JPH08327452A - 光学分光計及び格子 - Google Patents
光学分光計及び格子Info
- Publication number
- JPH08327452A JPH08327452A JP8132143A JP13214396A JPH08327452A JP H08327452 A JPH08327452 A JP H08327452A JP 8132143 A JP8132143 A JP 8132143A JP 13214396 A JP13214396 A JP 13214396A JP H08327452 A JPH08327452 A JP H08327452A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spectral range
- spectral
- grating
- spectrometer
- dispersion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 35
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 33
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 77
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 18
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003705 background correction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 1
- 238000002211 ultraviolet spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4233—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
- G02B27/4244—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application in wavelength selecting devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0232—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using shutters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/1809—Echelle gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/24—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating using gratings profiled to favour a specific order
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/32—Investigating bands of a spectrum in sequence by a single detector
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 別個の）スペクトル範囲においてスペクトル
を検出するために改善された光学分光計を提供する。 【構成】 分光計は、アレー検出器に焦点合わせされる
スペクトル的に分散されたビームを生じさせるための一
対のクロス（crossed）交差した反射型格子を有してい
る。第２格子は、第１部分と第２部分が形成された表面
を持つ複数の格子である。第１部分は、分散されたビー
ムにおける紫外を生じさせるための溝密度を持ってい
る。第２部分は分散されたビームにおいて可視放射を生
じさせる溝密度を持っている。シャッタは格子表面の第
２部分を阻止または露光させ、その結果、検出のために
第１スペクトル範囲または第２スペクトル範囲を選択す
る。
を検出するために改善された光学分光計を提供する。 【構成】 分光計は、アレー検出器に焦点合わせされる
スペクトル的に分散されたビームを生じさせるための一
対のクロス（crossed）交差した反射型格子を有してい
る。第２格子は、第１部分と第２部分が形成された表面
を持つ複数の格子である。第１部分は、分散されたビー
ムにおける紫外を生じさせるための溝密度を持ってい
る。第２部分は分散されたビームにおいて可視放射を生
じさせる溝密度を持っている。シャッタは格子表面の第
２部分を阻止または露光させ、その結果、検出のために
第１スペクトル範囲または第２スペクトル範囲を選択す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学分光計に、そ
して特に異なるスペクトル範囲の別個の検出のための光
学分光計及び格子に関する。
して特に異なるスペクトル範囲の別個の検出のための光
学分光計及び格子に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学分光計は、分析のために光放射をス
ペクトルパターンに分散させる計器である。そのような
計器は、種々の目的のために、たとえばサンプル中の原
子素子のスペクトル線特性を発生させ、そして分析する
ために、用いられる。微少の素子の量の正確な定量分析
または検出のためには、分光計は高い精度を持つ必要が
ある。
ペクトルパターンに分散させる計器である。そのような
計器は、種々の目的のために、たとえばサンプル中の原
子素子のスペクトル線特性を発生させ、そして分析する
ために、用いられる。微少の素子の量の正確な定量分析
または検出のためには、分光計は高い精度を持つ必要が
ある。
【０００３】無機サンプルの分析のために用いられる分
光計の１つの型式は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）の光
放射源を用いる原子発散分光計である。霧状にされたサ
ンプル材料はプラズマ内に注入され、ここでこれは原子
に分離され、プラズマ内で励起されてスペクトル線を有
する、放射を発散する。そのような誘導プラズマ装置の
一例は、米国特許第４，７６６，２８７号（モリスロー
他）で説明されている。
光計の１つの型式は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）の光
放射源を用いる原子発散分光計である。霧状にされたサ
ンプル材料はプラズマ内に注入され、ここでこれは原子
に分離され、プラズマ内で励起されてスペクトル線を有
する、放射を発散する。そのような誘導プラズマ装置の
一例は、米国特許第４，７６６，２８７号（モリスロー
他）で説明されている。
【０００４】分光計内の多色計は、放射を、帯域または
多数の波長または検出されるスペクトル線に分散させ
る。精密多色形の一例は、本代理人の米国特許第４，８
２０，０４８号（バーナード）において説明されている
ような、スペクトル線の２次元表示を発生する縦列クロ
ス（交差）分散（crossed dispersion)ユニットを持つ
階段格子装置である。スペクトル線は、相当する線の強
度に比例する信号を発生する２次元固体電荷転送装置を
有する、検出器上に焦点合わせされる。
多数の波長または検出されるスペクトル線に分散させ
る。精密多色形の一例は、本代理人の米国特許第４，８
２０，０４８号（バーナード）において説明されている
ような、スペクトル線の２次元表示を発生する縦列クロ
ス（交差）分散（crossed dispersion)ユニットを持つ
階段格子装置である。スペクトル線は、相当する線の強
度に比例する信号を発生する２次元固体電荷転送装置を
有する、検出器上に焦点合わせされる。
【０００５】コンピュータは、信号情報を処理し、バッ
クグランドを補正し、校正を加え、そしてサンプル内の
原子素子の濃度の型式で結果を表示させる。
クグランドを補正し、校正を加え、そしてサンプル内の
原子素子の濃度の型式で結果を表示させる。
【０００６】前に示された米国特許第４，８２０，０４
８号において説明されているように、１つのクロス分散
（crossed dispersion)器の分光計の型式は、いくつか
のスペクトル範囲、特に可視および紫外光線範囲、にお
いて検出するように構成されている。回折格子である第
１分散素子は、両方の範囲に共通である。紫外線範囲に
関しては、第１のそれと垂直な格子線を持つ第２格子
が、放射を反射させ、そしてさらに分散させて第１検出
器に焦点合わせする。可視範囲においては、第２格子は
そこに中央孔を持ち、そして孔を通過した放射は集約さ
れ、そしてプリズムによってクロス分散（crossed disp
ersion)され、そして第２検出器に焦点合わせされる。
両方の検出器は２次元型式であり、そしてそこからの信
号は共通処理ユニットに導かれる。２つのスペクトル範
囲に関して高い精度を持つとはいえ、この分光計の型式
は、クロス分散（crossed dispersion)ユニットの第２
のための分散器および検出器を有する、２つの別個の）
光学トレインのために高価となり、複雑で、そして大き
なものとなる。この２つの範囲は、単独の検出器によっ
て都合よく検出するためには、分散器によって空間的に
拡張するには広すぎるため、２つの範囲は別々に検出さ
れることを必要とする。
８号において説明されているように、１つのクロス分散
（crossed dispersion)器の分光計の型式は、いくつか
のスペクトル範囲、特に可視および紫外光線範囲、にお
いて検出するように構成されている。回折格子である第
１分散素子は、両方の範囲に共通である。紫外線範囲に
関しては、第１のそれと垂直な格子線を持つ第２格子
が、放射を反射させ、そしてさらに分散させて第１検出
器に焦点合わせする。可視範囲においては、第２格子は
そこに中央孔を持ち、そして孔を通過した放射は集約さ
れ、そしてプリズムによってクロス分散（crossed disp
ersion)され、そして第２検出器に焦点合わせされる。
両方の検出器は２次元型式であり、そしてそこからの信
号は共通処理ユニットに導かれる。２つのスペクトル範
囲に関して高い精度を持つとはいえ、この分光計の型式
は、クロス分散（crossed dispersion)ユニットの第２
のための分散器および検出器を有する、２つの別個の）
光学トレインのために高価となり、複雑で、そして大き
なものとなる。この２つの範囲は、単独の検出器によっ
て都合よく検出するためには、分散器によって空間的に
拡張するには広すぎるため、２つの範囲は別々に検出さ
れることを必要とする。
【０００７】光学装置内のコンポーネントは、イメージ
をゆがませる収差をもたらすことがある。上に説明した
分光計の場合には、第２格子からの放射を検出器に焦点
合わせする球形ミラーが装置の入側スリットのイメージ
の焦点において固有の幾何学的収差を発生させる。主要
な型は、回転軸に近い光線よりもわずかに異なる平面に
軸外れ光線を焦点合わせする結果となる球形収差として
知られている。これは球形ミラーをパラボラミラーで置
換することによって補正される。しかし、そのようなミ
ラーは高価であり、そして一般的に階段格子分光計にお
いては効率的でない狭い視野に制限される。
をゆがませる収差をもたらすことがある。上に説明した
分光計の場合には、第２格子からの放射を検出器に焦点
合わせする球形ミラーが装置の入側スリットのイメージ
の焦点において固有の幾何学的収差を発生させる。主要
な型は、回転軸に近い光線よりもわずかに異なる平面に
軸外れ光線を焦点合わせする結果となる球形収差として
知られている。これは球形ミラーをパラボラミラーで置
換することによって補正される。しかし、そのようなミ
ラーは高価であり、そして一般的に階段格子分光計にお
いては効率的でない狭い視野に制限される。
【０００８】球形収差を補正するための別の手段は、シ
ュミット素子である。１つの形式においては、半径で変
化する厚さを持つガラスまたはプラスチックの屈折板
が、ビーム内に挿入される。別の型式は、補正を提供す
る曲率を持つ付加的な反射器を用いるものである。これ
らの場合のいずれにおいても補正器は装置内に余分な素
子を持ち込み、これは放射損失を伴い、バックグランド
を増加させ、そして大きさ、複雑さ、およびコストを付
け加える。前に示した米国特許第４，８２０，０４８号
に示されているような第３の場合においては、第２格子
は、シュミット補正器として機能する非平坦面を持つよ
うに備えられる。そのような補正器格子は米国特許第
３，５２１，９４３号（ケルダーマン）において開示さ
れている。
ュミット素子である。１つの形式においては、半径で変
化する厚さを持つガラスまたはプラスチックの屈折板
