JPH0842487A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0842487A JPH0842487A JP18108694A JP18108694A JPH0842487A JP H0842487 A JPH0842487 A JP H0842487A JP 18108694 A JP18108694 A JP 18108694A JP 18108694 A JP18108694 A JP 18108694A JP H0842487 A JPH0842487 A JP H0842487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- vacuum pump
- gas
- vacuum
- operation mode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】凝縮性、あるいは昇華性の気体を排気する真空
ポンプ１で、低回転数で運転するモードを備えている
か、ポンプ内ガスを置換したのち回転を止め、回転が止
まったのちもポンプ内温度を設定した温度に保つ機能を
備え、固形物の付着を防止した真空ポンプ。 【効果】装置のメンテナンス時など排気の必要がない場
合にも、固形物付着を恐れて真空ポンプを定格運転して
いたが、その必要がなくなり、省エネルギ運転が可能と
なる。
ポンプ１で、低回転数で運転するモードを備えている
か、ポンプ内ガスを置換したのち回転を止め、回転が止
まったのちもポンプ内温度を設定した温度に保つ機能を
備え、固形物の付着を防止した真空ポンプ。 【効果】装置のメンテナンス時など排気の必要がない場
合にも、固形物付着を恐れて真空ポンプを定格運転して
いたが、その必要がなくなり、省エネルギ運転が可能と
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空容器を排気するた
めに用いられる真空ポンプに係り、特に、半導体製造装
置など、凝縮性、あるいは昇華性の気体を排気すること
により、固形物が真空ポンプ内に付着する可能性の高い
装置に適用する真空ポンプに関する。
めに用いられる真空ポンプに係り、特に、半導体製造装
置など、凝縮性、あるいは昇華性の気体を排気すること
により、固形物が真空ポンプ内に付着する可能性の高い
装置に適用する真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置などで、凝縮性、あるい
は昇華性の気体を排気する場合、固形物が真空ポンプ内
に付着し、これによって詰まりや噛りが生じる可能性が
高い。そのため、特開平3−290091 号公報にあるよう
に、駆動中の真空ポンプ内温度を一定以上に保つように
し、凝縮性、あるいは昇華性の気体が固形物となって真
空ポンプ内壁に付着することを防いでいる。
は昇華性の気体を排気する場合、固形物が真空ポンプ内
に付着し、これによって詰まりや噛りが生じる可能性が
高い。そのため、特開平3−290091 号公報にあるよう
に、駆動中の真空ポンプ内温度を一定以上に保つように
し、凝縮性、あるいは昇華性の気体が固形物となって真
空ポンプ内壁に付着することを防いでいる。
【０００３】しかし、真空ポンプの駆動を、一旦、止め
ると、ポンプ内部の温度が下がり、そのためにポンプ内
壁に固形物が付着し、これによって詰まりや噛りが生じ
て駆動しなくなることがある。そのため、駆動にインバ
ータを用いている真空ポンプでは、特開平2−241999 号
公報にあるように、ポンプ起動時、インバータを介さ
ず、直接交流電源から起動し、駆動トルクを大きくとれ
るようにして、真空ポンプ内に固形物が付着した場合で
も起動できるような提案がなされている。
ると、ポンプ内部の温度が下がり、そのためにポンプ内
壁に固形物が付着し、これによって詰まりや噛りが生じ
て駆動しなくなることがある。そのため、駆動にインバ
ータを用いている真空ポンプでは、特開平2−241999 号
公報にあるように、ポンプ起動時、インバータを介さ
ず、直接交流電源から起動し、駆動トルクを大きくとれ
るようにして、真空ポンプ内に固形物が付着した場合で
も起動できるような提案がなされている。
【０００４】しかし、真空ポンプの種類によっては、起
動時の駆動トルクを大きくできないものもあり、結局、
装置のメンテナンス時など、真空容器を排気する必要の
ないときでも、ポンプ上流側のバルブを閉め、真空ポン
プだけは稼働させ、これにより、固形物が真空ポンプ内
に付着することを防いでいた。
