JPH0835784A - 黒鉛系耐火物の熱処理炉、熱処理方法及びその制御方法 - Google Patents

黒鉛系耐火物の熱処理炉、熱処理方法及びその制御方法

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JPH0835784A
JPH0835784A JP6192778A JP19277894A JPH0835784A JP H0835784 A JPH0835784 A JP H0835784A JP 6192778 A JP6192778 A JP 6192778A JP 19277894 A JP19277894 A JP 19277894A JP H0835784 A JPH0835784 A JP H0835784A
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JP
Japan
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gas
heat treatment
heat
furnace
graphite
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JP6192778A
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English (en)
Inventor
Masashi Kusuoku
正志 楠奥
Yoshitoshi Tani
美都志 谷
Tadao Ishida
忠雄 石田
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Shinagawa Refractories Co Ltd
Original Assignee
Shinagawa Refractories Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 特に大型の黒鉛系耐火物を均一に昇温ないし
冷却することができ、しかもその時間を短縮することが
でき、かつ省エネが達成できる黒鉛系耐火物の熱処理
炉、熱処理方法及びその制御方法を提供すること。 【構成】 熱処理炉1の加熱ガス系内に循環ファン4を配
設し、該ファンにより炉内にガス循環系を形成させ、こ
の循環ガスに昇温熱源として中性又は弱還元性燃焼加熱
ガスを供給するためのメインバ−ナ3を配設し、更に冷
却用熱交換器5、排ガス処理炉6、プログラムコントロ−
ラ13、シ−ケンサ−16を付設した熱処理炉。被熱処理物
Wを炉1内の循環ガスで昇温ないし冷却し、一方、被熱処
理物Wから揮発する可燃性ガス等を排ガス処理炉6で焼却
処理し、これらの処理をプログラムコントロ−ラ−13の
制御信号によって自動制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、黒鉛系耐火物の熱処理
炉、熱処理方法及びその制御方法に関し、特に大型の黒
鉛系耐火物を均一に昇温ないし冷却することができ、し
かもその時間を短縮することができ、かつ省エネが達成
できる黒鉛系耐火物の熱処理炉、熱処理方法及びその制
御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】黒鉛系耐火物(例えばAl2O3-C系耐火物、
MgO-C系耐火物など)は、一般に原料粉末に樹脂バインダ
−を配合して成形し、次に、この成形体を熱処理炉で加
熱処理(約500℃)を行い、樹脂バインダ−を分解揮発さ
せている。
【0003】従来の熱処理法としては、上記成形体(被
熱処理物)を耐熱金属製サガ−で囲い、該サガ−内のみ
を被酸化性雰囲気とし、そして、該被熱処理物の亀裂な
どの発生を防止するため、一般に常温〜200℃までは約2
℃/時間で昇温し、その後500℃まで約4℃/時間で昇温
するという極めて緩やかな昇温速度で行われている。こ
のため、通常は多量の空気希釈燃焼ガス(空気で希釈し
た多量の燃焼ガス)によって熱処理が行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の熱処理法は、上
記したように、多量の空気希釈燃焼ガスによって加熱さ
れるため、被熱処理物が昇温によって揮発する可燃性ガ
スの濃度が薄められ、その結果、排気ガスの焼却に要す
る燃料の消費量が加熱処理に要する熱量より多くなると
いう問題があった。また、昇温時間が長く、また、その
後の冷却時間も長いという欠点があった。
【0005】本発明は、上記従来の熱処理法における問
題点、欠点に鑑み成されたものであって、その目的とす
るところは、黒鉛系耐火物の熱処理において、 ・第1に、大型の被熱処理物であっても、その均一昇温