が、ビーム内に挿入される。別の型式は、補正を提供す
る曲率を持つ付加的な反射器を用いるものである。これ
らの場合のいずれにおいても補正器は装置内に余分な素
子を持ち込み、これは放射損失を伴い、バックグランド
を増加させ、そして大きさ、複雑さ、およびコストを付
け加える。前に示した米国特許第４，８２０，０４８号
に示されているような第３の場合においては、第２格子
は、シュミット補正器として機能する非平坦面を持つよ
うに備えられる。そのような補正器格子は米国特許第
３，５２１，９４３号（ケルダーマン）において開示さ
れている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の１つの目的
は、別個の）スペクトル範囲においてスペクトルを検出
するために改善された光学分光計を提供することであ
る。特定の目的は、別個の）スペクトル範囲においてス
ペクトルに影響を与えるための新しい装置を持つ分光計
を提供することである。別の目的は、別個の）スペクト
ル範囲において第２素子がスペクトルの選択的検出を可
能とするようなクロス分散（crossed dispersion)素子
を持つ分光計を提供することである。別の目的は、別個
の）スペクトル範囲においてスペクトルを検出するため
に単独の光学系列（トレイン）を持つクロス（交差）分
散（crossed dispersion)分光計を提供することであ
る。さらに別の目的は、第２分散素子のために収差を補
正する格子を持つ分光計を提供することである。
は、別個の）スペクトル範囲においてスペクトルを検出
するために改善された光学分光計を提供することであ
る。特定の目的は、別個の）スペクトル範囲においてス
ペクトルに影響を与えるための新しい装置を持つ分光計
を提供することである。別の目的は、別個の）スペクト
ル範囲において第２素子がスペクトルの選択的検出を可
能とするようなクロス分散（crossed dispersion)素子
を持つ分光計を提供することである。別の目的は、別個
の）スペクトル範囲においてスペクトルを検出するため
に単独の光学系列（トレイン）を持つクロス（交差）分
散（crossed dispersion)分光計を提供することであ
る。さらに別の目的は、第２分散素子のために収差を補
正する格子を持つ分光計を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前の、そして他の目的
は、少なくとも部分的には、異なるスペクトル範囲を別
個に検出するための光学分光計において達成される。分
光計は、光放射を受けてスペクトル的に分散されたビー
ムにするためのスペクトル分散装置と、そしてその検出
のために分散されたビームを受け取る検出器とを有して
いる。分散装置は、第１部分および第２部分を形成する
格子表面を持つ、反射的であることが好都合な複数の格
子を有している。第１部分は、紫外線のような第１スペ
クトル範囲内の分散されたビームを生じさせるための第
１溝構成配列を持っている。第２部分は第１スペクトル
範囲と異なる、可視光線のような、第２スペクトル範囲
において分散されたビームを生じさせるための第２溝構
成配列を持っている。都合のよいことに、分散装置はさ
らに、検出のために第１スペクトル範囲または第２スペ
クトル範囲を選択するよう、格子表面の第１部分または
第２部分を選択的に阻止するための、シャッタであるこ
とが望ましい選択装置を有している。
は、少なくとも部分的には、異なるスペクトル範囲を別
個に検出するための光学分光計において達成される。分
光計は、光放射を受けてスペクトル的に分散されたビー
ムにするためのスペクトル分散装置と、そしてその検出
のために分散されたビームを受け取る検出器とを有して
いる。分散装置は、第１部分および第２部分を形成する
格子表面を持つ、反射的であることが好都合な複数の格
子を有している。第１部分は、紫外線のような第１スペ
クトル範囲内の分散されたビームを生じさせるための第
１溝構成配列を持っている。第２部分は第１スペクトル
範囲と異なる、可視光線のような、第２スペクトル範囲
において分散されたビームを生じさせるための第２溝構
成配列を持っている。都合のよいことに、分散装置はさ
らに、検出のために第１スペクトル範囲または第２スペ
クトル範囲を選択するよう、格子表面の第１部分または
第２部分を選択的に阻止するための、シャッタであるこ
とが望ましい選択装置を有している。
【００１１】望ましい特徴点においては、分光計はさら
に、初期的スペクトルの形式で光放射を生じさせるため
にソース放射を受ける、反射型格子であることが好都合
な初期的分散装置を有している。分散したビームを生じ
させるため、複数の格子がこの初期的分散装置とクロス
（crossed）交差させられる。光検出器の２次元アレー
はビームを受ける。
に、初期的スペクトルの形式で光放射を生じさせるため
にソース放射を受ける、反射型格子であることが好都合
な初期的分散装置を有している。分散したビームを生じ
させるため、複数の格子がこの初期的分散装置とクロス
（crossed）交差させられる。光検出器の２次元アレー
はビームを受ける。
【００１２】付加的に、分光計は、検出装置への分散さ
れたビームを焦点合わせするための中低ミラーのような
焦点合わせ装置を有する、ことが出来、ここにおいて焦
点合わせ装置は固有の収差を分散されたビームの焦点合
わせに導くことができる。このような場合、複数の格子
の表面は都合よいことに、収差に関して実質的に補償す
るような形状となっている。
れたビームを焦点合わせするための中低ミラーのような
焦点合わせ装置を有する、ことが出来、ここにおいて焦
点合わせ装置は固有の収差を分散されたビームの焦点合
わせに導くことができる。このような場合、複数の格子
の表面は都合よいことに、収差に関して実質的に補償す
るような形状となっている。
【００１３】
【実施例】図１を参照すると、ここでは概略的に本発明
の光学分光装置１０の３つの部分が存在し、すなわち光
放射源１１、光学分光計１２およびデータ処理ステーシ
ョン１４である。放射源は赤外、可視および／または紫
外放射を発生する。この源は、たとえばその中に試験材
料のサンプルが注入される誘導結合プラズマ、または黒
鉛炉または類似のものである。いずれの場合でも、この
源は原子素子の発散線または吸収線を提供するように動
作する。他の光源もまた使用することが出来、たとえば
天文台の望遠鏡を通して光線が集められることもある。
の光学分光装置１０の３つの部分が存在し、すなわち光
放射源１１、光学分光計１２およびデータ処理ステーシ
ョン１４である。放射源は赤外、可視および／または紫
外放射を発生する。この源は、たとえばその中に試験材
料のサンプルが注入される誘導結合プラズマ、または黒
鉛炉または類似のものである。いずれの場合でも、この
源は原子素子の発散線または吸収線を提供するように動
作する。他の光源もまた使用することが出来、たとえば
天文台の望遠鏡を通して光線が集められることもある。
【００１４】分光計部分においては、源からの光が入口
スリット１６を通過し、そして光線１７は中低コリメー
タミラー１８によって反射形階段格子分散格子２０に向
けて反射される。この平坦な格子は、高いブレーズ角を
持つ鋸歯状溝２１の比較的低い密度を持つもので、公知
または望ましい型式のものである。たとえば、この格子
はセンチメータあたり７９０の溝を持ち、６３゜におい
てブレーズされており、そして高次スペクトルを発生さ
せる。ここにおいて「高次スペクトル」は少なくとも２
次が発生され、そして１次よりも高いことを意味してい
る。次数３０から１２０が包括的に都合よく用いられ
る。特にこれが紫外光線を通過させ、そして分散させる
ことができるため、反射形格子が望ましいとしても、他
の実施例もまた、通過形格子のような第１回折のために
他の装置を用いることもできる。いずれにしてもこの第
１分散装置は、初期スペクトル２３の形式で光放射を生
じさせる。
スリット１６を通過し、そして光線１７は中低コリメー
タミラー１８によって反射形階段格子分散格子２０に向
けて反射される。この平坦な格子は、高いブレーズ角を
持つ鋸歯状溝２１の比較的低い密度を持つもので、公知
または望ましい型式のものである。たとえば、この格子
はセンチメータあたり７９０の溝を持ち、６３゜におい
てブレーズされており、そして高次スペクトルを発生さ
せる。ここにおいて「高次スペクトル」は少なくとも２
次が発生され、そして１次よりも高いことを意味してい
る。次数３０から１２０が包括的に都合よく用いられ
る。特にこれが紫外光線を通過させ、そして分散させる
ことができるため、反射形格子が望ましいとしても、他
の実施例もまた、通過形格子のような第１回折のために
他の装置を用いることもできる。いずれにしてもこの第
１分散装置は、初期スペクトル２３の形式で光放射を生
じさせる。
【００１５】初期スペクトルは、第１格子２０のそれと
直角に向けられた、すなわち第１回折装置とクロス（cr
ossed）交差する分散線をもって第２階段格子２２に向
かう。より一般的にいえば、「クロス（crossed）交
差」は、第２分散の方向が第１のそれと垂直であること
を意味している。第２格子２２は、本実施例において示
されるように反射性であることが好都合であり、そして
比較的低い分散パワーをもって低次において用いられ、
そしてそのクロス（交差）（crossed）方向は第１格子
２０からの次数を２次元スペクトルパターンに分離す
る。「低次数」はここでは次数が約５に等しいか、また
はそれよりも少ないことを意味しており、そして標準的
には第１次であることを意味している。
直角に向けられた、すなわち第１回折装置とクロス（cr
ossed）交差する分散線をもって第２階段格子２２に向
かう。より一般的にいえば、「クロス（crossed）交
差」は、第２分散の方向が第１のそれと垂直であること
を意味している。第２格子２２は、本実施例において示
されるように反射性であることが好都合であり、そして
比較的低い分散パワーをもって低次において用いられ、
そしてそのクロス（交差）（crossed）方向は第１格子
２０からの次数を２次元スペクトルパターンに分離す
る。「低次数」はここでは次数が約５に等しいか、また
はそれよりも少ないことを意味しており、そして標準的
には第１次であることを意味している。
【００１６】放射は格子２２からさらに別の分散ビーム
２４に反射される。これら光線は、ここから中低球形反
射器２６を通って、軸状平坦ミラー２８および視野平坦
化レンズ３０によってビームを検出器３４上に焦点合わ
せする。格子２２はミラー２６の曲面５４の、その光学
軸５６上の中心にあることが望ましい。
２４に反射される。これら光線は、ここから中低球形反
射器２６を通って、軸状平坦ミラー２８および視野平坦
化レンズ３０によってビームを検出器３４上に焦点合わ
せする。格子２２はミラー２６の曲面５４の、その光学
軸５６上の中心にあることが望ましい。
【００１７】検出器３４は衝突する放射に感応し、信号
を発生させ、それは線３５上をコンピュータステーショ
ン１４に向かう。コンピュータは信号情報を処理し、バ
ックグランドに関する補正を行い、構成を加え、そして
（本実施例においては）結果をサンプル内の原子素子の
濃度の形式で表示する。検出器は、小さな光検出器３２
の２次元アレーとして形成することが望ましいが、しか
し逆に格子に相対的に位置決め出来る単独の光検出器で
あってもよい。検出器が、種々の場所に衝突する相当す
るスペクトル線の強度に比例する信号を生じるような、
固定された固体電荷転送装置で形成されればなお望まし
い。改善的には、検出器は、ここで参照されている前に
示された米国特許第４，８２０，０４８号において開示
されている型式の電荷結合素子（ＣＣＤ）である。検出
器はその上に光感応ピクセルを持っておりそれらはその
上に焦点合わせされる選択されたスペクトル線の場所に
配置されており、そして隣接ピクセルはバックグランド
放射を検出するために用いられる。このピクセルはさら
に、たとえば可視および紫外それぞれをカバーする２つ
の範囲のような、いくつかのスペクトル範囲における放
射を検出するためにも設けられる。コンピュータは検出
器信号を読み出すために、線３６上の装置をアドレスす
る。
を発生させ、それは線３５上をコンピュータステーショ
ン１４に向かう。コンピュータは信号情報を処理し、バ
ックグランドに関する補正を行い、構成を加え、そして
（本実施例においては）結果をサンプル内の原子素子の
濃度の形式で表示する。検出器は、小さな光検出器３２
の２次元アレーとして形成することが望ましいが、しか
し逆に格子に相対的に位置決め出来る単独の光検出器で
あってもよい。検出器が、種々の場所に衝突する相当す
るスペクトル線の強度に比例する信号を生じるような、
固定された固体電荷転送装置で形成されればなお望まし
い。改善的には、検出器は、ここで参照されている前に
示された米国特許第４，８２０，０４８号において開示