動時の駆動トルクを大きくできないものもあり、結局、
装置のメンテナンス時など、真空容器を排気する必要の
ないときでも、ポンプ上流側のバルブを閉め、真空ポン
プだけは稼働させ、これにより、固形物が真空ポンプ内
に付着することを防いでいた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、固形物
の付着防止については、真空ポンプ稼動時についてのみ
考慮されていて、真空ポンプを止めた時のことは、考慮
されていなかった。そのため、排気の必要がない場合で
も、固形物の付着防止のためにフルパワーで真空ポンプ
を動作させており、無駄なエネルギを消費していた。
の付着防止については、真空ポンプ稼動時についてのみ
考慮されていて、真空ポンプを止めた時のことは、考慮
されていなかった。そのため、排気の必要がない場合で
も、固形物の付着防止のためにフルパワーで真空ポンプ
を動作させており、無駄なエネルギを消費していた。
【０００６】本発明の目的は、このようなエネルギの浪
費をなくすことにあり、排気作用を止めるか、あるい
は、排気能力を低下させても、固形物の付着を防止でき
る機能を備えた真空ポンプを提供することにある。
費をなくすことにあり、排気作用を止めるか、あるい
は、排気能力を低下させても、固形物の付着を防止でき
る機能を備えた真空ポンプを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的達成のため、
本発明の真空ポンプは、固形物の付着を防止するに足る
回転数で動く運転モードを備えたものである。また、本
発明の真空ポンプは、排気作用を止めるか、あるいは、
排気能力を低下させても、固形物の付着を防止するに足
る温度を保持する恒温モードを備えたものである。ま
た、本発明の真空ポンプは、固形物の付着を防止するに
足る低電力の運転モードを備えたものである。さらにま
た、本発明の真空ポンプは、凝縮性、あるいは昇華性の
気体を吸引した後、排気作用を止める前に、ポンプ内の
ガスを置換させるガス置換モードを備えたものである。
本発明の真空ポンプは、固形物の付着を防止するに足る
回転数で動く運転モードを備えたものである。また、本
発明の真空ポンプは、排気作用を止めるか、あるいは、
排気能力を低下させても、固形物の付着を防止するに足
る温度を保持する恒温モードを備えたものである。ま
た、本発明の真空ポンプは、固形物の付着を防止するに
足る低電力の運転モードを備えたものである。さらにま
た、本発明の真空ポンプは、凝縮性、あるいは昇華性の
気体を吸引した後、排気作用を止める前に、ポンプ内の
ガスを置換させるガス置換モードを備えたものである。
【０００８】
【作用】真空装置のメンテナンス時のように、特に、真
空容器を排気する必要の無い場合は、真空ポンプ上流側
のバルブを閉め、真空ポンプを、低電力運転モード，低
回転運転モード，恒温モード、あるいは、ガス置換モー
ドに設定する。この運転モードでは、排気作用はない
か、あっても小さいが、吸引した凝縮性、あるいは昇華
性の気体が真空ポンプ内部に付着せず、さらに、定格運
転時より消費電力が少ない。このため、従来のようなエ
ネルギの浪費がなくなる。
空容器を排気する必要の無い場合は、真空ポンプ上流側
のバルブを閉め、真空ポンプを、低電力運転モード，低
回転運転モード，恒温モード、あるいは、ガス置換モー
ドに設定する。この運転モードでは、排気作用はない
か、あっても小さいが、吸引した凝縮性、あるいは昇華
性の気体が真空ポンプ内部に付着せず、さらに、定格運
転時より消費電力が少ない。このため、従来のようなエ
ネルギの浪費がなくなる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１，図２により
説明する。
説明する。
【００１０】図１は、本発明の真空ポンプを用いた半導
体製造装置である。図示のとおり、真空容器４は、バル
ブ３を介して真空ポンプ１に接続されている。真空ポン
プ１は、駆動部２によって回転運動を与えられることに
より、気体の排気を行う。駆動部２の動力は、交流電源
６からインバータ５を介して伝えられる。コントローラ
７は、インバータ５を介して駆動部２の回転数を増減す
る制御を行う。
体製造装置である。図示のとおり、真空容器４は、バル
ブ３を介して真空ポンプ１に接続されている。真空ポン
プ１は、駆動部２によって回転運動を与えられることに
より、気体の排気を行う。駆動部２の動力は、交流電源
６からインバータ５を介して伝えられる。コントローラ
７は、インバータ５を介して駆動部２の回転数を増減す
る制御を行う。