及び均一冷却を行うことができ、しかもその処理時間を
大幅に短縮することができ、 ・第2に、燃焼排ガスを大幅に減少させることができ、
そのため排ガスの焼却処理を小容量のアフタ−バ−ナで
行うことができ、 ・第3に、省エネが達成できる、という黒鉛系耐火物の
熱処理炉、熱処理方法及びその制御方法を提供すること
にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る黒鉛系耐火
物の熱処理炉は、 ・熱処理炉の加熱ガス系内に循環ファンを配設し、この
ファンにより炉内にガス循環系を形成させ、かつこの循
環ガスに昇温熱源として中性又は弱還元性燃焼加熱ガス
を供給するためのバ−ナを配設してなることを特徴と
し、また、 ・更に冷却用熱交換器、排ガス処理装置、プログラムコ
ントロ−ラ、シ−ケンサ−を付設してなることを特徴と
する。
【0007】本発明に係る黒鉛系耐火物の熱処理方法
は、 ・熱処理炉の加熱ガス系内にガス循環系を形成させ、こ
の循環ガスと中性又は弱還元性燃焼加熱ガスとの混合ガ
スにより被熱処理物を加熱処理することを特徴とし、ま
た、 ・ガスバ−ナより供給する加熱ガス量に相当する炉内循
環ガス及び被熱処理物から揮発する可燃性ガスを排ガス
処理装置で焼却処理すること、 ・炉内循環ガスと冷却用空気とを熱交換させ、この熱交
換により降温した循環ガスによって被熱処理物を冷却す
ることを特徴とする。
【0008】本発明に係る黒鉛系耐火物の熱処理を制御
する方法は、 ・プログラム制御と自動化運転シ−ケンスを有すること
を特徴とし、 ・プログラムコントロ−ラのプログラムパタ−ンに従っ
て炉内循環ガスに混合する燃焼加熱ガス用バ−ナのON-O
FF燃焼制御又はPID燃焼制御を行い、かつプログラムコ
ントロ−ラ−の制御信号によってプログラムのスタ−ト
から完了まで制御することを特徴とする。
【0009】以下、本発明について詳細に説明すると、
本発明は、熱処理炉の加熱ガス系内に循環ファンを設置
し、熱処理炉内にガス循環系を形成させ、この循環ガス
と中性又は弱還元性燃焼加熱ガスとの混合ガスにより被
熱処理物を加熱処理することを特徴とする。
【0010】具体的には、本発明では、熱処理炉内に多
量のガス循環系を形成させ、一方、必要熱(被熱処理物
の熱処理により奪われる熱+炉体放散熱+排ガスに同伴
される熱)を上記循環ガスに供給するため、燃料を理論
空気量又はそれ以下で燃焼させた高温で少量の中性又は
弱還元性燃焼加熱ガスを用い、このガスと上記循環ガス
との混合ガスにより被熱処理物を加熱処理することを特
徴とする。そして、このような循環ガスの使用により、
また、従来のように被熱処理物を耐熱金属製サガ−で囲
い、該サガ−を介して間接的に熱処理する必要がなく、
直接熱処理するものであるから、本発明によれば、被熱
処理物を均一に昇温させることができ、しかもその処理
時間を大幅に短縮(従来の2/3に短縮)することができる
作用効果が生じる。
【0011】また、本発明では、上記したように、多量
の循環ガスと昇温に必要な少量の加熱補給用燃焼ガスと
の混合ガスを用いるものであるから、燃焼排ガスを大幅
に減少させることができ、そのため、排ガス焼却処理と
しては小容量のアフタ−バ−ナで十分可能であり、しか
も、燃焼排ガス量が少ないことから、この排ガス焼却用
熱源が極めて少なくてすみ、従来の循環ガスを使用しな
い熱処理法と比較して大幅な省エネが達成できる作用効
果が生じる。
【0012】本発明では、循環ガスに昇温に必要な加熱
補給用燃焼ガスを供給するためメインバ−ナを配設し、
このガスバ−ナから、前記したように燃焼空燃比の低い
中性又は弱還元性燃焼加熱ガスを炉内循環ガスに供給す
る。このメインバ−ナにエア−供給管及びガス供給管を
配設し、各管にそれぞれ電磁弁を設置し、そして、低温
域(常温〜200℃)では電磁弁の開閉によりガスバ−ナをO
N−OFF燃焼制御し、一方、高温域(200〜500℃)ではコン
トロ−ルバルブをPIDで制御する。
【0013】また、本発明の冷却方法は、ガス循環系ダ
クトに冷却用の熱交換器(間接熱交換器)を設置し、炉内
循環ガスと冷却用空気とを熱交換させ、この熱交換によ
り降温した多量の循環ガスで加熱処理済みの被熱処理物
を冷却することを特徴とする。このように多量の循環ガ
ス(非酸化性雰囲気の循環ガス)で冷却することで、被熱
処理物を迅速に、しかも均一に冷却することができ、昇
温の場合と同様、その処理時間を大幅に短縮(従来の2/
3に短縮)することができる。
【0014】
【実施例】次に、本発明に係る熱処理炉、熱処理方法及
びその制御方法の一実施例を図1に基づいて説明する。
なお、図1中、実線矢印はエア−及び燃料配管を示し、
点線矢印は制御のための信号を示す。