されている型式の電荷結合素子（ＣＣＤ）である。検出
器はその上に光感応ピクセルを持っておりそれらはその
上に焦点合わせされる選択されたスペクトル線の場所に
配置されており、そして隣接ピクセルはバックグランド
放射を検出するために用いられる。このピクセルはさら
に、たとえば可視および紫外それぞれをカバーする２つ
の範囲のような、いくつかのスペクトル範囲における放
射を検出するためにも設けられる。コンピュータは検出
器信号を読み出すために、線３６上の装置をアドレスす
る。
【００１８】第２格子２２（図２）は、これがいくつか
の部分に分割された表面を持つような、複数の格子であ
る。この場合においては、境界３７によって２つの部分
が分離されている。第１部分３８は、第１の選択された
スペクトル範囲において分散ビーム２４を発生するため
の第１溝４０の構成配列を持っている。第２部分４２
は、第１スペクトル範囲とは異なるが同じビーム方向を
持つ第２の選択されたスペクトル範囲において分散ビー
ムを生じさせるための第２の溝４４の構成配列を持って
いる。たとえば、第１部分３８は、ミリメートルあたり
３７５溝の溝密度と、そして紫外範囲である１６７から
４０５ナノメータ（ｎｍ）波長光線のスペクトル範囲に
関して６゜のような低ブレーズ角度を持ち、そして第２
部分４２はセンチメータあたり１８７．５溝および、可
視である範囲４０５から７６６ｎｍに関して６゜のよう
な類似の低ブレーズ角度を持っている。十分な放射を得
るために、第１の、紫外部分は第２の、可視部分より
も、たとえば約１０倍、実質的に大きくされ、その結果
第２部分は全体領域の単に１０％にすぎない。
の部分に分割された表面を持つような、複数の格子であ
る。この場合においては、境界３７によって２つの部分
が分離されている。第１部分３８は、第１の選択された
スペクトル範囲において分散ビーム２４を発生するため
の第１溝４０の構成配列を持っている。第２部分４２
は、第１スペクトル範囲とは異なるが同じビーム方向を
持つ第２の選択されたスペクトル範囲において分散ビー
ムを生じさせるための第２の溝４４の構成配列を持って
いる。たとえば、第１部分３８は、ミリメートルあたり
３７５溝の溝密度と、そして紫外範囲である１６７から
４０５ナノメータ（ｎｍ）波長光線のスペクトル範囲に
関して６゜のような低ブレーズ角度を持ち、そして第２
部分４２はセンチメータあたり１８７．５溝および、可
視である範囲４０５から７６６ｎｍに関して６゜のよう
な類似の低ブレーズ角度を持っている。十分な放射を得
るために、第１の、紫外部分は第２の、可視部分より
も、たとえば約１０倍、実質的に大きくされ、その結果
第２部分は全体領域の単に１０％にすぎない。
【００１９】選択された範囲における複数の格子２２か
らのスペクトルは、検出器３４に向かう。コンピュータ
１４を用いて、両方の範囲からの、選択されたスペクト
ル線が分析される。しかし、一方の範囲（特に可視範
囲）が他（紫外）範囲を妨害する可能性もある。
らのスペクトルは、検出器３４に向かう。コンピュータ
１４を用いて、両方の範囲からの、選択されたスペクト
ル線が分析される。しかし、一方の範囲（特に可視範
囲）が他（紫外）範囲を妨害する可能性もある。
【００２０】そのため、望ましい特徴点においては、
（図１の平面に垂直な平面において）可動性シャッタ４
６が複数の格子２２に隣接して設けられ、その結果回折
表面の第１部分３８または第２部分４２を選択的に阻止
または露光させるようにする。そのようなシャッタは第
１または第２部分のいずれかを阻止するように移動出来
る。しかし、本実施例においては、紫外線は普通可視光
線を著しい妨害を起こさないので、シャッタは格子表面
の第２部分を阻止または露光させるよう位置決め出来る
だけで十分である。第２部分を阻止するようシャッタが
閉じられている時、可視範囲の検出器への分散が妨げら
れ、紫外放射が格子の第１部分から検出器に分散されそ
して通過する。（図２に示されるように）シャッタが可
視範囲を覆わないように開かれているとき、スペクトル
の両方の範囲が通過するが、しかし紫外線は一般的に検
出器上の可視光線に関するピクセル場所において可視検
出を妨害することはない。紫外放射に関しては、閉じら
れたシャッタが、可視光線から生じ得るスペクトルオー
バーラップを防止する。
（図１の平面に垂直な平面において）可動性シャッタ４
６が複数の格子２２に隣接して設けられ、その結果回折
表面の第１部分３８または第２部分４２を選択的に阻止
または露光させるようにする。そのようなシャッタは第
１または第２部分のいずれかを阻止するように移動出来
る。しかし、本実施例においては、紫外線は普通可視光
線を著しい妨害を起こさないので、シャッタは格子表面
の第２部分を阻止または露光させるよう位置決め出来る
だけで十分である。第２部分を阻止するようシャッタが
閉じられている時、可視範囲の検出器への分散が妨げら
れ、紫外放射が格子の第１部分から検出器に分散されそ
して通過する。（図２に示されるように）シャッタが可
視範囲を覆わないように開かれているとき、スペクトル
の両方の範囲が通過するが、しかし紫外線は一般的に検
出器上の可視光線に関するピクセル場所において可視検
出を妨害することはない。紫外放射に関しては、閉じら
れたシャッタが、可視光線から生じ得るスペクトルオー
バーラップを防止する。
【００２１】前の実施例においては、第２部分を露光す
るためにシャッタが第１部分を付加的に露光するよう位
置決めされている。別の実施例（図３）は、第１部分３
８’が実質的に、境界３７’によって描かれる第２部分
４２’よりも（たとえば１０倍）大きく、溝構成配列４
０’、４４’が変化していないように、格子２２’が構
成配列される。そのような場合には、シャッタ４６’が
第２部分のそれと実質的に同じ領域を持ち、そして第２
部分の露光のためにシャッタが第１部分の上を移動す
る。シャッタは第２部分に比べて比較的小さい（１０
％）ので、これは紫外スペクトルにわずかな影響を与え
るのみである。この実施例は第２部分におけるシャッタ
のための余分な空間を必要としない。
るためにシャッタが第１部分を付加的に露光するよう位
置決めされている。別の実施例（図３）は、第１部分３
８’が実質的に、境界３７’によって描かれる第２部分
４２’よりも（たとえば１０倍）大きく、溝構成配列４
０’、４４’が変化していないように、格子２２’が構
成配列される。そのような場合には、シャッタ４６’が
第２部分のそれと実質的に同じ領域を持ち、そして第２
部分の露光のためにシャッタが第１部分の上を移動す
る。シャッタは第２部分に比べて比較的小さい（１０
％）ので、これは紫外スペクトルにわずかな影響を与え
るのみである。この実施例は第２部分におけるシャッタ
のための余分な空間を必要としない。
【００２２】上の実施例は、可視および紫外の２つの範
囲を配慮するための簡単なシャッタ配置を提供するもの
であるが、本発明は他のスペクトル範囲または２つの範
囲以上にも拡大出来るものである。複数の部分は、適切
な格子密度を持つ第２格子上に形成され、そして描かれ
る。シャッタは格子の望ましい１つの部分または複数の
部分からの分散された放射を選択的に阻止および通過さ
せるよう構成配列される。表面部分の他の配置も用いら
れることは明らかであって、たとえば第２部分は格子か
ら横方向に、または振り出されるように移動できるシャ
ッタディスクを持つ、表面上の中心ディスク領域として
構成配列することもできる。シャッタまたは他の阻止装
置は、格子の直近にある必要はないが、しかし阻止目的
を達成するのに十分接近すべきである。
囲を配慮するための簡単なシャッタ配置を提供するもの
であるが、本発明は他のスペクトル範囲または２つの範
囲以上にも拡大出来るものである。複数の部分は、適切
な格子密度を持つ第２格子上に形成され、そして描かれ
る。シャッタは格子の望ましい１つの部分または複数の
部分からの分散された放射を選択的に阻止および通過さ
せるよう構成配列される。表面部分の他の配置も用いら
れることは明らかであって、たとえば第２部分は格子か
ら横方向に、または振り出されるように移動できるシャ
ッタディスクを持つ、表面上の中心ディスク領域として
構成配列することもできる。シャッタまたは他の阻止装
置は、格子の直近にある必要はないが、しかし阻止目的
を達成するのに十分接近すべきである。
【００２３】１つのセッティングにおいて、両方の部分
の露光からの、スペクトルにおけるいくらかの干渉があ
れば、干渉を受けないより小さなスペクトルの分散が分
析のために選択される。このことが望ましくないなら
ば、シャッタは他の露光の間格子の全ての各部分を選択
的に阻止するよう構成配列することもできる。
の露光からの、スペクトルにおけるいくらかの干渉があ
れば、干渉を受けないより小さなスペクトルの分散が分
析のために選択される。このことが望ましくないなら
ば、シャッタは他の露光の間格子の全ての各部分を選択
的に阻止するよう構成配列することもできる。
【００２４】シャッタは何らかの公知の、または他の望
ましい方法、たとえば示されているようにソレノイド４
８およびロッドマウント４９によって、位置決めに関し
て４５のように移動させることが出来る。（示されてい
ない）他の可能な位置決め装置は、ウォームギアを持つ
ステッパモータ、または適切なリンクを持つハンドレバ
ーを有する、ことが出来、またはシャッタはステッパモ
ータに回転的に取り付けられたスロットに入れられたデ
ィスクまたは部分的なディスクであることも出来る。自
動的にまたは操作者入力のいずれかによってコンピュー
タから信号線４４を通してセッティングを制御すること
は好都合である。そのような場合には、コンピュータ１
４内のプログラム４３は、たとえばソフトウェアまたは
ファームウェアにおける「Ｃ」プログラミングであるよ
うな、分光計の主制御のそれと一般的に行われている方
法で変更される。
ましい方法、たとえば示されているようにソレノイド４
８およびロッドマウント４９によって、位置決めに関し
て４５のように移動させることが出来る。（示されてい
ない）他の可能な位置決め装置は、ウォームギアを持つ
ステッパモータ、または適切なリンクを持つハンドレバ
ーを有する、ことが出来、またはシャッタはステッパモ
ータに回転的に取り付けられたスロットに入れられたデ
ィスクまたは部分的なディスクであることも出来る。自
動的にまたは操作者入力のいずれかによってコンピュー
タから信号線４４を通してセッティングを制御すること
は好都合である。そのような場合には、コンピュータ１
４内のプログラム４３は、たとえばソフトウェアまたは
ファームウェアにおける「Ｃ」プログラミングであるよ
うな、分光計の主制御のそれと一般的に行われている方
法で変更される。
【００２５】スペクトルの適切な部分のコンピュータを
用いた選択は、コンピュータ１４のプログラムにおける
検出器信号によって行われる。このことはシャッタの位
置決めと同期されるべきであり、ソレノイド４８の位置
決めは線４４を通して制御され、および／または検出さ
れる。たとえば、格子の両方の部分が露光されていると
き、紫外のオーバーラップのようないくらかのスペクト
ル的な干渉が存在するならば、帯域内の特定の非干渉ス
ペクトル線のみを、コンピュータプログラムによって選
択することも出来る。
用いた選択は、コンピュータ１４のプログラムにおける
検出器信号によって行われる。このことはシャッタの位
置決めと同期されるべきであり、ソレノイド４８の位置
決めは線４４を通して制御され、および／または検出さ
れる。たとえば、格子の両方の部分が露光されていると
き、紫外のオーバーラップのようないくらかのスペクト
ル的な干渉が存在するならば、帯域内の特定の非干渉ス
ペクトル線のみを、コンピュータプログラムによって選
択することも出来る。
【００２６】さらに別の特徴点（図４）においては、第
２格子もまた検出器に近いスペクトルイメージの焦点合
わせにおける収差に関する補正を提供するよう構成配列
することもできる。特に、中低ミラー２６は球形である
ことが好都合であるが、しかしこれは球形収差を招きか
ねない。そのような場合においては、第２格子２２が、
平面からの曲面偏差を持つ格子表面を備えたシュミット
補正器として形成され、その結果この収差に関して少な
くとも実質的に補償することが出来る。そのような補正
は、本明細で参照されて取り入れられている、前に説明
された米国特許第３，５２１，９４３号において開示さ
れた方法で提供できる。
２格子もまた検出器に近いスペクトルイメージの焦点合
わせにおける収差に関する補正を提供するよう構成配列
することもできる。特に、中低ミラー２６は球形である
ことが好都合であるが、しかしこれは球形収差を招きか
ねない。そのような場合においては、第２格子２２が、
平面からの曲面偏差を持つ格子表面を備えたシュミット
補正器として形成され、その結果この収差に関して少な
くとも実質的に補償することが出来る。そのような補正
は、本明細で参照されて取り入れられている、前に説明
された米国特許第３，５２１，９４３号において開示さ