【００１１】図２にポンプの回転数の変化を示した。真
空容器４を排気する場合、バルブ３を開き、ポンプ１を
駆動させる。すると、図２に初期真空排気で示したよう
に、徐々に回転数を増加させて定格運転に入る。半導体
製造装置では、真空容器内にプロセスガスを導入して各
種処理が行われることがある。プロセスガスには、凝縮
性、あるいは昇華性の気体が用いられることが多く、そ
のため、真空ポンプ１内にこのようなガスが固形物とな
って付着しないように、ポンプ１内は一定の温度を保つ
ようになっている。ある期間使用すると、真空容器４の
清掃など装置のメンテナンスが必要となる。そこで、バ
ルブ３を閉め、真空容器４を大気に開放する。この時、
図２に破線で示したように、真空ポンプ１を定格で運転
させておくのが従来方法である。これは、ポンプを止め
ると、ポンプ内の温度が低下してしまい、プロセスガス
として用いた凝縮性、あるいは昇華性の気体がポンプ内
に付着する恐れがあり、これによって、詰まりや噛りが
生じるのを防ぐためである。これに対し、図２に実線で
示したように、回転数をさげて運転できるようにした、
つまり、低回転数運転モードをもつのが本発明の真空ポ
ンプである。このように、回転数を下げているため消費
電力が少なくなり、かつ、ポンプ内の温度はほとんど下
がらず、さらに回転しているために、凝縮性、あるいは
昇華性の気体がポンプ内に付着して生じる詰まりや噛り
の発生を防止できる。消費電力は、吸気圧力が同じな
ら、およそ回転数の３乗に比例する。よって、たとえ
ば、回転数を定格回転時の７０％とすると、消費電力
は、定格運転時の３５％にまで減少する。
空容器４を排気する場合、バルブ３を開き、ポンプ１を
駆動させる。すると、図２に初期真空排気で示したよう
に、徐々に回転数を増加させて定格運転に入る。半導体
製造装置では、真空容器内にプロセスガスを導入して各
種処理が行われることがある。プロセスガスには、凝縮
性、あるいは昇華性の気体が用いられることが多く、そ
のため、真空ポンプ１内にこのようなガスが固形物とな
って付着しないように、ポンプ１内は一定の温度を保つ
ようになっている。ある期間使用すると、真空容器４の
清掃など装置のメンテナンスが必要となる。そこで、バ
ルブ３を閉め、真空容器４を大気に開放する。この時、
図２に破線で示したように、真空ポンプ１を定格で運転
させておくのが従来方法である。これは、ポンプを止め
ると、ポンプ内の温度が低下してしまい、プロセスガス
として用いた凝縮性、あるいは昇華性の気体がポンプ内
に付着する恐れがあり、これによって、詰まりや噛りが
生じるのを防ぐためである。これに対し、図２に実線で
示したように、回転数をさげて運転できるようにした、
つまり、低回転数運転モードをもつのが本発明の真空ポ
ンプである。このように、回転数を下げているため消費
電力が少なくなり、かつ、ポンプ内の温度はほとんど下
がらず、さらに回転しているために、凝縮性、あるいは
昇華性の気体がポンプ内に付着して生じる詰まりや噛り
の発生を防止できる。消費電力は、吸気圧力が同じな
ら、およそ回転数の３乗に比例する。よって、たとえ
ば、回転数を定格回転時の７０％とすると、消費電力
は、定格運転時の３５％にまで減少する。
【００１２】他の実施例を図３により説明する。
【００１３】このポンプには、加熱器８と置換ガス導入
バルブ９がついている。装置のメンテナンス時は、バル
ブ３をとじた後、コントローラ７をメンテナンスモード
に設定すると、置換ガス導入バルブ９が開き、置換ガス
を導入，排気し、ポンプ１内に残留している凝縮性、あ
るいは昇華性の気体を除去したのち、ポンプ１の運転が
止まる。これと同時に、加熱器８によってポンプ１内の
温度を一定温度に保つよう制御される。このように、ガ
スの置換とポンプ内温度をコントロールすることによ
り、ポンプ１内に固形物が付着するのを防止し、装置の
エメンテナンス時には、ポンプの運転を止められるよう
にした。これにより、消費電力が低減できる。
バルブ９がついている。装置のメンテナンス時は、バル
ブ３をとじた後、コントローラ７をメンテナンスモード
に設定すると、置換ガス導入バルブ９が開き、置換ガス
を導入，排気し、ポンプ１内に残留している凝縮性、あ
るいは昇華性の気体を除去したのち、ポンプ１の運転が
止まる。これと同時に、加熱器８によってポンプ１内の
温度を一定温度に保つよう制御される。このように、ガ
スの置換とポンプ内温度をコントロールすることによ
り、ポンプ１内に固形物が付着するのを防止し、装置の
エメンテナンス時には、ポンプの運転を止められるよう
にした。これにより、消費電力が低減できる。
【００１４】