【0015】図1に示す本発明に係る熱処理炉の各符号
を、その作用と共に説明する。図1において、1は炉
体、2は被熱処理物Wの詰出し用気密扉である。3はメ
インバ−ナであり、均圧弁17で空燃比を低温域熱処理時
(常温〜200℃域)には中性、高温域焼成時(200〜500℃
域)には弱還元性で燃焼する。
【0016】4は耐熱金属製の循環ファンであって、炉
体1中の循環ガスと上記メインバ−ナ−3の燃焼加熱ガ
スと混合して炉体1の上部に打込み、これを炉体1の下
部より吸引してガス循環系を形成させ、このような循環
ガスで被熱処理物Wの昇温を行うように構成されてい
る。また、5は循環ガスの冷却用熱交換器であって、冷
却時エア−電磁弁(VS)25を開き、エア−によって炉体1
中の循環ガスと熱交換させ、この熱交換により降温した
ガスを炉体1の上部に打込み、これを炉体1の下部より
吸引してガス循環系を形成させ、このような循環ガスで
被熱処理物Wの冷却を行うように構成されている。
【0017】6は排ガス処理炉であり、メインバ−ナ3
からの燃焼ガス量及び被熱処理物Wより揮発した可燃性
ガス量に相当する量のガスを炉体1の下部より抽気し、
これを排ガス処理炉6に導入し、アフタ−バ−ナ7で点
火して焼却処理し、排気筒8から排気する。9は燃焼用
空気ブロア兼冷却用空気ブロアであって、メインバ−ナ
3に燃焼用空気を供給し、又は、被熱処理物Wの冷却時
に冷却用熱交換器5へ熱交換用空気を供給するためのも
のである。
【0018】11は燃料ガス(LPG)の主ガス遮断弁であ
る。また、10は燃焼空気用圧力スイッチ(PS)であり、12
は燃料ガス用圧力スイッチ(PS)である。上記燃焼空気用
圧力スイッチ10及び燃料ガス用圧力スイッチ12は、その
下限圧力が設定されており、停電やガス漏れ等の異常時
に前記燃料ガス(LPG)の主ガス遮断弁11を“閉”とする
ための安全装置である。
【0019】13はプログラムコントロ−ラ(オンオフサ
−ボPID形)であり、プログラムされたSV(Set Value)
出力値と熱電対14の実温度測定PV(Process Value)入力
値を等しくするよう、コントロ−ルバルブ15で調節し、
メインバ−ナ3の燃焼量を制御するように構成されてい
る。
【0020】16はシ−ケンサ−であって、プログラムコ
ントロ−ラ−13の制御信号によってプログラムのスタ−
トから完了まで、自動的に制御し管理するように次の
(1)〜(4)のように構築されている。
【0021】(1) メインバ−ナ3には、ガス電磁弁(VG)
18、エア−電磁弁(VA)19、点火トランス(TR)20及びウル
トラビジョン(UV)21を夫々設置し、シ−ケンサ−16の構
築内容は、プログラムコントロ−ラ13のプログラム温度
SV値の上下限温度警報偏差に対して実測温度PV値を超え
る場合には、ON−OFF燃焼させることによりメインバ−
ナ3のタ−ンダウン比“1〜1/10”を“1〜OFF”にし、
その結果均一な炉内温度制御を可能とする。 (2) アフタ−バ−ナ7には、ガス電磁弁(VG)22、点火ト
ランス(TR)23及びウルトラビジョン(UV)24を夫々設置
し、プログラムタイムシグナル「ON」でガス電磁弁22が
“開”、「OFF」でガス電磁弁22が“閉”となるように
構成されている。
【0022】(3) keep完了プログラムタイムシグナルに
よって、主ガス遮断弁11及びエア−電磁弁(VA)19を
“閉”とし、一方、冷却用エア−ラインのエア電磁弁(V
S)25を“開”としてガス循環によって被熱処理物の冷却
を行う。 (4) 冷却完了プログラムタイムシグナルによって、燃焼
用空気ブロア兼冷却用空気ブロア9及び循環ファン4は
“停止”となり、プログラムは“End”となる。
【0023】上記実施例では、燃料源としてLPGを用い
た例を挙げたが、本発明は、これに限定されるものでは
なく、例えば液体燃料も使用することができ、これも本
発明に包含されるものである。
【0024】
【発明の効果】本発明は、以上詳記したように、熱処理
炉内に循環ファンを配設し、このファンにより炉内にガ
ス循環系を形成させ、かつこの循環ガスに中性又は弱還
元性燃焼加熱ガスを導入するためのバ−ナを配設したこ
とを特徴とし、また、更に冷却用熱交換器、排ガス処理
装置、プログラムコントロ−ラ、シ−ケンサ−を付設し
たことを特徴とし、大型の被熱処理物であっても、その
均一昇温及び均一冷却を行うことができ、しかもその処
理時間を大幅に短縮することができる効果が生じる。
【0025】また、本発明によれば、燃焼排ガスを大幅
に減少させることができ、そのため排ガスの焼却処理を
小容量のアフタ−バ−ナで行うことができ、省エネが達
成できる効果が生じる。更に、本発明によれば、プログ
ラムコントロ−ラの制御信号によってプログラムのスタ