れた方法で提供できる。
【００２７】一般的には、平面からの補正は、放物線か
らの球形ミラーの偏差と同様である。図３を参照する
と、平面５８からの格子表面形状５０の偏差Ｄに関する
一般的な公式は、Ｄ＝ＫＸ４＋ＬＸ６＋ＭＸ８＋ＮＸ
１０ である。
らの球形ミラーの偏差と同様である。図３を参照する
と、平面５８からの格子表面形状５０の偏差Ｄに関する
一般的な公式は、Ｄ＝ＫＸ４＋ＬＸ６＋ＭＸ８＋ＮＸ
１０ である。
【００２８】ここで、格子は、ミラーの曲面の中心にお
ける光学軸上に回転の中心を持ち、Ｘは軸から点まで
の、ミリメータにおける半径距離であり、ここでＤが計
算され、そしてＫ、Ｌ、Ｍ、およびＮは定数である。定
数は、放物線からのミラーの偏差に関する基本的な等式
からの一連の近似、反復または同様な手段によって求め
られ、そして経験的に洗練されることができる。４０ｃ
ｍの半径を持つミラーに関しては、ミリメータでの偏差
Ｄ対Ｘが与える適切な定数は、 Ｋ＝１．６７５７６５×１０−９ Ｌ＝１．４１３９４８×１０−１４ Ｍ＝−８．３６４４１７×１０−１９ Ｎ＝９．６２８４３３×１０−２３ である。
ける光学軸上に回転の中心を持ち、Ｘは軸から点まで
の、ミリメータにおける半径距離であり、ここでＤが計
算され、そしてＫ、Ｌ、Ｍ、およびＮは定数である。定
数は、放物線からのミラーの偏差に関する基本的な等式
からの一連の近似、反復または同様な手段によって求め
られ、そして経験的に洗練されることができる。４０ｃ
ｍの半径を持つミラーに関しては、ミリメータでの偏差
Ｄ対Ｘが与える適切な定数は、 Ｋ＝１．６７５７６５×１０−９ Ｌ＝１．４１３９４８×１０−１４ Ｍ＝−８．３６４４１７×１０−１９ Ｎ＝９．６２８４３３×１０−２３ である。
【００２９】第１ミラーのような他の光学コンポーネン
トもまた、収差を生じさせる。そのような場合において
は、第２回折格子はそれら収差と同様、さらに実質的に
補償されるような形状とされる。
トもまた、収差を生じさせる。そのような場合において
は、第２回折格子はそれら収差と同様、さらに実質的に
補償されるような形状とされる。
【００３０】この格子は、たとえば平坦なまたはシュミ
ット補正のために整形されたガラス基盤上にアルミニウ
ムコーティングを施すような、一般的な技術を用いて溝
を設けることにより形成される。続いて、複製方法が複
写のために用いられる。曲がった表面上の溝は、ホログ
ラフによって、または好ましければ一般的な方法におい
て平行線を持つ格子を線引きすることによって、公知の
または望ましい方法で形成される。
ット補正のために整形されたガラス基盤上にアルミニウ
ムコーティングを施すような、一般的な技術を用いて溝
を設けることにより形成される。続いて、複製方法が複
写のために用いられる。曲がった表面上の溝は、ホログ
ラフによって、または好ましければ一般的な方法におい
て平行線を持つ格子を線引きすることによって、公知の
または望ましい方法で形成される。
【００３１】本発明が特定の実施例を参照しながら上で
詳細に説明されたとはいえ、本発明の精神および添付さ
れた特許請求の範囲内にある種々の変化や変更が当業技
術者にとっては明らかになるであろう。こうして、本発
明は添付された特許請求の範囲またはそれらの訳文によ
ってのみ制限されることが強調される。
詳細に説明されたとはいえ、本発明の精神および添付さ
れた特許請求の範囲内にある種々の変化や変更が当業技
術者にとっては明らかになるであろう。こうして、本発
明は添付された特許請求の範囲またはそれらの訳文によ
ってのみ制限されることが強調される。
【００３２】
【発明の効果】別個の）スペクトル範囲においてスペク
トルを検出するために改善された光学分光計を提供でき
る。
トルを検出するために改善された光学分光計を提供でき
る。
【図１】本発明を組み込んだ光学分光計の断面図を有す
る、光学分光装置の概略図。
る、光学分光装置の概略図。
【図２】光学格子コンポーネントに関する実施例の表
面、および図１の装置内に組み合わせられるシャッタの
外観図。
面、および図１の装置内に組み合わせられるシャッタの
外観図。
【図３】光学格子コンポーネントに関する別の実施例の
表面、および図１の装置内に組み合わせられるシャッタ
の外観図。
表面、および図１の装置内に組み合わせられるシャッタ
の外観図。
【図４】図２の４−４で切り取られた断面図。
１０ 光学分光装置 １１ 光放射源 １２ 光学分光計 １４ データ処理ステーション １６ 入口スリット １７ 光線 １８ 中低コリメータミラー ２０ 反射形階段格子分散格 ２１ 鋸歯状溝 ２２ 第２格子 ２３ 初期スペクトル ２４ 分散ビーム ２６ 中低ミラー ２８ 軸状平坦ミラー ３０ 視野平坦化レンズ ３２ 光検出器 ３４ 検出器 ３５，３６ 線 ３７ 境界 ３８ 第１部分 ４０ 溝構成配列 ４２ 第２部分 ４３ プログラム ４４’ 溝構成配列 ４６ 可動性シャッタ ４８ ソレノイド ４９ ロッドマウント ５０ 格子表面形状 ５４ 曲面 ５６ 光学軸
Claims (20)
- 【請求項１】 スペクトル的に分散されたビームを生じ
させるため、光放射を受ける複数の分散格子と、そして
そのスペクトル検出のためにビームを受け取る検出器装
置とを有する、様々の異なるスペクトル範囲の別個の検
出のための光学分光計において、 複数の分散格子は、第１表面部分と第２表面部分とを備
えた格子表面を有し、前記第１部分は第１スペクトル範
囲において分散されたビームを生じさせるための第１溝
構成配列を持ち、そして第２部分は第１スペクトル範囲
と異なる第２スペクトル範囲において分散されたビーム
を生じさせるための第２溝構成配列を有することを特徴
とする光学分光計。 - 【請求項２】 初期スペクトルの形で光放射を生じさせ
るため、源放射を受ける初期分散装置を有し、ここで、
複数の格子は分散されたビームを生じさせるため初期分
散装置と交差しており、また、ビームを受ける光検出器
の２次元アレーを備えた検出器装置を有する請求項第１
項記載の分光計。 - 【請求項３】 初期分散装置が初期反射分散格子を有
し、そして複数の分散格子が反射性であるような、請求
項第２項記載の分光計。 - 【請求項４】 分散されたビームを検出装置に焦点合わ
せするための焦点合わせ装置を有し、該焦点合わせ装置
は焦点合わせに固有の収差を取り込み、そして格子表面
は実質的にこの収差を補償するように輪郭づけられてい
る請求項第１項記載の分光計。 - 【請求項５】 検出のために第１スペクトル範囲または
第２スペクトル範囲を選択するよう、格子表面の第１部
分または第２部分を選択的に阻止するための選択装置を
さらに有する、ような、請求項第１項記載の分光計。 - 【請求項６】 初期スペクトルの形で光放射を生じさせ
るよう源放射を受け取る初期分散装置を有し、ここにお
いて、分散されたビームを生じさせるため複数の格子が
初期分散装置と交差しており、そして検出器装置はビー
ムを受け取る光検出器の２次元アレーを有する請求項第
５項記載の分光計。 - 【請求項７】 初期分散装置が初期反射形分散格子を有
し、そして複数の分散格子が反射性であるような、請求
項第５項記載の分光計。 - 【請求項８】 分散されたビームを検出装置に焦点合わ
せするための焦点合わせ装置、ここにおいて焦点合わせ
装置は焦点合わせ内に固有の収差を持ち込み、そして格
子表面はこの収差を実質的に補償するように輪郭づけら
れている請求項第５項記載の分光計。 - 【請求項９】 選択装置が、格子表面の第部分または第
２部分を選択的に阻止または露光させるよう設けられた
シャッタを有する請求項第５項記載の分光計。 - 【請求項１０】 第２範囲が第１範囲の検出と干渉し、
そして第１範囲は実質的に第２範囲の検出と干渉するこ
とがないように第１スペクトル範囲および第２スペクト
ル範囲の両方を検出出来るよう検出器装置が構成配列さ
れており、そして選択装置は第１範囲を連続的に露光し
ている間、格子表面の第２部分を阻止または露光のいず
れかに位置決めすることが出来るシャッタを有してお
り、これによって検出に関する第１スペクトル範囲また
は第２スペクトル範囲を選択することが出来るような、
請求項第５項記載の分光計。 - 【請求項１１】 初期スペクトルの形で光放射を生じさ
せるため、源放射を受ける初期分散装置をさらに有
し、、ここにおいて複数の格子は分散されたビームを生
じさせるため、初期分散装置とクロス（crossed）交差
しており、そして前記検出器装置はビームを受ける光検
出器の２次元アレーを有しているような、請求項第１０
項記載の分光計。 - 【請求項１２】 初期分散装置が初期分散格子を有
し、、そして複数の分散格子が反射的であるような、請
求項第１１項記載の分光計。 - 【請求項１３】 第１溝構成配列は、第１スペクトル範
囲が実質的に紫外であり、そして第２溝構成配列は第２
スペクトル範囲が実質的に可視であるような、請求項第
１２項記載の分光計。 - 【請求項１４】 分散されたビームを検出装置に焦点合
わせするための、焦点合わせ装置をさらに有し、該焦点
合わせ装置は分散ビームの焦点合わせに固有の収差をも
たらし、そして格子表面はこの収差に関して実質的に補
償するように輪郭づけられている、請求項第１３項記載
の分光計。 - 【請求項１５】 第２部分を露光するために、シャッタ
が付加的に第１部分を露光するよう位置決めされるよう
な、請求項第１０項記載の分光計。 - 【請求項１６】 第１部分が実質的に第１部分よりも大
きく、シャッタは第２部分のそれと実質的に同じ領域を
持ち、そして第２部分を露光するために、シャッタは第
１部分を覆うように位置決めされるような、請求項第１
０項記載の分光計。 - 【請求項１７】 第１スペクトル範囲が第２範囲におけ
るあるスペクトル線と干渉し、検出器装置は各スペクト
ル範囲におけるスペクトル線を表す信号を生じさせるよ
う構成配列され、選択装置は、第１部分を連続的に露光
している間、格子表面の第２部分を阻止または露光のい
ずれかに位置決め出来るような、シャッタを有し、、こ
れによって検出のために第１スペクトル範囲または第２
スペクトル範囲を選択し、分光計はさらに、そこからの
選択されたスペクトル線を分析するために信号を受ける
コンピュータ装置を有し、、第２スペクトル範囲におけ
る選択されたスペクトル線は、第１スペクトル範囲から
の著しい干渉を持たないような線であるような、請求項
第５項記載の分光計。 - 【請求項１８】 検出器装置が、各スペクトル範囲にお
けるスペクトル線を表す信号を発生するよう構成配列さ
れ、そして分光計がさらに、そこからの選択されたスペ
クトル線を分析するために信号を受け取るコンピュータ
装置を有し、、選択されたスペクトル線は第１スペクト
ル範囲、または第２スペクトル範囲にあるように選択さ
れるような、請求項第１項記載の分光計。 - 【請求項１９】 第１スペクトル範囲が第２範囲におけ
るあるスペクトル線と干渉し、第２スペクトル範囲にお
ける選択されたスペクトル線は第１スペクトル範囲から
の著しい干渉を持たないような線であるような、請求項
第１８項記載の分光計。 - 【請求項２０】 光線のスペクトル分散を生じさせるた
めの格子において、 複数の格子が設けられており、該格子は第１表面部分と
第２表面部分を有する、格子表面を持ち、第１部分は第
１スペクトル範囲において分散されたビームを表示させ
るための第１溝構成配列を持ち、そして第２部分は第１
スペクトル範囲と異なる第２スペクトル範囲において分
散されたビームを生じさせるための第２溝構成配列を持
つことを特徴とする格子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/451,351 | 1995-05-26 | ||
| US08/451,351 US5565983A (en) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | Optical spectrometer for detecting spectra in separate ranges |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327452A true JPH08327452A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=23791857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8132143A Pending JPH08327452A (ja) | 1995-05-26 | 1996-05-27 | 光学分光計及び格子 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5565983A (ja) |
| EP (1) | EP0744599B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08327452A (ja) |
