JPH0832403A - 表面波デバイス - Google Patents
表面波デバイスInfo
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- JPH0832403A JPH0832403A JP16552694A JP16552694A JPH0832403A JP H0832403 A JPH0832403 A JP H0832403A JP 16552694 A JP16552694 A JP 16552694A JP 16552694 A JP16552694 A JP 16552694A JP H0832403 A JPH0832403 A JP H0832403A
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- Japan
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- grooves
- groove
- ripple
- wave
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
波抑圧のための底面溝加工時間が短く、そして接着底面
積の増加により加工不良を低減させた表面波デバイスを
提供する。 【構成】BGS波用IDTが形成されているSAW基板
1の裏面に、当該基板1の厚みTに対して33%以上の
深さdを有する溝1aを、BGS波の進行方向に対して
45゜の角度で、形成したことを特徴とする表面波デバ
イス。
Description
延リップルを低減したBGS波利用表面波デバイスに関
する。
は、図11および図12に示すように、基板11の裏面
に、BGS波の伝播方向(矢印方向)に対して45゜溝
11aと135゜溝11bを形成することによって、バ
ルク波を散乱させ、かつ、リップルを抑圧していた。
このようなバルク波散乱およびリップル抑圧の手段は、
以下のような問題点を有している。 1.リップルの抑圧効果が小さくて、リップルが大きい
ため、この表面波デバイスを、例えば、TV、VTRの
隣接チャンネル映像周波数のトラップとして使用した場
合、反共振点より高域側の振幅リップル又は位相リップ
ルが、TV、VTRの明るさ又は色ずれを生じさせる。 2.溝加工時間が長い。 3.表面波デバイスの底面の接着面積が、図12に示す
ように、溝加工のため減少し、表面波デバイスとパッケ
ージのボンディングが、固着力不足のため、適切に行え
ない。
相リップルが小さく、バルク波抑圧のための底面溝加工
時間が短く、そして接着底面積の増加により加工不良を
低減させた表面波デバイスを提供することを目的とす
る。
決手段は、BGS波用IDTが形成されているSAW基
板の裏面に、当該基板の厚みに対して33%以上の深さ
を有する溝を、BGS波の進行方向に対して45゜の角
度で、形成したことを特徴とする表面波デバイスであ
る。
SAW基板の裏面に、当該基板の厚みに対して33%以
上の深さを有する溝を、BGS波の進行方向に対して4
5゜の角度で形成しているので、振幅リップル及び位相
リップルが小さくなり、、バルク波抑圧のための底面溝
加工時間が短くなり、並びに接着底面積の増加により加
工不良が低減する。また、TV、VTRの隣接チャンネ
ル映像周波数トラップに応用した場合には、振幅リップ
ル及び位相リップルの低減により、明るさのムラ及び色
ズレが減少する。
して説明する。図1は本発明の一実施例に係る表面波デ
バイスの底面図、図2は図1のX−X線一部断面形態説
明図である。図1および図2において、1はSAW基板
で、このSAW基板1の表面には、図示しないがBGS
波用IDTが形成されている。SAW基板1の裏面に
は、図1及び図2に示すように、BGS波の進行方向
(矢印方向)と45゜の角度で、SAW基板1の厚みT
に対して33%以上の深さdの溝1aが複数本形成され
ている。
これを具体的な実施例において確認した効果について次
に記載する。なお、比較のために、従来例も併せて製作
した。この従来例の製作に当たっては、本実施例と共通
する事項については、共通の条件とした。 基板 :PZT 溝幅 :100μm 基板厚みT:450μm 溝間隔 :300μm 溝深さd :0〜180μm 搭載IDT:隣接チャンネル映像周波 数トラップ 上記のような基板等の条件において、溝深さを0〜18
0μmの範囲(溝深さ率d/T=0〜40%)におい
て、4回計測した場合の本実施例の振幅リップル特性を
図3に、同じく群遅延リップル特性を図4に、それぞれ
示す。また、従来例においては、上記条件の他に、13
5゜方向の溝深さを150μm(溝深さ率d/T=33
%)に固定した場合で、その振幅リップル特性を図5
に、同じく群遅延リップル特性を図6に、それぞれ示
す。
てみると、溝深さ率d/Tに対する振幅リップル特性
が、逆になっていることが理解される。即ち、溝の深さ
を増していくと、振幅リップルが、本実施例において
は、減少しているのに対して、従来例においては、増加
している。また、本実施例の図4と従来例の図6とを比
較してみると、溝深さ率d/Tに対する群遅延リップル
特性が、これまた逆になっていることが理解される。即
ち、溝の深さを増していくと、群遅延リップルが、本実
施例においては、減少しているのに対して、従来例にお
いては、増加している。
おける隣接チャンネル映像周波数(31.9MHz)用