−トから完了まで自動的に制御し管理するすることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る熱処理炉の一実施例を説明するた
めの図。
【符号の説明】
1 炉体 2 気密扉 3 メインバ−ナ 4 耐熱金属製の循環ファン 5 冷却用熱交換器 6 排ガス処理炉 7 アフタ−バ−ナ 8 排気筒 9 燃焼用空気ブロア兼冷却用空気ブロア 10 燃焼空気用圧力スイッチ 11 燃料ガス(LPG)の主ガス遮断弁 12 燃料ガス用圧力スイッチ 13 プログラムコントロ−ラ 14 熱電対 15 コントロ−ルバルブ 16 シ−ケンサ− 17 均圧弁 18 ガス電磁弁 19 エア−電磁弁 20 点火トランス 21 ウルトラビジョン 22 ガス電磁弁 23 点火トランス 24 ウルトラビジョン 25 エア−電磁弁 W 被熱処理物

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 黒鉛系耐火物の熱処理炉において、熱処
    理炉の加熱ガス系内に循環ファンを配設し、このファン
    により炉内にガス循環系を形成させ、かつこの循環ガス
    に中性又は弱還元性燃焼加熱ガスを導入するためのバ−
    ナを配設してなることを特徴とする黒鉛系耐火物の熱処
    理炉。
  2. 【請求項2】 前記熱処理炉のガス循環系に冷却用熱交
    換器を付設してなることを特徴とする請求項1記載の黒
    鉛系耐火物の熱処理炉。
  3. 【請求項3】 前記熱処理炉に排ガス処理装置を付設し
    てなることを特徴とする請求項1又は2記載の黒鉛系耐
    火物の熱処理炉。
  4. 【請求項4】 前記熱処理炉にプログラムコントロ−ラ
    及びシ−ケンサ−を付設してなることを特徴とする請求
    項1、2又は3記載の黒鉛系耐火物の熱処理炉。
  5. 【請求項5】 黒鉛系耐火物の熱処理方法において、熱
    処理炉の加熱ガス系内に循環ファンを配設し、このファ
    ンにより炉内にガス循環系を形成させ、この循環ガスと
    中性又は弱還元性燃焼加熱ガスとの混合ガスにより被熱
    処理物を加熱処理することを特徴とする黒鉛系耐火物の
    熱処理方法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の熱処理方法において、更
    に、バ−ナより供給する加熱ガス量に相当する炉内循環
    ガス及び被熱処理物から揮発する可燃性ガスを、アフタ
    −バ−ナを配設した排ガス処理装置で焼却処理すること
    を特徴とする黒鉛系耐火物の熱処理方法。
  7. 【請求項7】 請求項5記載の加熱処理を行った被熱処
    理物を冷却する方法として、炉内循環ガスと冷却用空気
    とを熱交換させ、この熱交換により降温した循環ガスを
    使用することを特徴とする黒鉛系耐火物の冷却方法。
  8. 【請求項8】 黒鉛系耐火物の熱処理を制御する方法に
    おいて、熱処理炉の加熱ガス系内に循環ファン、炉内循
    環ガスに中性又は弱還元性燃焼加熱ガスを供給するため
    のバ−ナ、冷却用熱交換器、アフタ−バ−ナを配設した
    排ガス処理装置、プログラムコントロ−ラ、シ−ケンサ
    −を付設し、プログラムコントロ−ラのプログラムパタ
    −ンに従って上記バ−ナのON-OFF燃焼制御を行い、かつ
    プログラムコントロ−ラ−の制御信号によってプログラ
    ムのスタ−トから完了まで制御することを特徴とする黒
    鉛系耐火物の熱処理の制御方法。
  9. 【請求項9】 低速昇温を行う加熱源であるバ−ナの燃
    焼タ−ンダウン比を大きくとるため、上下限偏差設定温
    度を超えた場合、ON-OFF燃焼制御を行うことを特徴とす
    る請求項8記載の制御方法。
  10. 【請求項10】 プログラム制御と自動化運転シ−ケン
    スを有することを特徴とする請求項8記載の制御方法。
JP6192778A 1994-07-25 1994-07-25 黒鉛系耐火物の熱処理炉、熱処理方法及びその制御方法 Pending JPH0835784A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010230292A (ja) * 2009-03-30 2010-10-14 Kawakami Tekkosho:Kk 加熱炉
KR102415994B1 (ko) * 2022-02-23 2022-07-01 와이투라인 주식회사 반도체소자 제조용 소형 챔버 오븐

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