| AU (1) | AU713793B2 (ja) |
| DE (1) | DE69634317T2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7450299B2 (en) | 2001-12-27 | 2008-11-11 | Riken | Broadband telescope |
| JP2010506154A (ja) * | 2006-10-06 | 2010-02-25 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 高感度スペクトル分析ユニット |
| US8264680B2 (en) | 1999-05-28 | 2012-09-11 | Yokogawa Electric Corporation | Biochip reader and electrophoresis system |
| JP2015503764A (ja) * | 2012-01-13 | 2015-02-02 | ローパー サイエンティフィック インコーポレイテッドＲｏｐｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ，Ｉｎｃ． | 無収差結像分光器 |
| JP2021533378A (ja) * | 2018-08-10 | 2021-12-02 | ペルキネルマー ヘルス サイエンシーズ， インコーポレイテッド | コンパクトな分光計及びコンパクトな分光計を含む機器 |
| US11692873B2 (en) | 2018-08-10 | 2023-07-04 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Compact spectrometers and instruments including them |
Families Citing this family (112)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5905571A (en) * | 1995-08-30 | 1999-05-18 | Sandia Corporation | Optical apparatus for forming correlation spectrometers and optical processors |
| DE19649221B4 (de) * | 1995-11-27 | 2006-09-14 | Shimadzu Corp. | Mehrkanal-Spektrophotometer |
| US5757483A (en) * | 1997-08-06 | 1998-05-26 | Stellarnet, Inc. | Dual beam optical spectrograph |
| US6151112A (en) * | 1997-11-17 | 2000-11-21 | Innovative Lasers Corp. | High-resolution, compact intracavity laser spectrometer |
| JPH11230828A (ja) * | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Shimadzu Corp | エシェル分光器 |
| US6125223A (en) * | 1998-08-31 | 2000-09-26 | Oriel Corporation | Spectrally resolved light |
| US6650413B2 (en) * | 1999-08-08 | 2003-11-18 | Institut National D'optique | Linear spectrometer |
| US6583874B1 (en) * | 1999-10-18 | 2003-06-24 | Komatsu, Ltd. | Spectrometer with holographic and echelle gratings |
| AT408092B (de) * | 1999-10-19 | 2001-08-27 | Vae Ag | Einrichtung zum messen von achs- bzw. lagertemperaturen zur ortung von heissläufern oder überhitzten bremsen im rollenden bahnverkehr |
| US6603549B2 (en) | 2000-02-25 | 2003-08-05 | Cymer, Inc. | Convolution method for measuring laser bandwidth |
| ATE300729T1 (de) * | 2000-06-05 | 2005-08-15 | Galileo Avionica Spa | Spektrometer mit doppeltem ausseraxialen schmidt- teleskop |
| DE60141090D1 (de) | 2000-10-30 | 2010-03-04 | Gen Hospital Corp | Optische systeme zur gewebeanalyse |
| US9295391B1 (en) | 2000-11-10 | 2016-03-29 | The General Hospital Corporation | Spectrally encoded miniature endoscopic imaging probe |
| NO321629B1 (no) * | 2000-11-30 | 2006-06-12 | Tomra Systems Asa | Anordning for bruk ved spektroskopi |
| US6549279B2 (en) * | 2001-04-09 | 2003-04-15 | Speedfam-Ipec Corporation | Method and apparatus for optical endpoint calibration in CMP |
| GB2408797B (en) | 2001-05-01 | 2006-09-20 | Gen Hospital Corp | Method and apparatus for determination of atherosclerotic plaque type by measurement of tissue optical properties |
| US6952260B2 (en) * | 2001-09-07 | 2005-10-04 | Jian Ming Xiao | Double grating three dimensional spectrograph |
| US7355716B2 (en) | 2002-01-24 | 2008-04-08 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for ranging and noise reduction of low coherence interferometry LCI and optical coherence tomography OCT signals by parallel detection of spectral bands |
| CN1741768A (zh) | 2003-01-24 | 2006-03-01 | 通用医疗有限公司 | 利用低相干干涉测量法识别组织的系统和方法 |
| US8054468B2 (en) | 2003-01-24 | 2011-11-08 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for ranging and noise reduction of low coherence interferometry LCI and optical coherence tomography OCT signals by parallel detection of spectral bands |
| CA2519937C (en) | 2003-03-31 | 2012-11-20 | Guillermo J. Tearney | Speckle reduction in optical coherence tomography by path length encoded angular compounding |
| EP2008579B1 (en) | 2003-06-06 | 2016-11-09 | The General Hospital Corporation | Process and apparatus for a wavelength tuned light source |
| CN103181753B (zh) | 2003-10-27 | 2016-12-28 | 通用医疗公司 | 用于使用频域干涉测量法进行光学成像的方法和设备 |
| WO2005117534A2 (en) | 2004-05-29 | 2005-12-15 | The General Hospital Corporation | Process, system and software arrangement for a chromatic dispersion compensation using reflective layers in optical coherence tomography (oct) imaging |
| JP4995720B2 (ja) | 2004-07-02 | 2012-08-08 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | ダブルクラッドファイバを有する内視鏡撮像プローブ |
| JP5053845B2 (ja) | 2004-08-06 | 2012-10-24 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 光学コヒーレンス断層撮影法を使用して試料中の少なくとも１つの位置を決定するための方法、システムおよびソフトウェア装置 |
| KR20120062944A (ko) | 2004-08-24 | 2012-06-14 | 더 제너럴 하스피탈 코포레이션 | 혈관절편 영상화 방법 및 장치 |
| EP1793730B1 (en) | 2004-08-24 | 2011-12-28 | The General Hospital Corporation | Process, system and software arrangement for determining elastic modulus |
| KR101269455B1 (ko) | 2004-09-10 | 2013-05-30 | 더 제너럴 하스피탈 코포레이션 | 광 간섭 영상화를 위한 시스템 및 방법 |
| KR101257100B1 (ko) | 2004-09-29 | 2013-04-22 | 더 제너럴 하스피탈 코포레이션 | 광 간섭 영상화 시스템 및 방법 |
| EP2278267A3 (en) | 2004-11-24 | 2011-06-29 | The General Hospital Corporation | Common-Path Interferometer for Endoscopic OCT |
| US8922781B2 (en) | 2004-11-29 | 2014-12-30 | The General Hospital Corporation | Arrangements, devices, endoscopes, catheters and methods for performing optical imaging by simultaneously illuminating and detecting multiple points on a sample |
| IL174590A (en) * | 2005-03-29 | 2015-03-31 | Yoel Arieli | A method and an imaging system for the analysis of optical properties of an object illuminated by a light source |
| US8351665B2 (en) | 2005-04-28 | 2013-01-08 | The General Hospital Corporation | Systems, processes and software arrangements for evaluating information associated with an anatomical structure by an optical coherence ranging technique |