トラップフィルタに応用した場合であるが、本実施例の
トラップ周波数特性を図7に、従来例を図8に示す。こ
れらの例においては、溝深さdはいづれも150μmで
ある。本実施例の図7と従来例の図8を比較してみる
と、下記のようになる。 本実施例 :振幅リップル平均値 :0.57dB 群遅延リップル平均値:126.4dB 従来例 :振幅リップル平均値 :0.91dB 群遅延リップル平均値:189.0dB これらの結果より、振幅リップル平均値も群遅延リップ
ル平均値も、本実施例の方が、従来例よりも改善されて
いることが理解できる。
作用効果が異なる原因について、以下に言及する。図9
と図10はそれぞれ本実施例と従来例のSAW基板の断
面概略図である。図9に示す本実施例は、上述のよう
に、SAW基板9に45゜溝9aしか形成されていない
ので、図10に示す従来例の場合に比較して、溝9aの
数が少なく、したがって、溝9aの底面9bのトータル
面積も小さく、溝底面9bからのバルク波の反射波も少
ない。但し、この場合、SAW基板9の底面9cで反射
するバルク波が多少増加するが、伝播距離が長いので影
響は少ない。
W基板10に45゜溝10aの他に、135゜溝10b
も形成されているので、溝10a、10bの数が多くな
り、その分、溝底面10cのトータル面積も大きくな
り、この溝底面10cからの反射波が多くなる。そし
て、この溝底面10cからの反射波は減衰少なくSAW
基板10の表面に戻るので、振幅リップル特性および群
遅延時間リップル特性に悪影響を与えることになる。
AL方式隣接チャンネル映像周波数用トラップについて
記載したが、本発明は、TV、VTRのトラップフィル
タのみならず、これ以外の映像用フィルタ、音響用フィ
ルタ、通信機用フィルタなどについても適用されるもの
である。
延時間)リップルが小さく、バルク波抑圧のための底面
加工時間が短く、並びに接着底面積の増加により加工不
良が低減することになる。本発明は、TV、VTRの隣
接チャンネル映像周波数トラップに応用した場合には、
振幅リップル及び位相リップルの低減により、明るさの
ムラ及び色ズレが減少する。
面図
Claims (1)
- 【請求項1】 BGS波用IDTが形成されているSA
W基板の裏面に、当該基板の厚みに対して33%以上の
深さを有する溝を、BGS波の進行方向に対して45゜
の角度で、形成したことを特徴とする表面波デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16552694A JP3489194B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | Bgs波利用表面波トラップフフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16552694A JP3489194B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | Bgs波利用表面波トラップフフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0832403A true JPH0832403A (ja) | 1996-02-02 |
JP3489194B2 JP3489194B2 (ja) | 2004-01-19 |
Family
ID=15814074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16552694A Expired - Fee Related JP3489194B2 (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | Bgs波利用表面波トラップフフィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3489194B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007537485A (ja) * | 2004-05-14 | 2007-12-20 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 多方向光学素子およびその多方向光学素子を用いた光学システム |
JP2009232338A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
-
1994
- 1994-07-18 JP JP16552694A patent/JP3489194B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007537485A (ja) * | 2004-05-14 | 2007-12-20 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 多方向光学素子およびその多方向光学素子を用いた光学システム |
JP2009232338A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3489194B2 (ja) | 2004-01-19 |
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