬し、液を切った。コートストリップを次に150℃のオーブン中で 約１時間乾燥させた。コートフィルムの厚さは約102μｍ（約４ミル）であった 。実施例14 実施例６のポリイミドシロキサンをＮＭＰに溶解して、固形分が25重量％の溶 液を得た。厚さ約51μｍ（２ミル）のポリイミドフィルム（デュポン製カプトン Ｈ）ストリップを該ポリマー溶液に浸漬し、液を切り空気乾燥させた。該ストリ ップを更に200℃のオーブン中で約１時間乾燥させた。実施例15 厚さ約25μｍ（１ミル）のカプトンＨストリップを用いたことを除き、実施例 14を繰り返した。実施例16 実施例６のポリイミドシロキサンをジグリムに溶解して、固形分が40重量％の 溶液を得た。10ミクロンのフィルターを通し、次いで１ミクロンのフィルターを 通して溶液を濾過した。幅約5.9cm（約2.3インチ）、厚さ約51μｍ（２ミル）で あって長さ約15cm（約６インチ）のカプトンＨストリップを上記溶液に通し、空 気乾燥下に数日間つり下げた。実施例17 実施例８のコートテープからストリップ（約１cm²）を切り出し、アロイ42の 金属片と、PMDA-ODAポリマーで予備コートした１枚のシリコンウェファーのコー ト面との間に置いた。（予備コートは、0.17％の3-アミノプロピルトリエトキシ シランの溶液を約10cm（４インチ）のシリコンウェファー上に、5000rpmで30秒 間スピンコートし、次いで15％のPMDA-4,4’ODAポリアミン酸の75／25のＮＭＰ ／キシレン溶液を3000rpmで30秒間スピンコートし、窒素雰囲気中で毎分５℃で6 0分間で350℃まで昇温して乾燥することにより行った。）積層物を圧力を印加せ ずに275℃のホットプレート上に10秒間置いた。次に、約2.5kg（5.5ポンド）の 圧力を10秒間印加し、積層物を取り出してＨＭＰモデル1750ダイ剪断試験機で接 着試験を行った。４個の積層物について試験を行い、平均値をとって、25kg／cm² 以上の剪断接着強度を得た。実施例18〜25 実施例９〜16のテープを用いて実施例17を繰り返した。次の表に結果を示す。 これらの実施例から、様々な表面間に強固な結合を形成するのに本発明の３層 フィルムを使用し得ることが示された。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ Ｃ０９Ｊ 7/02 ＪＫＤ 6904−4Ｊ 179/08 ＪＧＥ 9285−4Ｊ 183/08 ＪＧＦ 7729−4Ｊ Ｈ０１Ｌ 23/50 Ｙ 8509−4Ｅ (71)出願人 ロイスタチェル セルジオ アール アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14228 アムハースト ブルーバード レーン １ (71)出願人 ティーレル ジョン エイ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14221 ウィリアムスヴィル イースト パイン レイク 83 (72)発明者 ローゼンフェルド ジェロルド シー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14228 アムハースト ウィローグリーン ドラ イヴ 18 (72)発明者 ロイスタチェル セルジオ アール アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14228 アムハースト ブルーバード レーン １ (72)発明者 ティーレル ジョン エイ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14221 ウィリアムスヴィル イースト パイン レイク 83

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．２つの十分にイミド化した熱可塑性ポリイミドシロキサン接着剤層に挟まれ たキャリヤフィルムを含む接着テープ。 ２．前記キャリヤフィルムが、ポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエチレ ンテレフタレート、及びポリアミドから選ばれる、請求項１記載の接着テープ。 ３．前記キャリヤフィルムがポリイミドである、請求項１記載の接着テープ。 ４．前記キャリヤフィルムが約13〜約250μｍ（0.５〜10ミル）の厚さである、 請求項１記載の接着テープ。 ５．前記ポリイミドシロキサン接着剤層が、芳香族二無水物、非シロキサン含有 ジアミン、及びシロキサン含有ジアミンの反応生成物を含む、請求項１記載の接 着テープ。 ６．前記シロキサンジアミンが前記ポリイミドシロキサンを約１〜約70重量％含 む、請求項５記載の接着テープ。 ７．前記芳香族二無水物が、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、オキシ ジフタル酸二無水物、ビフェニルニ無水物、６ＦＤＡ、ピロメリット酸二無水物 、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる、請求項５記載の接着テープ。 ８．前記芳香族二無水物がオキシジフタル酸二無水物である、請求項７記載の接 着テープ。 ９．前記芳香族ジアミンが、トルエンジアミン、１，３−ビス（３−アミノフェ ノキシ）ベンゼン、及び２，２−ビス−（４〔４−アミノフェノキシ〕フェニル ）プロパンからなる群から選ばれる、請求項５記載の接着テープ。 10．前記シロキサンジアミンが次の一般式で表される、請求項５記載の接着テー プ。 （式中、Ｒは一価の基、Ｒ₁は二価の基であって、Ｒ及びＲ₁は置換又は未置換 の炭素原子１−12個の脂肪族基及び置換又は未置換の炭素原子６〜10個の芳香族 基から各々独立に選ばれ、ｍ＝１〜200である。） 11．前記芳香族二無水物がオキシジフタル酸二無水物であり、前記非シロキサン 含有ジアミンが１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼンであり、前記シ ロキサンジアミンの一般式中のｍが９であり、溶媒がN-メチルピロリジノンであ る、請求項10記載の接着テープ。 12．次の各工程を含む、接着テープの製造方法。 Ａ．十分にイミド化したポリイミドシロキサンの溶媒による溶液を形成する工 程； Ｂ．該溶液をキャリヤフィルムの両面に塗布する工程；及び、 Ｃ．該溶液から溶媒を蒸発させる工程。 13．前記溶液を先ず前記キャリヤフィルムの一方の面に塗布し、溶媒を蒸発させ 、次に該溶液を該フィルムの他方の面に塗布し、次いで溶媒を蒸発させる、請求 項12記載の方法。 14．前記溶媒に芳香族二無水物、非シロキサン含有ジアミン、及びシロキサン含 有ジアミンを溶解し、該溶液を加熱してポリアミン酸を形成し、該溶液を更に加 熱してポリイミドシロキサンを形成することにより前記ポリイミドシロキサンの 溶液を形成する、請求項12記載の方法。 15．前記溶媒の沸点が約130〜約210℃である、請求項12記載の方法。 16．前記溶液の固形分が約10〜約30重量％である、請求項12記載の方法。 17．前記接着テープを２つの表面の間に置き、温度を約200〜約350℃とし、圧力 を約７×10³〜約140×10³kg/m²（10〜200psi）として約１〜約30秒間該２つの表 面を相互に押しつける最終工程を更に含む、請求項12記載の方法。 18．前記表面が金属リードフレーム及び集積回路チップである、請求項17記載の 方法。 19．前記テープを巻き取る最終工程を更に含む、請求項12記載の方法。 20．請求項19記載の方法により製造した巻き取りテープ。