| EP1889037A2 (en) | 2005-06-01 | 2008-02-20 | The General Hospital Corporation | Apparatus, method and system for performing phase-resolved optical frequency domain imaging |
| US9441948B2 (en) | 2005-08-09 | 2016-09-13 | The General Hospital Corporation | Apparatus, methods and storage medium for performing polarization-based quadrature demodulation in optical coherence tomography |
| CN101360447B (zh) | 2005-09-29 | 2012-12-05 | 通用医疗公司 | 通过光谱编码进行光学成像的方法和装置 |
| EP1945094B1 (en) | 2005-10-14 | 2018-09-05 | The General Hospital Corporation | Spectral- and frequency- encoded fluorescence imaging |
| US7796270B2 (en) | 2006-01-10 | 2010-09-14 | The General Hospital Corporation | Systems and methods for generating data based on one or more spectrally-encoded endoscopy techniques |
| US9087368B2 (en) | 2006-01-19 | 2015-07-21 | The General Hospital Corporation | Methods and systems for optical imaging or epithelial luminal organs by beam scanning thereof |
| US8145018B2 (en) | 2006-01-19 | 2012-03-27 | The General Hospital Corporation | Apparatus for obtaining information for a structure using spectrally-encoded endoscopy techniques and methods for producing one or more optical arrangements |
| EP1983921B1 (en) | 2006-02-01 | 2016-05-25 | The General Hospital Corporation | Systems for providing electromagnetic radiation to at least one portion of a sample using conformal laser therapy procedures |
| EP1986545A2 (en) | 2006-02-01 | 2008-11-05 | The General Hospital Corporation | Apparatus for applying a plurality of electro-magnetic radiations to a sample |
| EP1988825B1 (en) | 2006-02-08 | 2016-12-21 | The General Hospital Corporation | Arrangements and systems for obtaining information associated with an anatomical sample using optical microscopy |
| EP2309221A1 (en) | 2006-02-24 | 2011-04-13 | The General Hospital Corporation | Methods and systems for performing angle-resolved fourier-domain optical coherence tomography |
| WO2007133961A2 (en) | 2006-05-10 | 2007-11-22 | The General Hospital Corporation | Processes, arrangements and systems for providing frequency domain imaging of a sample |
| JP2010501877A (ja) | 2006-08-25 | 2010-01-21 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | ボリュメトリック・フィルタリング法を使用して光コヒーレンス・トモグラフィ画像形成の機能を向上させる装置及び方法 |
| US8838213B2 (en) | 2006-10-19 | 2014-09-16 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for obtaining and providing imaging information associated with at least one portion of a sample, and effecting such portion(s) |
| WO2008089342A1 (en) | 2007-01-19 | 2008-07-24 | The General Hospital Corporation | Rotating disk reflection for fast wavelength scanning of dispersed broadband light |
| EP2602651A3 (en) | 2007-03-23 | 2014-08-27 | The General Hospital Corporation | Methods, arrangements and apparatus for utilizing a wavelength-swept laser using angular scanning and dispersion procedures |
| US10534129B2 (en) | 2007-03-30 | 2020-01-14 | The General Hospital Corporation | System and method providing intracoronary laser speckle imaging for the detection of vulnerable plaque |
| US8045177B2 (en) | 2007-04-17 | 2011-10-25 | The General Hospital Corporation | Apparatus and methods for measuring vibrations using spectrally-encoded endoscopy |
| DE102007027010B4 (de) * | 2007-06-08 | 2023-02-16 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Spektrometeroptik mit nicht-sphärischen Spiegeln |
| EP2173254A2 (en) | 2007-07-31 | 2010-04-14 | The General Hospital Corporation | Systems and methods for providing beam scan patterns for high speed doppler optical frequency domain imaging |
| US7933021B2 (en) | 2007-10-30 | 2011-04-26 | The General Hospital Corporation | System and method for cladding mode detection |
| US7898656B2 (en) * | 2008-04-30 | 2011-03-01 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for cross axis parallel spectroscopy |
| US8593619B2 (en) | 2008-05-07 | 2013-11-26 | The General Hospital Corporation | System, method and computer-accessible medium for tracking vessel motion during three-dimensional coronary artery microscopy |
| WO2009155536A2 (en) | 2008-06-20 | 2009-12-23 | The General Hospital Corporation | Fused fiber optic coupler arrangement and method for use thereof |
| WO2010009136A2 (en) | 2008-07-14 | 2010-01-21 | The General Hospital Corporation | Apparatus and methods for color endoscopy |
| ES2957932T3 (es) | 2008-12-10 | 2024-01-30 | Massachusetts Gen Hospital | Sistemas, aparatos y procedimientos para ampliar el rango de profundidad de imagen de tomografía de coherencia óptica mediante submuestreo óptico |
| JP2012515576A (ja) | 2009-01-20 | 2012-07-12 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 内視鏡生検装置、システム、及び方法 |
| WO2010085775A2 (en) | 2009-01-26 | 2010-07-29 | The General Hospital Corporation | System, method and computer-accessible medium for providing wide-field superresolution microscopy |
| DE102009003413B4 (de) * | 2009-01-30 | 2022-01-20 | Leibniz - Institut Für Analytische Wissenschaften - Isas - E.V. | Echelle-Spektrometeranordnung mit interner Vordispersion |
| WO2010091190A2 (en) | 2009-02-04 | 2010-08-12 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for utilization of a high-speed optical wavelength tuning source |
| CN102469943A (zh) | 2009-07-14 | 2012-05-23 | 通用医疗公司 | 用于测量脉管内流动和压力的设备、系统和方法 |
| PT2542154T (pt) | 2010-03-05 | 2020-11-25 | Massachusetts Gen Hospital | Aparelho para proporcionar radiação eletromagnética a uma amostra |
| US9069130B2 (en) | 2010-05-03 | 2015-06-30 | The General Hospital Corporation | Apparatus, method and system for generating optical radiation from biological gain media |