【発明の効果】本発明の真空ポンプは、凝縮性、あるい
は昇華性の気体を排気後の装置メンテナンス時用に、固
形物の付着を防止するに足る回転数で動く低回転運転モ
ードを備え、排気作用を止めるか、排気能力を低下させ
ても、固形物の付着を防止するに足る温度を保持する恒
温モードを備えている。さらに、排気作用を止める前
に、ポンプ内のガスを置換させるガス置換モードを備え
ている。このように、固形物の付着を防止するに足る低
電力の運転モードを備えている。これにより、従来のよ
うに、定格運転をさせて不必要なエネルギを消費するこ
とがない。省エネルギの効果がある。
は昇華性の気体を排気後の装置メンテナンス時用に、固
形物の付着を防止するに足る回転数で動く低回転運転モ
ードを備え、排気作用を止めるか、排気能力を低下させ
ても、固形物の付着を防止するに足る温度を保持する恒
温モードを備えている。さらに、排気作用を止める前
に、ポンプ内のガスを置換させるガス置換モードを備え
ている。このように、固形物の付着を防止するに足る低
電力の運転モードを備えている。これにより、従来のよ
うに、定格運転をさせて不必要なエネルギを消費するこ
とがない。省エネルギの効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図。
【図２】本発明の第１の実施例のポンプの回転数変化を
示す特性図。
示す特性図。
【図３】本発明の第２の実施例を示すブロック図。
１…真空ポンプ、２…駆動部、３…バルブ、４…真空容
器、５…インバータ、６…交流電源、７…コントロー
ラ、８…加熱器、９…置換ガス導入バルブ。
器、５…インバータ、６…交流電源、７…コントロー
ラ、８…加熱器、９…置換ガス導入バルブ。
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器を排気するために用いる真空ポン
プにおいて、排気作用を止めるか、あるいは、排気能力
を低下させても、吸引した凝縮性、あるいは昇華性の気
体が、ポンプ内壁へ付着することを防止する機能を備え
たことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18108694A JPH0842487A (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18108694A JPH0842487A (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0842487A true JPH0842487A (ja) | 1996-02-13 |
Family
ID=16094578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18108694A Pending JPH0842487A (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0842487A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
| JP2006266248A (ja) * | 2004-04-27 | 2006-10-05 | Osaka Vacuum Ltd | 真空ポンプ |
| CN108302040A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-07-20 | 深圳市志橙半导体材料有限公司 | 一种干式真空泵的防卡死装置及防卡死方法 |
-
1994
- 1994-08-02 JP JP18108694A patent/JPH0842487A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002541541A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | アルカテル | 真空チャンバ内の圧力を調整するためのシステム、このシステムを装備した真空ポンピングユニット |
| JP2006266248A (ja) * | 2004-04-27 | 2006-10-05 | Osaka Vacuum Ltd | 真空ポンプ |
| CN108302040A (zh) * | 2018-03-14 | 2018-07-20 | 深圳市志橙半导体材料有限公司 | 一种干式真空泵的防卡死装置及防卡死方法 |
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