| JP5778762B2 (ja) | 2010-05-25 | 2015-09-16 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 光コヒーレンストモグラフィー画像のスペクトル解析のための装置及び方法 |
| WO2011149972A2 (en) | 2010-05-25 | 2011-12-01 | The General Hospital Corporation | Systems, devices, methods, apparatus and computer-accessible media for providing optical imaging of structures and compositions |
| US10285568B2 (en) | 2010-06-03 | 2019-05-14 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for devices for imaging structures in or at one or more luminal organs |
| US8736836B2 (en) * | 2010-09-13 | 2014-05-27 | Lawrence Livermore National Security, Llc. | Echelle grating multi-order imaging spectrometer utilizing a catadioptric lens |
| EP2632324A4 (en) | 2010-10-27 | 2015-04-22 | Gen Hospital Corp | DEVICES, SYSTEMS AND METHOD FOR MEASURING BLOOD PRESSURE IN AT LEAST ONE VESSEL |
| JP2014523536A (ja) | 2011-07-19 | 2014-09-11 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 光コヒーレンストモグラフィーにおいて偏波モード分散補償を提供するためのシステム、方法、装置およびコンピュータアクセス可能な媒体 |
| EP3835718B1 (en) | 2011-08-25 | 2023-07-26 | The General Hospital Corporation | Apparatus for providing micro-optical coherence tomography inside a respiratory system |
| JP2015502562A (ja) | 2011-10-18 | 2015-01-22 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | 再循環光学遅延を生成および／または提供するための装置および方法 |
| US9348126B2 (en) * | 2011-11-08 | 2016-05-24 | Raytheon Company | Derived all-reflective afocal optical system with aspheric figured beam steering mirror |
| US9629528B2 (en) | 2012-03-30 | 2017-04-25 | The General Hospital Corporation | Imaging system, method and distal attachment for multidirectional field of view endoscopy |
| EP2852315A4 (en) | 2012-05-21 | 2016-06-08 | Gen Hospital Corp | DEVICE, APPARATUS AND METHOD FOR CAPSULE MICROSCOPY |
| CN102889929B (zh) * | 2012-07-20 | 2015-11-25 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种紫外光谱仪波长校准方法 |
| JP6227652B2 (ja) | 2012-08-22 | 2017-11-08 | ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション | ソフトリソグラフィを用いてミニチュア内視鏡を製作するためのシステム、方法、およびコンピュータ・アクセス可能媒体 |
| US9968261B2 (en) | 2013-01-28 | 2018-05-15 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for providing diffuse spectroscopy co-registered with optical frequency domain imaging |
| US10893806B2 (en) | 2013-01-29 | 2021-01-19 | The General Hospital Corporation | Apparatus, systems and methods for providing information regarding the aortic valve |
| WO2014121082A1 (en) | 2013-02-01 | 2014-08-07 | The General Hospital Corporation | Objective lens arrangement for confocal endomicroscopy |
| US10478072B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-11-19 | The General Hospital Corporation | Methods and system for characterizing an object |
| EP2997354A4 (en) | 2013-05-13 | 2017-01-18 | The General Hospital Corporation | Detecting self-interefering fluorescence phase and amplitude |
| WO2015010133A1 (en) | 2013-07-19 | 2015-01-22 | The General Hospital Corporation | Determining eye motion by imaging retina. with feedback |
| WO2015009932A1 (en) | 2013-07-19 | 2015-01-22 | The General Hospital Corporation | Imaging apparatus and method which utilizes multidirectional field of view endoscopy |
| ES2893237T3 (es) | 2013-07-26 | 2022-02-08 | Massachusetts Gen Hospital | Aparato con una disposición láser que utiliza dispersión óptica para aplicaciones en la tomografía de coherencia óptica en el dominio de Fourier |
| EP2884247A1 (en) * | 2013-12-16 | 2015-06-17 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Spectrometer for generating a two dimensional spectrum |
| WO2015105870A1 (en) | 2014-01-08 | 2015-07-16 | The General Hospital Corporation | Method and apparatus for microscopic imaging |
| WO2015116986A2 (en) | 2014-01-31 | 2015-08-06 | The General Hospital Corporation | System and method for facilitating manual and/or automatic volumetric imaging with real-time tension or force feedback using a tethered imaging device |
| US10288868B2 (en) | 2014-01-31 | 2019-05-14 | Canon U.S.A., Inc. | Optical probe, light intensity detection, imaging method and system |
| WO2015116939A1 (en) | 2014-01-31 | 2015-08-06 | Canon U.S.A., Inc. | Apparatus and methods for color endoscopy |
| WO2015153982A1 (en) | 2014-04-04 | 2015-10-08 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for controlling propagation and/or transmission of electromagnetic radiation in flexible waveguide(s) |
| US10912462B2 (en) | 2014-07-25 | 2021-02-09 | The General Hospital Corporation | Apparatus, devices and methods for in vivo imaging and diagnosis |
| US9995626B1 (en) * | 2014-12-30 | 2018-06-12 | Dow Global Technologies Llc | Micro-fluorescence capable micro-Raman spectrometer |
| US10966597B2 (en) | 2015-08-05 | 2021-04-06 | Canon U.S.A., Inc. | Forward and angle view endoscope |
| WO2017024234A1 (en) * | 2015-08-05 | 2017-02-09 | Canon U.S.A., Inc. | Endoscope probes and systems, and methods for use therewith |
| US10267997B2 (en) | 2015-11-11 | 2019-04-23 | Raytheon Company | Infrared scene projector with per-pixel spectral and polarisation capability |
| US9869854B2 (en) | 2015-12-16 | 2018-01-16 | Canon U.S.A, Inc. | Endoscopic system |
| US10488254B2 (en) | 2016-01-14 | 2019-11-26 | Analytik Jena Ag | Spectrometer with two-dimensional spectrum |
| WO2017139657A1 (en) | 2016-02-12 | 2017-08-17 | Canon U.S.A., Inc. | Simple monolithic optical element for forward-viewing spectrally encoded endoscopy |
| US10126560B2 (en) * | 2016-02-18 | 2018-11-13 | National Engineering Research Center for Optical Instrumentation | Spectrum-generation system based on multiple-diffraction optical phasometry |
| US10321810B2 (en) | 2016-06-13 | 2019-06-18 | Canon U.S.A., Inc. | Spectrally encoded endoscopic probe having a fixed fiber |
| JP2019527576A (ja) | 2016-07-15 | 2019-10-03 | キヤノン ユーエスエイ, インコーポレイテッドCanon U.S.A., Inc | スペクトル符号化プローブ |
| US10401610B2 (en) | 2016-07-15 | 2019-09-03 | Canon Usa, Inc. | Spectrally encoded probe with multiple diffraction orders |
| JP2019534069A (ja) | 2016-09-23 | 2019-11-28 | キヤノン ユーエスエイ, インコーポレイテッドCanon U.S.A., Inc | スペクトル符号化内視鏡検査装置および方法 |
| US10898068B2 (en) | 2016-11-01 | 2021-01-26 | Canon U.S.A., Inc. | Multi-bandwidth spectrally encoded endoscope |
| JP2018094395A (ja) | 2016-11-03 | 2018-06-21 | キヤノン ユーエスエイ, インコーポレイテッドCanon U.S.A., Inc | 診断用スペクトル符号化内視鏡検査装置およびシステム、ならびにこれらと共に使用するための方法 |
| CN107101723B (zh) * | 2017-06-13 | 2018-05-01 | 钢研纳克检测技术股份有限公司 | 高分辨率中阶梯光栅光谱仪二维偏差谱图分析与校正方法 |
| US10825152B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-11-03 | Canon U.S.A., Inc. | Distortion measurement and correction for spectrally encoded endoscopy |
| DE102018113235A1 (de) | 2018-06-04 | 2019-12-05 | Analytik Jena Ag | Spektrometeranordnung |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3521943A (en) * | 1966-09-30 | 1970-07-28 | Herman F Kelderman | Apparatus for generating aspheric reflecting surfaces useful for correcting spherical aberration |
| US3523734A (en) * | 1967-12-18 | 1970-08-11 | Fisher Scientific Co | Diffraction grating spectrometer wherein the grating has first and second groups of grooves |
| DE2229541A1 (de) * | 1971-06-18 | 1973-01-04 | Axel Bernhard Prof Johansson | Spektrometer |
| US4191473A (en) * | 1978-01-09 | 1980-03-04 | Hansch Theodor W | Method of and apparatus for measuring the absolute wavelength of a source of unknown frequency radiation |
| US4729658A (en) * | 1986-06-05 | 1988-03-08 | The Perkin-Elmer Corporation | Very wide spectral coverage grating spectrometer |
| US4766287A (en) * | 1987-03-06 | 1988-08-23 | The Perkin-Elmer Corporation | Inductively coupled plasma torch with adjustable sample injector |
| US4820048A (en) * | 1987-11-19 | 1989-04-11 | The Perkin-Elmer Corporation | Detector for a spectrometer |
-
1995
- 1995-05-26 US US08/451,351 patent/US5565983A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-05-08 EP EP96107288A patent/EP0744599B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-08 DE DE69634317T patent/DE69634317T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-24 AU AU52485/96A patent/AU713793B2/en not_active Ceased
- 1996-05-27 JP JP8132143A patent/JPH08327452A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8264680B2 (en) | 1999-05-28 | 2012-09-11 | Yokogawa Electric Corporation | Biochip reader and electrophoresis system |
| US7450299B2 (en) | 2001-12-27 | 2008-11-11 | Riken | Broadband telescope |
| JP2010506154A (ja) * | 2006-10-06 | 2010-02-25 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 高感度スペクトル分析ユニット |
| JP2015503764A (ja) * | 2012-01-13 | 2015-02-02 | ローパー サイエンティフィック インコーポレイテッドＲｏｐｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ，Ｉｎｃ． | 無収差結像分光器 |
| JP2021533378A (ja) * | 2018-08-10 | 2021-12-02 | ペルキネルマー ヘルス サイエンシーズ， インコーポレイテッド | コンパクトな分光計及びコンパクトな分光計を含む機器 |
| US11692873B2 (en) | 2018-08-10 | 2023-07-04 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Compact spectrometers and instruments including them |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0744599A3 (en) | 1998-06-24 |
| EP0744599A2 (en) | 1996-11-27 |
| DE69634317T2 (de) | 2006-01-05 |
| US5565983A (en) | 1996-10-15 |
| AU5248596A (en) | 1996-12-05 |
| AU713793B2 (en) | 1999-12-09 |
| DE69634317D1 (de) | 2005-03-17 |
| EP0744599B1 (en) | 2005-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08327452A (ja) | 光学分光計及び格子 | |
| US10488254B2 (en) | Spectrometer with two-dimensional spectrum | |
| Barnard et al. | Design and evaluation of an echelle grating optical system for ICP-OES | |
| US7315371B2 (en) | Multi-channel spectrum analyzer | |
| EP0320530B1 (en) | Photodiode array spectrometer | |
| JPH0339572B2 (ja) | ||
| US6952260B2 (en) | Double grating three dimensional spectrograph | |
| JP5666459B2 (ja) | 収差補正凹面回折格子と透過型収差補正手段とを備える分光計 | |
| JP7239582B2 (ja) | ポリクロメータシステム及び方法 | |
| WO2002046709A2 (en) | Compact littrow-type scanning spectrograph | |
| US5579106A (en) | Method and apparatus for providing astigmatism-reduced images with spectroscopic instruments | |
| US4850706A (en) | Low profile spectral analysis system | |
| Scheeline et al. | Design and characterization of an echelle spectrometer for fundamental and applied emission spectrochemical analysis | |
| US4453826A (en) | Double monochromator | |
| US20010048526A1 (en) | Compact spectrometer | |
| Pavlycheva | Diffraction gratings for spectral devices | |
| US5002393A (en) | Low noise optical system | |
| Schlemmer et al. | Diode array spectrometer: an optimised design | |
| JPH11264762A (ja) | エシェル型分光器 | |
| Johansson et al. | Imaging spectrometer for ultraviolet–near-infrared microspectroscopy | |
| Mikailov et al. | Shamakhy Fiber Echelle Spectrograph | |
| US10837832B2 (en) | Spectrometer and method for measuring the spectral characteristics thereof | |
| US5047650A (en) | Monochrometer | |
| Zissis | Dispersive prisms and gratings | |
| Kolesnikov et al. | Fabrication and application of plane and concave varied line-space gratings for the vacuum spectral domain by interference lithography |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050218 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050516 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050519 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050812 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051014 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060206 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060227 |
|
| A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060324 |